JP5954945B2 - 複重型ロータリヘッドによる複数部品同時取出方法 - Google Patents

Description

本発明は、互いに同軸に重ねられた複数の回転体の各々に、複数ずつ保持させた複数の吸着ノズルの各々により、電子回路部品をフィーダから複数同時に取り出させる方法に関するものである。

下記の特許文献１には、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動させられる移動部材上に４つの装着ヘッドがＹ軸方向に一列に並んで設けられた電子回路部品装着機が記載されている。これら装着ヘッドはそれぞれ、昇降部材上に鉛直軸線まわりに回転可能に設けられた回転体を備え、回転体の回転中心線を中心とする一円周上の等角度を隔てた５箇所にそれぞれ、吸着ノズルが軸方向に移動可能に保持されており、５つの吸着ノズルのうちの１つが吸着位置において他の吸着ノズルより下方へ突出させられた状態で回転体が下降させられ、電子回路部品がフィーダから取り出される。４つの装着ヘッドは、回転体の回転中心線が、部品供給装置の複数のフィーダの配設ピッチと等しい距離を隔てた状態で移動部材に搭載されており、複数の装着ヘッドのそれぞれ吸着位置に位置させられた吸着ノズルにより同時に電子回路部品を吸着して取り出すことができる。また、回転体の回転により吸着ノズルのＸ軸方向あるいはＹ軸方向の位置が補正され、電子回路部品との間の位置ずれが低減させられて吸着が精度良く行われる。

下記の特許文献２には、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動させられる移動部材上に２つの装着ヘッドがＸ軸方向に並んで設けられた電子回路部品装着機が記載されている。これら装着ヘッドはそれぞれ、ヘッド本体に回転体が鉛直軸線まわりに回転可能かつ昇降可能に設けられるとともに、回転体により、その回転中心線を中心とする一円周上に８つの吸着ノズルが軸方向に移動可能に保持され、各回転中心線がフィーダの配設ピッチの整数倍の距離を隔てた状態で移動部材に搭載されている。８つの吸着ノズルは、隣接する２つずつが、フィーダの配設ピッチに等しい間隔になるとともに、２つの装着ヘッド間において、２個ずつ、合計４個の吸着ノズルの配設ピッチがフィーダの配設ピッチの整数倍となるように配設されている。また、ヘッド本体には６つのノズル昇降装置が設けられ、２つの装着ヘッドの各２つずつ、合計４つの吸着ノズルが一列に並んだ状態で一斉に下降させられ、４個の電子回路部品が同時に吸着される。

特開平９−２７０５９５号公報 特開２００５−２８６１７１公報

しかしながら、特許文献１および２に記載の電子回路部品装着機には、未だ改善の余地がある。例えば、これら電子回路部品装着機においては、移動部材に複数の装着ヘッドを並べて設けることにより吸着ノズルの総数を多くしつつ、個々の装着ヘッドにおける吸着ノズルの数を少なくし、装着ヘッドの大形化を回避し得るのであるが、装着機全体としては大形になってしまうというように改善の余地があるのである。
本発明は、以上の事情の下に為されたものであり、複数の吸着ノズルを備えて電子回路部品を装着するロータリヘッドおよびそのロータリヘッドによる電子回路部品の取出方法の改善を課題とする。

上記課題を解決するために、本発明の複数部品同時取出方法は、
ヘッド本体と、
互いに同軸に重ねられ、共通の回転軸線のまわりに相対回転可能に前記ヘッド本体に保持された複数の回転体と、
それら複数の回転体の各々をそれぞれ回転させる複数の回転体駆動装置と、
前記複数の回転体の各々に、前記回転軸線に平行に、かつ各回転体に対して軸方向に相対移動可能に保持され、それぞれ一端部において吸着ノズルを保持する複数ずつのノズル保持軸と、
前記複数の回転体に保持された前記ノズル保持軸の１つを軸方向に進退させ得るとともに、複数のノズル保持軸を同時にも進退させ得る保持軸進退装置と
を含み、Ｘ軸方向移動装置およびＹ軸方向移動装置により水平方向に移動させられる複重型ロータリヘッドによって、電子回路部品を取り出す方法であって、
前記複数のノズル保持軸の少なくとも一部のものに保持させた複数の吸着ノズルに、部品供給装置の複数の供給部からそれぞれ１個ずつの電子回路部品を同時に吸着して取り出させる工程を含むことを特徴とする。
複数の回転体の各ノズル保持軸の数は同じでもよく、異なってもよい。
そして、本発明の複数部品同時取出方法は、上記特徴に加え、上記複重型ロータリヘッドとして、前記複数の回転体のすべてが設定回転位置に位置する状態で、それら回転体の各々に１つずつ設定される複数の同心円の一群である同心円群と、その同心円群の中心線からの距離が互いに等しくかつその中心線まわりの位相を互いに異にする複数の直線の各々との複数組であって、それら複数組の各々における各直線と同心円群との複数の交点の互いに隣接するもの同士の間隔が一定であり、かつ、他の組と前記交点を共有しない複数組の各々に属する前記複数の交点の各々を通り、かつ、前記中心線に平行な複数の嵌合穴の複数ずつが前記複数の回転体の各々に形成され、それら嵌合穴の各々に前記複数のノズル保持軸の各々が軸方向に進退可能に嵌合されたものを使用し、複数部品同時取出方法を、前記複数の直線の１つと交差するすべてのノズル保持軸のうちの２つ以上に保持させた吸着ノズルに同時に電子回路部品を取り出させる工程を含むことを特徴とする。

なお、前記課題は、複数部品同時取出方法を、前記複重型ロータリヘッドとして、前記複数の回転体のすべてが設定回転位置に位置する状態で、それら回転体の各々に１つずつ設定される複数の同心円の一群である同心円群と、その同心円群の中心線からの距離が互いに等しくかつその中心線まわりの位相を互いに異にする複数の直線の各々との複数組であって、それら複数組の各々における直線と同心円群との複数の交点の互いに隣接するもの同士の間隔が一定であり、かつ、他の組と前記交点を共有しない複数組の各々に属する前記複数の交点の各々を通り、かつ、前記中心線に平行な複数の嵌合穴の複数ずつが前記複数の回転体の各々に形成され、それら嵌合穴の各々に前記複数のノズル保持軸の各々が軸方向に進退可能に嵌合されたものを使用し、それら複数の回転体のすべてが上記設定回転位置である第１設定回転位置にある状態から、最も内周側の回転体である最内周側回転体に対して、その最内周側回転体より外周側に位置する１つ以上の回転体である外周側回転体を、その外周側回転体に保持されているノズル保持軸の互いに隣接する２つの、前記共通の回転軸線のまわりの中心角に等しい角度回転させて、その外周側回転体に保持されている前記ノズル保持軸の軸線が、前記最内周側回転体に保持された２つのノズル保持軸の軸線と直交する直線と直交する状態の第２設定回転位置にある状態とし、その第２設定回転位置にある複重型ロータリヘッドの１直線と軸線が直交する３つ以上のノズル保持軸に保持させた前記吸着ノズルに同時に部品を取り出させる工程を含むものとすることにより解決させてもよい。
また、前記課題は、複数部品同時取出方法を、それぞれ複数種類の電子回路部品を包含する第１部品群と第２部品群とであって、それら第１部品群と第２部品群とに属する電子回路部品の種類の一部が互いに重複する２群の電子回路部品をそれぞれ吸着して保持可能な第１種吸着ノズルと第２種吸着ノズルとの両方を、前記複数の回転体の各々に複数ずつ保持されたすべてのノズル保持軸のうちの１つ以上ずつにそれぞれ保持させ、その保持させた第１種吸着ノズルに前記互いに重複する種類の電子回路部品を保持させる工程と、その保持させた第２種吸着ノズルに前記互いに重複する種類の電子回路部品を保持させる工程とを含むものとすることにより解決させてもよい。

また、前記課題は、複数部品同時取出方法を、前記複重型ロータリヘッドとして前記回転体を２つ有するものを使用し、前記複数の直線の各々と交差する２つずつ、合計４つのノズル保持軸のうちの一部のみのものに保持させた複数の前記吸着ノズルに部品を同時に取り出させる工程を含むものとすることによって解決させてもよい。
上記「４つのノズル保持軸のうちの一部」として２つまたは３つのノズル保持軸に保持させた吸着ノズルに同時に電子回路部品を取り出させることができ、それら２つのノズル保持軸、または３つのノズル保持軸のうちの２つは、一直線上において互いに隣接するものでも、互いに隣接しないものでもよい。

上記課題解決手段によれば、電子回路部品装着機の大型化を回避しつつ、電子回路部品のフィーダからの取出しを能率良く行うことが可能となる。
なお、各課題解決手段によって得られる特有の効果は、後に段落〔００１２〕に記載するとおりである。

発明の態様

以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある。請求可能発明は、特許請求の範囲に記載された発明である本願発明の下位概念発明や、本願発明の上位概念あるいは別概念の発明を含むことがある。）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、請求可能発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載，実施形態の記載，従来技術，技術常識等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。

なお、以下の各項において、（４１）項と（４２）項とを合わせたものが概ね請求項１に相当し、（４３）項が請求項２に、（５２）項が請求項３に、（５３）項が請求項４に、（５４）項が請求項５に、（６０）項が請求項６に、それぞれ相当する。

（１）複数の吸着ノズルの各々により電子回路部品を吸着保持して回路基材に装着する多ノズル装着ヘッドであって、
ヘッド本体と、
複数の同心円の一群である同心円群と、その同心円群の中心線からの距離が互いに等しくかつその中心線まわりの位相を互いに異にする複数の直線の各々との複数の組であって、それら複数組の各々における直線と同心円群との複数の交点の互いに隣接するもの同士の間隔が一定であり、かつ、他の組と前記交点を共有しない複数組の各々に属する前記複数の交点の各々を通り、かつ、前記中心線に平行な複数の嵌合穴を有し、前記中心線のまわりに回転可能に前記ヘッド本体に保持されたロータと、
そのロータを前記中心線のまわりに回転させるロータ回転駆動装置と、
前記複数の嵌合穴の各々に軸方向に相対移動可能に嵌合され、それぞれ一端部に前記吸着ノズルを保持する複数のノズル保持軸と、
それら複数のノズル保持軸のうち前記複数の直線の各々に対応するものである複数の作用保持軸を前記ロータに対して軸方向に進退させる保持軸進退装置と
を含むことを特徴とするロータリ装着ヘッド。
複数の直線の同心円群の中心線からの距離は、０でもよく、０より大きい距離でもよい
。距離が０の場合、複数の直線は同心円群の中心線において交差することとなる。
保持軸進退装置は、ノズル保持軸の前進および後退の両方を強制的に行う装置としてもよく、一方を強制的に行い、他方が行われることを許容する装置としてもよい。
ロータは、１つの回転体から成るものとすることも、(3)項に記載されているように、
同心状に設けられて相対回転可能な複数の回転体を含むものとすることもできる。前者の場合、全部のノズル保持軸は、同心円群の中心線まわりにおいて互いに相対移動不能であり、相対位置は不変であるが、直線と同心円群との複数の交点の互いに隣接するもの同士の間隔を、部品供給装置の複数の供給部のピッチと一致させることにより、同じ直線上に位置する少なくとも３つ（同心円群に属する同心円が２つで、直線が直径が小さい方の円と接する場合）のノズル保持軸を作用保持軸とし、同時に進退させて少なくとも３つの電子回路部品の部品供給装置からの受取りが同時に行われるようにすることができる。そして、ロータの回転により、複数の直線上にそれぞれ位置する少なくとも３つのノズル保持軸を順次作用保持軸とし、一斉に進退させ、電子回路部品の受取りが同時に行われるようにすることができる。
本項のロータリ装着ヘッドによれば、多数のノズル保持軸を備えた装着ヘッドをコンパクトに構成することができる。
（２）前記保持軸進退装置が、前記複数の作用保持軸を一斉に進退させることと、個別に進退させることとの両方が可能なものである(1)項に記載のロータリ装着ヘッド。
本項に記載の進退装置であれば、すべての作用保持軸を一斉に進退させて、それら作用保持軸に保持された複数の吸着ノズルに複数の電子回路部品を一斉に吸着させあるいは装着させることも、複数の作用保持軸の一部である複数あるいは１つの作用保持軸を進退させて電子回路部品を吸着させあるいは装着させることも可能である。
（３）前記ロータが、互いに同軸に嵌合され、それぞれ前記複数の同心円の各々に対応する前記嵌合穴を有する複数の回転体を備えた複重型回転体を含み、前記ロータ回転駆動装置が、その複重型回転体の複数の回転体を一斉に回転させることと、相対回転させることとの両方が可能なものである(1)項または(2)項に記載のロータリ装着ヘッド。
ロータを複重型回転体を含むものとすれば、(11)項に記載の複重型ロータリヘッドと同様に、ロータリ装着ヘッドの自由度を向上させることができる。例えば、複数の回転体の１つのみの回転に基づく吸着ノズルによる電子回路部品の吸着あるいは装着や、複数の回転体の相対回転による複数の作用保持軸の軸線間距離の変更を行うことが可能である。
複数の回転体は２つでもよく、３つ以上でもよい。
（１１）ヘッド本体と、
互いに同軸に重ねられ、共通の回転軸線のまわりに相対回転可能に前記ヘッド本体に保持された複数の回転体と、
それら複数の回転体を回転させる回転体駆動装置と、
前記複数の回転体の各々に前記回転軸線に平行に、かつ個々に軸方向に移動可能に保持され、それぞれ一端部において吸着ノズルを保持する複数ずつのノズル保持軸と、
前記複数の回転体に保持された前記ノズル保持軸の１つを軸方向に進退させ得るとともに、複数のノズル保持軸を同時にも進退させ得る保持軸進退装置と
を含むことを特徴とする複重型ロータリヘッド。
本項の構成を採用すれば、多数のノズル保持軸を備えた装着ヘッドをコンパクトに構成することができる。
（１２）前記複数の回転体のすべてが設定回転位置に位置する状態で、それら回転体の各々に１つずつ設定される複数の同心円の一群である同心円群と、その同心円群の中心線からの距離が互いに等しくかつその中心線まわりの位相を互いに異にする複数の直線の各々との複数組であって、それら複数組の各々における直線と同心円群との複数の交点の互いに隣接するもの同士の間隔が一定であり、かつ、他の組と前記交点を共有しない複数組の各々に属する前記複数の交点の各々を通り、かつ、前記中心線に平行な複数の嵌合穴の複数ずつが前記複数の回転体の各々に形成され、それら嵌合穴の各々に前記複数のノズル保持軸の各々が軸方向に進退可能に嵌合された(11)項に記載の複重型ロータリヘッド。
本項の複重型ロータリヘッドが前記 (3)項のロータリ装着ヘッドに相当する。
複数の回転体における複数ずつのノズル保持軸の配置は、複数の回転体が一斉に設定回転角度ずつ回転させられると、それら複数の回転体の各々に保持されている複数ずつのノズル保持軸のうちの２つずつが選択的に一直線に沿って並ぶように選定されることが望ましい。上記設定回転角度は１／２回転とすることも可能であるが、ロータリヘッドの特長を有効に利用するために１／３回転以下とすることが望ましい。なお、複数の回転体のうち、最も内側の回転体については、複数ずつのノズル保持軸の１つが、他の回転体の２つずつのノズル保持軸と一直線に沿って並ぶようにすることも可能である。
複数の直線の各々において一定間隔を隔てて並ぶ少なくとも３つのノズル保持軸を同時に進退させることにより、少なくとも３つの電子回路部品を部品供給装置から同時に受け取ることができる。
（１３）前記回転体駆動装置が、前記複数の回転体の各々を個別に回転駆動可能な複数の個別駆動装置を含む(11)項または(12)項に記載の複重型ロータリヘッド。
回転体駆動装置は、複数の回転体の１つに設けられ、その１つの回転体に対して他の回転体を相対的に回転させる副回転駆動装置と、前記１つの回転体を回転駆動することにより、前記複数の回転体を一斉に回転させる主回転駆動装置とを含むものとすることもできる。しかし、その場合には、１つの回転体と共に回転する副回転駆動装置に駆動エネルギを供給することが必要となって、エネルギ供給装置が複雑となることを避け得ない。
それに対し、本項に記載の回転体駆動装置とすれば、各個別駆動装置はヘッド本体に固定的に保持させることができるため、上記エネルギ供給装置の複雑化を回避することができる。しかも、例えば、１つの個別駆動装置を作動させる一方、他の回転体駆動装置は停止させることにより、１つの回転体のみを回転させることができるなど、複数の回転体の回転駆動の自由度が向上する効果も得られる。
（１４）前記保持軸進退装置が、前記複数のノズル保持軸の各々を個別に進退させる複数の個別進退装置と、それら複数の個別進退装置の複数を同時に作動させる同時作動制御部と個々に作動させる各個作動制御部とを含む進退装置制御装置とを含む(11)項ないし(13)項のいずれかに記載の複重型ロータリヘッド。
「複数の個別進退装置の複数」は、複数の個別進退装置の全部でもよく、一部でもよい。
(2)項に記載のロータリ装着ヘッドと同様の効果を得ることができる。
本項に記載の特徴は、(2)項に記載のロータリ装着ヘッドに適用可能であり、回転体が
１つのロータリ装着ヘッドにも適用可能である。
（１５）前記保持軸進退装置が、前記複数の回転体のすべてが設定回転位置に位置する状態で、それら回転体に保持された複数ずつのノズル保持軸のうち一直線に沿って並ぶものである複数の作用保持軸に対応する位置に設けられ、それら作用保持軸の各々を進退させる複数の個別進退装置を含む(11)項ないし(14)項のいずれかに記載の複重型ロータリヘッド。
本項が(14)項に従属する態様においては、同時作動制御部の制御により、複数の作用保持軸のすべてあるいは一部である複数が同時に進退させられることとなる。
（１６）前記回転体駆動装置が、前記複数の回転体の２つを相対回転させることにより、それら２つの回転体に保持された２つのノズル保持軸の軸間距離を変える軸間距離変更部を含む(11)項ないし(15)項のいずれかに記載の複重型ロータリヘッド。
軸間距離変更部は、軸間距離の公称値を変更する公称値変更部と、軸間距離を微調整する微調整部との少なくとも一方を含むものとすることができる。前者によれば、複数の吸着位置あるいは装着位置の間隔が複数種類に異なる場合にも複数の電子回路部品を同時に吸着あるいは装着することができ、後者によれば、複数の吸着位置あるいは装着位置の間隔が誤差を含む場合にも複数の電子回路部品を同時に吸着あるいは装着することができる。
（１７）前記回転体駆動装置が、前記複数の回転体の２つを一斉に回転させることにより、それら２つの回転体に保持された２つのノズル保持軸の軸線を結ぶ直線の向きを変える向き変更部を含む(11)項ないし(16)項のいずれかに記載の複重型ロータリヘッド。
本項が(16)項に従属する態様では、２つのノズル保持軸の軸間距離を変えるとともに、それらノズル保持軸を所定の方向において並ぶ状態とすることができる。
（１８）さらに、前記複数の回転体の各々に保持された前記複数ずつのノズル保持軸を前記複数の回転体の各々に対してそれらノズル保持軸の軸線のまわりに相対回転させる保持軸回転駆動装置を含む(11)項ないし(17)のいずれかに記載の複重型ロータリヘッド。
ノズル保持軸の軸線まわりの回転により、吸着ノズルにより保持された電子回路部品の回転姿勢を調整し、あるいは変更することができる。
（１９）前記保持軸回転駆動装置が、前記複数の回転体の各々に保持された複数ずつのノズル保持軸を一斉に回転させるものである(18)項に記載の複重型ロータリヘッド。
保持軸回転駆動装置は、複数のノズル保持軸の各々を個別に回転させる個別回転駆動装置の集合とすることも可能である。しかし、本項の構成を採用すれば、保持軸回転駆動装置の構成を単純化し、装置コストを低減させることができる。特に、保持軸回転駆動装置を、複数のノズル保持軸の各々に設けられた複数の被駆動部材と、それら被駆動部材の各々に共通に設けられてそれら被駆動部材と回転伝達可能に係合する共通の駆動部材と、その駆動部材を回転駆動する駆動源とを含むものとすれば、一層構成を単純化することができる。
（２０）前記保持軸回転駆動装置が、前記複数の回転体のすべてに保持された複数のノズル保持軸のすべてを一斉に回転させるものである(18)項または(19)項に記載の複重型ロータリヘッド。
保持軸回転駆動装置の構成をより一層単純化することができる。
（２１）前記複数の回転体の各々に、前記複数ずつのノズル保持軸に対応してそれぞれ設けられ、各ノズル保持軸に負圧と正圧とを選択的に供給する状態に切り換え可能な複数の切換弁装置を含む(11)項ないし(20)項のいずれかに記載の複重型ロータリヘッド。
（２２）さらに、前記複数の回転体がそれぞれ予め設定された設定回転位置に位置する状態で、それら複数の回転体の各々に保持された前記複数ずつのノズル保持軸の１つが位置する作用位置に対応する位置に設けられ、前記複数の切換弁装置のうちその作用位置に位置するノズル保持軸に対応する切換弁装置を切り換える切換装置を含む(21)項に記載の複重型ロータリヘッド。
（２３）前記複数の切換弁装置に共通に設けられ、(a)開閉弁を備えた負圧供給通路と、(b)開閉弁を備えた第一通路部とその第一通路部に並列で開閉弁と圧力制御弁とを備えた第二通路部とを有する正圧供給通路とを含む(21)項または(22)項に記載の複重型ロータリヘッド。
複数の切換弁装置の各々について負圧供給通路および正圧供給通路を設けてもよい。しかし、共通に設けた方が装置の構成を簡易にすることができる。
本項の特徴は、(11)項ないし(22)項の各特徴とは独立して採用可能である。１つの回転体に複数のノズル保持軸が保持されたロータリヘッドにおいて採用可能なのである。
（３１）回路基材を保持する基材保持装置と、
それぞれ複数の電子回路部品を収容して供給部から順次供給する複数のフィーダが、前記供給部が一直線に沿って並ぶ状態で配列された部品供給装置と、
(11)項ないし(23)項のいずれかに記載の複重型ロータリヘッドと、
その複重型ロータリヘッドを保持し、前記基材保持装置と前記部品供給装置とに跨る移動平面内の任意の位置へ移動させるロータリヘッド移動装置と
を含み、前記複重型ロータリヘッドの前記複数の回転体の各々に保持された複数ずつのノズル保持軸のうちの少なくとも２つが、前記複数のフィーダのうちの少なくとも２つの前記供給部から一斉に電子回路部品を受け取り可能な電子回路部品装着機。
(1)項ないし(3)項の各々に記載のロータリ装着ヘッドも本項の電子回路部品装着機に適用可能である。
回路基材には、例えば、(a)回路基板、(b)ベアチップが搭載され、チップ付基板を構成する基材、(c)ボールグリッドアレイを備えた電子回路部品が相対される基材等が含まれ
る。回路基板には、例えば、プリント基板がある。プリント基板には、未だ電子回路部品が装着されていないプリント配線板、一方の面に電子回路部品が搭載されるとともに電気的に接合され、他方の面には電子回路部品が未装着であるプリント回路板が含まれる。
フィーダとしては、例えば、テープフィーダ，バルクフィーダ，スティックフィーダ等を採用可能である。
部品供給装置は、トレイによって、あるいはフィーダおよびトレイによって電子回路部品を供給する装置とされてもよい。
本項の電子回路部品装着機においては、複重型ロータリヘッドの保持軸進退装置および回転体駆動装置は、制御部を含まず、それぞれノズル保持軸を進退させる機構のみおよび複数の回転体を回転させる機構のみを含む装置とし、制御部は、複重型ロータリヘッドとは別に設けてもよい。例えば、電子回路部品装着機に設けられて部品供給装置やロータリヘッド移動装置等を制御する制御装置に保持軸進退装置および回転体駆動装置を制御する制御部を設けるのである。
（３２）前記回転体駆動装置と前記ロータリヘッド移動装置とを制御することにより、前記複数の回転体の２つに保持された２つのノズル保持軸の軸線の位置を制御する保持軸位置制御部を含む(31)項に記載の電子回路部品装着機。
保持軸位置制御部は、例えば、２つの回転体の相対回転により２つのノズル保持軸の軸線間距離を制御し、２つの回転体の一体的な回転により２つのノズル保持軸の軸線を結ぶ線分の向きを制御し、その線分上の予め定められた１点の位置を制御することにより、２つのノズル保持軸の軸線の位置を制御するものとすることができる。
（３３）前記ロータリヘッド移動装置が、前記複重型ロータリヘッドの前記ヘッド本体を保持して前記移動平面内の任意の位置へ移動させられる可動部材を含み、かつ、その可動部材と前記ヘッド本体との間に、ヘッド本体を可動部材に対して着脱可能に取り付けるヘッド取付装置を含む(31)項または(32)項に記載の電子回路部品装着機。
上記ヘッド取付装置は、ヘッド本体を可動部材に対して一義的に位置決めする位置決め装置と、１つの操作部の操作によりクランプ状態と解除状態とに切換え可能なクランプ装置とを含み、迅速に取付け，取外し可能なものとすることが望ましい。
例えば、ノズル保持軸の数や回転体の数を異にする複数種類の複重型ロータリヘッドを選択的に使用することができ、あるいは複重型ロータリヘッドとは別の種類の装着ヘッド、例えば、吸着ノズルを１つのみ保持した装着ヘッドや、複数の吸着ノズルが１つの回転体により保持された装着ヘッド等が選択的に使用される電子回路部品装着機において、それら装着ヘッドに代えて複重型ロータリヘッドを使用することが容易である。
（４１）ヘッド本体と、
互いに同軸に重ねられ、共通の回転軸線のまわりに相対回転可能に前記ヘッド本体に保持された複数の回転体と、
それら複数の回転体の各々をそれぞれ回転させる複数の回転体駆動装置と、
前記複数の回転体の各々に、前記回転軸線に平行に、かつ各回転体に対して軸方向に相対移動可能に保持され、それぞれ一端部において吸着ノズルを保持する複数ずつのノズル保持軸と、
前記複数の回転体に保持された前記ノズル保持軸の１つを軸方向に進退させ得るとともに、複数のノズル保持軸を同時にも進退させ得る保持軸進退装置と
を含む複重型ロータリヘッドの前記複数のノズル保持軸の少なくとも一部のものに保持させた複数の吸着ノズルに、部品供給装置の複数の供給部からそれぞれ１個ずつの部品を同時に吸着して取り出させる工程を含むことを特徴とする複数部品同時取出方法。
本項に記載の複数部品同時取出方法によれば、電子回路部品装着機の大型化を回避しつつ、電子回路部品のフィーダからの取出しを能率良く行うことが可能となる。
（４２）前記複重型ロータリヘッドとして、前記複数の回転体のすべてが設定回転位置に位置する状態で、それら回転体の各々に１つずつ設定される複数の同心円の一群である同心円群と、その同心円群の中心線からの距離が互いに等しくかつその中心線まわりの位相を互いに異にする複数の直線の各々との複数組であって、それら複数組の各々における各
直線と同心円群との複数の交点の互いに隣接するもの同士の間隔が一定であり、かつ、他の組と前記交点を共有しない複数組の各々に属する前記複数の交点の各々を通り、かつ、前記中心線に平行な複数の嵌合穴の複数ずつが前記複数の回転体の各々に形成され、それら嵌合穴の各々に前記複数のノズル保持軸の各々が軸方向に進退可能に嵌合されたものを使用し、前記複数の直線の１つと交差するすべてのノズル保持軸のうちの２つ以上に保持させた吸着ノズルに同時に部品を取り出させる工程を含む(41)項に記載の複数部品同時取出方法。
本項ないし(45)項に記載の複数部品同時取出方法によれば、(41)項に記載の発明の効果を特に有効に享受することができる。
（４３）前記複数の回転体のすべてが設定回転位置にある状態から、それらすべての回転体を前記複数の直線の前記中心線まわりの位相差ずつ間欠的に回転させ、それら間欠回転の各々において、前記複数の直線の各々と交差するすべてのノズル保持軸の少なくとも一部のものに保持させた複数の吸着ノズルに、複数の部品を同時に取り出させる工程を含む(42)項に記載の複数部品同時取出方法。
（４４）前記複数の直線の各々と交差するすべてのノズル保持軸に保持させた吸着ノズルのすべてに部品を同時に取り出させる工程を含む(43)項に記載の複数部品同時取出方法。（４５）前記複重型ロータリヘッドとして、前記回転体を２つ有するものを使用し、前記複数の直線の各々と交差する２つずつ、合計４つのノズル保持軸に保持させた４つの吸着ノズルのすべてに同時に部品を取り出させる工程を含む(44)項に記載の複数部品同時取出方法。
（４６）前記複数の直線の各々と交差するすべてのノズル保持軸のうちの一部のみのものに保持させた前記吸着ノズルに部品を同時に取り出させる工程を含む(43)項または(44)項に記載の複数部品同時取出方法。
本項ないし(54)項に記載の各特徴を採用すれば、複数部品同時取出方法の自由度をそれぞれ大きくし得る効果が得られる。
（４７）前記複重型ロータリヘッドとして、前記回転体を２つ有するものを使用し、前記複数の直線の１つと交差する２つずつ、合計４つのノズル保持軸のうちの一部のみのものに保持させた吸着ノズルに部品を同時に取り出させる工程を含む(45)項または(46)項に記載の複数部品同時取出方法。
（４８）前記合計４つのノズル保持軸のうちの一部のみのものとして、２つのものを使用する工程を含む(47)項に記載の複数部品同時取出方法。
（４９）前記合計４つのノズル保持軸のうちの一部のみのものとして、互いに隣接する２つのものを使用する工程を含む(48)項に記載の複数部品同時取出方法。
（５０）前記２つのものとして、前記合計４つのノズル保持軸のうちの１つおきの２つを使用する工程を含む(48)項または(49)項に記載の複数部品同時取出方法。
（５１）前記２つのものとして、前記合計４つのノズル保持軸のうちの２つおきの２つを使用する工程を含む(48)項ないし(50)項のいずれかに記載の複数部品同時取出方法。
（５２）前記合計４つのノズル保持軸のうちの２つとして、前記２つの回転体の各々に保持された１つずつを使用する工程を含む(48)項ないし(51)項のいずれかに記載の複数部品同時取出方法。
本項に記載の態様によれば、互いに隣接する２つのノズル保持軸、１つおきの２つののノズル保持軸、あるいは２つおきの２つののノズル保持軸の軸間距離の調節、ひいてはそれら２つのノズル保持軸に保持された２つの吸着ノズルの軸線間距離の調節を行うことができ、小形の電子回路部品の同時取出しを確実に行うことが可能になる。
（５３）前記合計４つのノズル保持軸のうちの一部のみのものとして、互いに隣接する３つのものを使用する工程を含む(47)項ないし(52)項のいずれかに記載の複数部品同時取出方法。
（５４）前記合計４つのノズル保持軸のうちの一部のみのものとして、互いに隣接する２つと、それら２つに隣接しない１つとの合計３つを使用する工程を含む(47)項ないし(53)項のいずれかに記載の複数部品同時取出方法。
（６０）前記複重型ロータリヘッドを、前記複数の回転体のすべてが前記設定回転位置である第１設定回転位置にある状態から、最も内周側の回転体である最内周側回転体に対して、その最内周側回転体より外周側に位置するに１つ以上の回転体である外周側回転体を、その外周側回転体に保持されているノズル保持軸の互いに隣接する２つの、前記共通の回転軸線のまわりの中心角に等しい角度回転させて、その外周側回転体に保持されている前記ノズル保持軸の軸線が、前記最内周側回転体に保持された２つのノズル保持軸の軸線と直交する直線と直交する状態の第２設定回転位置にある状態とし、その第２設定回転位置にある複重型ロータリヘッドの１直線と軸線が直交する３つ以上のノズル保持軸に保持させた前記吸着ノズルに同時に部品を取り出させる工程を含む(42)項ないし(54)項のいずれかに記載の複数部品同時取出方法。
本項に記載の特徴を採用すれば、複重型ロータリヘッドの使用形態の自由度を増すことができる。例えば、最内周側回転体に対して外周側回転体を相対回転させ、あるいは複数の外周側回転体が複数ある場合にそれら相互間で相対回転させることにより、複数のノズル保持軸の各々に保持させた吸着ノズルの軸線間の距離を調節することができ、その調節と、ヘッド本体の位置の調節との組み合わせにより、複数の吸着ノズルの各々と、複数のフィーダの各供給部との相対位置を正確に合わせつつ、複数の電子回路部品を同時に受け取らせることが可能となり、小形の電子回路部品の複数同時取出しも可能となるのである。また、本項に記載の工程を繰り返し実行する際における各回転体の回転角度が、(52)項に記載の態様による場合に比較して小さくて済む利点がある。
（６１）前記第２設定回転位置にある複数の回転体のすべてを、前記最内周側回転体に保持されている２つずつのノズル保持軸の軸線と直交する複数の前記直線の回転位相差ずつ間欠回転させ、それら間欠回転の各々において、前記３つ以上のノズル保持軸のうちの２つ以上に保持させた前記吸着ノズルに同時に部品を取り出させる工程を含む(60)項に記載の複数部品同時取出方法。
（６５）それぞれ複数種類の電子回路部品を包含する第１部品群と第２部品群とであって、それら第１部品群と第２部品群とに属する電子回路部品の種類の一部が互いに重複する２群の電子回路部品をそれぞれ吸着して保持可能な第１種吸着ノズルと第２種吸着ノズルとの両方を、前記複数の回転体の各々に複数ずつ保持されたすべてのノズル保持軸のうちの１つ以上ずつにそれぞれ保持させ、その保持させた第１種吸着ノズルに前記互いに重複する種類の電子回路部品を保持させる工程と、前記保持させた第２種吸着ノズルに前記互いに重複する種類の電子回路部品を保持させる工程とを含む(41)項ないし(54)項，(60)項，(61)項のいずれかに記載の複数部品同時取出方法。
本項に記載の特徴を採用すれば、複重型ロータリヘッドにより複数の電子回路部品を同時に取り出し得る機会が増し、装着作業の能率が向上する効果が得られる。
（６６）前記第１種吸着ノズルと前記第２種吸着ノズルとをそれぞれ保持させた複数のノズル保持軸を同時に進退させる工程を含む(65)項に記載の複数部品同時取出方法。
本項に記載の特徴は(65)項の態様の複数部品同時取出方法の実行に不可欠ではないが、採用すれば(65)項に記載の態様の効果を享受し得る機会が多くなる。
（６７）前記第１種吸着ノズルと前記第２種吸着ノズルとをそれぞれ保持させたノズル保持軸を、前記複重型ロータリヘッドの１回の回転の前後において進退させる工程を含む(65)項または(66)項に記載の複数部品同時取出方法。
本項に記載の特徴は(65)項の態様の複数部品同時取出方法の実行に不可欠ではないが、採用すれば(65)項に記載の態様の効果を享受し得る機会が多くなる。
（６８）前記重複する種類の電子回路部品を、前記部品供給装置において互いに隣接する２つのフィーダに供給させる(66)項または(67)項に記載の複数部品同時取出方法。
本項に記載の態様によれば複数部品同時取出しの機会がさらに多くなる。

請求可能発明の実施形態である電子回路部品装着機たる装着モジュールを複数備えた電子回路部品装着システムを示す斜視図である。 上記装着モジュールの一部を示す斜視図である。 上記装着モジュールの装着装置を示す斜視図である。 図４(a)は上記装着装置の吸着ノズルを１つ保持する装着ヘッドを示す斜視図であり、図４(b)は請求可能発明の実施形態であるロータリヘッドを示す斜視図である。 上記装着モジュールの部品供給装置のフィーダを示す側面図（一部断面）である。 図６(a)は上記フィーダにより保持される部品保持テープを示す平面図であり、図６(b)は側面図である。 上記装着ヘッドおよびヘッド移動装置の第二Ｘ軸スライドに設けられたヘッド取付装置を示す斜視図である。 図８(a)は上記ヘッド取付装置のクランプ装置を側面において断面にして示す図であり、図８(b)は図８(a)におけるＡ−Ａ断面図である。 上記ロータリヘッドをカバーを外して示す斜視図である。 上記ロータリヘッドを示す正面断面図である。 上記ロータリヘッドを示す側面図である。 上記ロータリヘッドを示す平面断面図である。 上記ロータリヘッドの個別昇降装置が設けられた部分を拡大して示す側面図（一部断面）である。 上記ロータリヘッドの内回転体および外回転体の各々におけるノズル保持軸の配置を説明する図である。 外ノズル保持軸を昇降させる個別昇降装置の駆動部材を示す側面図である。 内ノズル保持軸を昇降させる個別昇降装置の駆動部材を示す側面図である。 ノズル保持軸への負圧および正圧の供給切換を行う切換弁装置を概略的に示す図である。 上記切換弁装置へ正圧および負圧を供給する通路を説明する図である。 上記切換弁装置を切り換える切換装置を示す側面図である。 上記装着モジュールを制御する制御装置を概念的に示すブロック図である。 上記内回転体および外回転体によりそれぞれ保持された８つずつのノズル保持軸のうちの１つずつの組合わせを説明する図である。 図２１に示す組を成す２つのノズル保持軸による電子回路部品の同時吸着時における軸間距離の補正および位置の補正を説明する図である。 上記ロータリヘッドの一使用形態を説明するための図である。 上記ロータリヘッドの別の一使用形態を説明するための図である。 上記ロータリヘッドのさらに別の使用形態を説明するための図である。 上記ロータリヘッドのさらに別の使用形態を説明するための図である。 上記ロータリヘッドのさらに別の使用形態を説明するための図である。 上記ロータリヘッドのさらに別の使用形態を説明するための図である。 図２８に示すロータリヘッドの使用形態を説明するための図である。 図２８に示すロータリヘッドの使用形態を説明するための図である。 請求可能発明の別の実施形態における３重型ロータリヘッドを示す図１４に相当する図である。

以下、請求可能発明の実施形態を、上記各図を参照しつつ説明する。なお、請求可能発明は、下記実施形態の他、上記〔発明の態様〕の項に記載した態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更を施した態様で実施することができる。

図１に、電子回路部品装着システム（以後、装着システムと略称する）の外観を示す。本装着システムは、複数の装着モジュール１０が、共通で一体のベース１２上に、互いに隣接して１列に配列されて固定されることにより構成されている。複数の装着モジュール１０はそれぞれ、対回路基材作業機の一種である電子回路部品装着機であり、回路基材の一種である回路基板（具体的にはプリント基板）への電子回路部品の装着を分担し、並行して行う。

装着モジュール１０については、例えば、特開２００４−１０４０７５公報に詳細に記載されており、本請求可能発明に関する部分以外の部分については簡単に説明する。
各装着モジュール１０はそれぞれ、図２に示すように、モジュール本体１８，基材搬送装置たる基板搬送装置２０，基材保持装置たる基板保持装置２２，部品供給装置２４，装着装置２６，基準マーク撮像装置２８（図３参照），部品撮像装置３０およびモジュール制御装置３２を備えている。

モジュール本体１８は、前後方向に長いベッド３６を備えている。基板搬送装置２０は、本実施形態においては２つのコンベヤ４０，４２を備え、ベッド３６の、装着モジュール１０の前後方向の中央部に設けられ、回路基板４４を複数の装着モジュール１０が並ぶ方向と平行な方向であって、水平な方向に搬送する。本実施形態においては、回路基板４４の搬送方向をＸ軸方向、水平な一平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向とする。装着モジュール１０の左右方向はＸ軸方向に平行であり、前後方向はＹ軸方向に平行である。回路基板の搬送には、コンベヤ４０，４２の少なくとも一方が使用される。

基板保持装置２２は２つのコンベヤ４０，４２の各々について設けられ、本実施形態においては、図示は省略するが、基板支持装置および一対のクランプ部材を含み、回路基板４４を被装着面が水平となる姿勢で保持する。本基板支持装置は、それぞれ回路基板４４を下方から支持する支持部材たる複数の支持ピンを含み、一対のクランプ部材は回路基板４４の搬送方向に平行な両側縁部を保持する。

部品供給装置２４は、図２に示すように、ベッド３６の基板搬送装置２０に対してＹ軸方向の一方の側であって、装着モジュール１０の前面側に設けられている。部品供給装置２４は、例えば、部品供給具たるフィーダの一種である複数のテープフィーダ（以後、フィーダと略称する）５０により電子回路部品を供給するものとされている。

本フィーダ５０は、図５に示すように、フィーダ本体５２，送り装置５４，剥離装置５６，テープ保持装置としてのリール保持装置５８，位置決め装置５９，固定装置６０および制御装置６２を含んで構成され、部品保持テープ６４により電子回路部品６６を供給する。部品保持テープ６４は、図６(a)に示すように、主テープ７０およびカバーテープ７２を含む。この部品保持テープ６４はエンボスタイプの部品保持テープであり、図６(b)に示すように、主テープ７０は、その両縁部であって、主テープ７０の長手方向に延びる１対の被案内部７４，７６と、それら被案内部７４，７６の間の部分から被案内部７４，７６に直角に突出させられ、主テープ７０の長手方向に延びる帯状の突部７８とを備えている。

突部７８には、その長手方向に等間隔に並んで多数の部品収容部たる部品収容凹部８０が形成され、それら部品収容凹部８０の各々に電子回路部品６６が１個ずつ収容されている。被案内部７６に多数の送り穴８２が主テープ７０の長手方向に等間隔に並んで形成されている。カバーテープ７２は、主テープ７０の上面の送り穴８２が設けられていない部分に貼り付けられ、部品収容凹部８０の開口を覆って電子回路部品６６の飛出しを防止している。部品保持テープ６４は、図５に示すようにリール８３に巻き付けられ、リール保持装置５８により保持される。

送り装置５４は、図５に示すように、フィーダ本体５２に、その幅方向に平行な軸線まわりに回転可能に設けられた送り部材たるスプロケット８４，駆動源たる電動モータ８６および電動モータ８６の回転をスプロケット８４に伝達する回転伝達装置８８を含む。電動モータ８６は、例えば、電動回転モータたるサーボモータにより構成される。サーボモータに代えてステップモータにより構成してもよい。スプロケット８４は、その外周面に、部品保持テープ６４の送り穴８２に係合する複数の突起９０を備え、部品保持テープ６４は、スプロケット８４が電動モータ８６によって回転させられることにより所定ピッチずつ、例えば、部品収容凹部８０の形成ピッチに等しい距離ずつ送られ、電子回路部品６６が順次、フィーダ本体５２の前端部に設定された供給部へ送られる。剥離装置５６は電動モータ８６を駆動源とし、送りローラ９２，９４の回転によりカバーテープ７２は部品保持テープ６２の送りと同期して送られ、主テープ７０から剥がされる。

本部品供給装置２４においては、複数のフィーダ５０はベッド３６に設けられたフィーダ支持台９６により支持される。フィーダ支持台９６には、フィーダ５０をＸ軸，Ｙ軸方向に位置決めして固定し、保持する保持部９８が複数、Ｘ軸方向において適宜の間隔を隔てて、本実施形態においては等間隔を隔てて設けられている。複数のフィーダ５０はそれぞれ保持部９８により保持され、各供給部がＸ軸方向に平行な一直線上に位置し、等間隔に並ぶ状態で支持されている。

装着装置２６は、図４に例示する装着ヘッド１００，１０２と、その装着ヘッド１００，１０２を移動させるヘッド移動装置１０３（図３参照）とを備えている。ヘッド移動装置１０３は、図３に示すように、Ｘ軸方向移動装置１０４およびＹ軸方向移動装置１０６を備えている。Ｙ軸方向移動装置１０６は、モジュール本体１８を構成するクラウン１０８に、部品供給装置２４の供給部と２つの基板保持装置２２とに跨って設けられたリニアモータ１１０を備え、可動部材としてのＹ軸スライド１１２をＹ軸方向の任意の位置へ移動させる。

本実施形態においては、Ｘ軸方向移動装置１０４はＹ軸スライド１１２上に設けられ、Ｙ軸スライド１１２に対してＸ軸方向に移動させられるとともに、互いにＸ軸方向に相対移動させられる可動部材たる第一，第二Ｘ軸スライド１１４，１１６と、それらスライド１１４，１１６をそれぞれ、Ｘ軸方向に移動させるＸ軸スライド移動装置１１８（図３には第二Ｘ軸スライド１１６を移動させる移動装置のみが図示されている）とを備えている。２つのＸ軸スライド移動装置はそれぞれ、例えば、駆動源たる電動モータ１２０（図２０参照）と、送りねじおよびナットを含む送りねじ機構とを含むものとされ、Ｘ軸スライド１１４，１１６をＸ軸方向の任意の位置へ移動させる。送りねじとしてはボールねじが好適であり、電動モータとしてはサーボモータ等回転角度の制御が可能な電動モータが好適である。以下に記載の送りねじおよび電動モータについても同様である。装着ヘッド１００，１０２はそれぞれ、第二Ｘ軸スライド１１６に着脱自在に搭載され、ヘッド移動装置１０３により、部品供給装置２４の供給部と２つの基板保持装置２２とに跨る移動平面内の任意の位置へ移動させられる。なお、ヘッド移動装置は、Ｘ軸スライド上にＹ軸方向移動装置が設けられたものとされてもよい。

装着ヘッド１００，１０２は、部品保持具の一種である吸着ノズルによって電子回路部品を保持する。装着装置２６においては、装着ヘッド１００，１０２を始めとし、吸着ノズルの数を異にする複数種類の装着ヘッドが用意され、電子回路部品が装着される回路基板４４の種類に応じて選択的に第二Ｘ軸スライド１１６に取り付けられる。例えば、図４(a)に示す装着ヘッド１００はノズルホルダ１３０を１つ備え、吸着ノズル１３２が１つ保持される。ノズルホルダ１３０は、ヘッド本体に設けられた移動装置である昇降装置１３４および回転装置１３６（図２０参照）により昇降および回転させられる。吸着ノズル１２０への負圧の供給は、図示を省略する切換弁装置の切換えにより許容，遮断される。図４(b)に示す装着ヘッド１０２においては、後に詳細に説明するように吸着ノズルが複数保持され、電子回路部品が複数、保持される。

装着ヘッド１００，１０２は、ヘッド取付装置１４８により第二Ｘ軸スライド１１６に着脱可能に取り付けられる。ヘッド取付装置１４８は、例えば、特開２００４−２２１５１８公報に記載の取付装置と同様に構成されており、装着ヘッド１００を例に取って簡単に説明する。

本ヘッド取付装置１４８は、図７に示すように、位置決め装置１４９およびクランプ装置１５０を含み、装着ヘッド１００のヘッド本体１５１の背面部１５２は、図７(a)に示すように、下部に２つの脚部１５６を有するとともに、上部に係合ブロック１５８が設けられている。一方、第二Ｘ軸スライド１１６の正面部１５４は、図７(b)に示すように、下部に、脚部１５６を支承する脚部支承部１６０を有し、脚部支承部１６０のやや上方に、２つの下部係合ローラ１６４を有し、それら下部係合ローラ１６４の上方に、２つの上部係合ローラ１６７を有して係合ブロック１５８を入り込ませるための係合穴１６８が設けられている。

脚部１５６は、先端が楔形状とされており、Ｖ字状とされた脚部支承部１６０に嵌め合わされる。これにより、ヘッド本体１５１の第二Ｘ軸スライド１１６に対する上下方向の位置およびヘッド本体１５１の下部の前後方向の位置が規定される。また、脚部１５６上部の間隔が小さくされた部分の対向する側面が、２つの下部係合ローラ１６４の各々の外周面にぴったりと係合するようにされており、さらに、係合ブロック１５８の両側面が、２つの上部係合ローラ１６７の間にぴったりと嵌りこむようにされており、これらによって、ヘッド本体１５１の第二Ｘ軸スライド１１６に対する左右方向の位置が規定される。

クランプ装置１５０は、図７(b)に示すように、第二Ｘ軸スライド１１６の正面部１５
４の上部であって、係合穴１６８より上側に設けられている。図８に、クランプ装置１５０の断面を示す。図８（ａ）は、第二Ｘ軸スライド１１６の左右方向の中央において切断した断面であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）におけるＡ−Ａ面における断面である。クランプ装置１５０は、係合ブロック１５８の上部に回転可能に設けられた掛止ローラ１７０（図７参照）に掛止ピン１７２を掛合させる構造とされている。詳しく説明すれば、クランプ装置１５０は、正面部１５４の上部に設けられたピン穴１７４に上下移動可能に支持された掛止ピン１７２と、掛止ピン１７２を上下させる掛止ピン作動装置１８０とを含んで構成されている。

掛止ピン作動装置１８０は、若干の可撓性のあるロッド１８２と、そのロッド１８２の一端部に偏心して設けられた円盤状のカム板１８４と、ロッド１８２を回転可能に支持する概ねパイプ状のロッド支持部材１８６と、ロッド１８２の他端部に設けられてロッド１８２を回転させるための操作部を構成するグリップ１８８とを含んで構成される。掛止ピン作動装置１８０は、ロッド支持部材１８６において第二Ｘ軸スライド１１６の正面部１５４の上部に取り付けられる（図７参照）。掛止ピン１７２の上部には、カム板１８４の外径より若干大きな幅の溝１９０が形成され、この溝１９０にカム板１８４が係合するようにされている。グリップ１８８を回転させれば、掛止ピン１７２が上下に作動する。

装着ヘッド１００の第二Ｘ軸スライド１１６に対する取付け，取外しは作業者により行われる。装着ヘッド１００を装着する場合、作業者はグリップ１８８を一方向（本実施形態では正面から見て反時計回り）に回転させ、掛止ピン１７２を上方に移動させた状態で、脚部１５６を脚部支承部１６０および下部係合ローラ１６４に嵌合し、係合ブロック１５８を上部係合ローラ１６７に嵌合する。その状態で、グリップ１８８を反対方向（本実施形態では正面から見て時計回り）に回転させる。このグリップ１８８の操作により、掛止ピン１７２は下降し、最下降端の手前で掛止ピン１７２の下端部に形成された傾斜面１９２が掛止ローラ１７０の外周に当接する。さらに、グリップ１８８を回転させることにより、掛止ピン１７２は、傾斜面１９２の作用により、ヘッド本体１５１を下方に押付けるとともに後方に押し付ける状態で、掛止ローラ１７０を掛止する。それにより、ヘッド本体１５１は、その下部に加えて上部が前後方向に位置決めされるとともに、背面部１５２と正面部１５４との間に殆ど隙間のない状態で第二Ｘ軸スライド１１６に固定される。

掛止ピン１７２によるヘッド本体１５１の押付け状態は、カム板１８４の外周と溝１９０の下側面との間に生じる摩擦力によって維持されるが、その状態維持をより確実なものとするため、掛止ピン作動装置１８０は、捻りバネ１９４を有して、掛止ピン１７２が下方に向かう方向にその捻りバネ１９４がロッド１８２を付勢する構造とされている。装着ヘッド１００を第二Ｘ軸スライド１１６から離脱させるには、逆方向にグリップ１８８を回転させればよい。本実施形態においては、脚部１５６，脚部支承部１６０，係合ブロック１５８，２つの下部係合ローラ１６４，２つの上部係合ローラ１６７，掛止ローラ１７０および掛止ピン１７２が位置決め装置１４９を構成している。

前記基準マーク撮像装置２８は、図３に示すように、第二Ｘ軸スライド１１６に搭載され、ヘッド移動装置１０３により装着ヘッド１００，１０２と共に移動させられ、回路基板４４の被装着面に設けられた基準マーク（図示省略）を撮像する。基準マークは複数、例えば、２個、対角線方向に隔たって設けられている。基準マーク撮像装置２８は、例えば、ＣＣＤカメラあるいはＣＭＯＳカメラにより構成されている。ヘッド移動装置１０３は、基準マーク撮像装置移動装置を兼ねている。

部品撮像装置３０は、図２に示すように、ベッド３６の部品供給装置２４と基板搬送装置２０との間の部分に位置を固定して設けられている。部品撮像装置３０は、本実施形態においては、装着ヘッド１０２により保持可能な最大数の吸着ノズルが保持された状態において、それら吸着ノズルの全部に保持された電子回路部品を同時に撮像し得るものとされている。

前記装着ヘッド１０２を説明する。
装着ヘッド１０２はロータリ装着ヘッドの一種である複重型ロータリヘッドであり、図９および図１０に示すように、ヘッド本体２００，２つの回転体２０２，２０４，回転体２０２，２０４の各々に保持された複数ずつのノズル保持軸２０６，２０７，回転体駆動装置２０８，保持軸進退装置としての保持軸昇降装置２１０，保持軸回転駆動装置２１２およびヘッド制御装置２１４（図２０参照）を含む。

ヘッド本体２００は、図９に示すように、装着ヘッド１０２が第二Ｘ軸スライド１１６に取り付けられた状態において鉛直方向に延びる背壁部２２０，背壁部２２０に上下方向に距離を隔てて水平に設けられた支持部２２２，２２４，２２６および支持部２２６の下方に水平に設けられた支持部２２８を含む。背壁部２２０には、前記背面部１５２と同様に、２つの脚部１５６（図１１に一方の脚部１５６が図示されている），係合ブロック１５８および掛止ローラ１７０が設けられ、第二Ｘ軸スライド１１６に位置決めされて着脱可能に固定される。

回転体２０２，２０４のうち、回転体２０４は横断面形状が円形のリング状を成し、図１０に示すように、支持部２２６を上下方向に貫通して形成された嵌合穴２３０内に配設され、支持部２２６により軸受２３２を介して鉛直軸線まわりに回転可能に支持されている。回転体２０２は横断面形状が円形を成し、回転体２０４内に、半径方向に隙間を有し、回転体２０４と共通の回転軸線まわりに相対回転可能に配設されている。回転体２０２，２０４は互いに同軸状に重ねられているのであり、以後、場合によって、回転体２０２を内回転体２０２、回転体２０４を外回転体２０４と称する。

回転体駆動装置２０８を説明する。
回転体駆動装置２０８は、図１０に示すように、２つの回転体２０２，２０４の各々を個別に回転駆動可能な２つの個別駆動装置２３４，２３６を含む。以後、場合によって、個別駆動装置２３４を内用個別駆動装置２３４、個別駆動装置２３６を外用個別駆動装置２３６と称する。内用個別駆動装置２３４は、本実施形態においては、回転軸２３８および回転軸駆動装置２４０を含む。回転軸２３８は横断面形状が円形の中空の筒状を成し、軸方向の一端部である上端部を支持部２２４により、軸受２４２を介して外回転体２０４の回転軸線と同心の軸線まわりに回転可能に支持されている。

回転軸２３８の他端部である下端部は、内回転体２０２の中心を軸方向に貫通して形成された貫通孔２４４に嵌合されている。内回転体２０２は、本実施形態においては、回転軸２３８の内回転体２０２から下方への突出端部に設けられた外向きのフランジ部２４６および内回転体２０２の上面上に固定された複数、本実施形態においては４個の規定部材２４８によって上下方向位置および回転方向位置が規定されて回転軸２３８に取り付けられている。

フランジ部２４６は内回転体２０２を下方から受け、その上下方向の位置を規定する。フランジ部２４６は規定部たる受け部を構成する。規定部材２４８は板状を成し、図１２に示すように、内回転体２０２の中心線のまわりに等角度間隔に配設され、その長手方向の一端部において内回転体２０２の上面に固定され、他端部は回転軸２３８の外周面に開口して形成された溝２５０（図１０参照）に嵌合されている。溝２５０は４個、等角度間隔に形成され、規定部材２４８は溝２５０の下側の端面に係合して内回転体２０２の回転軸２３８に対する上下方向の位置を規定する。また、規定部材２４８の溝２５０への嵌合により回転軸２３８と内回転体２０２との相対回転が阻止され、回転軸２３８の回転が内回転体２０２に伝達される。規定部材２４８は、係合部材でもあり、回転伝達部材でもある。

回転軸駆動装置２４０は、電動モータ２５４を駆動源とする。電動モータ２５４は、図１０に示すように、支持部２２４の下面に鉛直な姿勢で取り付けられ、その支持部２２４から上方へ突出させられた出力軸２５６に取り付けられた駆動歯車２５８は、回転軸２３８の支持部２２４から上方への突出端部に固定された被駆動歯車２６０と噛み合わされている。被駆動歯車２６０は、本実施形態においてはシザースギヤとされ、２つの歯車２６２，２６４が、それらの間に設けられたスプリングにより互いに逆向きに付勢されて駆動歯車２５８と噛み合わされ、バックラッシュが除去されるものとされている。電動モータ２５４の回転は歯車２５８，２６０により減速されて回転軸２３８に伝達され、内回転体２０２が、回転軸２３８の軸線のまわりであって、外回転体２０４と共通の回転軸線のまわりに正逆両方向に任意の角度回転させられる。電動モータ２５４は、本実施形態においては、回転角度の正確な制御が可能な電動回転モータであるエンコーダ付きのサーボモータにより構成されている。電動モータ２５４は、パルスモータにより構成されてもよい。装着ヘッド１０２を構成する他の各種装置の電動モータについても同様である。

外用個別駆動装置２３６は、電動モータ２７２を駆動源とする。電動モータ２７２は、支持部２２６の上面の、前記回転軸２３８に対して背壁部２２０側の部分に鉛直な姿勢で下向きに取り付けられ、その回転は、支持部２２６から下方へ延び出させられた出力軸２７４に固定された駆動歯車２７６（図１１参照）と、外回転体２０４の支持部２２６から下方への突出端部に固定された被駆動歯車２７８との噛合によって外回転体２０４に伝達され、外回転体２０４が、内回転体２０２と共通の回転軸線のまわりに正逆両方向に任意の角度回転させられる。被駆動歯車２７８は前記被駆動歯車２６０と同様にシザースギヤとされ、２つの歯車２８０，２８２を含む。

前記ノズル保持軸２０６，２０７は、本実施形態においては、図１２に示すように内回転体２０２および外回転体２０４にそれぞれ８つずつ保持されている。これらノズル保持軸２０６，２０７は、回転体２０２，２０４の回転により、回転体２０２，２０４の共通の回転軸線まわりに旋回（公転）させられる。内回転体２０２に保持されたノズル保持軸２０６（以後、場合によって内ノズル保持軸２０６と称する）および外回転体２０４に保持されたノズル保持軸２０７（以後、場合によって外ノズル保持軸２０７と称する）の構成は同じであり、内ノズル保持軸２０６の１つを代表的に説明する。

内ノズル保持軸２０６は横断面形状が円形を成し、内回転体２０２を回転軸線に平行な方向に貫通して形成された嵌合穴３００に案内筒３０２を介して軸方向に移動可能に嵌合されている。内ノズル保持軸２０６は、図１０に示すように、内回転体２０２から上下両側へ突出させられ、内回転体２０２の上面と内ノズル保持軸２０６の上部に設けられたばね受け部３１０との間に配設された付勢装置の一種である弾性部材としてのスプリングである圧縮コイルスプリング３１２により上方へ付勢されている。このスプリング３１２の付勢による内ノズル保持軸２０６の上昇限度は、内ノズル保持軸２０６の内回転体２０２から下方への突出部に設けられた外向きのフランジ状の係合部３１４が案内筒３０２に当接することにより規定される。この位置が内ノズル保持軸２０６の上昇端位置である。

ばね受け部３１０の上面には、ばね受け部３１０より小径の首部３１８が突設されるとともに、首部３１８の上端に係合部３２０が設けられている。係合部３２０は、本実施形態においては横断面形状が円形を成し、直径は首部３１８より大きく、その上面は、内ノズル保持軸２０６の軸線と直交し、水平で上向きの係合面３２２とされている。

内ノズル保持軸２０６の下端部にはノズル保持部３３０が設けられ、吸着ノズル３３２が軸方向に相対移動可能かつ相対回転不能に保持されている。吸着ノズル３３２は内ノズル保持軸２０６との間に配設された圧縮コイルスプリング（図示省略）により、内ノズル保持軸２０６から下方へ突出する向きに付勢されている。このスプリングの付勢による吸着ノズル３３２の突出限度は、図示を省略するストッパにより規定される。

２つの回転体２０２，２０４の各々において８つずつのノズル保持軸２０６，２０７は、図１４(a)に示すように、内回転体２０２および外回転体２０４が共に設定回転位置に位置する状態で、２つずつの内ノズル保持軸２０６および外ノズル保持軸２０７が一直線上に等間隔で並ぶ組が４組得られ、かつ、各組において重複するノズル保持軸２０６，２０７がないように設けられている。

詳細には、内回転体２０２と外回転体２０４とに共通の回転軸線に直角な一平面上において、内回転体２０２と外回転体２０４とに上記回転軸線を中心線Ｏとする円Ｃｉ，Ｃｏがそれぞれ設定されるとともに、上記中心線Ｏからの距離Ｌが互いに等しくかつ中心線Ｏまわりの位相を互いに９０度異にする４つの直線Ｄ₁，Ｄ₂，Ｄ₃，Ｄ₄が設定されている。これら直線Ｄ₁，Ｄ₂，Ｄ₃，Ｄ₄と上記２つの円Ｃｉ，Ｃｏから成る同心円群Ｃｇとは次の条件を満たすように設定されている。すなわち、同心円群Ｃｇと直線Ｄ₁，同心円群Ｃｇと直線Ｄ₂，同心円群Ｃｇと直線Ｄ₃および同心円群Ｃｇと直線Ｄ₄とをそれぞれ１組とし、それら４組の各々において、同心円群Ｃｇと各直線Ｄ₁，Ｄ₂，Ｄ₃，Ｄ₄との４つずつの交点Ｐ₁，Ｐ₂，Ｐ₃，Ｐ₄の互いに隣接するもの同士の間隔ｄが一定であり、かつ、他の組と交点を共有しないように設定されているのである。そして、上記４組の各々に属する４つずつの交点Ｐ₁，Ｐ₂，Ｐ₃，Ｐ₄の各々を通って、同心円群Ｃｇの中心線Ｏに平行に前記嵌合穴３００が形成され、それらにノズル保持軸２０６，２０７が軸方向に相対移動可能かつ自身の軸線まわりに回転可能に嵌合されている。なお、本実施形態においては、内回転体２０２，外回転体２０４および円Ｃｉ，Ｃｏの各直径は、上記間隔ｄが、前記フィーダ支持台９６の保持部９８の形成ピッチ（本実施形態においては１２ミリ）と等しくなる大きさに設定されている。

そのため、図１４(b)に示すように、回転体２０２，２０４における８つずつのノズル保持軸２０６，２０７の配設角度間隔は等角度ではなく、１つのノズル保持軸２０６，２０７について、隣接する２つのノズル保持軸２０６，２０７の一方との間隔θ１ｉ，θ１ｏは４５度より小さく、他方との間隔θ２ｉ，θ２ｏは４５度より大きく、θ１ｉとθ２ｉとの和およびθ１ｏとθ２ｏとの和がそれぞれ９０度となる間隔で設けられている。また、２つずつの内ノズル保持軸２０６および外ノズル保持軸２０７が一直線上に並ぶようにするために、内ノズル保持軸２０６の配設角度間隔θ１ｉ，θ２ｉと、外ノズル保持軸２０７の配設角度間隔θ１ｏ，θ２ｏとは大きさが異なっている。

前記保持軸昇降装置２１０を説明する。
保持軸昇降装置２１０は、個別進退装置たる４つの個別昇降装置３５０を含む。これら個別昇降装置３５０は、図１１および図１２に示すように、ヘッド本体２００の支持部２２４，２２６の背壁部２２０からの突出端部に、Ｘ軸方向に平行に１列に並んで設けられている。本実施形態においては、４つの個別昇降装置３５０のうち、内側の２つが内ノズル保持軸２０６を進退させる装置（以後、場合によって内用個別昇降装置３５０と称する）とされ、両端の２つが外ノズル保持軸２０７を進退させる装置（以後、場合によって外用個別昇降装置３５０と称する）とされている。

外用個別昇降装置３５０は、本実施形態においては駆動部材３５２および駆動部材昇降装置３５４を含む。駆動部材昇降装置３５４は、駆動源たる電動モータ３５６と、送りねじ３５８およびナット３６０を含む送りねじ機構３６２と、電動モータ３５６の回転を送りねじ３５８に伝達する回転伝達機構３６４（図１１参照）とを含む。

電動モータ３５６は、図９および図１１に示すように、ヘッド本体２００の支持部２２４の下面に鉛直な姿勢で上向きに取り付けられ、送りねじ３５８は、図１１に示すように、支持部２２４，２２６により、電動モータ３５６に隣接する位置に鉛直軸線まわりに回転可能かつ軸方向に相対移動不能に支持されている。電動モータ３５６の出力軸３６６および送りねじ３５８の上端部はそれぞれ、支持部２２４の上方へ突出させられるとともに、回転伝達機構３６４を構成するプーリ３６８，３７０が取り付けられ、それらに巻き掛けられたベルト３７２により電動モータ３５６の回転が送りねじ３５８に伝達される。本実施形態においては、プーリ３６８，３７０はタイミングプーリとされ、ベルト３７２はタイミングベルトとされている。

ナット３６０は送りねじ３５８に螺合されるとともに、可動部材たるスライド３７８が固定されている。スライド３７８は、支持部２２４，２２６により鉛直な姿勢で支持された案内部材たるガイドロッド３８０にリニアブッシュ３８２（図１２参照）を介して軸方向に相対移動可能かつ相対回転不能に嵌合されている。駆動部材３５２は、図１５に示すように、スライド３７８の下部から外回転体２０４側へ水平に延び出させられ、その延出端部にカムフォロワとしてのローラ３８４が取り付けられている。ローラ３８４は、外ノズル保持軸２０７の旋回軌跡上に位置し、旋回軌跡に対する接線と直交する方向であって、旋回中心線と直交する水平軸線まわりに回転可能に取り付けられている。

駆動部材３５２にはまた、図１５に示すように、ローラ３８４の下方に、係合部３８８が設けられている。係合部３８８は、ローラ３８４が、上昇端位置に位置する外ノズル保持軸２０７の係合部３２０の僅かに上方に位置し、駆動部材３５２が上昇端位置に位置する状態において、首部３１８に対応する位置に設けられている。係合部３８８は板状を成し、外ノズル保持軸２０７側へ水平に延び出させられ、外ノズル保持軸２０７の旋回軸線と直交する方向において係合部３２０とばね受け部３１０との間に位置するが、首部３１８とは干渉しない位置まで延び出させられている。したがって、外回転体２０４が回転させられるとき、外ノズル保持軸２０７は係合部３８８と干渉することなく、旋回させられる。係合部３８８の延出端面は、外ノズル保持軸２０７の旋回軸線を中心線とする円筒面状を成す。

内用個別昇降装置３５０は外用個別昇降装置３５０と同様に構成されているが、駆動部材３５２は、図１２および図１６に示すように、スライド３７８の上部から外回転体２０４を超えて内ノズル保持軸２０６の上方へ延び出させられた後、下方へ屈曲させられたＬ字形を成し、その下端部にローラ３８４が回転可能に取り付けられている。したがって、内用個別昇降装置３５０の駆動部材３５２の上昇端位置は、外用個別昇降装置３５０の駆動部材３５２と同じであり、ローラ３８４は内ノズル保持軸２０６の係合部３２０との間に僅かな隙間を有して上側に位置する位置であるが、駆動部材３５２とスライド３７８との間であって、外ノズル保持軸２０７の旋回軌跡の上方には、上下方向に延び、外ノズル保持軸２０７の旋回を許容する隙間３８６が形成されている。

４つの個別昇降装置３５０は各ローラ３８４が、図１２に示すように、Ｘ軸方向に平行な一直線上に、フィーダ支持台９６の保持部９８の形成ピッチと等しい間隔で一列に並ぶとともに、内回転体２０２および外回転体２０４が共に設定回転位置に位置し、前記４つの直線Ｄ₁，Ｄ₂，Ｄ₃，Ｄ₄のうちの２本がＸ軸方向に平行となる状態において、それら２本のうち、ヘッド本体２００の背壁部２２０から遠い側の１本に沿って並ぶ内，外２つずつ、合計４つのノズル保持軸２０６，２０７の上方に位置する位置に設けられている。これら４つのノズル保持軸２０６，２０７が作用保持軸２０６，２０７であり、作用保持軸２０６，２０７の位置する位置が作用位置である。４つの作用保持軸２０６，２０７は、回転体２０２，２０４の回転軸線を含み、４つの個別昇降装置３５０の並び方向であるＸ軸方向と直角なＹ軸方向に平行な平面に対して２つずつが対称に位置し、４つの個別昇降装置３５０は、内，外２つの個別昇降装置３５０が上記平面に対して左右対称に設けられている。４つのノズル保持軸２０６，２０７が作用位置に位置する際の回転体２０２，２０４の各回転位置が設定回転位置であり、この設定回転位置は、本実施形態においては９０度間隔で４つある。

前記保持軸回転駆動装置２１２を説明する。
保持軸回転駆動装置２１２は、本実施形態においては、図１０に示すように内ノズル保持軸回転駆動装置４００および外ノズル保持軸回転駆動装置４０２を含み、それぞれ内ノズル保持軸２０６，外ノズル保持軸２０７を軸線まわりに回転させる。内ノズル保持軸回転駆動装置４００は、電動モータ４０８を駆動源とし、８つの内ノズル保持軸２０６の全部を一斉に回転させる装置とされている。そのため、８つの内ノズル保持軸２０６にはそれぞれ、その内回転体２０２から下方へ延び出させられた部分であって、案内筒３０２とノズル保持部３３０との間の部分に被駆動部材たる歯車４１０が取り付けられるとともに、ヘッド本体２００により鉛直軸線まわりに回転可能に保持された共通の駆動部材たる歯車４１２に噛み合わされている。

歯車４１２は、前記回転軸２３８の内側に、回転軸２３８と同心状に、相対回転可能かつ軸方向に移動不能に嵌合された回転軸４１４の回転軸２３８から下方への突出端部に固定して設けられている。回転軸４１４の上端部は回転軸２３８から上方へ延び出させられ、支持部２２２により軸受４１６を介して内回転体２０２の鉛直な回転軸線と同心の軸線まわりに回転可能かつ軸方向に移動不能に支持されている。電動モータ４０８は、図１０および図１１に示すように、支持部２２２の下面の幅方向（左右方向）の中央部に鉛直方向に延びる姿勢で上向きに取り付けられ、その支持部２２２から上方へ突出させられた出力軸４１８に取り付けられた駆動歯車４２０（図１１参照）が、回転軸４１４の上端部に取り付けられた被駆動歯車４２２と噛み合わされている。被駆動歯車４２２も、シザースギヤとされ、２つの歯車４２４，４２６を含む。回転軸４１４が電動モータ４０８により回転させられ、歯車４１２が回転させられることにより、８つの内ノズル保持軸２０６が内回転体２０２に対して一斉に、自身の軸線まわりにおいて同方向に同角度回転させられる。なお、歯車４１２の歯は上下方向（軸線方向）に長いものとされ、内ノズル保持軸２０６が昇降させられても、歯車４１０との噛合いが外れないようにされている。

外ノズル保持軸回転駆動装置４０２も図１０に示すように電動モータ４３０を駆動源とし、８つの外ノズル保持軸２０７の全部を外回転体２０４に対して一斉に自転させるものとされている。そのため、８つの外ノズル保持軸２０７にはそれぞれ、その外回転体２０４から下方へ延び出させられた部分であって、案内筒３０２とノズル保持部３３０との間の部分に被駆動部材たる歯車４３２が取り付けられるとともに、それら８つの歯車４３２に共通の駆動部材たる歯車４３４と噛み合わされている。

歯車４３４はリング状を成し、その外周面において支持部２２８により軸受４４２を介して外回転体２０４の鉛直な回転軸線と同心の軸線まわりに回転可能に支持され、その内周面に形成された歯に８つの歯車４３２が噛み合わされている。歯車４３４の支持部２２８から上方への突出部の外側に被駆動歯車４３６が嵌合され、固定されている。被駆動歯車４３６もシザースギヤとされ、２つの歯車４３８，４４０を含み、支持部２２６の上面に下向きに取り付けられた電動モータ４３０の出力軸４４４に固定の駆動歯車４４６と噛み合わされている。したがって、電動モータ４３０によって被駆動歯車４３６が回転させられることにより歯車４３４が回転させられ、歯車４３２が回転させられて８つの外ノズル保持軸２０７が一斉に、自身の軸線まわりにおいて同方向に同角度回転させられる。歯車４３４の歯は軸線方向に長いものとされ、外ノズル保持軸２０７が昇降させられても歯車４３２との噛合いが外れないようにされている。

吸着ノズル３３２は負圧によって電子回路部品を吸着し、保持するものであり、ノズル保持軸２０６，２０７内には、図示は省略する通路が形成されている。吸着ノズル３３２はノズル保持部３３０により保持された状態でノズル保持軸２０６，２０７内の通路に連通させられ、本実施形態においては負圧と正圧とが選択的に供給される。ノズル保持軸２０６，２０７への負圧および正圧の供給は、８つずつの内ノズル保持軸２０６および外ノズル保持軸２０７の各々に対応して設けられた切換弁装置４５０により選択的に切り換えられる。

これら切換弁装置４５０は同様に構成されており、内ノズル保持軸２０６の１つについて設けられた切換弁装置４５０を例に取って説明する。
切換弁装置４５０は、本実施形態においてはスプール弁により構成され、図１０に示すようにバルブスプール４５２を有する。バルブスプール４５２は、図１２に示すように、内ノズル保持軸２０６に隣接する位置に、内回転体２０２を内ノズル保持軸２０６の軸線と平行な方向に貫通して形成された嵌合穴（図示省略）に軸方向に移動可能に嵌合され、図１７に概略的に示すように、軸方向に隔たった２個所にそれぞれ、外周面に開口する通路４５４，４５６が形成されている。これら通路４５４，４５６は円環状を成し、内回転体２０２内に形成された通路４５８，４６０によって内ノズル保持軸２０６内の通路に接続される。

通路４５４，４５６には、内回転体２０２内に形成された別の通路（この通路および上記通路４５８，４６０は、図１０においては煩雑になることを避けるために図示が省略されている），回転軸４１４内に形成された通路４６４，回転軸２３８，４１４との間に形成された円環状の通路４６６，ヘッド本体２００に設けられた負圧供給通路４６８および正圧供給通路４７０により、負圧源４７２および正圧源４７４から負圧および正圧が供給される。負圧供給通路４６８には、図１８に概略的に示すように電磁開閉弁４７６が設けられ、負圧の供給が許容，遮断される。正圧供給通路４７０は、電磁開閉弁４７８を備えた通路部４８０と、通路部４８０に並列に設けられ、電磁開閉弁４８２および圧力制御弁４８４を備えた通路部４８６とを有する。通路４６４，４６６は、内回転体２０２内に形成された前記別の通路と負圧供給通路４６８および正圧供給通路４７０との間に設けられている。負圧源４７２および正圧源４７４はモジュール本体１８に設けられている。負圧供給通路４６８および正圧供給通路４７０は１６個の切換弁装置４５０に共通に設けられ、装着ヘッド１０２が第二Ｘ軸スライド１１６に取り付けられた状態で負圧源４７２および正圧源４７４に接続される。

バルブスプール４５２は、図１７(a)に示すように、上昇端位置に位置する状態において上側の通路４５６が正圧源４７４および通路４６０に接続される一方、下側の通路４５４が負圧源４７２および通路４５８から遮断され、図１７(b)に示すように、下降端位置に位置する状態において上側の通路４５６が正圧源４７４および通路４６０から遮断され、下側の通路４５４が負圧源４７２および通路４５８に接続される。バルブスプール４５２の第一位置である上昇端位置が正圧供給位置であり、吸着ノズル３３２への正圧の供給が可能であり、第二位置である下降端位置が負圧供給位置であり、吸着ノズル３３２への負圧の供給が可能である。なお、図示は省略するが、バルブスプール４５２と回転体２０２，２０４との間の部分にはシール部材たるシールリングが複数設けられ、正圧および負圧の漏れがそれぞれ防止されている。このシールリングの摩擦力により、バルブスプール４５２は正圧供給位置および負圧供給位置にそれぞれ位置する状態に保たれる。

内回転体２０２に設けられた切換弁装置４５０のバルブスプール４５２（以後、場合によって内切換弁装置４５０，内バルブスプール４５２と称する）の上端部は、図１３に示すように、内回転体２０２から上方へ延び出させられ、上昇端位置および下降端位置のいずれに位置する状態においても、上昇端位置に位置する内ノズル保持軸２０６より上方に位置するように設けられている。バルブスプール４５２の上端部には、内回転体２０２に嵌合される嵌合部ないし通路形成部より大径の円板状の係合部４９２が設けられている。

外回転体２０４に外ノズル保持軸２０７に対応して設けられた切換弁装置４５０のバルブスプール４５２（以後、場合によって外切換弁装置４５０，外バルブスプール４５２と称する）は、外回転体２０４から上方へ延び出させられ、上端部には係合部４９２が設けられているが、図１３に示すように上昇端位置に位置する外ノズル保持軸２０７より下方において上昇端位置と下降端位置とに昇降させられるものとされている。外バルブスプール４５２は、外回転体２０４内に形成された通路４５８，４６０により外ノズル保持軸２０７内の通路に接続され、負圧供給通路４６８，正圧供給通路４７０，通路４６４，４６６および外回転体２０４内に形成された通路（図示省略）を経て負圧源４７２，正圧源４７４から負圧，正圧が供給される。

ヘッド本体２００には、図１２に示すように、前記４つの作用保持軸２０６，２０７に対応する切換弁装置４５０をそれぞれ切り換える切換装置５００が設けられている。切換装置５００は、図９および図１２に示すように、ヘッド本体２００の支持部２２６の、４つの個別昇降装置３５０のうち両端の個別昇降装置３５０に隣接する箇所に２つずつ設けられ、４つの作用位置にそれぞれ対応する位置に切換装置５００が設けられている。これら２つずつの切換装置５００の１つは、内ノズル保持軸２０６により構成される作用保持軸である内作用保持軸２０６に対応する内切換弁装置４５０を切り換え、別の１つは外ノズル保持軸２０７により構成される作用保持軸である外作用保持軸２０７に対応する外切換弁装置４５０を切り換える。これら内，外切換弁装置４５０の位置を切換位置と称する。また、場合によって、内切換弁装置４５０を切り換える切換装置５００を内切換装置５００、外切換弁装置４５０を切り換える切換装置５００を外切換装置５００と称する。

図１９に基づいて内切換弁装置４５０を切り換える切換装置５００を説明する。
本切換装置５００は、リニアモータ５０２を駆動源とする。リニアモータ５０２は、本実施形態では円筒形のリニアモータであり、固定部としての固定子５０４および可動部としての可動子５０６を含む。固定子５０４は、本実施形態においては、磁性材製のロッドの表面に、複数のリング状の永久磁石が等ピッチで設けられたものであり、支持部２２４，２２６の間の部分に鉛直に設けられている。可動子５０６は複数のコイルを含み、固定子５０４の外側に半径方向の隙間を有して嵌合されており、固定子５０４の軸方向に沿って移動可能である。

可動子５０６には可動部材たるスライド５１０が固定されるとともに、支持部２２４，２２６に固定子５０４に隣接して鉛直に設けられたガイドロッド５１２に軸方向に相対移動可能に嵌合されており、ガイドロッド５１２により案内されつつ上下方向に移動させられる。スライド５１０には係合部材５１４が固定されている。係合部材５１４は板状を成し、内バルブスプール４５２の係合部４９２の旋回軌跡内へ延び出させられている。内バルブスプール４５２は内ノズル保持軸２０６より高いものされており、係合部材５１４は、図１９に示すように、外バルブスプール４５２，内ノズル保持軸２０６および外ノズル保持軸２０７を超え、それらと干渉することなく内バルブスプール４５２に至り、切換位置に位置する内切換弁装置４５０の内バルブスプール４５２の係合部４９２が位置する位置へ延び出させられている。係合部材５１４の延出端部はＵ字形とされ、その延出端面に開口させられるとともに、係合部４９２の旋回方向に貫通する切欠５１６が形成され、切欠５１６の上下両側にそれぞれ係合部５１８，５２０が設けられている。

係合部材５１４の上昇端位置は、内バルブスプール４５２が上昇端位置に位置する状態において、切欠５１６が係合部４９２と同じ高さに位置する位置とされており、係合部５１８，５２０は係合部４９２の上下両側にそれぞれ、係合部４９２との間に隙間を有して位置する。内回転体２０２の回転により内バルブスプール４５２が旋回させられるとき、係合部材５１４は切欠５１６により係合部４９２との干渉が回避される。係合部材５１４の上昇端位置は上昇端側干渉回避位置である。また、係合部材５１４は、図１２に示すように、係合部５１８，５２０が平面視において係合部４９２の外周部と重なるが、図１９に示すように内バルブスプール４５２の係合部４９２より下側の部分には至らず、干渉することはない。

可動子５０６のコイルに電流が供給され、可動子５０６が移動させられることにより係合部材５１４が昇降させられる。係合部材５１４の移動方向の位置は、図９に示す位置検出装置たるリニアエンコーダ５２２により検出される。リニアエンコーダ５２２は、支持部２２４，２２６に鉛直な姿勢で設けられたリニアスケール５２４と、可動子５０６に設けられ、リニアスケール５２４に沿って移動させられる移動検出ヘッド５２６とを含む。可動子５０６は、コイルに保持電流が加えられることにより、任意の位置において停止した状態に保たれる。

外切換装置５００は内切換装置５００と同様にリニアモータ５０２を駆動源とし、可動子５０６は、内切換装置５００のリニアモータ５０２の固定子５０４の下部に昇降可能に嵌合され、可動子５０６に固定のスライド５１０はガイドロッド５１２に移動可能に嵌合され、内切換装置５００と固定子５０４およびガイドロッド５１２を共用している。外切換装置５００の係合部材５３０は、図１９に示すように、スライド５１０から外バルブスプール４５２の係合部４９２の旋回軌跡内へ、切換位置に位置する外切換弁装置４５０の外バルブスプール４５２の係合部４９２が位置する位置まで延び出させられ、切欠５３２および係合部５３４，５３６が設けられている。係合部材５３０の上昇端位置は、切欠５３２が、上昇端位置に位置する外バルブスプール４５２の係合部４９２に対応する位置とされており、係合部５３４，５３６は係合部４９２の上下両側にそれぞれ、係合部４９２との間に隙間を有して位置する。係合部材５３０の上昇端位置は上昇端側干渉回避位置である。また、係合部材５３０は、係合部５３４，５３６が平面視において係合部４９２の外周部と重なるが、外バルブスプール４５２の係合部４９２より下側の部分には至らず、干渉することはない。外バルブスプール４５２が内バルブスプール４５２より低くされることにより、内，外切換装置５００が固定子５０４を共用する構成とされ、切換装置５００の配設スペースが少なくて済む。係合部材５３０の移動位置もリニアエンコーダ５２２により検出される。このリニアエンコーダ５２２は、係合部材５１４の移動位置を検出するリニアエンコーダ５２２とリニアスケール５２４を共用する。

前記ヘッド制御装置２１４は、図２０に示すようにヘッド制御コンピュータ５４０を主体として構成され、ヘッド本体２００に設けられている。ヘッド制御装置２１４は、駆動回路５４２を介して電動モータ２５４等、装着ヘッド１０２を構成する種々の装置の駆動源等を制御する。装着制御コンピュータ５４０の入出力インタフェースには、リニアスケール５２４および電動モータ２５４等に設けられたエンコーダ５４４（図２０には１つが代表的に示されている）が接続されている。本実施形態においては、電動モータ２５４，２７２，４０８，４３０にそれぞれ設けられたエンコーダ５４４はアブソリュートエンコーダとされ、電動モータ３５６に設けられたエンコーダ５４４はインクリメンタルエンコーダとされている。ヘッド制御コンピュータ５４０は、装着制御コンピュータ５４０とも称することができる。

前記モジュール制御装置３２は、図２０に示すように、モジュール制御コンピュータ５５０を主体として構成されており、駆動回路５５２を介して電動モータ１２０等、装着モジュール１０を構成する種々の装置の駆動源等を制御する。また、モジュール制御コンピュータ５５０の入出力インタフェースには、基準マーク撮像装置２８および部品撮像装置３０の撮像により得られたデータを処理する画像処理コンピュータ５５４および装着制御コンピュータ５４０が接続されるとともに、他の装着モジュール１０のモジュール制御装置３２および装着システム全体を統括制御するシステム制御装置５５６が通信ケーブル５５８を介して接続されている。さらに、図示は省略するが、入出力インタフェースには、電動モータ１２０等に設けられたエンコーダ等が接続されている。

以上のように構成された装着システムにおいて装着ヘッド１０２による回路基板４４への電子回路部品の装着を説明する。
装着ヘッド１０２においては、２つずつの外ノズル保持軸２０７および内ノズル保持軸２０６の合計４つのノズル保持軸２０６，２０７が保持する吸着ノズル３３２によって電子回路部品を同時に吸着することができ、あるいは１つずつの外ノズル保持軸２０７および内ノズル保持軸２０６の合計２つのノズル保持軸２０６，２０７が保持する吸着ノズル３３２によって電子回路部品を同時に吸着することができ、１つずつの内ノズル保持軸２０６あるいは外ノズル保持軸２０７が保持する吸着ノズル３３２によっても電子回路部品を吸着することができる。装着ヘッド１０２においては、モジュール制御装置３２からのヘッド制御装置２１４への指令等の伝送に基づいて回転体駆動装置２０８等が制御され、吸着ノズル３３２による電子回路部品の吸着および回路基板４４への装着等が行われる。

４つのノズル保持軸２０６，２０７が保持する吸着ノズル３３２による電子回路部品の同時吸着を説明する。
この場合、内回転体２０２および外回転体２０４がそれぞれ設定回転位置に位置させられ、組を成す内，外２つずつのノズル保持軸２０６，２０７が一直線上に等間隔に並ばせられる。本実施形態においては、個別駆動装置２３４，２３６の電動モータ２５４，２７２の各回転角度を検出するエンコーダ５４４はアブソリュートエンコーダとされており、回転体２０２，２０４の各４つの設定回転位置をそれぞれ規定するエンコーダ５４４の値が予め設定され、ヘッド制御コンピュータ５４０のＲＡＭに設けられて記憶手段を構成する設定回転位置メモリに記憶させられている。本実施形態においては、例えば、検出値が０度，９０度，１８０度，２７０度である位置がそれぞれ設定回転位置となるようにエンコーダ５４４が設けられている。そして、４組のうちの１組の４つのノズル保持軸２０６，２０７がそれぞれ作用位置に位置させられる。これら４つのノズル保持軸２０６，２０７の間隔は保持部９８の形成ピッチと等しい１２ミリであり、変更することができない。したがって、４つのノズル保持軸２０６，２０７の使用による電子回路部品の同時吸着は、吸着ノズル３３２との間に多少の位置ずれがあっても支障なく吸着される大きさの電子回路部品について行われる。

また、装着ヘッド１０２がヘッド移動装置１０３により、４つの作用保持軸２０６，２０７がそれぞれ、隣接する４つのフィーダ５０の各供給部の上方に位置する部品取出位置へ移動させられる。その状態で４つの個別昇降装置３５０の各駆動部材３５２が同時に下降させられ、４つの作用保持軸２０６，２０７をスプリング３１２の付勢力に抗して同時に押し下げる。駆動部材３５２は、回転体２０２，２０４の回転時には上昇端位置に位置し、組を成す４つのノズル保持軸２０６，２０７の作用位置への旋回が、それぞれフィーダ５０の供給部の上方に位置する状態で行われる場合、ノズル保持軸２０６，２０７の係合部３２０の旋回方向において下流側の一部がローラ３８４の下方に至ったとき、ローラ３８４が係合面３２２に係合するタイミングで下降させられる。それにより、ノズル保持軸２０６，２０７の作用位置への移動と下降とが並行して行われ、電子回路部品の吸着に要する時間が短縮される。ノズル保持軸２０６，２０７の下降と並行した移動は、ローラ３８４の回転によりスムーズに行われる。

作用保持軸２０６，２０７の下降と並行して、４つの作用保持軸２０６，２０７の各々に対応する切換弁装置４５０のバルブスプール４５２がそれぞれ、切換装置５００により一斉に負圧供給位置へ下降させられる。バルブスプール４５２は、吸着ノズル３３２が電子回路部品を吸着しない状態では、図１７(a)に示す正圧供給位置に位置する。電磁開閉弁４７８，４８２は閉じられ、切換弁装置４５０と正圧源４７４との連通は遮断されており、ノズル保持軸２０６，２０７に正圧は供給されない。装着ヘッド１０２による電子回路部品の吸着開始時に電磁開閉弁４７６が開かれて負圧源４７２から切換弁装置４５０へ負圧が供給される状態とされる。

バルブスプール４５２はノズル保持軸２０６，２０７の作用位置への移動に伴って切換位置へ移動させられ、停止後、４つの切換装置５００の各係合部材５１４，５３０が下降させられ、上側の係合部５１８，５３４が係合部４９２に係合し、バルブスプール４５２を押し下げる。それにより、通路４５８が負圧源４７２に連通させられ、ノズル保持軸２０６，２０７から吸着ノズル３３２に負圧が供給されて電子回路部品が吸着される。バルブスプール４５２は、吸着ノズル３３２が電子回路部品に当接する直前に吸着面に負圧が供給されるタイミングで下降させられ、切換弁装置４５０が負圧供給状態に切り換えられる。

吸着ノズル３３２による電子回路部品の吸着後、４つの駆動部材３５２が一斉に上昇させられる。それに伴ってノズル保持軸２０６，２０７がスプリング３１２の付勢により上昇させられ、電子回路部品がフィーダ５０から取り出される。本実施形態においては、個別昇降装置３５０は、ノズル保持軸２０６，２０７の下降は強制的に行うが、上昇は許容する装置である。但し、何らかの事情によりノズル保持軸２０６，２０７がスプリング３１２の付勢により上昇させられないことがあれば、駆動部材３５２の上昇に伴って係合部３８８がノズル保持軸２０６，２０７の係合部３２０に係合し、ノズル保持軸２０６，２０７を強制的に上昇させる。

バルブスプール４５２は負圧供給位置へ下降させられたままであり、吸着ノズル３３２には負圧が供給された状態に保たれる。切換装置５００の係合部材５１４，５３０は、バルブスプール４５２を下降させた後、僅かに上昇させられて係合部５１８，５３４がバルブスプール４５２の係合部４９２から離間させられ、係合部４９２が切欠５１６，５３２内に位置して上下の係合部５１８，５２０，５３４，５３６がいずれも係合部４９２に接触せず、回転体２０２，２０４の回転によるバルブスプール４５２の旋回を許容するようにされる。この位置を係合部材５１４，５３０の下降端側干渉回避位置と称する。係合部材５１４，５３０はまた、バルブスプール４５２が旋回させられ、係合部４９２が切欠５１６，５３２から離脱した後、上昇端位置ないし上昇端側干渉回避位置へ上昇させられ、次に電子回路部品を供給するノズル保持軸２０６，２０７に対応するバルブスプール４５２の係合部４９２が切欠５１６，５３２内へ進入するようにされる。

そして、内回転体２０２および外回転体２０４がそれぞれ次の設定回転位置へ回転させられ、同方向へ設定回転角度（本実施形態においては９０度）回転させられる。それにより、次の組の４つのノズル保持軸２０６，２０７が作用位置へ移動させられて４つの吸着ノズル３３２が同時に電子回路部品を吸着させられる。

１６個のノズル保持軸２０６，２０７の全部が電子回路部品を吸着したならば、装着ヘッド１０２は部品撮像装置３０へ移動させられ、全部の電子回路部品が同時に撮像される。撮像データは画像処理コンピュータ５５４により処理され、吸着ノズル３３２による電子回路部品の保持位置誤差が算出される。保持位置誤差には、Ｘ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差および軸線まわりの位置誤差である回転位置誤差が含まれる。Ｘ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差は装着ヘッド１０２の移動位置の補正により打ち消されるようにされ、回転位置誤差はノズル保持軸２０６，２０７が自転させられることにより補正される。内ノズル保持軸２０６も外ノズル保持軸２０７も８つずつが一斉に回転させられるため、ノズル保持軸２０６の自転角度は、他のノズル保持軸２０６，２０７の自転の際にも回転させられることを考慮して設定される。この際、回路基板４４に設けられた基準マークの撮像に基づいて取得される複数の部品装着位置の各位置誤差も、合わせて修正される。

電子回路部品の回路基板４４への装着は、本実施形態においては１個ずつ行われる。例えば、内ノズル保持軸２０６の吸着ノズル３３２により保持された電子回路部品が回路基板４４に装着される場合には、その内ノズル保持軸２０６は、内回転体２０２の回転により、２つの内用個別昇降装置３５０のうちの一方、例えば、（ア）現に内ノズル保持軸２０６が位置する位置から近い方の内用個別昇降装置３５０、あるいは（イ）Ｘ軸方向において装着ヘッド１０２の移動距離が短くて済む方の内用個別昇降装置３５０により昇降させられる作用位置へ移動させられ、下降させられて電子回路部品を回路基板４４に装着する。装着後、内ノズル保持軸２０６は上昇端位置へ上昇させられる。

４つの個別昇降装置３５０は、前述のように、回転体２０２，２０４の回転軸線を含み、Ｙ軸方向に平行な平面に対して２つずつが対称に設けられており、２つの内用個別昇降装置３５０はＸ軸方向における位置を異にするとともに、一方は回路基板４４の搬送方向において下流側の端に近く、他方は上流側の端に近い。そのため、内ノズル保持軸２０６の昇降にいずれの内用個別昇降装置３５０を使用するかによって装着ヘッド１０２のＸ軸方向における移動距離を短くすることができ、また、装着時における装着ヘッド１０２の回路基板４４から基板搬送方向において下流側あるいは上流側へのはみ出しを低減させることができる。それにより、装着ヘッド１０２の移動距離を短くしつつ、広い装着範囲が得られる。内用個別駆動装置２３４の電動モータ２５４の回転角度を検出するエンコーダ５４４はアブソリュートエンコーダとされており、８つの内ノズル保持軸２０６の各々について、２つの内用個別昇降装置３５０にそれぞれ対応する位置へ移動させた状態における回転体２０２の回転位置を表すエンコーダ５４４の値が予め取得され、ヘッド制御コンピュータ５４０のＲＡＭに設けられて記憶手段を構成する部品装着時ノズル保持軸位置メモリに記憶させられている。そして、いずれの内用個別昇降装置３５０により昇降させられるかに応じてエンコーダ５４４の値が読み出され、回転体２０２が回転させられる。なお、装着時にも内ノズル保持軸２０６の旋回と下降とが並行して行われる。

電子回路部品の装着を行う内ノズル保持軸２０６に対応するバルブスプール４５２は、切換装置５００により正圧供給位置へ上昇させられる。係合部材５１４は、全部の内ノズル保持軸２０６について設けられたバルブスプール４５２を負圧供給位置へ下降させた後、下降端側干渉回避位置へ上昇させられており、バルブスプール４５２の旋回に伴って係合部４９２が切欠５１６内へ進入させられる。そして、係合部材５１４がリニアモータ５０２により上昇させられ、その下側の係合部５２０が係合部４９２に係合してバルブスプール４５２を上昇させる。全部の吸着ノズル３３２が電子回路部品を吸着した状態で電磁開閉弁４８２が開かれ、正圧源４７４から切換弁装置４５０に圧力が低く制御された正圧が供給される状態とされる。そのため、バルブスプール４５２が正圧供給位置へ上昇させられるとき、通路４５８が負圧源４７２から遮断された後、通路４６０が正圧源４７４に連通させられ、内ノズル保持軸２０６に正圧が供給される。それにより、吸着ノズル３３２から正圧が噴射されて電子回路部品が積極的に解放される。バルブスプール４５２は、電子回路部品が回路基板４４上に載置された状態で吸着面への負圧の供給が断たれ、その後、正圧が噴射されるタイミングで上昇させられる。未だ電子回路部品を保持している吸着ノズル３３２については、バルブスプール４５２が負圧供給位置にあって負圧が供給され、電子回路部品を吸着する状態に保たれる。

係合部材５１４は、バルブスプール４５２を正圧供給位置へ上昇させた後、僅かに下降させられて上昇端側干渉回避位置に位置させられ、係合部４９２から離間させられて内回転体２０２の回転に伴うバルブスプール４５２の旋回を許容する。そして、内回転体２０２の回転により係合部４９２が切欠５１６から離脱したならば、係合部材５１４は下降端側干渉回避位置へ下降させられ、次に切換えを行うバルブスプール４５２の係合部４９２が切欠５１６内へ進入するようにされる。

内用個別昇降装置３５０の駆動部材３５２とスライド３７８との間の部分には隙間３８６が設けられており、駆動部材３５２と外ノズル保持軸２０７との干渉を生じることなく、外回転体２０４を回転させることができる。しかも、隙間３８６は上下方向に長くされており、内ノズル保持軸２０６を下降させるために駆動部材３５２が下降させられても、外ノズル保持軸２０７と干渉しない。そのため、電子回路部品を装着すべく、内ノズル保持軸２０６の昇降が行われる間に外回転体２０４を回転させ、次に電子回路部品を装着する外ノズル保持軸２０７を作用位置へ移動させることができ、装着能率を向上させることができる。外用個別昇降装置３５０の駆動部材３５２は内回転体２０２の外側にあり、外ノズル保持軸２０７による電子回路部品の装着中に内回転体２０２を回転させ、内ノズル保持軸２０６を作用位置へ移動させることができる。内，外８つずつのノズル保持軸２０６，２０７が保持した電子回路部品の装着は、内，外交互に行われてもよく、内，外いずれか一方について全部の電子回路部品の装着が行われた後、他方が行われてもよい。また、内，外各回転体２０２，２０４において電子回路部品の装着順は、回転体２０２，２０４の回転軸線まわりにおけるノズル保持軸２０６，２０７の並び順でもよく、任意の順序でもよい。

８つずつの内，外ノズル保持軸２０６，２０７の全部について、吸着ノズル３３２が保持した電子回路部品の装着が終了すれば、電磁開閉弁４７６，４８２が閉じられ、バルブスプール４５２への負圧，正圧の供給がいずれも一旦、遮断される。なお、吸着ノズル３３２内の通路の清掃時には、電磁開閉弁４７８が開かれ、正圧源４７８から高圧のエアが吸着ノズル３３２に供給され、通路内の塵埃等が吹き飛ばされる。

組を成す４つのノズル保持軸２０６，２０７を設定回転位置に位置させた状態で、それらノズル保持軸２０６，２０７のうちのいずれか３つ、あるいは２つを同時に昇降させ、３つあるいは２つのフィーダ５０から同時に電子回路部品を取り出させるようにすることもでき、あるいはいずれか１つを昇降させてフィーダ５０から電子回路部品を取り出させるようにすることもできる。同時に昇降させられる２つは、いずれも内ノズル保持軸２０６でもよく、いずれも外ノズル保持軸２０７でもよい。

２つのノズル保持軸２０６，２０７が保持する吸着ノズル３３２による電子回路部品の同時吸着を説明する。
この同時吸着は、電子回路部品が小さいため、吸着ノズル３３２と電子回路部品との間に許容されるずれが小さく、部品取出時における両者の位置合わせ精度が高いことが要求される場合に行われる。内，外１つずつのノズル保持軸２０６，２０７であれば、回転体２０２，２０４の少なくとも一方を回転させることにより軸間距離を調整し、電子回路部品の位置ずれに対応することができるからである。電子回路部品の位置ずれは、送り装置５４による部品保持テープ６４の送り誤差，フィーダ５０のフィーダ支持台９６に対する取付位置誤差および取付状態におけるフィーダ５０の姿勢のくずれ等による部品収容凹部８０の位置ずれにより生じる。また、軸間距離は、内，外回転体２０２，２０４の少なくとも一方を、組を成す２つのノズル保持軸２０６，２０７が接近する向きに回転させることにより短くし、離間する向きに回転させることにより長くすることができる。

２つのノズル保持軸２０６，２０７の使用による電子回路部品の同時吸着は、本実施形態においては、隣接する２つのフィーダ５０、あるいはフィーダ５０を１つ隔てた２つのフィーダ５０について行うことができる。３つ以上の回転体が互いに同軸状に重ねられれば、フィーダ５０を２つ以上隔てた２つのフィーダ５０について、異なる２つの回転体にそれぞれ保持された２つのノズル保持軸により、それらの軸間距離を調整しつつ、同時に電子回路部品の取出しを行うことができる。以下、隣接する２つのフィーダ５０についての電子回路部品の同時吸着を例に取って説明する。なお、フィーダ支持台９６の位置ずれは出荷時に取得され、補正されている。また、説明を簡単にするために、本実施形態においては電子回路部品のＹ軸方向における位置誤差は送り装置５４の制御により補正され、Ｘ軸方向における位置誤差が軸間距離の変更により補正されるものとする。

２個の電子回路部品の同時吸着時には、８つずつの内ノズル保持軸２０６と外ノズル保持軸２０７とが１つずつ組にされる。本実施形態においては、図２１に二点鎖線で囲んで示すように、８つずつの内ノズル保持軸２０６と外ノズル保持軸２０７とは、回転体２０２，２０４の回転軸線まわりにおいて、同じ回転方向において上流側，下流側の各ノズル保持軸２０６，２０７に対する角度間隔の大小が同じであるノズル保持軸２０６，２０７同士が組にされている。なお、ここでは説明を簡単にするために、電子回路部品を取り出すフィーダ５０のフィーダ支持台９６における保持位置に関係なく、４つの個別昇降装置３５０のうちの予め設定された２つであって、回転体２０２，２０４の回転軸線を含み、Ｙ軸方向に平行な平面に対して左右いずれか一方の側に位置する内，外ノズル保持軸２０６，２０７の昇降に使用されるものとする。

図２１に示す組合わせは、４個の電子回路部品の同時吸着時に組み合わされる４つのノズル保持軸２０６，２０７に属するノズル保持軸２０６，２０７の組合わせとは異なっている。４個の電子回路部品の同時吸着時に組み合わされる内，外２つずつのノズル保持軸２０６，２０７のうち、回転体２０２，２０４の回転軸線を含む上記平面に対して同じ側に位置する１つずつの内，外ノズル保持軸２０６，２０７を組にしてもよい。しかし、この場合には、電子回路部品を取り出す２つのフィーダ５０が変わらないとすれば、回転体２０２，２０４を９０度ずつ回転させて４個の電子回路部品の同時吸着時の４つの設定回転位置に順次位置させ、組を成す４つの内，外ノズル保持軸２０６，２０７のうちの２つをそれぞれ、予め設定された内用，外用個別昇降装置３５０に対応する作用位置へ移動させ、電子回路部品の同時吸着動作を行わせる。そして、４組の内，外ノズル保持軸２０６，２０７の各吸着ノズル３３２による電子回路部品の吸着後、装着ヘッド１０２を移動させ、組を成す４つの内，外ノズル保持軸２０６，２０７のうちの別の２つを、電子回路部品を取り出すフィーダ５０の供給部に対応する位置に位置させる。移動後、内，外回転体２０２，２０４を再度、４つの設定回転位置に順次回転させ、別の２つの内，外ノズル保持軸２０６，２０７を作用位置に位置させ、電子回路部品の同時吸着動作を行わせる。それに対し、図２１に示す組合わせによれば、組を成す内，外ノズル保持軸２０６，２０７を、回転体２０２，２０４の回転軸線まわりにおける配設順に作用位置へ移動させることができ、回転体２０２，２０４のそれぞれの１回の回転角度は、ノズル保持軸２０６，２０７の配設角度間隔に応じて大小交互に変化するが、いずれも９０度より小さく、回転体２０２，２０４の総回転量も少なくて済む。また、同じフィーダ５０からの電子回路部品の取出し時における装着ヘッド１０２の移動も不要である。

このような２個の電子回路部品の同時吸着時における内，外回転体２０２，２０４の各回転位置も設定回転位置である。２個の電子回路部品の同時吸着を、組を成す４つのノズル保持軸２０６，２０７のうちの２つのノズル保持軸２０６，２０７に行わせる場合の回転体２０２，２０４の設定回転位置は、４個の電子回路部品の同時吸着時と同じであるが、図２１に示すように内，外ノズル保持軸２０６，２０７を組み合わせる場合の回転体２０２，２０４の設定回転位置は、４個同時吸着時とは異なる（図２２参照）。

また、２個の電子回路部品の同時取出し時には、４つの個別昇降装置３５０のうち、前述のＹ軸方向に平行な平面に対して左，右一方の側に位置する２つと、他方の側に位置する２つとのいずれかが使用される。組を成す４つのノズル保持軸２０６，２０７が同時に作動させられる場合、それらノズル保持軸２０６，２０７を昇降させる個別昇降装置３５０は一義的に決まり、４つのうちの２つが同時に作動させられる場合にも、４つ同時作動時と同じ個別昇降装置３５０に一義的に決まる。したがって、４つのノズル保持軸２０６，２０７のうち、右側の２つの使用時と左側の２つの使用時とにおいて回転体２０２，２０４の回転位置は変わらず、設定回転位置は同じであることとなる。

それに対し、図２１に示す組合わせによるノズル保持軸２０６，２０７は、左右いずれの側の内用，外用個別昇降装置３５０によっても昇降させることができる。回転体２０２，２０４の回転位置の設定により、組を成すノズル保持軸２０６，２０７を、上記Ｙ軸方向に平行な平面に対して左側の内用，外用個別昇降装置３５０により昇降させられる作用位置と、右側の内用，外用個別昇降装置３５０により昇降させられる作用位置とに選択的に位置させることができるからであり、左右いずれの側の内用，外用個別昇降装置３５０を使用するかによって回転体２０２，２０４の設定回転位置が異なり、設定回転位置は２種類あることとなる。
２個の電子回路部品の同時吸着時における回転体２０２，２０４の設定回転位置がいずれであっても、個別昇降装置３５０および切換装置５００は、回転体２０２，２０４が設定回転位置に位置する状態で、作用位置に位置し、作用保持軸であるノズル保持軸２０６，２０７に対応する位置に設けられる。

図２２に実線で示すように、組を成す１つずつの内，外ノズル保持軸２０６，２０７が１２ミリの間隔を隔ててＸ軸方向に並び、かつ、作用位置に位置し、作用保持軸２０６，２０７となる位置を正規位置とすれば、８組の内，外ノズル保持軸２０６，２０７がそれぞれ正規位置に位置する状態における内，外回転体２０２，２０４の回転位置（以後、正規回転位置と称する。正規回転位置は設定回転位置である。）を表すエンコーダ５４４の値（以後、正規回転位置規定値と称する）が予め取得され、ヘッド制御コンピュータ５４０のＲＡＭに設けられて記憶手段を構成する正規回転位置メモリに記憶させられている。個別駆動装置２３４，２３６の電動モータ２５４，２７２の回転角度を検出するエンコーダ５４４はアブソリュートエンコーダとされており、正規回転位置規定値は絶対値である。したがって、エンコーダ５４４の検出値が正規回転位置規定値となる位置へ回転体２０２，２０４を回転させれば、８組の内，外ノズル保持軸２０６，２０７がそれぞれ、正規位置に位置させられることとなる。

しかし、隣接する２つの部品収容凹部８０には、位置ずれが生じることがある。位置ずれにより、例えば、隣接する２つの部品収容凹部８０のピッチが１２ミリより短くなったとすれば、図２２に二点鎖線で示すように、内，外ノズル保持軸２０６，２０７をそれぞれ、軸間距離が２つの部品収容凹部８０の実際のピッチと等しくなる位置に位置させるためには、内回転体２０２，外回転体２０４の正規回転位置をそれぞれ角度α１、α２変更することが必要である。

また、この状態では、内，外ノズル保持軸２０６，２０７はＸ軸方向に対して傾斜した方向に並ぶため、回転体２０２，２０４を同方向に同角度（α３）回転させ、図２２に破線で示すように、内，外ノズル保持軸２０６，２０７を２つの部品収容凹部８０の実際のピッチと等しい距離を隔ててＸ軸方向に並ばせることが必要である。そのためには、回転体２０２，２０４の正規回転位置を、内回転体２０２については角度（α１＋α３）、外回転体２０４については角度（α２＋α３）補正した位置とすればよいこととなる。この回転位置を補正回転位置と称する。なお、正規回転位置を補正するための角度である補正回転角度（α１＋α３）および（α２＋α３）はそれぞれ正，負の符号を含む値である。正，負は回転体２０２，２０４の回転方向により決められる。

また、回転体２０２，２０４を補正回転位置へ回転させることにより、図２２に示すように、組を成す内，外ノズル保持軸２０６，２０７のＸ軸，Ｙ軸方向の位置が変わる。この位置変化Δｘ，Δｙは、２つのノズル保持軸２０６，２０７の軸線を結ぶ直線の中点において算出され、装着ヘッド１０２の移動位置の補正により打ち消されるようにされる。それにより、組を成す１つずつの内，外ノズル保持軸２０６，２０７は、軸間距離が２つの部品収容凹部８０のピッチに合わされるとともに、水平面内において２つの部品収容凹部８０に対する位置が合わされる。

本実施形態においては、隣接する２つの部品収容凹部８０のピッチを設定距離ずつ、例えば、０．１ミリずつ異ならせ、そのピッチを得るために必要な回転体２０２，２０４の各補正回転角度および装着ヘッド１０２の移動位置の補正量が予め演算され、モジュール制御コンピュータ５５０のＲＡＭに設けられて記憶手段を構成する補正データメモリに、部品収容凹部８０のピッチと対応付けて記憶させられている。補正データメモリは、ヘッド制御コンピュータ５４０に設けられてもよい。

また、本実施形態においては、一連の回路基板４４への電子回路部品の装着開始に先立って、フィーダ支持台９６に搭載された全部のフィーダ５０について供給部に位置する部品収容凹部８０が基準マーク撮像装置２８により撮像され、そのＸ軸，Ｙ軸方向の位置ずれが取得され、フィーダ５０のフィーダ支持台９６における保持位置と対応付けて、モジュール制御コンピュータ５５０のＲＡＭに設けられた記憶手段である部品収容凹部位置ずれメモリに記憶させられている。隣接する２つのフィーダ５０の各部品収容凹部８０のピッチが演算され、フィーダ５０の保持位置と対応付けて記憶させられてもよい。部品収容凹部位置ずれメモリは、ヘッド制御コンピュータ５４０に設けられてもよい。

電子回路部品の取出し時には、電子回路部品が同時に取り出される２つのフィーダ５０についてそれぞれ、部品収容凹部位置ずれメモリから部品収容凹部８０のＸ軸方向の位置ずれが読み出され、部品収容凹部８０間のピッチが算出される。そして、そのピッチに対応する補正回転角度および移動位置補正量が補正データメモリから読み出され、モジュール制御コンピュータ５５０からヘッド制御コンピュータ５４０へ送られる。正規回転位置の補正が不要であれば、個別駆動装置２３４，２３６はそれぞれ、回転体２０２，２０４を正規回転位置へ回転させ、組を成す内，外ノズル保持軸２０６，２０７を正規位置に位置させる。正規回転位置の補正が必要であれば、正規回転位置が補正回転角度に基づいて補正され、個別駆動装置２３４，２３６はそれぞれ、回転体２０２，２０４を補正回転位置へ回転させ、内，外ノズル保持軸２０６，２０７がそれぞれ、部品収容凹部８０のピッチに応じた軸間距離が得られる作用位置へ移動させられる。

また、モジュール制御コンピュータ５５０によりヘッド移動装置１０３が制御され、必要であれば装着ヘッド１０２の移動位置が補正されて、内，外ノズル保持軸２０６，２０７が部品収容凹部８０と一致する位置へ移動させられる。そして、内，外ノズル保持軸２０６，２０７に対応する２つの個別昇降装置３５０が同時に作動させられ、組を成す内，外ノズル保持軸２０６，２０７が同時に下降させられ、それらノズル保持軸２０６，２０７にそれぞれ保持された吸着ノズル３３２が部品収容凹部８０から電子回路部品を同時に取り出す。なお、算出されたピッチと同じピッチが補正データメモリにない場合には、例えば、算出ピッチより小さく、かつ、算出ピッチとの差が最小であるピッチが部品収容凹部ピッチとされ、補正回転角度等が読み出される。

８組の全部が同じ２つのフィーダ５０から電子回路部品を取り出すのであれば、装着ヘッド１０２が停止させられたままであり、回転位置の補正が不要であれば、回転体２０２，２０４は正規回転位置へ順次回転させられ、組を成す内，外ノズル保持軸２０６，２０７が電子回路部品の取出しを行わされる。補正が必要であれば、モジュール制御コンピュータ５５０から送られた補正回転角度により正規回転位置が補正され、回転体２０２，２０４は補正回転位置へ順次回転させられる。

８組の内，外ノズル保持軸２０６，２０７の少なくとも２組について電子回路部品を取り出す２つのフィーダ５０の組合わせが変わるのであれば、それらフィーダ５０について記憶させられた部品収容凹部８０の位置ずれが読み出されて２つの部品収容凹部８０のピッチが算出される。そして、補正が必要であれば、算出されたピッチに応じた補正回転角度および移動位置補正量が読み出され、正規回転位置が補正されて回転体２０２，２０４が補正回転位置へ回転させられるとともに、装着ヘッド１０２が補正された位置へ移動させられる。

前述のように、フィーダ５０から取り出された電子回路部品は部品撮像装置３０により撮像され、吸着ノズル３３２による電子回路部品の保持位置誤差が取得される。この保持位置誤差のうち、Ｘ軸，Ｙ軸方向の位置誤差には部品収容凹部８０の位置ずれおよび電子回路部品の部品収容凹部８０内におけるずれが含まれる。電子回路部品の部品収容凹部８０内におけるずれには、１つの部品保持テープ６４の全部の部品収容凹部８０に共通の傾向がある。そのため、取得されたＸ軸方向の位置誤差に基づいて部品収容凹部８０の位置ずれデータが修正され、次の電子回路部品の取出し時における部品収容凹部ピッチの算出に使用される。電子回路部品の部品収容凹部８０内における位置ずれも、部品収容凹部８０の位置ずれと見なして修正されるようにするのである。部品収容凹部８０の位置ずれに基づいて部品収容凹部ピッチが予め算出される場合、その部品収容凹部ピッチが取得された位置誤差に基づいて修正される。同じフィーダ５０から複数の電子回路部品が取り出される場合、複数の位置誤差の平均値が算出され、部品収容凹部８０の位置ずれの修正に使用される。それにより、次の電子回路部品の取出し時には、内，外ノズル保持軸２０６，２０７の電子回路部品に対する位置ずれが低減され、２つの電子回路部品がより位置ずれ少なく同時に吸着される。

２つのノズル保持軸２０６，２０７の使用による２個の電子回路部品の同時吸着がフィーダ５０を１つ隔てた２つのフィーダ５０について行われる場合、それらフィーダ５０の各部品収容凹部８０についても位置ずれが生じることがある。この場合にも隣接する２つのフィーダ５０から同時に電子回路部品を取り出す場合と同様に、部品収容凹部８０のピッチを設定距離ずつ異ならせ、各ピッチ毎に回転体２０２，２０４の補正回転角度および装着ヘッド１０２の移動位置補正量が予め算出されて補正データメモリに記憶させられ、部品収容凹部８０の実際のピッチに応じて使用される。３つ以上の回転体が同軸状に重ねられ、異なる２つの回転体にそれぞれ保持された２つのノズル保持軸の吸着ノズルによる電子回路部品の同時吸着がフィーダ５０を２つ以上隔てた２つのフィーダ５０について行われる場合も同様である。

なお、組を成す１つずつの内，外ノズル保持軸２０６，２０７の昇降に使用される内用，外用個別昇降装置３５０は、フィーダ５０のフィーダ支持台９６における保持位置が、基板搬送方向において上流側の端であるか下流側の端であるかに応じて異ならせた方がよい。例えば、隣接する２個のフィーダ５０から電子回路部品が同時に取り出される場合、回転体２０２，２０４の回転軸線を含み、Ｙ軸方向に平行な平面に対して左右両側にそれぞれ位置する内用，外用個別昇降装置３５０のうち、基板搬送方向において、電子回路部品を供給するフィーダ５０に近い側に位置する個別昇降装置３５０を使用する。この場合、８組のノズル保持軸２０６，２０７について正規回転位置規定値が、左右いずれの個別昇降装置３５０により昇降させられるかにより２種類ずつ取得されて記憶させられる。また、補正回転角度は絶対値で記憶させられ、使用される個別昇降装置３５０に応じて正負の符号が付けられて使用される。組を成すノズル保持軸２０６，２０７の軸間距離を変更するための回転体２０２，２０４の回転方向は、左右いずれの個別昇降装置３５０が使用されるかに応じて逆になるからである。個別駆動装置２３４，２３６において被駆動歯車２６０，２７８はシザースギヤとされてがたつきが除去されており、また、回転体２０２，２０４およびノズル保持軸２０６，２０７等は誤差を無視してよい程加工精度高く作られている。また、使用される個別昇降装置３５０に応じて、組を成す内，外ノズル保持軸２０６，２０７の基板搬送方向に平行な方向における位置が逆になり、移動位置補正量のうち、Ｘ軸方向の補正量は絶対値で記憶させられ、使用される個別昇降装置３５０に応じて正負の符号が付けられて使用される。内，外回転体２０２，２０４を４個の電子回路部品の同時吸着時における設定回転位置へ回転させ、組を成す４つのノズル保持軸２０６，２０７のうちの２つを電子回路部品の同時吸着に使用する場合にも同様である。４つのノズル保持軸２０６，２０７のうちの左右２つずつについて、内，外ノズル保持軸２０６，２０７の左右が逆になるからである。

１つずつの内ノズル保持軸２０６あるいは外ノズル保持軸２０７により電子回路部品の吸着を行う場合には、回転体２０２，２０４においてそれぞれ、ノズル保持軸２０６，２０７が予め設定された順序で作用位置へ移動させられ、下降させられて電子回路部品を吸着する。この作用位置は、内，外２つずつの個別昇降装置３５０のうち、予め設定された一方に対応する位置にノズル保持軸が位置する位置である。

以上の説明から明らかなように、本実施形態においては、回転体２０２と回転体２０４とが複重型回転体およびロータを構成し、回転体駆動装置２０８がロータ回転駆動装置を構成している。また、ヘッド移動装置１０３がロータリヘッド移動装置を構成している。さらに、ヘッド制御装置２１４の２つあるいは４つの個別昇降装置３５０を同時に作動させる部分が同時作動制御部を構成し、４つの個別昇降装置３５０を個々に昇降させる部分が各個作動制御部を構成し、これらが４つの個別昇降装置３５０と共に保持軸昇降装置２１０を構成している。さらにまた、ヘッド制御装置２１４の個別駆動装置２３４，２３６を制御して２つの部品収容凹部８０のピッチに応じた位置へ回転体２０２，２０４を回転させ、組を成す内，外ノズル保持軸２０６，２０７の軸間距離を変更し、部品収容凹部８０のピッチに応じた距離に調整する部分が軸間距離変更部たる微調整部を構成するとともに、Ｘ軸方向に並ぶ状態とする部分が向き変更部を構成し、個別駆動装置２３４，２３６と共に回転体駆動装置２０８を構成している。さらに、ヘッド制御装置２１４の個別駆動装置２３４，２３６を制御する部分およびモジュール制御装置３２のヘッド移動装置１０３を制御する部分が保持軸位置制御部を構成している。

図１４に示した２つの回転体、すなわち内回転体２０２と外回転体２０４との各々に８つずつのノズル保持軸２０６，２０７がそれぞれ保持させられた複重型ロータリヘッドの一種である２重型ロータリヘッドによる複数部品同時取出しの代表的なものは、先に詳細に説明したとおり、４つのノズル保持軸２０６，２０７を一斉に昇降させて行われる同時４個取出しであり、作業能率向上の観点から、事情が許す限り、この形態で同時取出しを行うことが望ましい。
しかし、常にこの形態の同時取出しが可能なわけではない。前述の、電子回路部品が小さいために、同時に下降させられる２つの吸着ノズル３３２の軸間距離を、互いに隣接する２つのフィーダ２５の供給部間の距離に合わせる必要がある場合はその一例であり、この場合には前述のように、内回転体２０２と外回転体２０４とにそれぞれ保持された１つずつのノズル保持軸２０６，２０７を同時に下降させることが必要になる。

また、同時に取り出された電子回路部品の回路基板４４上における装着位置が大きく離れていれば、かえって装着作業能率が低下してしまうので、部品供給装置２４におけるフィーダ５０の配列は、電子回路部品の装着位置を考慮して決定される必要がある。その上、フィーダ５０から電子回路部品を取り出させるためには、２重型ロータリヘッドの各ノズル保持軸２０６，２０７に保持されている各吸着ノズル３３２の種類と、複数のフィーダ５０の各々により供給される電子回路部品の種類（特に、寸法や被保持部の状態の違いを伴う種類）とが合致する必要がある。これらの条件が常に満たされるように、フィーダ５０と吸着ノズル３３２との両方の配列を決定することは実際上不可能である場合が多い。したがって、実際には、同時取出しが可能な電子回路部品の数が３個以下となってしまう場合があることは避け得ない。

また、同時取出しが可能な電子回路部品の数が３個以下の場合、先に説明したように、フィーダ５０のフィーダ支持台９６における保持位置が基板搬送方向において上流側の端であるか下流側の端であるかに応じて、昇降させるべきノズル保持軸２０６，２０７を、回転体２０２，２０４の回転軸線を含み、Ｙ軸方向に平行な平面に対して左側に位置するものとするか、右側に位置するものとするかを選択することが望ましい。
そのため、図１４に示した２重型ロータリヘッドは、前述のように同時４個，同時３個，同時２個および１個の形態で電子回路部品を取り出すことが可能とされているのであるが、そのうち、複数部品同時取出方法に相当する具体的な形態をまとめれば、図２３ないし図２７に図示するようになる。各図において同時に昇降させられるノズル保持軸２０６，２０７を斜線を施した円で表す。

図２３に示す４個同時取出しは、先に説明したとおり、内回転体２０２と外回転体２０４とを共に９０度ずつ回転させて、順次直線Ｄ上に並んだ状態となる４つのノズル保持軸２０６，２０７を一斉に昇降させることにより行われる。
それに対し、２個同時取出しは、先に説明した２つのノズル保持軸２０６，２０７の軸間距離の調節が可能な形態を含んで、図２４に示す(a)〜(f)の６形態と、図２５に示す(a)，(b)の２形態との計８形態が予定されている。図２４に示す２個同時取出し形態は、(a)，(b)，(c)に示す互いに隣接する２つずつのノズル保持軸を一斉に昇降させる形態と、(d)，(e)に示す１つおきの２つのノズル保持軸を一斉に昇降させる形態と，(f)に示す２つおきの２つのノズル保持軸を一斉に昇降させる形態とを含み、これらのうち、内回転体２０２と外回転体２０４とにそれぞれ保持された２つのノズル保持軸を一斉に昇降させる(a)，(b)，(d)，(e)の形態が２つのノズル保持軸２０６，２０７の軸間距離、ひいては２つの吸着ノズル３３２の軸間距離の調節が可能な形態である。また、図２５に示す(a)，(b)の２形態は、互いに隣接した２つのフィーダから、電子回路部品の２個同時取出しを連続して多数回行う必要がある場合に適した形態であり、吸着ノズル３３２の軸間距離の調節が必要である場合に特に適している。

また、３個同時取出しは、図２６に示す(a)〜(d)の４形態と、図２７に示す(a)，(b)の２形態との計６形態が予定されている。図２６に示す３個同時取出しには、(a)，(d)に示す互いに隣接する３つのノズル保持軸が一斉に昇降させられる形態と、(b)，(c)に示す互いに隣接する2つのノズル保持軸と隣接せず１つおきの状態で並ぶ３つのノズル保持軸が一斉に昇降させられる形態とがあるが、図２７に示す３個同時取出しには、互いに隣接した３つのノズル保持軸が一斉に昇降させられる形態のみが予定されている。
なお、上記４個同時取出し、および３個同時取出しのいずれにおいても、必要に応じて、内回転体２０２と外回転体２０４とにそれぞれ保持される２つの吸着ノズルの軸間距離の調節が可能であることは、２個同時取出しに関して説明したとおりである。

以上の説明は、複数個同時取出しを行う場合に、ノズル保持軸２０６とノズル保持軸２０７とに保持させられる吸着ノズル３３２が同じ種類のものであり、複数同時に取り出すべき電子回路部品を常に支障なく吸着，保持し得るものとの仮定の下に行ったが、実際には、吸着ノズル３３２（図示および説明は省略するが、吸着ノズル１３２についても同様である）として複数種類のものが準備され、吸着，保持すべき電子回路部品の種類に応じて自動交換される。この吸着ノズル３３２の自動交換のために、図２に示すように、基板保持装置２２と部品供給装置２４との間の位置にノズルストッカ５６０が設けられているが、吸着ノズル３３２の自動交換自体は本請求可能発明と直接関係がないため、詳細な説明は省略し、複数部品同時取出しと関係のある点のみを以下に説明する。

回路基板４４に装着されるべき電子回路部品には種々のものがある。寸法の違いはその代表的なものであり、吸着ノズル３３２に安定して吸着、保持させるためには、各電子回路部品の寸法に応じて適切な種類の吸着ノズル３３２がノズル保持軸２０６，２０７に保持させられることが望ましい。ただし、１種類の吸着ノズル３３２によって適切に保持可能な電子回路部品の種類は１種類ではなく、１種類の吸着ノズル３３２によって複数種類の電子回路部品を適切に保持し得ることが多い。１種類の吸着ノズル３３２により適切に保持し得る電子回路部品の種類の範囲を適合部品範囲と称することとするが、複数種類の吸着ノズル３３２の適合部品範囲は互いに部分的に重なりあっている。したがって、この重なり部分の電子回路部品は、その重なり部分を共有する２種類の吸着ノズル３３２のいずれに保持させてもよいのであり、２重型ロータリヘッドの複数のノズル保持軸２０６，２０７保持させる吸着ノズル３３２の種類の決定に当たって、この事実を考慮しておけば、２重型ロータリヘッドの実際上の汎用性が増し、複数部品同時取出しによる装着作業の能率向上効果を一層有効に享受し得ることとなる。

その一例を、４個同時取出しを例として、図２８(a)〜(d)と図２９と図３０とに基づいて説明する。この図において、符号Ａ，Ｂ，ＣはそれぞれＡ種，Ｂ種，Ｃ種の吸着ノズル３３２を表し、符号１〜７は第１種〜第７種の電子回路部品を表す。
２重型ロータリヘッドの複数のノズル保持軸２０６，２０７の各々に、図２８(a)に示すようにＡ種，Ｂ種およびＣ種の吸着ノズル３３２を保持させるものと仮定する。図２９に示すように、Ａ種吸着ノズル３３２の適合部品範囲は第１種のみであり、Ｂ種吸着ノズル３３２の適合部品範囲は第２種〜第４種であり、Ｃ種吸着ノズル３３２の適合部品範囲は第４種〜第７種であるものとする。そして、２重型ロータリヘッドを図２８の(a)，(b)，(c)，(d)に示すように９０度ずつ回転させつつ、電子回路部品を可能である限り４個ずつ同時に保持させるとすれば、例えば、図３０(a)に示す組合わせで４個同時取出しを行うことも、図３０(b)に示す組合わせで４個同時取出しを行うことも可能である。すなわち、第４種の電子回路部品はＢ種吸着ノズル３３２にもＣ種吸着ノズル３３２にも適合しているため、部品供給装置２４におけるフィーダ５０の配列を図３０(a)に示すものとしても、図３０(b)に示すものとしても、支障なく４個同時取出しを行わせることができ、フィーダ５０の配列の自由度が増し、結果として４個同時取出しを行い得る機会が増えて、装着作業の能率が向上するのである。なお、図３０(b)における×印はいずれの種類の電子回路部品も取り出させないことを表す。

以上の説明から明らかなように、本実施形態においては、Ｂ種およびＣ種の吸着ノズル３３２がそれぞれ第１種吸着ノズルおよび第２種吸着ノズルに相当し、第２種〜第４種の電子回路部品の群が第１部品群に相当し、第４種〜第７種の電子回路部品の群が第２部品群に相当する。また、第４種の電子回路部品が第１部品群と第２部品群とにおいて互いに重複する電子回路部品であり、図３０(a)において第４種の電子回路部品をそれぞれ保持するＢ種吸着ノズルとＣ種吸着ノズルとが同時に昇降させられるようになっており、それによって４個同時取出しの機会が有効に増加する効果が得られる。
なお、図３０(c)に示すように、第４種の電子回路部品をそれぞれ保持するＢ種吸着ノズルとＣ種吸着ノズルとが、２重型ロータリノズルの１回の回転の前後において昇降させられる場合にも類似の効果が得られる。

以上は４個同時取出しを例として説明したが、３個同時取出しや２個同時取出しについても同様のことが言い得、２重型ロータリヘッドに保持させる吸着ノズル３３２の種類と数、および部品供給装置におけるフィーダ５０の配列を互いに関連付けて決定することにより、装着作業の能率を向上させることができる。
さらに、回転体２０２，２０４を図２５や図２７に示した相対回転位置にした状態で２個同時取出しや３個同時取出しを行う場合にも図２９に例示した保持可能な電子回路部品群に属する電子回路部品の一部が互いに重複する２種類の吸着ノズルを使用した３個同時取出しや２個同時取出しを実行することもできる。

なお、先に説明したノズル保持軸（それに保持させた吸着ノズル）の軸間距離調節のための回転体の補正回転角度および装着ヘッドの移動位置補正量は、予め算出してメモリに記憶させておくことは不可欠ではなく、電子回路部品が同時に取り出される２つのフィーダの各部品収容凹部のピッチが取得される毎に算出され、補正に使用されるようにしてもよい。
また、回転体駆動装置の駆動源を構成する電動モータのエンコーダがアブソリュートエンコーダとされる場合、２つの部品収容凹部のピッチの取得毎に回転体の補正回転位置が算出され、回転体が回転させられるようにしてもよい。ピッチの取得が回転体の回転とは異なる時期に行われるのであれば、回転体の回転時に補正回転位置が算出されてもよい。装着ヘッドの移動位置の補正についても同様である。

回転体駆動装置の駆動源を構成する電動モータのエンコーダは、インクリメンタルエンコーダとしてもよい。例えば、前記実施形態と同様に構成された電子回路部品装着機において２つの吸着ノズルに同時に電子回路部品を吸着させる場合、内，外回転体はそれぞれ、エンコーダの検出値が、組を成す内，外１つずつのノズル保持軸をそれぞれ部品収容凹部のピッチに応じた位置に位置させるために必要な角度分、増減した値となる位置へ回転させられる。但し、誤差が累積するため、時々０点へ戻すことが必要であり、例えば、ロータリ装着ヘッドが部品供給装置と基板保持装置との間を１往復する間に１回、例えば、ロータリ装着ヘッドが保持した全部の電子回路部品を回路基板に装着した後、部品供給装置へ移動する間に０点合わせを行う。エンコーダの最小目盛の角度にもよるが、ロータリ装着ヘッドの１往復に１回の０点合わせでは不足の場合は、ロータリ装着ヘッドによる部品供給装置からの電子回路部品の取出しの途中で行ってもよく、あるいは１組のノズル保持軸が電子回路部品を取り出す毎に行ってもよい。４つの吸着ノズルに同時に電子回路部品を吸着させる場合、例えば、エンコーダの０点位置が４つの設定回転位置の１つとなるようにエンコーダを設け、その位置から回転体を９０度ずつ回転させるとともに、エンコーダを時々０点へ戻す。

さらに、部品収容凹部の部品送り方向における位置ずれも、ノズル保持軸の位置制御により補正されるようにしてもよい。この場合、２つのノズル保持軸の軸間距離を、２つの電子回路部品が同時に取り出される２つの部品収容凹部のピッチに合わせるとともに、２つのノズル保持軸が、２つの部品収容凹部の中心を通る直線と平行に並ぶように２つの回転体を回転させる。２つの部品収容凹部の並び方向は一定ではなく、補正回転角度あるいは補正回転位置がピッチおよび方向の取得に基づいて算出される。

また、２つのノズル保持軸の軸間距離は、２つの回転体の一方は回転させず、その回転させない回転体に保持されたノズル保持軸を基準とし、他方の回転体を回転させ、その回転体に保持されたノズル保持軸を旋回させることにより変更するようにしてもよい。

複重型ロータリヘッドは、図３１に示すように互いに相対回転可能であり、それぞれの回転体駆動装置により個別にも一体的にも回転駆動し得る回転体５７０，５７２，５７４を備え、それら回転体５７０，５７２，５７４に保持され、一直線上に並ぶ６つのノズル保持軸５８０，５８２，５８４のうちの任意のものを保持軸進退装置により同時に進退させ得る３重型ロータリヘッドとすることも可能であり、４重以上のロータリヘッドとすることも可能である。これらロータリヘッドも前記２重型ロータリヘッドと類似の種々の形態で使用することができる。

さらに、複数、例えば、２個あるいは４個の電子回路部品の回路基板への装着が同時に行われるようにしてもよい。

１０２：装着ヘッド ２０２：内回転体 ２０４：外回転体 ２０６，２０７：ノズル保持軸 ２０８：回転体駆動装置 ２１０：保持軸進退装置 ２１２：保持軸回転駆動装置 ２１４：ヘッド制御装置 ４５０：切換弁装置 ５００：切換装置

Claims (6)

1. ヘッド本体と、
   互いに同軸に重ねられ、共通の回転軸線のまわりに相対回転可能に前記ヘッド本体に保持された複数の回転体と、
   それら複数の回転体の各々をそれぞれ回転させる複数の回転体駆動装置と、
   前記複数の回転体の各々に、前記回転軸線に平行に、かつ各回転体に対して軸方向に相対移動可能に保持され、それぞれ一端部において吸着ノズルを保持する複数ずつのノズル保持軸と、
   前記複数の回転体に保持された前記ノズル保持軸の１つを軸方向に進退させ得るとともに、複数のノズル保持軸を同時にも進退させ得る保持軸進退装置と
   を含み、
   前記複数の回転体のすべてが設定回転位置に位置する状態で、それら回転体の各々に１つずつ設定される複数の同心円の一群である同心円群と、その同心円群の中心線からの距離が互いに等しくかつその中心線まわりの位相を互いに異にする複数の直線の各々との複数組であって、それら複数組の各々における各直線と同心円群との複数の交点の互いに隣接するもの同士の間隔が一定であり、かつ、他の組と前記交点を共有しない複数組の各々に属する前記複数の交点の各々を通り、かつ、前記中心線に平行な複数の嵌合穴の複数ずつが前記複数の回転体の各々に形成され、それら嵌合穴の各々に前記複数のノズル保持軸の各々が軸方向に進退可能に嵌合され、かつ、
   Ｘ軸方向移動装置およびＹ軸方向移動装置により水平方向に移動させられる複重型ロータリヘッドによって、電子回路部品を取り出す方法であって、
   前記複数のノズル保持軸の少なくとも一部のものに保持させた複数の吸着ノズルであって、前記複数の直線の１つと交差するすべてのノズル保持軸のうちの２つ以上に保持させた吸着ノズルに、部品供給装置の複数の供給部からそれぞれ１個ずつの電子回路部品を同時に吸着して取り出させる工程を含むことを特徴とする複数部品同時取出方法。
2. 前記複数の回転体のすべてが設定回転位置にある状態から、それらすべての回転体を前記複数の直線の前記中心線まわりの位相差ずつ間欠的に回転させ、それら間欠回転の各々において、前記複数の直線の各々と交差するすべてのノズル保持軸の少なくとも一部のものに保持させた複数の吸着ノズルに、複数の電子回路部品を同時に取り出させる工程を含む請求項１に記載の複数部品同時取出方法。
3. 前記複重型ロータリヘッドとして、前記回転体を２つ有するものを使用し、前記複数の直線の１つと交差する２つずつ、合計４つのノズル保持軸のうち、前記２つの回転体の各々に保持された１つずつに保持させた２つの前記吸着ノズルに電子回路部品を同時に取り出させる工程を含む請求項１または２に記載の複数部品同時取出方法。
4. 前記複重型ロータリヘッドとして、前記回転体を２つ有するものを使用し、前記複数の直線の１つと交差する２つずつ、合計４つのノズル保持軸のうち、互いに隣接する３つのものに保持させた前記吸着ノズルに電子回路部品を同時に取り出させる工程を含む請求項１ないし３のいずれかに記載の複数部品同時取出方法。
5. 前記複重型ロータリヘッドとして、前記回転体を２つ有するものを使用し、前記複数の直線の１つと交差する２つずつ、合計４つのノズル保持軸のうち、互いに隣接する２つと、それら２つに隣接しない１つとに保持させた３つの前記吸着ノズルに電子回路部品を同時に取り出させる工程を含む請求項１ないし４のいずれかに記載の複数部品同時取出方法。
6. 前記複重型ロータリヘッドを、前記複数の回転体のすべてが前記設定回転位置である第１設定回転位置にある状態から、最も内周側の回転体である最内周側回転体に対して、その最内周側回転体より外周側に位置する１つ以上の回転体である外周側回転体を、その外周側回転体に保持されているノズル保持軸の互いに隣接する２つの、前記共通の回転軸線のまわりの中心角に等しい角度回転させて、その外周側回転体に保持されている前記ノズル保持軸の軸線が、前記最内周側回転体に保持された２つのノズル保持軸の軸線と直交する直線と直交する状態の第２設定回転位置にある状態とし、その第２設定回転位置にある複重型ロータリヘッドの１直線と軸線が直交する３つ以上のノズル保持軸に保持させた前記吸着ノズルに同時に電子回路部品を取り出させる工程を含む請求項１ないし５のいずれかに記載の複数部品同時取出方法。

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