CN104884665A - 加热装置及包括该装置的涂覆设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种加热装置及包括该装置的涂覆设备，所述加热装置产生用于对连续移动的母材(钢板)进行涂覆的涂覆蒸汽。根据本发明，将生成为涂覆蒸汽的涂覆物质，在初期以固相(固体状态)来供给，之后使其相变为液相(液体状态)后供给至加热部，从而能够防止现有的因直接供给液相涂覆物质而引起的设备侵蚀等，而且还能够解决现有的因供给实心焊丝而导致的涂覆物质的温度下降等问题，最终实现加热装置的能量效率的最大化。

Description

加热装置及包括该装置的涂覆设备

技术领域

本发明涉及一种加热装置，所述加热装置产生用于对连续移动的母材(钢板)进行沉积并涂覆的涂覆蒸汽(气体)，更具体地，涉及一种加热装置及包括该装置的涂覆设备，其采用温度下降幅度小的液相供给方式，将供给的固相涂覆物质在停止的状态下进行加热，然后将液相的涂覆物质供给到加热部，因此能够充分地产生(形成)涂覆蒸汽，通过产生的涂覆蒸汽能够提高涂覆质量、操作性等。

背景技术

以基板为例，通过已知的在真空氛围下对连续(高速)移动的钢板进行沉积的方法，将涂覆物质，即金属蒸汽涂覆在钢板表面上。

上述的真空沉积是在真空氛围下通过各种方式对固体(固相)或者液体(液相)涂覆物质进行加热蒸发，使其变成蒸汽(气体)，然后将蒸汽沉积在钢板上来进行涂覆。

然而，以如上所述的真空沉积为媒介的基板(钢板)的连续涂覆，可根据加热方法进行分类，例如有热沉积法(thermal evaporation)、电子束沉积法(electron beam evaporation)等。

另一方面，近来正在研发一种能够进行高速沉积的电磁悬浮沉积法(electro-magnetic levitation evaporation)。

如上所述的电磁悬浮沉积法如下：涂覆物质被电磁线圈包围，向电磁线圈施加从高频电源产生的高频交流电，通过此时产生的交流电磁场，将涂覆物质加热至悬浮的状态，这与现有的在坩埚熔炉中产生金属蒸汽的情况相比，不仅能够减少热损失，而且能够对基板的表面，例如在连续(高速)移动的钢板表面上涂覆大量的金属蒸汽。

然而，为了在真空中对连续移动的钢板进行涂覆，要求产生涂覆蒸汽的加热装置(蒸发源装置)，而且，为了进行连续涂覆，要求供给涂覆物质(蒸发(涂覆)对象物质)。

根据涂覆物质的状态，将如上所述的涂覆物质的供给可分为固相(固体)供给和液相(液体)供给，并且液相供给方式还可分为机械方式、利用高度差的方式、利用压差的方式等。

例如，作为液相供给方式之一的机械方式有活塞方式(美国公开专利US 2005-0229856)、利用电磁的MHD泵方式(韩国公开专利第2007-0015923号)或者螺杆方式(日本公开专利第2010-189739号)等。

另外，在韩国公开专利第2009-0074064号等中公开了利用高度差的方式，在日本公开专利55-154537等中公开了利用压差的方式。

然而，在上述的专利中公开的液相供给方式有以下共同的问题，即，因供给的液相物质的温度或者化学特性，设备发生侵蚀(磨损)。

另一方面，作为固相(固体)供给方式的代表性的方式，一直在使用供给固体钢丝的方式，可是该方式具有在电磁线圈内降低蒸汽物质的温度的问题。

发明内容

(一)要解决的技术问题

因此，在本技术领域中，要求一种加热装置，所述加热装置在初期将生成为涂覆蒸汽的涂覆物质(介质)以固相(固体状态)来供给，之后使固相相变为(熔化为)液相(液体状态)后供给至加热部，从而能够防止现有的由于直接供给液相涂覆物质而引起的设备侵蚀(磨损)等，而且由于将液相涂覆物质生成为涂覆蒸汽，因此还能够解决现有的因供给固体钢丝而导致的涂覆物质的温度下降等问题，最终能够实现加热装置的能量效率的最大化。

并且，需要一种涂覆设备，所述设备利用如上所述的加热装置，能够归根结底地对母材、特别是对(高速)移动的钢板进行连续稳定的涂覆，从而能够提高涂覆品质。

(二)技术方案

用于实现上述要求的本发明的一个方面，提供一种加热装置，其包括：加热部，对供给的固相涂覆物质进行加热，产生涂覆于涂覆对象物的涂覆蒸汽；以及涂覆物质供给单元，与所述加热部连接，使供给的固相涂覆物质相变为液相涂覆物质后供给至加热部。

并且，本发明的另一个方面，提供一种涂覆设备，包括：所述加热装置；以及真空腔室，其包围所述加热装置的全部或一部分，涂覆对象物在真空状态下通过，在所述加热装置产生的涂覆蒸汽涂覆在涂覆对象物。

(三)有益效果

根据本发明，将生成为涂覆蒸汽的涂覆物质在初期以固相来供给，之后使固相相变为液相后供给至加热部，从而能够防止现有的由于直接供给液相涂覆物质而引起的设备侵蚀等破损。

另外，本发明由于将液相涂覆物质生成为涂覆蒸汽(沉积蒸汽)，因此还能够解决现有的因供给固体钢丝而导致的涂覆物质的温度下降等问题。

因此，本发明能够实现加热装置的能量效率的最大化，因此，利用如上所述的加热装置的涂覆设备能够对母材、例如高速移动的钢板进行连续稳定的涂覆的同时能够提高涂覆品质。

附图说明

图1是示出本发明的包括图4中示出的本发明的加热装置的涂覆设备的整体结构的结构图。

图2是放大表示图1的一部分的放大图。

图3是示出本发明的加热装置的一个实施例的结构图。

图4是示出本发明的加热装置的另一个实施例的结构图。

图5是示出本发明的加热装置的又一个实施例的结构图。

图6是示出本发明的加热装置的又一个实施例的结构图。

图7是示出本发明的包括图4中示出的本发明的加热装置的涂覆设备的另一个实施例的整体结构的结构图。

图8是示出图7的本发明的涂覆设备的变形例的整体结构的结构图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的优选实施方式进行说明。然而，本发明的实施方式可变形为其他各种实施方式，本发明的范围并不限定于以下说明的实施方式。并且，本发明的实施方式仅仅是为了给本领域的普通技术人员清楚地说明本发明而提出的。为了更加清楚地说明，可放大表示附图中的组件的形状以及大小等。

首先，图1和图2中示出包括图4中示出的本发明的加热装置1的一个实施例的涂覆设备200，图3至图6中示出本发明的加热装置1的各种实施例，图7和图8中示出包括图4中示出的本发明的加热装置1的涂覆设备200的其他实施例和其变形例。

因此，在以下的本实施例的说明中，基于图1至图6，说明一个实施例的涂覆设备200和各个实施例的加热装置1，基于图7和图8，说明其他实施例的涂覆设备200和其变形例。

另一方面，对于本发明的涂覆设备200，在图1和图2中示出的涂覆设备200采用使涂覆对象物，即钢板210水平移动的情况下进行涂覆的方式，图7和图8的涂覆设备200与上述设备不同，其采用使钢板210垂直移动的情况下进行涂覆的方式，当然，这些涂覆设备也包括在后面详细说明的图3至图6的本发明的加热装置1的各个实施例。

接着，在下面说明的本实施例中，将涂覆对象物限定为(高速)移动的钢板210，涂覆物质为作为沉积并涂覆于钢板的气体的涂覆介质，即涂覆蒸汽，在下面说明中，不是以涂覆介质，而是以涂覆物质来进行说明，尤其，将固体状态的涂覆物质以“固相涂覆物质10”进行说明，将固相涂覆物质被加热而发生相变(熔化)的液体状态的涂覆物质以“液相涂覆物质12”进行说明，将液相涂覆物质12被加热而产生的沉积蒸汽(气体)以“涂覆蒸汽14”进行说明。

另一方面，如图1、图2以及图7、图8所示，固相涂覆物质10优选为便于运输和供给的具有规定大小的钢锭(块)形态，当然，固相涂覆物质的形态并不限定于此。

接着，如图1和图2所示，本发明的一个实施例的涂覆设备200与钢板以沉浸在涂镀溶液的状态通过时进行涂镀的方式不同，是一种干式涂覆设备，在真空氛围下对钢板210表面沉积涂覆蒸汽14，由此在钢板表面涂覆所需材质。

另一方面，本发明的涂覆设备200可以包括真空腔室220，所述真空腔室以密封状态包围将在后面的图2至图6中详细说明的加热装置1的加热部20和涂覆物质供给单元60的供给管62的至少一部分。

另外，在真空腔室220的入口侧和出口侧设置有钢板移送辊222，其用于将作为涂覆对象物的钢板210连续高速地移动，所述钢板移送辊222还起到密封入口侧的入口和出口侧的出口的作用。

因此，在本发明的涂覆设备200中，从加热装置1产生的涂覆蒸汽14从喷嘴管50的喷嘴口52喷出，喷出的涂覆蒸汽14沉积在与喷嘴口邻接移动的钢板210的表面上，由此在钢板的表面上进行涂覆。

接着，下面参照图2至图6对本发明的加热装置1的各种实施例进行说明。

首先，本发明的加热装置1包括加热部20，其用于加热供给的固相涂覆物质10，产生涂覆于钢板210的涂覆蒸汽14，优选地，将供给的固相涂覆物质10相变为液相涂覆物质12之后，即熔化之后，在加热部20中产生涂覆蒸汽14。

因此，本发明的加热装置1能够解决现有的将液相涂覆物质直接供给至设备(加热部)时发生的设备侵蚀(破损)的问题，或者，能够防止供给固体实心焊丝等固体涂覆物质时发生的涂覆物质的温度下降。

即，向加热部20供给便于处理和供给的具有规定大小的钢锭形状的固相涂覆物质10，并利用下面说明的加热装置1的停止装置，使供给的固相涂覆物质10临时停止，并在此状态下进行加热，然后将相变的液相涂覆物质12送到加热部20的涂覆蒸汽产生管40，充分地产生涂覆蒸汽14，由于无需从一开始就供给液相涂覆物质，因此不会发生设备侵蚀，或者能够防止供给焊丝等固体涂覆物质时的温度下降。

另一方面，如图2所示，本发明的加热装置1可以包括涂覆物质供给单元60，所述涂覆物质供给单元与加热部20连接，在供给路径中使固相涂覆物质10相变为液相涂覆物质12，并将其供给至加热部20。

此时，在本发明的加热装置1中，所述加热部20可以包括：电磁线圈30，通过电磁感应来加热涂覆物质；涂覆蒸汽产生管40，位于所述电磁线圈30的内侧，加热供给的液相涂覆物质12，产生涂覆蒸汽14。

并且，本发明的加热装置1还可以包括与涂覆蒸汽产生管40连接的涂覆蒸汽喷嘴管50，所述涂覆蒸汽喷嘴管具有喷嘴口52，其用于向钢板210喷出(排出)涂覆蒸汽14，由此可对钢板210连续地进行涂覆。

上述的涂覆蒸汽喷嘴管50实际上可以是涂覆设备200的相关组件。

即，从根本上来看，本发明的加热装置1是，当向电磁线圈30施加电源时，利用此时产生的电磁感应电流来加热涂覆物质，产生用于涂覆钢板的涂覆蒸汽14，所述电磁线圈由以适当的匝数绕组的上电磁线圈32和与所述上电磁线圈隔开适当的距离且以适当的匝数绕组的下电磁线圈34组成。

例如，在电磁线圈30的内侧，通过施加高频电流时形成的电磁力，被提供至电池线圈内侧的固相涂覆物质10相变为液相涂覆物质12，然后液相涂覆物质12又在涂覆蒸汽产生管40的内侧重新被加热后产生为金属蒸汽，即涂覆蒸汽14。

另一方面，如图1所示，电磁线圈30的上电磁线圈32和下电磁线圈34与供电装置36连接，虽然在图中没有用单独的附图标记表示，但是在所述电磁线圈30上可以设置用于阻止电弧的产生的绝缘结构，例如，电磁线圈用浇注料或陶瓷的填料来绝缘。

另外，如图1、图2以及图7、图8所示，优选地，在本发明中，电磁线圈30、位于所述电磁线圈内侧的涂覆蒸汽产生管40、与所述涂覆蒸汽产生管的上部连接的具有喷嘴口52的涂覆蒸汽喷嘴管50设置在真空腔室220的内侧，这是因为当利用电磁力加热涂覆物质时，产生大量的高热，如果上述管露出在外部，则因污染粒子等而有可能产生电弧。

接着，如图2至图4所示，本发明的加热装置1的所述涂覆物质供给单元60包括涂覆物质供给管62，其以密封状态穿过涂覆蒸汽产生管40或者涂覆蒸汽喷嘴管50中的一个，并连接至管内部。

而且，本发明的涂覆物质供给管62贯穿真空腔室220的壁，并与在下面详细说明的图1、图2以及图7、图8的涂覆物质供给装置70、170连接，在初期，固相涂覆物质10被供给至涂覆蒸汽产生管40内侧的加热部20的加热区域。

此时，虽然在图中概略地示出，但是优选地，所述涂覆物质供给管62以密封状态贯穿真空腔室220的壁和涂覆蒸汽产生管40或者涂覆蒸汽喷嘴管50中的一个，以防止涂覆蒸汽14向外部泄露或者外部空气流入到腔室内。

另外，所述涂覆物质供给管62与加热部连接，所述加热部利用电磁力加热固相涂覆物质10，并将相变的液相涂覆物质12转化为涂覆蒸汽，因此所述涂覆物质供给管优选使用能够在高温下使用的耐热材料，例如，可以使用石墨材料。

接着，如图4至图6所示，在本发明的加热装置1中，涂覆物质供给单元60的供给管62可以包括涂覆物质停止装置，其用于使供给的固相涂覆物质10临时停止(位置停止)，通过电磁力加热来使固相涂覆物质能够相变为液相涂覆物质12。

然而，如图4所示，本发明的涂覆物质停止装置可以是排出管64，所述排出管与涂覆物质供给管62的下部连接或者一体形成，支承(停止)供给的固相涂覆物质10，在该状态下通过加热使固相涂覆物质相变为液相涂覆物质12后送到涂覆蒸汽产生管40。

此时，如图4和图5所示，用作所述停止装置的排出管64可以作为单独的组件插入到供给管62的下部，或者与供给管一体形成，同供给管62一样，所述涂覆物质排出管64设置在加热部20的区域，因此，排出管可以是耐热材料的石墨中空体。

即，用作停止装置的排出管64可以插入于供给管62的下部内侧，或者与供给管一体形成，并形成相当于排出管厚度的段差，由此支承供给的固相涂覆物质10并使其停止。

因此，供给的固相涂覆物质10在供给管62的内部被排出管64的上端卡住而支承，如果在该状态下通过施加电磁力来进行加热，则固相涂覆物质相变(熔化)为液相涂覆物质12，然后所述液相涂覆物质12排出(投入)至涂覆蒸汽产生管40并继续被加热，最终产生涂覆蒸汽14，所述涂覆蒸汽沉积在钢板210的表面上，由此进行钢板的干式涂覆。

然而，在本发明的加热装置1中，在电磁线圈30的内侧，涂覆物质实际上被悬浮加热，因此，如图3所示，即使只具备涂覆物质供给管62时，供给的固相涂覆物质10在施加电磁力的状态下也被悬浮加热，并相变为液相涂覆物质12，然后在涂覆蒸汽产生管40中产生为涂覆蒸汽14。

然而，如图3所示，如果只利用供给管62，则为了实现通过电磁力的悬浮加热，就要产生能够进行悬浮加热的一定大小以上的高电磁力。

因此，最优选地，如图4至图6所示，通过设置在供给管62的下部的用作停止装置的排出管64来支承投入到供给管后落下的固相涂覆物质10，并通过加热来形成液相涂覆物质12。

另一方面，优选地，如图5所示，在本发明的加热装置1中，用作停止装置的排出管64在供给管62的下部一体形成时，包括形成段差的支承部66，以用于支承固相涂覆物质10并使其停止。

此时，优选地，如图5所示，在所述供给管62中靠近加热部20的部分，即靠近电磁线圈30的部分为石墨等的耐热管62′，在其上部连接其他的供给管62″。

例如，所述其他的供给管62″可以是价格低于石墨材料的金属管。

接着，如图6所示，停止装置还可以采用其他方式，在本发明的加热装置1中，在供给管62的下端和用作停止装置的排出管64的上端，形成能够相互卡住并支承的卡止部62a、64a，使供给的固相涂覆物质10被卡住而支承，由此使其停止。

即，供给的固相涂覆物质10在卡止部相互重叠的部分被支承，加热时(施加电磁力时)相变为液相，然后排出至涂覆蒸汽产生管40。

另一方面，如图6所示，在供给管和排出管的各卡止部62a、64a之间可以设置由耐热材料制成的缓冲部件68，即缓冲环。所述缓冲环能够稍微缓冲通过供给管62落下的钢锭形状的固相涂覆物质10的落下冲击。

接着，如图1、图2以及图7、图8所示，在本发明的加热装置1中，涂覆物质供给单元60还可以包括涂覆物质供给装置70、170，所述涂覆物质供给装置与供给管62连接，通过供给管将固相涂覆物质10，即钢锭(块)形状的固相涂覆物质10供给到加热部20。

此时，图1和图2的涂覆设备200与图7和图8的涂覆设备200的区别在于，钢板210的移动方向为一个是水平方向，一个是垂直方向，因此，与钢板的移动方向相对应地，涂覆物质供给装置70、170也可以设置成如图1和图2与图7和图8的不同的方式，只是图7和图8的涂覆物质供给装置170的形状类似。

即，本发明的涂覆物质供给装置可分为如图1和图2所示的钢板210沿水平方向移动情况下的涂覆物质供给装置70和如图7和图8所示的钢板210沿垂直方向移动情况下的涂覆物质供给装置170。

首先，如图2所示，本发明的一个实施例的涂覆物质供给装置70包括圆筒体形状的外壳72，所述外壳设置在涂覆设备200的真空腔室220的一侧，在所述外壳72的内侧设置圆形的旋转供给体76，所述旋转供给体与位于外壳上侧的马达75连接，由此能够进行旋转。另外，在所述旋转供给体76上以适当的间隔设置多个涂覆物质容纳部74。

因此，如图1和图2所示，通过传送装置90的传送带92以适当的间隔连续供给的具有钢锭形状的固相涂覆物质10，通过外壳72的开口部分(未标记)依次投入到旋转供给体76的容纳部74，当旋转供给体进行旋转时，固相涂覆物质10从外壳底面的排出口78通过供给管62供给至加热部20。

另一方面，如图7和图8所示，本发明的其他实施例的涂覆设备200与图1和图2中说明的涂覆设备200一样，基本上包括在前面的图3至图6中详细说明的本发明的加热装置1的涂覆物质供给单元60、加热部20的电磁线圈30、涂覆蒸汽产生管40以及具有喷嘴口52的涂覆蒸汽喷嘴管50。

然而，如图1和图2所示，当钢板沿水平方向移动时，如果钢板的宽幅扩大，则钢板有可能下垂，因此，钢板的宽幅增加时，优选地，如图7和图8所示，采用使钢板沿垂直方向移动并进行涂覆的方式。

此时，当钢板沿垂直方向移动的情况下沉积涂覆蒸汽14来进行涂覆时，配合垂直移送的钢板的移动方向，弯曲或折曲与被加热部20的电磁线圈30包围的涂覆蒸汽产生管40连接的涂覆蒸汽喷嘴管50，以便涂覆蒸汽喷嘴管的喷嘴口52对应于钢板，固相涂覆物质10采用与图1和图2相反的方式，即采用从上部落到下部的方式，所述涂覆物质通过涂覆物质供给单元60的供给管62供给至加热部20。

另一方面，如图7和图8所示，本发明的另一个实施例和其变形例的涂覆物质供给装置170可以以旋转堆栈176为基本结构提供，所述旋转堆栈可旋转地设置在圆筒体形状的壳体172的内侧，具有容纳固相涂覆物质10的涂覆物质容纳部174。

如上所述的本发明的旋转堆栈176可以将堆栈本身设置成多种结构，还可以沿垂直方向一体形成，并包括沿垂直方向贯穿的涂覆物质容纳部174。

即，如图7和图8所示，所述涂覆物质供给装置170的旋转堆栈176为沿垂直方向延伸的长长的圆筒形状，在其内部形成有涂覆物质容纳部174，通过形成在壳体172上部的孔(未标记)投入的具有钢锭形状的固相涂覆物质10可以以多层结构方式装载于容纳部174中。

因此，如果单位固相涂覆物质10从形成在设置于真空腔室220上的具有内部空间的外壳177的固相涂覆物质排出口178落下，则水平设置在外壳177的缸体190的杆上所具有的推动部件192，推动固相涂覆物质10向外壳177的相反侧的供给管62的上端入口移动，从而供给到供给管62的固相涂覆物质10被图4至图6中进行说明的用作停止装置的涂覆物质排出单元60的排出管64卡住而支承，并在此状态下被加热而相变为液相涂覆物质12，然后继续被加热而产生涂覆蒸汽14。

此时，如图7所示，所述旋转堆栈176可以通过旋转轴171的旋转来进行旋转，所述旋转轴以由马达175驱动的传送带179(链条)为媒介，通过轴承等来组装在壳体172上，此时，旋转堆栈以规定角度进行旋转，将固相涂覆物质10依次投入到供给管。

并且，如图8所示，旋转堆栈176的旋转轴171与设置在壳体172上部的马达175直接连接，从而能够使所述旋转堆栈176进行旋转。

即，在图7和图8中，涂覆物质供给装置170的区别在于旋转堆栈176的驱动源部分不同，并且水平运行的缸体190和推动部件192的排列也不同。

接着，如图1、图2以及图7、图8所示，本发明的加热装置1还可以包括供给管阻挡装置80，其用于阻止涂覆蒸汽14通过供给管62泄露。

例如，如图2所示，本发明的供给管阻挡装置80可通过缸体等的驱动源82来进行移动，并且包括用于阻挡供给管62的开口63的移动阻挡部件84。

并且，如图7和图8所示，供给管阻挡装置可以包括挡板84′，所述挡板与垂直移动的缸体等的驱动源82的下部连接，以覆盖垂直的供给管62的上端入口，由此进行阻挡。

此时，图2所示的移动阻挡部件84不仅可以起到在供给管62的内部推动固相涂覆物质10的作用，而且还可以起到密封供给管62的开口63的作用。

另外，图7和图8中示出的挡板84′起到堵住供给管62的上端入口(开口)的作用。

然而，在本发明中，固相涂覆物质10被供给管62的下部的用作停止装置的排出管14支承，并在该状态下被加热而相变为液相涂覆物质12，所述液相涂覆物质12通过排出管14的下端排出口向涂覆蒸汽产生管40流下并汇聚，并产生为涂覆蒸汽，因此，供给管62或者排出管64因被投入的固相涂覆物质10而堵住，因此，即使没有所述移动阻挡部件84或挡板84′，涂覆蒸汽也几乎不会从供给管泄露。

接着，如图1及图7、图8所示，本发明的涂覆设备200所具备的加热装置1的电磁线圈30，如图1所示，可以设置在真空腔室220的内部，或者如图7、图8所示，也可以设置在真空腔室220的外部的大气中。

只是，当电磁线圈30设置在真空腔室220的外部时，优选地，将电磁线圈设置为被组装在真空腔室220之间的绝缘凸缘230(壁结构)的外侧包围的形式。如上所述的绝缘凸缘230可以是隔离电磁线圈30之间的壁构造物，所述电磁线圈设置在大气中，并包围真空氛围下的加热部20的涂覆蒸汽产生管40。

另一方面，以上说明的本发明的涂覆设备200中提供的加热装置1中，为了使固相涂覆物质10充分地相变为液相涂覆物质12，如图3所示，设置单独的涂覆物质供给单元60的供给管62时，或者如图4至图6所示，当在供给管的下部设置用作停止装置的排出管64时，优选地，使供给管或者排出管的下端位于加热部的电磁线圈30的上电磁线圈32与下电磁线圈34之间。

例如，在下面的表1和表2中以数字表示施加电流、供给管或者排出管的下端与下电磁线圈34的最上部线圈之间的距离以及发热量，表1表示的是上电磁线圈32的匝数(绕组数)为2，下电磁线圈34的匝数为5的情况，表2表示的是上电磁线圈32的匝数(绕组数)为3，下电磁线圈34的匝数为5的情况。

表1

(上电磁线圈32的匝数为2，下电磁线圈34的匝数为5的情况)

表2

(上电磁线圈32的匝数为3，下电磁线圈34的匝数为5的情况)

即，从上述表2可知，当投入电流为3kA，供给管62或者排出管64的下端与下电磁线圈34的最上部线圈之间的距离为0mm时，形成16kW的最大的发热量。

这样的发热量，即使钢板210的移动速度为200mpm左右时也能够充分地沉积涂覆蒸汽14，从而能够充分地实现钢板的涂覆。

即，从表1和表2可知，供给管62或者排出管64的下端(下端端部)与下电磁线圈34之间的距离为0mm时，发热量最大，并且，表2的上电磁线圈32的匝数为3时的发热量大于表1的上电磁线圈32的匝数为2时的发热量。

此时，对于表1和表2，在以钢板210的宽度为1550mm、移动速度为100mpm为基准，且涂覆厚度为约2um的左右的条件下进行镀锌时，初期供给的固相涂覆物质10为2.5kg左右，大约以10sec间隔投入，并对投入的固相涂覆物质10，利用电磁力加热至400℃，为了使固相涂覆物质相变为液相涂覆物质12，大约投入了4kW的发热能量。

因此，优选地，在本发明的加热装置1中，使涂覆物质供给单元60的供给管62(图3)或者排出管64(图4)的下端端部位于上电磁线圈32与下电磁线圈34之间。

另外，如果排出管64的长度过长，在排出管的上端被支承的供给管内侧的固相涂覆物质12与加热部20的电磁线圈30不靠近，因此只要将排出管14设置为能够插入供给管的内部，且能够排出涂覆物质的适当的长度即可。

另一方面，更优选地，所述涂覆物质供给单元60的由石墨材质制成的供给管62的厚度为电磁趋肤深度(Skin depth)的0.3～1.5倍。

例如，当进行电磁感应加热时，以通过感应电流的表面深度即趋肤深度为基准，当供给管的截面厚度为趋肤深度的0.3倍时效率最高，因此，优选地，缸体型供给管62的管厚度为电磁趋肤深度的0.3～1.5倍。只是，当供给管的厚度为1.5倍以上时，存在电磁感应电流不易透入的问题。

另外，在本发明中，涂覆物质供给单元60的供给管62的外径为构成加热部20的涂覆蒸汽产生管40的内径的5～20％时比较合适，例如，当5％以下时，供给管62的发热量低，供给的固相涂覆物质10难以产生相变，即难以相变为液相，相反，当20％以上时，会阻碍从液相涂覆物质12中产生的涂覆蒸汽的流动。

因此，优选地，所述供给管62的外径为加热部20的涂覆蒸汽产生管40的内径的5～20％。

产业可利用性

因此，以上说明的本发明的加热装置1和基于该加热装置的涂覆设备200，能够解决现有的直接供给液相涂覆物质时设备侵蚀(摩擦)的问题，或者供给实心焊丝时产生的涂覆物质的温度下降等问题，尤其，在本发明中，在初期供给固相涂覆物质，固相涂覆物质相变为液相涂覆物质后产生涂覆蒸汽，因此能够有效地产生涂覆蒸汽，最终能够提高涂覆作业性和效率。

以上，对本发明的实施例进行详细说明，本发明的权利范围并不限定于此，本发明所属领域的技术人员在没有超出本发明的技术思想的范围内可以进行各种修改和变形。

Claims (14)

1.一种加热装置，其包括：

加热部，对供给的固相涂覆物质进行加热，产生涂覆于涂覆对象物的涂覆蒸汽；以及

涂覆物质供给单元，与所述加热部连接，使供给的固相涂覆物质相变为液相涂覆物质后供给至加热部。

2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热部包括：

电磁线圈，能够通过电磁感应来对涂覆物质进行加热；以及

涂覆蒸汽产生管，位于所述电磁线圈的内侧，将液相涂覆物质生成为涂覆蒸汽，

所述加热部还包括涂覆蒸汽喷嘴管，所述涂覆蒸汽喷嘴管与所述涂覆蒸汽产生管连接，并具有用于将产生的涂覆蒸汽向涂覆对象物喷出的喷嘴口。

3.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述涂覆物质供给单元包括涂覆物质供给管，通过施加的电磁力对被供给的固相涂覆物质进行悬浮加热时，使固相涂覆物质相变为液相涂覆物质后排出；或者

所述涂覆物质供给单元包括：涂覆物质供给管，固相涂覆物质被供给；涂覆物质停止装置，位于所述涂覆物质供给管的下端部，使被供给的固相涂覆物质停止，加热时使固相涂覆物质相变为液相涂覆物质后排出。

4.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述涂覆物质停止装置由排出管构成，所述排出管插入于所述涂覆物质供给管的下部，并支承供给的固相涂覆物质，将加热时相变的液相涂覆物质排出至涂覆蒸汽产生管。

5.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述涂覆物质停止装置由支承部构成，形成在排出管上，所述排出管与所述涂覆物质供给管的下部一体形成，并支承固相涂覆物质。

6.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述涂覆物质供给管包括设置在加热部的耐热管。

7.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述涂覆物质停止装置由卡止部构成，所述卡止部形成在相互组装的涂覆物质供给管的下端和排出管的上端，并相互卡止而支承固相涂覆物质。

8.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述涂覆物质供给单元还包括涂覆物质供给装置，其与涂覆物质供给管连接，将固相涂覆物质依次供给到供给管。

9.根据权利要求8所述的加热装置，其特征在于，所述涂覆物质供给装置包括：

旋转供给体，可旋转地设置在外壳的内侧，具有一个以上的涂覆物质容纳部，供给的固相涂覆物质依次容纳于所述涂覆物质容纳部；以及

排出口，设置在所述外壳的底面上，向所述供给管依次供给固相涂覆物质。

10.根据权利要求8所述的加热装置，其特征在于，所述涂覆物质供给装置包括：

旋转堆栈，其可旋转地设置在壳体的内侧，具有多层的容纳固相涂覆物质的涂覆物质容纳部；以及

外壳，设置在所述壳体的下部，与向供给管供给固相涂覆物质的缸体水平连接，并与供给管连通。

11.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，还包括供给管阻挡装置，所述供给管阻挡装置盖住所述涂覆物质供给管的入口或者形成在供给管的开口部分。

12.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述涂覆物质供给单元的涂覆物质供给管的下端端部或者设置在供给管的下部的排出管的下端端部位于加热部的上电磁线圈与下电磁线圈之间。

13.一种涂覆设备，包括：

根据权利要求1至12中任一项所述的加热装置；以及

真空腔室，其包围所述加热装置的全部或一部分，涂覆对象物在在真空状态下通过，在所述加热装置产生的涂覆蒸汽涂覆在涂覆对象物。

14.根据权利要求13所述的加热装置，其特征在于，通过所述真空腔室的涂覆对象物为钢板，所述加热装置和真空腔室排列成能够使钢板水平或者垂直移送的情况下进行涂覆。