CN105269962A - 液体喷射装置及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种液体喷射装置及其制造方法，能够高精度地且选择性地设置具有较高的防水性的防水膜，从而能够抑制液体的堆积并抑制液体的泄漏，并且抑制液体向外部的泄漏或部件的剥离。液体喷射装置具备：液体喷射头，具有喷射液体的喷嘴开口；阀组件(50)，被连接于液体喷射头并对液体的流道进行开闭，阀组件(50)具有被设置于流道上的阀座(51)、与阀座(51)抵接或从阀座(51)离开从而对流道进行开闭的阀体(55)，阀座(51)包括与阀体(55)抵接的抵接部件(520)、对抵接部件(520)进行支承的支承部件(510)，抵接部件(520)以与支承部件(510)的流道的内表面相比被实施了防水处理的状态而被组装在支承部件(510)上，阀体(55)包括与阀座(51)抵接的弹性部件(560)、对弹性部件(560)进行固定的固定部件(550)。
Description
技术领域
本发明涉及一种具备从喷嘴开口喷射液体的液体喷射头和向液体喷射头供给液体的阀组件的液体喷射装置及其制造方法，尤其涉及一种作为液体而喷射油墨的喷墨式记录装置及其制造方法。
背景技术
在向被喷射介质喷射液体的液体喷射装置中，例如，已知一种作为液体而使油墨被喷射从而在作为被喷射介质的纸或记录薄片等上实施印刷的喷墨式记录装置。
在这样的喷墨式记录装置中，油墨从油墨罐等液体贮留单元经由软管等供给管而向喷墨式记录头被供给，并将从油墨罐被供给的油墨以油墨滴的形式从喷墨式记录头的喷嘴开口进行喷射。另外，提出了一种如下的技术方案，即，在流道的中途设置有作为压力调节阀的阀组件，以使从液体贮留单元被供给的油墨以预定的压力被供给至喷墨式记录头(例如，参照专利文献1以及2)。
阀组件具备阀座、阀体，通过阀体与阀座抵接从而将流道关闭，通过阀体从阀座背离从而将流道打开。这样的阀座与阀体的开闭通过下游侧的流道的压力而被实施。
在这样的阀组件中，由于阀座与阀体反复抵接，从而油墨堆积，产生油墨的泄漏。因此，通过对阀座与阀体抵接的区域进行防水处理，从而抑制了油墨的堆积。
但是，存在如下的问题，即，在阀座的一部分上高精度地实施具有较高的防水性的防水处理是比较困难的，可能发生防水性能的降低或进行了防水处理的防水膜的位置偏移等问题。尤其是，由于阀座具有形成有凹凸的复杂的形状，因此在这样的阀座上选择性地以高精度实施防水处理是较为困难的。
另外，当阀座的与阀体抵接的区域以外的其他区域，尤其是粘合区域等被实施防水处理时，存在无法使构成流道的部件彼此充分地粘合，从而油墨从流道泄漏或者部件剥离的问题。
另外，这样的问题不仅存在于喷墨式记录装置中，在喷射油墨以外的液体的液体喷射装置中也同样存在。
专利文献1：日本特开2010-208048号公报
专利文献2：日本特开2013-132894号公报
发明内容
本发明鉴于这样的情况，其目的在于，提供一种能够高精度地且选择性地设置具有较高的防水性的防水膜，并能够抑制液体的堆积从而抑制液体的泄漏，并且抑制液体向外部的泄漏和部件的剥离的液体喷射装置及其制造方法。
解决上述课题的本发明的方式在于一种液体喷射装置，其特征在于，具备：液体喷射头，其具有喷射液体的喷嘴开口；阀组件，其被连接于所述液体喷射头并对所述液体的流道进行开闭，所述阀组件具有：被设置于所述流道中的阀座；和与所述阀座抵接或从所述阀座离开从而对所述流道进行开闭的阀体，所述阀座包括：与所述阀体抵接的抵接部件；和对所述抵接部件进行支承的支承部件，所述抵接部件以与所述支承部件的所述流道的内表面相比被实施了防水处理的状态而被组装在所述支承部件上，所述阀体包括：与所述阀座抵接的弹性部件；和对所述弹性部件进行固定的固定部件。
在所涉及的方式中，通过将支承部件与抵接部件分体设置，从而能够仅对抵接部件进行防水处理，因此能够对抵接部件进行充分的防水处理，从而长期维持对由于阀体与抵接部件反复抵接而产生的液体的堆积的抑制。另外，能够对由于防水处理的位置偏移等而产生的不良情况进行抑制。
在此，优选为，所述抵接部件由金属材料形成。根据该结构，能够对抵接部件因液体而溶胀的情况进行抑制，从而对由溶胀引起的密封不良所导致的液体的泄漏进行抑制。
另外，优选为，所述弹性部件与所述固定部件通过双色成型而被形成。根据该结构，能够对弹性部件相对于固定部件发生位置偏移的情况进行抑制，从而提升密封性。
另外，本发明的另一方式在于一种液体喷射装置的制造方法，其特征在于，所述液体喷射装置具备：液体喷射头，其具有喷射液体的喷嘴开口；阀组件，其被连接于所述液体喷射头并对所述液体的流道进行开闭，所述阀组件具有：被设置于所述流道中的阀座；和与所述阀座抵接或从所述阀座离开从而对所述流道进行开闭的阀体，所述阀座包括：与所述阀体抵接的抵接部件；和对所述抵接部件进行支承的支承部件，所述阀体包括：与所述阀座抵接的弹性部件；和对所述弹性部件进行固定的固定部件，在所述液体喷射装置的制造方法中，将所述抵接部件与所述支承部件的所述流道的内表面相比而进行防水处理，并安装在所述支承部件上。
在所涉及的方式中，通过将支承部件与抵接部件分体设置，从而能够仅对抵接部件进行防水处理，因此能够对抵接部件进行充分的防水处理，从而长期维持对由于阀体与抵接部件反复抵接而产生的液体的堆积的抑制。另外，能够抑制由于防水处理的位置偏移等而产生的不良情况。
附图说明
图1为本发明的实施方式1所涉及的记录装置的俯视图。
图2为本发明的实施方式1所涉及的记录头以及阀组件的剖视图。
图3为本发明的实施方式1所涉及的头主体的剖视图。
图4为本发明的实施方式1所涉及的阀组件的主要部分剖视图。
图5为本发明的实施方式1所涉及的阀组件的主要部分剖视图。
图6为表示本发明的实施方式1所涉及的阀组件的制造方法的剖视图。
具体实施方式
下面，基于实施方式对本发明进行详细说明。
实施方式1
图1为作为本发明的实施方式1所涉及的液体喷射装置的一个示例的喷墨式记录装置的俯视图。
如图1所示，喷墨式记录装置1具有在俯视观察时呈矩形形状的主体框架2。在该主体框架2内沿着成为主扫描方向的第一方向X而延伸设置有对被喷射介质(省略图示)进行支承的介质支承部件3。在介质支承部件3上，通过未图示的送纸机构，纸张等被喷射介质沿着成为副扫描方向的与第一方向X正交的第二方向Y而被馈送。另外，在主体框架2内的介质支承部件3的上方，架设有与介质支承部件3的第一方向X平行地延伸的棒状的引导轴4。
在引导轴4上，滑架5以能够沿着引导轴4而在第一方向X上往返移动的状态被支承。滑架5经由在被设置于主体框架2上的一对滑轮6a之间被挂装的无接头的同步带6，而与被设置于主体框架2上的滑架电机7连结。由此，滑架5通过滑架电机7的驱动而沿着引导轴4进行往返移动。
滑架5具备：作为本实施方式的液体喷射头的一个示例的喷墨式记录头(以下，简称为记录头)20；阀组件50，其将来自作为液体贮留单元的油墨罐8的油墨供给至记录头20。
记录头20的与支承介质支承部件3对置的面上设置有多个喷嘴开口，通过对被设置在记录头20内的未图示的压力产生单元进行驱动，从而从各个喷嘴开口向被馈送至介质支承部件3上的被喷射介质喷射油墨滴，由于实施由油墨滴形成的点的喷落即印刷，对此将在后文进行详细叙述。
在主体框架2的第一方向X上的一端侧设置有罐支架9，作为液体贮留单元的多个油墨罐8分别以能够拆装的方式而被安装在罐支架9上。在本实施方式中，油墨罐8被设置有两个。在各个油墨罐8中收纳有种类(颜色)相互不同的油墨。
被安装在罐支架9上的各个油墨罐8经由软管等供给管10而与本实施方式的阀组件50相连接。阀组件50分别对从各个油墨罐8经由各个供给管10而被供给的各种颜色的油墨进行临时贮留，并且分别独立地被临时贮留的各种颜色的油墨分别被供给至记录头20。
在主体框架2内的靠近第一方向X上的一端部的位置处且在滑架5的起始位置区域内，设置有用于实施记录头20的清洗等维护的维护组件11。该维护组件11具备：盖12，其用于以包围记录头20的各个喷嘴开口的方式而与该记录头20抵接，或者接收从各个喷嘴开口通过冲洗而被喷出的油墨；抽吸泵(省略图示)，其能够对盖12内部进行抽吸。
另外，通过在以包围记录头20的各个喷嘴开口的方式使盖12与记录头20抵接的状态下利用抽吸泵(省略图示)来对盖12内部进行抽吸，从而实施使粘度增加了的油墨或气泡等从各个喷嘴开口强制性地排出到盖12内的所谓的清洗。
参照图2及图3，对被搭载于这样的喷墨式记录装置1中的记录头20进行说明。另外，图2为作为本发明的实施方式1所涉及的液体喷射头的一个示例的喷墨式记录头以及阀组件的剖视图，图3为头主体的剖视图。
如图2所示，本实施方式的记录头20具备：头主体30，其喷射油墨滴；流道部件40，其向头主体30供给油墨。
如图3所示，头主体30具备：致动器组件31；外壳32，在能够将致动器组件31收纳在内部；流道组件33，其被接合在外壳32的一个面上；配线基板34，其被固定在外壳32的另一个面上。
本实施方式的致动器组件31具有：压电致动器形成部件311，在其中沿着喷嘴开口334的并列设置方向而并列设置有多个压电致动器310；固定板312，以使压电致动器形成部件311的顶端部(一端部)侧成为自由端的方式，该压电致动器形成部件311的基端部(另一端部)侧作为固定端而被接合在该固定板312上。
压电致动器形成部件311通过使压电材料313与电极形成材料314以及315交替地进行夹压并层叠从而被形成。
在该压电致动器形成部件311中，例如，通过线锯等而形成有多个狭缝316，从而该压电致动器形成部件311的顶端部侧被切分成梳齿状，由此压电致动器310被并列设置。在本实施方式中，压电致动器310的并列设置方向为喷嘴开口334的并列设置方向，并且在被搭载到上述的喷墨式记录装置1上时，以成为第一方向X的方式而被配置。因此，以下，将喷嘴开口334的并列设置方向称为第一方向X，并与喷墨式记录装置1同样地将与第一方向X正交的方向称为第二方向Y。当然，在记录头20被搭载到喷墨式记录装置1上时，喷嘴开口334的并列设置方向也可以为不与第一方向X一致的方向，并不特别地进行限定。
在此，压电致动器310的与固定板312接合的区域成为无助于振动的非活性区域，在向构成压电致动器310的电极形成材料314以及315之间施加电压时，只有未被接合在固定板312上的顶端部侧的区域进行振动。另外，压电致动器310的顶端面被固定在后述的振动板331上。
另外，在致动器组件31的各个压电致动器310上连接有COF等电路基板318，该电路基板318上搭载了用于对该压电致动器310进行驱动的驱动IC(Integratedcircuit,集成电路)等驱动电路317。
流道组件33具备流道形成基板330、振动板331以及喷嘴板332。
在流道形成基板330中并列设置有多个压力产生室333，并且流道形成基板330的两侧通过喷嘴板332和振动板331而被封闭，在该喷嘴板332上以与压力产生室333对应的方式而具有喷嘴开口334。在本实施方式中，压力产生室333并列设置而成的列被设置有两列。另外，在流道形成基板330上形成有歧管336，该歧管336与每个压力产生室333分别经由油墨供给通道335而连通，并且在每列中成为多个压力产生室333共用的油墨室。即，在本实施方式中，针对压力产生室333的每列而形成有歧管336。
另外，在流道形成基板330的振动板331的与各个压力产生室333对置的区域上分别固定有压电致动器310的顶端。
另外，振动板331的与歧管336对应的区域上设置有可塑性部337。另外，该可塑性部337在歧管336内发生了压力变化时，通过该可塑性部337的变形而吸收该压力变化，从而起到将歧管336内的压力始终保持为固定的作用。
外壳32与流道组件33接合，并且设置有将来自被连接于油墨罐8的阀组件50的油墨供给至歧管336的油墨导入通道321。在本实施方式中，针对歧管336中的每一个而各设置有一个油墨导入通道321，总计设置有两个油墨导入通道321。另外，从油墨罐8经由阀组件50而被供给至油墨导入通道321中的油墨被供给到歧管336中，并经由油墨供给通道335而被分配到各个压力产生室333中。
另外，在外壳32中，对应于压力产生室333的列而设置有收纳部322。即，在本实施方式中，设置有两个收纳部322，并且在各个收纳部322内分别固定有致动器组件31。
而且，在外壳32的与流道组件33相反的一侧设置有配线基板34，一端被连接在致动器组件31上的电路基板318的另一端部被连接在配线基板34上。
在这样的头主体30中，通过压电致动器310以及振动板331的变形而使各个压力产生室333的容积发生变化，从而使油墨滴从预定的喷嘴开口334喷出。
另外，如图2所示，流道部件40为，在一个面上固定有阀组件50，并且将来自阀组件50的油墨供给至被固定在另一个面上的头主体30中的部件。
具体而言，在流道部件40中设置有油墨连通通道41，并且在油墨连通通道41所开口的一个面上设置有过滤器42和供给针43，所述过滤器42对油墨中所包含的垃圾或气泡等异物进行去除，所述供给针43被设置在过滤器42之上。
供给针43为被插入到阀组件50中的部件，详细内容将在后文进行叙述。来自阀组件50的油墨穿过供给针43的内部并通过过滤器42而被去除了异物之后，经由油墨连通通道41而被供给至头主体30。
进一步参照图4以及图5，对被连接于这样的流道部件40并将来自油墨罐的油墨供给至记录头的阀组件进行说明。另外，图4以及图5为对阀组件的主要部分进行了放大的剖视图。
如图2所示，在本实施方式中，由于针对一个记录头20而供给种类不同的两种油墨，因此在流道部件40中固定有两个阀组件50。
如图2以及图4所示，各个阀组件50为，被设置在油墨所流通的流道的中途并对该流道进行开闭的阀。具体而言，本实施方式的阀组件50具备阀座51和阀体55。
阀座51具备支承部件510和被固定在支承部件510上的抵接部件520。
在支承部件510中设置有收纳室511和压力调节室513，所述收纳室511经由供给管10而与油墨罐8连通并且从油墨罐8被供给油墨，所述压力调节室513经由流入口512与收纳室511连通并且与记录头20的油墨连通通道41连通。
收纳室511通过利用盖部件514对被形成在支承部件510的一个面上的凹部进行密封从而被形成。另外，流入通道515的一端以与收纳室511连通的方式而被设置。该流入通道515的另一端经由供给管10而与油墨罐8连接。
压力调节室513具有在支承部件510的与收纳室511相反的一侧的侧面开口的凹形状。另外，在支承部件510的压力调节室513所开口的面上贴有薄膜516，压力调节室513的开口通过薄膜516而被密封。另外，压力调节室513与流出通道517的一端连通，流出通道517的另一端与记录头20的油墨连通通道41连接。另外，在流出通道517的与连通于压力调节室513的一端部为相反侧的另一端部上设置有密封部件519。流道部件40的供给针43被插入到密封部件519中并与流出通道517连接。
在此，薄膜516能够使用相对于液体而具有耐性的挠性材料。另外，作为薄膜516，优选使用水分渗透率、液体氧或氮等的气体渗透率较低的材料。作为薄膜516的材料，例如，可列举出将涂敷了偏二氯乙烯(saran)的尼龙薄膜粘合层压在高密度聚乙烯薄膜或者聚丙烯(PP)薄膜上的结构。另外，作为其他的材料，还可以使用聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)等。另外，薄膜516的接合方法不被特别地限定，能够使用热熔敷、振动熔敷、通过粘合剂而进行的粘合等。
这样的薄膜516的构成压力调节室513的壁面的一部分的部分成为隔膜516a。另外，在隔膜516a的压力调节室513侧的面上设置有受压板518。受压板518具有与隔膜516a相比较小的外形的圆盘形状。这样的受压板518是为了避免对流入口512进行开闭的阀体55直接与薄膜516抵接而被设置的，能够使用与隔膜516a相比刚性较高的材料，例如树脂或金属等。
在压力调节室513的底面，即支承部件510的与隔膜516a相对置的壁面上，以在厚度方向上贯穿的方式而设置有使压力调节室513与收纳室511连通的流入口512。来自收纳室511的油墨经由流入口512而流入压力调节室513。
在流入口512的收纳室511侧的开口的周围设置有抵接部件520。在此，抵接部件520与支承部件510分体构成，并被固定在支承部件510上。
这样的抵接部件520由设置有与流入口512连通的连通口521的板状部件构成，在抵接部件520的表面上，实施了使之与支承部件510的流道，即压力调节室513或收纳室511的内表面相比具有防水性的防水处理。在此，由于作为支承部件510，具有具备压力调节室513、收纳室511、流入口512等的复杂的形状，因此例如通过使树脂材料成型，从而能够容易地且以低成本形成支承部件510。当然，支承部件510也可以由金属材料或陶瓷材料等形成。
相对于此，通过在抵接部件520的表面上，实施使之与本实施方式的由树脂材料构成的支承部件510相比具有防水性的防水处理，从而形成了具有防水性的防水膜522。在此，防水膜522只要相对于油墨而具有防液性(防水性)，则不被特别地限定，例如可以使用含有氟系高分子的金属膜或具有防液性的金属醇盐的分子膜等。
另外，由含有氟系高分子的金属膜构成的防水膜522例如能够通过实施共析镀而直接形成在抵接部件520的表面上。另外，在作为防水膜522而使用了金属醇盐的分子膜的情况下，例如通过在抵接部件520侧设置由等离子聚合薄膜构成的基底膜，从而能够提高由分子膜构成的防水膜522与抵接部件520之间的紧贴性。另外，由等离子聚合薄膜构成的基底膜例如能够利用氩等离子气体使硅聚合而被形成。另外，由金属醇盐的分子膜构成的防水膜522例如能够通过将烷氧基硅烷等硅烷偶联剂与稀释剂等溶剂进行混合而形成金属醇盐溶液，并将抵接部件520浸渍在该金属醇盐溶液中，从而能够形成金属醇盐聚合而成的分子膜。顺便说一下，在作为防水膜522，使用了金属醇盐的分子膜的情况下，具有如下的优点，即，即使设置了基底层，与通过共析镀而形成的由含有氟系高分子的金属膜构成的防水膜522相比也能够形成得较薄，并且能够提升即便阀体55抵接防水性也不易劣化的“耐摩擦性”以及防水性。当然，虽然“耐摩擦性”、“防液性”会劣化，但也能够使用由含有氟系高分子的金属膜构成的防水膜522。
另外，设置了防水膜522的抵接部件520的材料并不被特别地限定，例如能够使用树脂材料、不锈钢(SUS)等金属材料、玻璃陶瓷或单晶硅基板等。但是，通过使用不锈钢(SUS)等金属材料以作为抵接部件520，从而能够抑制因油墨而引起的抵接部件520的溶胀，由此能够通过与阀体55的抵接而可靠地维持密封性。即，在作为抵接部件520而使用了会因油墨而发生溶胀的材料的情况下，因油墨而引起的抵接部件520的溶胀并不会在流入口512的整个周向上均匀地被实施，从而溶胀量会产生偏差。因此，在阀体55与抵接部件520的防水膜522抵接而关闭了连通口521时，阀体55无法在连通口521的整个周向上均匀地进行贴合，从而无法保持密封性，进而发生油墨的泄漏。即，作为抵接部件520，优选不易因油墨而发生溶胀的材料。另外，抵接部件520优选为不易因油墨而生锈或产生腐蚀的材料，能够优选使用不锈钢。
另外，抵接部件520与支承部件510之间的固定不被特别地限定，例如，可列举出通过热量或振动而进行的熔敷、通过粘合剂而进行的粘合等。在本实施方式中，采用了通过粘合剂523而对抵接部件520与支承部件510进行粘合的方式。另外，抵接部件520优选为，与支承部件510被固定在一起的区域不实施防水处理。即，优选为，抵接部件520的与支承部件510被固定在一起的区域成为未被设置防水膜522的非防水区域。由此，能够提高抵接部件520与支承部件510之间的接合力，从而抑制抵接部件520容易从支承部件510上剥离的情况。即，防水膜522为，为了抑制由于阀体55反复抵接所引起的油墨的堆积而被设置的部件，因此防水膜522仅需被设置在抵接部件520的至少阀体55所抵接的区域上即可，详细内容将在后文进行叙述。另外，由于在本实施方式中，抵接部件520与支承部件510被分体设置，所以能够实施抵接部件520单体的防水处理。因此，能够容易地在抵接部件520上形成防水区域以及非防水区域。特别地，由于抵接部件520与具有复杂的形状的支承部件510不同，为在板状部件上设置有连通口521的单纯的结构，因此选择性地形成防水区域是较为容易的。当然，也可以在抵接部件520的整个面上形成防水膜522。另外，抵接部件520也可以通过螺栓或夹子等而被固定在支承部件510上，其固定方法并不被特别地限定。
被形成在这样的抵接部件520上的连通口521具有与支承部件510的流入口512大致相同的内径。另外，在支承部件510的流入口512以及抵接部件520的连通口521中插穿有阀体55。
阀体55具备：固定部件550，其具有被插穿于流入口512以及连通口521中的轴部551以及被设置在轴部551的收纳室511内的端部上的凸缘部552；弹性部件560，其被固定于固定部件550的凸缘部552上。
轴部551具有与流入口512以及连通口521相比小一些的外径，并且压力调节室513内的一端部与受压板518的中央部抵接。另外，轴部551的与抵接于受压板518的一端部为相反侧的另一端部被配置在收纳室511内，在收纳室511内的另一端部上一体地被形成有凸缘部552。
凸缘部552由圆形的板状部件构成。另外，在凸缘部552上固定有弹性部件560。弹性部件560具有由橡胶或弹性体等构成的环形形状，并且具有顶端朝向抵接部件520突出的形状。这样的弹性部件560被固定在凸缘部552的抵接部件520侧的面上，通过使突出的顶端与抵接部件520的防水膜522抵接，从而关闭流入口512以及连通口521。另外，弹性部件560向固定部件550固定的固定方法不被特别地限定，例如，可列举出通过粘合剂而进行粘合的方法。另外，弹性部件560还可以形成为覆盖凸缘部552的形状，且与凸缘部552嵌合。而且，固定部件550与弹性部件560也可以例如通过双色成型而一体化。如此，通过利用双色成型而使固定部件550与弹性部件560一体化，从而能够抑制弹性部件560向固定部件550进行安装时的位置偏移或以偏置变形的状态被安装的情况，并且能够抑制由于弹性部件560与抵接部件520反复抵接而引起的位置偏移。因此，能够使弹性部件560与抵接部件520稳定地抵接，从而提升密封性。
盘簧56以介于这样的阀体55的凸缘部552与划分出收纳室511的盖部件514之间的方式而被安装，通过盘簧56的施力，阀体55以轴部551的轴方向作为移动轴方向而向压力调节室513侧被施力。
在此，作用于阀体55的力中具有薄膜516的反作用力、受到压力调节室513的油墨压力而作用于受压板518与隔膜516a上的力、盘簧56的施力、受到油墨的供给压力而作用于阀体55的力。
薄膜516的反作用力是指，发生了挠曲变形的隔膜516a欲恢复至原来的形状的力。隔膜516a的变形量即弯曲量越大，薄膜516的反作用力越增大。这样的薄膜516的反作用力经由受压板518而传递至轴部551。
受到压力调节室513的油墨压而作用于受压板518与隔膜516a上的力，以受到油墨压力的受压板518和隔膜516a的受压面积与油墨压力的乘积来表示。当压力调节室513内的液体从流出通道517向下游流动，压力调节室513内的油墨減少时，油墨压力与大气压的差压将变大，从而作用于受压板518与隔膜516a上的力变大。作用于该受压板518与隔膜516a上的力作为开阀方向上的力而经由轴部551作用于阀体55上。
盘簧56的施力为对阀体55向闭阀方向施加的力。如上文所述，由于在本实施方式中，阀体55通过盘簧56而向受压板518施加与由压力调节室513的油墨的压力作用于受压板518和隔膜516a的力相反方向的力，因此为了使受压板518位移至令阀体55达到开阀位置，而需要使压力调节室513内的油墨以相当于盘簧56的施力的量减压至更低的压力(工作压)。
而且，在这样的阀组件50中，如图5所示，通过压力调节室513内的油墨向下游流动而使压力调节室513内与大气压相比被减压负压，从而隔膜516a向压力调节室513的底面侧进行移动，并且受压板518以克服盘簧56的施力的方式对阀体55进行按压，从而在阀体55的弹性部件560与抵接部件520之间产生间隙，流入口512以及连通口521开口即开阀。此外，当通过该开阀而使油墨从收纳室511被供给至压力调节室513内，从而压力调节室513内的减压被解除时，隔膜516a将通过盘簧56的作用力而返回到原来的位置，从而闭阀(参照图4)。
如上所述，这样的阀组件50通过在对抵接部件520实施了防水处理之后被固定在支承部件510上，从而被形成。即，如图6(a)所示，首先对设置有连通口521的抵接部件520实施防水处理而在抵接部件520上形成防水膜522。之后，如图6(b)所示，将被实施了防水处理且形成有防水膜522的抵接部件520固定在支承部件510上。之后，在支承部件510上固定薄膜516并且配置阀体55以及盘簧56，通过盖部件514而对收纳室511进行密封，从而制造出如图4所示的阀组件50。
如此，由于被实施了防水处理的抵接部件520与支承部件510分体并被固定在支承部件510上，所以仅在抵接部件520上选择性地实施防水处理并形成防水膜522变得较为容易。与此相对，例如，在不设置抵接部件520，而直接在支承部件510上实施防水处理的情况下，在阀体55抵接的区域上选择性地充分实施防水处理是较为困难的，可能存在防水不良或因位置偏移而在阀体55抵接的区域以外的其他区域上实施了防水处理。当未充分地实施防水处理时，由于抵接部件520与阀体55反复抵接，防水性在短期间内失效，从而无法长期维持防水性。在本实施方式中，由于仅在抵接部件520上选择性地实施防水处理，所以能够将防水膜522形成得足够厚，从而能够长期地维持防水性，由此能够长期维持对由于抵接部件520与阀体55的反复抵接而引起的油墨的堆积的抑制。此外，当实施防水处理的区域发生位置偏移时，存在阀体55抵接的区域未被进行防水处理，从而产生由于阀体55反复抵接而引起的油墨的堆积的可能。此外，当防水处理以超出到周围的粘合区域的方式被实施时，无法充分将构成流道的部件彼此粘合在一起，从而油墨会从流道泄漏，或者部件剥离。如本实施方式这样，通过使用与支承部件510分体的抵接部件520，从而能够单独地且在不发生位置偏移的条件下对抵接部件520实施防水处理，因此不会在支承部件的其他区域内实施防水处理。因此，能够抑制防水不良或由于位置偏移而产生的不良情况等。
通过以此方式对阀体55所抵接的抵接部件520进行防水处理，从而能够对油墨在阀体55与抵接部件520抵接的部分处堆积并成长的情况进行抑制。即，当抵接部件520未被进行防水处理时，由于阀体55反复抵接，从而油墨在抵接部件520上堆积并成长，由此无法完全地闭阀，导致油墨发生泄漏。在本实施方式中，通过对抵接部件520进行防水处理，从而油墨不易在抵接部件520上堆积，由此能够抑制油墨的成长进而抑制油墨的泄漏。
其他实施方式
以上，虽然对本发明的一个实施方式进行了说明，但是本发明的基本的结构并不限定于上述的结构。
例如，虽然在上述的实施方式1中，采用了对抵接部件520进行防水处理并形成防水膜522的方式，但并不特别地限定于此，抵接部件520本身也可以由相对于油墨而具有防水性的材料形成。此外，也可以通过利用等离子处理等而对抵接部件520的表面进行处理从而赋予防水性。即，抵接部件520被实施了防水处理的状态是指，既包括抵接部件520本身由具有防水性的材料形成的状态，也包括在防水性较低的材料的表面上实施了防水处理的状态。
另外，虽然在上述的实施方式1中，采用了阀体55的弹性部件560与抵接部件520抵接的方式，但并不特殊地限定于此，弹性部件560也可以与抵接部件520和支承部件510双方进行抵接。
此外，虽然在上述的实施方式1中，采用了将被进行了防水处理的抵接部件520设置在支承部件510上的方式，但并不特别地限定于此，也可以将抵接部件520设置在阀体55侧，将弹性部件560设置在支承部件510侧。在该种情况下，本发明中的阀体相当于支承部件510，阀座相当于阀体55。
而且，虽然在上述的实施方式1中，作为使压力产生室333产生压力变化的压力产生单元，使用了使压电材料313与电极形成材料314、315交替地层叠并在轴方向上进行伸缩的压电致动器310而进行了说明，但作为压力产生单元，并不特别地限定于此，例如能够使用通过成膜以及光刻法将电极以及压电材料层叠形成的薄膜型、通过添加印刷电路基板等方法而形成的厚膜型等挠曲振动型的压电致动器。另外，作为压力产生单元，也能够使用在压力产生室内配置发热元件，并通过由发热元件的发热所产生的气泡而从喷嘴开口喷出液滴的致动器，或者使振动板与电极之间产生静电并通过静电力而使振动板发生变形从而从喷嘴开口喷出液滴的所谓的静电式致动器等。
另外，虽然在上述的喷墨式记录装置1中，例示了记录头20被搭载于滑架5上并在第一方向X上进行移动的示例，但并不特别地限定于此，例如本发明也能够适用于记录头20被固定而仅通过使被喷射介质在第二方向Y上进行移动，从而实施印刷的所谓的行式记录装置中。
另外，虽然在上述的示例中，喷墨式记录装置1采用了作为液体贮留单元的油墨罐8被搭载于主体框架2的罐支架9上的结构，但并不特别地限定于此，作为液体贮留单元的墨盒也可以搭载于滑架5上。另外，并不限定于阀组件50被搭载于滑架5上的结构，阀组件50与记录头20也可以经由软管等供给管而被连接。
另外，本发明广泛地以具备液体喷射头的所有液体喷射装置作为对象，例如能够使用于具备如下的记录头的液体喷射装置中，所述记录头包括：打印机等图像记录装置所使用的各种喷墨式记录头等记录头；液晶显示器等的过色器的制造所使用的颜色材料喷射头；有机EL(电致发光)显示器、FED(场致发光显示器)等的电极形成所使用的电极材料喷射头；生物芯片制造所使用的生物体有机物喷射头等。
符号说明
1喷墨式记录装置(液体喷射装置)；2主体框架；3介质支承部件；4引导轴；5滑架；6同步带；7滑架电机；8油墨罐(液体贮留单元)；9罐支架；10供给管；11维护组件；12盖；20喷墨式记录头(液体喷射头)；30头主体；31致动器组件；32外壳；33流道组件；34配线基板；40流道部件；50阀组件；51阀座；55阀体；56盘簧；310压电致动器(压力产生单元)；321油墨导入通道；331振动板；332喷嘴板；333压力产生室；334喷嘴开口；335油墨供给通道；336歧管；510支承部件；511收纳室；512流入口；513压力调节室；514盖部件；515流入通道；516薄膜；517流出通道；518受压板；519密封部件；520抵接部件；521连通口；522防水膜；523粘合剂；550固定部件；551轴部；552凸缘部；560弹性部件。
Claims (4)
1.一种液体喷射装置，其特征在于，具备：
液体喷射头，其具有喷射液体的喷嘴开口；
阀组件，其被连接于所述液体喷射头并对所述液体的流道进行开闭，
所述阀组件具有：被设置于所述流道中的阀座；和与所述阀座抵接或从所述阀座离开从而对所述流道进行开闭的阀体，
所述阀座包括：与所述阀体抵接的抵接部件；和对所述抵接部件进行支承的支承部件，
所述抵接部件以与所述支承部件的所述流道的内表面相比被实施了防水处理的状态而被组装在所述支承部件上，
所述阀体包括：与所述阀座抵接的弹性部件；和对所述弹性部件进行固定的固定部件。
2.如权利要求1所述的液体喷射装置，其特征在于，
所述抵接部件由金属材料形成。
3.如权利要求1或2所述的液体喷射装置，其特征在于，
所述弹性部件与所述固定部件通过双色成型而被形成。
4.一种液体喷射装置的制造方法，其特征在于，
所述液体喷射装置具备：
液体喷射头，其具有喷射液体的喷嘴开口；
阀组件，其被连接于所述液体喷射头并对所述液体的流道进行开闭，
所述阀组件具有：被设置于所述流道中的阀座；和与所述阀座抵接或从所述阀座离开从而对所述流道进行开闭的阀体，
所述阀座包括：与所述阀体抵接的抵接部件；和对所述抵接部件进行支承的支承部件，
所述阀体包括：与所述阀座抵接的弹性部件；和对所述弹性部件进行固定的固定部件，
在所述液体喷射装置的制造方法中，将所述抵接部件与所述支承部件的所述流道的内表面相比而进行防水处理，并安装在所述支承部件上。
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