JP2019010789A - 液体吐出装置および液体吐出装置の制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】液体容器の液体を圧送して液体吐出ヘッドに供給する液体吐出装置で、弁装置の故障などによって液体吐出ヘッド内に過剰な圧力がかかってしまう場合に、振動板におけるクラックの発生を抑制することができる液体吐出装置を提供する。【解決手段】駆動素子により振動板を振動させ、液体が充填される内部空間の圧力を変動させることで液体を吐出する液体吐出ヘッド２６と、液体吐出ヘッド内に液体を圧送する加圧供給部３０と、液体吐出ヘッド内の圧力状態に応じて、駆動素子の駆動を規制する制御部５０と、を備える。【選択図】図２

Description

本発明は、インク等の液体を吐出する技術に関する。

液体吐出装置では、インクなどの液体が液体容器から液体吐出ヘッドに圧送される。例えば特許文献１の液体吐出ヘッドでは、圧送された液体が流路を通って圧力室に供給される。この圧力室の壁面の一部となる振動板を駆動素子によって振動させて、圧力室の圧力を変動させることで、圧力室の液体をノズルから吐出する。

特開２０１３−１８４３３６号公報

しかしながら、特許文献１のように液体容器の液体を圧送して液体吐出ヘッドに供給する液体吐出装置では、弁装置の故障などによって液体吐出ヘッド内に過剰な圧力がかかってしまう場合がある。例えば液体吐出ヘッドに液体を供給する流路に設けられる弁装置（例えば自己封止弁）では、液体に含まれる成分が弁体や弁座に付着して堆積物が成長することで閉塞不良による液体のリークが発生する虞がある。弁装置で液体のリークが発生すると、圧送される液体の圧力が液体吐出ヘッド内まで伝わってしまい、液体吐出ヘッド内の圧力室などに過剰な圧力がかかってしまう。このように液体吐出ヘッド内に過剰な圧力がかかった状態で、駆動素子を駆動させて振動板を振動させると、振動板にクラックが発生して損傷する虞がある。以上の事情を考慮して、本発明は、振動板におけるクラックの発生を抑制することを目的とする。

［態様１］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様１）に係る液体吐出装置は、駆動素子により振動板を振動させ、液体が充填される内部空間の圧力を変動させることで液体を吐出する液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッド内に液体を圧送する加圧供給部と、液体吐出ヘッド内の圧力状態に応じて、駆動素子の駆動を規制する制御部と、を備える。以上の態様によれば、液体吐出ヘッド内の圧力状態に応じて、駆動素子の駆動を規制するから、例えば弁装置の閉塞不良による液体のリークなどが発生して液体吐出ヘッド内に過剰な圧力がかかっているような異常な圧力状態では、駆動素子の駆動を規制することが可能となる。したがって、液体吐出ヘッド内に過剰な圧力がかかっている状態での振動板の振動を抑制できるので、振動板におけるクラックの発生を抑制できる。

［態様２］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様２）に係る液体吐出装置は、駆動素子により振動板を振動させ、液体が充填される内部空間の圧力を変動させることで液体を吐出する液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッド内に液体を圧送する加圧供給部と、液体吐出ヘッド内の圧力状態に応じて、液体の圧力を低減する制御を行う制御部と、を備える。以上の態様によれば、液体吐出ヘッド内の圧力状態に応じて、液体の圧力を低減するから、例えば弁装置の閉塞不良による液体のリークなどが発生して液体吐出ヘッド内に過剰な圧力がかかっているような異常な圧力状態では、その圧力を低減することができる。したがって、液体吐出ヘッド内に過剰な圧力がかかっている状態での振動板の振動を抑制できるので、振動板におけるクラックの発生を抑制できる。

［態様３］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様３）に係る液体吐出装置は、駆動素子により振動板を振動させ、液体が充填される内部空間の圧力を変動させることで液体を吐出する液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッド内に液体を圧送する加圧供給部と、印刷データを受信する受信部と、印刷データの受信により、液体の圧力を低減する制御を行う制御部と、を備える。以上の態様によれば、印刷データの受信により、液体の圧力を低減するから、印刷データによって駆動素子を駆動する前に、液体吐出ヘッド内の圧力を低減できる。このように、事前に液体吐出ヘッド内の圧力を低減できるので、弁装置の閉塞不良などによる液体のリークが発生していても、振動板を振動させる際には液体吐出ヘッド内の過剰な圧力を低減できるため、振動板におけるクラックの発生を抑制できる。

［態様４］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様４）に係る液体吐出装置は、駆動素子により振動板を振動させ、液体が充填される内部空間の圧力を変動させることで液体を吐出する液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッド内に液体を圧送する加圧供給部と、印刷データを受信する受信部と、受信した印刷データの内容に応じて、液体の供給圧力を制御する制御部と、を備える。以上の態様によれば、受信した印刷データの内容に応じて、液体の供給圧力を制御するから、弁装置の閉塞不良などによるインクのリークが発生していても、振動板のクラックを抑制しながら、圧電素子を駆動することができる。

［態様５］
態様１または態様２の好適例（態様５）において、液体吐出ヘッド内の圧力状態は、駆動素子の駆動による残留振動から検出される。以上の態様によれば、駆動素子の駆動による残留振動から、液体吐出ヘッド内の圧力状態を検出するから、圧力センサーなどを別途設けなくても済む。

［態様６］
態様１または態様２の好適例（態様６）において、液体吐出ヘッド内の圧力状態は、液体の流路における壁面の一部を構成する可撓膜の変位から検出される。以上の態様によれば、液体の流路における壁面の一部を構成する可撓膜の変位から、液体吐出ヘッド内の圧力状態を検出するから、圧力センサーなどを別途設けなくても済む。

［態様７］
態様６の好適例（態様７）において、可撓膜は、液体の流路の圧力変化を緩和するための膜である。以上の構成によれば、可撓膜は、液体の流路の圧力変化を緩和するための膜であるから、例えば駆動素子を高周波で駆動する際に発生する流路内の圧力変化を緩和できるので、駆動素子を高速で駆動でき、安定した高速印刷を行うことができる。

［態様８］
態様６の好適例（態様８）において、可撓膜は、液体の流路内の圧力変化を発生するための膜である。以上の構成によれば、可撓膜は、液体の流路内の圧力変化を発生するための膜であるから、例えば流路内の圧力変化を発生させることによってノズルから液体を染み出させながら、ノズルが形成される吐出面のクリーニングを行うこともできる。

［態様９］
態様１から態様８の何れかの好適例（態様９）において、液体の流路の途中に、流路を開閉する弁装置を備え、弁装置は、加圧供給部に連通する第１流路と液体吐出ヘッドに連通する第２流路とを開閉する弁体と、弁体を可動する可撓膜を有する。以上の態様によれば、液体の流路の途中に、弁体を可動する可撓膜を有する弁装置を備えるから、例えば液体吐出ヘッドによる液体の消費に伴い、可撓膜がその両側の差圧で変位し、弁体を可動するようにすれば、液体吐出ヘッド内の圧力を調整することができる。

［態様１０］
態様９の好適例（態様１０）において、液体吐出ヘッド内の圧力状態は、弁装置の可撓膜の変位から検出される。以上の態様によれば、弁装置の可撓膜の変位から液体吐出ヘッド内の圧力状態が検出される。例えば弁装置の弁体に付着物などが付着してリークが発生している場合には、リークが発生していない場合とは可撓膜の変位が異なるので、その可撓膜の変位を検出することで、液体吐出ヘッド内の圧力状態を検出できる。

［態様１１］
態様１から態様１０の何れかの好適例（態様１１）において、液体吐出ヘッド内の圧力に応じて開閉する制御弁を備え、制御弁が開くと、液体吐出ヘッド内の圧力が低減する。以上の態様によれば、制御弁が開くと、液体吐出ヘッド内の圧力が低減するから、例えば弁装置の故障などによって液体吐出ヘッド内に過剰な圧力がかかっているような異常な圧力状態でも、その圧力を制御弁で逃がすことで過剰な圧力を低減できる。

［態様１２］
態様３または態様４の好適例（態様１２）において、制御部は、液体吐出ヘッド内の圧力状態に応じて、駆動素子の駆動の規制または液体の圧力を低減する制御を行う。以上の態様によれば、印刷データの受信や印刷データの内容だけでなく、液体吐出ヘッド内の圧力状態にも応じて、駆動素子の駆動を規制したり、液体の圧力を低減したりできる。したがって、液体吐出ヘッド内に過剰な圧力がかかっている圧力状態での振動板の振動を抑制したり、振動板を振動させる際に液体吐出ヘッド内の過剰な圧力を低減したりできるから、振動板におけるクラックの発生を抑制することができる。

［態様１３］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様１３）に係る方法は、液体吐出装置の制御方法であって、液体吐出装置は、駆動素子により振動板を振動させ、液体が充填される内部空間の圧力を変動させることで液体を吐出する液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッド内に液体を圧送する加圧供給部と、を備え、液体吐出ヘッド内の圧力状態の変化に応じて、駆動素子の駆動を制御する。以上の態様によれば、液体吐出ヘッド内の圧力状態に応じて、駆動素子の駆動を規制するから、例えば弁装置の閉塞不良による液体のリークなどが発生して液体吐出ヘッド内に過剰な圧力がかかっているような異常な圧力状態では、駆動素子の駆動を規制することが可能となる。したがって、液体吐出ヘッド内に過剰な圧力がかかっている状態での振動板の振動を抑制できるので、振動板におけるクラックの発生を抑制できる。

［態様１４］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様１４）に係る方法は、液体吐出装置の制御方法であって、液体吐出装置は、駆動素子により振動板を振動させ、液体が充填される内部空間の圧力を変動させることで液体を吐出する液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッド内に液体を圧送する加圧供給部と、を備え、液体吐出ヘッド内の圧力状態に応じて、液体の圧力を低減する制御を行う。以上の態様によれば、液体吐出ヘッド内の圧力状態に応じて、液体の圧力を低減するから、例えば弁装置の閉塞不良による液体のリークなどが発生して液体吐出ヘッド内に過剰な圧力がかかっているような異常な圧力状態では、その圧力を低減することが可能となる。したがって、液体吐出ヘッド内に過剰な圧力がかかっている状態での振動板の振動を抑制できるので、振動板におけるクラックの発生を抑制できる。

［態様１５］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様１５）に係る方法は、液体吐出装置の制御方法であって、液体吐出装置は、駆動素子により振動板を振動させ、液体が充填される内部空間の圧力を変動させることで液体を吐出する液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッド内に液体を圧送する加圧供給部と、印刷データを受信する受信部と、を備え、印刷データの受信により、液体の圧力を低減する制御を行う。以上の態様によれば、印刷データの受信により、液体の圧力を低減するから、印刷データによって駆動素子を駆動する前に、液体吐出ヘッド内の圧力を低減できる。このように、事前に液体吐出ヘッド内の圧力を低減できるので、弁装置の閉塞不良などによる液体のリークが発生していても、振動板を振動させる際には液体吐出ヘッド内の過剰な圧力を低減できるため、振動板におけるクラックの発生を抑制できる。

［態様１６］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様１６）に係る方法は、液体吐出装置の制御方法であって、液体吐出装置は、駆動素子により振動板を振動させ、液体が充填される内部空間の圧力を変動させることで液体を吐出する液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッド内に液体を圧送する加圧供給部と、印刷データを受信する受信部と、を備え、受信した印刷データの内容に応じて、液体の供給圧力を制御する。以上の態様によれば、受信した印刷データの内容に応じて、液体の供給圧力を制御するから、吐出量の大きな印刷に備えて液体の供給圧力を大きくしておかなくても済むので、液体吐出ヘッド内の圧力を低減できる。したがって、振動板を振動させる際に液体吐出ヘッド内の過剰な圧力を低減できるため、振動板におけるクラックの発生を抑制できる。

第１実施形態に係る液体吐出装置の構成図である。 液体吐出装置の機能的な構成図である。 駆動波形の具体例を示す図である。 液体吐出部の断面図である。 弁装置の構成を示す断面図である。 液体吐出装置の印刷時の制御を示すフローチャートである。 第２実施形態の加圧供給部の流路構成を示す図である。 第２実施形態の液体吐出ヘッドの流路構成を示す図である。 第２実施形態の液体吐出装置の印刷時の制御を示すフローチャートである。 加圧供給部の第１変形例を示す図である。 加圧供給部の第２変形例を示す図である。 第３実施形態の液体吐出装置の印刷時の制御を示すフローチャートである。 第４実施形態の液体吐出装置の印刷時の制御を示すフローチャートである。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置１０の部分的な構成図である。本実施形態の液体吐出装置１０は、液体の例示であるインクを印刷用紙等の媒体１２に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。図１に示す液体吐出装置１０は、制御ユニット２０と搬送機構２２とキャリッジ２４と液体吐出ヘッド２６とを具備する。図１では、１個の液体吐出ヘッド２６をキャリッジ２４に搭載した場合を例示しているが、これに限られず、複数個の液体吐出ヘッド２６をキャリッジ２４に搭載してもよい。液体吐出装置１０にはインクを貯留する液体容器（カートリッジ）１４が装着される。

液体容器１４は、液体吐出装置１０の本体に着脱可能な箱状の容器からなるインクタンクタイプである。なお、液体容器１４は、箱状の容器に限られず、袋状の容器からなるインクパックタイプであってもよい。液体容器１４には、インクが貯留される。インクは、黒色インクであってもよく、カラーインクであってもよい。液体容器１４は、加圧供給部３０に設けられる。加圧供給部３０は、液体容器１４のインクを加圧して液体吐出ヘッド２６に供給（圧送）する。

制御ユニット２０は、例えばＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）またはＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）等の制御装置２０２と半導体メモリー等の記憶装置２０３とを含んで構成され、記憶装置２０３に記憶された制御プログラムを制御装置２０２が実行することで液体吐出装置１０の各要素を統括的に制御する。図１に示すように、媒体１２に形成すべき画像を表す印刷データＧがホストコンピューター等の外部装置（図示略）から制御ユニット２０に供給される。制御ユニット２０は、印刷データＧで指定された画像が媒体１２に形成されるように液体吐出装置１０の各要素を制御する。

搬送機構２２は、制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２をＹ方向に搬送する。液体吐出ヘッド２６は、略箱状のキャリッジ２４に搭載され、液体容器１４から供給されるインクを制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２に吐出する。制御ユニット２０は、Ｙ方向に交差するＸ方向に沿ってキャリッジ２４を往復させる。搬送機構２２による媒体１２の搬送とキャリッジ２４の反復的な往復とに並行して液体吐出ヘッド２６が媒体１２にインクを吐出することで媒体１２の表面に所望の画像が形成される。なお、液体容器１４を液体吐出ヘッド２６とともにキャリッジ２４に搭載することも可能である。

液体吐出ヘッド２６の吐出面（媒体１２との対向面）２６０には、ノズル列が配置される。ノズル列は、Ｙ方向に沿って直線状に配列された複数のノズルＮの集合である。ノズルＮからは、液体容器１４から供給されるインクが吐出される。なお、ノズル列の数や配置は、例示したものに限られず、液体吐出ヘッド２６の吐出面２６０に、２つ以上のノズル列を配置してもよく、複数のノズル列を例えば千鳥配列またはスタガ配列とすることも可能である。Ｘ−Ｙ平面（媒体１２の表面に平行な平面）に垂直な方向をＺ方向と表記する。

液体吐出ヘッド２６に連通する流路には、弁装置４０が設けられている。本実施形態の弁装置４０は、液体容器１４と液体吐出ヘッド２６とを連通する流路の途中に配置される。なお、本実施形態の弁装置４０は、液体吐出ヘッド２６とは別の構成要素として構成する場合を例示したが、これに限られず、液体吐出ヘッド２６の構成要素として、液体吐出ヘッド２６と共にキャリッジ２４に搭載されていてもよい。弁装置４０は、液体容器１４から供給されるインクを液体吐出ヘッド２６に供給する流路が内部に形成された構造体である。本実施形態の弁装置４０は、後述する弁体（切替部材）８２によって流路を開閉（開放／閉塞）することでインクの圧力を調整する自己封止弁として機能する。

図２は、液体吐出装置１０の機能的な構成図である。図２では、搬送機構２２やキャリッジ２４等の図示を便宜的に省略している。制御装置２０２が制御プログラムを実行することで、制御装置２０２が制御部５０と駆動信号生成部５１と判定部５２と受信部５３として機能する。なお、制御部５０と駆動信号生成部５１と判定部５２と受信部５３とは電子回路で構成してもよい。制御部５０は、プロセッサーであってもよい。受信部５３は、印刷データＧを受信する。制御部５０は、駆動信号生成部５１を制御する。記憶装置２０３には、データテーブルＣが記憶されている。データテーブルＣは、記憶装置２０３が備えるメモリーに記憶されていてもよい。駆動信号生成部５１は、駆動信号ＣＯＭを生成する。駆動信号ＣＯＭは、例えば図３に示すような駆動波形Ｗ、すなわち基準電位ＶＭに対して電位差を有する複数の電位（最大電位ＶＨ、最小電位ＶＬなど）を含む電圧信号の波形である。

駆動波形Ｗは、周期Ｔの間に、基準電位ＶＭから電位ＶＬまで遷移して、電位ＶＬが一定時間保持された後、電位の最小値である電位ＶＬから電位の最大値である電位ＶＨまで遷移して、電位ＶＨが一定時間保持される。その後、電位ＶＨから基準電位ＶＭに遷移する。このような駆動波形Ｗによれば、基準電位ＶＭから電位ＶＬまで遷移することで、ノズルＮ内のメニスカスが圧力室ＳＣ側にいったん引き込まれる。その後に、電位ＶＬから電位ＶＨまで遷移することで、ノズルＮ内のメニスカスがノズルＮの開口部（インクが吐出されるノズルＮの開口部）側に一気に動いて、ノズルＮの開口部からインクが押し出される。そして、電位ＶＨから基準電位ＶＭに遷移することで、ノズルＮ内のメニスカスが圧力室ＳＣ側に引き込まれて、ノズルＮの開口部から押し出されたインクを引きちぎることができ、インクの液滴がノズルＮの開口部から吐出される。

なお、駆動波形Ｗの形状は図３に示すものに限られない。駆動波形Ｗの形状（ＶＨ、ＶＬ、振幅、傾きなど）を変えることでノズルＮから吐出されるインクの吐出重量を変えることができる。また、駆動信号ＣＯＭの１周期Ｔに含まれる駆動波形Ｗは１つに限られず、複数の駆動波形Ｗを含んでもよい。さらに、駆動信号ＣＯＭは１種類に限られず、駆動波形Ｗが相違する複数の駆動信号ＣＯＭであってもよい。駆動信号ＣＯＭを生成するためのデータ（例えば電位データ）は、データテーブルＣに記憶されている。制御部５０は、各駆動信号ＣＯＭを生成する場合には、駆動信号ＣＯＭの駆動波形Ｗに対応するデータをデータテーブルＣから読み出して、駆動信号生成部５１によって駆動信号ＣＯＭを生成する。

図２に示すように、液体吐出ヘッド２６は、駆動部２６２と液体吐出部２６４を具備する。駆動部２６２は、制御ユニット２０による制御のもとで液体吐出部２６４を駆動する。液体吐出部２６４は、液体容器１４から供給されるインクを複数のノズルＮから媒体１２に吐出する。液体吐出部２６４は、複数のノズルＮに対応する複数の吐出部２６６を包含する。各吐出部２６６は、駆動部２６２から供給される駆動信号Ｖに応じてインクを吐出する。

駆動信号生成部５１が生成した駆動信号ＣＯＭと印刷データＧに応じてインクの吐出の有無をノズルＮごとに指定する印刷信号ＳＩとが制御ユニット２０から駆動部２６２に供給される。駆動部２６２は、駆動信号ＣＯＭと印刷信号ＳＩとに応じた駆動信号Ｖを吐出部２６６ごとに生成して複数の吐出部２６６に並列に出力する。具体的には、駆動部２６２は、複数の吐出部２６６のうち印刷信号ＳＩがインクの吐出を指示する吐出部２６６には駆動信号ＣＯＭを駆動信号Ｖとして供給し、印刷信号ＳＩがインクの非吐出を指示する吐出部２６６には基準電位ＶＭを駆動信号Ｖとして供給する。

図４は、任意の１個の吐出部２６６に着目した液体吐出部２６４の断面図である。図４に示す液体吐出部２６４は、流路基板７１の一方側（Ｚ方向の負側）に圧力室基板７２と振動板７３と圧電素子７４と支持体７５とが配置されるとともに、他方側（Ｚ方向の正側）にノズル板７６とコンプライアンス部７７とが配置された構造体である。流路基板７１と圧力室基板７２とノズル板７６とは例えばシリコンの平板材で形成され、支持体７５は例えば樹脂材料の射出成形で形成される。複数のノズルＮはノズル板７６に形成される。図４の構成では、ノズル板７６のうち媒体１２に対向する面が、液体吐出ヘッドの吐出面２６０を構成する。

流路基板７１には、開口部７１２と分岐流路７１４と連通流路７１６とが形成される。分岐流路７１４および連通流路７１６はノズルＮごとに形成された貫通孔であり、開口部７１２は複数のノズルＮにわたり連続する開口である。支持体７５に形成された収容部（凹部）７５２と流路基板７１の開口部７１２とを相互に連通させた空間は、支持体７５の導入流路７５４を介して液体容器１４から供給されるインクを貯留する共通液室（リザーバー）ＳＲとして機能する。

図４のコンプライアンス部７７は、液体貯留室ＳＲ内のインクの圧力変化（圧力変動）を抑制するための要素であり、可撓膜（弾性膜）７７２と支持板７７４とを具備する。可撓膜７７２は、フィルム状に形成された可撓性の部材であり、液体貯留室ＳＲの壁面（具体的には底面）の一部を構成する。支持板７７４は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の高剛性の材料で形成された平板であり、流路基板７１の開口部７１２が可撓膜７７２で閉塞されるように可撓膜７７２を流路基板７１の表面に支持する。支持板７７４のうち可撓膜７７２を挟んで液体貯留室ＳＲに重なる領域には開口部７７６が形成される。支持板７７４の開口部７７６の内側の空間は大気と連通しており、液体貯留室ＳＲ内の圧力変化（圧力変動）が吸収されるように可撓膜７７２を変形させるためのダンパー室ＳＧとして機能する。

コンプライアンス部７７は、固定板７８に固定される。固定板７８は、例えばステンレス鋼等の高剛性の材料で所定の形状に成形される。固定板７８には、複数の吐出部２６６のそれぞれに対応する複数の開口部７８２が形成されている。開口部７８２からノズル板７６が露出しするように、コンプライアンス部７７の支持板７７４が固定板７８に固定される。なお、開口部７８２の内側の空間（具体的には開口部７８２の内周面とノズル板７６の外周面との隙間）には、例えば樹脂材料で形成された充填材が充填される。開口部７７６のＺ方向の正側は固定板７８（または支持板７７４）によって閉じられ、開口部７７６の内側で可撓膜７７２と固定板７８との間に挟まれた空間が、上述したダンパー室ＳＧとなる。加圧供給部３０から加圧されたインクが液体貯留室ＳＲ内に導入される際に、液体貯留室ＳＲ内に圧力変化が生じても、可撓膜７７２が変形することで、その圧力変化を吸収できる。

圧力室基板７２には開口部７２２がノズルＮごとに形成される。振動板７３は、圧力室基板７２のうち流路基板７１とは反対側の表面に設置された弾性変形可能な平板材である。圧力室基板７２の各開口部７２２の内側で振動板７３と流路基板７１とに挟まれた空間は、液体貯留室ＳＲから分岐流路７１４を介して供給されるインクが充填される圧力室（キャビティ）ＳＣとして機能する。各圧力室ＳＣは、流路基板７１の連通流路７１６を介してノズルＮに連通する。圧力室ＳＣと液体貯留室ＳＲと、これらを連通する分岐流路７１４と、連通流路７１６と、ノズルＮとで構成される空間が、液体吐出ヘッド２６の内部空間ＳＤを構成する。

振動板７３のうち圧力室基板７２とは反対側の表面にはノズルＮごとに圧電素子７４が形成される。各圧電素子７４は、第１電極７４２と第２電極７４６との間に圧電体７４４を介在させた駆動素子である。第１電極７４２および第２電極７４６の一方に駆動信号Ｖが供給され、所定の基準電位ＶＭが他方に供給される。駆動信号Ｖの供給により圧電素子７４が変形することで振動板７３が振動すると、圧力室ＳＣ内の圧力が変動して圧力室ＳＣ内のインクがノズルＮから吐出される。具体的には、駆動信号Ｖの振幅に応じた吐出量のインクがノズルＮから吐出される。図４に例示した１個の吐出部２６６は、圧電素子７４と振動板７３と圧力室ＳＣとノズルＮとを包含する部分である。

なお、第１電極７４２および第２電極７４６のうち基準電位ＶＭが供給される電極を、複数の圧電素子７４にわたる共通電極とすることも可能である。このように、図４の構成では、駆動信号Ｖの供給により圧電素子７４が変形して圧力室ＳＣの圧力を変動させることで、液体吐出ヘッド２６の内部空間ＳＤの圧力が変動し、ノズルＮからインクを吐出させることができる。

図５は、弁装置４０の構成を示す断面図である。弁装置４０は、弁体４７と弁座４８とバネＳ１とバネＳ２とを備える。概略的には弁座４８に対して弁体４７がＷ方向の正側および負側に移動して接離動作することで、第１流路Ｒ１が開閉する。具体的には、弁体４７がＷ方向の正側に移動して弁座４８に接触することで、第１流路Ｒ１と第２流路Ｒ２とが遮断されて、第１流路Ｒ１が閉状態となる。これに対して、弁体４７がＷ方向の負側に移動して弁座４８から離間することで、第１流路Ｒ１と第２流路Ｒ２とが連通されて、第１流路Ｒ１が開状態となる。

弁座４８は、支持体４２のうち第１流路Ｒ１と第２流路Ｒ２との間に位置する部分（凹部４２２または凹部４２４の底部）であり、第２流路Ｒ２を封止する可撓膜４６の可動部４６２に間隔をあけて対向する。弁座４８の略中央には支持体４２を貫通する貫通孔Ｋが形成される。この貫通孔Ｋは、内周面がＷ方向に平行な正円孔である。弁座４８の上流側に位置する第１流路Ｒ１と弁座４８の下流側に位置する第２流路Ｒ２とは弁座４８の貫通孔Ｋを介して相互に連通する。

弁体４７は第１流路Ｒ１内に設置される。この弁体４７は、基部４７２と封止部４７４と弁軸４７６とからなる。基部４７２は、貫通孔Ｋの内径を上回る外径の円形状に成形された平板状の部分である。基部４７２の表面から弁軸４７６が同軸で垂直に突起し、平面視で弁軸４７６を囲む円環状の封止部４７４が基部４７２の表面に設置される。軸線ＯをＷ方向に向けた弁軸４７６が弁座４８の貫通孔Ｋに挿入された状態で基部４７２と封止部４７４とが第１流路Ｒ１内に位置するように弁体４７は設置される。弁座４８の貫通孔Ｋの内周面と弁軸４７６の外周面との間には隙間が形成される。バネＳ１は、封止体４４と弁体４７の基部４７２との間に設置されて弁体４７を弁座４８側に付勢する。他方、バネＳ２は弁座４８と受圧板４９（可動部４６２）との間に設置される。

弁体４７の封止部４７４は、基部４７２と弁座４８との間に位置し、弁座４８に接触することで貫通孔Ｋを閉塞するシールとして機能する。具体的には、封止部４７４は、弁座４８のうち第１流路Ｒ１側の表面（以下「封止面」という）Ｓに接触する。

このような構成の弁装置４０によれば、第２流路Ｒ２内の圧力が所定の範囲内に維持された状態では、弁体４７をバネＳ１が付勢することで封止部４７４の周縁部が弁座４８の封止面Ｓに接触するから、図５の一点鎖線で示すように弁座４８の貫通孔Ｋを弁体４７が閉塞する状態（以下「閉状態」という）に維持される。すなわち、第１流路Ｒ１と第２流路Ｒ２とは遮断される。これに対して、例えばインクの吐出や外部からの吸引に起因して第２流路Ｒ２内の圧力が低下すると、図５の実線で示すように、可撓膜４６の可動部４６２が弁座４８側に変位し、可動部４６２に設置された受圧板４９がバネＳ２による付勢に対抗して弁体４７の弁軸４７６を押圧する。すなわち、可撓膜４６の可動部４６２は、その両側の差圧（可動部４６２の上側と下側の差圧）に応じて変位する。第２流路Ｒ２内の圧力が更に低下すると、弁軸４７６が可動部４６２（受圧板４９）により押圧され、弁体４７がバネＳ１の付勢に対抗してＷ方向の負側（封止体４４側）に移動することで、図５の実線で示すように、封止部４７４が弁座４８から離間した状態（以下「開状態」という）に遷移する。開状態では弁座４８の貫通孔Ｋが開放され、第１流路Ｒ１と第２流路Ｒ２とが貫通孔Ｋを介して相互に連通する。

このような弁装置４０によれば、非印刷状態、すなわちインクを消費しない状態においては、弁装置４０よりも上流側にある液体容器１４側の流路からインクが圧送されても、弁装置４０が閉状態となる。これにより、液体容器１４側の流路からのインクは弁装置４０よりも下流側にある液体吐出ヘッド２６には供給されない。

これに対して、印刷状態のときにノズルＮからインクが吐出され、インクが消費されると、第２流路Ｒ２のインクの減少に伴って圧力が減少して第２流路Ｒ２が負圧になる。これにより可動部４６２が弁体４７を押し下げるＷ方向の負側に変位するので弁体４７が開状態となり、第１流路Ｒ１から第２流路Ｒ２へインクが供給される。こうして液体容器１４側の流路からのインクが液体吐出ヘッド２６に供給される。そして、弁装置４０の第２流路Ｒ２内へのインクの流入により第２流路Ｒ２の負圧は解消されると、図５の一点鎖線で示すように可動部４６２がＷ方向の正側に変位し、弁体４７が元に戻って弁体４７は再び閉状態となり、液体吐出ヘッド２６へのインクの供給が停止される。

ところで、このような構成の弁装置４０では、弁座４８に対して弁体４７が繰り返し接触することにより、弁体４７と弁座４８とが当接した際に形成される微少空間に、インクに含まれる成分が溜まり、圧縮脱水されることにより凝集する。凝集したインクは、弁体４７や弁座４８に付着して堆積することで堆積物が発生するという問題がある。さらにインク成分からなる堆積物のＳＰ値（相溶性パラメーター）が弁座構成材料のＳＰ値に近い値であって、弁座構成材料との相溶性が高い場合、堆積物は弁座４８から剥がれ難いため、弁座４８上にそのまま固着して成長過程に入る。堆積物が成長して堆積量が多くなると、弁体４７と弁座４８との接触面に隙間が生じ、弁体４７の閉塞不良が発生する虞がある。特に液体吐出装置１０において弁体４７の閉塞不良が発生すると、弁体４７からインクのリークが発生する。もし液体吐出ヘッド２６に加圧供給部３０からインクが加圧して供給される際に弁装置４０でインクのリークが発生すると、その圧力が液体吐出ヘッド２６内の流路まで伝わって、液体吐出ヘッド２６内（圧力室ＳＣや液体貯留室ＳＲなど）に過剰な圧力がかかってしまう。

このように液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかった状態で、圧電素子７４を駆動させて振動板７３を振動させると、振動板７３にクラックが発生して損傷する虞がある。加圧供給部３０からインクが加圧して供給される際に弁装置４０でインクのリークが発生すると、そのインクの圧力が図４に示す圧力室ＳＣまで伝わってしまい、圧力室ＳＣの一部を構成する振動板７３が圧力室ＳＣとは反対の面（圧電素子７４側）に向かって膨らむような力が振動板７３に加わることになる。このような状態で、圧電素子７４を駆動させて圧力室ＳＣの振動板７３を撓ませようとすると、振動板７３は圧力室ＳＣから過剰な加圧の圧力がかかった状態から強制変位をさせられることになる。このため、振動板７３には余計な力学的負荷がかかるので、応力集中が発生し易い振動板７３を固定する部分の近傍などにクラックが発生して損傷してしまう虞がある。

ところが、上述した従来の構成では、弁装置４０でインクがリークしていて圧力室ＳＣ内のインクに過剰な圧力がかかっているかどうかを、具体的に知ることができない。例えば圧力室ＳＣに過剰な圧力がかかっていて、ノズルＮからの液垂れが発生していると、ドット抜けなどの印刷不良が発生する。このため、使用者が印刷不良を解消しようとして、クリーニングを実行し、クリーニング効果を確認するためのチェックパターンを印刷すれば、圧力室ＳＣに過剰な圧力がかかっている状態で圧電素子７４が駆動されてしまう。これでは、弁装置４０の交換で済むところを、振動板７３の損傷など液体吐出ヘッド２６の故障まで引き起こしてしまうため、液体吐出ヘッド２６の交換まで必要となってしまう虞がある。

そこで、本実施形態では、液体吐出ヘッド２６内の圧力状態を検出し、その圧力状態に応じて、圧電素子７４の駆動を規制する。したがって、弁装置４０の閉塞不良などによって液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっているような異常な圧力状態では、圧電素子７４の駆動を規制することが可能となる。したがって、過剰な圧力がかかっている状態での振動板７３の振動を抑制できるので、振動板７３におけるクラックの発生を抑制できる。これにより、弁装置４０でインクのリークが発生した場合でも、振動板７３が損傷しないため、液体吐出ヘッド２６の故障まで引き起こさないようにすることができる。

図２の検出部２８は、液体吐出ヘッド２６内の圧力状態を検出し、状態信号ＶＳを判定部５２に出力する。例えば印刷待機時において、液体吐出ヘッド２６内（圧力室ＳＣや液体貯留室ＳＲ）に過剰な圧力がかかっている異常な圧力状態の場合には、図４の点線のようにコンプライアンス部７７の可撓膜７７２がダンパー室ＳＧ側に変位する。したがって、このような可撓膜７７２の変位によって、液体吐出ヘッド２６内の圧力状態を検出できる。そこで、第１実施形態の検出部２８は、コンプライアンス部７７の可撓膜７７２の変位から液体吐出ヘッド２６内の圧力状態を検出する。

具体的には図４に示すように、第１実施形態の検出部２８は、コンプライアンス部７７の可撓膜７７２の変位を検出する変位センサーで構成される。図４の検出部２８は、可撓膜７７２が接続される端子ａと、固定板７８が接続される端子ｂと、電圧Ｖを検出する端子ｃと、端子ａを端子ｂと端子ｃとの接続を切り替えるスイッチｄを備える。固定板７８と端子ｂは、接地されている。端子ａと端子ｃをスイッチｄで接続している際には、可撓膜７７２の変位に応じて、可撓膜７７２と固定板７８との間の静電容量が変化するので、端子ｃの電圧も変化する。

このような可撓膜７７２の変位による静電容量の変化を利用することで、可撓膜７７２の変位を間接的に検出できる。具体的には可撓膜７７２と固定板７８とは、これらを電極とする平行平板のコンデンサーと等価できるので、その静電容量をＣ、電荷をＱとすると、端子ｃの電圧（可撓膜７７２と固定板７８との間の電圧）Ｖは、Ｖ＝Ｑ／Ｃと表すことができる。これによれば、可撓膜７７２がダンパー室ＳＧ側へ大きく変位するほど、可撓膜７７２と固定板７８との間の間隔が狭くなるから、静電容量Ｃが大きくなるので、端子ｃの電圧Ｖは小さくなる。このため、液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっている状態では、過剰な圧力がかかっていない状態よりも、可撓膜７７２と固定板７８との間の間隔が狭くなるから、端子ｃの電圧Ｖも小さくなる。したがって、端子ｃの電圧Ｖを状態信号ＶＳとすることで、可撓膜７７２の変位から、液体吐出ヘッド２６内の圧力状態を判定できる。なお、静電容量の検出は、例えば抵抗と測定容量による充放電を利用したＲＣ発振方式や、交流ブリッジの一辺に測定容量を挿入する方式など公知の方法が利用でき、これらの方法を利用することによって、静電容量の検出を高精度に行うことができる。

上述したように、液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっている状態では、液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっていない状態よりも、状態信号ＶＳ（端子ｃの電圧Ｖ）が小さくなる。そこで、図２の判定部５２は、状態信号ＶＳが閾値を超える場合は、液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっていない状態であると判定し、状態信号ＶＳが閾値を超える場合は、過剰な圧力がかかっている状態であると判定する。

制御部５０は、判定部５２が液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっている状態でないと判定した場合は、圧電素子７４を駆動し、判定部５２が液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっている状態であると判定した場合は、圧電素子７４の駆動を規制する。

このように、本実施形態のコンプライアンス部７７の可撓膜７７２は、液体貯留室ＳＲや流路の圧力変化を抑制する膜としての役割だけでなく、液体吐出ヘッド２６内の圧力状態を検出する膜としての役割も兼ねる。また、コンプライアンス部７７の可撓膜７７２の変位から、液体吐出ヘッド２６内の圧力状態を検出するから、圧力センサーなどを別途設けなくても済む。なお、検出部２８のスイッチｄによって端子ａと端子ｂとを接続することで、可撓膜７７２を接地電位（グランド電位）にすることができるので、可撓膜７７２に溜まった余計な電荷を逃がすこともできる。これにより、可撓膜７７２の変位を精度良く検出でき、また可撓膜７７２に溜まった余計な電荷による静電力で固定板７８に貼り付いてしまうことも抑制できる。

なお、本実施形態の検出部２８は、コンプライアンス部７７の可撓膜７７２の変位を検出する変位センサーで構成した場合を例示したが、これに限られず、可撓膜７７２に光を照射して、その反射光を受光する光センサーで検出部２８を構成してもよい。この構成によれば、可撓膜７７２の変位により反射光の受光量が変化するので、受光量によって変化する電圧信号を状態信号ＶＳにすることで、判定部５２において液体吐出ヘッド２６の圧力状態を判定できる。

次に、第１実施形態の液体吐出装置１０の制御方法について図面を参照しながら説明する。図６は、液体吐出装置１０の印刷時の制御を示すフローチャートである。図６に示すように、ステップＳ１１にて受信部５３が印刷データＧを受信すると、ステップＳ１２にて制御部５０は、検出部２８によって液体吐出ヘッド２６内の圧力状態の検出を行い、状態信号ＶＳを判定部５２に出力する。印刷データＧを受信すると、例えば振動板７３を振動させる駆動波形Ｗが圧電素子７４に供給される前に、検出部２８はスイッチｄを切り替えて、端子ａと端子ｃを接続させて、状態信号ＶＳを判定部５２に供給する。そして、ステップＳ１３にて判定部５２は、検出部２８からの状態信号ＶＳに基づいて、液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっている状態か否かを判定する。

ステップＳ１３にて液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっている状態でないと判定部５２が判定した場合は、ステップＳ１４にて制御部５０は、圧電素子７４を駆動して印刷データＧの印刷を行う。そして、ステップＳ１６にて制御部５０は、印刷が終了したか否かを判断し、印刷が終了したと判断していないと場合には、ステップＳ１１にて次の印刷データＧを受信する。ステップＳ１６にて制御部５０は、印刷が終了したと判断した場合には、印刷処理を終了する。

他方、ステップＳ１３にて液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっている状態であると判定部５２が判定した場合は、ステップＳ１５にて制御部５０は、圧電素子７４の駆動を規制する。このとき、制御部５０は、振動板７３を駆動する駆動波形Ｗの圧電素子７４への入力を規制して、圧電素子７４の駆動をしないようにする。なお、吐出量を少なくして圧電素子７４の駆動するようにしてもよい。圧電素子７４の駆動をしない場合には、部品を交換が必要な旨を使用者に知らせるようにしてもよい。また、印刷できないようにするため、液体容器１４を取り外すことを使用者に促すようにしてもよい。

具体的には図２に示すように、液体吐出装置１０はタッチパネルで構成され、表示部６２を有する操作パネル６０を備え、この表示部６２に、部品の交換を促す旨を表示することができる。これにより、液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっている状態では、圧電素子７４が駆動されないので、振動板７３のクラックの発生を抑制できる。

操作パネル６０は、使用者によって各種の操作が可能な操作パネルであり、複数のボタン（図示略）や動作モードの選択ボタンが表示される。使用者は、表示部６２に表示されているボタンをタッチすることで動作を選択できる。制御部５０は、使用者に選択されたボタンに関連づけられた動作を実行する。これを利用して、部品の交換ではなく、吐出量を少なくできる動作モードへの変更を促す旨の表示を行うようにしてもよい。この動作モードでは、例えば駆動波形Ｗを変えたり、ドットサイズを変えたりすることによって、媒体１２の単位面積に対する単位時間当たりのインクの吐出量（印刷デューティー）を変えることで、インクの吐出量を少なくして印刷する。これにより、液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっている状態でも、圧電素子７４の駆動による振動板７３の振動を低減できるので、振動板７３のクラックの発生を抑制できる。

さらに、部品の交換と動作モードの変更を使用者に選択させることもできる。具体的には制御部５０は、表示部６２に部品の交換または動作モードの変更を選択するためのボタンを表示する。使用者が部品の交換を選択した場合は、制御部５０は印刷データＧの印刷を行わずに印刷を終了する。また、使用者が動作モードの変更を選択した場合は、インクの吐出量を少なくして圧電素子７４を駆動する動作モードに移行して、印刷データＧの印刷を行う。ステップＳ１６にて制御部５０は、印刷が終了したか否かを判断し、印刷が終了したと判断していない場合には、ステップＳ１１にて次の印刷データＧを受信する。印刷が終了したと判断した場合には、印刷処理を終了する。なお、使用者が部品交換を選択した場合は、印刷データＧの印刷を行うことなく、ステップＳ１６にて印刷終了と判断し、印刷処理を終了する。

このような本実施形態によれば、弁装置４０の閉塞不良などによって液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっているような異常な圧力状態では、圧電素子７４の駆動を規制できる。したがって、液体吐出ヘッド２６内（圧力室ＳＣなど）に過剰な圧力がかかっている状態での振動板７３の振動を抑制できるので、振動板７３におけるクラックの発生を抑制できる。

なお、本実施形態では、コンプライアンス部７７の可撓膜７７２の変位から液体吐出ヘッド２６内の圧力状態を検出する場合を例示したが、これに限られない。例えば図５の弁装置４０に弁体４７の閉塞不良が発生している場合には、閉塞不良が発生していない場合に比較して、可撓膜４６の変位量も異なるので、弁装置４０の可撓膜４６の変位から液体吐出ヘッド２６内の圧力状態を検出することもできる。

また、図２の検出部２８は、位置センサーや光センサーなどで構成することなく、圧電素子７４を駆動したときの残留振動を検出するように構成してもよい。圧力室ＳＣに過剰な圧力がかかっているような異常な圧力状態では、過剰な圧力がかかっていない正常な圧力状態よりも、振動板７３が圧力室ＳＣ側に撓み難くなる。このため、圧力室ＳＣに過剰な圧力がかかっている場合は、過剰な圧力がかかっていない場合に比較して、圧電素子７４を駆動したときの残留振動の発生が抑えられた波形になる。したがって、液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっている状態と、過剰な圧力かかっていない状態とでは、残留振動の周期、振幅、位相などの信号が異なる。このため、これらの信号を状態信号ＶＳとすることで、液体吐出ヘッド２６の圧力状態を判定できる。このように、圧電素子７４の駆動による残留振動から、液体吐出ヘッド２６内の圧力状態を検出部２８で検出するから、圧力センサーなどを別途設けなくても済む。さらに、可撓膜７７２などの変位を検出するための位置センサーや光センサーの構成も不要となり、部品点数を削減できる。

＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態について説明する。以下に例示する各形態において作用や機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。第１実施形態では、液体吐出ヘッド２６内の圧力状態に応じて、圧電素子７４の駆動を規制する場合を例示したが、第２実施形態では、液体吐出ヘッド２６内の圧力状態に応じて、その圧力を低減する場合を例示する。

図７は、第２実施形態の加圧供給部３０の流路構成を示す図であり、図８は、第２実施形態の液体吐出ヘッド２６の流路構成を示す図である。図７の加圧供給部３０は、加圧機構３２と加圧低減機構３５と逆止弁３３、３４とを備える。加圧機構３２と加圧低減機構３５と逆止弁３３、３４とは、液体容器１４と弁装置４０とを連通する流路３１に設けられる。加圧機構３２は、液体容器１４からのインクを加圧し、加圧低減機構３５はそのインクの加圧を低減する。本実施形態では、流路３１の上流側に加圧機構３２を配置し、加圧機構３２の下流側に加圧低減機構３５を配置した場合を例示する。逆止弁３３は、加圧機構３２の上流側、すなわち液体容器１４と加圧機構３２との間に介在する。逆止弁３４は、加圧機構３２の下流側、すなわち加圧機構３２と弁装置４０との間に配置される。

加圧機構３２は、バッファー室３２１とポンプＰ１を備える。バッファー室３２１は、可撓膜３２３によって液体室Ｓａと気体室Ｓｂに分けられる。液体室Ｓａには、インクの流入口３２４と流出口３２５が連通している。気体室Ｓｂには、気体流路３２６を介してポンプＰ１が接続されている。ポンプＰ１は、気体室Ｓｂ内を減圧するポンプであり、典型的には空圧ポンプで構成される。ポンプＰ１は、制御部５０により駆動される。気体流路３２６の途中には、気体室Ｓｂを大気に連通するための大気開放弁３２２が接続されている。気体室Ｓｂには、インクを加圧する方向（図５の下方）に可撓膜３２３を付勢するバネ３２７が設けられている。バネ３２７を設けることで、ポンプＰ１の減圧を弱めると、バネ３２７による加圧力でインクが加圧でき、ポンプＰ１の減圧を強めると、バネ３２７による加圧力を弱めることができる。なお、バネ３２７は必ずしも設けられていなくてもよい。

このような構成の加圧機構３２によれば、大気開放弁３２２を閉じた状態でポンプＰ１により気体室Ｓｂ内を減圧することで、可撓膜３２３を図７の上方に変位させて液体室Ｓａに液体容器１４からのインクを引き込み、ポンプＰ１による減圧を停止して大気開放弁３２２を開くことで、可撓膜３２３を図７の下方に変位させてインクを加圧する。これにより、液体容器１４からのインクは、流入口３２４から流入し、バッファー室３２１内にて加圧されて流出口３２５から流出して弁装置４０側に供給される。そして、ポンプＰ１の圧力と大気開放弁３２２を開くタイミングを調整することで、インクを押し出す力を弱めることができるので、液体吐出ヘッド２６内に供給されるインクの加圧を低減できる。したがって、弁装置４０の閉塞不良などによって液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっている場合でも、加圧機構３２によって液体吐出ヘッド２６に供給されるインクの過剰な圧力を逃がすことで、液体吐出ヘッド２６内に伝わる圧力を低減できる。このように、大気開放弁３２２は、液体吐出ヘッド２６内の圧力を低減する制御弁として機能させることができる。

第２実施形態の加圧低減機構３５は、流路３１のうち逆止弁３４よりも下流側に設けられる。加圧低減機構３５は、流路３１から分岐して排液タンク３７に連通する流路３１２を開閉する排液弁３６によって構成される。排液弁３６で流路３１２を開くことで、流路３１を通るインクが排液タンク３７に流れるので、弁装置４０へ流れるインクの加圧を低減でき、排液弁３６で流路３１２を閉じることで、弁装置４０へ流れるインクの加圧を元に戻すことができる。このような構成によれば、排液弁３６を開くことで、液体吐出ヘッド２６に供給されるインクの加圧を低減できる。したがって、弁装置４０の閉塞不良などによって液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっている場合でも、加圧低減機構３５によって液体吐出ヘッド２６に供給されるインクの過剰な圧力を逃がすことで、液体吐出ヘッド２６内に伝わる圧力を低減できる。このように、排液弁３６は、液体吐出ヘッド２６内の圧力を低減する制御弁として機能させることができる。

図８に示すように、第２実施形態の液体吐出ヘッド２６は、可撓膜２７３を変位させることで、液体吐出ヘッド２６内の負圧を解除してインクを加圧できる負圧解除機構２７を備える。負圧解除機構２７は、弁装置４０と液体貯留室ＳＲとを連通する流路２６１に設けられる。負圧解除機構２７は、液体吐出ヘッド２６内の負圧を解除して加圧できる。例えばクリーニング時に負圧解除機構２７で液体吐出ヘッド２６内を加圧することで、ノズルＮからインクを染み出させながら、吐出面２６０をワイピングできる。これにより、ノズルＮの近傍に付着した粘度の高いインクや紙粉などの付着物を、ノズルＮ内に巻き込むことなく除去できる。

負圧解除機構２７は、チョーク弁２７０とバッファー室２７１とポンプＰ２を備える。チョーク弁２７０は流路２６１の上流側に設けられ、バッファー室２７１は流路２６１の下流側に設けられている。チョーク弁２７０は、流路２６１を開閉する制御弁として機能する。バッファー室２７１は、可撓膜２７３によって液体室Ｓａと気体室Ｓｂに分けられる。液体室Ｓａには、インクの流入口２７４と流出口２７５が連通している。気体室Ｓｂには、気体流路２７６を介してポンプＰ２が接続されている。ポンプＰ２は、気体室Ｓｂ内を加圧するポンプである、典型的には空圧ポンプで構成される。ポンプＰ２は、制御部５０により駆動される。気体流路３２６の途中には、気体室Ｓｂを大気に連通するための大気開放弁２７２が接続されている。

このような負圧解除機構２７によれば、印刷時には、チョーク弁２７０と負圧解除機構２７は大気に連通していて加圧されていない状態である。クリーニング時には、チョーク弁２７０を閉じて、負圧解除機構２７のポンプＰ２で加圧することで、インクを加圧することができる。これにより、ノズルＮからインクを染み出させることができるので、吐出面２６０のクリーニング効果を高めることができる。

また、例えば印刷待機時において、液体吐出ヘッド２６内（圧力室ＳＣや液体貯留室ＳＲ）に過剰な圧力がかかっている異常な圧力状態では、図８に示す点線のように負圧解除機構２７の可撓膜２７３が、正常な圧力状態（図８の実線）よりも空気室Ｓｂ側に変位する。したがって、負圧解除機構２７の可撓膜２７３の変位によって、液体吐出ヘッド２６内の圧力状態を検出できる。そこで、第２実施形態の検出部２８は、負圧解除機構２７の可撓膜２７３の変位から、液体吐出ヘッド２６内の圧力状態を検出する。検出部２８は、第１実施形態と同様に、位置センサーや光センサーで構成することができる。このように、第２実施形態の負圧解除機構２７の可撓膜２７３は、インクを加圧するなど流路２６１内の圧力変化を発生させるための膜としての役割だけでなく、液体吐出ヘッド２６内の圧力状態を検出する膜としての役割も兼ねる。

次に、第２実施形態の液体吐出装置１０の制御方法について図面を参照しながら説明する。図９は、液体吐出装置１０の印刷時の制御を示すフローチャートである。図９に示すステップＳ２１乃至Ｓ２３の処理は図６のステップＳ１１乃至Ｓ１３の処理と同様であり、ステップＳ２６の処理は図６のステップＳ１６の処理と同様であるため、これらの詳細な説明を省略する。図９のフローチャートでは、ステップＳ２３にて液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっている状態でないと判定部５２が判定した場合は、ステップＳ２４にて制御部５０は、加圧供給部３０によるインクの圧力を低減しないで印刷する。すなわち、排液弁３６で流路３１２を閉じたまま、加圧供給部３０によるインクの圧力を低減しないで、圧電素子７４を駆動して印刷データＧの印刷を行う。

ステップＳ２３にて液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっている状態であると判定部５２が判定した場合は、ステップＳ２５にて制御部５０は、加圧供給部３０によるインクの圧力を低減して印刷を行う。具体的には、排液弁３６で流路３１２を開いて、流路３１を通るインクを排液タンク３７に流すことによって、弁装置４０へ流れるインクの加圧を低減する。インクの圧力が所定の圧力まで低減されると、排液弁３６で流路３１２を閉じる。これにより、液体吐出ヘッド２６内の圧力を低減できる。なお、排液弁３６で流路３１２を閉じたまま、加圧機構３２のポンプＰ１と大気開放弁３２２によっても、弁装置４０へ流れるインクの圧力を低減することで、液体吐出ヘッド２６内の圧力を低減できる。

このように、第２実施形態では、液体吐出ヘッド２６内の圧力状態に応じて、その圧力を低減することができる。したがって、例えば弁装置４０の閉塞不良などにより液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっているような異常な圧力状態では、その圧力を低減して印刷できる。したがって、液体吐出ヘッド２６内に過剰な圧力がかかっている状態での振動板７３の振動を抑制できるので、振動板７３におけるクラックの発生を抑制できる。

なお、第２実施形態では、排液弁３６で構成される加圧低減機構３５は、加圧供給部３０の構成要素とされ、弁装置４０よりも上流側に設けられる。このため、弁装置４０よりも上流側の圧力を排液弁３６で制御し易く、排液弁３６を配置し易いので配置の自由度が高く、さらに弁装置４０よりも下流側からのインクの逆流を抑制できる。なお、この構成に限られず、加圧低減機構３５を加圧供給部３０の構成要素とせずに、弁装置４０よりも下流側に設けるようにしてもよい。加圧低減機構３５を弁装置４０よりも下流側に設ける場合には、弁装置４０よりも上流側に設ける場合よりも、液体吐出ヘッド２６の圧力を低減する際のレスポンスが良好である。その反面、弁装置４０よりも上流側の圧力を低減することはできないので、また液体吐出ヘッド２６内に加圧低減機構３５を設ける場合は、流路が複雑化し、排液タンク３７の位置や大きさも制限される虞がある。したがって、弁装置４０よりも下流側よりも上流側に加圧低減機構３５を設けることが好ましい。

もし加圧低減機構３５を弁装置４０よりも下流側に設ける場合には、図８の負圧解除機構２７の上流側（負圧解除機構２７とチョーク弁２７０との間）または下流側（負圧解除機構２７と液体貯留室ＳＲとの間）に設けるようにしてもよい。図８の負圧解除機構２７の上流側に加圧低減機構３５を設ける場合には、弁装置４０の下流側の流路抵抗が小さいため、弁装置４０を作動させ易いので、弁体４７のレスポンスが速く、排液流量を大きくできるので、排液弁３６などに異物が発生しても液体吐出ヘッド２６のフィルターで除去できるという効果がある。

他方、図８の負圧解除機構２７の下流側に加圧低減機構３５を設ける場合には、液体貯留室ＳＲでインクを循環させる場合には、排液弁３６の流路も循環経路と兼用できる。その反面、弁装置４０の下流側の流路抵抗が負圧解除機構２７の分だけ増えるため、弁装置４０を開くときのレスポンスが低下し、排液流量が小さくなる。したがって、加圧低減機構３５を弁装置４０よりも下流側に設ける場合には、図８の負圧解除機構２７の下流側よりも上流側に加圧低減機構３５を設けることが好ましい。

以上のとおり、第２実施形態では、加圧低減機構３５を排液弁３６で構成した場合を例示したが、これに限られず、図１０に示す加圧供給部３０の第１変形例のように、インクに負圧を発生させる負圧発生部によって、加圧低減機構３５を構成してもよい。加圧機構３２の下流側に、負圧発生部で構成される加圧低減機構３５を設けることで、加圧機構３２で加圧されたインクを、負圧発生部で所定の圧力以下に低減して、弁装置４０側に圧送できる。

図１０の加圧低減機構３５は、バッファー室３５１とポンプＰ３を備える。バッファー室３５１は、可撓膜３５３によって液体室Ｓａと気体室Ｓｂに分けられる。液体室Ｓａには、インクの流入口３５４と流出口３５５が連通している。気体室Ｓｂには、気体流路３５６を介してポンプＰ３が接続されている。ポンプＰ３は、気体室Ｓｂ内を減圧するポンプであり、典型的には空圧ポンプで構成される。ポンプＰ３は、制御部５０により駆動される。気体流路３５６の途中には、気体室Ｓｂを大気に連通するための大気開放弁３５２が接続されている。気体室Ｓｂには、インクを加圧する方向（図１０の下方）に可撓膜３５３を付勢するバネ３５７が設けられている。バネ３５７を設けることで、大気開放弁３５２を開いてポンプＰ３の減圧を弱めると、バネ３５７による加圧力でインクが加圧でき、大気開放弁３５２を閉じてポンプＰ３の減圧を強めると、バネ３５７による加圧力を弱めることができる。なお、バネ３５７は必ずしも設けられていなくてもよい。

図１０の加圧供給部３０によれば、加圧機構３２によって大気開放弁３２２を閉じた状態でポンプＰ１により気体室Ｓｂ内を減圧することで、液体容器１４内のインクを加圧機構３２の液体室Ｓａに移動させた後にポンプＰ１の動作を停止し大気開放弁３２２を開くことで加圧低減機構３５の液体室Ｓａのインクを加圧すると共に、加圧低減機構３５によって所定の圧力まで低減させることができる。具体的には、加圧低減機構３５の大気開放弁３５２を閉じたまま、ポンプＰ３による減圧を維持することで、バネ３５７による加圧力が低減されるので、インクの圧力を所定の圧力まで低減させることができる。したがって、液体吐出ヘッド２６内の圧力を低減できる。このように、大気開放弁３５２は、液体吐出ヘッド２６内の圧力を低減する制御弁として機能させることができる。

なお、液体容器１４をインクパックで構成する場合には、インクパックにかける圧力を調整することで、インクの加圧を低減するようにしてもよい。具体的には図１１に示す加圧供給部３０の第２変形例のように、インクパックで構成される液体容器１４を装着するカートリッジ１４２でインクにかける圧力を調整する。カートリッジ１４２には、気体流路１４３を介してポンプＰ４が接続されている。ポンプＰ４は、典型的には空圧ポンプで構成され、制御部５０により駆動される。気体流路１４３の途中には、カートリッジ１４２内を大気に連通するための大気開放弁１４４が接続されている。図１１の加圧供給部３０によれば、ポンプＰ４で液体容器１４内の圧力を調整することで、インクの圧力を低減できる。また、大気開放弁１４４を開くことによっても、インクの圧力を低減できる。この他、図示はしないが、加圧供給部３０として、液体容器１４を重力方向で液体吐出ヘッド２６の位置よりも高い位置に配置することで、水頭圧によってインクを加圧供給する場合は、液体容器１４を上下させる機構によって液体吐出ヘッド２６内のインク圧力を低減する方法も適用可能である。

＜第３実施形態＞
本発明の第３実施形態について説明する。第１実施形態および第２実施形態では、液体吐出ヘッド２６内の圧力状態に応じて、圧電素子７４の駆動を規制したり、液体吐出ヘッド２６内の圧力を低減したりする場合を例示したが、第３実施形態では、印刷データＧの受信によって、液体吐出ヘッド２６内の圧力を低減する場合を例示する。

図１２は、第３実施形態の液体吐出装置１０の印刷時の制御を示すフローチャートである。図１２に示すように、ステップＳ３１にて受信部５３が印刷データＧを受信すると、ステップＳ３２にて制御部５０は、液体吐出ヘッド２６の圧力を低減した後に、印刷を行う。第２実施形態の場合と同様に、例えば図７の加圧機構３２や加圧低減機構３５、図８の負圧解除機構２７、図１０の加圧低減機構３５などによって液体吐出ヘッド２６の圧力の低減した後に、圧電素子７４を駆動する。そして、ステップＳ３３にて制御部５０は、印刷が終了したか否かを判断し、印刷が終了したと判断していないと場合には、ステップＳ３１にて次の印刷データＧを受信する。ステップＳ３３にて制御部５０は、印刷が終了したと判断した場合には、印刷処理を終了する。

このように、第３実施形態によれば、印刷データＧを受信によって、液体吐出ヘッド２６内の圧力を低減するから、印刷データＧによる圧電素子７４の駆動前に、液体吐出ヘッド２６内の圧力を低減できる。このように、事前に液体吐出ヘッド２６内の圧力を低減できるので、弁装置４０の閉塞不良などによるインクのリークが発生していても、振動板７３を振動させる際には液体吐出ヘッド２６内の過剰な圧力を低減できるため、振動板７３におけるクラックの発生を抑制できる。なお、第３実施形態において、印刷データＧの受信によって、液体吐出ヘッド２６内の圧力を低減しつつ、第２実施形態のように液体吐出ヘッド２６内の圧力状態に応じて、圧電素子７４の駆動を規制したり、液体吐出ヘッド２６内の圧力を低減したりしてもよい。

＜第４実施形態＞
本発明の第４実施形態について説明する。第３実施形態では、印刷データＧの受信によって、液体吐出ヘッド２６内の圧力を低減する場合を例示したが、印刷データＧの内容に応じてインクの供給圧力を制御する。液体吐出ヘッド２６内の圧力を低減するために、インクの供給圧力を低減し過ぎてしまうと、インクの吐出量が多い印刷ができなくなる虞がある。

印刷時における液体吐出ヘッド２６内の圧力が、ノズルＮ内のメニスカスの負側の耐圧（例えば大気圧に対して−４Ｐａ）よりも小さくなる（負側に大きくなる）と、ノズル内のメニスカスが圧力室ＳＣ側に引き込まれてしまって印刷できなくなる。このため、加圧供給部３０でのインクの圧力（インクの供給圧力）は、印刷時における液体吐出ヘッド２６内の圧力がノズルＮ内のメニスカスの負側の耐圧よりも下がらないように大きく設定しておく必要がある。弁装置４０でインクのリークが発生している場合には、印刷待機時における液体吐出ヘッド２６内の圧力は、加圧供給部３０でのインクの圧力とほぼ等しくなり、印刷時における液体吐出ヘッド２６内の圧力は、加圧供給部３０でのインクの圧力から流路全体の圧力損失分を引き算した圧力となる。流路全体の圧力損失分は、インクの吐出量が少ないほど低くなり、インクの吐出量が多いほど高くなる。したがって、この場合、弁装置４０でインクのリークが発生している場合には、印刷データＧにおいてインクの吐出量が少ないほど、加圧供給部３０でのインクの圧力の低減率を大きくしても印刷することができ、印刷データＧにおいてインクの吐出量が多いほど、加圧供給部３０でのインクの圧力の低減率を小さくしなければ印刷できなくなる。

そこで、第４実施形態では、印刷データＧによるインクの吐出量（消費量）が多いほど、加圧供給部３０によるインクの供給圧力を高くし、印刷データＧによるインクの吐出量が少ないほど、加圧供給部３０によるインクの供給圧力を低くする。印刷データＧのインクの吐出量は、媒体１２の単位面積に対する単位時間当たりのインクの吐出量（印刷デューティー）である。なお、印刷データＧのインクの吐出量としては、これに限られず、単位時間当たりの平均吐出量であってもよく、単位時間当たりの吐出量の中央値であってもよい。印刷データＧによるインクの吐出量は、各吐出部２６６ごとに判別してもよい。

第４実施形態において図２の制御部５０は、受信部５３から受信した印刷データＧによるインクの吐出量を判別し、インクの吐出量に応じて加圧供給部３０によるインクの圧力を制御する。加圧供給部３０によるインクの供給圧力は、例えば図７の加圧機構３２や加圧低減機構３５、図８の負圧解除機構２７、図１０の加圧低減機構３５などによって制御することができる。

図１３は、第４実施形態の液体吐出装置１０の印刷時の制御を示すフローチャートである。図１３に示すように、ステップＳ４１にて受信部５３が印刷データＧを受信すると、ステップＳ４２にて制御部５０は、印刷データＧの内容に応じて加圧供給部３０によるインクの供給圧力を制御して印刷を行う。具体的には、制御部５０は、印刷データＧからインクの吐出量を判別し、そのインクの吐出量に応じて、例えば図７の加圧機構３２によって、加圧供給部３０によるインクの供給圧力を制御して、圧電素子７４を駆動する。そして、ステップＳ４３にて制御部５０は、印刷が終了したか否かを判断し、印刷が終了したと判断していないと場合には、ステップＳ４１にて次の印刷データＧを受信する。ステップＳ４３にて制御部５０は、印刷が終了したと判断した場合には、印刷処理を終了する。

このように、第４実施形態によれば、印刷データＧの内容に応じて加圧供給部３０によるインクの供給圧力を制御することで、弁装置４０の閉塞不良などによるインクのリークが発生していても、振動板７３のクラックを抑制しながら、圧電素子７４を駆動することができる。また、液体吐出ヘッド２６内の圧力を低減するために、加圧供給部３０によるインクの供給圧力を低減し過ぎてしまって印刷できなくなることを抑制できる。したがって、振動板７３におけるクラックの発生を抑制しつつ、印刷可能な印刷データＧの範囲を広げることができる。

なお、印刷待機時（印刷データＧの受信前）には、加圧供給部３０によってインクを加圧しなかったり、印刷時よりも加圧を緩めたりしておき、印刷前に加圧するようにしてもよい。また、印刷データＧがない場合には、加圧供給部３０によるインクの供給圧力をゼロとしてもよい。このようにすることで、弁装置４０でインクのリークを抑制するための予防策にもなる。また、第４実施形態において、印刷データＧの内容によって、加圧供給部３０によるインクの供給圧力を制御しつつ、第２実施形態のように液体吐出ヘッド２６内の圧力状態に応じて、圧電素子７４の駆動を規制したり、液体吐出ヘッド２６内の圧力を低減したりしてもよい。すなわち、弁装置４０でインクのリークが発生したとき、液体吐出ヘッド２６内のインクの圧力がノズルＮ内のメニスカスの正側の耐圧（例えば大気圧に対して１ＫＰａ）を超えないように、印刷待機時においてのみインクの供給圧力を十分に低減させておく。こうすることで、ノズルＮからのインクの染み出しやボタ落ちを防ぐとともに、印刷データＧを受信したとき（または印刷要求を受けたとき）は、必要最低限のインクの供給圧力を確保して印刷動作を行えるため、使用者が急な印刷動作の中断を強いられることなく印刷作業を完了することができる。

＜変形例＞
以上に例示した態様および実施形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示や上述の態様から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

（１）上述した実施形態では、液体吐出ヘッド２６を搭載したキャリッジ２４をＸ方向に沿って反復的に往復させるシリアルヘッドを例示したが、液体吐出ヘッド２６を媒体１２の全幅にわたり配列したラインヘッドにも本発明を適用可能である。

（２）上述した実施形態では、圧力室に機械的な振動を付与する圧電素子を利用した圧電方式の液体吐出ヘッド２６を例示したが、加熱により圧力室の内部に気泡を発生させる発熱素子を利用した熱方式の液体吐出ヘッドを採用することも可能である。

（３）上述した実施形態で例示した液体吐出装置１０は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置１０の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルターや有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等を形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、液体の一種として生体有機物の溶液を吐出するチップ製造装置としても利用される。

１０…液体吐出装置、１２…媒体、１４…液体容器、１４２…カートリッジ、１４３…気体流路、１４４…大気開放弁、２０…制御ユニット、２０２…制御装置、２０３…記憶装置、２２…搬送機構、２４…キャリッジ、２６…液体吐出ヘッド、２６０…吐出面、２６１…流路、２６２…駆動部、２６４…液体吐出部、２６６…吐出部、２７…負圧解除機構、２７０…チョーク弁、２７１…バッファー室、２７２…大気開放弁、２７３…可撓膜、２７４…流入口、２７５…流出口、２７６…気体流路、２８…検出部、３０…加圧供給部、３１…流路、３１２…流路、３２…加圧機構、３２１…バッファー室、３２２…大気開放弁、３２３…可撓膜、３２４…流入口、３２５…流出口、３２６…気体流路、３２７…バネ、３３、３４…逆止弁、３５…加圧低減機構、３５１…バッファー室、３５２…大気開放弁、３５３…可撓膜、３５４…流入口、３５５…流出口、３５６…気体流路、３５７…バネ、３６…排液弁、３７…排液タンク、４０…弁装置、４２…支持体、４２２…凹部、４２４…凹部、４４…可撓膜、４６…可撓膜、４６２…可動部、４７…弁体、４７２…基部、４７４…封止部、４７６…弁軸、４８…弁座、４９…受圧板、５０…制御部、５１…駆動信号生成部、５２…判定部、５３…受信部、６０…操作パネル、６２…表示部、７１…流路基板、７１２…開口部、７１４…分岐流路、７１６…連通流路、７２…圧力室基板、７２２…開口部、７３…振動板、７４…圧電素子、７４２…第１電極、７４４…圧電体、７４６…第２電極、７５…支持体、７５４…導入流路、７６…ノズル板、７７…コンプライアンス部、７７２…可撓膜、７７４…支持板、７７６…開口部、７８…固定板、７８２…開口部、ａ、ｂ、ｃ…端子、ｄ…スイッチ、Ｃ…データテーブル、Ｃ…静電容量、ＣＯＭ…駆動信号、Ｇ…印刷データ、Ｏ…軸線、Ｋ…貫通孔、Ｎ…ノズル、Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４…ポンプ、Ｒ１…第１流路、Ｒ２…第２流路、Ｓ…封止面、Ｓａ…液体室、Ｓｂ…空気室、Ｓ１…バネ、Ｓ２…バネ、ＳＣ…圧力室、ＳＧ…ダンパー室、ＳＤ…内部空間、ＳＩ…印刷信号、Ｔ…周期、Ｖ…駆動信号、Ｖ…電圧、ＶＨ…最大電位、ＶＬ…最小電位、ＶＭ…基準電位、ＶＳ…状態信号、Ｗ…駆動波形。

Claims (16)

1. 駆動素子により振動板を振動させ、液体が充填される内部空間の圧力を変動させることで前記液体を吐出する液体吐出ヘッドと、
   前記液体吐出ヘッド内に前記液体を圧送する加圧供給部と、
   前記液体吐出ヘッド内の圧力状態に応じて、前記駆動素子の駆動を規制する制御部と、を備える
   液体吐出装置。
2. 駆動素子により振動板を振動させ、液体が充填される内部空間の圧力を変動させることで前記液体を吐出する液体吐出ヘッドと、
   前記液体吐出ヘッド内に前記液体を圧送する加圧供給部と、
   前記液体吐出ヘッド内の圧力状態に応じて、前記液体の圧力を低減する制御を行う制御部と、を備える
   液体吐出装置。
3. 駆動素子により振動板を振動させ、液体が充填される内部空間の圧力を変動させることで前記液体を吐出する液体吐出ヘッドと、
   前記液体吐出ヘッド内に前記液体を圧送する加圧供給部と、
   印刷データを受信する受信部と、
   前記印刷データの受信により、前記液体の圧力を低減する制御を行う制御部と、を備える
   液体吐出装置。
4. 駆動素子により振動板を振動させ、液体が充填される内部空間の圧力を変動させることで前記液体を吐出する液体吐出ヘッドと、
   前記液体吐出ヘッド内に前記液体を圧送する加圧供給部と、
   印刷データを受信する受信部と、
   受信した前記印刷データの内容に応じて、前記液体の供給圧力を制御する制御部と、を備える
   液体吐出装置。
5. 前記液体吐出ヘッド内の圧力状態は、前記駆動素子の駆動による残留振動から検出される
   請求項１または請求項２に記載の液体吐出装置。
6. 前記液体吐出ヘッド内の圧力状態は、前記液体の流路における壁面の一部を構成する可撓膜の変位から検出される
   請求項１または請求項２に記載の液体吐出装置。
7. 前記可撓膜は、前記液体の流路の圧力変化を緩和するための膜である
   請求項６に記載の液体吐出装置。
8. 前記可撓膜は、前記液体の流路内の圧力変化を発生するための膜である
   請求項６に記載の液体吐出装置。
9. 前記液体の流路の途中に、前記流路を開閉する弁装置を備え、
   前記弁装置は、前記加圧供給部に連通する第１流路と前記液体吐出ヘッドに連通する第２流路とを開閉する弁体と、前記弁体を可動する可撓膜を有する
   請求項１から請求項８の何れかに記載の液体吐出装置。
10. 前記液体吐出ヘッド内の圧力状態は、前記弁装置の可撓膜の変位から検出される
    請求項９に記載の液体吐出装置。
11. 前記液体吐出ヘッド内の圧力に応じて開閉する制御弁を備え、
    前記制御弁が開くと、前記液体吐出ヘッド内の圧力が低減する
    請求項１から請求項１０の何れかに記載の液体吐出装置。
12. 前記制御部は、前記液体吐出ヘッド内の圧力状態に応じて、前記駆動素子の駆動の規制または前記液体の圧力を低減する制御を行う
    請求項３または請求項４に記載の液体吐出装置。
13. 液体吐出装置の制御方法であって、
    前記液体吐出装置は、
    駆動素子により振動板を振動させ、液体が充填される内部空間の圧力を変動させることで前記液体を吐出する液体吐出ヘッドと、
    前記液体吐出ヘッド内に前記液体を圧送する加圧供給部と、を備え、
    前記液体吐出ヘッド内の圧力状態の変化に応じて、前記駆動素子の駆動を制御する
    液体吐出装置の制御方法。
14. 液体吐出装置の制御方法であって、
    前記液体吐出装置は、
    駆動素子により振動板を振動させ、液体が充填される内部空間の圧力を変動させることで前記液体を吐出する液体吐出ヘッドと、
    前記液体吐出ヘッド内に前記液体を圧送する加圧供給部と、を備え、
    前記液体吐出ヘッド内の圧力状態に応じて、前記液体の圧力を低減する制御を行う
    液体吐出装置の制御方法。
15. 液体吐出装置の制御方法であって、
    前記液体吐出装置は、
    駆動素子により振動板を振動させ、液体が充填される内部空間の圧力を変動させることで前記液体を吐出する液体吐出ヘッドと、
    前記液体吐出ヘッド内に前記液体を圧送する加圧供給部と、
    印刷データを受信する受信部と、を備え、
    前記印刷データの受信により、前記液体の圧力を低減する制御を行う
    液体吐出装置の制御方法。
16. 液体吐出装置の制御方法であって、
    前記液体吐出装置は、
    駆動素子により振動板を振動させ、液体が充填される内部空間の圧力を変動させることで前記液体を吐出する液体吐出ヘッドと、
    前記液体吐出ヘッド内に前記液体を圧送する加圧供給部と、
    印刷データを受信する受信部と、を備え、
    受信した前記印刷データの内容に応じて、前記液体の供給圧力を制御する
    液体吐出装置の制御方法。
    

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