CN1047683C

CN1047683C - 一种微晶稀土永磁体的制造方法

Info

Publication number: CN1047683C
Application number: CN93112561A
Authority: CN
Inventors: 陈迂; 俞东平; 蔡韵; 俞树人; 戴须根
Original assignee: SHENJIAN METALLURGICAL ELECTROMECHANICAL TECHNOLOGY ENGINEERING Co SHANGHAI
Current assignee: SHENJIAN METALLURGICAL ELECTROMECHANICAL TECHNOLOGY ENGINEERING Co SHANGHAI
Priority date: 1992-09-30
Filing date: 1993-09-17
Publication date: 1999-12-22
Anticipated expiration: 2013-09-17
Also published as: CN1112720A

Abstract

一种技术独特可以实现稳定、经济、高效率大量生产化学成份均匀、性能稳定、杂质含量低、偏析少、磁性能优异的微晶稀土永久磁体的制造方法；用等离子连续熔炼铸造法生产优质合金锭；用高速转盘离心雾化快速冷凝和连续振动氢化破碎相结合的方法，制取微晶微细磁粉；用磁场取向成型等静压致密烧结制坯与热加工法对磁体压坯外形尺寸精确定型；同时发明了无损热消磁新工艺。

Description

一种微晶稀土永磁体的制造方法

本发明涉及的是一种微晶稀土永磁体的制造方法，具体地讲，本发明涉及的是可大规模生产R-T-B-M型微晶稀土永久磁体的制造方法(其中R代表至少一种包括Y在内的稀土元素，T代表过渡族金属Fe和Co，M代表少量附加金属元素)。

现有技术中有关稀土—铁—硼永磁材料的内容归纳如下：

1.化学成份

现已公开的关于稀土永磁合金的专利，其化学成份基本上都是类同的：即按原子百分含量8-33％的R，12～28％的B，余量为Fe，添加金属元素M(M代表V：Nb、Ta、Cr、Mo、W、Ge、Bi、Si、Al、Ti、Zr、Hf、Mn、Ni、Sn、Sb、Zn等)以及用≤50％的Co取代Fe，用N取代B等。

2.制造工艺

(1)粉末冶金法

采用粉末冶金工业传统的工艺与设备：即真空感应电炉(氩气保护)冶炼铸锭、机械破碎、球磨制粉、压型、烧结、热处理、切割、研磨等制造永久磁体。以住友为代表的专利有US4597938，US4773950，EP0274034，EP0101552，CN85101455A等，均采用粉末冶金传统工艺，而对铸锭形状、晶粒尺寸、成份偏析以及夹杂物的控制等方面均未提出有效措施；对铸锭、制粉方面，各专利申请也未提出特殊的权利要求。

(2)氧化物热还原法

稀土氧化物(R₂O₃)，用活性金属钙、钠或氢化钙，加热进行热还原扩散，制取稀土—铁—硼基础原料粉的方法。美国通用汽车公司和日本住友特殊金属公司，有关专利的公开号为US4767450，US4806155，US4898613，EP0254251，CN85100812A，CN85100813A，CN85107738A，CN86103244A，CN1042024A。氧化物热还原法可以直接使用矿体形态的稀土氧化物(R₂O₃)，免去了昂贵的稀土金属提炼过程，因而成本低廉。但是杂质含量高，尤其是氧含量高，甚至含氧量可达到冶炼法的数十倍到数百倍，影响性能。

(3)快淬法

这种方法是俄国人首先提出的(见J.J.Croat and L.Kabacoffetal.J.Appl.phys.53(3)，1981，2255～2257)，美国通用汽车公司最早申请专利，已公开的专利有EP125725，US4533408，US4840684，US4767474，US520170，EP0725752，EP0284033，GB2100286A，J57-97606，CN1039926A等，内容概括如下：

合金熔体以一定的流量注入到一个被水冷却的高速转盘上，在水冷转盘上用快淬法制成厚度为10～100μm的片状粉，由于转盘转速快，冷却速度高，制成的粉粒主要是非晶态结构，也可能产生一部分微晶结构，其晶粒尺寸极小(0.02～0.5μm)这种粉末是磁各向同性的。

将上述非晶或微晶粉末与一定比例的粘结剂混合，注入模内压制成型，可以方便地制成任何形状的磁体，压形时亦不用进行磁场取向。此法主要缺点是磁各向同性制品，磁性能较低，Br＝6～8KG，iHc＝8～11KOe， (HB)max≤10MGOe。

(4)气雾化法

美国坩埚材料公司1986年申请专利：US4585473，其内容要点如下：

用真空感应电炉，将合金熔化，以一定流量注入雾化室，经过一个球形高压氩气喷枪，将液态合金雾化成小液滴，迅速凝固成球形颗粒粉。这种粉末的颗粒尺寸为1～5μm，可以直接采用通常的粉末冶金法制成永久磁体，此法的主要缺点是成本高。

(5)热退磁法

美国通用汽车公司于1990年提出一项关于永磁体热退磁的新工艺，专利公开号US4900374，主要内容如下：在大气条件下，将永磁体加热至高于居里点100～300℃，保温30min，然后自然冷却至室温。采用这种热退磁法，可以减少或消除磁性损失。这种退磁方法的缺点是磁体在大气下加热和冷却，而且加热温度较高，这样会造成磁体的严重氧化。

以下从五个方面概括了迄今为止，反映在专利方面的关于永磁材料的主要进展。综观永磁材料发展至今，在其性能、生产和应用方面尚存在以下缺点和问题：

a.采用真空感应炉氩气保护下的冶炼工艺，不能大量生出化学成份均匀、性能稳定、杂质含量低的合金铸锭。这种冶炼方法一般锭子直径为70mm以下，锭子直径大时更容易产生成份偏析并形成粗大柱状晶，锭子上部和中心附近亦易产生疏松和夹杂。受上述条件限制，每一炉冶炼的合金锭重较小，这是现有技术不能大量生产永磁材料的原因。此外，冶炼次数增多，又难以保证各炉合金化学成份和性能的一致性。

b.目前，大多数仍采用传统的粉末冶金法制造永久磁体，即冶炼出的合金锭经过机械破碎，球磨制粉，压型，烧结，切割，研磨等工序，最终制成一定形状的零件。具有粗大柱状晶的合金锭，当然不可能制出细晶粒的磁粉。此外，鉴于合金主要成份之一的稀土元素，具有较高的化学活性，在冶炼及各道加工及处理过程中，不可避免地遭受氧化和沾污，并作为夹杂物残留在磁体中，这对进一步提高磁体性能是一种严重障碍。

c.降低成本是关系到稀土永磁材料能否大量应用的重要因素。但是采用传统的工艺方法，不可能大幅度地降低成本。稀土永磁材料的生产工序繁多，每道工序都要造成材料损耗，最后制成的合金坯体还要经过线切割、研磨等工艺，才能制成一定形状的零件，因此材料总的收得率较低，这是目前稀土永磁材料成本高的重要原因之一。

本发明的目的在于提供一种性能稳定、低价格、大规模生产R-T-M型高性能微晶稀土永久磁体的制造方法(其中R代表至少一种包括Y在内的稀土元素，T代表过渡族金属Fe和Co，M代表少量附加金属元素)。

本发明的目的可以通过以下方法得以实现：

用等离子连续熔炼铸造法生产优质合金锭；用高速转盘离心雾化快速冷凝和连续振动氢化破碎相结合的方法，制取微晶微细磁粉；用磁场取向成型等静压致密烧结制坯与热加工法对磁体压坯外形尺寸精确定型；同时发明了无损热消磁新工艺。

下面是附图说明，通过附图说明并结合以后的详细描述，可以更清楚地理解本发明，其中：

图1是本发明实施方案中的等离子连续冶铸造炉的结构示意图。

图2是本发明实施方案中的片状微晶磁粉制造炉的结构示意图。

图3是本发明实施方案中的连续振动氢化破碎炉的结构示意图。

图4是稀土永磁材料的硬度与温度的关系曲线。

其中，所述附图中的各部件的标号如下：1是加料器，2是充气孔，3是进料器，4是真空泵，5是拉杆，6是铸锭，7是加料器，8是电源，9是电子枪，10是熔池，11是水冷铜坩埚，12是离心转盘，13是收集盘，14是刮片，15是收集器，16是扫描电子枪，17是出料器，18是氢化室，19是螺旋振动粉碎机，20是加热器，21是充氢口。

下面是本发明的详细描述，具体如下：

(1)用等离子电炉连续熔炼铸造(参见图1)，无坩埚的水冷铜质结晶器连续铸锭，实现连续加料，连续熔炼，连续拉出铸锭的生产方法。拉出的铸锭原则上可以是无限长，这是能大量生产高性能稀土类永磁合金的重要关键。此外，由于铜质水冷结晶器可获得很快的冷凝速度，因而不仅可以减少氧化，降低沾污，而且可以消除偏析，并获得最佳晶体结构的合金。这种冶炼方法同时可以消除冒口部位和锭子中心的疏松和夹杂，保证可获得化学成份均匀和性能一致性与重复性好的合金锭。

(2)在真空炉内，采用离心雾化快速冷凝法制取微晶磁粉(参见图2)。这种方法是将液态合金浇注到一个被水冷却并高速旋转的转盘4上，借助离心力将液态合金雾化成小液滴，小液滴迅速飞向另一个被水冷却并且旋转方向与垂直的高速旋转的收集盘5上，凝固成片状微晶粉。片状粉的厚度为10～50μm，片的径向尺寸为1～3mm，片状粉呈微细晶体结构，晶粒尺寸为0.05～5.0μm。

(3)在离心雾化快速冷凝法制得片状微晶磁粉的基础上，在氢气气氛下，采用连续振动氢化粉碎炉(参见图3)，进行化学与机械相结合的微细粉碎。由于吸氢化学粉碎的过程主要的沿晶界的粉碎过程，因而粉末颗粒尺寸和晶粒尺寸可能是同一个数量级，即制得微晶微细磁粉，这就能保证实现最佳状态的磁畴取向。在振动条件下用螺旋方式输送粉料，可以促进和加速粉料的吸氢过程，保证粉料粉碎均匀和性能和一致性。此外，用这种方法制得的粉末颗粒，周边比较圆滑，因而可大大提高粉末的流动性，为得到更致密的压型提供了可能。用这种外形圆滑的微晶微细磁粉，可以制成性能更为优异的永久磁体，其磁化矢量更容易沿取向磁场的方向整齐排列。

(4)采用热加工法对所制得的稀土永磁烧结体，进行精确的尺寸定型，热压温度为600～850℃。这一加工过程，不仅可以达到按产品尺寸要求精确定型的目的，更重要的是，这一过程还具有形变热处理的功效。经过形变热处理的磁体，具有更高的磁性能。这一工艺过程，可进一步提高永磁材料的利用率和降低成本。采用热加工的方法，对产品进行公差范围内的精确定型，可大大减少材料因切割、研磨等加工过程的损耗。

(6)通过控制一定的加热和冷却速度的方法，对永磁体进行无损消磁。本发明采用的工艺过程是，在惰性气氛中将永磁体按一定升温速度，加热至居里点以上10～50℃的温度，再以一定速度冷却至室温，达到完全消化磁的目的。用这种方法反复消磁，亦不会造成磁性损失。

本发明与传统技术比较，其优点是显而易见的，对本发明提出的独特技术观点更具体的描述，其特征在于：用等离子电炉连续冶炼铸造法生产稀土永磁合金锭。它的特点是在较短的时间内，得到偏析少，组份均匀，晶粒细，杂质含量低的高品质铸锭，可以实现稳定、经济、高效率连续生产。本方法熔炼稀土永磁合金的铸锭拉出速度为15～150Kg/h，是传统冶炼速度的8～10倍。用本方法冶炼的合金含氧量可小于150ppm，而传统的熔炼方法含氧量要达500ppm以上。本发明提供的冶炼方法，由于采用了水冷铜质结晶器和电子枪程序扫描的水冷铜质坩埚，取代了传统的金属锭模和耐火材料制造的坩埚，因而消除了坩埚材料对熔体的沾污，降低了非金属夹杂。例如可以采用圆形、非圆形(方形、长方形等)的铸锭、锭子截面尺寸可以为10～150mm，最佳范围是40～80mm。这种铸锭能够减少或消除圆锭型在锭子上部和中心线附近产生的疏松、偏析和夹杂。

对本发明提出的独特技术观点更具体的描述，其特征在于：用离心雾化快速冷凝法制取片状微晶磁粉，参见图2，加热电子枪16，将水冷铜坩埚11中的合金材料熔化至浇注温度，一定流量的液态合金从浇口注入到一个转速为2000～5000rpm，线速度为5～50m/s转盘12上，液态合金被离心力撕碎并飞向另一个水冷高速旋转的收集盘13上，经撞击而成片状粉末。通过刮片14将片状粉刮下，进入收集器15。用这种方法制得的粉末呈片状，粉片厚度为10～50μm，粉末片的径向尺寸为1～3mm，其晶粒尺寸为0.05～5.0μm的微细磁粉。高速旋转的离心转盘和收集盘可连续调整。

随后将上述微晶磁粉送入连续振动氢化粉碎炉，参见图3。用机械与化学氢化粉碎相结合的方法，将上述片状微晶磁粉进一步粉碎成微晶微细磁粉。具体方法是：在一个抽真空的不锈钢密闭容器中，置放一台螺旋式振动粉碎机19，粉料沿螺旋式沟槽递进输送与粉碎。螺旋形振动粉碎机又具有促进和加速粉料的吸氢作用，从而又可以保证得到颗粒均匀而性能一致的微细粉料。在不破坏密闭容器气密性的条件下，粉料可以连续加入，连续输出，观察与测量表明，吸氢过程表现为二个阶段，首先由合金相Nd₁₅Fe₇₇B₃中较活泼的富Nd相开始，伴随升温，产生晶间破裂，吸氢总量相当于Nd₁₅Fe₇₇B₃H₂₈。吸氢后富Nd相首先开始沿晶界粉碎，沿晶粉碎产生等轴晶和柱状晶，其表面平滑，穿晶破裂可能为不规则破裂、理解面破裂或第二相界面破裂。应当强调指出，螺旋式振动氢化粉碎，是互相促进并加速粉碎的过程，这种工艺方法可实现连续加料，连续粉碎，连续出料的大规模生产过程，它可以同本发明前几道工艺相匹配。经过上述粉碎以后便可制得微晶微细磁粉，其颗粒尺寸和晶粒尺寸均可达到0.05～5.0μm数量级。这种机械和化学联合粉碎制取微晶磁粉的方法，可在常温常压(温度：25～30℃，氢压一个大气压)下或者在高温高压(温度≤850℃，氢压≤10⁵bar)下进行。以上的粉碎方法还可以获得一个附加效果：合金粉在氢化过程中所吸收的氢气，在随后的磁体加热烧结过程中，又不断放出氢气，这就降低了烧结过程中惰性保护气体的用量和成本。

这种微晶微细磁粉其磁化矢量在定向磁场作用下，很容易实现规则排列。采用等静压成型和烧结工艺，可制成各向异性永久磁体。在真空或惰性气氛下，取向磁场强度为5～35KOe，成型压力为0.5～3.5T/cm²，烧结温度为900～1200℃，烧结保温时间为0.5～5hr，这种工艺方法可生产出最大磁能积为32～46MGOe的永久磁体。

对本发明提出的独特技术观点更具体的描述，其特征在于：用热加工法对永久磁体进行较精确的尺寸定型。这种方法首先是基于稀土永磁材料的硬度随温度的升高而降低，参见图4曲线。用本发明提出的方法，将烧结的永磁体在惰性气氛下加热至600～850℃，置于产品特定尺寸和形状的压模内，进行加压热定型。本道工艺过程具有以下几种效果：A.可以使永磁体的坯料按产品形状和尺寸要求进行公差范围内的精确定型，避免切割和研磨工艺造成材料的浪费；B.使产品坯料进行热机械加工，这是一种形变热处理的过程，形变热处理可以进一步提高磁性能；C.制造稀土永磁体的传统方法，是烧结后的坯体如在600～850℃的温度范围内进行回火热处理，可以进一步提高性能。本发明采用600～850℃热加工定型的目的之一，就是在热定型的工艺过程中，同时完成回火热处理的过程，这就是热加工定型这项独特技术产生的“一举三得”的效果。

对本发明提出的独特技术观点更具体的描述，其特征在于：本发明提出了一项新颖独特的无损消磁新工艺。永久磁体的生产工艺比较复杂，工序繁多，要想确切了解和检验每道工艺对磁体最终性能有什么影响等等，都要求磁体在无磁条件下才能顺利进行，因此永久磁体消磁是一项常规操作。传统的消磁方法有三种：(1)永磁体在交变的并且磁场强度逐渐减弱的磁场中，持续一定时间，可以达到消磁的目的。但这种方法对高矫顽力的永磁体来说，消磁效果不佳，消磁后磁体中仍有少量剩残留。(2)将磁体在保护气氛下加热至居里点以下的温度，然后冷却至室温，虽然可以达到完全消磁的目的，但实验证明，每进行一次消磁处理，就要造成1-2％的磁性损失。(3)在大气条件下将永磁体加热至居里点以上100～300℃，保温30min，然后自然冷却至室温，亦可达到消磁的目的。缺点是磁体在加热、保温和冷却过程中将受到氧化，降低磁性能。而本发明提出的高矫顽力永磁体无损消磁工艺，即在真空或惰性气氛下采用特定的加热方式，特定的升温和冷却速度，得出了一套完整的无损消磁新工艺。其中加热温度为高于居里点10～50℃，升温速度为50～500℃/min，冷却速度为30～300℃/S。

本发明的实施例1

用真空充氩的等离子电炉，水冷铜质结晶器的连续冶炼铸造法，得到成份按原子百分比为Nd₁₅Fe₇₇B₈的一种合金锭，锭子截面尺寸为50×80mm。对所得的合金锭用机械破碎法制得尺寸为10mm的合金块。然后将这种合金块连续送入片状微晶磁粉制造炉的水冷铜质坩埚内(见图2)。熔化后经旋转盘的快速冷凝雾化制成微晶片状磁粉。片状粉的平均厚度为10μm，平均径向尺寸为2mm，平均晶粒尺寸为0.08μm。随后将上述片状微晶磁粉送入连续振动氢化粉碎炉(见图3)，在温度为150℃，氢压略高于1个大气压下，进行连续振动氢化粉碎，即可制成平均颗粒尺寸和晶粒尺寸为0.08μm的微晶微细磁粉，用这种微晶微细磁粉，在磁场强度为12KOe的定向磁场中，以2.0T/cm²的压力用磁场取向成型等静压工艺压制成型。然后在真空条件下(5×10^-4Torr)进行烧结，烧结温度为1150℃，保温2h。然后以500℃/min的速度冷却至室温。烧结后的物体在氩气保护下加热至800℃，根据工件不同厚度确定保温时间，(一般按每毫米截面厚度保温时间为5min计算)。保温后将零件送入压模内，进行热加工定型。压力方向垂直于定向磁场取向，然后使零件以300℃/S的冷却速度快速冷却至室温。所得磁体性能如下：Br＝11.2KG，iHc＝14.5KOe，(HB)max＝35MGOe。

本发明的实施例2

用真空充氖的等离子电炉，水冷铜质结晶器的连续铸造法，得到成份按原子百分比为Nd₉Pr₃Fe₇₀B₁₃的一种合金，锭子截面子尺寸为70×70mm。所得到的合金锭用机械破碎法制成颗粒平均尺寸为5mm的合金颗粒，然后将其送入片状微晶磁粉制造炉(见图2)，经转盘快速冷凝，雾化成微晶片状粉，粉片的平均厚度为8μm，片的径向平均尺寸为3mm，片状粉的平均晶粒尺寸为2.0μm的结晶态。将上述片状粉送入连续振动氢化粉碎炉(见图3)，在常温(30℃)常压(氢压为一个大气压)下粉碎成微晶微细磁粉。其平均颗粒尺寸和晶粒尺寸为2.0μm。所得到的微晶微细磁粉，在场强15KOe磁场中，用2.5T/cm²压力，用磁场取向成型等静压工艺制成型，接着在纯度为99.99％和650Torr的氩气中进行烧结，烧结温度为1140℃，保温2h后，以650℃/min的冷却速度冷却至室温。经过烧结的磁体，在纯度为99.99％，压力为650Torr的氩气保护下加热至750℃。根据截面厚度确定不同的保温时间(一般按每毫米截面厚度保温时间为5min计算)。将保温后的工件送入压模内，进行热加工定型，压力方向垂直于压力成型时的取向磁场方向。并使定型工件以250℃/S的冷却速度冷却至室温，得到磁体的性能如下：剩余磁通密度Br＝10.8KG，矫顽力iHc＝11.4KOe，最大磁能积(HB)max＝36.4MGOe。

本发明的实施例3

用真空充氦的等离子电炉，水冷铜质结晶器连续铸造法，得到成份按原子百分比为Fe₇₆Nd₁₃DyMoSiB₈的一种合金，锭子截面尺寸为60×85mm。所得合金锭用机械破碎法制成平均颗粒尺寸为2mm的颗粒，然后将这种颗粒送入片状微晶磁粉制造炉内(见图2)，制成微晶片状磁粉。片状粉的平均厚度为5μm，片的径向平均尺寸为1.0mm，微晶片状粉的平均晶粒尺寸为1.0μm的结晶态。随后将这种微晶粉送入连续振动氢化粉碎炉中(见图3)，充入纯度为99.99％的氢气，氢压力105bar升温至600℃，进行高温高压氢化。在高温高压氢化和螺旋振动式粉碎机的联合使用下，在很短的时间内(5min)即可将片状微晶磁粉粉碎成微晶微细磁粉，其颗粒尺寸和晶粒尺寸约为1.0μm。用所制得的微晶微细磁粉在30KOe取向磁场中，用3.0T/cm²压力，用磁场取向成型等静压工艺压制成型。成型坯体在纯度99.99％，和压力800Torr的氩气中进行烧结，烧结温度为1080℃，保温3hr，随后以830℃/min的速度冷却至室温。烧结后的坯体在纯度为99.99％，压力为760Torr的氩气保护下，加热至800℃，根据不同截面厚度确定保温时间(一般按每毫米截面厚度保温时间为5min计算)。保温后的工件送入压模中，进行热加工定型，压力方向垂直于压型时磁场取向，并使定型后的工件以300℃/S的冷却速度冷却至室温。所得磁体的主要性能如下：剩余磁感应强度Br＝13.6KG，矫顽力iHc＝19.8KOe，最大磁能积(HB)max＝39.5MGOe。

上述磁体按本发明提出的独特消磁工艺，进行热消磁处理：加热是在纯度为99.99％，压力为650Torr的氩气保护电炉中进行的。加热温度高于居里点20℃，升温速度为200℃/min，冷却速度为300℃/S。检验性能结果如下：剩余磁感应强度Br＝13.50KG，较消磁前降低0.073％；矫顽力iHc＝19.50KOe较消磁前升高0.5％；最大磁能积(HB)max＝39.4MGOe，较消磁前降低0.25％。测定结果证明，在测试误差范围内磁性无损失。

Claims

1.一种微晶稀土永磁体的制造方法，其特征在于用等离子连续铸造炉连续冶炼和铸造法生产成份均匀的高纯合金锭；高速转盘离心雾化快速冷凝法制取片状微晶磁粉，所制得的片状微晶磁粉的厚度为10～50μm，片状微晶磁粉的径向尺寸为1～3mm，片状微晶磁粉为晶粒尺寸0.05～5.0μm；然后采用连续振动氢化法制取微晶微细磁粉，其中，氢化在25～30℃，氢压1个大气压下，或在温度≤850℃，氢压≤10⁵bar的条件下进行；用磁场取向成型、等静压致密制造压坯，其中，取向磁场强度为5～35KOe，成型压力为0.5～3.5T/cm²，烧结温度为900～1200℃，烧结保温时间为0.5～5h，以上操作均在真空或惰性气氛下进行，得到最大磁能积为32～46MGOe的高性能永久磁体；然后采用精密热整形法制取高精度磁体，其中，热整形温度为600～850℃；最后，在真空或惰性气氛下将永磁体加热至居里点以上10～50℃的磁体转变温度，对永磁体进行无损耗加热消磁，升温速度为50-500℃/min，冷却速度为30-300℃/S，可实现高矫顽力永磁体无损消磁。

2.根据权利要求1所叙述的方法，其特征在于在真空和He、Ne、Ar等电离气体条件下，用等离子电源加热熔化合金，液态合金通过铜质水冷结晶连续铸锭，实现连续加料，连续熔炼、连续结晶，连续制取合金锭，冶炼真空度为200～5×10^-4Torr，电离气体的压力为50～760Torr，冶炼温度为1500～1650℃，铸锭截面形状是圆形或者是非圆形的，如方形、长方形，合金锭截面的径向尺寸为10～150mm，锭子长度没有限定，铸锭的拉出速度为15～150Kg/h。

3.根据权利要求1所叙述的方法，其特征在于用高速转盘离心雾化快速冷凝法制备微晶磁粉，离心转盘的线速度为5～50m/s，转速为2000～5000rpm，

4.根据权利要求1所叙述的方法，其特征在于对所制得的片状微晶磁粉，采用化学与机械相结合的连续振动氢化破碎法，进一步制成微晶微细磁粉，这种微晶微细粉的颗粒尺寸和晶粒尺寸为0.05～5.0μm数量级，并且实现进料、粉碎和出料的连续化。