WO2015068297A1 - 対基板作業装置及び吐出ヘッド - Google Patents

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WO2015068297A1
WO2015068297A1 PCT/JP2013/080392 JP2013080392W WO2015068297A1 WO 2015068297 A1 WO2015068297 A1 WO 2015068297A1 JP 2013080392 W JP2013080392 W JP 2013080392W WO 2015068297 A1 WO2015068297 A1 WO 2015068297A1
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head
viscous fluid
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unit
discharge
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PCT/JP2013/080392
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English (en)
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力茂 手嶋
Original Assignee
富士機械製造株式会社
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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/046—Surface mounting
    • H05K13/0469—Surface mounting by applying a glue or viscous material
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0404—Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work

Definitions

  • the present invention relates to a substrate working apparatus and a discharge head.
  • Patent Document 1 includes a dispenser head (ejection head) that ejects viscous fluid, a nozzle head that sucks and holds components, and a head holder that selectively holds the dispenser head and the nozzle head.
  • An electronic component holding device is described.
  • a passage is formed inside the head holder. The passage communicates with the fluid storage portion and the discharge nozzle of the dispenser head when the head holding body holds the dispenser head.
  • a switching device is connected to the passage inside the head holder. The switching device alternatively supplies positive pressure and negative pressure to the passage.
  • the switching device supplies a positive pressure to the passage while the head holder holds the dispenser head, whereby a positive pressure is supplied to the liquid storage portion of the dispenser head via the passage, and the viscous fluid is discharged from the discharge nozzle. Is discharged.
  • Patent Document 1 the pressure from the switching device is supplied to the ejection head via the passage inside the head holder. Therefore, when the pressure supplied to the ejection head is switched, such as when the switching device is operated, the pressure response on the ejection head side may be slow.
  • the present invention has been made in view of such a problem, and a main object thereof is to further improve the responsiveness of the ejection head to pressure switching.
  • the substrate working apparatus of the present invention is A substrate working apparatus for applying a viscous fluid on a substrate, A viscous fluid storage chamber for storing the viscous fluid; a viscous fluid discharge port communicating with the viscous fluid storage chamber; and a first fluid that presses and discharges the viscous fluid from the viscous fluid discharge port via the viscous fluid storage chamber.
  • a valve mechanism capable of switching between a state and a second state in which the viscous fluid is not discharged, an operation input unit for inputting an external operation, and a switching unit for switching the valve mechanism based on an operation input by the operation input unit
  • an ejection head comprising: Head holding means capable of holding the ejection head; It is equipped with.
  • This substrate-to-substrate working apparatus of the present invention includes an ejection head and a head holding means capable of holding the ejection head.
  • the discharge head includes a valve mechanism capable of switching between a first state in which the viscous fluid at the viscous fluid discharge port is pressed and discharged through the viscous fluid storage chamber and a second state in which the viscous fluid is not discharged.
  • the switching unit switches the valve mechanism based on the input operation.
  • the discharge head of the present invention can switch whether or not the viscous fluid is discharged by the valve mechanism included in the discharge head, that is, the pressure.
  • the distance from the point where the pressure changes due to the switching of the valve mechanism to the viscous fluid discharge port becomes smaller than when the valve mechanism exists on the side of the head holding means that holds the discharge head.
  • operation from the outside includes mechanical operation and electrical operation.
  • Vicous fluid includes adhesive, solder, brazing material, and the like. “Do not discharge viscous fluid” means that no pressure is applied to the viscous fluid discharge port via the viscous fluid storage chamber (open to the atmosphere) and negative pressure is applied to the viscous fluid discharge port via the viscous fluid storage chamber Including.
  • the head holding means is a means for holding the discharge head and a mounting head capable of holding and releasing the components in an exchangeable manner, and operates the holding mounting head.
  • the operation input unit may be capable of inputting an operation from the operation unit in a state where the ejection head is held by the head holding unit.
  • the head holding means can switch the valve mechanism of the ejection head using the operation unit used for operating the mounting head. That is, the operation part of the head holding means can be shared for the operation of the mounting head and the operation of the ejection head.
  • the head holding means can have a simpler configuration than the case where the head holding means includes an operation unit for an ejection head that is not used for operating the mounting head.
  • the head holding means that is configured to hold the mounting head in a replaceable manner can also be used to hold the ejection head without providing a new operation unit.
  • the head holding unit may be capable of holding the mounting head, and the substrate working apparatus in this case may not include the mounting head or may include the mounting head.
  • the operation unit of the head holding unit is a mechanism that the mounting head has in the state where the mounting unit holds the mounting head, and a plurality of components that can hold and release the components.
  • a shaft rotation mechanism that rotates one or more of the holders can be operated, and the operation input unit can be operated in a state where the head holding unit holds the ejection head.
  • the head holding means can operate the ejection head using the operation unit that operates the shaft rotation mechanism of the mounting head.
  • the operation input unit may be exposed on a connection surface with the head holding means when the ejection head is held by the head holding means. Since the operation input unit is exposed on the connection surface, the operation input unit comes into contact with the head holding unit when the ejection head is held by the head holding unit, so that the operation input unit can be easily operated from the head holding unit side.
  • the discharge head includes a first opening through which positive pressure is supplied via the head holding unit in a state where the discharge head is held by the head holding unit, and the head holding unit. And a second opening to which negative pressure is supplied via the head holding means in a state where the discharge head is held, and the head holding means holds the discharge head by the head holding means.
  • the valve mechanism includes: the first state in which the viscous fluid discharge port communicates with the first opening through the viscous fluid storage chamber and does not communicate with the second opening;
  • the viscous fluid outlet is the viscous flow Accommodating chamber may be switched and the second state does not communicate with and the first opening communicating with the second opening through the. If it carries out like this, pressure switching can be performed by switching which of a 1st opening and a 2nd opening is connected to a viscous fluid storage chamber.
  • the valve mechanism switches between the first state, the second state, and a third state in which the viscous fluid discharge port communicates with the atmosphere via the viscous fluid storage chamber. It may be possible.
  • the discharge head of the present invention is A discharge head capable of being held by a head holding means provided in a substrate working apparatus for applying a viscous fluid on a substrate and capable of discharging the viscous fluid, A viscous fluid storage chamber for storing the viscous fluid; A viscous fluid discharge port communicating with the viscous fluid storage chamber; A valve mechanism capable of switching between a first state in which the viscous fluid at the viscous fluid discharge port is pressed and discharged through the viscous fluid storage chamber and a second state in which the viscous fluid is not discharged; An operation input unit for inputting an external operation; A switching unit that switches the valve mechanism based on an operation input by the operation input unit; It is equipped with.
  • the discharge head of the present invention can perform switching of whether or not viscous fluid is discharged by a valve mechanism provided in the discharge head, that is, switching of pressure. Therefore, for example, the distance from the point where the pressure changes due to the switching of the valve mechanism to the viscous fluid discharge port becomes smaller than when the valve mechanism exists on the side of the head holding means that holds the discharge head. Thereby, the responsiveness of the ejection head with respect to pressure switching can be further increased.
  • FIG. 1 is an explanatory diagram showing the overall configuration of a component mounting system 1.
  • FIG. FIG. 3 is a perspective view of a head unit 110. The perspective view when the head holding body 21 is seen diagonally upward from below. The perspective view when the suction head 120 is seen obliquely downward from above. Sectional drawing of the peripheral part of the 1st and 2nd lever clamping parts 41 and 51.
  • FIG. FIG. The perspective view of the valve mechanism 90 of the discharge head 220.
  • FIG. 1 is an explanatory diagram showing the overall configuration of the component mounting system 1.
  • the component mounting system 1 includes a component mounting apparatus 100 and a management computer 200.
  • the component mounting apparatus 100 includes a board transfer device 104 mounted on a base 102, a head unit 110 that can move on an XY plane, and a suction head 120 that is detachably attached to the head unit 110.
  • a source 158 and a controller 160 that executes various controls are provided.
  • the substrate transport device 104 transports the substrate 101 from left to right by conveyor belts 108 and 108 (only one is shown in FIG. 1) attached to a pair of front and rear support plates 106 and 106, respectively.
  • the head unit 110 is attached to the X-axis slider 112, and moves in the left-right direction as the X-axis slider 112 moves in the left-right direction along the guide rails 114, 114, and the Y-axis slider 116 moves in the guide rail 118, It moves in the front-rear direction as it moves in the front-rear direction along 118. For this reason, the head unit 110 is movable on the XY plane.
  • Each slider 112, 116 is driven by a servo motor (not shown).
  • the suction head 120 is detachably attached to the head unit 110.
  • the suction nozzle 13 uses pressure to suck the component at the nozzle tip or release the component sucked at the nozzle tip. Twelve suction nozzles 13 are attached to the suction head 120.
  • the head storage area 140 is provided on the right side of the upper surface of the base 102 and has a plurality of storage locations 142 for storing the suction head 120 and the discharge head 220.
  • the ejection head 220 is stored in the front storage location, but the rear storage location 142 is empty.
  • the discharge head 220 is detachable from the head unit 110.
  • One discharge nozzle 14 is attached to the discharge head 220.
  • the discharge nozzle 14 discharges an adhesive for bonding components to the substrate 101 from a discharge port at the tip of the nozzle.
  • the component supply device 150 is attached in front of the component mounting device 100.
  • the component supply device 150 has a plurality of slots, and a feeder 152 can be inserted into each slot.
  • a reel 154 around which a tape is wound is attached to the feeder 152.
  • On the surface of the tape parts are held in a state of being aligned along the longitudinal direction of the tape. These parts are protected by a film covering the surface of the tape.
  • Such a tape is fed backward by a sprocket mechanism (not shown), and is disposed at a predetermined position in a state where the film is peeled off and the parts are exposed.
  • the predetermined position is a position where the suction nozzle 13 can suck the component.
  • the suction nozzle 13 that sucks a component at the predetermined position can mount the component at a predetermined position on the substrate 101.
  • the positive pressure source 156 and the negative pressure source 158 are configured as, for example, a pressure pump or a vacuum pump, and are connected to the head unit 110 by piping.
  • the positive pressure supplied by the positive source 156 is used, for example, as pressure for pressing and discharging the adhesive of the discharge nozzle 14.
  • the negative pressure supplied by the negative pressure source 158 is used, for example, as a pressure for adsorbing components to the adsorption nozzle 13.
  • the negative pressure supplied from the negative pressure source 158 is also used as a pressure for stopping the discharge of the adhesive from the discharge nozzle 14.
  • the component mounting apparatus 100 includes a nozzle stocker 134 and the like.
  • the nozzle stocker 134 is a box that stocks a plurality of types of suction nozzles 13 and a plurality of types of discharge nozzles 14, and is disposed next to the component supply device 150.
  • the suction nozzle 13 is replaced with one suitable for the type of substrate on which the component is mounted and the type of component.
  • the discharge nozzle 14 is replaced with one having a diameter suitable for the amount of adhesive to be discharged (diameter of the adhesive applied on the substrate 101).
  • the controller 160 includes a CPU 162 that executes various controls, a ROM 164 that stores control programs, a RAM 166 that is used as a work area, and an HDD 168 that stores a large amount of data, which are connected by a bus (not shown).
  • the controller 160 is connected to the substrate transfer apparatus 104, the X-axis slider 112, the Y-axis slider 116, and the head unit 110 so as to exchange signals.
  • the management computer 200 is a computer that manages a production job of the substrate 101, and stores production job data created by an operator.
  • the production job data in the component mounting apparatus 100, which component is mounted on which substrate 101 in which order from which slot position feeder, and how many substrates 101 are mounted in that order. Etc. are defined.
  • the production job data also defines what amount of adhesive is to be applied in what order on which position on the substrate 101 in order to adhere each component to be mounted to the substrate 101.
  • the management computer 200 is connected to the controller 160 of the component mounting apparatus 100 so as to be capable of bidirectional communication.
  • FIG. 2 is a perspective view of the head unit 110 with the cover removed. Specifically, FIG. 2 is a perspective view of the state in which the suction head 120 is lowered with respect to the R axis 22 of the head holder 21. 3 is a perspective view when the head holding body 21 is viewed obliquely upward from below, and FIG. 4 is a perspective view when the suction head 120 is viewed obliquely downward from above.
  • the head unit 110 includes a head holder 21 and a suction head 120.
  • the head holder 21 is attached to the X-axis slider 112 (see FIG. 1) so as to be lifted and lowered by a lifting mechanism (not shown).
  • the head holder 21 has two ring-shaped gears, an R-axis gear 24 and a Q-axis gear 27 in the upper part, and a cylindrical R-axis 22 in the lower part.
  • the R-axis gear 24 and the Q-axis gear 27 are attached so as to rotate independently of each other.
  • the R-axis gear 24 is rotationally driven by the R-axis motor 25 and rotates integrally with the R-axis 22.
  • the Q-axis gear 27 is rotationally driven by the Q-axis motor 28 and rotates integrally with the ring-shaped clutch member 61 (see FIG. 3).
  • the R shaft 22 has a plurality (four in this case) of engaging members 31 having hooks at the lower end. The directions of the hooks are aligned so as to be the same as the direction in which the R axis 22 rotates forward. These engaging members 31 are arranged at equal intervals on the same circumference of the lower surface of the R shaft 22 (the center of this circle coincides with the central axis of the R shaft 22). Each engagement member 31 can be moved up and down by an air cylinder (not shown).
  • the R shaft 22 has one positive pressure supply port 32a and four (only three are shown in FIG. 3) negative pressure supply ports 32b at the lower end. The positive pressure supply port 32 a is formed at a position that coincides with the central axis of the R axis 22.
  • the negative pressure supply ports 32b are arranged inside the circumference where the engaging members 31 are arranged, and are arranged at equal intervals on the same circumference of the lower surface of the R shaft 22 so as to surround the positive pressure supply port 32a. .
  • the positive pressure supply port 32 a and the negative pressure supply port 32 b are connected to a positive pressure source 156 and a negative pressure source 158 via a pressure supply passage inside the head holding body 21, respectively.
  • the head holding body 21 further includes first and second lever holding portions 41 and 51 shown in FIG. 5, which will be described later.
  • the suction head 120 is a member having a substantially columnar appearance, and has a plurality (here, twelve) of suction nozzles 13 below.
  • the suction nozzle 13 is integrated with a nozzle holder 12 extending in the vertical direction.
  • the nozzle holder 12 has a nozzle operation lever 39 in the vicinity of the upper end, and is urged upward by a spring 40 to be positioned at a predetermined fixed position (upper position).
  • the nozzle operation lever 39 exists from the first nozzle operation lever 39 (A) to the last (12th) nozzle operation lever 39 (L) in the order in which the suction nozzle 13 is operated. This order is counted from the first to the last counterclockwise when viewed from above in FIG.
  • the nozzle holder 12 is meshed with a small gear 34 disposed so as to be coaxial with the nozzle holder 12.
  • the small gears 34 are arranged at equal intervals on the same circumference (the center of this circle coincides with the central axis of the R axis 22).
  • the cylindrical gear 33 is disposed on the inner side of the circumference where the small gears 34 are arranged, has a gear on a side surface, and meshes with the small gears 34. Further, the cylindrical gear 33 is designed to have such a dimension that the R shaft 22 can be inserted.
  • a clutch member 62 that fits with the clutch member 61 (see FIG. 3) of the head holder 21 is provided.
  • the suction head 120 has a pressure operation lever 35 for switching whether to supply a negative pressure or an atmospheric pressure to the nozzle tip for each suction nozzle 13.
  • the pressure operation lever 35 is a switch that does not have a return function, and supplies a negative pressure to the nozzle tip when positioned upward, and supplies an atmospheric pressure to the nozzle tip when positioned downward.
  • the pressure operation lever 35 also exists from the first pressure operation lever 35 (A) to the last pressure operation lever 35 (L) in the order in which the suction nozzle 13 is operated.
  • the suction head 120 has a disk-shaped base 36 (see FIG. 4) inside the cylindrical gear 33.
  • the base 36 is integrated with a support member that supports the nozzle holder 12 and the small gear 34, but is not integrated with the cylindrical gear 33. For this reason, the cylindrical gear 33 is rotatable independently of the base 36.
  • An arcuate engagement hole 37 is formed in the base 36 so as to be engageable with the hook of the engagement member 31 of the R shaft 22.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the peripheral portion of the first and second lever clamping portions 41 and 51.
  • the lever holding portion 41 of the head holding body 21 is attached to a first Z-axis slider 46 that can move in the vertical direction along a first Z-axis guide rail 45 provided on the head holding body 21. ing.
  • the first Z-axis slider 46 is driven by a servo motor (not shown).
  • the first lever sandwiching portion 41 sandwiches the nozzle operation lever 39 from above and below by a horizontal portion 42 of the L-shaped member and a roller 44 attached to the upper side of the horizontal portion 42.
  • the roller 44 is rotatably supported on the horizontal shaft 43.
  • the head holding body 21 has a second lever clamping portion 51.
  • the second lever sandwiching portion 51 is located radially outside the first lever sandwiching portion 41 because the pressure manipulation lever 35 is located radially outside the nozzle manipulation lever 39. Similar to the first lever clamping portion 41, the second lever clamping portion 51 is attached to a second Z-axis slider 56 that can move in the vertical direction along the second Z-axis guide rail 55 provided on the head holder 21. .
  • the second Z-axis slider 56 is driven by a servo motor (not shown).
  • the second lever sandwiching portion 51 sandwiches the pressure operating lever 35 from above and below by a horizontal portion 52 of the L-shaped member and a roller 54 attached to the upper side of the horizontal portion 52.
  • FIG. 6 is a perspective view of the ejection head 220.
  • FIG. 7 is a perspective view of the valve mechanism 90 of the ejection head 220. 6 shows the state when the ejection head 220 is viewed from above, and shows the switching unit 73 in a transparent state. 6 is a perspective view of the first switching unit 74a. FIG. 7 illustrates the valve mechanism 90 in a state where the inside of the base 80 is transmitted.
  • the discharge head 220 is a member having a substantially cylindrical shape in appearance, and a valve mechanism 90 including a main body portion 70 provided therein with a storage chamber 71 for storing an adhesive, and a base 80 attached to the upper side of the main body portion 70.
  • the main body 70 has a shape in which a disk-shaped member and a cylindrical member having a smaller diameter than the disk-shaped member are connected coaxially, and includes one discharge nozzle 14 at the lower portion of the cylindrical member. Yes.
  • a lower main body opening 70 a communicating with the storage chamber 71 is formed at the lower portion of the main body 70.
  • the discharge nozzle 14 includes a discharge port 14a at the tip, and is attached to the main body 70 so that the main body lower opening 70a and the discharge port 14a communicate with each other.
  • the cylindrical gear 72 is a member similar to the cylindrical gear 33 of the suction head 120.
  • the cylindrical gear 72 is designed to have such a dimension that the R shaft 22 can be inserted.
  • a clutch member 63 is provided which can be engaged with the clutch member 61 (see FIG. 3) of the head holding body 21 and input an operation (rotation) from the clutch member 61.
  • the clutch member 63 is exposed on the connection surface (upper surface in FIG. 6) with the head holding body 21 when the ejection head 220 is held by the head holding body 21.
  • the cylindrical gear 72 is not integrated with the base 80 and can rotate independently of the base 80.
  • the switching unit 73 is a mechanism that switches the valve mechanism 90 as the cylindrical gear 72 rotates. As shown in the upper right of FIG. 6, the switching unit 73 includes a first switching unit 74a and a second switching unit 74b. The first and second switching units 74a and 74b move the first and second valve bodies 91 and 95 (see FIG. 7) of the valve mechanism 90 back and forth to switch between the first to third switching states. Mechanism.
  • the first switching state is a state in which a positive pressure can be supplied to the discharge nozzle 14 via the storage chamber 71
  • the second switching state is a state in which a negative pressure can be supplied to the discharge nozzle 14 via the storage chamber 71.
  • the storage chamber 71 and the discharge nozzle 14 can be opened to the atmosphere.
  • the first switching unit 74 a is connected to the first connection member 75 via a first connection member 75 fixed to the outer peripheral surface of the cylindrical gear 72 and a pin 79 a fixed to the first connection member 75.
  • the 2nd connection member 76 is provided with the plate-shaped part 76a connected and fixed to the 1st valve body 91 (refer FIG. 7) with the volt
  • the second switching unit 74 b is connected to the third connection member 77 via a third connection member 77 fixed to the outer peripheral surface of the cylindrical gear 72 and a pin 79 b fixed to the third connection member 77.
  • the fourth connecting member 78 includes a plate-like portion 78a connected and fixed to the second valve 92 (see FIG. 7) by a bolt 96d.
  • the switching unit 73 when the cylindrical gear 72 rotates, the first connecting member 75 and the third connecting member 77 move in the circumferential direction of the cylindrical gear 72 (see the white arrow in FIG. 6).
  • the second connecting member 76 and the fourth connecting member 78 are linearly moved in a predetermined direction (the front-rear direction in the present embodiment) accordingly (the solid arrows in FIG. 6).
  • the first valve body 91 and the second valve body 95 linearly move in the front-rear direction.
  • the switching unit 73 is a mechanism that converts the rotational motion of the cylindrical gear 72 into a linear motion and transmits the linear motion to the valve mechanism 90.
  • the holes into which the pins 79a and 79b are inserted have a shape that is longer in the radial direction than the circumferential direction (for example, a rounded rectangle whose long side is the radial direction) ).
  • the valve mechanism 90 includes a base 80 in which a plurality of holes are formed, a first valve body 91 that can move back and forth within the base 80, and a second valve that can move back and forth within the base 80. And a valve body 95.
  • the base 80 is a substantially disk-shaped member, and as shown in FIG. 6, a plurality (four in the present embodiment) of engagement holes 80a and first to fifth upper openings 81a to 81e are formed. Yes.
  • the engagement hole 80a has the same shape as the engagement hole 37 (see FIG. 4) of the suction head 120, and is formed so as to be engageable with the hook of the engagement member 31 of the R shaft 22.
  • the first upper opening 81a is formed to be able to communicate with the positive pressure supply port 32a (see FIG.
  • a first step portion 83a is formed on the front right side of the base 80, and a second step portion 83b is formed on the front left side.
  • the base 80 includes a ring-shaped passage 84 communicating with a vertical hole formed downward from each of the second to fifth upper openings 81b to 81e, and a first step portion 83a to the base 80.
  • a first through hole 85a that penetrates to the rear side surface in the front-rear direction and a second through hole 85b that penetrates from the second step portion 83b to the rear side surface of the base 80 in the front-rear direction are formed.
  • the base 80 communicates with the first lateral hole 86a communicating with the first upper opening 81a, the second lateral hole 86b communicating with the first lateral hole 86a and the first through hole 85a, and the first through hole 85a.
  • a first vertical hole 88a that communicates with the third horizontal hole 86c and opens on the lower surface of the base 80.
  • the base 80 communicates with the ring-shaped passage 84 and the second through hole 85b, the fourth lateral hole 86d, the fifth lateral hole 86e communicated with the second through hole 85b, and the fifth lateral hole 86e.
  • a second vertical hole 88 b is formed in the lower surface of the base 80.
  • a vertical hole is formed vertically from the first upper opening 81a to the first horizontal hole 86a so as to penetrate the center of the ring-shaped passage 84, and the first horizontal hole 86a and the ring-shaped passage 84 communicate with each other. Absent.
  • the first and second vertical holes 88 a and 88 b communicate with the upper portion of the storage chamber 71 through vertical holes (not shown) formed in the main body 70.
  • the openings formed on the side surfaces of the base 80 of the first to fifth lateral holes 86a to 86e are respectively sealed with a sealing material.
  • the first valve body 91 is a member that moves back and forth in the first through hole 85a and switches the presence / absence of communication between the second lateral hole 86b and the third lateral hole 86c.
  • the first valve body 91 is formed in a cylindrical rod-like body, and includes a first cylindrical portion 92a, a second cylindrical portion 92b, and a small-diameter cylindrical portion 92c formed narrower than these.
  • the front end of the first cylindrical portion 92a protrudes from the opening on the first stepped portion 83a side of the first through hole 85a, and the first cylindrical portion 92a and the second connecting member 76 are inserted by a bolt 92d inserted at the tip thereof.
  • the plate-like portion 76a is connected and fixed (see FIG.
  • the second cylindrical portion 92b has an air communication hole 94 formed by connecting a hole formed in the axial direction from the rear end and a hole formed from the side surface toward the central axis ( (See FIG. 8 described later).
  • the air communication hole 94 communicates the space on the outer periphery of the second cylindrical portion 92 b in the first through hole 85 a with the opening on the rear side of the base 80.
  • Each of the first cylindrical portion 92a and the second cylindrical portion 92b includes one or more O-rings (one in the first cylindrical portion 92a and three in the second cylindrical portion 92b in this embodiment), and the first valve A gap between the outer peripheral surface of the body 91 and the first through hole 85a is sealed.
  • the second valve body 95 is a member that moves back and forth in the second through hole 85b and switches the presence / absence of communication between the fourth lateral hole 86d and the fifth lateral hole 86e.
  • the second valve body 95 is formed in a cylindrical rod-like body, and includes a first cylindrical portion 96a, a second cylindrical portion 96b, and a small-diameter cylindrical portion 96c formed narrower than these.
  • the front end of the first cylindrical portion 96a protrudes from the opening on the second stepped portion 83b side of the second through hole 85b, and the first cylindrical portion 96a and the fourth connecting member 78 are inserted by a bolt 96d inserted at the tip thereof.
  • the plate-like portion 78a is connected and fixed (see FIG. 8 described later).
  • the second cylindrical portion 96b has an air communication hole 98 formed by connecting a hole formed in the axial direction from the rear end and a hole formed from the side surface toward the central axis ( (See FIG. 8 described later).
  • the air communication hole 98 communicates the space on the outer periphery of the second cylindrical portion 96 b in the first through hole 85 b with the opening on the rear side of the base 80.
  • Each of the first cylindrical part 96a and the second cylindrical part 96b includes one or more O-rings (one in the first cylindrical part 96a and three in the second cylindrical part 96b in the present embodiment), and the second valve The gap between the outer peripheral surface of the body 95 and the second through hole 85b is sealed.
  • FIGS. 8 to 10 are explanatory diagrams showing the states of the first switching state, the second switching state, and the third switching state, respectively.
  • 8 to 11 show the valve mechanism 90 viewed from above in the upper part, and the conceptual diagram showing the pressure supply state is shown in the lower part.
  • the first switching state is when the cylindrical gear 72 is rotated counterclockwise as viewed from above until the plate-like portion 76a of the second connecting member 76 contacts the first stepped portion 83a. It is a state.
  • the small-diameter cylindrical portion 92c of the first valve body 91 is positioned so as to straddle between the second lateral hole 86b and the third lateral hole 86c as viewed from above. Thereby, the 2nd horizontal hole 86b and the 3rd horizontal hole 86c are connected via the 1st through-hole 85a.
  • the first upper opening 81a, the first horizontal hole 86a, the second horizontal hole 86b, the first through hole 85a, the third horizontal hole 86c, and the first vertical hole 88a are communicated in this order. Accordingly, as shown in the lower part of FIG. 8, in a state where the discharge head 220 is held by the head holder 21, positive pressure can be supplied from the positive pressure source 156 to the storage chamber 71 and the discharge nozzle 14.
  • the second valve element 95 prevents the fourth horizontal hole 86d and the fifth horizontal hole 86e from communicating with each other through the second through hole 85b by the second cylindrical portion 96b. The pressure is not supplied to the fifth horizontal hole 86e (and the storage chamber 71 and the discharge nozzle 14 ahead).
  • the second switching state is when the cylindrical gear 72 is rotated clockwise as viewed from above until the plate-like portion 78a of the fourth connecting member 78 contacts the second stepped portion 83b. It is a state.
  • the small-diameter cylindrical portion 96c of the second valve element 95 is positioned so as to straddle between the fourth lateral hole 86d and the fifth lateral hole 86e as viewed from above. Thereby, the fourth lateral hole 86d and the fifth lateral hole 86e communicate with each other through the second through hole 85b.
  • the second to fifth upper openings 81b to 81e, the ring passage 84, the fourth horizontal hole 86d, the second through hole 85b, the fifth horizontal hole 86e, and the second vertical hole 88b are communicated in this order.
  • negative pressure can be supplied from the negative pressure source 158 to the storage chamber 71 and the discharge nozzle 14.
  • the first valve body 91 prevents the communication between the second horizontal hole 86b and the third horizontal hole 86c via the first through hole 85a by the second cylindrical portion 92b. The pressure is not supplied to the third horizontal hole 86c (and the storage chamber 71 and the discharge nozzle 14 ahead).
  • the rotational position of the cylindrical gear 72 is intermediate between the first switching state and the second switching state, and the plate-like shape of the second and fourth connecting members 76 and 78 is obtained.
  • This is a state when the portions 76a and 78a are separated from the first and second step portions 83a and 83b, respectively.
  • the opening formed in the outer peripheral surface of the air communication hole 94 of the first valve body 91 is located in the portion of the first through hole 85a that communicates with the third horizontal hole 86c.
  • the third horizontal hole 86c communicates with the opening on the rear side of the first through hole 85a via the atmosphere communication hole 94, and is in an atmosphere open state.
  • the fifth horizontal hole 86e communicates with the opening on the rear side of the second through hole 85b through the atmosphere communication hole 98 of the second valve body 95, and is in an atmosphere open state.
  • the storage chamber 71 and the discharge nozzle 14 communicating with the third horizontal hole 86c and the fifth horizontal hole 86e are opened to the atmosphere.
  • the O-rings of the first valve body 91 and the second valve body 95 leak gas (pressure) from the first and second through holes 85a and 85b to the outside. Is preventing.
  • the CPU 162 of the controller 160 of the component mounting apparatus 100 performs mounting processing using the head unit 110 based on the production job data received from the management computer 200.
  • the CPU 162 performs a plurality of adhesive application processes for applying a predetermined amount of adhesive on a predetermined position on the substrate 101 and a plurality of component mounting processes for mounting a component on the position where the adhesive on the substrate 101 is applied. Run once. Further, the CPU 162 performs automatic head replacement processing when the head holding body 21 does not hold a head suitable for processing at the start of the adhesive application processing or component mounting processing.
  • adhesive application processing, component mounting processing, and automatic head replacement processing will be described.
  • the CPU 162 first moves the head unit 110 to a predetermined position on the substrate 101 based on the production job data received from the management computer 200 with the head holder 21 holding the ejection head 220. .
  • the CPU 162 adjusts the rotational position of the cylindrical gear 72 during the movement of the ejection head 220 to place the valve mechanism 90 in the third switching state, and brings the storage chamber 71 and the ejection nozzle 14 into the atmosphere open state.
  • the CPU 162 rotates the cylindrical gear 72 by rotating the Q-axis gear 27 and the clutch member 61 by the Q-axis motor 28.
  • the viscosity of the adhesive stored in the storage chamber 71 is adjusted in advance so as not to be discharged from the discharge port 14a in the open state.
  • the CPU 162 rotates the cylindrical gear 72 counterclockwise by the Q-axis motor 28 to switch the valve mechanism 90 from the third switching state to the first switching state.
  • a positive pressure is supplied to the discharge nozzle 14, and the adhesive is discharged from the discharge port 14 a and applied onto the substrate 101.
  • the CPU 162 maintains the first switching state until a predetermined time determined based on the amount of adhesive applied, and then rotates the cylindrical gear 72 clockwise by the Q-axis motor 28 to bring the valve mechanism 90 into the second switching state. Switch.
  • a negative pressure is supplied to the discharge nozzle 14 and the discharge of the adhesive from the discharge port 14a is stopped.
  • the CPU 162 returns the valve mechanism 90 to the third switching state.
  • the CPU 162 rotates the cylindrical gear 72 by rotating the clutch member 61, thereby operating the valve mechanism 90 included in the discharge head 220 to switch the pressure. Note that the CPU 162 appropriately moves the ejection head 220 onto the nozzle stocker 134 at the start of the adhesive coating process so that the ejection head 220 attaches an appropriate type of ejection nozzle 14 based on the production job data, and the ejection nozzle 220 14 replacements are made.
  • the CPU 162 first causes the suction nozzle 13 of the suction head 120 to suck the component. Specifically, first, the CPU 162 moves the head unit 110 to move the first suction nozzle 13 to a predetermined position where the components of the component supply device 150 are sucked. Subsequently, the CPU 162 performs a process of sucking one or more parts. Specifically, the CPU 162 depresses the nozzle operation lever 39 by the first lever clamping portion 41 to lower the suction nozzle 13.
  • the CPU 162 positions the pressure operation lever 35 upward by the second lever clamping unit 51, supplies negative pressure from the negative pressure source 158 to the tip of the suction nozzle 13, and sucks the components. Thereafter, the pressing of the nozzle operation lever 39 is released and the suction nozzle 13 is raised. When the number of parts to be picked up is two or more, the same operation is repeated, and the parts are picked up by the plurality of suction nozzles 13. When the suction of the component is completed, the CPU 162 moves the suction nozzle 13 that sucks the component to be mounted to the position above the mounting position.
  • the CPU 162 depresses the nozzle operation lever 39 to lower the suction nozzle 13, releases the negative pressure of the suction nozzle 13, and mounts the component on the substrate 101. Thereafter, the suction nozzle 13 is raised.
  • the CPU 162 repeatedly performs the operation of mounting one component on the substrate 101 in this way, and sequentially picks up the components sucked by the suction nozzle 13 of the suction head 120. Install on top. When all the components sucked by the suction nozzle 13 are mounted on the substrate 101, the component mounting process is terminated.
  • the CPU 162 appropriately corrects the orientation (angle) of the component sucked by the suction nozzle 13 when mounting the component sucked by the suction nozzle 13. Specifically, the CPU 162 rotates the Q-axis gear 27 to rotate the clutch member 61, the clutch member 62, the small gear 34, and the nozzle holder 12, and rotates the suction nozzle 13. Further, the CPU 162 appropriately moves the suction head 120 onto the nozzle stocker 134 at the start of the component mounting process so that the suction head 120 mounts an appropriate type of suction nozzle 13 based on the production job data. Replace. The CPU 162 depresses the nozzle operation lever 39 to lower the suction nozzle 13 one by one, and replaces the suction nozzle 13.
  • the CPU 162 first moves the head unit 110 to a position immediately above the empty storage location 142 of the head storage area 140, lowers the head holder 21, and is currently held by the head holder 21. The head is stored in an empty storage location 142. Subsequently, the CPU 162 lifts the head holding body 21 after removing it from the engagement hole (engagement hole 37 or engagement hole 80a) of the head holding the hook of the engagement member 31. Next, the CPU 162 moves the head unit 110 directly above the storage location 142 for the head to be replaced.
  • the CPU 162 lowers the head holding body 21 to engage the engagement member 31 with the engagement hole (engagement hole 37 or engagement hole 80a) of the head to be replaced, and completes the automatic head replacement process. . Thereby, the head to be replaced is held by the head holder 21. In this way, the CPU 162 replaces the head held by the head holder 21 from one of the suction head 120 and the ejection head 220 to the other.
  • the component mounting apparatus 100 corresponds to the substrate working apparatus according to the present invention
  • the storage chamber 71 corresponds to the viscous fluid storage chamber
  • the discharge port 14a corresponds to the viscous fluid discharge port
  • the first switching state is the first. 1 state
  • the second switching state corresponds to the second state
  • the valve mechanism 90 corresponds to the valve mechanism
  • the cylindrical gear 72 corresponds to the operation input unit
  • the switching unit 73 corresponds to the switching unit
  • the head 220 corresponds to an ejection head
  • the head holder 21 corresponds to a head holding unit.
  • the suction head 120 corresponds to the mounting head
  • the clutch member 61 corresponds to the operation unit
  • the suction nozzle 13 corresponds to the component holder
  • the clutch member 62, the small gear 34, and the nozzle holder 12 correspond to the shaft rotation mechanism.
  • the first upper opening 81a corresponds to the first opening
  • the second to fifth upper openings 81b to 81e correspond to the second opening
  • the positive pressure supply port 32a corresponds to the first supply port
  • the port 32b corresponds to the second supply port
  • the third switching state corresponds to the third state.
  • the main body lower opening 70a corresponds to a viscous fluid discharge port.
  • the switching unit 73 switches the valve mechanism 90 based on the input operation.
  • the ejection head 220 can perform switching of whether or not to discharge the adhesive by the valve mechanism 90 included in the ejection head 220, that is, switching of pressure.
  • the valve mechanism 90 exists on the side of the head holding body 21 that holds the discharge head 220, the distance from the point where the pressure changes due to the switching of the valve mechanism 90 to the discharge port 14a is reduced. Thereby, the responsiveness of the ejection head 220 with respect to pressure switching can be further increased.
  • the head holder 21 holds the ejection head 220 and the suction head 120 in an exchangeable manner, and has a clutch member 61 that operates the held suction head 120.
  • the cylindrical gear 72 can input an operation from the clutch member 61. Therefore, the clutch member 61 of the head holder 21 can be shared for the operation of the suction head 120 and the operation of the ejection head 220.
  • the head holder 21 can have a simpler configuration than the case where the head holder 21 includes an operation unit for the ejection head 220 that is not used for the operation of the suction head 120.
  • the head holder 21 that is configured to hold the discharge head 220 in an exchangeable manner can be used to hold the discharge head 220 without providing a new operation unit.
  • the clutch member 61 of the head holding body 21 can operate the clutch member 62 that rotates the suction nozzle 13 of the suction head 120, the small gear 34, and the nozzle holder 12, and the cylindrical gear 72 of the discharge head 220. Is possible. In the ejection head 220, it is not necessary to rotate the suction nozzle 13 about the axis, so that it is meaningful to enable the cylindrical gear 72 of the ejection head 220 to be operated by the clutch member 61, which is an operation unit for rotating the suction nozzle 13 of the suction head 120. high.
  • the cylindrical gear 72 is exposed on the connection surface with the head holder 21 when the discharge head 220 is held by the head holder 21. Therefore, since the cylindrical gear 72 comes into contact with the head holding body 21 when the ejection head 220 is held by the head holding body 21, the cylindrical gear 72 can be easily operated from the head holding body 21 side.
  • the valve mechanism 90 has a first switching state in which the discharge port 14a communicates with the first upper opening 81a through the storage chamber 71 and does not communicate with the second to fifth upper openings 81b to 81e, and the discharge port 14a. Can be switched between the second switching state, which communicates with the second to fifth upper openings 81b to 81e through the storage chamber 71 and does not communicate with the first upper opening 81a. Therefore, the pressure can be switched by switching which of the first upper opening 81a and the second to fifth upper openings 81b to 81e communicates with the storage chamber 71.
  • valve mechanism 90 can be switched to the third switching state in which the discharge port 14a communicates with the atmosphere via the storage chamber 71, the discharge port 14a can be opened to the atmosphere.
  • the valve mechanism 90 remains in the second switching state during a period in which ejection is not performed, such as during movement of the ejection head 220, the adhesive inside the ejection nozzle 14 returns too much to the storage chamber 71 side.
  • the time from the switching to the first switching state until the adhesive is discharged increases.
  • the CPU 162 can further suppress such an increase in time until ejection.
  • valve mechanism 90 is switched using the clutch member 61 that rotates the suction nozzle 13, but the present invention is not limited thereto.
  • the valve mechanism 90 may be switched using the first lever clamping portion 41 or the second lever clamping portion 51.
  • a lever such as the pressure operation lever 75 or the nozzle operation lever 39 may be provided on the outer peripheral surface of the ejection head 220, and this lever may be switched by the lever holding portion.
  • the valve mechanism 90 includes the first valve body 91 and the second valve body 95.
  • the pressure may be switched by any mechanism.
  • the pressure may be switched not only by a mechanically operated mechanism but also by a valve mechanism that involves an electrical operation such as an electromagnetic valve.
  • the valve mechanism 90 only needs to be switchable between at least two states: a first state in which the adhesive at the discharge port 14a is pressed and discharged, and a second state in which the adhesive is not discharged.
  • the valve mechanism 90 may be switched to two states of a first switching state and a second switching state without switching to the third switching state.
  • valve mechanism 90 may be switchable between two states of the first switching state and the third switching state without switching to the second switching state.
  • the third switching state (the state in which the discharge port 14a communicates with the atmosphere via the storage chamber 71) corresponds to the “second state in which the adhesive is not discharged”.
  • valve mechanism 90 is switched by operating the cylindrical gear 72 by the rotation of the clutch member 61 by the head holding body 21.
  • the mechanical mechanism is not limited to the rotation of the clutch member 61.
  • the valve mechanism 90 may be switched.
  • the valve mechanism 90 may be switched by any operation such as switching the valve mechanism 90 by inputting an electrical operation from the head holding body 21 to the ejection head 220 without being limited to a mechanical operation.
  • the pressure applied to the discharge port 14a is switched by switching between supplying positive pressure to the storage chamber 71, supplying negative pressure, or opening the storage chamber 71 to the atmosphere.
  • the pressure applied to the discharge nozzle 14 by switching the presence or absence of communication of the adhesive passage between the storage chamber 71 and the discharge port 14a, such as between the storage chamber 71 and the main body lower opening 70a, by opening or closing a valve or the like. May be switched.
  • the suction nozzle 13 of the suction head 120 and the discharge nozzle 14 of the discharge head 220 are detachable, but at least one of the suction nozzle 13 and the discharge nozzle 14 is detachably attached to the head. Also good.
  • the ejection head 220 ejects an adhesive, but it is not limited to an adhesive and may be any one that ejects a viscous fluid such as solder or brazing material.
  • the suction nozzle 13 of the suction head 120 is configured to suck the component, the suction head 120 is not limited to the one that sucks the component if the suction head 120 holds the component.
  • the suction head 120 may be configured to hook and hold a component on the grip portion.
  • the component mounting apparatus 100 includes one suction head 120 and one ejection head 220.
  • the component mounting apparatus 100 should just be provided with the discharge head 220, and does not need to be provided with the adsorption head 120.
  • the head holding body 21 may be capable of holding the ejection head 220, and the head holding body 21 may not be able to hold the suction head 120.
  • the head holder 21 can hold only one of the suction head 120 and the discharge head 220, and the head holder that holds the other head. May be provided separately in the component mounting apparatus 100.
  • the present invention can be used in the technical field of a substrate working apparatus for applying a viscous fluid to a substrate or mounting components.

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Abstract

　部品装着装置１００において、吐出ヘッド２２０が、収容室７１を介して吐出口１４ａの接着剤を押圧して吐出させる第１切替状態と、接着剤を吐出させない第２切替状態と、吐出口１４ａが収容室７１を介して大気に連通する第３切替状態と、を切り替え可能なバルブ機構９０とを備えている。そして、円筒ギア７２がヘッド保持体からの操作を入力すると、入力した操作に基づいて切替部７３がバルブ機構９０を切り替える。また、ヘッド保持体のクラッチ部材を吸着ヘッドの操作と吐出ヘッド２２０の円筒ギア７２の操作とに共用する。さらに、ヘッド保持体のクラッチ部材は、吸着ヘッドの吸着ノズルを軸回転させる機構を操作可能である。さらにまた、円筒ギア７２は吐出ヘッド２２０がヘッド保持体に保持されるときのヘッド保持体との接続面に露出している。

Description

対基板作業装置及び吐出ヘッド
　本発明は、対基板作業装置及び吐出ヘッドに関する。
　従来、基板上に粘性流体の塗布や部品の装着を行う対基板作業装置が知られている。例えば特許文献１には、粘性流体を吐出するディスペンサヘッド（吐出ヘッド）と、部品を吸着して保持するノズルヘッドと、ディスペンサヘッド及びノズルヘッドを択一的に保持するヘッド保持体と、を備えた電子部品保持装置が記載されている。この電子部品保持装置では、ヘッド保持体の内部に通路が形成されている。この通路は、ヘッド保持体がディスペンサヘッドを保持したときに、ディスペンサヘッドの流体収容部や吐出ノズルと連通する。また、ヘッド保持体の内部の通路には、切換装置が接続されている。切換装置は、通路に正圧と負圧とを択一的に供給する。そして、ヘッド保持体がディスペンサヘッドを保持している状態で切換装置が通路に正圧を供給することで、通路を介してディスペンサヘッドの液体収容部に正圧が供給され、吐出ノズルから粘性流体が吐出される。
特開２００７－７３９８１号公報
　しかし、特許文献１では、切換装置からの圧力はヘッド保持体の内部の通路を介して吐出ヘッドに供給される。そのため、切換装置が動作したときなど、吐出ヘッドに供給する圧力が切り替わったときに、吐出ヘッド側の圧力応答が遅い場合があった。
　本発明はこのような課題に鑑みなされたものであり、圧力の切り替えに対する吐出ヘッドの応答性をより高めることを主目的とする。
　本発明の対基板作業装置は、
　基板上に粘性流体を塗布する対基板作業装置であって、
　前記粘性流体を収容する粘性流体収容室と、前記粘性流体収容室と連通する粘性流体吐出口と、前記粘性流体収容室を介して前記粘性流体吐出口の粘性流体を押圧して吐出させる第１状態と前記粘性流体を吐出させない第２状態とを切り替え可能なバルブ機構と、外部からの操作を入力する操作入力部と、前記操作入力部が入力した操作に基づいて前記バルブ機構を切り替える切替部と、を備えた吐出ヘッドと、
　前記吐出ヘッドを保持可能なヘッド保持手段と、
　を備えたものである。
　この本発明の対基板作業装置は、吐出ヘッドと、吐出ヘッドを保持可能なヘッド保持手段とを備えている。吐出ヘッドは、粘性流体収容室を介して前記粘性流体吐出口の粘性流体を押圧して吐出させる第１状態と、粘性流体を吐出させない第２状態とを切り替え可能なバルブ機構を備えている。そして、操作入力部が外部からの操作を入力すると、入力した操作に基づいて切替部がバルブ機構を切り替える。このように、本発明の吐出ヘッドは、吐出ヘッドが備えるバルブ機構で粘性流体を吐出させるかさせないかの切り替えすなわち圧力の切り替えを行うことができる。そのため、例えば吐出ヘッドを保持するヘッド保持手段側にバルブ機構が存在する場合と比べて、バルブ機構の切り替えにより圧力が変化するポイントから粘性流体吐出口までの距離が小さくなる。これにより、圧力の切り替えに対する吐出ヘッドの応答性をより高くすることができる。ここで、「外部からの操作」は、機械的な操作と電気的な操作とを含む。「粘性流体」は、接着剤，はんだ，ろう材などを含む。「粘性流体を吐出させない」は、粘性流体収容室を介して粘性流体吐出口に圧力を加えない（大気開放する）場合と、粘性流体収容室を介して粘性流体吐出口に負圧を加える場合とを含む。
　本発明の対基板作業装置において、前記ヘッド保持手段は、前記吐出ヘッドと部品の保持及び保持解除が可能な実装ヘッドとを交換可能に保持する手段であり、保持している前記実装ヘッドを操作する操作部を有し、前記操作入力部は、前記吐出ヘッドが前記ヘッド保持手段に保持された状態で前記操作部からの操作を入力可能としてもよい。こうすれば、ヘッド保持手段は、実装ヘッドの操作に用いる操作部を用いて吐出ヘッドのバルブ機構を切り替えることができる。すなわち、ヘッド保持手段の操作部を実装ヘッドの操作と吐出ヘッドの操作とに共用できる。これにより、例えばヘッド保持手段が実装ヘッドの操作には用いない吐出ヘッド用の操作部を備える場合と比べて、ヘッド保持手段をより簡易な構成とすることができる。また、実装ヘッドを交換可能に保持するように作られていたヘッド保持手段を、新たな操作部を設けることなく吐出ヘッドの保持にも用いることができる。なお、ヘッド保持手段が実装ヘッドを保持可能であればよく、この場合の対基板作業装置は実装ヘッドを備えていなくともよいし、実装ヘッドを備えていてもよい。
　この場合において、前記ヘッド保持手段の前記操作部は、前記ヘッド保持手段が前記実装ヘッドを保持した状態では、前記実装ヘッドが有する機構であって前記部品の保持及び保持解除が可能な複数の部品保持具のうち１以上を軸回転させる軸回転機構を操作可能であり、前記ヘッド保持手段が前記吐出ヘッドを保持した状態では、前記操作入力部を操作可能としてもよい。こうすれば、ヘッド保持手段は、実装ヘッドの軸回転機構の操作を行う操作部を用いて吐出ヘッドを操作することができる。
　本発明の対基板作業装置において、前記操作入力部は、前記吐出ヘッドが前記ヘッド保持手段に保持されるときの該ヘッド保持手段との接続面に露出していてもよい。操作入力部が接続面に露出することで、吐出ヘッドがヘッド保持手段に保持されたときに操作入力部がヘッド保持手段と接触するから、ヘッド保持手段側から操作入力部を操作しやすくなる。
　本発明の対基板作業装置において、前記吐出ヘッドは、前記ヘッド保持手段に前記吐出ヘッドが保持された状態で該ヘッド保持手段を介して正圧が供給される第１開口と、前記ヘッド保持手段に前記吐出ヘッドが保持された状態で該ヘッド保持手段を介して負圧が供給される第２開口と、を備えており、前記ヘッド保持手段は、該ヘッド保持手段が前記吐出ヘッドを保持した状態で前記第１開口に連通して正圧を供給する第１供給口と、該ヘッド保持手段が前記吐出ヘッドを保持した状態で前記第２開口に連通して負圧を供給する第２供給口と、を備えており、前記バルブ機構は、前記粘性流体吐出口が前記粘性流体収容室を介して前記第１開口に連通し且つ前記第２開口とは連通しない前記第１状態と、前記粘性流体吐出口が前記粘性流体収容室を介して前記第２開口に連通し且つ前記第１開口とは連通しない前記第２状態とを切り替え可能としてもよい。こうすれば、粘性流体収容室に第１開口と第２開口とのいずれを連通させるかを切り替えることで、圧力の切り替えを行うことができる。
　本発明の対基板作業装置において、前記バルブ機構は、前記第１状態と、前記第２状態と、前記粘性流体吐出口が前記粘性流体収容室を介して大気に連通する第３状態とを切り替え可能としてもよい。
　本発明の吐出ヘッドは、
　基板上に粘性流体を塗布する対基板作業装置が備えるヘッド保持手段により保持可能であり、前記粘性流体を吐出可能な吐出ヘッドであって、
　前記粘性流体を収容する粘性流体収容室と、
　前記粘性流体収容室と連通する粘性流体吐出口と、
　前記粘性流体収容室を介して前記粘性流体吐出口の粘性流体を押圧して吐出させる第１状態と前記粘性流体を吐出させない第２状態とを切り替え可能なバルブ機構と、
　外部からの操作を入力する操作入力部と、
　前記操作入力部が入力した操作に基づいて前記バルブ機構を切り替える切替部と、
　を備えたものである。
　この本発明の吐出ヘッドは、吐出ヘッドが備えるバルブ機構で粘性流体を吐出させるかさせないかの切り替えすなわち圧力の切り替えを行うことができる。そのため、例えば吐出ヘッドを保持するヘッド保持手段側にバルブ機構が存在する場合と比べて、バルブ機構の切り替えにより圧力が変化するポイントから粘性流体吐出口までの距離が小さくなる。これにより、圧力の切り替えに対する吐出ヘッドの応答性をより高くすることができる。なお、本発明の吐出ヘッドにおいて、上述したいずれかの対基板作業装置が備える吐出ヘッドの態様を採用してもよい。
部品装着システム１の全体構成を示す説明図。 ヘッドユニット１１０の斜視図。 ヘッド保持体２１を下から斜め上向きに見たときの斜視図。 吸着ヘッド１２０を上から斜め下向きに見たときの斜視図。 第１及び第２レバー挟持部４１，５１の周辺部分の断面図。 吐出ヘッド２２０の斜視図。 吐出ヘッド２２０のバルブ機構９０の斜視図。 第１切替状態の様子を示す説明図。 第２切替状態の様子を示す説明図。 第３切替状態の様子を示す説明図。
　本発明の好適な実施形態を図面を参照しながら以下に説明する。図１は部品装着システム１の全体構成を示す説明図である。なお、本実施形態において、左右方向（Ｘ軸）、前後方向（Ｙ軸）及び上下方向（Ｚ軸）は、図１に示した通りとする。部品装着システム１は、部品装着装置１００と、管理コンピュータ２００とを備えている。
　部品装着装置１００は、図１に示すように、基台１０２に搭載された基板搬送装置１０４と、ＸＹ平面を移動可能なヘッドユニット１１０と、ヘッドユニット１１０に着脱可能に取り付けられた吸着ヘッド１２０と、各種ヘッドを収納するためのヘッド収納エリア１４０と、基板１０１へ装着する部品を供給する部品供給装置１５０と、ヘッドユニット１１０に正圧及び負圧をそれぞれ供給する正圧源１５６及び負圧源１５８と、各種制御を実行するコントローラ１６０とを備えている。
　基板搬送装置１０４は、前後一対の支持板１０６，１０６にそれぞれ取り付けられたコンベアベルト１０８，１０８（図１では片方のみ図示）により基板１０１を左から右へと搬送する。
　ヘッドユニット１１０は、Ｘ軸スライダ１１２に取り付けられ、Ｘ軸スライダ１１２がガイドレール１１４，１１４に沿って左右方向に移動するのに伴って左右方向に移動し、Ｙ軸スライダ１１６がガイドレール１１８，１１８に沿って前後方向に移動するのに伴って前後方向に移動する。このため、ヘッドユニット１１０は、ＸＹ平面を移動可能である。各スライダ１１２，１１６は、それぞれ図示しないサーボモータによって駆動される。
　吸着ヘッド１２０は、ヘッドユニット１１０に着脱可能に取り付けられている。吸着ノズル１３は、圧力を利用して、ノズル先端に部品を吸着したり、ノズル先端に吸着している部品を放したりするものである。吸着ノズル１３は、吸着ヘッド１２０に１２本取り付けられている。
　ヘッド収納エリア１４０は、基台１０２の上面右側に設けられ、吸着ヘッド１２０，吐出ヘッド２２０を収納するための収納場所１４２を複数有している。前側の収納場所には吐出ヘッド２２０が収納されているが、後側の収納場所１４２は空いた状態である。
　吐出ヘッド２２０は、ヘッドユニット１１０に着脱可能である。吐出ヘッド２２０には、吐出ノズル１４が１本取り付けられている。吐出ノズル１４は、基板１０１に部品を接着するための接着剤をノズル先端の吐出口から吐出するものである。
　部品供給装置１５０は、部品装着装置１００の前方に取り付けられている。この部品供給装置１５０は、複数のスロットを有しており、各スロットにはフィーダ１５２が差し込み可能となっている。フィーダ１５２には、テープが巻き付けられたリール１５４が取り付けられている。テープの表面には、部品がテープの長手方向に沿って並んだ状態で保持されている。これらの部品は、テープの表面を覆うフィルムによって保護されている。こうしたテープは、図示しないスプロケット機構によって後方へ送り出され、フィルムが剥がされて部品が露出した状態で所定位置に配置される。所定位置とは、吸着ノズル１３がその部品を吸着可能な位置である。この所定位置で部品を吸着した吸着ノズル１３は、基板１０１上の定められた位置にその部品を実装することができる。
　正圧源１５６及び負圧源１５８は、例えば圧力ポンプや真空ポンプとして構成され、ヘッドユニット１１０と配管で接続されている。正源１５６が供給する正圧は、例えば吐出ノズル１４の接着剤を押圧して吐出させるための圧力として用いられる。負圧源１５８が供給する負圧は、例えば吸着ノズル１３に部品を吸着するための圧力として用いられる。また、負圧源１５８が供給する負圧は、吐出ノズル１４からの接着剤の吐出を止めるための圧力としても用いられる。
　その他に、部品装着装置１００は、ノズルストッカー１３４などを備えている。ノズルストッカー１３４は、複数種類の吸着ノズル１３や複数種類の吐出ノズル１４をストックするボックスであり、部品供給装置１５０の隣に配置されている。吸着ノズル１３は、部品を装着する基板の種類や部品の種類に適したものに交換される。吐出ノズル１４は、吐出する接着剤の量（基板１０１上に塗布する接着剤の径）に適した径のものに交換される。
　コントローラ１６０は、各種制御を実行するＣＰＵ１６２、制御プログラム等を記憶するＲＯＭ１６４、作業領域として利用されるＲＡＭ１６６及び大容量のデータを記憶するＨＤＤ１６８を備え、これらは図示しないバスによって接続されている。コントローラ１６０は、基板搬送装置１０４、Ｘ軸スライダ１１２、Ｙ軸スライダ１１６及びヘッドユニット１１０と信号のやり取りが可能なように接続されている。
　管理コンピュータ２００は、基板１０１の生産ジョブを管理するコンピュータであり、オペレータが作成した生産ジョブデータを記憶している。生産ジョブデータには、部品装着装置１００においてどのスロット位置のフィーダからどの部品をどのような順番でどの基板種の基板１０１へ実装するかや、そのように実装した基板１０１を何枚作製するかなどが定められている。また、生産ジョブデータには、実装する各部品を基板１０１に接着するために基板１０１上のどの位置にどのような順番でどれだけの量の接着剤を塗布するかなども定められている。管理コンピュータ２００は、部品装着装置１００のコントローラ１６０と双方向通信可能に接続されている。
　ここで、ヘッドユニット１１０について、詳細に説明する。図２は、カバーを外した状態のヘッドユニット１１０の斜視図であり、詳しくは、ヘッド保持体２１のＲ軸２２に対して吸着ヘッド１２０を下げた状態の斜視図である。図３は、ヘッド保持体２１を下から斜め上向きに見たときの斜視図、図４は、吸着ヘッド１２０を上から斜め下向きに見たときの斜視図である。
　ヘッドユニット１１０は、ヘッド保持体２１と吸着ヘッド１２０とを備えている。
　ヘッド保持体２１は、Ｘ軸スライダ１１２（図１参照）に、図示しない昇降機構によって昇降可能に取り付けられている。このヘッド保持体２１は、上部にリング状の２つのギア、Ｒ軸ギア２４及びＱ軸ギア２７を有し、下部に円柱状のＲ軸２２を有している。Ｒ軸ギア２４及びＱ軸ギア２７は、互いに独立して回転するように取り付けられている。Ｒ軸ギア２４は、Ｒ軸モータ２５によって回転駆動され、Ｒ軸２２と一体的に回転する。Ｑ軸ギア２７は、Ｑ軸モータ２８によって回転駆動され、リング状のクラッチ部材６１（図３参照）と一体的に回転する。Ｒ軸２２は、下端にフックを有する係合部材３１を複数個（ここでは４つ）有している。フックの向きは、Ｒ軸２２が正回転する方向と同じになるように揃えられている。これらの係合部材３１は、Ｒ軸２２の下面の同一円周上（この円の中心はＲ軸２２の中心軸と一致する）に等間隔に配置されている。また、各係合部材３１は、図示しないエアシリンダによって上下動可能となっている。Ｒ軸２２には、下端に１個の正圧供給口３２ａと４個（図３では３個のみ図示）の負圧供給口３２ｂとが形成されている。正圧供給口３２ａは、Ｒ軸２２の中心軸と一致する位置に形成されている。負圧供給口３２ｂは、係合部材３１の並んだ円周よりも内側に配置され、正圧供給口３２ａを囲むようにＲ軸２２の下面の同一円周上に等間隔に配置されている。正圧供給口３２ａ及び負圧供給口３２ｂは、ヘッド保持体２１内部の圧力供給通路を介してそれぞれ正圧源１５６及び負圧源１５８と接続されている。ヘッド保持体２１は、更に、図５に示す第１及び第２レバー挟持部４１，５１を有しているが、これらについては後述する。
　吸着ヘッド１２０は、外観が略円柱状の部材であり、下方に複数（ここでは１２本）の吸着ノズル１３を有している。吸着ノズル１３は、上下方向に延びるノズルホルダ１２と一体化されている。ノズルホルダ１２は、上端付近にノズル操作レバー３９を有し、スプリング４０によって上方へ付勢されて所定の定位置（上方位置）に位置決めされている。ノズル操作レバー３９は、吸着ノズル１３を操作する順番にしたがって１番目のノズル操作レバー３９（Ａ）から最終番目（１２番目）のノズル操作レバー３９（Ｌ）まで存在する。この順番は、図２の上方から見たとき、１番目から反時計回りに最終番目まで数えるものとする。ノズル操作レバー３９が押下されると、スプリング４０の弾性力に抗してノズルホルダ１２及び吸着ノズル１３が下降し、ノズル操作レバー３９の押下が解除されると、ノズルホルダ１２及び吸着ノズル１３はスプリング４０の弾性力によって定位置に戻る。ノズルホルダ１２は、ノズルホルダ１２と同軸となるように配置された小ギア３４と噛み合わされている。各小ギア３４は、同一円周上（この円の中心はＲ軸２２の中心軸と一致する）に等間隔となるように配置されている。円筒ギア３３は、小ギア３４の並んだ円周よりも内側に配置され、側面にギアを有し、各小ギア３４と噛み合わされている。また、円筒ギア３３は、Ｒ軸２２を挿入できるような寸法に設計されている。この円筒ギア３３の上端には、ヘッド保持体２１のクラッチ部材６１（図３参照）と嵌まり合うクラッチ部材６２が設けられている。
　また、吸着ヘッド１２０は、吸着ノズル１３ごとに、ノズル先端に負圧を供給するか大気圧を供給するかを切り替える圧力操作レバー３５を有している。圧力操作レバー３５は、復帰機能を有さないスイッチであり、上方に位置決めされるとノズル先端に負圧を供給し、下方に位置決めされるとノズル先端に大気圧を供給する。圧力操作レバー３５も、吸着ノズル１３を操作する順番にしたがって１番目の圧力操作レバー３５（Ａ）から最終番目の圧力操作レバー３５（Ｌ）まで存在する。
　更に、吸着ヘッド１２０は、円筒ギア３３の内側に円盤状のベース３６（図４参照）を有している。ベース３６は、ノズルホルダ１２や小ギア３４を支持するサポート部材と一体化されているが、円筒ギア３３とは一体化されていない。このため、円筒ギア３３は、ベース３６とは独立して回転可能となっている。ベース３６には、円弧状の係合孔３７がＲ軸２２の係合部材３１のフックと係合可能なように形成されている。
　ここで、再びヘッド保持体２１の説明に戻る。図５は、第１及び第２レバー挟持部４１，５１の周辺部分の断面図である。図５に示すように、ヘッド保持体２１が有するレバー挟持部４１は、ヘッド保持体２１に設けられた第１Ｚ軸ガイドレール４５に沿って上下方向に移動可能な第１Ｚ軸スライダ４６に取り付けられている。なお、第１Ｚ軸スライダ４６は、図示しないサーボモータによって駆動される。第１レバー挟持部４１は、Ｌ字部材の水平部分４２とその水平部分４２の上側に取り付けられたローラ４４とによってノズル操作レバー３９を上下から挟み込むものである。ローラ４４は、水平軸４３に回転可能に支持されている。
　ヘッド保持体２１は、第２レバー挟持部５１を有している。第２レバー挟持部５１は、圧力操作レバー３５がノズル操作レバー３９よりも半径方向外側に位置している関係上、第１レバー挟持部４１よりも半径方向外側に位置している。第２レバー挟持部５１は、第１レバー挟持部４１と同様、ヘッド保持体２１に設けられた第２Ｚ軸ガイドレール５５に沿って上下方向に移動可能な第２Ｚ軸スライダ５６に取り付けられている。なお、第２Ｚ軸スライダ５６は、図示しないサーボモータによって駆動される。第２レバー挟持部５１は、Ｌ字部材の水平部分５２とその水平部分５２の上側に取り付けられたローラ５４とによって圧力操作レバー３５を上下から挟み込むものである。
　次に、吐出ヘッド２２０について説明する。図６は吐出ヘッド２２０の斜視図である。図７は、吐出ヘッド２２０のバルブ機構９０の斜視図である。なお、図６の右上の図は、吐出ヘッド２２０を上から見たときの様子を示しており、透過した状態で切替部７３を図示している。また、図６の右下の図は、第１切替部７４ａの斜視図である。図７は、ベース８０の内部を透過した状態でバルブ機構９０を図示している。吐出ヘッド２２０は、外観が略円柱状の部材であり、接着剤を収容する収容室７１を内部に備えた本体部７０と、本体部７０の上側に取り付けられたベース８０を備えたバルブ機構９０と、ベース８０の上側に取り付けられた円筒ギア７２と、円筒ギア７２の外周に取り付けられた切替部７３と、を備えている。本体部７０は、円板状の部材と円盤状の部材よりも小径の円筒状の部材とを同軸に接続した形状をしており、円筒状の部材の下部に吐出ノズル１４を１本備えている。本体部７０の下部には収容室７１に連通する本体下開口７０ａが形成されている。吐出ノズル１４は、先端に吐出口１４ａを備えており、本体下開口７０ａと吐出口１４ａとが連通するように本体部７０に取り付けられている。
　円筒ギア７２は、吸着ヘッド１２０の円筒ギア３３と同様の部材である。円筒ギア７２は、Ｒ軸２２を挿入できるような寸法に設計されている。この円筒ギア７２の上端には、ヘッド保持体２１のクラッチ部材６１（図３参照）と嵌まり合いクラッチ部材６１からの操作（回転）を入力可能なクラッチ部材６３が設けられている。このクラッチ部材６３は、吐出ヘッド２２０がヘッド保持体２１に保持されるときのヘッド保持体２１との接続面（図６の上面）に露出している。円筒ギア７２は、ベース８０とは一体化されておらず、ベース８０とは独立して回転可能である。
　切替部７３は、円筒ギア７２の回転に伴ってバルブ機構９０を切り替える機構である。図６の右上に示すように、切替部７３は、第１切替部７４ａと、第２切替部７４ｂと、を備えている。第１，第２切替部７４ａ，７４ｂは、それぞれバルブ機構９０の第１，第２弁体９１，９５（図７参照）を前後に移動させて、第１～第３切替状態の切替を行う機構である。なお、第１切替状態は収容室７１を介して吐出ノズル１４に正圧を供給可能な状態であり、第２切替状態は収容室７１を介して吐出ノズル１４に負圧を供給可能な状態であり、第３切替状態は収容室７１及び吐出ノズル１４を大気開放可能な状態である。第１切替部７４ａは、円筒ギア７２の外周面に固定された第１接続部材７５と、第１接続部材７５に固定されたピン７９ａを介して第１接続部材７５に接続された第２接続部材７６と、を備えている。第２接続部材７６は、ボルト９２ｄにより第１弁体９１（図７参照）に接続固定された板状部７６ａを備えている。第２切替部７４ｂは、円筒ギア７２の外周面に固定された第３接続部材７７と、第３接続部材７７に固定されたピン７９ｂを介して第３接続部材７７に接続された第４接続部材７８と、を備えている。第４接続部材７８は、ボルト９６ｄにより第２バルブ９２（図７参照）に接続固定された板状部７８ａを備えている。
　この切替部７３では、円筒ギア７２が軸回転すると第１接続部材７５，第３接続部材７７がそれぞれ円筒ギア７２の周方向に移動する（図６の白抜き矢印参照）。第１接続部材７５，第３接続部材７７が移動すると、それに伴って第２接続部材７６，第４接続部材７８が所定方向（本実施形態では前後方向）に直線移動し（図６の塗りつぶし矢印参照）、第１弁体９１，第２弁体９５が前後方向に直線移動する。このように、切替部７３は、円筒ギア７２の回転運動を直線運動に変換してバルブ機構９０に伝達する機構である。なお、第２接続部材７６及び第４接続部材７８のうちピン７９ａ，ピン７９ｂが挿入される孔は、周方向よりも径方向が長い形状（例えば長辺が径方向である角丸の長方形など）に形成されている。これにより、第１接続部材７５，第３接続部材７７が円筒ギア７２の周方向に移動したときに、第２接続部材７６，第４接続部材７８の直線移動が妨げられないようになっている。
　バルブ機構９０は、図７に示すように、複数の孔が形成されたベース８０と、ベース８０内を前後に移動可能な第１弁体９１と、ベース８０内を前後に移動可能な第２弁体９５と、を備えている。
　ベース８０は、略円盤状の部材であり、図６に示すように、複数（本実施形態では４個）の係合孔８０ａと、第１～第５上開口８１ａ～８１ｅとが形成されている。係合孔８０ａは、吸着ヘッド１２０の係合孔３７（図４参照）と同じ形状をしており、Ｒ軸２２の係合部材３１のフックと係合可能なように形成されている。第１上開口８１ａは、吐出ヘッド２２０がヘッド保持体２１に保持された状態においてヘッド保持体２１の正圧供給口３２ａ（図３参照）と連通可能に形成され、第２～第５上開口８１ｂ～８１ｅは、吐出ヘッド２２０がヘッド保持体２１に保持された状態においてヘッド保持体２１の負圧供給口３２ｂ（図３参照）と１対１に連通可能なように形成されている。また、ベース８０の前方右側には第１段差部８３ａが形成され、前方左側には第２段差部８３ｂが形成されている。
　ベース８０には、図７に示すように、第２～第５上開口８１ｂ～８１ｅの各々から下方向に形成された縦穴と連通するリング状通路８４と、第１段差部８３ａからベース８０の後側の側面までを前後方向に貫通する第１貫通孔８５ａと、第２段差部８３ｂからベース８０の後側の側面までを前後方向に貫通する第２貫通孔８５ｂと、が形成されている。また、ベース８０には、第１上開口８１ａと連通する第１横孔８６ａと、第１横孔８６ａ及び第１貫通孔８５ａと連通する第２横孔８６ｂと、第１貫通孔８５ａと連通する第３横孔８６ｃと、第３横孔８６ｃと連通しベース８０の下面に開口する第１縦孔８８ａと、が形成されている。また、ベース８０には、リング状通路８４及び第２貫通孔８５ｂと連通する第４横孔８６ｄと、第２貫通孔８５ｂと連通する第５横孔８６ｅと、第５横孔８６ｅと連通しベース８０の下面に開口する第２縦孔８８ｂと、が形成されている。なお、第１上開口８１ａから第１横孔８６ａまではリング状通路８４の中心を貫通するように上下に縦穴が形成されており、第１横孔８６ａとリング状通路８４とは連通していない。第１，第２縦孔８８ａ，８８ｂは、本体部７０に形成された図示しない縦孔を介して収容室７１の上部に連通している。第１～第５横孔８６ａ～８６ｅのベース８０側面に形成された開口は、それぞれ封止材で封止されている。
　第１弁体９１は、第１貫通孔８５ａ内を前後に移動して第２横孔８６ｂと第３横孔８６ｃとの連通の有無などを切り替える部材である。この第１弁体９１は、円柱の棒状体に形成され、第１円柱部９２ａと、第２円柱部９２ｂと、これらより細く形成された小径円柱部９２ｃと、を備えている。第１円柱部９２ａの前端は、第１貫通孔８５ａのうち第１段差部８３ａ側の開口から飛び出しており、その先端に挿入されたボルト９２ｄにより、第１円柱部９２ａと第２接続部材７６の板状部７６ａとが接続固定されている（後述する図８参照）。また、第２円柱部９２ｂには、後端から軸方向に形成された孔と、側面から中心軸に向かって形成された孔と、を接続してなる大気連通孔９４が形成されている（後述する図８参照）。大気連通孔９４は、第１貫通孔８５ａのうち第２円柱部９２ｂの外周の空間とベース８０の後側の開口とを連通している。第１円柱部９２ａ及び第２円柱部９２ｂは、それぞれ１以上（本実施形態では第１円柱部９２ａに１個、第２円柱部９２ｂに３個）のＯリングを備えており、第１弁体９１の外周面と第１貫通孔８５ａとの隙間を封止している。
　第２弁体９５は、第２貫通孔８５ｂ内を前後に移動して第４横孔８６ｄと第５横孔８６ｅとの連通の有無などを切り替える部材である。この第２弁体９５は、円柱の棒状体に形成され、第１円柱部９６ａと、第２円柱部９６ｂと、これらより細く形成された小径円柱部９６ｃと、を備えている。第１円柱部９６ａの前端は、第２貫通孔８５ｂのうち第２段差部８３ｂ側の開口から飛び出しており、その先端に挿入されたボルト９６ｄにより、第１円柱部９６ａと第４接続部材７８の板状部７８ａとが接続固定されている（後述する図８参照）。また、第２円柱部９６ｂには、後端から軸方向に形成された孔と、側面から中心軸に向かって形成された孔と、を接続してなる大気連通孔９８が形成されている（後述する図８参照）。大気連通孔９８は、第１貫通孔８５ｂのうち第２円柱部９６ｂの外周の空間とベース８０の後側の開口とを連通している。第１円柱部９６ａ及び第２円柱部９６ｂは、それぞれ１以上（本実施形態では第１円柱部９６ａに１個、第２円柱部９６ｂに３個）のＯリングを備えており、第２弁体９５の外周面と第２貫通孔８５ｂとの隙間を封止している。
　ここで、バルブ機構９０の動作について説明する。バルブ機構９０は、円筒ギア７２及び切替部７３によって第１弁体９１，第２弁体９５が前後に移動することで、第１～第３切替状態に切り替え可能である。図８～図１０は、それぞれ第１切替状態，第２切替状態，第３切替状態の様子を示す説明図である。なお、図８～１１では、バルブ機構９０を上方から見た様子を上段に図示し、圧力の供給状態を示す概念図を下段に図示している。
　図８の上段に示すように、第１切替状態は、第２接続部材７６の板状部７６ａが第１段差部８３ａに接触するまで円筒ギア７２を上から見て左回りに回転させたときの状態である。この第１切替状態では、第１弁体９１の小径円柱部９２ｃが、上方から見て第２横孔８６ｂと第３横孔８６ｃとの間に跨るように位置する。これにより、第２横孔８６ｂと第３横孔８６ｃとが、第１貫通孔８５ａを介して連通する。そのため、第１上開口８１ａと，第１横孔８６ａ，第２横孔８６ｂ，第１貫通孔８５ａ，第３横孔８６ｃ，第１縦孔８８ａがこの順に連通した状態になる。これにより、図８の下段に示すように吐出ヘッド２２０がヘッド保持体２１に保持された状態では、正圧源１５６から収容室７１及び吐出ノズル１４に正圧を供給可能になる。一方、第２弁体９５は、第２円柱部９６ｂにより第４横孔８６ｄと第５横孔８６ｅとの第２貫通孔８５ｂを介した連通を阻止しており、負圧源１５８からの負圧は第５横孔８６ｅ（及びその先の収容室７１，吐出ノズル１４）には供給されない。
　図９の上段に示すように、第２切替状態は、第４接続部材７８の板状部７８ａが第２段差部８３ｂに接触するまで円筒ギア７２を上から見て右回りに回転させたときの状態である。この第２切替状態では、第２弁体９５の小径円柱部９６ｃが、上方から見て第４横孔８６ｄと第５横孔８６ｅとの間に跨るように位置する。これにより、第４横孔８６ｄと第５横孔８６ｅとが、第２貫通孔８５ｂを介して連通する。第２～第５上開口８１ｂ～８１ｅ，リング状通路８４，第４横孔８６ｄ，第２貫通孔８５ｂ，第５横孔８６ｅ，第２縦孔８８ｂがこの順に連通した状態になる。これにより、図９の下段に示すように吐出ヘッド２２０がヘッド保持体２１に保持された状態では、負圧源１５８から収容室７１及び吐出ノズル１４に負圧を供給可能になる。一方、第１弁体９１は、第２円柱部９２ｂにより第２横孔８６ｂと第３横孔８６ｃとの第１貫通孔８５ａを介した連通を阻止しており、正圧源１５６からの正圧は第３横孔８６ｃ（及びその先の収容室７１，吐出ノズル１４）には供給されない。
　図１０の上段に示すように、第３切替状態は、円筒ギア７２の回転位置が第１切替状態と第２切替状態との中間にあり、第２，第４接続部材７６，７８の板状部７６ａ，７８ａがそれぞれ第１，第２段差部８３ａ，８３ｂと離間したときの状態である。この第３切替状態では、第１弁体９１の大気連通孔９４のうち外周面に形成された開口が、第１貫通孔８５ａのうち第３横孔８６ｃと連通する部分に位置する。これにより、第３横孔８６ｃは、大気連通孔９４を介して第１貫通孔８５ａの後側の開口と連通し、大気開放状態になる。同様に、第５横孔８６ｅは、第２弁体９５の大気連通孔９８を介して第２貫通孔８５ｂの後側の開口と連通し、大気開放状態になる。これにより、図１０の下段に示すように、第３横孔８６ｃ及び第５横孔８６ｅに連通する収容室７１や吐出ノズル１４が大気開放状態になる。
　なお、第１～第３切替状態のいずれにおいても、第１弁体９１や第２弁体９５のＯリングが、第１，第２貫通孔８５ａ，８５ｂから外部への気体（圧力）の漏れを防いでいる。
　こうして構成された部品装着システム１では、部品装着装置１００のコントローラ１６０のＣＰＵ１６２が、管理コンピュータ２００から受信した生産ジョブデータに基づいてヘッドユニット１１０を利用して実装処理を行う。ＣＰＵ１６２は、実装処理において、基板１０１上の所定位置に所定の塗布量の接着剤を塗布する接着剤塗布処理や、基板１０１の接着剤を塗布した位置へ部品を装着する部品装着処理をそれぞれ複数回実行する。また、ＣＰＵ１６２は、接着剤塗布処理や部品装着処理の開始時に、処理に適したヘッドをヘッド保持体２１が保持していないときには、ヘッド自動交換処理を行う。以下、接着剤塗布処理，部品装着処理，ヘッド自動交換処理についてそれぞれ説明する。
　接着剤塗布処理では、ＣＰＵ１６２は、まず、ヘッド保持体２１が吐出ヘッド２２０を保持した状態で、管理コンピュータ２００から受信した生産ジョブデータに基づいてヘッドユニット１１０を基板１０１上の所定位置に移動させる。なお、ＣＰＵ１６２は、吐出ヘッド２２０の移動中は円筒ギア７２の回転位置を調整してバルブ機構９０を第３切替状態とし、収容室７１や吐出ノズル１４を大気開放状態とする。なお、ＣＰＵ１６２は、Ｑ軸モータ２８によってＱ軸ギア２７及びクラッチ部材６１を回転させることで、円筒ギア７２を回転させる。また、収容室７１に収容されている接着剤は、大気開放状態において吐出口１４ａから吐出しないように、予め粘度が調整されている。続いて、ＣＰＵ１６２は、Ｑ軸モータ２８により円筒ギア７２を左回転させてバルブ機構９０を第３切替状態から第１切替状態に切り替える。これにより、吐出ノズル１４に正圧が供給されて吐出口１４ａから接着剤が吐出され、基板１０１上に塗布される。ＣＰＵ１６２は、接着剤の塗布量に基づいて定まる所定時間が経過するまで、第１切替状態を維持した後、Ｑ軸モータ２８により円筒ギア７２を右回転させてバルブ機構９０を第２切替状態に切り替える。これにより、吐出ノズル１４に負圧が供給されて吐出口１４ａからの接着剤の吐出が停止する。その後、ＣＰＵ１６２は、バルブ機構９０を第３切替状態に戻す。このように、ＣＰＵ１６２は、クラッチ部材６１を回転させることで円筒ギア７２を回転させ、これにより吐出ヘッド２２０が備えるバルブ機構９０を操作して、圧力の切り替えを行うのである。なお、ＣＰＵ１６２は、生産ジョブデータに基づいて適切な種類の吐出ノズル１４を吐出ヘッド２２０が装着するよう、接着剤塗布処理の開始時に適宜ノズルストッカー１３４上に吐出ヘッド２２０を移動させて、吐出ノズル１４の取り替えを行う。
　続いて、部品装着処理について説明する。部品装着処理では、ＣＰＵ１６２は、まず、吸着ヘッド１２０の吸着ノズル１３に部品を吸着させる。具体的には、まず、ＣＰＵ１６２は、ヘッドユニット１１０を移動させて、部品供給装置１５０の部品を吸着する所定位置に１番目の吸着ノズル１３を移動させる。続いて、ＣＰＵ１６２は、１以上の部品を吸着する処理を行う。具体的には、ＣＰＵ１６２は、第１レバー挟持部４１によりノズル操作レバー３９を押下して吸着ノズル１３を下降させる。その状態で、ＣＰＵ１６２は、第２レバー挟持部５１により圧力操作レバー３５を上方に位置決めして、吸着ノズル１３の先端に負圧源１５８からの負圧を供給し部品を吸着させる。その後、ノズル操作レバー３９の押下を解除して吸着ノズル１３を上昇させる。吸着する部品が２以上のときには、これと同様の動作を繰り返して、複数の吸着ノズル１３に部品を吸着させる。部品の吸着が完了すると、ＣＰＵ１６２は、装着対象の部品を吸着した吸着ノズル１３を部品を装着位置の上方に移動させる。そして、ＣＰＵ１６２は、ノズル操作レバー３９を押下して吸着ノズル１３を下降させ、吸着ノズル１３の負圧を解除して部品を基板１０１上に装着させる。その後、吸着ノズル１３を上昇させる。部品を吸着した吸着ノズル１３が複数あるときには、ＣＰＵ１６２は、このように１つの部品を基板１０１上に装着する動作を繰り返し行って、吸着ヘッド１２０の吸着ノズル１３に吸着された部品を順次基板１０１上に装着する。吸着ノズル１３に吸着された部品を全て基板１０１上に装着すると、部品装着処理を終了する。なお、ＣＰＵ１６２は、吸着ノズル１３に吸着された部品を装着する際に、吸着ノズル１３に吸着された部品の向き（角度）を適宜修正する。具体的には、ＣＰＵ１６２は、Ｑ軸ギア２７を回転させることでクラッチ部材６１、クラッチ部材６２、小ギア３４及びノズルホルダ１２を回転させ、吸着ノズル１３を軸回転させる。また、ＣＰＵ１６２は、生産ジョブデータに基づいて適切な種類の吸着ノズル１３を吸着ヘッド１２０が装着するよう、部品装着処理の開始時に適宜ノズルストッカー１３４上に吸着ヘッド１２０を移動させて、吸着ノズル１３の取り替えを行う。ＣＰＵ１６２は、ノズル操作レバー３９を押下して吸着ノズル１３を１つずつ降下させて、吸着ノズル１３の取り替えを行う。
　次に、ヘッド自動交換処理について説明する。ヘッド自動交換処理では、ＣＰＵ１６２は、まず、ヘッドユニット１１０をヘッド収納エリア１４０の空いている収納場所１４２の直上に移動し、ヘッド保持体２１を下降させて現在ヘッド保持体２１が保持しているヘッドを空いている収納場所１４２に収納する。続いて、ＣＰＵ１６２は、係合部材３１のフックを保持しているヘッドの係合孔（係合孔３７又は係合孔８０ａ）から外した後、ヘッド保持体２１を上昇させる。次に、ＣＰＵ１６２は、交換対象のヘッドの収納場所１４２の直上にヘッドユニット１１０を移動する。そして、ＣＰＵ１６２は、ヘッド保持体２１を下降させて、係合部材３１を交換対象のヘッドの係合孔（係合孔３７又は係合孔８０ａ）に係合させ、ヘッド自動交換処理を終了する。これにより、ヘッド保持体２１で交換対象のヘッドが保持される。ＣＰＵ１６２は、このようにして、ＣＰＵ１６２は、ヘッド保持体２１が保持するヘッドを吸着ヘッド１２０と吐出ヘッド２２０との一方から他方へ交換する。
　ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の部品装着装置１００が本発明の対基板作業装置に相当し、収容室７１が粘性流体収容室に相当し、吐出口１４ａが粘性流体吐出口に相当し、第１切替状態が第１状態に相当し、第２切替状態が第２状態に相当し、バルブ機構９０がバルブ機構に相当し、円筒ギア７２が操作入力部に相当し、切替部７３が切替部に相当し、吐出ヘッド２２０が吐出ヘッドに相当し、ヘッド保持体２１がヘッド保持手段に相当する。また、吸着ヘッド１２０が実装ヘッドに相当し、クラッチ部材６１が操作部に相当し、吸着ノズル１３が部品保持具に相当し、クラッチ部材６２，小ギア３４及びノズルホルダ１２が軸回転機構に相当し、第１上開口８１ａが第１開口に相当し、第２～第５上開口８１ｂ～８１ｅが第２開口に相当し、正圧供給口３２ａが第１供給口に相当し、負圧供給口３２ｂが第２供給口に相当し、第３切替状態が第３状態に相当する。なお、吐出ヘッド２２０が吐出ノズル１４を装着していない状態では、本体下開口７０ａが粘性流体吐出口に相当する。
　以上説明した本実施形態の部品装着装置１００では、吐出ヘッド２２０が、収容室７１を介して吐出口１４ａの接着剤を押圧して吐出させる第１切替状態と接着剤を吐出させない第２切替状態とを切り替え可能なバルブ機構９０を備えている。そして、円筒ギア７２が外部からの操作を入力すると、入力した操作に基づいて切替部７３がバルブ機構９０を切り替える。このように、吐出ヘッド２２０は、吐出ヘッド２２０が備えるバルブ機構９０で接着剤を吐出させるかさせないかの切り替えすなわち圧力の切り替えを行うことができる。そのため、例えば吐出ヘッド２２０を保持するヘッド保持体２１側にバルブ機構９０が存在する場合と比べて、バルブ機構９０の切り替えにより圧力が変化するポイントから吐出口１４ａまでの距離が小さくなる。これにより、圧力の切り替えに対する吐出ヘッド２２０の応答性をより高くすることができる。
　また、ヘッド保持体２１は、吐出ヘッド２２０と吸着ヘッド１２０とを交換可能に保持するものであり、保持している吸着ヘッド１２０を操作するクラッチ部材６１を有している。そして、円筒ギア７２は、クラッチ部材６１からの操作を入力可能である。そのため、ヘッド保持体２１のクラッチ部材６１を吸着ヘッド１２０の操作と吐出ヘッド２２０の操作とに共用できる。これにより、例えばヘッド保持体２１が吸着ヘッド１２０の操作には用いない吐出ヘッド２２０用の操作部を備える場合と比べて、ヘッド保持体２１をより簡易な構成とすることができる。また、吐出ヘッド２２０を交換可能に保持するように作られていたヘッド保持体２１を、新たな操作部を設けることなく吐出ヘッド２２０の保持にも用いることができる。
　さらに、ヘッド保持体２１のクラッチ部材６１は、吸着ヘッド１２０の吸着ノズル１３を軸回転させるクラッチ部材６２，小ギア３４及びノズルホルダ１２を操作可能であると共に、吐出ヘッド２２０の円筒ギア７２を操作可能である。吐出ヘッド２２０では、吸着ノズル１３を軸回転させる必要はないため、吸着ヘッド１２０の吸着ノズル１３を軸回転させる操作部であるクラッチ部材６１で吐出ヘッド２２０の円筒ギア７２を操作可能にする意義が高い。
　さらにまた、円筒ギア７２は吐出ヘッド２２０がヘッド保持体２１に保持されるときのヘッド保持体２１との接続面に露出している。そのため、吐出ヘッド２２０がヘッド保持体２１に保持されたときに円筒ギア７２がヘッド保持体２１と接触するから、ヘッド保持体２１側から円筒ギア７２を操作しやすくなる。
　そしてまた、バルブ機構９０は、吐出口１４ａが収容室７１を介して第１上開口８１ａに連通し且つ第２～第５上開口８１ｂ～８１ｅとは連通しない第１切替状態と、吐出口１４ａが収容室７１を介して第２～第５上開口８１ｂ～８１ｅに連通し且つ第１上開口８１ａとは連通しない第２切替状態とを切り替え可能である。そのため、収容室７１に第１上開口８１ａと第２～第５上開口８１ｂ～８１ｅとのいずれを連通させるかを切り替えることで、圧力の切り替えを行うことができる。さらに、バルブ機構９０は、吐出口１４ａが収容室７１を介して大気に連通する第３切替状態にも切り替え可能であるため、吐出口１４ａを大気開放状態にすることができる。ここで、例えば吐出ヘッド２２０の移動中など吐出を行わない期間にバルブ機構９０が第２切替状態のままであると、吐出ノズル１４内部の接着剤が収容室７１側に戻りすぎてしまい次に第１切替状態に切り替えてから接着剤が吐出されるまでの時間が増大する場合がある。ＣＰＵ１６２が、吐出ヘッド２２０の移動中にはバルブ機構９０を第３切替状態としておくことで、このような吐出までの時間の増大をより抑制できる。
　なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
　例えば、上述した実施形態では、吸着ノズル１３を軸回転させるクラッチ部材６１を用いてバルブ機構９０を切り替えるものとしたが、これに限られない。例えば、第１レバー挟持部４１や第２レバー挟持部５１を用いてバルブ機構９０を切り替えるものとしてもよい。この場合、円筒ギア７２の代わりに圧力操作レバー７５やノズル操作レバー３９のようなレバーを吐出ヘッド２２０の外周面に備えるものとし、このレバーをレバー挟持部で切り替えてもよい。
　上述した実施形態において、バルブ機構９０は第１弁体９１及び第２弁体９５を備えるものとしたが、これに限らずどのような機構で圧力の切り替えを行ってもよい。例えば、機械的に動作する機構に限らず、電磁弁など電気的な動作を伴うバルブ機構で圧力の切換を行ってもよい。また、バルブ機構９０は吐出口１４ａの接着剤を押圧して吐出させる第１状態と接着剤を吐出させない第２状態との少なくとも２つの状態に切り替え可能であればよい。例えば、バルブ機構９０は、第３切替状態には切り替わらず第１切替状態と第２切替状態との２つの状態に切り替え可能としてもよい。あるいは、バルブ機構９０は、第２切替状態には切り替わらず第１切替状態と第３切替状態との２つの状態に切り替え可能としてもよい。この場合、第３切替状態（吐出口１４ａが収容室７１を介して大気に連通する状態）が、「接着剤を吐出させない第２状態」に相当する。
　上述した実施形態では、ヘッド保持体２１でのクラッチ部材６１の回転により円筒ギア７２を操作してバルブ機構９０を切り替えるものとしたが、クラッチ部材６１の回転に限らずどのような機械的操作でバルブ機構９０を切り替えてもよい。また、機械的操作に限らず、ヘッド保持体２１から電気的操作を吐出ヘッド２２０に入力してバルブ機構９０を切り替えるなど、どのような操作でバルブ機構９０を切り替えてもよい。
　上述した実施形態では、収容室７１に正圧を供給するか負圧を供給するか収容室７１を大気開放するかを切り替えることで、吐出口１４ａにかかる圧力を切り替えるものとしたが、これに限られない。例えば、収容室７１と本体下開口７０ａとの間など、収容室７１と吐出口１４ａとの間の接着剤の通路の連通の有無をバルブの開閉などで切り替えることにより、吐出ノズル１４にかかる圧力を切り替えてもよい。
　上述した実施形態において、吸着ヘッド１２０の吸着ノズル１３や吐出ヘッド２２０の吐出ノズル１４は着脱可能としたが、吸着ノズル１３と吐出ノズル１４との少なくとも一方が、ヘッドに着脱不能に取り付けられていてもよい。
　上述した実施形態において、吐出ヘッド２２０は接着剤を吐出するものとしたが、接着剤に限らずはんだやろう材などの粘性流体を吐出するものであればよい。また、吸着ヘッド１２０の吸着ノズル１３が部品を吸着するものとしたが、吸着ヘッド１２０が部品を保持するものとすれば、吸着するものに限定されない。例えば、吸着ヘッド１２０は、把持部に部品を引っかけて保持するものとしてもよい。また、部品装着装置１００は、吸着ヘッド１２０と吐出ヘッド２２０とを１つずつ備えるものとしたが、複数種類（例えばノズルの装着可能数が異なる）の吸着ヘッド１２０や吐出ヘッド２２０があってもよい。また、部品装着装置１００は、吐出ヘッド２２０を備えていればよく、吸着ヘッド１２０を備えていなくともよい。この場合、ヘッド保持体２１は吐出ヘッド２２０を保持可能であればよく、ヘッド保持体２１は吸着ヘッド１２０を保持可能でなくともよい。また、部品装着装置１００が吸着ヘッド１２０と吐出ヘッド２２０とを備える場合において、ヘッド保持体２１が吸着ヘッド１２０と吐出ヘッド２２０との一方のみを保持可能とし、他方のヘッドを保持するヘッド保持体を部品装着装置１００が別に備えていてもよい。
　本発明は、基板に粘性流体を塗布したり部品を実装したりするする対基板作業装置の技術分野に利用可能である。
１　部品装着システム、１２　ノズルホルダ、１３　吸着ノズル、１４　吐出ノズル、１４ａ　吐出口、２１　ヘッド保持体、２２　Ｒ軸、２４　Ｒ軸ギア、２５　Ｒ軸モータ、２７　Ｑ軸ギア、２８　Ｑ軸モータ、３１　係合部材、３２ａ　正圧供給口、３２ｂ　負圧供給口、３３　円筒ギア、３４　小ギア、３５　圧力操作レバー、３６　ベース、３７　係合孔、３９　ノズル操作レバー、４０　スプリング、４１　第１レバー挟持部、４２　水平部分、４３　水平軸、４４　ローラ、４５　第１Ｚ軸ガイドレール、４６　第１Ｚ軸スライダ、５１　第２レバー挟持部、５２　水平部分、５４　ローラ、５５　第２Ｚ軸ガイドレール、５６　第２Ｚ軸スライダ、６１　クラッチ部材、６２　クラッチ部材、６３　クラッチ部材７０　本体部、７０ａ　本体下開口、７１　収容室、７２　円筒ギア、７３　切替部、７４ａ，７４ｂ　第１，第２切替部、７５　第１接続部材、７６　第２接続部材、７６ａ　板状部、７７　第３接続部材、７８　第４接続部材、７８ａ　板状部、７９ａ，７９ｂ　ピンボルト、８０　ベース、８１ａ～８１ｅ　第１～第５上開口、８３ａ，８３ｂ　第１，第２段差部、８４　リング状通路、８５ａ，８５ｂ　第１，第２貫通孔、８６ａ～８６ｅ　第１～第５横孔、８８ａ，８８ｂ　第１，第２縦孔、９０　バルブ機構、９１　第１弁体、９２ａ　第１円柱部、９２ｂ　第２円柱部、９２ｃ　小径円柱部、９２ｄ　ボルト、９４　大気連通孔、９５　第２弁体、９６ａ　第１円柱部、９６ｂ　第２円柱部、９６ｃ　小径円柱部、９６ｄ　ボルト、９８　大気連通孔、１００　部品装着装置、１０１　基板、１０２　基台、１０４　基板搬送装置、１０６　支持板、１０８　コンベアベルト、１１０　ヘッドユニット、１１２　Ｘ軸スライダ、１１４　ガイドレール、１１６　Ｙ軸スライダ、１１８　ガイドレール、１２０　吸着ヘッド、１３４　ノズルストッカー、１４０　ヘッド収納エリア、１４２　収納場所、１５０　リールユニット、１５２　フィーダ、１５４　リール、１５６　正圧源、１５８　負圧源、１６０　コントローラ、１６２　ＣＰＵ、１６４　ＲＯＭ、１６６　ＲＡＭ、１６８　ＨＤＤ、２００　管理コンピュータ、２２０　吐出ヘッド。

Claims (7)

  1. 　基板上に粘性流体を塗布する対基板作業装置あって、
    　前記粘性流体を収容する粘性流体収容室と、前記粘性流体収容室と連通する粘性流体吐出口と、前記粘性流体収容室を介して前記粘性流体吐出口の粘性流体を押圧して吐出させる第１状態と前記粘性流体を吐出させない第２状態とを切り替え可能なバルブ機構と、外部からの操作を入力する操作入力部と、前記操作入力部が入力した操作に基づいて前記バルブ機構を切り替える切替部と、を備えた吐出ヘッドと、
    　前記吐出ヘッドを保持可能なヘッド保持手段と、
    　を備えた対基板作業装置。
  2. 　前記ヘッド保持手段は、前記吐出ヘッドと部品の保持及び保持解除が可能な実装ヘッドとを交換可能に保持する手段であり、保持している前記実装ヘッドを操作する操作部を有し、
    　前記操作入力部は、前記吐出ヘッドが前記ヘッド保持手段に保持された状態で前記操作部からの操作を入力可能である、
    　請求項１に記載の対基板作業装置。
  3. 　前記ヘッド保持手段の前記操作部は、前記ヘッド保持手段が前記実装ヘッドを保持した状態では、前記実装ヘッドが有する機構であって前記部品の保持及び保持解除が可能な複数の部品保持具のうち１以上を軸回転させる軸回転機構を操作可能であり、前記ヘッド保持手段が前記吐出ヘッドを保持した状態では、前記操作入力部を操作可能である、
    　請求項２に記載の対基板作業装置。
  4. 　前記操作入力部は、前記吐出ヘッドが前記ヘッド保持手段に保持されるときの該ヘッド保持手段との接続面に露出している、
    　請求項１～３のいずれか１項に記載の対基板作業装置。
  5. 　前記吐出ヘッドは、前記ヘッド保持手段に前記吐出ヘッドが保持された状態で該ヘッド保持手段を介して正圧が供給される第１開口と、前記ヘッド保持手段に前記吐出ヘッドが保持された状態で該ヘッド保持手段を介して負圧が供給される第２開口と、を備えており、
    　前記ヘッド保持手段は、該ヘッド保持手段が前記吐出ヘッドを保持した状態で前記第１開口に連通して正圧を供給する第１供給口と、該ヘッド保持手段が前記吐出ヘッドを保持した状態で前記第２開口に連通して負圧を供給する第２供給口と、を備えており、
    　前記バルブ機構は、前記粘性流体吐出口が前記粘性流体収容室を介して前記第１開口に連通し且つ前記第２開口とは連通しない前記第１状態と、前記粘性流体吐出口が前記粘性流体収容室を介して前記第２開口に連通し且つ前記第１開口とは連通しない前記第２状態とを切り替え可能である、
    　請求項１～４のいずれか１項に記載の対基板作業装置。
  6. 　前記バルブ機構は、前記第１状態と、前記第２状態と、前記粘性流体吐出口が前記粘性流体収容室を介して大気に連通する第３状態とを切り替え可能である、
    　請求項１～５のいずれか１項に記載の対基板作業装置。
  7. 　基板上に粘性流体を塗布する対基板作業装置が備えるヘッド保持手段により保持可能であり、前記粘性流体を吐出可能な吐出ヘッドであって、
    　前記粘性流体を収容する粘性流体収容室と、
    　前記粘性流体収容室と連通する粘性流体吐出口と、
    　前記粘性流体収容室を介して前記粘性流体吐出口の粘性流体を押圧して吐出させる第１状態と前記粘性流体を吐出させない第２状態とを切り替え可能なバルブ機構と、
    　外部からの操作を入力する操作入力部と、
    　前記操作入力部が入力した操作に基づいて前記バルブ機構を切り替える切替部と、
    　を備えた吐出ヘッド。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6742498B2 (ja) 2017-02-20 2020-08-19 株式会社Ｆｕｊｉ 部品実装システムおよび部品実装方法
CN108966626B (zh) * 2018-07-05 2019-04-30 四川中光防雷科技股份有限公司 一种基于工装的电子元件组装工艺
CN110124947B (zh) * 2019-06-25 2021-08-06 芜湖市祥和包装有限公司 一种高分子不干胶标签用点胶装置
CN111054591A (zh) * 2019-12-31 2020-04-24 江苏匠准精密组件有限公司 一种点胶铆合机及其控制方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1099756A (ja) * 1996-10-01 1998-04-21 Fuji Mach Mfg Co Ltd 接着剤ディスペンサ
JP2003110289A (ja) * 2001-09-28 2003-04-11 Fuji Mach Mfg Co Ltd 電気部品装着機
JP2007073981A (ja) 2006-10-31 2007-03-22 Fuji Mach Mfg Co Ltd 電子部品保持装置，電子部品装着システムおよび電子部品装着方法
JP2013038358A (ja) * 2011-08-11 2013-02-21 Fuji Mach Mfg Co Ltd 複重型ロータリヘッドによる複数部品同時取出方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4572103A (en) * 1984-12-20 1986-02-25 Engel Harold J Solder paste dispenser for SMD circuit boards
JPH03217072A (ja) * 1990-01-23 1991-09-24 Tdk Corp 電子部品のプリント基板への搭載方法
JPH0828565B2 (ja) * 1990-09-06 1996-03-21 ティーディーケイ株式会社 電子部品のプリント基板への搭載方法
JP3382533B2 (ja) * 1998-03-31 2003-03-04 松下電器産業株式会社 粘性流体塗布装置及び方法
JP2002314293A (ja) * 2001-04-12 2002-10-25 Suzuki Co Ltd ヘッド取付装置
JP4014476B2 (ja) * 2002-09-13 2007-11-28 松下電器産業株式会社 部品実装装置及び部品実装方法
WO2005009627A2 (en) * 2003-07-14 2005-02-03 Nordson Corporation Apparatus and method for dispensing discrete amounts of viscous material
JP4869729B2 (ja) * 2006-02-16 2012-02-08 富士機械製造株式会社 高粘性流体塗布システム
US20090107398A1 (en) * 2007-10-31 2009-04-30 Nordson Corporation Fluid dispensers and methods for dispensing viscous fluids with improved edge definition
WO2012014467A1 (ja) * 2010-07-30 2012-02-02 パナソニック株式会社 部品実装装置および部品実装方法
JP2012129434A (ja) * 2010-12-17 2012-07-05 Fuji Mach Mfg Co Ltd 対基板作業機
CN102638964B (zh) * 2011-02-08 2016-12-14 富士机械制造株式会社 多层型回转头、电路元件安装机及它们的使用方法
JP5746603B2 (ja) * 2011-11-30 2015-07-08 ヤマハ発動機株式会社 基板作業装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1099756A (ja) * 1996-10-01 1998-04-21 Fuji Mach Mfg Co Ltd 接着剤ディスペンサ
JP2003110289A (ja) * 2001-09-28 2003-04-11 Fuji Mach Mfg Co Ltd 電気部品装着機
JP2007073981A (ja) 2006-10-31 2007-03-22 Fuji Mach Mfg Co Ltd 電子部品保持装置，電子部品装着システムおよび電子部品装着方法
JP2013038358A (ja) * 2011-08-11 2013-02-21 Fuji Mach Mfg Co Ltd 複重型ロータリヘッドによる複数部品同時取出方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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