KR102098452B1 - 건식 도금 장치 및 건식 도금 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 고체 원료를 원활하게 지속적으로 공급하여 연속 도금이 가능한 건식 도금 장치를 제공하는 것으로, 일실시예로 내부의 증기를 피도금재로 분사되도록 구성된 증기 챔버; 증기 챔버 내부의 용융 원료가 위치하는 증발 영역의 외측에 배치된 증발 가열부; 상기 증발 영역으로 원료를 공급하도록 고체 원료 공급부로부터 상기 증발 영역으로 연장하며, 상기 증기 챔버의 적어도 일부를 통과하는 고체 원료 공급관; 상기 고체 원료 공급관에 연결된 고체 원료 공급부; 및 상기 고체 원료 공급관 내의 고체 원료 중 증발 영역을 기준으로 바깥쪽 고체 원료를 가열하는 고체 원료 가열부;를 포함하는 건식 도금 장치를 제공한다.

Description

건식 도금 장치 및 건식 도금 방법{Physical Vapor Deposition Device and Method}
본 발명은 고체 원료를 공급하여 용융/증발시킴으로써 건식 도금을 수행하는 건식 도금 장치 및 건식 도금 방법에 대한 것이다.
건식 도금 기술은 습식 도금에 비해 얇은 도금 두께에서도 우수한 도금층의 특성을 얻을 수 있으므로 여러 산업에서 많이 활용되고 있다. 도 1 에는 종래의 건식 도금 장치의 개략도가 도시되어 있다. 진공 챔버(10) 내에 피도금재(1) 및 증발원 도가니(2)가 배치되며, 증발원 도가니(2)에서 생성된 증기(3)가 피도금재에 부착되어 건식 도금이 수행된다. 이러한 도금 장치의 경우에 진공 챔버(10) 내부가 진공을 유지해야 하는 특성으로 인해 연속생산, 대량생산이 어렵다는 한계가 있다. 특히 고속으로 생산되는 제품에 도금층을 형성하기 위해서는 다량의 증발원을 단위시간 내에 녹여서 증발시켜야 하고, 대량생산을 위해서는 연속으로 장시간 도금을 해야 하기 때문에 증발원의 원료도 지속적으로 막힘없이 증발기에 공급해야 한다.
상기 원료 연속공급 목적을 달성하기 위해 종래에는 선재 형태의 원료를 공급하거나, 액상의 원료를 공급하는 방법 등이 제안되었다. 그러나 선재형태의 원료를 사용할 경우 원료의 형태를 선재모양으로 가공하기 위한 가공비가 추가되어 원가상승의 부담이 발생한다.
특허문헌 1 과 같이 액상의 원료를 사용할 경우 액체에 노출된 재료는 모두 고온을 유지해야 하고, 고온 액체의 공급량을 제어하는 밸브의 사용에 한계가 있어 운영비, 설비비가 대폭 증가하는 단점이 있다. 따라서 상기의 종래 방법은 설비의 안정성, 경제성, 기술적 문제점 등으로 널리 활용되지 못하고 있다.
(특허문헌 1) KR10-2009-0074064 A
본 발명은 고체 원료를 원활하게 지속적으로 공급하여 연속 도금이 가능한 건식 도금 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 위와 같은 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 건식 도금 장치 및 건식 도금 방법을 제공한다.
본 발명은 일실시예로 내부의 증기를 피도금재로 분사되도록 구성된 증기 챔버; 증기 챔버 내부의 용융 원료가 위치하는 증발 영역의 외측에 배치된 증발 가열부; 상기 증발 영역으로 원료를 공급하도록 고체 원료 공급부로부터 상기 증발 영역으로 연장하며, 상기 증기 챔버의 적어도 일부를 통과하는 고체 원료 공급관; 상기 고체 원료 공급관에 연결된 고체 원료 공급부; 및 상기 고체 원료 공급관 내의 고체 원료 중 증발 영역을 기준으로 바깥쪽 고체 원료를 가열하는 고체 원료 가열부;를 포함하는 건식 도금 장치를 제공한다.
일실시예에서 상기 고체 원료 가열부는 상기 고체 원료 공급관의 증발 영역측 단부로부터 상부로 연장하는 연장선 상에 배치될 수 있다.
또한, 일실시예에서 상기 고체 원료 공급관은 상기 증발 영역측 단부로부터 일정 구간은 상기 증기 챔버에 의해 둘러싸일 수 있다.
본 발명의 일실시예에서 상기 고체 원료 가열부는 전자빔일 수 있다.
본 발명에서 상기 증기 챔버의 하부에 증발 영역이 위치하며, 상기 증발 영역으로부터 수직 상부에 상기 고체 원료 가열부가 위치하며, 상기 고체 원료 공급관 내에서 상기 고체 원료는 자중에 의해서 상기 증발 영역으로 이동될 수 있다.
일 실시예에서 상기 고체 원료 공급부는 고체 원료가 저장되는 호퍼; 및 상기 호퍼의 하부에 배치되며, 상기 고체 원료를 순차적으로 공급하도록 구성되는 공급 밸브;를 포함하되, 고체 원료를 상기 고체 원료 공급관으로 공급할 때, 호퍼 내부가 대기압보다 저압으로 유지되도록 구성될 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에서 상기 고체 원료 가열부와 상기 증발 영역 사이의 상기 고체 원료 공급관에는 상기 고체 원료 공급관을 개폐하도록 구성된 증기 방지 밸브가 배치될 수도 있으며, 상기 고체 원료 공급관 내부에서 용융된 용융 원료에 에너지를 공급하도록 상기 공급관의 외측에 배치되는 추가 가열부를 더 포함할 수도 있다.
다르게, 본 발명은 일실시예에서 고체 원료를 용융 후 증발시킨 증기로 피도금재를 도금하는 건식 도금 방법으로, 고체 원료를 증발 영역으로 연장된 공급관을 통하여 공급하는 공급 단계; 상기 고체 원료를 용융시키는 용융 단계; 및 용융된 원료를 증발시켜 증기로 형성한 후 피도금재에 도금하는 증발 및 도금 단계;를 포함하며, 상기 용융 단계는 용융된 원료로부터의 열전달과 함께 고체 원료 가열부를 통하여 상기 공급관 내의 고체 원료 중 증발 영역을 기준으로 바깥쪽 고체 원료를 가열함으로써 고체 원료를 용융시키는 건식 도금 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에서 상기 공급 단계는 일정 주기로 수행될 수 있으며, 상기 용융 단계에 가해지는 에너지는 공급 단계에서 공급된 고체 원료가 용융 온도에 도달하는데 필요한 에너지의 10~30% 일 수도 있다.
또한, 일실시예에서 상기 고체 원료 가열부는 상기 공급관의 연장선 상에 배치된 전자빔일 수 있으며, 상기 용융 단계가 수행된 후, 공급관의 증기가 상기 공급 단계에서 고체 원료를 공급하는 고체 원료 공급부나 상기 용융 단계에서 고체 원료를 가열하는 고체 원료 가열부로 가는 것을 방지하도록 공급관에 설치된 증기 차단 밸브를 통하여 공급관을 차단하는 증기 차단 단계가 수행되며, 상기 공급 단계 수행 전에 상기 증기 차단 밸브는 공급관을 개방할 수도 있다.
본 발명의 건식 도금 장치 및 건식 도금 방법은 고체 원료를 원활하게 지속적으로 공급할 수 있어서, 건식 도금 장치가 연속적으로 건식 도금을 수행하는 것이 가능하다.
또한, 본 발명의 건식 도금 장치 및 방법은 원료의 공급이 원활하여 대량의 건식 도금을 수행하는 것이 가능하다.
도 1 은 종래의 건식 도금 장치의 개략도이다.
도 2 내지 4 는 본 발명의 건식 도금 장치의 개략도로, 도 2 는 공급 단계에서의 건식 도금 장치의 개략도이며, 도 3 은 용융 단계에서의 건식 도금 장치의 개략도이고, 도 4 는 증발 단계에서의 건식 도금 장치의 개략도이다.
본 발명에서 건식 도금 장치는 고체 원료를 용융/증발하여 피도금재를 도금하는 장치를 말하며, 챔버 내부에서 증발 영역은 원료를 증발시키는 부분을 말한다. 증발 영역에는 증발 가열부가 배치되어 가열을 수행하며, 이러한 증발 가열부는 전자기 유도 가열을 포함한 다양한 가열 수단이 사용될 수 있다.
본 발명에서는 고체 원료를 고체 원료 공급관을 통하여 고체 원료 공급부로부터 증발 영역으로 공급하는데, 공급관 내부의 고체 원료를 고체 원료 가열부로 가열하는 것을 특징으로 한다.
이때 고체 원료 가열부는 직선상으로 가열할 수 있는 구성, 예를 들어 전자빔과 같은 구성이 바람직하다. 고체 원료 가열부는 고체 원료 공급관의 연장선 상에 배치되며, 이는 고체 원료 가열부가 고체 원료를 용융 시키기 위하여 동작되는 경우에 공급관에 걸릴 수 있는 고체 원료 역시 용융시키게 되어 공급관 내부가 고체 원료로 인하여 막히는 경우를 예방할 수 있으며, 고체 원료가 용융된 원료 상부에서 공급관에 걸리는 경우 역시 막을 수 있다.
본 발명에서 고체 원료 공급관은 증발 영역까지 연장하므로, 증발 영역의 용융된 원료와 고체 원료는 열교환하며, 고체 원료 가열부의 열에너지와 용융된 원료의 열에너지 고체 원료를 용융시키며, 이렇게 용융된 원료는 증발 가열부에 의해서 증발된 후 증기 챔버에서 피도금재로 제공된다.
본 발명에서 고체 원료는 일정한 간격으로 지속적으로 공급되며, 각 공급시에 고체 원료 가열부를 통하여 고체 원료를 용융시킴으로써, 고체 원료가 고체 원료 공급관에 정체되는 경우 없이 연속적으로 공급될 수 있다. 고체 원료는 구슬형, 선재를 일정 간격으로 절단한 형상 혹은 부정형등 다양한 형상을 가질 수 있으며, 고체 원료가 특정 형상으로 인하여 공급관 내에 걸리더라도 고체 원료 가열부로 걸림을 풀 수 있기 때문에 본 발명에서는 어떤 형상을 가지는 고체 원료를 사용할 수 있어서 고체 원료 선택의 폭을 넓힐 수 있다.
본 발명에서 고체 원료 공급관에는 증기 방지 밸브가 배치되며, 이 증기 방지 밸브는 일정 주기로 동작하는 고체 원료 가열부가 동작하지 않는 시기에 공급관을 막아서, 고체 원료 공급관의 증발 영역 측 단부로부터 올라오는 증기를 막을 수 있다. 증기는 고체 원료를 고체 원료 공급관에 부착되게 하거나, 고체 원료 공급과을 막아버릴 수 있으나, 본 발명에서는 증기 방지 밸브가 부착되어 이러한 문제를 해결할 수 있다.
본 발명에서 고체 원료 공급관의 일단은 증발영역에 위치하고, 타단은 고체 원료 공급부에 연결된다. 고체 원료 공급관은 고체 원료의 자중에 의해서 고체 원료 공급부로부터 증발 영역으로 이동될 수 있도록 구성되며, 이렇게 구성됨으로써 고체 원료 공급부의 공급량만 조절하면 고체 원료는 자중에 의해서 증발 영역으로 이동될 수 있다.
고체 원료 공급부는 고체 원료 공급시에 진공 상태로 유지되는 증기 챔버와 연통하게 되므로, 고체 원료 공급부 내부 역시 진공을 달성할 수 있는 구조가 적합하다.
고체 원료의 공급 주기는 일정 시간을 간격으로 수행될 수도 있으며, 용융된 원료를 가열하는 증발 가열부(예를 들면 전자기 유도)의 주파수를 관찰하여 용융된 원료의 양에 기초하여 고체 원료의 공급 주기를 정하는 것도 가능하다. 특히, 고체 원료의 공급 후에 용융된 원료의 양이 증대되지 않는 경우에 공급관에 고체 원료가 걸려있다는 것이므로, 고체 원료 가열부를 통하여 고체 원료 공급관의 고체 원료를 용융시켜 증발 영역으로 내려가게 하는 것도 가능하다.
이하에서는 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 구체적인 실시예를 설명하도록 한다.
도 2 에는 공급 단계에서의 건식 도금 장치의 개략도가 도시되어 있으며, , 도 3 에는 용융 단계에서의 건식 도금 장치의 개략도가 도시되어 있고, 도 4 에는 증발 단계에서의 건식 도금 장치의 개략도가 도시되어 있다.
도 2 내지 4 의 실시예에서, 건식 도금 장치는 내부의 증기(3)를 피도금재(1)로 분사되도록 구성된 증기 챔버(10); 증기 챔버(10) 내부의 용융 원료가 위치하는 증발 영역(25)의 외측에 배치된 증발 가열부(20); 상기 증발 영역(25)으로 원료를 공급하도록 고체 원료 공급부(60)로부터 상기 증발 영역(25)으로 연장하며, 상기 증기 챔버(10)의 적어도 일부를 통과하는 고체 원료 공급관(80, 85); 상기 고체 원료 공급관(80, 85)에 연결된 고체 원료 공급부(60); 및 상기 고체 원료 공급관(80, 85) 내의 고체 원료(90) 중 증발 영역(25)을 기준으로 바깥쪽 고체 원료를 가열하는 고체 원료 가열부(50);를 포함한다.
고체 원료 공급부(60)는 상부에는 원료를 저장하는 호퍼와 일정량의 원료를 공급할 수 있는 공급 밸브(65)를 채용하였으나, 일정량의 원료를 공급할 수 있다면, 다른 방식의 공급부가 적용될 수도 있으며, 이 실시예에서는 원료의 공급 속도를 조절하기 위하여 스크류형 공급장치와 게이트 밸브를 적용하였다.
고체 원료 공급부(60)의 상부에는 인터 록(Inter-lock) 밸브(70)가 적용될 수 있으며, 인터 록 밸브(70)는 상압의 원료실(미도시)과 고체 원료 공급부(60) 사이에 위치된다. 고체 원료 공급부(60)는 진공 배기가 가능한 구조를 가질 수 있다.
고체 원료 공급부(60)에 고체 원료를 채울 때는 상기 인터 록 밸브(70)를 열고 상압에서 작업을 하며, 고체 원료를 목표치까지 채운 후는 인터 록 밸브(70)를 닫고 고체 원료 공급부(60)를 배기하여 진공상태로 만든다. 고체 원료 공급부(60)가 목표 진공, 예를 들어 2x10-2Torr에 도달하면 고체 원료 공급부(60) 하부의 밸브(65)를 개방하여 증발 영역(25)으로 고체원료를 공급한다.
한편, 상기 공급 밸브(65)는 증발 가열부(20)에 연결돼 전원 장치의 인덕턴스를 입력으로 피드백 제어를 하여 인덕턴스가 목표치에서 유지될 수 있게, 즉, 증발 영역의 용융된 원료의 양을 인덕턴스로 감지하여 해당 양이 일정하게 유지되게 하는 것도 가능하다.
고체 원료 공급관(80, 85)은 증발 영역(25)으로부터 수직 상부로 연장하는 수직 공급관(85)과 상기 수직 공급관(85)에 연결되되 상방으로 상기 수지 공급관(85)과 예각을 가지게 배치되는 경사 공급관(80)을 포함한다. 한편, 고체 원료 공급괍(80, 85)의 수직 공급관(85)의 연장선 상에는 고체 원료 가열부(50)가 배치된다. 따라서, 고체 원료 가열부(50)는 증발 영역(25)의 수직 상부에서 수직 공급관(85)을 사이에 두고 배치된다.
본 발명에서 중요한 것은 고체 원료 공급관(80, 85)의 적어도 일부가 증발 도가니(30)에 둘러싸여 있어, 고체 원료 공급관(80, 85) 내부로 충분한 열이 전달되기 곤란하며, 따라서, 고체 원료 공급관(80, 85) 내에 고체 원료를 녹일 수 있는 열원을 공급하는 것이 필요하다. 만일, 열원이 공급관 내에 전달되지 않을 경우 고체 원료 공급관(80, 85) 내부에 고체 원료(90)가 쌓여 결국은 고체 원료 공급관(80, 85) 입구가 막히게 되므로 더 이상 공정을 진행할 수 없게 된다.
고체 원료 가열부(50)는 전자빔(electron beam)이나 레이져 빔과 같이 가까운 부분부터 가열하는 구성이 바람직하며, 이러한 구성은 수직 공급관(85)을 통하여 증발 영역(25)의 고체 연료를 가열할 수 있으며, 수직 공급관(85)의 중간에 고체 원료(90)가 걸리더라도 걸려있는 부분을 용융할 수도 있다. 특히, 전자빔의 경우에 빔 조사부(51)에 원료 증기가 응축되는 경우에도 쉽게 용융시킬 수 있다는 점에서 바람직하다. 빔 조사부(51)는 고체 원료 공급관(80, 85)의 중앙에 위치하게 배치되는 것이 바람직하다.
증기 챔버(10) 내부는 진공으로 관리되기 때문에 내부에 가열 장치를 부가하는 것은 용이하지 않으며, 특히, 증발 도가니(30)의 외부에서 고체 원료 공급관(80, 85) 내부를 가열하는 것은 효율 면에서 좋지 않으나, 고체 원료 공급관(80, 85)의 내부 공간을 통하여 가열하는 경우에 가열 효율 면에서도 유리하다.
특히, 수직 공급관(85)과 경사 공급관(80)이 합류하는 부분은 고체 원료가 잘 걸린 수 있는 부분이나, 고체 원료 가열부(50)로 가열하여 고체 원료를 용융시켜 고체 원료의 걸림을 해결할 수 있다. .
고체 원료(90)는 상기 고체 원료 공급관(80, 85)을 통하여 증발 영역(25)으로 공급되며, 증발 영역(25)에 기 용융된 원료와 열교환하게 된다. 이때, 고체 원료 가열부(50) 역시 고체 원료(90)에 열에너지를 전달하게 된다.
고체 원료 가열부(50)인 전자빔의 파워를 너무 강하게 할 경우 고체 원료 공급관(80, 85) 내부의 고체 원료(90)가 용융을 넘어 증발하여 과다한 증기가 형성되므로, 고체 원료 공급관(80, 85)의 입구에서 증기가 응축되어 막히는 현상이 발생할 수 있다.
고체 원료 공급관(80, 85)에서 용융된 원료로부터 고체원료에 전도되는 에너지(Ec)와 고체 원료 가열부(50)에 의해 고체원료에 가해지는 에너지(Ee)가 합쳐져서 고체원료를 녹이는 것이므로 아래 [식 1] 과 같이 고체 원료 가열부(50)의 에너지를 조정해야 한다.
고체 원료 가열부의 에너지(Ee)= 고체 원료가 녹는 에너지(Em) - 고체 원료에 전도되는 에너지(Ec) ...... [식 1]
고체 원료(90)를 녹이는 에너지(Em)는 고체 원료(90)의 종류에 의해서 정해지는 것이므로 고체 원료에 전도되는 에너지(Ec)만 알면 전자빔의 에너지를 쉽게 산정할 수 있다. 본 발명의 실시예에서는 고체 원료 가열부(50)의 전력(에너지)이 공급하는 원료의 용융온도에 약 10~30%만 기여하게 조절하였고, 나머지 70~90%는 용융된 원료에서 고체원료에 전도되는 에너지에 의해 고체원료가 용융되게 하는 것이 바람직하다.
이러한 고체 원료 가열부(50)의 에너지 역시 고체 원료 공급부(60)의 공급 밸브(65) 제어와 유사하게 증발 영역 내의 용융된 원료 량을 계측하고, 도가니 내의 용융된 원료의 양을 일정하게 유지할 수 있도록 고체 원료 가열부(50)의 에너지를 조절할 수 있다.
이 실시예에서는 증발 영역(25)의 상부의 고체 원료 가열부(50) 하나만을 도시하고 있으나, 필요에 따라서는 그 효율이 조금 떨어지더라도 고체 원료 가열부(50)와 함께 증발 도가니(30)의 외부에 배치되는 추가의 가열부를 포함하여 구성되는 것도 가능하다.
한편, 고체 원료 공급관(80, 85)의 수직 공급관(85)에는 상기 수직 공급관(85)을 개폐할 수 있는 증기 방지 밸브(40)가 배치될 수 있다. 증기 방지 밸브(40)는 고체 원료 가열부(50)가 동작하거나, 고체 원료가 공급되는 때를 제외하고는 고체 원료 공급관(85)을 막아서 증발 영역(25)에서 수직 공급관(85)을 타고 상승하는 증기가 고체 원료 가열부(50)나 고체 원료 공급부(60)로 올라가는 것을 방지한다. 앞에서 말한 바와 같이, 공급관(80, 85) 내의 증기는 증기 챔버 외부로 나가게 되면 응축하게 되며, 이는 고체 원료(90)의 정체를 가져올 수 있으므로, 가급적 증기가 고체 원료 공급관(80, 85)으로 올라오는 것을 방지하는 것이 바람직하다.
고체 원료 공급관(80, 85)은 증발 도가니(30)의 증발 영역(25)까지 연장하고, 용융된 원료는 증발 가열부(20)에 의해서 증기(3)로 변환되며, 노즐을 통하여 피도금재(1)로 분사된다.
본 발명에서, 고체 원료(90)가 지속적으로 공급될 수 있기 때문에, 피도금재를 안정적으로 건식 도금하는 것이 가능하다.
본 발명에 따른 건식 도금 장치를 통한 건식 도금 방법은 아래와 같다.
도 2 내지 4 의 도면에서 보이듯이, 증발 가열부(20)는 건식 도금 방법 중 계속적으로 용융된 원료를 증발시켜 도금하는 증발 및 도금 단계는 멈춤 없이 수행된다.
한편, 증발 및 도금 단계에 필요한 고체 원료를 공급하는 공급 단계는 상기 고체 원료 공급관(80, 85)을 통하여 일정 간격을 두고 공급될 수 있다. 공급 단계 직후에 공급관(80, 85) 내부에서 고체 원료를 용융시키는 용융 단계가 수행된다. 용융 단계는 증발 영역(25)에서 용융된 원료로부터의 열전달과 함께 고체 원료 가열부(50)를 통하여 상기 공급관(80, 85) 내의 고체 원료 중 증발 영역을 기준으로 바깥쪽 고체 원료를 가열함으로써 고체 원료를 용융시킨다.
상기 공급 단계 수행 전에 상기 증기 차단 밸브(40)가 공급관(80, 85)을 개방하며, 용융 단계가 완료된 후에 상기 증기 차단 밸브(40)는 공급관(80, 85)을 다시 차단한다.
일실시예에서, 30초를 주기로 고체 원료를 공급하는 공급 단계가 수행되며, 고체 원료를 공급하면 바로 일정 시간, 예를 들면 15초 동안 고체 원료 가열부(50)를 동작시켜 공급관 내의 원료를 용융시킨다. 고체 원료 가열부(50)의 일정 시간 동안의 동작 완료되면 증기 차단 밸브(40)는 공급관(80, 85)을 차단한다. 그 후에 다시 고체 원료를 공급하는 단계가 다시 수행되고 일련의 단계가 다시 반복된다.
따라서, 본 발명의 건식 도금 방법에서는 원료의 공급이 원활하여 증발 및 도금 단계가 중단 없이 수행될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 일 실시예를 중심으로 설명하였으나, 본 발명은 위 실시예로 제한되는 것은 아니다.
10: 증기 챔버 20: 증발 가열부
30: 증발 도가니 40: 증기 차단 밸브
50; 고체 원료 가열부 60: 고체 원료 공급부
80, 85: 공급관

Claims (13)

  1. 내부의 증기를 피도금재로 분사되도록 구성된 증기 챔버;
    증기 챔버 내부의 용융 원료가 위치하는 증발 영역의 외측에 배치된 증발 가열부;
    상기 증발 영역으로 원료를 공급하도록 고체 원료 공급부로부터 상기 증발 영역으로 연장하며, 상기 증기 챔버의 적어도 일부를 통과하는 고체 원료 공급관;
    상기 고체 원료 공급관에 연결된 고체 원료 공급부; 및
    상기 증기 챔버 외부에서 상기 고체 원료 공급관 내의 고체 원료 중 증발 영역을 기준으로 바깥쪽 고체 원료를 가열하는 고체 원료 가열부;를 포함하는 건식 도금 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 고체 원료 가열부는 상기 고체 원료 공급관의 증발 영역측 단부로부터 상부로 연장하는 연장선 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 건식 도금 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 고체 원료 공급관은 상기 증발 영역측 단부로부터 일정 구간은 상기 증기 챔버에 의해 둘러싸인 것을 특징으로 하는 건식 도금 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 고체 원료 가열부는 전자빔인 것을 특징으로 하는 건식 도금 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 증기 챔버의 하부에 증발 영역이 위치하며, 상기 증발 영역으로부터 수직 상부에 상기 고체 원료 가열부가 위치하며,
    상기 고체 원료 공급관 내에서 상기 고체 원료는 자중에 의해서 상기 증발 영역으로 이동되는 것을 특징으로 하는 건식 도금 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고체 원료 공급부는
    고체 원료가 저장되는 호퍼; 및
    상기 호퍼의 하부에 배치되며, 상기 고체 원료를 순차적으로 공급하도록 구성되는 공급 밸브;를 포함하되,
    고체 원료를 상기 고체 원료 공급관으로 공급할 때, 호퍼 내부가 대기압보다 저압으로 유지되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 건식 도금 장치.
  7. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고체 원료 가열부와 상기 증발 영역 사이의 상기 고체 원료 공급관에는 상기 고체 원료 공급관을 개폐하도록 구성된 증기 방지 밸브가 배치되는 것을 특징으로 하는 건식 도금 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고체 원료 공급관 내부에서 용융된 용융 원료에 에너지를 공급하도록 상기 공급관의 외측에 배치되는 추가 가열부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 건식 도금 장치.
  9. 고체 원료를 용융 후 증발시킨 증기로 피도금재를 도금하는 건식 도금 방법으로,
    고체 원료를 증발 영역으로 연장된 공급관을 통하여 공급하는 공급 단계;
    상기 고체 원료를 용융시키는 용융 단계; 및
    용융된 원료를 증발시켜 증기로 형성한 후 피도금재에 도금하는 증발 및 도금 단계;를 포함하며,
    상기 용융 단계는 용융된 원료로부터의 열전달과 함께 증기 챔버 외부에 위치한 고체 원료 가열부를 통하여 상기 공급관 내의 고체 원료 중 증발 영역을 기준으로 바깥쪽 고체 원료를 가열함으로써 고체 원료를 용융시키는 것을 특징으로 하는 건식 도금 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 공급 단계는 일정 주기로 수행되는 것을 특징으로 하는 건식 도금 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 용융 단계에 가해지는 에너지는 공급 단계에서 공급된 고체 원료가 용융 온도에 도달하는데 필요한 에너지의 10~30% 인 것을 특징으로 하는 건식 도금 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 고체 원료 가열부는 상기 공급관의 연장선 상에 배치된 전자빔인 것을 특징으로 하는 건식 도금 방법.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 용융 단계가 수행된 후, 공급관의 증기가 상기 공급 단계에서 고체 원료를 공급하는 고체 원료 공급부나 상기 용융 단계에서 고체 원료를 가열하는 고체 원료 가열부로 가는 것을 방지하도록 공급관에 설치된 증기 차단 밸브를 통하여 공급관을 차단하는 증기 차단 단계가 수행되며,
    상기 공급 단계 수행 전에 상기 증기 차단 밸브는 공급관을 개방하는 것을 특징으로 하는 건식 도금 방법.


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