JPS59177370A - 真空蒸着装置 - Google Patents

真空蒸着装置

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JPS59177370A
JPS59177370A JP5159583A JP5159583A JPS59177370A JP S59177370 A JPS59177370 A JP S59177370A JP 5159583 A JP5159583 A JP 5159583A JP 5159583 A JP5159583 A JP 5159583A JP S59177370 A JPS59177370 A JP S59177370A
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JP
Japan
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molten metal
metal
pipe
pipes
melting furnace
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5159583A
Other languages
English (en)
Inventor
Kenichi Yanagi
謙一 柳
Toshio Taguchi
田口 俊夫
Tetsuyoshi Wada
哲義 和田
Heizaburo Furukawa
古川 平三郎
Kanji Wake
和気 完治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Nippon Steel Nisshin Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Nisshin Steel Co Ltd
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Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd, Nisshin Steel Co Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP5159583A priority Critical patent/JPS59177370A/ja
Publication of JPS59177370A publication Critical patent/JPS59177370A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/246Replenishment of source material

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、銅帯等に連続的にZn+A’−等の金屑めつ
き皮膜を真空蒸着させる真空蒸着装置に関する。
従来この種の真空蒸着装置は、第1図に示すように鋼帯
1が走行する真空槽2内に蒸着鍋3を配置し、かつ大気
中に溶解炉4を配置し、この溶解炉4と蒸発鍋3とを吸
上管5で連通している。上記蒸発鍋3は、上部に蒸発口
6を開口し、内面に保温材7を張り付け、内部に加熱ヒ
ータ8を股rしている。
この真空蒸着装置は、溶解炉4内のめっき材である溶融
金属9を真空吸引して、吸上管5かも蒸発鍋3に導き、
加熱ヒータ8で加熱して溶融金属9を蒸発させ、鋼帯1
に連続的にめっきする。
しかしこの真空蒸着装置は、スタートアップ時に溶解炉
4から蒸発鍋3内に大量の溶融金属9が吸上けられる。
このため溶解炉4の底部にあるドロス10(溶融金属と
溶解炉壁材との化合物)が一部浮遊して溶融金属9とン
もに吸上管5内に吸上げられるおそれがある。
一方眼上管5内の溶融金属9は流速が小さい。
例えば溶融金属9がZnの場合、Zn消費量800〜へ
、吸引管直径100mmとすると、吸上管5内のZn平
均流速は4iと小さく、また流れが層流であるため、吸
引管内壁近傍ではさらに流速が小さくなる。
従って一旦吸上げられたドロス1θけ、押し流きれずに
長時間吸上管5のペント部、5aや蒸発;堝3との随合
部、5 b伺近などに7帯留する。吸上盾5の内壁にも
多少ドロスが生成してj>す、そのイ;]近にドロスが
??!? f?j L ”tいろと、ドロス1゜がひっ
かかったり、成長して吸」−管5を閉塞させる。ドロス
1θで閉r7.+t、 シ!、−、箇所は、一般に高温
でも容易に1)〕融解せず、排口が困カ1rてを、る。
このため従来−,吸上管5A閉η4−jると、蒸発鍋3
、吸上管5とも新品と交換しなければならなかった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされ/ζもので、その目
的とするところは、運転中の吸上管の閉塞を簡jliな
方法で防止することができる真空蓋着装(べを得んとす
るものである3、 すなわち本発明は、被〃)つき材が走行する真空41〜
内に被、V)つき材蒸着用蒸発鍋を設け、又大気中に1
又は2以上の溶解炉を設けて溶解炉中の溶融金属(めっ
き材)を枠数の吸上管を介して蒸発鍋に導く際に、少な
くとも1つのUJpL上管に溶融金属移動用電磁ボン7
°を数句けて吸上管内の溶融金属を常時流動させること
を特徴とする。
以−ト本発明’5:’ l’Xl示する実施例を参照し
て説明する。第2図は真空蓋着装ff’c、の概略断面
図である。この装置は、被めっき材であるり14帯11
が走行する真空槽12内に蒸発鍋1.7を配置している
。蒸発鍋13は、上部に銅帯1ノに対向して蒸発口14
を設け、内面に保温材15を張り付け、内部に加熱ヒー
タ16を配置している。
蒸発鍋13の底部には、2本の吸上管17゜18が接続
され、各吸上管17.18は溶解炉19内に開口してい
る。溶解炉19はゝ、大気中に設置され、内部にめっき
材である溶融金属20が入っている。また吸上管18に
は溶融金属移動用電磁ボン7″21が取付けられている
この真空蒸着装置は、溶解炉I9内の溶融金属20を吸
上管17.18を介して蒸発#113に真空吸引し、加
熱ヒータ16で加熱蒸発させて銅帯11の表面に蒸着め
っきする。
更にこの真空蒸着装置は、蒸着めっきの繰業中に′t:
5磁ボンf2ノを操作し7て吸上管I8内の溶融金属2
0を上方又は下方に、F−動さぜ、このことにより溶融
金prQ20をjj;、、上管18、A¥ 発M13、
吸上管17及び溶解炉19の間で強制的に循環きせる。
この場合溶融金属20の循環1片は、溶融金属20の消
費−辰とは焦関係であり、電磁71?ン7”21により
溶融金属流速を従来に比べて非常に太きぐすることがで
き、又流れの向きを逆転させることができる。従って吸
上管17.18のベンド部17a、18a、接合部17
b、18b等にドロス22が滞留せず、吸上管17.1
8が閉塞するのを防止することができる。
次に本発明の他の実施例につき第3図にもとづいて説明
する。
図示する真空蒸着装置は、2本の吸上管17゜18を蒸
発鍋13に13〜l t、て互いに対向する位置に取付
け、それぞれの下端を別の溶解炉19゜19′に浸漬1
〜だもので、吸上管17.18の下)“f;劫付近の内
部にフィルター23を設けている。
フィルター23は溶融金属20と反応しない材質、例え
ば溶融金属20がZnあるいはA/1.の場合は、A4
03 、 ZrO2、SIC、C、Si3N4 、 T
lO2hどのセラミックや、 Mo 、 W 、タンタ
ル々どの高融点金属が使用される。
この装置によれば第2図に示すものと同様ドロス22の
滞留による吸上管17.18の閉塞を防止することがで
きる。更に吸上管17.IFLが蒸着鍋I3の両側にあ
るので、蒸着鍋13内の溶融金属2θの局部的な滞留を
防止できる。
更にまたフィルター23.23を備えているので、吸−
上管17.1B、蒸発鍋13内へのドロス22の吸込み
量が少なくなり、閉塞の危険性がより少なくなる。
なお溶解炉及び吸上管は、実施例に限らず3個以上でも
よい。壕だ1つの吸上管に限らず他の吸上管に電磁、3
fンゾを取付けてもよい。
以−Fの如く本発明によれば、吸上管に電磁ポンプを取
付けるという簡単な構造で、吸上管の閉塞を防止するこ
とができる顕著な効果を奏する。
41ン1而のTtj’l ?)”、c説、”I]t(1
1図は従来の真空蒸着装置、1の概略断面図、tf32
図jd本発明の一月施例を示す真空A亡着装置の概略断
面図、第3図は本発明の他の実)、1!i例を示す直2
蒸着装置6の概略断面図である。
1ノ・・銅帯、12・・・真空槽、13・・蒸発鍋、1
4・・・蒸発1]、15・・・保温材、16・・・加熱
ヒータ、17.18・・・吸上管、19.19’・・・
溶解炉、20・・溶融全屈、21・・・電碌ポング、2
2・・・ドロス、23・・フィルタ。
出頬人復代皿人 弁理士 鈴 江 武 彦第 3 凶 第1頁の続き 0発 明 者 和気完治 広島市西区観音新町四丁目6番 22号三菱重工業株式会社広島造 船所内 ■出 願 人 日新製鋼株式会社 東京都千代田区丸の内3丁目4 番1号

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 被めっき材が走行する真空槽内に設けられた被めっき材
    蒸着用蒸発鍋と、大気中に設けられた溶解炉と、同溶解
    炉中の溶融金属をそれぞれ上i己蒸発鍋に導く複数の吸
    上管と、少なくとも1つの吸上管にJ17伺けた溶融金
    属移動用電磁ポンプとを共(iiii Lブれことを/
    1″′1′徴とする真空蒸着装置。
JP5159583A 1983-03-29 1983-03-29 真空蒸着装置 Pending JPS59177370A (ja)

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