JP5962979B2 - 成膜装置 - Google Patents
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Description
5a 成膜材料の蒸発面
6 基板
20 成膜装置
21 真空容器
21a 真空容器下部
21b 真空容器側部
21c 真空容器上部
22 ハース
23 電子アークガン
30 電子ビーム
31 プラズマ領域
32 副電磁石
D 電子ビームの直径
H 電子ビームの成膜材料の蒸発面からの高さ
Claims (2)
- 真空容器内下方に設けられたハースに配置された成膜材料と、前記ハースに対向して前記真空容器内上方に配置された基板と、前記真空容器側方かつ前記ハース高さより高い位置から前記真空容器内の前記成膜材料に向かって電子ビームを供給し前記成膜材料を溶融・蒸発及び昇華させる電子アークガンと、を有し、前記蒸発及び昇華した蒸発・昇華物質を前記基板に付着させて薄膜を得る成膜装置であって、 前記成膜材料側へ前記電子ビームの先端部の流れを収束する副電磁石を設け、前記電子アークガンの前記成膜材料の蒸発面からの高さを、前記副電磁石との収束力と合わせて、前記成膜材料の上方で前記電子ビームが形成するプラズマ領域が前記電子アークガンの水平方向高さより下になる位置になるように設定し、前記蒸発・昇華物質が前記電子ビームの形成するプラズマ領域を通過する区間を少なくし、前記プラズマ領域でイオン化率の少ない蒸発・昇華物質のまま前記基板に成膜できるようにしたことを特徴とする成膜装置。
- 前記電子アークガンの前記成膜材料の蒸発面からの高さHは、前記成膜材料の蒸発面位置〜+20mm間での前記電子ビームの直径をφDとして、D≦H≦4Dの位置としたことを特徴とする請求項1記載の成膜装置。
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