JPS61238956A - 電子ビ−ム加熱用の蒸着母材収納容器及びこの容器を用いた磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、電子ビーム加熱用の蒸着母材収納容器及びこ
の容器を用いた磁気記録媒体の製造方法に関する。

（ロ）従来の技術 金属蒸着磁気記録媒体の製造に用いられる電子ビーム蒸
着法は、電子ビーム自身の持つエネルギーが非常に大き
く、電力密度を上げれば、いくらでも加熱温度を上げれ
る、印加磁界により大エネＶギーピームを容易に制御出
来る、加熱面を蒸着母材の表面即ち、蒸発面とすること
が出来る等の特徴が挙げられ、これらの特徴を考慮して
水冷銅ルツボを使用すると、ルツボからの汚染が少ない
という、利点を享受し得る。

しかし乍ら水冷銅のルツボは熱効率の点から大量蒸発に
適さず、ＭｇＯ等を主材としたセラミック製容器内で蒸
発させる方法が用いられる。（特開昭５（Ｓ−１６９２
２９号公報） さらに、各種材質の耐火容器「ハースライナ」を蒸着容
器として使用し六場合における蒸着膜への不純物の混入
等については、例えば電子通信学会電子部品材料研究会
資料ＯＰＭ８１−６５等に述べられている。

前述のハースライナの主材としては、ＭｇＯの他に、Ｚ
ｒＯ３、Ａｌ２Ｏ３、Ｂ、Ｎｏ、石英、グラファイト等
が一般的で、蒸着膜の汚染を減らす事、蒸着の安定性等
の理由よりＭ　ｇ　ＯｌＺ　ｒ０２系のハースライナが
連光であると考えられる。

しかし、この種のセラミック製のハースライナは断熱性
にすぐれている反面、！気侭導性が悪く、電子ビーム照
射時に類１母材にマイナス電荷が蓄えられ、マイナス電
荷どおしの反発が生じ、蒸着母材に対する電子ビーム投
入効率が悪くなるという問題があるのみならずハースラ
イナが割れ、熔融した蒸着母材が外にもれ出るという問
題が残る。

このうち、後者のハースライナの割れについては、蒸着
母材の蒸発時の熱膨張、冷却時の収縮等が原因となる熱
的ひすみ及び、溶融蒸着母材自体に電荷が蓄積された状
態で、電気的反撥力が働きハースライナを蒸着母材自体
の力で割る“ファンデルワールス”力的原因の相乗した
ものと考えられる。

（ハ）発明が解決しようとする問題点 蒸着母材をハースライナを用いて断熱性の良い状態に保
つと共に、断熱性を犠牲にしない程度に電気的に接地状
態を保つ事で、電子ビームの投入効率を上げると共に、
ハースライナの割れを防止する。又それにより磁気記録
媒体の製造コストの低減を計らんとする。

に）問題を解決するための手段 ＭｇＯ等を主成分とする絶縁性容器に外部と貫通する小
孔を設け、この小孔に充填した蒸着母材を介して容器内
部の蒸着母材を接地する。

斯る構成の蒸着母材収納容器に強磁性金属を充填し、電
子ビーム加熱によシ蒸発した金属蒸気をＰＥＴ等のテー
プベース上に蒸着することを特徴とする磁気記録媒体の
製造方法。

（ホ）作　用 着母材と同一材質の導体金属を通じて、ハースライナ外
に流れ出るので蒸着母材に電荷が蓄積されることかなく
、電子ビーム投入効率が低下しない。

さらに、電荷が蓄積されない状態では、溶融時の蒸着母
材の電気的反撥的か無く、ハースライナの割れが生じに
くくなる。

（へ）実施例 す 以下本発明の詳細を一実施例の異ム態様を示す第１図と
第２図を参照し乍ら説明する。

図１ｔ（１）ＨｌＭｇＯ，ＺｒＯ，ＡｌｚＯ３，Ｂｅ０
１ＢＮ、８　ｉ　３Ｎ４等のセラミック材料若しくは石
英、グラファイト等の耐熱性の絶縁材料の一体成型体で
構成されるハースライナである。

一実施例では、このハースライナとして、Ｍｇ０を素材
として用いて、これを上部開口の直径５５　ｍ　／　ｍ
　、高さ４０ｍ／ｍのルツボ（坩堝）形状に均一厚みに
成型したものを用いている。前記ハースライナ（１）の
底面の中央には、直径２　ｍ　／　ｍで開口面積が０．
２ｄ以下の透孔（２）を貫通して設け、第１実施例では
この透孔（２）にＰｔ（白金）を充填し、第２実施例で
は後述する蒸着母材〔Ｃ０１Ｎｉ（コバルト、ニッケル
）合金〕を充填して内部の蒸着母材（３）を外部と電気
的に短絡せしめる。（４）は前記ハースライナ（１）を
収容する水冷の銅ルツボで、前記ハースライナとは、そ
の外周面に密着する受容面（５）を介して熱伝導性よく
接合しておシ、電子ビーム溶着時にハースライナに生ず
る熱を吸収し放熱する。

まｆｃ前記透孔（２）に充填されるＰｔ或は蒸着母材の
充填金属（６１Ｐ部（７）は、前記銅ルツボ（４）に面
接合して電気的にも接続される様に構成されており、ハ
ースライナ（１）に投入される蒸着母材（３）は、充填
金属＜Ｐｃ或は００．Ｎ１）（７）、銅ルツボ（４）及
び接地線（８）を介して地絡される。

次にこの様なハースライナ（１）と銅ルツボ（４）トチ
構成される蒸着母材収納容器を用いて磁気記録媒体を製
造する方法について説明する。この様な方法に用いる蒸
着装置の模式図を表わす第３図において、ααはＰＥＴ
等のテープベースαυを低定速で移送しつつそのテープ
ベース表面にＣＯ％Ｎｉ合金の蒸気流を蒸着するドラム
、■Ｃｌ５）は巻付ガイドを示すものである。（１）（
４１は、それぞれ上述のハースライナと銅ルツボで、そ
の構成は第１図及び第２図に示すものと同じである。

電子ビーム発王装置のは、例えば日本電子ニュースＶＯ
１，２１ム１第１１頁乃至１２頁に紹介されている日本
軍子製のものでよい。

この様な構成で、０Ｏ−Ｎｉ系の合金４Ｑｃｃをハース
ライナ（１）に蒸着母材として充填する。この母材（３
）は電気的には充填金属（７）及び銅ルツボ（４）を介
して接地されている。

次に真空或は希薄アルゴンガス中にてｌ　ＱＫＷのビー
ムパワで電子ビーム発生装置のを駆動し、上記蒸着母材
を加熱し、同時にドラム（１０）を定速で回転せしめる
。その際、蒸着母材（３）は最初から接地されているの
で、ハースライナ（１）には何等負の電荷がチャージさ
れず、従ってハースライナに上述の“ファンデルワール
ス″力が作用する余地はない。

蒸着母材（３）の加熱が進むと母材であるＣｏ−Ｎｉ系
合金は熔融し、その表面から蒸発し始め、Ｒ蔽板領の間
隔から案内されて上記テープベースαＤに順次蒸着され
てゆく。定常加熱状態となると、上記ハースライナ（１
）の透孔（２）に充填した充填金属（母材）（７）もあ
る程度熔融するが、実験に依れば、上記透孔の開口面積
を０．２ｄ以下とすることによりその弊害を防止し得、
ハースライナの接地状態を維持し得ると共に、熔融母材
の漏洩等が生じないことが確認された。このことは、充
填金属としてＰｔを使用したときも同様であった。

真空蒸着の工程を、真空排気−蒸着−蒸着母材の冷却−
吸気一蒸盾テープ取出−ペーステープ装着の一連の工程
をもって−サイクルとするとき、従来例では−サイクル
で必ずパースライナノ少りとも一部に割れが生じていた
が、本実施例では、少くトも６乃至４サイクルに亘って
ハースライナに何等の異常を認めず、再利用が可能とな
っただけでなく、蒸発率が極めて安定し、蒸着膜厚の均
一化に寄与していることも併せて確認された。

（ト）　発明の効果 本発明に依れば、蒸着率が安定し、電子ビーム加熱によ
る熱効率が向上して大量蒸着が可能となるのみならず、
「ハースライナ」の使用寿命が大巾に伸びるので生産コ
ストを下げ生産性の向上を計ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

図面はいずれも本発明に保シ、第１図及び第２図はそれ
ぞれ蒸着母材収納容器の真黒態様を示す断面図、第６図
は蒸着磁気媒体製造装置の側面図である。 （１）・・・・・・ハースライナ、（２）・・・・・・
透孔、（４）・・・・・・銅ルツボ、（７）・・・・・
・充填金属、（３）・・・・・・蒸着母材。 第１図 第２図 第８図

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）外部と貫通する小孔に充填した導電性金属を介し
   て、絶縁性ハースライナの内部に収納される蒸着母材を
   冷却用ルツボを介して接地すべく構成した電子ビーム加
   熱用の蒸着母材収納容器。
2. （２）前記導電性金属として蒸着母材を用いたことを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の蒸着母材収納容器
   。
3. （３）前記小孔の開口面積を０．２ｃｍ＾２以下とした
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の蒸着母材
   収納容器。
4. （４）前記ハースライナをＭｇＯ、ＺｒＯ＿２、Ａｌ＿
   ２Ｏ＿３、ＢｅＯ、ＢＮ、Ｓｉ＿３Ｎ＿４、石英、グラ
   ファイトのうち少くとも一つを主素材として構成したこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第４項記載の
   蒸着母材収納容器。
5. （５）特許請求の範囲第１項乃至第４項記載の蒸着母材
   収納容器に強磁性金属を蒸着母材として充填し、電子ビ
   ーム加熱により蒸発した金属蒸気をＰＥＴ等のテープベ
   ース上に蒸着することを特徴とする磁気記録媒体の製造
   方法。