CN104925815A - 反应精馏处理硅烷尾气的装置和方法 - Google Patents
反应精馏处理硅烷尾气的装置和方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104925815A CN104925815A CN201510413200.4A CN201510413200A CN104925815A CN 104925815 A CN104925815 A CN 104925815A CN 201510413200 A CN201510413200 A CN 201510413200A CN 104925815 A CN104925815 A CN 104925815A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- chlorosilane
- tail gas
- silane
- reactive distillation
- conversion zone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P20/00—Technologies relating to chemical industry
- Y02P20/10—Process efficiency
Abstract
本发明涉及反应精馏处理硅烷尾气的装置和方法，将氯硅烷从氯硅烷入口中加入到反应精馏塔中，硅烷尾气从硅烷尾气入口中加入到反应精馏塔，硅烷尾气和氯硅烷在反应段发生反应，其中氯硅烷是四氯化硅、三氯氢硅、二氯氢硅中两种或三种混合物，氯硅烷和少量不与氯硅烷反应的尾气在精馏段分离，氯硅烷在塔顶冷凝器冷凝，残留尾气从尾气出口采出，氯硅烷和少量硅烷尾气在提馏段分离，氯硅烷回流至塔釜，循环泵将大部分氯硅烷循环至反应段上段，部分氯硅烷从塔釜采出口采出。硅烷尾气的处理率几乎达到100％。本发明实现硅烷尾气无害化处理，实现硅烷法生产多晶硅的闭路循环，具有安全性、经济性、环保性、创造性和新颖性。
Description
技术领域
本发明涉及反应精馏处理硅烷尾气的装置和方法，将现有生产硅烷及硅烷法生产多晶硅的硅烷尾气等硅烷尾气，经与氯硅烷反歧化反应转化成生产多晶硅的原料三氯氢硅，硅烷尾气的处理率几乎达到100％，硅烷是一种易燃易爆气体，国内硅烷尾气大多采用燃烧处理，即污染环境又造成资源浪费。
背景技术
多晶硅材料是电子信息产业和太阳能光伏发电产业最重要的基础材料，太阳能级多晶硅可用于太阳能光伏发电，是一种高效、环保和清洁的未来技术，可替代现有的发电模式。而电子级多晶硅可用于制造半导体材料，用于集成电路衬底的制造，广泛应用于航天、人工智能、自动控制和计算机芯片等领域。因此多晶硅材料对于国家新能源和高新技术的发展具有战略意义。
目前多晶硅生产主要方法包括：改良西门子法、硅烷分解法、锌还原法、二氧化硅还原法等，其中硅烷法生产多晶硅具有以下等优点：1)硅烷和杂质氢化物性质差别大易于提纯，2)热分解产物无腐蚀性，减少对设备腐蚀，3)热分解稳定性差，分解温度低，消耗电量低，节约能源，4)流程简单，无需用还原剂，避免还原剂污染。由于硅烷法生产多晶硅具有以上等优点，硅烷法越来越成为生产多晶硅的主要方法，但利用硅烷分解法制备多晶硅及生产硅烷电子气会产生大量的硅烷尾气。硅烷是一种易燃易爆气体，具有一定浓度的硅烷在-180℃的温度下也会与氧发生爆炸反应。如何安全处理硅烷尾气是国内外共同关注的一个话题，现在国内外处理硅烷尾气的方法主要是燃烧法和用碱液吸收。燃烧法处理硅烷尾气会产生大量的二氧化硅烟雾及无定型硅粉，严重污染环境，造成资源浪费，硅烷易爆，用该法处理硅烷也存在安全隐患；碱液吸收处理硅烷尾气消耗大量的碱液，造成资源严重浪费。我们首次创造性的提出将硅烷与氯硅烷(四氯化硅与三氯氢硅混合物，或者含有少量二氯氢硅)在催化剂作用下，进行反歧化反应生成三氯氢硅，该反应转化率高，硅烷尾气处理效果好，产物三氯氢硅是多晶硅的原料，实现多晶硅生产闭路循环，节约资源，经济效果好，达到硅烷尾气零排放、无害化处理，保护了环境。
近几年，随着多晶硅逐渐成为国家优先发展的战略产业，解决硅烷法生产多晶硅中硅烷尾气处理问题，进一步促使多晶硅产业达到节能、降耗、安全、环保的目标显得日趋重要与紧迫。
发明内容
现在国内外处理硅烷尾气的方法主要是燃烧法和用碱液吸收。燃烧法处理硅烷尾气会产生大量的二氧化硅烟雾和无定型硅粉，严重污染环境，造成资源浪费，硅烷易爆，用该法处理硅烷也存在安全隐患；碱液吸收处理硅烷尾气消耗大量的碱液，造成资源严重浪费。本发明的目的在于克服现有技术存在的缺点，寻求硅烷尾气无害化处理方法和装置，本方法是利用硅烷与氯硅烷在反应精馏装置中进行反歧化反应的方法回收硅烷尾气；氯硅烷包括四氯化硅、三氯氢硅或者二氯氢硅。
本发明涉及的反歧化反应：
3SiCl4+SiH4→4SiHCl3
2SiHCl3+SiH4→3SiH2Cl2
SiCl4+SiH2Cl2→2SiHCl3
为实现上述目的，本发明所述的硅烷尾气无害化处理装置和方法。
一种反应精馏处理硅烷尾气的装置；其特征是装置为精馏塔；精馏塔设置有精馏段、反应段和提馏段；在精馏段上设置有塔顶冷凝器，塔釜设置有再沸器，精馏段和提馏段中设置有规整填料，反应段中设置有结构催化剂，塔顶设置有尾气出口；在精馏段和反应段之间设置有氯硅烷入口，在反应段和提馏段之间设置有硅烷尾气入口；塔釜与精馏段和反应段之间某处安装循环泵，他们之间通过管道连接；塔釜上设置有三氯硅烷采出口。
利用本发明的装置进行反应精馏处理硅烷尾气的方法；其将氯硅烷从氯硅烷入口中加入到反应精馏塔中，硅烷尾气从硅烷尾气入口中加入到反应精馏塔，硅烷尾气和氯硅烷在反应段发生反应，其中氯硅烷是四氯化硅、三氯氢硅、二氯氢硅中两种或三种混合物，氯硅烷和少量不与氯硅烷反应的尾气在精馏段分离，氯硅烷在塔顶冷凝器冷凝，残留尾气从尾气出口采出，氯硅烷和少量硅烷尾气在提馏段分离，氯硅烷回流至塔釜，循环泵将大部分氯硅烷循环至反应段上段，部分氯硅烷从塔釜采出口采出。
所述的结构催化剂是将催化剂填于耐腐蚀工业布袋中，与波纹填料间隔成卷制得，装填于反应精馏塔中。
所述催化剂是活性氧化铝、氯化铝、溴化铝、胺基碱性树脂或者它们的复配物，其中胺基碱性树脂优选D66、A21、A100、D301R。
所述反应段温度控制在0-200℃，全塔压力控制在0-10MPa。
所述氯硅烷中四氯化硅与三氯氢硅摩尔比0.1-1000：1。
所述氯硅烷中四氯化硅、三氯氢硅和二氯氢硅摩尔比(1-10000)：100：(10000-1)
所述精馏段和提馏段塔板数分别在10-200。
本发明设计反应精馏处理硅烷尾气的装置和方法，将现有生产硅烷尾气及硅烷法生产多晶硅的硅烷尾气等硅烷尾气，经与四氯化硅反歧化反应转化成生产多晶硅的原料三氯氢硅，硅烷尾气的处理率几乎达到100％。反应精馏处理硅烷尾气的装置和方法在反应装置内进行，其主要结构包括硅烷反歧化塔。硅烷与四氯化硅在催化剂作用下，发生反歧化反应生成三氯氢硅，三氯氢硅是生产多晶硅的原料，达到消除降解硅烷的目的。硅烷是一种易燃易爆气体，国内硅烷尾气大多采用燃烧或者碱液吸收处理，即污染环境又造成资源浪费，而本发明实现硅烷尾气无害化处理，实现硅烷法生产多晶硅的闭路循环，具有安全性、经济性、环保性、创造性和新颖性。
本发明硅烷尾气无害化处理方法和装置具有以下优点：
[1]本发明与现有技术相比，实现硅烷尾气无害化处理，硅烷法生产多晶硅的闭路循环，具有安全性、经济性、环保性、创造性和新颖性。
[2]安全性：硅烷易燃易爆，采用传统燃烧处理硅烷尾气方法存在安全隐患，采用与氯硅烷反应能很好地处理硅烷尾气，安全性好。
[3]经济性：采用传统燃烧或者碱液吸收的方法，浪费了大量资源，采用与氯硅烷反应处理硅烷尾气，生成三氯氢硅，三氯氢硅是生产多晶硅的原料，实现多晶硅生产闭路循环，经济效果好。
[4]环保性：采用传统燃烧方法处理硅烷尾气会产生大量无定型硅粉及二氧化硅粉尘污染环境，运用碱液吸收硅烷尾气会产生大量废液造成环境污染，而采用与氯硅烷反歧化反应处理硅烷尾气实现废气废液冷排放，对环境零污染。
[5]创造性和新颖性：该方法处理硅烷尾气是在国内外首次并创造性的提出，具有创造性和新颖性。
附图说明
图1本发明反应精馏处理硅烷尾气的装置方案流程图。
反应精馏处理硅烷尾气的装置包括塔顶冷凝器(1)、精馏段(2)、反应段(3)、提馏段(4)、塔釜再沸器(5)、硅烷尾气入口(6)、氯硅烷入口(7)和循环泵(8)。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步的详细说明：
如图1所示：本发明采用如下连接装置：
一种反应精馏处理硅烷尾气的装置；其特征是装置为精馏塔；精馏塔设置有精馏段(2)、反应段(3)和提馏段(4)；在精馏段上设置有塔顶冷凝器(1)，塔釜设置有再沸器(5)，精馏段和提馏段中设置有规整填料，反应段中设置有结构催化剂，塔顶设置有尾气出口(6)；在精馏段和反应段之间设置有氯硅烷入口(7)，在反应段和提馏段之间设置有硅烷尾气入口；塔釜与精馏段和反应段之间某处安装循环泵(8)，他们之间通过管道连接；塔釜上设置有三氯硅烷采出口。
本发明的操作流程如下：
利用本发明的装置进行反应精馏处理硅烷尾气的方法；其将氯硅烷从氯硅烷入口(7)中加入到反应精馏塔中，硅烷尾气从硅烷尾气入口(6)中加入到反应精馏塔，硅烷尾气和氯硅烷在反应段(3)发生反应，氯硅烷和少量不与氯硅烷反应的尾气在精馏段(2)分离，氯硅烷在塔顶冷凝器(1)冷凝，残留尾气从尾气出口采出，氯硅烷和少量硅烷尾气在提馏段(4)分离，氯硅烷回流至塔釜，循环泵(8)将大部分氯硅烷循环至反应段上段，塔釜再沸器(5)加热塔釜，部分氯硅烷并从塔釜采出口采出。
下面通过实例并结合附图对发明作进一步说明。
实施例1：
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为10，催化剂为A21，塔压为常压，控制反应段温度0℃,四氯化硅与三氯氢硅摩尔比1：0.1，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
实施例2：
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为10，催化剂为A21，塔压为常压，控制反应段温度0℃,四氯化硅、三氯氢硅与二氯氢硅摩尔比1:1:1，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
实施例3：
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为10，催化剂为A21，塔压为常压，控制反应段温度0℃,四氯化硅、三氯氢硅与二氯氢硅摩尔比100:1:1，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
实施例4：
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为10，催化剂为A21，塔压为常压，控制反应段温度0℃,四氯化硅、三氯氢硅与二氯氢硅摩尔比1:1:100，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
实施例5：
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为10，催化剂为A21，塔压为常压，控制反应段温度0℃,四氯化硅、三氯氢硅与二氯氢硅摩尔比1:100:1，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
实施例6：
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为10，催化剂为A100，塔压为常压，控制反应段温度0℃,四氯化硅与三氯氢硅摩尔比1：0.1，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
实施例7
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为100，催化剂为A21塔压为常压，控制反应段温度0℃,四氯化硅与三氯氢硅摩尔:1：0.1，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
实施例:8
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为200，催化剂为A21，塔压为常压，控制反应段温度0℃,四氯化硅与三氯氢硅摩尔比1：0.1，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
实施例:9
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为100，催化剂为A21，塔压为1MPa，控制反应段温度0℃,四氯化硅与三氯氢硅摩尔比1：0.1，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
实施例:10
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为100，催化剂为A21，塔压为10MPa，控制反应段温度0℃,四氯化硅与三氯氢硅摩尔比1：0.1，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
实施例:11
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为100，催化剂为A21，塔压为1MPa，控制反应段温度100℃,四氯化硅与三氯氢硅摩尔比1：0.1，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
实施例:12
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为100，催化剂为A21，塔压为1MPa，控制反应段温度200℃,四氯化硅与三氯氢硅摩尔比1：0.1，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
实施例13
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为100，催化剂为A21，塔压为1MPa，控制反应段温度100℃,四氯化硅与三氯氢硅摩尔比100:1，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
实施例14
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为100，催化剂为A21，塔压为1MPa，控制反应段温度100℃,四氯化硅与三氯氢硅摩尔比1000:1，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
实施例14
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为100，催化剂为活性氧化铝，塔压为1MPa，控制反应段温度100℃,四氯化硅与三氯氢硅摩尔比1000:1，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
实施例15
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为100，催化剂为氯化铝，塔压为1MPa，控制反应段温度100℃,四氯化硅与三氯氢硅摩尔比1000:1，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
实施例16
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为100，催化剂为溴化铝，塔压为1MPa，控制反应段温度100℃,四氯化硅与三氯氢硅摩尔比1000:1，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
实施例17
本实施例在反应精馏处理硅烷尾气的装置中进行，硅烷尾气从6中通入到反应精馏塔中，新鲜的四氯化硅和三氯氢硅混合物从7中通入到反应精馏塔中，反应后部分产品从塔釜通过循环泵在精馏段和反应段中间通入到反应精馏塔中，精馏段和提馏段塔板数均为100，催化剂为氯化铝和A21的复配物，塔压为1MPa，控制反应段温度100℃,四氯化硅与三氯氢硅摩尔比1000:1，塔顶采出未反应的硅烷尾气轻组分量极少，说明硅烷尾气被很好地吸收。
Claims (9)
1.一种反应精馏处理硅烷尾气的装置；其特征是装置为精馏塔；精馏塔设置有精馏段、反应段和提馏段；在精馏段上设置有塔顶冷凝器，塔釜设置有再沸器，精馏段和提馏段中设置有规整填料，反应段中设置有结构催化剂，塔顶设置有尾气出口；在精馏段和反应段之间设置有氯硅烷入口，在反应段和提馏段之间设置有硅烷尾气入口；塔釜与精馏段和反应段之间某处安装循环泵，他们之间通过管道连接；塔釜上设置有三氯硅烷采出口。
2.如权利要求1所述的装置，其特征是精馏段和提馏段塔板数分别在10～200。
3.如权利要求1所述的装置，其特征是所述的结构催化剂是将催化剂填于耐腐蚀工业布袋中，与波纹填料间隔成卷状。
4.利用权利要求1装置进行反应精馏处理硅烷尾气的方法；其特征是：将氯硅烷从氯硅烷入口中加入到反应精馏塔中，硅烷尾气从硅烷尾气入口中加入到反应精馏塔，硅烷尾气和氯硅烷在反应段发生反应，其中氯硅烷是四氯化硅、三氯氢硅、二氯氢硅中两种或三种混合物，氯硅烷和部分不与氯硅烷反应的尾气在精馏段分离，氯硅烷在塔顶冷凝器冷凝，残留尾气从尾气出口采出，氯硅烷和部分硅烷尾气在提馏段分离，氯硅烷回流至塔釜，循环泵将大部分氯硅烷循环至反应段上段，部分氯硅烷并从塔釜采出口采出。
5.如权利要求4所述的方法，其特征是催化剂是活性氧化铝、氯化铝、溴化铝、胺基碱性树脂或者它们的复配物。
6.如权利要求5所述的装置，其特征是催化剂胺基碱性树脂为D66、A21、A100或D301R。
7.如权利要求4所述的方法，其特征是反应段温度为0～200℃，全塔压力为0～10MPa。
8.如权利要求4所述的方法，其特征是氯硅烷中四氯化硅与三氯氢硅摩尔比0.1～1000：1。
9.如权利要求4所述的方法，其特征是氯硅烷中四氯化硅、三氯氢硅和二氯氢硅摩尔比(1～10000)：100：(10000～1)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510413200.4A CN104925815A (zh) | 2015-07-14 | 2015-07-14 | 反应精馏处理硅烷尾气的装置和方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510413200.4A CN104925815A (zh) | 2015-07-14 | 2015-07-14 | 反应精馏处理硅烷尾气的装置和方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104925815A true CN104925815A (zh) | 2015-09-23 |
Family
ID=54113289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510413200.4A Pending CN104925815A (zh) | 2015-07-14 | 2015-07-14 | 反应精馏处理硅烷尾气的装置和方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN104925815A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105948059A (zh) * | 2016-05-03 | 2016-09-21 | 宜昌南玻硅材料有限公司 | 回收处理氯硅烷尾气的系统及方法 |
| CN112839904A (zh) * | 2018-09-10 | 2021-05-25 | 迈图高新材料公司 | 由四氯硅烷和氢硅烷合成三氯硅烷 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103086380A (zh) * | 2013-01-21 | 2013-05-08 | 天津大学 | 利用反应精馏处理二氯二氢硅废料的方法及设备 |
| CN103708471A (zh) * | 2013-12-18 | 2014-04-09 | 天津大学 | 硅烷反歧化制备氯硅烷的设备及方法 |
| CN204803016U (zh) * | 2015-07-14 | 2015-11-25 | 黄国强 | 反应精馏处理硅烷尾气的装置 |
-
2015
- 2015-07-14 CN CN201510413200.4A patent/CN104925815A/zh active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103086380A (zh) * | 2013-01-21 | 2013-05-08 | 天津大学 | 利用反应精馏处理二氯二氢硅废料的方法及设备 |
| CN103708471A (zh) * | 2013-12-18 | 2014-04-09 | 天津大学 | 硅烷反歧化制备氯硅烷的设备及方法 |
| CN204803016U (zh) * | 2015-07-14 | 2015-11-25 | 黄国强 | 反应精馏处理硅烷尾气的装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105948059A (zh) * | 2016-05-03 | 2016-09-21 | 宜昌南玻硅材料有限公司 | 回收处理氯硅烷尾气的系统及方法 |
| CN112839904A (zh) * | 2018-09-10 | 2021-05-25 | 迈图高新材料公司 | 由四氯硅烷和氢硅烷合成三氯硅烷 |
| CN112839904B (zh) * | 2018-09-10 | 2023-12-01 | 迈图高新材料公司 | 由四氯硅烷和氢硅烷合成三氯硅烷 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105061766B (zh) | 一种有机硅废液的处理装置及方法 | |
| CN102951646A (zh) | 硅烷的生产方法 | |
| CN101628710B (zh) | 含氯硅烷的氯化氢气体生产高纯度浓盐酸的方法 | |
| CN103435044A (zh) | 一种纯化分离多晶硅尾气中氯硅烷的方法 | |
| CN103382032A (zh) | 一种四氯化硅制备三氯氢硅的方法 | |
| CN105036081A (zh) | 一种氯硅烷残液生产HCl气体的方法 | |
| CN105129807A (zh) | 一种利用氯硅烷残液制备超细二氧化硅的方法 | |
| CN103553057B (zh) | 一种利用反应精馏技术处理氯硅烷废气的方法 | |
| CN104925815A (zh) | 反应精馏处理硅烷尾气的装置和方法 | |
| CN103449445B (zh) | 一种直接法生产四氯化硅的生产装置 | |
| CN104909371A (zh) | 络合反应精馏提纯硅烷的装置和方法 | |
| CN102923716A (zh) | 一种二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅工艺 | |
| CN204803016U (zh) | 反应精馏处理硅烷尾气的装置 | |
| CN204057977U (zh) | 用于卤硅聚合物裂解制备卤硅烷的装置系统 | |
| CN102897770B (zh) | 一种四氯化硅氢化改进方法及其装置 | |
| CN203568858U (zh) | 一种四氯化硅合成的生产系统 | |
| CN103396431A (zh) | 连续水解有机硅高沸物的方法 | |
| CN103420382B (zh) | 一种四氯化硅的合成方法及其生产系统 | |
| CN104138706B (zh) | 一种盐酸回收氯化汞生产尾气的方法 | |
| CN104555925A (zh) | 一种三氯氢硅生产过程中尾气的回收利用方法 | |
| CN105217691A (zh) | 一种高纯六氯化钨的制备方法和装置 | |
| CN104556054A (zh) | 三氯氢硅合成料中轻组分的回收利用方法和装置 | |
| CN210736200U (zh) | 以有机氯硅烷醇解副产的氯化氢气体为原料制备电子级氯化氢的装置 | |
| CN201901598U (zh) | 锌还原法制备高纯多晶硅的装置 | |
| CN204803014U (zh) | 络合反应精馏提纯硅烷的装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20150923 |