JP2013036061A - ハースライナ、電子ビーム加熱源及び電子ビーム蒸着装置 - Google Patents
ハースライナ、電子ビーム加熱源及び電子ビーム蒸着装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013036061A JP2013036061A JP2011170850A JP2011170850A JP2013036061A JP 2013036061 A JP2013036061 A JP 2013036061A JP 2011170850 A JP2011170850 A JP 2011170850A JP 2011170850 A JP2011170850 A JP 2011170850A JP 2013036061 A JP2013036061 A JP 2013036061A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hearth
- vapor deposition
- electron beam
- hearth liner
- liner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】電子ビーム加熱源10は、ハース3と、ハースライナ4と、電子銃5とを有する。ハースライナ4は、ハース3の凹部31に装着され、被加熱材料Mを収容することが可能であり、窒化ケイ素系セラミックスで形成される。電子銃5は、ハースライナ4に収容された被加熱材料Mに照射され、被加熱材料Mを加熱するための電子ビームBを発生させる。
【選択図】図1
Description
上記ハースは、凹部を有する。
上記ハースライナは、上記凹部に装着され、被加熱材料を収容することが可能であり、窒化ケイ素系セラミックスで形成される。
上記電子銃は、上記ハースライナに収容された上記被加熱材料に照射され、上記被加熱材料を加熱するための電子ビームを発生させる。
上記蒸発源は、ハースと、ハースライナと、電子銃とを有する。
上記ハースは、凹部を有する。
上記ハースライナは、蒸着材料を収容することが可能であり、上記凹部に装着され窒化ケイ素系セラミックスで形成される。
上記電子銃は、上記蒸着材料に照射され、上記蒸着材料を加熱するための電子ビームを発生させる。
上記チャンバは、上記蒸発源を収容する。
サイアロンは、窒化ケイ素(Si3N4)系セラミックスのうち、Si3N4にアルミナ(Al2O3)等を加えて形成されたセラミックス材料である。サイアロンは、Si3N4と比較しても耐熱性や機械的強度が高い。さらに、Si3N4よりも低廉である。このことから、上述の作用効果に加えて、より安定的かつ低コストに使用することが可能である。
上記ハースは、凹部を有する。
上記ハースライナは、上記凹部に装着され、被加熱材料を収容することが可能であり、窒化ケイ素系セラミックスで形成される。
上記電子銃は、上記ハースライナに収容された上記被加熱材料に照射され、上記被加熱材料を加熱するための電子ビームを発生させる。
上記蒸発源は、ハースと、ハースライナと、電子銃とを有する。
上記ハースは、凹部を有する。
上記ハースライナは、蒸着材料を収容することが可能であり、上記凹部に装着され窒化ケイ素系セラミックスで形成される。
上記電子銃は、上記蒸着材料に照射され、上記蒸着材料を加熱するための電子ビームを発生させる。
上記チャンバは、上記蒸発源を収容する。
2・・・チャンバ
3・・・ハース
4・・・ハースライナ
5・・・電子銃
6・・・偏向コイル
10・・・蒸発源(電子ビーム加熱源)
M・・・蒸着材料(被加熱材料)
W・・・基板
Claims (4)
- 電子ビーム加熱源のハースに装着されるハースライナであって、
被加熱材料を収容することが可能であり、窒化ケイ素系セラミックスで形成される
ハースライナ。 - 請求項1に記載のハースライナであって、
前記窒化ケイ素系セラミックは、サイアロンである
ハースライナ。 - 凹部を有するハースと、
前記凹部に装着され、被加熱材料を収容することが可能であり、窒化ケイ素系セラミックスで形成されるハースライナと、
前記ハースライナに収容された前記被加熱材料に照射され、前記被加熱材料を加熱するための電子ビームを発生させる電子銃と
を具備する電子ビーム加熱源。 - 凹部を有するハースと、蒸着材料を収容することが可能であり、前記凹部に装着され窒化ケイ素系セラミックスで形成されたハースライナと、前記蒸着材料に照射され、前記蒸着材料を加熱するための電子ビームを発生させる電子銃とを有する蒸発源と、
前記蒸発源を収容するチャンバと
を具備する電子ビーム蒸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011170850A JP2013036061A (ja) | 2011-08-04 | 2011-08-04 | ハースライナ、電子ビーム加熱源及び電子ビーム蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011170850A JP2013036061A (ja) | 2011-08-04 | 2011-08-04 | ハースライナ、電子ビーム加熱源及び電子ビーム蒸着装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013036061A true JP2013036061A (ja) | 2013-02-21 |
Family
ID=47885938
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011170850A Pending JP2013036061A (ja) | 2011-08-04 | 2011-08-04 | ハースライナ、電子ビーム加熱源及び電子ビーム蒸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013036061A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61238956A (ja) * | 1985-04-16 | 1986-10-24 | Sanyo Electric Co Ltd | 電子ビ−ム加熱用の蒸着母材収納容器及びこの容器を用いた磁気記録媒体の製造方法 |
JPS61292223A (ja) * | 1985-06-18 | 1986-12-23 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
JPH02250959A (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-08 | Toshiba Corp | 金属蒸発源とその製造方法 |
JPH06280004A (ja) * | 1993-03-24 | 1994-10-04 | Japan Steel Works Ltd:The | 電子ビーム蒸発源 |
US20070231235A1 (en) * | 2004-10-08 | 2007-10-04 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | PBN container and method for producing PBN container |
-
2011
- 2011-08-04 JP JP2011170850A patent/JP2013036061A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61238956A (ja) * | 1985-04-16 | 1986-10-24 | Sanyo Electric Co Ltd | 電子ビ−ム加熱用の蒸着母材収納容器及びこの容器を用いた磁気記録媒体の製造方法 |
JPS61292223A (ja) * | 1985-06-18 | 1986-12-23 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
JPH02250959A (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-08 | Toshiba Corp | 金属蒸発源とその製造方法 |
JPH06280004A (ja) * | 1993-03-24 | 1994-10-04 | Japan Steel Works Ltd:The | 電子ビーム蒸発源 |
US20070231235A1 (en) * | 2004-10-08 | 2007-10-04 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | PBN container and method for producing PBN container |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4974832B2 (ja) | 蒸着源、蒸着装置 | |
JP4001296B2 (ja) | 有機材料の真空蒸着方法およびその装置 | |
KR102199672B1 (ko) | 기판 프로세싱 챔버 컴포넌트들을 위한 열 복사 배리어 | |
JP2007063663A (ja) | 扇形蒸着源 | |
JP2008261056A (ja) | 有機電界発光層の蒸着源 | |
JP2013211138A (ja) | 蒸発源、及びそれを用いた真空蒸着装置 | |
JP5150626B2 (ja) | 電子ビーム蒸発装置 | |
JP2015067847A (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP2005060757A (ja) | 成膜装置、及び成膜方法 | |
JP2013036061A (ja) | ハースライナ、電子ビーム加熱源及び電子ビーム蒸着装置 | |
KR100962967B1 (ko) | 증발원 | |
JP2011162867A (ja) | 真空蒸発装置 | |
JP4086786B2 (ja) | ハイブリッドebセルとそれを使用した成膜材料蒸発方法 | |
JP2012149290A (ja) | 蓋付ハースライナーおよび蓋付ハースライナーを用いた蒸着方法 | |
CN101748369A (zh) | 电子束蒸发装置 | |
CN202530153U (zh) | 一种用于电子束蒸发镀膜的新结构蒸发材料 | |
JP4056680B2 (ja) | 成膜装置及び方法 | |
KR101814228B1 (ko) | 세라믹 타겟을 사용한 스파크 증착 방법 | |
JP5246542B2 (ja) | 真空成膜装置 | |
JP5962979B2 (ja) | 成膜装置 | |
JP2005272965A (ja) | 電極部材、及びこれを備えた成膜装置 | |
KR101632303B1 (ko) | 하향식 증발 증착 장치 | |
JP2012241257A (ja) | 半導体装置の製造装置および半導体装置の製造方法 | |
KR101749570B1 (ko) | 유도 가열 선형 증발 증착 장치 | |
KR102229219B1 (ko) | 증착 장비용 가열 어셈블리 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140801 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150318 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150324 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150521 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151006 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151202 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160209 |