JP2016506452A - 加熱装置及びこれを含むコーティング機構 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 供給される固相のコーティング物質を加熱してコーティング対象物にコーティングされるコーティング蒸気を発生させる加熱部と、
前記加熱部と連結され、供給される固相のコーティング物質を液相のコーティング物質に相変化させて前記加熱部に供給するコーティング物質供給ユニットと、
を含んで構成される、加熱装置。 - 前記加熱部は、電磁誘導によるコーティング物質の加熱を可能にする電磁コイルと、
前記電磁コイルの内側に、液相のコーティング物質をコーティング蒸気として生成させるように設置されるコーティング蒸気発生チューブと、
を含み、
前記コーティング蒸気発生チューブと連結され、発生したコーティング蒸気をコーティング対象物に噴出するノズル開口を備えるコーティング蒸気ノズルチューブをさらに含んで構成される、請求項1に記載の加熱装置。 - 前記コーティング物質供給ユニットは、固相のコーティング物質が供給され、印加された電磁力による浮上‐加熱時に固相のコーティング物質を液相のコーティング物質に相変化して排出するコーティング物質供給管、又は
固相のコーティング物質が供給されるコーティング物質供給管と、前記コーティング物質供給管の下部に、供給された固相のコーティング物質をストッピングして加熱するときに液相のコーティング物質に相変化して排出するように設置されるコーティング物質ストッピング手段
を含んで構成される、請求項1に記載の加熱装置。 - 前記コーティング物質ストッピング手段は、前記コーティング物質供給管の下部に挿入され且つ供給された固相のコーティング物質を保持し、加熱時に相変化した液相のコーティング物質をコーティング蒸気発生チューブに排出する 排出管で構成される、請求項3に記載の加熱装置。
- 前記コーティング物質ストッピング手段は、前記コーティング物質供給管の下部に一体に形成された排出管に、固相のコーティング物質を保持するように設置された保持部で構成される、請求項3に記載の加熱装置。
- 前記コーティング物質供給管は、加熱部に配置される耐熱管を含む、請求項3に記載の加熱装置。
- 前記コーティング物質ストッピング手段は、互いに組み立てられるコーティング物質供給管の下端と排出管の上端に係合して保持され且つ固相のコーティング物質を保持するように設置された係止爪で構成される、請求項3に記載の加熱装置。
- 前記コーティング物質供給ユニットは、コーティング物質供給管と連結され、固相のコーティング物質を供給管に順次供給するコーティング物質供給手段をさらに含む、請求項3に記載の加熱装置。
- 前記コーティング物質供給手段は、
ケーシングの内側に回転可能に設置され且つ供給された固相のコーティング物質が順次収容される一つ以上のコーティング物質収容部を備える回転供給体と、
前記ケーシングの底に固相のコーティング物質を前記供給管に順次供給するように設置される排出口と、
を含んで構成される、請求項8に記載の加熱装置。 - 前記コーティング物質供給手段は、
ハウジングの内側に回転可能に設置され且つ固相のコーティング物質が多層に収容されるコーティング物質収容部を備える回転スタックと、
前記ハウジングの下部に固相のコーティング物質を供給管に供給するシリンダーが水平連結され、供給管と連通するケーシングと、
を含んで構成される、請求項8に記載の加熱装置。 - 前記コーティング物質供給管の入口を覆うか又は供給管に形成された開口部を遮る供給管遮断手段をさらに含む、請求項3に記載の加熱装置。
- 前記コーティング物質供給ユニットのコーティング物質供給管の下端、又は供給管の下部に設置される排出管の下端は、加熱部に備えられた上・下部電磁コイルの間に位置する、請求項3に記載の加熱装置。
- 請求項1から12のいずれか一項に記載の加熱装置と、
前記加熱装置の全体又は一部を取り囲み、且つ真空状態でコーティング対象物が通過し、前記加熱装置で発生したコーティング蒸気がコーティングされる真空チャンバーと、
を含んで構成される加熱装置を含む、コーティング機構。 - 前記真空チャンバーを通過するコーティング対象物は鋼板からなり、前記加熱装置と真空チャンバーは鋼板が水平又は垂直移送されながらコーティングが可能となるように配列される、請求項13に記載のコーティング機構。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120151520A KR101461738B1 (ko) | 2012-12-21 | 2012-12-21 | 가열장치 및 이를 포함하는 코팅 시스템 |
KR10-2012-0151520 | 2012-12-21 | ||
PCT/KR2013/011853 WO2014098489A1 (ko) | 2012-12-21 | 2013-12-19 | 가열 장치 및 이를 포함하는 코팅 기구 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016506452A true JP2016506452A (ja) | 2016-03-03 |
JP6078658B2 JP6078658B2 (ja) | 2017-02-08 |
Family
ID=50978721
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015549256A Expired - Fee Related JP6078658B2 (ja) | 2012-12-21 | 2013-12-19 | 加熱装置及びこれを含むコーティング機構 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10196736B2 (ja) |
EP (1) | EP2937442A4 (ja) |
JP (1) | JP6078658B2 (ja) |
KR (1) | KR101461738B1 (ja) |
CN (1) | CN104884665B (ja) |
WO (1) | WO2014098489A1 (ja) |
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- 2013-12-19 WO PCT/KR2013/011853 patent/WO2014098489A1/ko active Application Filing
- 2013-12-19 CN CN201380067426.2A patent/CN104884665B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2013-12-19 JP JP2015549256A patent/JP6078658B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2013-12-19 US US14/654,505 patent/US10196736B2/en active Active
- 2013-12-19 EP EP13865017.1A patent/EP2937442A4/en not_active Withdrawn
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WO2014098489A1 (ko) | 2014-06-26 |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
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