CN104691906A - 内袋复合容器用分配装置及其制造方法 - Google Patents

Abstract

一种内袋复合容器用分配装置，安装与以往相比可减少残留液体量及其偏差的内袋复合容器上，对该内袋复合容器内的收纳流体进行分配。内袋复合容器(100)是在钢制的容器内收纳有树脂制内侧容器(110)而成的容器。内侧容器的出入口部(111)位于内袋复合容器的中心轴(101)上，在中心轴上的出入口部的正下方内侧容器具有收集贮存残留液体的残留液体用凹部(113)。分配装置具有排出管(250)和气体供给机构，在容器内加压时，排出管具有从内侧容器的出入口部直线状地延伸至残留液体用凹部的长度。采用本发明，可减少残留液体量及其偏差。

Description

内袋复合容器用分配装置及其制造方法

技术领域

本发明涉及一种内袋复合容器用分配装置及其制造方法，内袋复合容器用分配装置对钢制的外侧容器内设有树脂制的内侧容器的内袋复合容器所收纳的收纳流体进行分配。

背景技术

在例如用于收纳食品及药品的钢制容器中，采用了将收纳所述食品及药品的树脂制的内侧容器收纳在钢制的外侧容器内的、如图10所示那样的内袋复合容器10的形态，以防止所述食品及药品与钢制容器内表面直接接触所引起的腐蚀等的产生。

在该内袋复合容器10中，主体部1a为聚乙烯制并形成为袋状，且在其上部与容器主体部一体地形成有用于出入充填物的出入口1b。另外，出入口1b的外周面成形为外螺纹形状。

另一方面，内袋复合容器10的外侧容器2，其由圆筒状的钢板构成的壳体2a和由钢板构成的底板2b被卷边接缝而形成收纳部。

并且，在所述所述收纳部内装填所述内侧容器1后，在使所述出入口1b从形成于钢板制的顶板2c的开口突出的状态下，将壳体2a和顶板2c卷边接缝，制成将树脂制的内侧容器1收纳在钢制的外侧容器2内的内袋复合容器10。在对这样的内袋复合容器10注入充填物之后，在从顶板2c突出的出入口1b上旋合盖子3，以将充填物封闭。

作为上述药品的例子，在例如半导体领域中，例如是CMP浆料、光致抗蚀剂、显影液、蚀刻液和清洗液等，在液晶领域中，是光致抗蚀剂、彩色抗蚀剂和滤色器材料等。另外，在这些药液中有时也需要遮光，由于钢制而成的外侧容器2具有遮光性，因此，在这方面使用内袋复合容器10是有利的。

在对半导体领域等的药液进行处理的场合，内侧容器1当然要求较高的清洁度，而内袋复合容器10也要求较高的清洁度。此外，即使排出药液时也要求较高的清洁性，作为排出方法，采用这样的方法：取下上述盖子3并安装使用具有排出用管子的分配器而进行排出的方法。对于这种方法，具有用泵将药液吸上来的泵送方式，或者通过将氮气等注入罐内进行加压而将药液挤出的加压方式。

专利文献1：日本专利特开2007-45429号公报

作为上述那样的，在半导体领域等所使用的药液用的内袋复合容器，广泛使用其内容量为20升的，利用了所谓提桶罐的构件。另外如上所述，从高清洁度要求出发，半导体领域等中所使用的药液虽然使用分配器并用加压方式被排出，但当提桶罐内的残留液体量变少时，药液就会与加压气体一起被排出，产生所谓气泡夹带(日语：泡噛み)现象。这样的含有气泡的药液会导致最终成品的缺陷，因此，在产生气泡夹带之前中止药液的排出。当然，从上述的高清洁度要求出发，决不允许例如取下分配器将内袋复合容器的出入口朝下进行残留液体的排出等。

另一方面，在半导体领域等中所使用的药液，是例如也被说成1万日圆/升那种程度的非常高价的药液，从成本方面考虑，必须尽量减少内袋复合容器内的残留液体量。

发明内容

发明所要解决的课题

本发明是为解决上述那种问题而做成的，其目的在于，提供一种内袋复合容器用分配装置及该分配装置的制造方法，该分配装置安装于将树脂制的内侧容器收纳在外侧容器内的内袋复合容器中，相比于以往可减少残留液体量，且也可减少该残留液体量的偏差，该分配装置对该内袋复合容器的收纳流体进行分配。

用于解决课题的手段

为了实现上述目的，本发明如下那样构成。

即，本发明的第1方式的内袋复合容器用分配装置是一种安装于内袋复合容器的内袋复合容器用分配装置，其特点是，

所述内袋复合容器，由标称容量为10～60升的提桶罐形成，具有：

树脂制的内侧容器，该内侧容器是收纳流体的袋形状且具有所述流体的出入口部；以及外侧容器，该外侧容器由收纳所述内侧容器的钢制容器形成，将底板卷边接缝于筒状的壳体而成形该钢制容器，且顶板与所述底板相对地安装于所述壳体，所述顶板形成有可使所述出入口部突出的开口，

所述内侧容器的所述出入口部以及所述外侧容器的所述开口位于通过该内袋复合容器的直径的中心的中心轴上，

在所述中心轴上的所述出入口部的正下方，所述内侧容器具有从该内侧容器的底面向外侧突出地成形并收集贮存残留液体的残留液体用凹部，

该内袋复合容器用分配装置具有：

树脂制的排出管，该排出管是可安装于从所述外侧容器的开口突出的所述内侧容器的出入口部的管子，该排出管的顶端位于内侧容器的所述残留液体用凹部内，从而将收纳于内侧容器的流体引导到容器外部；以及

气体供给机构，该气体供给机构可安装于从所述开口突出的所述出入口部，该气体供给机构将气体供给到内袋复合容器内，从而使收纳在所述内侧容器内的流体通过所述排出管排出到容器外部，

所述排出管具有可挠性及形状复原性，在由所述气体供给机构对容器内进行加压前，所述排出管利用可挠性而挠曲，另一方面，在由所述气体供给机构对容器内进行加压，从而底板及顶板向内袋复合容器外侧变形的状态下，所述排出管具有利用形状复原性而从内侧容器的所述出入口部直线状地延伸到所述残留液体用凹部的长度，此外，所述排出管的外径为φ10mm，所述排出管的壁厚为1mm。

另外，本发明的第2方式的内袋复合容器用分配装置的制造方法，是第1方式所述的内袋复合容器用分配装置的制造方法，其特点是，具有如下工序：

在由气体供给机构对容器内进行加压前的内袋复合容器中，求出将安装于内侧容器的出入口部的排出管直线状地配置至残留液体用凹部的底面时的基本长度的工序；

以加压压力与容器变形量的关系为基础，求出与容器的加压压力对应的底板及顶板的总计变形量的工序；以及

将所求出的总计变形量加上所述基本长度确定所述排出管的设定长度的工序。

发明的效果

本发明的第1方式中的内袋复合容器用分配装置所安装的内袋复合容器，所收纳流体的出入口部配置在内侧容器的中心轴上，且在内侧容器的底面的所述出入口部的正下方的中心轴上设有残留液体用凹部。当在具有这种结构的内袋复合容器上安装所述内袋复合容器用分配装置而将流体从内侧容器内排出时，接近排出结束的残留液体就被收集在残留液体用凹部内，且从残留液体用凹部内通过排出管而被排出到容器外。因此，内侧容器内的残留液体量取决于残留液体用凹部的容积，故与以往相比可减少残留液体量，且残留液体量的偏差也可减少。另外，在内侧容器中，由于出入口部和残留液体用凹部位于容器中心轴上，因此，可将安装在出入口部上的排出管的顶端始终配置在残留液体用凹部内。这一点也有利于减少残留液体量的偏差。

此外，由于排出管使用φ10mm、壁厚1mm的管子，因此具有足够的刚性。于是，即使是内袋复合容器因容器内加压而产生变形的状态，也能将其顶端配置在残留液体用凹部内。其结果，与以往相比可减少内侧容器内的残留液体量，且残留液体量的偏差也可减少。

另外，采用本发明的第2方式的内袋复合容器用分配装置的制造方法，由于排出管的设定长度被确定，因此在收纳液体排出时的容器加压状态下，能使排出管的吸液口可靠地位于残留液体用凹部内。因此，能将残留液体用凹部中的收纳也的残留液体量作成最小限度。

附图说明

图1A是表示本发明实施形态的内袋复合容器用分配装置的概略结构的示图。

图1B是图1A所示的塞子主体的俯视图。

图1C是图1A所示的塞子主体用的专用扳手的俯视图。

图2A是表示安装有图1所示的内袋复合容器用分配装置的内袋复合容器的示图，是用截面表示右侧一半的示图。

图2B是图2A所示的内袋复合容器的俯视图。

图2C是图2A所示的内袋复合容器中的流体出入口部(图2A内为A部)的放大图。

图3是表示图1A所示的分配装置中对容器内加压时的内袋复合容器的示图。

图4是表示也可设在图1A所示的分配装置所具有的排出管上的长度调节部的一例子的示图。

图5是用于说明图4所示的长度调节部的动作的示图。

图6是表示对图2A所示的内袋复合容器加压时的底板及顶板的总计变形量的变化的曲线图。

图7是图2A所示的内袋复合容器的变形例即安装有手环的形态的示图。

图8A是图2A所示的内袋复合容器的变形例中的内袋复合容器的顶板的俯视图。

图8B是图8A所示的内袋复合容器的剖视图。

图8C是表示图8A所示的内袋复合容器中的内侧容器的示图，图8C中的(a)是表示内侧容器的俯视图，(b)表示是剖视图。

图9A是在将图1A所示的分配装置安装在图8A所示的内袋复合容器上的加压前的状态下，对排出管的状态进行说明的示图。

图9B是在将图1A所示的分配装置安装在图8A所示的内袋复合容器上的加压过程中的状态下，对排出管的状态进行说明的示图。

图10是表示以往的内袋复合容器的示图。

符号说明

100、105…内袋复合容器，101…中心轴，102…间隙，103…支承部件，110、110-2…内侧容器，111…出入口部，113…残留液体用凹部，115…止转部，120、120-2…外侧容器，121…壳体，122…底板，123、123-2…顶板，126…卡合部，200…分配装置，201…塞子主体，201h…头部，250…排出管。

具体实施方式

现参照说明书附图，来说明本发明实施形态的内袋复合容器用分配装置，以及该分配装置的制造方法。另外，在各图中，对于相同或同样的结构部分标上相同符号。另外，在下面的各实施形态中，作为外侧容器，采用内容积约为18或约为20升的“提桶罐”的例子，然而并不限定于此。即，作为外侧容器，可使用将标称容量为10～60升程度的，例如内容积是10、40、60升程度的内侧容器予以收纳的钢制的容器。这里，也可使用提桶罐作为钢制容器。

首先，对本实施形态的内袋复合容器用分配装置所使用的内袋复合容器进行说明。

图2A表示本实施形态的内袋复合容器100。该内袋复合容器100的基本结构是，具有内侧容器110和外侧容器120。这里，外侧容器120使用罐用钢材，作为一例子形成为提桶罐，该钢制的提桶罐是通过将底板122卷边接缝在筒状的壳体121上而成形。该提桶罐是依据JIS Z 1620(1995年)所规定的“钢制桶”的提桶罐，其内容积约为20升。这里记载为“依据”根据如下理由。即，通常的提桶罐中，如图10所示那样，收纳物用的出入口配置在离开顶板中央的周缘部上。与此相对，外侧容器120的顶板123如图2A及图2B(有时也将两图统称作为图2)所示，在通过内袋复合容器100的直径中心的的中心轴101上，即顶板中央具有开口123a。这一点，外侧容器120与通常的提桶罐不同。另外，开口123a如下说明那样是用于使内侧容器110的出入口部突出用的开口。

另外，在壳体121的外表面上的直径位置互相相对的二个部位，如图2A所示，分别焊接把手124用的耳部124a。如此，通过设置把手124，从而容易进行内袋复合容器100的搬运。在图2A中，作为把手124，图示了将“提梁”架设在两方耳部124a上的型式，但也可是如图7所示那样，在壳体121的直径位置的二个部位分别安装有大致环状的例如字形握把的“手环”型式。

另外，在图2A中，图示了外侧容器120的壳体121上带有锥形的(锥形提桶)的形态，但壳体121也可是直线形的“直线形提桶”。此外，在图2A中，对于顶板123，图示了可与壳体121装拆的“带型”(日语：バンドタイプ)的形态，但并不限定于此，可同样采用可装拆的“凸耳型”(日语：ラグタイプ)或顶板固定在壳体121上的“卷边接缝型”的任何形态。另外，这些各提桶罐形态由上述JIS规定。另外，当然也可使用将这些形态适当组合而成的提桶罐。

内侧容器110是收纳流体的袋形状，是具有流体出入口部111的树脂制的容器。这里，出入口部111如上所述，与顶板123的开口123a对应地配置在中心轴101上即内侧容器110的顶面114的中央。另外，出入口部111的外周成形有外螺纹。

此外，内侧容器110如图2A所示，在中心轴101上，出入口部111的正下方具有从内侧容器110的底面112向外侧突出的残留液体用凹部113。该残留液体用凹部113是将收纳在内侧容器110内的流体的接近排出结束时的残留液体予以收集贮存的杯状凹部。在本实施形态中，作为一例子，残留液体用凹部113是直径约为50～60mm，深度为15mm程度的大小，当然，其形状、尺寸并不限于此，可根据所需的残留液体量来确定。另外，在本实施形态中，作为残留液体用凹部113的容积，以小于100cc，例如50cc至30cc程度为目标。

另外，上述的残留液体用凹部113的形状、尺寸和目标残留液体量，无论内侧容器110的内容积如何都可适用。

具有这种结构的内侧容器110由高密度聚乙烯树脂制成且吹塑成形为袋状，其容量约是20升，顶面114的出入口部111以及底面112的残留液体用凹部113也与主体部形成为一体。另外，出入口部111也可不是与主体部一体成形，而另外成型并用熔敷等方式安装在主体部上。

成形后的内侧容器110被收纳在外侧容器120内，且通过外侧容器120的顶板123的开口123a而使内侧容器110的出入口部111突出到容器外侧。另外，为了不使突出的出入口部111陷没在容器内，也可利用出入口部111的外螺纹或使用另外成形的卡合部而使挡环旋合。另外，如图2C所示，在出入口部111的外螺纹上，旋合将内侧容器110封闭的盖子118。

另一方面，内侧容器110由于具有从其底面112突出的残留液体用凹部113，因此，如图2A所示，底面112与底板122之间产生间隙102。于是，可采用如下支承构造：当将流体收纳在内侧容器110内时，用于从流体的荷载支承底面112并维持残留液体用凹部113形状及功能。作为该支承构造，例如可在间隙102设置环形的支承部件103，支承部件103的高度相当于残留液体用凹部113的高度。或者，也可是这样的形态：代替设置支承部件103，而另外在内侧容器110的底面112成形与底面112一体的向间隙102突出的脚。总之，支承构造只要是根据所收纳的流体的荷载，防止损害残留液体用凹部113形状及功能的形态即可。

对于上述的内袋复合容器100，也可采用如下那样的变形例。对于该变形例的内袋复合容器，参照图8A至图8C来说明。

图8A至图8C所示的内袋复合容器105中的基本结构，是与上述内袋复合容器100的结构相同，具有内侧容器110-2和外侧容器120-2。这里，内侧容器110-2相当于内袋复合容器100的内侧容器110，外侧容器120-2相当于内袋复合容器100的外侧容器120。下面，仅说明内袋复合容器105中与内袋复合容器100不同的部分，对于相同或同样的结构部分，可适用上面已说明的内容，此处省略说明。

外侧容器120-2中的不同点在于相当于上述顶板123的顶板123-2，该顶板123-2如图8A及图8B所示，具有把手125及卡合部126。

把手125是大致环状的例如字状的握把，在顶板123-2的直径方向位置隔着开口123a而在顶板123-2的外表面123c上安装二个。

卡合部126在本变形例中，是以开口123a为中心使外表面123c凹陷形成的大致正方形，作为一例子，是深度为13mm左右的方形的凹部。开口123a位于该卡合部126的底面中央部，从卡合部126的底面至顶板123-2形成有立起壁126a。

这种卡合部126，与下面说明的内侧容器110-2的止转部115卡合，防止外侧容器120-2内的内侧容器110-2旋转。另外，与平板状的顶板123相比通过仅设置卡合部126，也可起到作为防止顶板123-2变形用的加强部的作用。

另外，上述的卡合部126的形状、大小及设置位置是一例子，并不对上述进行限制。总之，卡合部126只要是能防止内侧容器110-2在外侧容器120-2内旋转的形态即可。

下面，内侧容器110-2中的不同点是，内侧容器110-2的顶面114-2具有止转部115。

止转部115在本例中如图8C所示，是在内侧容器110-2的顶面114-2上在内侧容器110-2的直径方向上形成的，作为一例子其深度为10～12mm程度的槽状的凹部。在该凹状止转部115的底面形成有内侧容器110-2的出入口部111。

这种止转部115与上述的顶板123-2的卡合部126嵌合，防止内侧容器110-2与卡合部126联动而在外侧容器120-2内以中心轴101为中心进行旋转。详细地说，通过槽状的止转部115的侧壁115a与卡合部126的立起壁126a抵接，从而防止内侧容器110-2旋转。另外，内侧容器110-2在外侧容器120-2内的的旋转，例如，有可能产生在将盖子118旋合于内侧容器110-2的出入口部111时。

这种止转部115的形状、大小及设置位置是一例子，对上述并不限定。总之，止转部115只要是具有与顶板123-2中的卡合部126形态对应的形态即可。例如，卡合部126及止转部115只要都是凹状或凸状地互相卡合即可，另外，在卡合部126例如是凹形状或凸形状的场合，止转部115也可是设在内侧容器的顶面一部分上的凸形状或凹形状，以使得止转部115能够与卡合部126卡合从而防止内侧容器的旋转。

另外，在内侧容器110-2中，也在内侧容器110的底面112具有相当于上述的残留液体用凹部113的残留液体用凹部113-2。但是该残留液体用凹部113-2与残留液体用凹部113相比，如图8C所示，具有倾斜的立起部113b。这是根据内侧容器110-2的成型上的理由形成的。另外，残留液体用凹部113-2中的内容量设定成与残留液体用凹部113的场合大致相同。

在以上说明的内袋复合容器105中，由于具有残留液体用凹部113-2，因此，与内袋复合容器100的场合相同，与以往相比可减少内侧容器110-2内的残留液体量，且残留液体量的偏差也可减少。此外，在内袋复合容器105中，通过设置卡合部126及止转部115，从而可防止内侧容器110-2在外侧容器120-2内的旋转。

下面，对具有以上说明那样的结构的内袋复合容器100、105用的本实施形态的内袋复合容器用分配装置进行说明。

本实施形态的内袋复合容器用分配装置，设于上述那样构成的内袋复合容器100或内袋复合容器105，或可安装在上述那样构成的内袋复合容器100或内袋复合容器105上，是可将所收纳的药液等流体从该内袋复合容器100、105排出的分配装置。下面对安装型的分配装置进行说明。但也可是固定在容器的出入口部111上的型式。另外，下面主要采用内袋复合容器100为例进行说明。

如图1A所示，本实施形态的分配装置200是加压方式的分配器机构，基本具有：圆筒状的塞子主体201；将加压后的惰性气体供给到内侧容器110内的气体供给装置202；以及排出管250。另外，塞子主体201及气体供给装置202相当于气体供给机构的一例子。

塞子主体201是将上述的盖子118卸下后安装在出入口部111上的例如树脂制的塞子，包括：耦合环201r；塞子壳201s；以及密封环2012。耦合环201r是圆筒形状的部件，一端开口成圆形，在该开口的内周面形成有内螺纹，该内螺纹与形成于出入口部111的盖子用的外螺纹卡合。于是，塞子主体201的耦合环201r可与出入口部111的外螺纹旋合。

另外，在使塞子主体201的内螺纹与出入口部111的外螺纹旋合后，为了将塞子主体201以紧密的封闭状态地安装于内袋复合容器100、105，在塞子主体201的耦合环201r的另一端具有扳手卡合用形状的头部201h，头部201h与塞子主体201一体成型。作为扳手卡合用形状，在本实施形态中是如图1B所示那样俯视时为大致正方形形状。当然，扳手卡合用形状不限于正方形形状，例如也可是六角形等。具有这种头部201h的塞子主体201，通过例如使图1C所示的专用扳手290与扳手卡合用形状卡合并进行旋转，从而可紧密地安装于内袋复合容器100、105的出入口部111。

另外，耦合环201r的头部201h也如图1B所示那样具有圆形的开口，在该开口嵌入相对于耦合环201r可旋转的塞子壳201s。即，塞子壳201s是形成凸缘的圆板状的部件，所述凸缘从耦合环201r的一端侧的开口插入且与耦合环201r抵接，并嵌入于耦合环201r的头部201h的开口。另外，在耦合环201r上安装有密封环2012，且如上所述，通过将耦合环201r与出入口部111的外螺纹旋合，从而密封环2012将出入口部111的口部予以密封，且塞子壳201s的所述凸缘被夹在密封环2012与耦合环201r之间。由此，密封环2012也将耦合环201r与塞子壳201s之间边界的通气予以封止。如上所述，通过在具有大致四方形的卡合形状的头部201h上啮合专用扳手290并用专用扳手290使头部201h旋转，则相比于作业者仅用手转动进行旋入安装的场合，密封性得到显著提高。

在所述塞子壳201s上旋入有：装拆自如地固定排出管250的另一端的合成树脂制的第1连接件203；以及连接气体供给装置202用的第2连接件204。

第1连接件203，能够利用市售的直线型保持架，相对于塞子主体201将排出管250保持成使排出管250沿其轴向可滑动，且通过拧紧螺母而可固定。另外，在排出管250的管径与用户侧的管径不一致的场合，也可在第1连接件203的下级安装异径接头270。

这里，排出管250是可挠性的耐药液性的树脂制，例如由特氟龙(注册商标)成形，位于其一端即顶端的吸液口251具有位于残留液体用凹部113内的程度的长度。如上所述，由于排出管250使用第1连接件203而可滑动，因此，吸液口251可进行长度调整以位于残留液体用凹部113的底部近旁。另外，对于排出管250的详细结构如后述。

如上所述，在内袋复合容器100中，由于在同一中心轴101上配置有出入口部111和残留液体用凹部113，因此，当耦合环201r与出入口部111的外螺纹旋合时，排出管250仅直线状下降到下方，且吸液口251配置在残留液体用凹部113内。如此，根据内袋复合容器100，就能容易而可靠地将排出管250的吸液口251配置在残留液体用凹部113内。进一步，由于残留液体用凹部113不变形，因此，其容积是设计的恒定值。于是，内侧容器110内的残留液体量和以往相比可减少，且残留液体量的偏差也可减少。

第2连接件204是L字形(肘形)的合成树脂制的连接件，第2连接件204与塞子主体201的耦合环201r中的开口2013连接，可使用市售的肘形快速接头。

通过将与气体供给装置202连接的软管连接到第2连接件204，从而气体供给装置202可将加压后的惰性气体例如氮气供给到内侧容器110的内部。

通过使用如上所述那样构成的分配装置200，从而内侧容器110的内部由气体供给装置202加压到例如约80Kpa至约150Kpa程度的范围，可将收纳于内侧容器110的药液等流体通过排出管250而挤出、排出到容器外部。另外，上述约80Kpa至约150Kpa程度的范围相当于流体排出用加压范围。另外，用户侧主要使用的加压范围是约80Kpa至约120Kpa程度。

如上所述，为排出流体，内侧容器110内被加压，由此如图3所示，内侧容器110的底面112及顶面114就沿中心轴101方向向容器外侧鼓出。随此，外侧容器120的底板122及顶板123也被推压而可同样地鼓出。

即，在底板122及顶板123的各自中央部，底板122及顶板123，具有因上述约80Kpa至约150Kpa程度的上述流体排出用加压而分别向容器外侧10数毫米左右的位移量，即具有底板122及顶板123直径的约3～5％程度的变形量。图6表示当对内袋复合容器100、105的内侧容器110内进行加压时底板122及顶板123的总计位移量(鼓出量)。另外，在本实施形态中，外侧容器120的底板122的板厚是0.5mm，顶板123的板厚是0.6mm。

如此，通过内侧容器110的底面112及顶面114，以及底板122及顶板123鼓出变形，从而在流体排出结束之际，可使存在于内侧容器110底面112的流体流入残留液体用凹部113侧。于是，可进一步有利于减少残留液体量。另外，由于如上所述使用专用扳手290将塞子主体201安装到内袋复合容器100、105的出入口部111，因此，不会从出入口部111泄漏气体，也不会产生液体流出的不良后果。

另一方面，通过底板122及顶板123分别鼓出，从而如上述那样，使用第1连接件203而调整长度后的排出管250的吸液口251的位置与残留液体用凹部113底部之间的距离就变大。为了吸收这种距离变动，在排出管250的顶端配置在残留液体用凹部113内后，在加压前的状态下预先使排出管250稍许弯曲。通过采用这种弯曲形态，从而无需对排出管250附加其它部件或机构就可吸收上述的距离变动。尤其，在不允许异物混入容器内收纳物中的用户中，由于讨厌排出管以外的物质浸渍在收纳物内，因此，上述的弯曲形态是有效的方法。

另一方面，在不要求那么严格的使用形态的场合，排出管250也可不弯曲，而例如图4所示那样，在排出管250的顶端部安装有根据底板及顶板的变形而可向排出管250的轴向伸缩的长度调整部260。通过设置长度调整部260，从而如图5所示，通过使长度调整部260的顶端与残留液体用凹部113的底部接触，则即使如双点划线所示那样内侧容器110鼓出时，也可维持长度调整部260的顶端与残留液体用凹部113的底部接触的状态。因此，即使是设有长度调整部260的场合，与以往相比也能可靠地减少残留液体量，且其偏差也可减少。另外，长度调整部260不限于所说明的那样，当然只要是具有根据底板122及顶板123的变形而调整排出管250长度的功能的形态即可。

下面，以图8A至图8C所示的内袋复合容器105为例而详细说明上述的排出管250。当然，下面的说明内容也适用于上述的内袋复合容器100的排出管250。

图9A及图9B表示内侧容器110-2内的液体排出前及排出过程中的排出管250的形状。

排出管250如上所述，是可挠性的耐药液性的例如特氟龙(注册商标)的树脂制，例如是PFA(四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物)制，通过挤压成型方式成型为直线状，是无卷绕特性的，所谓直管型的管子。这种排出管250具有可挠性，同时，还具有恢复到原形的直线状的复原性。另外，作为一例子，本例中的排出管250外径为10mm，壁厚为1mm。通过使用这种尺寸的直管型的管子，即使是相同壁厚的管子，若与例如管径为φ8mm的管子相比，则可使其截面系数即管子的刚性提高约1.7倍。其结果，即使在对内袋复合容器100、105的内侧容器110内进行加压的状态下，也可维持排出管250的姿势，可使排出管250顶端位于残留液体用凹部113-2内。即，相对于内袋复合容器100、105的变形的排出管250向残留液体用凹部113的追随性提高，可大幅度减少容器内的残留液体量。其结果，例如加压成100Kpa场合的残留液体量实现上述的目标残留液体量约成为40cc。

这样的排出管250如图9A所示，在内侧容器110-2内的液体排出前，即在内侧容器110-2内被加压前，调节长度以成为稍许弯曲的状态地设置于内袋复合容器105。对于加压范围为上述约80Kpa至约120Kpa场合的排出管250的长度，现以一例子进行说明。在加压前的内袋复合容器105中，在将安装在内侧容器110-2出入口部111上的排出管250直线状地配置至残留液体用凹部113-2底面时的长度设为L1的场合，在该长度L1的基础上作为一例子例如加上20mm后的长度L2被设定为排出管250的长度。当排出管250具有长度L2时，则在加压前的内袋复合容器105中，排出管250如图9A所示那样成为稍许弯曲的状态。

这里，作为确定排出管250的长度L2的方法，可用图6所示那样的曲线图来设定与加压压力对应的长度L2。对于该确定方法的详细情况如后述。

接着，如图9B所示，在内侧容器110-2内的液体排出过程中，即内侧容器110-2内在上述流体排出用加压范围内进行加压的过程中，如已说明的那样，内侧容器110-2的底面112及顶面114-2，以及外侧容器120-2的底板122及顶板123-2产生鼓出变形，内袋复合容器105的轴向长度延伸。如此，通过内袋复合容器105向轴向变长，从而具有长度L2并挠曲的排出管250，其挠曲因复原力而消失且恢复到原形的直线状。在该恢复状态下，位于排出管250顶端的吸液口251就位于残留液体用凹部113-2内，且非接触即接近地位于残留液体用凹部113-2的底面。

即，排出管250的长度L2，可以说是当内侧容器内在上述的流体排出用加压范围被加压时，排出管250顶端的吸液口251位于内侧容器的残留液体用凹部内，且非接触即接近地位于残留液体用凹部112-2底面那样的长度。

另外，作为被收纳在内侧容器110、110-2内的上述流体的一例子，是包括收纳时也被要求高清洁度地进行处理的药液，例如，相当于半导体领域及液晶领域中至少一方所使用的药液。如上所述，作为半导体领域中的药液，例如是CMP浆料、光致抗蚀剂、显影液、蚀刻液和清洗液等，在液晶领域中，是光致抗蚀剂、彩色抗蚀剂和滤色器材料等。

另外，如本标题“具体实施方式”开头所记载的那样，可使用各种内容量的外侧容器120，但在上述的实施形态中说明的内容，对于使用了各种外侧容器120的场合也包含底板122及顶板123的变形量，同样可适用。

接着，作为本发明的第2实施形态，可例举上述的内袋复合容器用分配装置200的制造方法。

如上所述，在内袋复合容器用分配装置200中，对容器内加压从而进行收纳液体的排出，随此加压，内袋复合容器100、105也变形。并且，与该变形量对应地适当设定内袋复合容器用分配装置200中的排出管250的长度，这对容器内残留液体量的减少有较大影响。

因此，在第2实施形态中的上述制造方法中，进行下面动作而获得残留液体量的减少。这里，作为一例子以采用内袋复合容器105为例子进行说明。

即，如已说明的那样，首先，在加压前的内袋复合容器105中，求出当将安装在内侧容器110-2的出入口部111上的排出管250直线状地配置至残留液体用凹部113-2底面时的基本长度L1。接着，例如如图6所示那样，以预先求出的加压压力和容器变形量之间的关系为基础，求出与容器的加压压力对应的底板122及顶板123-2的总计变形量。并且，将所求出的总计变形量加上基本长度L1而确定排出管250的设定长度L2。

如此，通过确定当将内袋复合容器用分配装置200安装在出入口部111上时的排出管250的设定长度L2，从而在收纳液体排出时的容器加压状态下，排出管250的吸液口251可从出入口部111设置至残留液体用凹部113-2内，且可延伸至与残留液体用凹部113-2底面非接触即接近的位置。因此，可将残留液体用凹部113-2中的收纳液体的残留液体量作成最小限度。

另外，在本发明中可采用如下那样的方式。

作为第3方式的内袋复合容器用分配装置，是在所述第1方式的内袋复合容器用分配装置中，所述底板及所述顶板分别具有因向该内袋复合容器内的流体排出用加压而向容器外侧变形底板及顶板直径的基本3～5％的变形量，在所述底板及所述顶板以该变形量进行变形后的状态下，所述排出管也可具有从内侧容器的所述出入口部直线状地延伸至所述残留液体用凹部的长度。

另外，在第4方式中，是在所述第1方式的内袋复合容器用分配装置中还具有塞子主体，该塞子主体旋合安装于从所述开口突出的所述出入口部，该塞子主体对所述排出管及所述气体供给机构进行保持，该塞子主体也可具有与该塞子主体一体成型且卡合专用扳手的头部，由所述专用扳手带动所述头部旋转从而将该塞子主体紧固在所述出入口部。

另外，第5方式是，在所述第1、3、4方式中任一内袋复合容器用分配装置中，所述外侧容器的所述顶板也可具有卡合部，所述内侧容器在该内侧容器的顶面具有止转部，该止转部与所述卡合部嵌合，防止内侧容器以所述中心轴为中心在外侧容器内旋转。

本发明可适用于对收纳在将树脂制的内侧容器设在钢制的外侧容器内的内袋复合容器中的收纳流体进行分配的内袋复合容器用分配装置，以及该分配装置的制造方法。

Claims (5)

1.一种内袋复合容器用分配装置，是安装于内袋复合容器的内袋复合容器用分配装置，其特征在于，

所述内袋复合容器，由标称容量为10～60升的提桶罐形成，具有：

树脂制的内侧容器，该内侧容器是收纳流体的袋形状且具有所述流体的出入口部；以及外侧容器，该外侧容器由收纳所述内侧容器的钢制容器形成，将底板卷边接缝于筒状的壳体而成形该钢制容器，且顶板与所述底板相对地安装于所述壳体，所述顶板形成有可使所述出入口部突出的开口，

所述内侧容器的所述出入口部以及所述外侧容器的所述开口位于通过该内袋复合容器的直径的中心的中心轴上，

在所述中心轴上的所述出入口部的正下方，所述内侧容器具有从该内侧容器的底面向外侧突出地成形并收集贮存残留液体的残留液体用凹部，

该内袋复合容器用分配装置具有：

树脂制的排出管，该排出管是可安装于从所述外侧容器的开口突出的所述内侧容器的出入口部的管子，该排出管的顶端位于内侧容器的所述残留液体用凹部内，从而将收纳于内侧容器的流体引导到容器外部；以及

气体供给机构，该气体供给机构可安装于从所述开口突出的所述出入口部，该气体供给机构将气体供给到内袋复合容器内，从而使收纳在所述内侧容器内的流体通过所述排出管排出到容器外部，

所述排出管具有可挠性及形状复原性，在由所述气体供给机构对容器内进行加压前，所述排出管利用可挠性而挠曲，另一方面，在由所述气体供给机构对容器内进行加压，从而底板及顶板向内袋复合容器外侧变形的状态下，所述排出管具有利用形状复原性而从内侧容器的所述出入口部直线状地延伸到所述残留液体用凹部的长度，此外，所述排出管的外径为φ10mm，所述排出管的壁厚为1mm。

2.如权利要求1所述的内袋复合容器用分配装置，其特征在于，所述底板及所述顶板分别具有底板及顶板的直径的基本3～5％的变形量，该变形量因向该内袋复合容器内的流体排出用加压以使底板及顶板向容器外侧变形而产生，在所述底板及所述顶板以该变形量进行变形后的状态下，所述排出管具有从内侧容器的所述出入口部直线状地延伸至所述残留液体用凹部的长度。

3.如权利要求1所述的内袋复合容器用分配装置，其特征在于，还具有塞子主体，该塞子主体旋合安装于从所述开口突出的所述出入口部，该塞子主体对所述排出管及所述气体供给机构进行保持，该塞子主体具有与该塞子主体一体成型且卡合专用扳手的头部，由所述专用扳手带动所述头部旋转从而将该塞子主体紧固在所述出入口部。

4.如权利要求1至3中任一项所述的内袋复合容器用分配装置，其特征在于，

所述外侧容器的所述顶板具有卡合部，

所述内侧容器在该内侧容器的顶面具有止转部，该止转部与所述卡合部嵌合，防止内侧容器以所述中心轴为中心在外侧容器内旋转。

5.一种如权利要求1所述的内袋复合容器用分配装置的制造方法，其特征在于，具有如下工序：

在由气体供给机构对容器内进行加压前的内袋复合容器中，求出将安装于内侧容器的出入口部的排出管直线状地配置至残留液体用凹部的底面时的基本长度的工序；

以加压压力与容器变形量的关系为基础，求出与容器的加压压力对应的底板及顶板的总计变形量的工序；以及

将所求出的总计变形量加上所述基本长度确定所述排出管的设定长度的工序。