CN203593780U - 一种蒸镀喷头及蒸镀设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种蒸镀喷头及蒸镀设备，所述蒸镀喷头包括：用于传输蒸汽的传导桶；至少一个喷嘴，设置在所述传导桶上；用于检测传导桶温度的温度检测装置，设置在所述传导桶上；用于加热喷嘴和传导桶的加热装置，设置在所述喷嘴和传导桶上。本实用新型的蒸镀喷头在喷嘴和传导桶上设有加热装置，根据温度检测装置获取的传导桶的温度，来控制喷嘴和传导桶的温度，可以防止喷嘴堵塞。该蒸镀设备一旦发生喷嘴阻塞，可以通过加热喷嘴和传导桶，使有机物挥发。相比较于现有技术只对传导桶的腔壁进行加热，而喷嘴位置处的温度较低，使得经过喷嘴处的有机气体凝结，容易造成喷嘴堵塞。
Description
技术领域
本实用新型涉及蒸镀领域，特别是涉及一种蒸镀喷头及蒸镀设备。
背景技术
蒸镀是在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。
在OLED（Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管）生产中，经常要使用到蒸镀设备，现有的OLED蒸镀设备主要分为线源蒸镀和点源蒸镀。由于线源蒸镀材料利用率高，所以在高世代线面板制造中，一般都采用线源蒸镀的方式。线源蒸镀一半要分为线源坩埚加热部，线源材料传输部，线源材料喷头，如专利CN200410040581.8。类似的坩埚设计开始应用于试生产设备中。现有的蒸镀设备都是在传输腔壁上进行加热，而喷嘴处不进行加热，此时，有机蒸汽在喷嘴处容易凝结，从而堵塞喷嘴。在OLED生产过程中，经常会发生喷头堵塞，导致蒸镀均一性受到影响，从而影响到产品质量。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是，现有的蒸镀喷头容易产生堵塞，导致蒸镀均一性受到影响，从而影响到产品质量。
为解决上述技术问题，本实用新型的实施例提供一种蒸镀喷头，包括：
用于传输蒸汽的传导桶；
至少一个喷嘴，设置在所述传导桶上；
用于检测传导桶温度的温度检测装置，设置在所述传导桶上；
用于加热喷嘴和传导桶的加热装置，设置在所述喷嘴和传导桶上。
进一步地，还包括液体冷却装置，所述液体冷却装置设置在所述喷嘴的周围。
进一步地，所述液体冷却装置采用循环液体。
进一步地，所述循环液体包括水、油或乙二醇溶液中的一种或多种。
进一步地，所述加热装置包括红外加热器、微波加热器、电阻加热器中的一种或多种。
进一步地，所述加热装置包括加热丝，所述加热丝缠绕在所述喷嘴的外周。
进一步地，所述喷嘴线形排列在传导桶上。
本实用新型还提供一种蒸镀设备，包括所述的喷头。
进一步地，还包括控制单元，所述控制单元分别与温度检测装置、加热装置相连接，用于接收温度检测装置获取的传导桶的温度信息，以及根据获取的温度信息来控制加热单元对传导桶和喷嘴加热。
进一步地，所述控制单元还与液体冷却装置相连接，用于向液体冷却装置发送冷却信号。
本实用新型的上述技术方案的有益效果如下：本实用新型的蒸镀喷头在喷嘴和传导桶上设有加热装置，根据温度检测装置获取的传导桶的温度，来控制喷嘴和传导桶的温度，可以防止喷嘴堵塞。一旦发生喷嘴阻塞，可以通过加热喷嘴和传导桶，使有机物挥发。相比较于现有技术只对传导桶的腔壁进行加热，而喷嘴位置处的温度较低，使得经过喷嘴处的有机气体凝结，容易造成喷嘴堵塞。
附图说明
图1为本实用新型提供的一种实施例蒸镀喷头的结构示意图；
图2为本实用新型一种实施例的喷嘴安装结构示意图；
图3为图1的俯视图；
图4为图1的截面图；
图5为本实用新型一种实施例的蒸镀设备的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
如图1所示，为本实用新型提供的一种实施例的蒸镀喷头的结构示意图，包括：
用于传输蒸汽的传导桶101；
至少一个喷嘴102，设置在所述传导桶101上；
用于检测传导桶温度的温度检测装置103，设置在所述传导桶101上；
用于加热喷嘴和传导桶的加热装置104，设置在所述喷嘴102和传导桶101上。
本实用新型的蒸镀喷头在喷嘴和传导桶上设有加热装置，根据温度检测装置获取的传导桶的温度，来控制喷嘴和传导桶的温度，可以防止喷嘴堵塞。一旦发生喷嘴阻塞，可以通过加热喷嘴和传导桶，使有机物挥发。相比较于现有技术只对传导桶的腔壁进行加热，而喷嘴位置处的温度较低，使得经过喷嘴处的有机气体凝结，容易造成喷嘴堵塞。
参阅图1和图3，本实用新型的蒸镀喷头还包括液体冷却装置105，所述液体冷却装置105设置在所述喷嘴的周围，用于对喷嘴周围进行液体冷却。该液体冷却装置用于防止加热温度过高，避免温度骤升，破坏有机材料的性能。该液体冷却装置包括循环液体，所述循环液体设置在喷嘴周围。由于喷嘴的周围设有循环液体，使得加热的温度较为缓慢升高，避免了温度的骤升所造成的喷嘴堵塞。所述循环液体可以为可以是水、油或乙二醇溶液等化学性质稳定的材料中的一种或多种。
本实用新型的传导桶101用于传输从坩埚等容器中蒸发出来的有机蒸汽，传导桶一般是金属腔体，从而增加了耐腐蚀性。该传导桶101的外围设有加热装置，防止有机蒸汽在腔壁凝结。该传导桶101可以是任何合适的性质，例如圆柱形、方形等等。
如图2所示，为本实用新型一种实施例的喷嘴安装结构示意图，本实用新型的喷嘴102设置在所述传导桶101上，可以是一个或者多个。本实施例的喷嘴为多个，并且线形排列在传导桶101上，与传导桶101相连通。由于线源蒸镀材料利用率高，所以在高世代线面板制造中，一般都采用线源蒸镀的方式。
本实用新型的温度检测装置103用于检测传导桶的温度，可以是温度传感器或者其他合适的温度检测器。本实施例的温度检测装置103设置在传导桶上，当然还可以设置在喷嘴上，用于检测喷嘴的温度。
本实用新型的加热装置104用于对喷嘴和传导桶进行加热，可以是各种适合的加热源，可以是红外加热器、微波加热器、电阻加热器中的一种或多种，加热器可以设置成线状或者平面状。优选地，本实用新型的加热装置104包括比例-积分-微分（Proportion Integration Differentiation，PID）控制器，所述PID控制器用于对喷嘴和传导桶的温度进行控制。其中，PID控制器是一个在工业控制应用中常见的反馈回路部件。这个控制器把收集到的数据和一个参考值进行比较，然后把这个差别用于计算新的输入值，这个新的输入值的目的是可以让系统的数据达到或者保持在参考值。PID控制器可以根据历史数据和差别的出现率来调整输入值，使系统更加准确而稳定。
如图4所示，为图1的截面图，该实施例的加热装置104包括加热丝1041，加热丝1041缠绕在喷嘴的周围，实现对喷嘴的直接加热。该加热装置104在检测到传热桶的温度较低时，对传热桶和喷嘴进行加热，尤其是对喷嘴进行加热，可以显著增加有机气体的蒸发，避免喷嘴处堵塞。该加热装置104还可以根据实际情况，进行选择性调整加热温度。
如图5所示，为本实用新型一种实施例的蒸镀设备的结构示意图，包括所述的喷头和控制单元200，该控制单元200分别与温度检测装置103、加热装置104相连接，用于接收温度检测装置获取的传导桶的温度，以及根据获取的温度来控制加热单元加热传导桶和喷嘴的温度。该控制单元200可以预先设置一标准温度，当接收到传导桶的温度低于该标准温度时，给加热单元发出升温的控制信号，使得加热单元对传导桶和喷嘴进行加热，避免有机蒸汽冷却堵塞喷嘴；当接收到传导桶的温度低于该标准温度时，给加热单元发出降温的控制信号，使得加热单元对传导桶和喷嘴停止或者暂停加热，避免了能量的浪费。
本实用新型的控制单元200还与液体冷却装置105相连接，用于向液体冷却装置发送冷却信号，所述液体冷却装置105来调整冷却液体的温度。本实施例提供的液体为循环液体，控制单元200与冷却装置相连接，来加快循环液体的循环速度。当然，该控制单元还可以控制冷却液体装置来降低冷却液体的温度，来实现降温的目的。
上述技术方案在喷嘴和传导桶上设有加热装置，根据温度检测装置获取的传导桶的温度，来控制喷嘴和传导桶的温度，可以防止喷嘴堵塞。一旦发生喷嘴阻塞，可以通过加热喷嘴和传导桶，使有机物挥发。相比较于现有技术只对传导桶的腔壁进行加热，而喷嘴位置处的温度较低，使得经过喷嘴处的有机气体凝结，容易造成喷嘴堵塞。
以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (9)
1.一种蒸镀喷头，其特征在于，包括：
用于传输蒸汽的传导桶；
至少一个喷嘴，设置在所述传导桶上；
用于检测传导桶温度的温度检测装置，设置在所述传导桶上；
用于加热喷嘴和传导桶的加热装置，设置在所述喷嘴和传导桶上。
2.根据权利要求1所述的蒸镀喷头，其特征在于，还包括液体冷却装置，所述液体冷却装置设置在所述喷嘴的周围。
3.根据权利要求2所述的蒸镀喷头，其特征在于，所述液体冷却装置采用循环液体。
4.根据权利要求1-3任何一项所述的蒸镀喷头，其特征在于，所述加热装置包括红外加热器、微波加热器、电阻加热器中的一种或多种。
5.根据权利要求4所述的蒸镀喷头，其特征在于，所述加热装置包括加热丝，所述加热丝缠绕在所述喷嘴的外周。
6.根据权利要求1-3任何一项所述的蒸镀喷头，其特征在于，所述喷嘴线形排列在传导桶上。
7.一种蒸镀设备，其特征在于，包括如权利要求2或者3所述的喷头。
8.根据权利要求7所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括控制单元，所述控制单元分别与温度检测装置、加热装置相连接，用于接收温度检测装置获取的传导桶的温度信息，以及根据获取的温度信息来控制加热单元对传导桶和喷嘴加热。
9.根据权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，所述控制单元还与液体冷却装置相连接，用于向液体冷却装置发送冷却信号。
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Publications (1)
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2013
- 2013-09-24 CN CN201320602494.1U patent/CN203593780U/zh not_active Expired - Lifetime
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