TW201527184A - 內袋複合容器用分配裝置及其製造方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種內袋複合容器用分配裝置及其製造方法，與習知相比，是一種安裝於可減低殘液量及其不穩定的內袋複合容器，又，可進行該內袋複合容器內之收納流體之分配的內袋複合容器用分配裝置。內袋複合容器是在鋼製之容器內收納了樹脂製內側容器之容器。內側容器之出入口部位於內袋複合容器之中心軸上，又，內側容器在中心軸上且為出入口部正下方，具有收集殘液並儲存的殘液用凹部。分配裝置具有排出管與氣體供給機構，排出管會具有在容器內加壓時，從內側容器之出入口部到殘液用凹部延伸成直線狀存在的長度。

Description

內袋複合容器用分配裝置及其製造方法 發明領域

本發明是有關於一種內袋複合容器用分配裝置及其製造方法，其是在鋼製之外側容器內進行設置了樹脂製之內側容器的內袋複合容器所收納之收納流體的分配。

發明背景

例如用以收納食品及藥品之鋼製容器中，為了防止因上述食品及藥品直接地與鋼製容器內面接觸的腐蝕等的產生，便採取將收納上述食品及藥品之樹脂製的內側容器加以收納於鋼製之外側容器內，且為圖10所示之內袋複合容器10的形態。

該內袋複合容器10中，內側容器1中，本體部1a用聚乙烯製以袋狀來形成，在該上部將用以使充填物出入之出入口1b與容器本體部一體地形成。又，出入口1b之外周面成形為陽螺紋形狀。

另一方面，內袋複合容器10之外側容器2中，圓 筒狀之鋼板而成之主體2a、與鋼板而成之底板2b會捲箍地來形成收納部。

且，在上述收納部內，填裝上述內側容器1之後，在從形成於鋼板製之頂板2c的開口使上述出入口1b突出的狀態下，使主體2a與頂板2c捲箍，在鋼製之外側容器2內來製作收納樹脂製之內側容器1的內袋複合容器10。對上述內袋複合容器10注入充填物之後，從頂板2c突出之出入口1b螺合有帽蓋3，以圖謀充填物的密閉。

作為上述藥液之範例，例如半導體領域中，例如為CMP研磨液、光抗蝕劑、顯影液、蝕刻液、洗浄液等，液晶領域中，則為光抗蝕劑、顏色抗蝕劑、色彩濾波器材料等。又，這些藥液中亦有需要遮光之物，鋼製成之外側容器2具有遮光性，故，以此點來說對內袋複合容器10之使用亦相當有利。

處理半導體領域等之藥液時，對內側容器1是理所當然，且對於內袋複合容器10會要求很高的清潔度。進而面對藥液之排出，亦要求很高之清潔性，作為排出方法，會採用以下方法，其是取下上述帽蓋3地安裝，且使用具有排出用管的分配器排出。在此，會有用幫浦將藥液吸起之抽取方式，或是，藉由對罐內注入氮氣等來加壓將藥液押出的加壓方式。

先行技術文獻 專利文獻

[專利文獻1]日本特開2007-45429號公報

發明概要

如上所述，作為半導體領域等所使用之藥液用內袋複合容器，廣泛地利用該內容量為20公升，所謂的提筒罐。又如上所述，從高清潔度要求來看，半導體領域等所使用之藥液會用分配器以加壓方式來排出，但當提筒罐內之殘液量變少時，藥液就會與加壓氣體一起排出，所謂的起泡之現象便會產生。包含上述氣泡之藥液因會招致最終製品之缺陷，因此在起泡產生之前就會中止排出藥液。理所當然地，從上述高清潔度要求來看，例如取下分配器，使內袋複合容器之出入口為下方地來進行殘液排出等並不是絕對禁止的情形。

另一方面，半導體領域等所使用之藥液例如可說是1萬日圓/公升的程度，非常地昂貴，從成本面來看，必須盡可能減低內袋複合容器內之殘液量。

本發明是為了解決上述課題而成者，目的在於提供一種內袋複合容器用分配裝置及其製造方法，其是在外側容器內收納了樹脂製之內側容器之內袋複合容器，與習知相比可減低殘液量，且安裝於亦可減低該量之不穩定的內袋複合容器，進行該內袋複合容器之收納流體的分配。

為了達成上述目的，本發明如以下地構成。

即，本發明之第1態樣之內袋複合容器用分配裝置是安 裝於內袋複合容器，上述內袋複合容器是由公稱容量從10到60公升之提筒罐所形成，並具有：樹脂製之內側容器，為收納流體之袋狀且具有上述流體之出入口部；與外側容器，事由在筒狀主體將底板捲箍而成形且收納上述內側容器的鋼製容器所形成的外側容器，並且上述出入口部形成可突出之開口的頂板會與上述底板相對向地安裝於上述主體，上述內側容器之上述出入口部、及上述外側容器之上述開口位於通過該內袋複合容器之直徑中心的中心軸上，上述內側容器在上述中心軸上且在上述出入口部的正下方，具有從該內側容器之底面朝外側突出而成形並收集殘液且儲存的殘液用凹部，且，該內袋複合容器用分配裝置具有：樹脂製的排出管，是可安裝於從上述外側容器之開口突出之上述內側容器的出入口部的管，其前端位於內側容器之上述殘液用凹部內，並將收納於內側容器之流體導往容器外部；及氣體供給機構，可安裝於從上述開口突出之上述出入口部，且朝內袋複合容器內供給氣體並透過上述排出管，使收納於上述內側容器內之流體朝容器外部排出；又，上述排出管具有可撓性及形狀復元性，在上述氣體供給機構之容器內加壓前，利用可撓性來撓曲，另一方面，具有在藉由上述氣體供給機構之容器內加壓，而底板 及頂板往內袋複合容器外側變形之狀態下，可藉由形狀復元性，而從內側容器之上述出入口部到上述殘液用凹部延伸成直線狀存在的長度，進而為外徑φ10mm、厚度1mm之管。

又，本發明之第2態樣之內袋複合容器用分配裝置的製造方法是第1態樣所記載之內袋複合容器用分配裝置的製造方法，其特徵在於包含以下步驟：求取在氣體供給機構之容器內加壓前的內袋複合容器中，將安裝於內側容器之出入口部的排出管配置成直線狀到殘液用凹部之底面時之基本長度的步驟；以加壓壓力與容器變形量之關係為基礎，求取與容器之加壓壓力對應之底板及頂板之合計變形量的步驟；將求得之合計變形量加上上述基本長度，來決定上述排出管之設定長度的步驟。

安裝本發明之第1態樣之內袋複合容器用分配裝置的內袋複合容器會將收納之流體出入口部配置於內側容器的中心軸上，且在內側容器之底面且為上述出入口部之正下方，於中心軸上設置殘液用凹部。在具有上述構成之內袋複合容器，安裝上述內袋複合容器用分配裝置，並將流體從內側容器內排出時，接近排出結束之殘液會被收集於殘液用凹部內，從殘液用凹部內透過排出管，朝容器外來排出。因此，從內側容器內之殘液量依據殘液用凹部之容積的情形看來，與習知相比便可減低，且亦可使殘液量 的不穩定減低。又，在內側容器中，由出入口部與殘液用凹部均位於容器中心軸上來看，便可將安裝於出入口部之排出管的前端常時配置於殘液用凹部內。此點亦與減低殘液量之不穩定有所關連。

進而，從排出管使用φ10mm、厚度1mm者來看，會具有充分的剛性。因此藉由容器內加壓，即使在內袋複合容器變形之狀態下，亦可將其之前端配置於殘液用凹部內。其之結果，與習知相比，可減低內側容器內之殘液量，且，亦可減低殘液量之不穩定。

又根據本發明之第2態樣之內袋複合容器用分配裝置之製造方法，從決定排出管之設定長度的情形看來，在收納液排出時之容器加壓狀態下，排出管在殘液用凹部內可使該吸液口確實地定位。因此，可使殘液用凹部之收納液的殘液量為最小限度。

1‧‧‧內側容器

1a‧‧‧本體部

1b‧‧‧出入口

2‧‧‧外側容器

2a‧‧‧主體

2b‧‧‧底板

2c‧‧‧頂板

3‧‧‧帽蓋

10‧‧‧內袋複合容器

100、105‧‧‧內袋複合容器

101‧‧‧中心軸

102‧‧‧間隙

103‧‧‧支持構件

110、110-2‧‧‧內側容器

111‧‧‧出入口部

112‧‧‧底面

113‧‧‧殘液用凹部

113b‧‧‧具有傾斜之豎立部

114‧‧‧頂面

115‧‧‧旋轉停止部

115a‧‧‧側壁

118‧‧‧帽蓋

120、120-2‧‧‧外側容器

121‧‧‧主體

122‧‧‧底板

123a‧‧‧開口

123c‧‧‧外面

124、125‧‧‧把手

124a‧‧‧掛耳

123、123-2‧‧‧頂板

126‧‧‧卡合部

126a‧‧‧豎立壁

200‧‧‧分配裝置

201‧‧‧栓塞本體

201h‧‧‧頭部

201r‧‧‧連結圈

201s‧‧‧栓塞殼

202‧‧‧氣體供給裝置

203‧‧‧第1接點

204‧‧‧第2接點

250‧‧‧排出管

251‧‧‧吸液口

260‧‧‧長度調整部

270‧‧‧異徑管接頭

290‧‧‧專用扳手

2012‧‧‧密封環

2013‧‧‧開口

L1、L2‧‧‧長度

[圖1A]是顯示本發明之實施形態之內袋複合容器用分配裝置概略構成的圖。

[圖1B]是圖1A所示之栓塞本體的平面圖。

[圖1C]是圖1A所示之栓塞本體用之專用扳手的平面圖。

[圖2A]是顯示圖1A所示之內袋複合容器用分配裝置所安裝之內袋複合容器的圖，並為以截面顯示右半側部分的圖。

[圖2B]是圖2A所示之內袋複合容器的平面圖。

[圖2C]是圖2A所示之內袋複合容器之流體出入口部(圖2A內、A部)的擴大圖。

[圖3]是圖1A所示之分配裝置中，顯示加壓容器內時之內袋複合容器的圖。

[圖4]是顯示可設置於圖1A所示之分配裝置之排出管之長度調節部之一例的圖。

[圖5]是用以說明圖4所示之長度調節部之動作的圖。

[圖6]是顯示將圖2A所示之內袋複合容器加壓時之底板及頂板之合計變位量的變化的圖表。

[圖7]是顯示圖2A所示之內袋複合容器之變形例且為安裝了手環之形態的圖。

[圖8A]是圖2A所示之內袋複合容器之變形例中，內袋複合容器之頂板的平面圖。

[圖8B]是圖8A所示之內袋複合容器的截面圖。

[圖8C]是顯示圖8A所示之內袋複合容器之內側容器的圖，分別顯示(a)是內側容器之平面圖，(b)是截面圖。

[圖9A]是說明在圖8A所示之內袋複合容器，安裝了圖1A所示之分配裝置之加壓前的狀態下，排出管之狀態的圖。

[圖9B]是說明在圖8A所示之內袋複合容器，安裝了圖1A所示之分配裝置之加壓中的狀態下，排出管之狀態的圖。

[圖10]是顯示習知之內袋複合容器的圖。

針對本發明之實施形態即內袋複合容器用的分配裝置、及該分配裝置之製造方法，參照圖並且在以下說 明。又，在各圖中，針對相同或同樣之構成部分，會賦予相同符號。又，以下之各實施形態中，作為外側容器，以內容積約18或約20公升之「提筒罐」為例地採用，但不限定於此。即，作為外側容器，內容積為公稱容量10~60公升左右，例如可使用收納10、40、60公升左右之內側容器之鋼製的容器。在此，作為鋼製容器可使用提筒罐。

首先，針對本實施形態之內袋複合容器用分配裝置所使用之內袋複合容器來進行說明。

圖2A中，顯示了本實施形態之內袋複合容器100。該內袋複合容器100作為基本的構成，具有內側容器110與外側容器120。在此，外側容器120是使用罐用鋼材，在筒狀之主體121將底板122捲箍地成形之鋼製之提筒罐作為一例來形成。該提筒罐是以JIS Z 1620(1995年)來規定之「鋼製提筒」為準據的提筒罐，該內容積約20公升。在此記載為「準據」者是根據以下理由。即，通常之提筒罐中，如圖10所示，收納物用之出入口配置於從頂板之中央偏移的周緣部。相對於此，外側容器120之頂板123如圖2A及圖2B(亦有將兩圖合稱記為圖2之情形。)所示，在通過內袋複合容器100之直徑之中心的中心軸101上，亦即是在頂板中央具有開口123a。此點上，外側容器120會與平常提筒罐不同。又開口123a如以下所說明，是用以使內側容器110之出入口部突出之開口。

又，如圖2A所示，主體121外面之直徑位置之彼此相對向的2處分別焊接有把手124用之掛耳124a。如上所 述，藉由設置把手124，內袋複合容器100之提運會變得容易。圖2A中，作為把手124，圖示在兩方之掛耳124a穿有「提把繩」的類型，但如圖7所示，主體121之直徑位置的2處亦可分別為大略環狀之例如ㄈ字形狀之已安裝把手的「手環」類型。

又，圖2A中，外側容器120顯示在主體121帶有錐形之「錐形提筒」之形態，但主體121亦可為筆直之「筆直提筒」。進而，圖2A中，顯示針對頂板123，可採取裝脫於主體121之「板狀類型」的形態，但不限於此，可採用同樣地可裝脫之「套板類型」，或是在主體121固定頂板之「捲箍類型」中任一形態。又，這些各種提筒罐形態由上述JIS來規定。又，理所當然地，亦可使用適宜地組合這些形態而成之提筒罐。

內側容器110是收納流體之袋形狀，並具有流體之出入口部111之樹脂製的容器。在此，出入口部111如上所述，與頂板123之開口123a對應，配置於中心軸101上，亦即是內側容器110之頂面114的中央。又，出入口部111之外周形成有陽螺紋。

進而如圖2A所示，內側容器110在中心軸101上且為出入口部111之正下方，具有從內側容器110之底面112朝外側突出之殘液用凹部113。該殘液用凹部113是在接近收納於內側容器110內之流體的排出結束時，收集殘液並儲存之杯狀的凹部。本實施形態中，殘液用凹部113作為一例，是約50~約60mm之直徑，深度為15mm左右之大小者， 但理所當然地，其之形狀、尺寸不限定於此，可根據期望之殘液量來決定。又，本實施形態中，作為殘液用凹部113之容積，未滿100cc，例如可從50cc到30cc左右當作目標。

又，上述殘液用凹部113之形狀、尺寸、目標殘液量不拘於內側容器110之內容積，均可適用。

具有上述構成之內側容器110是以高密度聚乙烯樹脂製且吹製成形成袋狀，其之容量約20公升，頂面114之出入口部111、及底面112之殘液用凹部113亦與本體部一體地形成。又，出入口部111亦可不是與本體部之一體成形，另外成型而焊接於本體部。

所成形之內側容器110收納於外側容器120內，並通過外側容器120之頂板123的開口123a，使內側容器110之出入口部111朝容器外側突出。又，已突出之出入口部111以朝容器內陷没的方式，利用出入口部111之陽螺紋，或是使用另外成形之卡合部，使停止輪螺合。又，如圖2C所示，出入口部111之陽螺紋螺合有密閉內側容器110之帽蓋118。

另一方面，內側容器110具有從其之底面112突出之殘液用凹部113，故，如圖2A所示，在底面112與底板122之間會有間隙102產生。因此，將流體收納於內側容器110內時，可採用能從流體之負重用以將底面112支持並維持殘液用凹部113之形狀及功能的支持構造。作為該支持構造，例如可在間隙102設置環狀且具有與殘液用凹部113相當之高度的支持構件103。或是，取代另外設置支持構件103，在內側容器110之底面112，使朝間隙102突出之腳為與底面 112一體成形之形態。種要的是，只要支持構造是可防止因收納之流體的負重損及殘液用凹部113之形狀及功能之態樣即可。

針對上述內袋複合容器100，亦可採用如以下之變形例。針對該變形例之內袋複合容器，參照圖8A到圖8C來說明。

圖8A到圖8C所示之內袋複合容器105之基本的構成與上述內袋複合容器100之構成相同，具有內側容器110-2與外側容器120-2。在此，內側容器110-2與內袋複合容器100之內側容器110相當，外側容器120-2與內袋複合容器100之外側容器120相當。以下，只針對內袋複合容器105之與內袋複合容器100不同部分來說明，針對相同或同樣之構成部分，可適用於上述已說明之內容，便省略在此之說明。

外側容器120-2之不同點是在與上述頂板123相當之頂板123-2，如圖8A及圖8B所示，該頂板123-2具有把手125及卡合部126。

把手125是大略環狀之例如ㄈ字形狀之把手，並在頂板123-2之直徑方向位置包夾開口123a且在頂板123-2之外面123c安裝2個。

在該變形例中，卡合部126是以開口123a為中心地使外面123c凹下並形成的略正方形狀，並作為一例，深度為13mm左右之盒狀的凹部。開口123a位於該卡合部126之底面中央部，從卡合部126之底面朝向頂板123-2之外面123c形成有豎立壁126a。

上述卡合部126會與以下所說明之內側容器110-2之旋轉停止部115卡合，並防止在外側容器120-2內之內側容器110-2的旋轉。又，單純與平板狀之頂板123相比，藉由設置卡合部126，亦可作為頂板123-2之變形防止用的補強部來作用。

又，上述卡合部126之形狀、大小、及設置位置為一例，並不限定於上述者。重要的是，只要卡合部126為可防止在外側容器120-2內之內側容器110-2之旋轉的形態即可。

接著，內側容器110-2之不同點是內側容器110-2之頂面114-2具有旋轉停止部115。

本例中如圖8C所示，旋轉停止部115是在內側容器110-2支頂面114-2橫跨內側容器110-2之直徑方向地形成，並作為一例，深度為10~12mm左右之溝狀的凹部。該凹狀之旋轉停止部115的底面形成有內側容器110-2的出入口部111。

上述旋轉停止部115與上述之頂板123-2的卡合部126嵌合，與卡合部126一同動作並在外側容器120-2內，防止內側容器110-2以中心軸101為中心地旋轉。詳言之，藉由溝狀之旋轉停止部115之側壁115a、與卡合部126之豎立壁126a抵接，來防止內側容器110-2之旋轉。又，例如在內側容器110-2之出入口部111螺合帽蓋118時，會有在外側容器120-2內之內側容器110-2的旋轉產生的可能性。

上述旋轉停止部115之形狀、大小、及設置位置 為一例，並不限定於上述者。重要的是，旋轉停止部115只要具有與頂板123-2之卡合部126之形態對應的形態即可。例如，只要卡合部126及旋轉停止部115均可用凹狀或是用凸狀彼此卡合即可，又，卡合部126例如為凹形狀或凸形狀時，旋轉停止部115可在內側容器之頂面的一部分設置的凸形狀或凹形狀而使其可與卡合部126卡合並防止內側容器的旋轉。

又，在內側容器110-2中，在內側容器110之底面112亦具有與上述殘液用凹部113相當的殘液用凹部113-2。但，該殘液用凹部113-2當與殘液用凹部113相比時，就如圖8C所示，具有傾斜之豎立部113b。這是因內側容器110-2之成型上的理由而成者。又，殘液用凹部113-2之內容量設定成與殘液用凹部113時之大略相同。

以上說明之內袋複合容器105中，亦具有殘液用凹部113-2，故，與內袋複合容器100時相同地，可使內側容器110-2內之殘液量與習知相比更加減低，且，亦可減低殘液量之不穩定。進而內袋複合容器105中，藉由設置了卡合部126及旋轉停止部115，可防止在外側容器120-2內之內側容器110-2的旋轉。

接著，針對具有如以上說明之構成的有內袋複合容器100、105用且為本實施形態之內袋複合容器用分配裝置來說明。

本實施形態之內袋複合容器用分配裝置是設置於如上所述所構成之內袋複合容器100、或是內袋複合容器105， 或，可安裝於如上所述所構成之內袋複合容器100、105，從該內袋複合容器100、105可將收納之藥液等的流體排出的分配裝置。以下，針對安裝類型之分配裝置來說明，但亦可為固定於容器之出入口部111的類型。又以下，主要採用以內袋複合容器100為例來進行說明。

如圖1A所示，本實施形態之分配裝置200是加壓方式之分配器機構，大至上區分，具有：圓筒狀之栓塞本體201、將已加壓之非活性氣體朝內側容器110內供給之氣體供給裝置202、及排出管250。又，栓塞本體201及氣體供給裝置202相當於氣體供給機構之一例。

栓塞本體201在取下上述之帽蓋118之後，安裝於出入口部111之例如樹脂製的栓塞，並由連結圈201r、栓塞殼201s、及密封環2012所構成。連結圈201r是圓筒形狀之構件，其中一端為開口成圓形，在該開口之內周面，會形成與形成於出入口部111之帽蓋用的陽螺紋卡合的陰螺旋。因此，栓塞本體201之連結圈201r可與出入口部111之陽螺紋螺合。

又，使栓塞本體201之陰螺旋與出入口部111之陽螺紋螺合之後，將栓塞本體201依緊密的密閉狀態安裝於內袋複合容器100、105，故，栓塞本體201在連結圈201r之另一端具有為扳手卡合用形狀且與栓塞本體201一體成型的頭部201h。作為扳手卡合用形狀，本實施形態中，如圖1B所示，在平面視點下為略正方形形狀。理所當然地，扳手卡合用形狀不限於正方形形狀，例如亦可為六角形狀等。 具有上述頭部201h之栓塞本體201例如藉由使圖1C所示之專用扳手290與扳手卡合用形狀卡合並旋轉，便可朝內袋複合容器100、105之出入口部111緊密地安裝。

又，連結圈201r之頭部201h亦如圖1B所示，具有圓形之開口，在該開口將相對於連結圈201r栓塞殼201s嵌入成可旋轉。即，栓塞殼201s是形成有凸緣之圓板狀的構件，從連結圈201r之其中一端側的開口插入，且上述凸緣與連結圈201r抵接，嵌入於連結圈201r之頭部201h的開口。又，在連結圈201r安裝密封環2012，如上所述，藉由使連結圈201r與出入口部111之陽螺紋螺合，密封環2012將出入口部111之口部密封，且，栓塞殼201s之上述凸緣會包夾於密封環2012與連結圈201r之間。藉此，密封環2012亦可密封連結圈201r與栓塞殼201s之邊界的通氣。如上所述，與具有略四角形之卡合形狀的頭部201h，使專用扳手290咬合並用專用扳手290使頭部201h旋轉，藉此與作業者單純用手轉動鎖螺絲來安裝時相比，可更加提升密閉性。

上述栓塞殼201s會鎖進將排出管250之另一端固定成自由裝脫之合成樹脂製的第1接點203、與用以連接氣體供給裝置202之第2接點204。

第1接點203可利用市販之直式的支持器，相對於栓塞本體201，可使排出管250沿著其之軸方向保持成可滑動，且藉由將螺帽鎖入便可固定。又，排出管250之管徑不與使用者側的管徑一致時，只要在第1接點203之下一段安裝異徑管接頭270即可。

在此，排出管250是可撓性且為耐藥液性之樹脂製，例如由鐵氟龍(登錄商標)所成形，位於其之一端即前端之吸液口251會具有位於殘液用凹部113內之程度的長度。如上所述，由於使用第1接點203，排出管250可滑動，因此吸液口251可調整長度而使其位於殘液用凹部113之底附近。又，針對排出管250之詳情於後再述。

如上所述，內袋複合容器100中，相同中心軸101上配置有出入口部111與殘液用凹部113，故，連結圈201r與出入口部111之陽螺紋螺合時，排出管250只要直線狀地朝下方下降，吸液口251便可配置於殘液用凹部113內。如上所述，根據內袋複合容器100，可將排出管250之吸液口251容易且確實地配置於殘液用凹部113內。進而，由於殘液用凹部113不會變形，因此其之容積會是已設計之固定值。因此，內側容器110內之殘液量與習知相比可減低，且，亦可減低殘液量之不穩定。

第2接點204是栓塞本體201之連結圈201r中與開口2013連接之L字形(彎管形)的合成樹脂製接點，可使用市販之彎管形快速接頭。

藉由將與氣體供給裝置202之連接之軟管(hose)與第2接點204連接，氣體供給裝置202便可朝內側容器110之內部供給已加壓之非活性氣體，例如氮氣。

藉由使用如以上所述所構成之分配裝置200，利用氣體供給裝置202可使內側容器110之內部在例如約80Kpa到約150Kpa程度之範圍來加壓，並可將收納於內側 容器110之藥液等的流體透過液排出管250朝容器外部押出並排出。又，上述約80Kpa到約150Kpa左右為止之範圍與流體排出用加壓範圍相當。又，在使用者側主要所使用之加壓範圍是約80Kpa到約120Kpa左右。

如上所述，為了排出流體，如圖3所示，藉由加壓內側容器110內，內側容器110之底面112及頂面114會沿著中心軸101方向朝容器外側膨脹。伴隨於此，亦將外側容器120之底板122及頂板123押壓便可同樣地膨脹。

即，在底板122及頂板123之各中央部，利用上述約80Kpa到約150Kpa左右之上述流體排出用加壓，底板122及頂板123會分別具有朝容器外側10數mm前後之變位量，亦即是底板122及頂板123之直徑約3~約5%左右的變形量。圖6中，顯示加壓內袋複合容器100、105之內側容器110內時之底板122及頂板123的合計變位量(膨脹量)的變化。又，本實施形態中，外側容器120之底板122的板厚為0.5mm，頂板123之板厚為0.6mm。

如上所述，藉由內側容器110之底面112及頂面114，以及底板122及頂板123膨脹變形，流體排出結束時，便可使存在於內側容器110之底面112的流體朝殘液用凹部113側流入。因此，便可更加對殘液量之減低有所貢獻。又，如上所述，使用專用扳手290，朝內袋複合容器100、105之出入口部111安裝栓塞本體201，故，不會有來自出入口部111之氣體洩漏，液體漏出之不良亦不會產生。

另一方面，藉由底板122及頂板123分別膨脹，如 上所述，使用第1接點203，會造成已調整長度之排出管250之吸液口251的位置、與殘液用凹部113之底之間的距離變大。為了吸收上述距離變動，排出管250之前端配置於殘液用凹部113內的情形下，在加壓前之狀態，使排出管250先彎曲好若干。藉由採取上述彎曲形態，便不會對排出管250附加其他構件或是機構，便可吸收上述距離變動。特別是，對無法容許朝容器內收納物之異物混入的使用者來說，不樂見在收納物內有排出管以外之物浸入，故，上述彎曲形態會是有效的方法。

另一方面，沒有尋求如此嚴格的使用態樣時，排出管250便不會彎曲，例如圖4所示，可在排出管250之前端部根據底板及頂板的變形，安裝朝排出管250之軸方向可伸縮之長度調整部260。設置長度調整部260，如圖5所示，使長度調整部260之前端與殘液用凹部113之底接觸，藉此如鏈線所示，即使內側容器110膨脹時，長度調整部260之前端亦可維持與殘液用凹部113之底接觸的狀態。因此，即使在設置了長度調整部260時，與習知相比，可使殘液量確實地減低，且，亦可減低其之不穩定。又，理所當然地，長度調整部260不限於已說明者，只要是具有根據底板122及頂板123之變形，調整排出管250之長度之功能的形態即可。

以下，以圖8A到圖8C所示之內袋複合容器105為例，針對上述排出管250來詳細地說明。理所當然地，以下之說明內容亦適用於上述內袋複合容器100的排出管250。

圖9A及圖9B是顯示了內側容器110-2內之液體排出前 及排出中之排出管250的形狀。

如上所述，排出管250是可撓性且為耐藥液性之例如鐵氟龍(登錄商標)的樹脂製，例如PFA(四氟乙烯．全氟乙烯基醚共聚物)製，用押出成型成型為直線狀，未彎曲之所謂的直管類型的管。上述排出管250具有可撓性並且亦具有復元成原形之直線狀的性能。又，本例中之排出管250作為一例，為外徑10mm、厚度1mm。藉由以該尺寸使用直管類型之管，即使相同厚度之管，當與例如管徑φ8mm之管比較時，就可使其之截面係數亦即是管之剛性提升約1.7倍。其之結果，在加壓內袋複合容器100、105之內側容器110內的狀態下，可維持排出管250之姿勢，便可使排出管250之前端位於殘液用凹部113-2內。即，相對於內袋複合容器100、105之變形，朝殘液用凹部113-2之排出管250的追蹤性會提升，便可將容器內之殘液量大幅地減低。其結果，例如以100Kpa加壓時之殘液量便達成上述目標殘液量，成為約40cc。

如圖9A所示，上述排出管250在內側容器110-2內之液體排出前，亦即是將內側容器110-2內加壓之前，調節長度而使其成為若干彎曲之狀態，並設置於內袋複合容器105。針對加壓範圍為上述約80Kpa到約120Kpa時之排出管250的長度，說明一例。加壓前之內袋複合容器105中，將安裝於內側容器110-2之出入口部111的排出管250到殘液用凹部113-2之底面為止都配置成直線狀時的長度當作L1時，對於該長度L1，作為一例，增加了20mm之長度L2便可 設定為排出管250的長度。排出管250具有長度L2時，加壓前之內袋複合容器105中，如圖9A所示，排出管250會成為若干彎曲的狀態。

在此，作為排出管250之長度L2的決定方法，使用如圖6所示之圖表，便可設定與加壓壓力對應之長度L2。針對該決定方法之詳細於後再述。

接著，如圖9B所示，內側容器110-2內之液體排出中，亦即是內側容器110-2內在上述流體排出用加壓範圍加壓中，如已說明地，內側容器110-2之底面112及頂面114-2，以及，外側容器120-2之底板122及頂板123-2膨脹變形，內袋複合容器105之軸方向長度便會伸長。如上所述，藉由內袋複合容器105在軸方向變長，具有長度L2且撓曲的排出管250利用復元力，撓曲消失，恢復成原形的直線狀。該恢復狀態中，位於排出管250之前端之吸液口251會位於殘液用凹部113-2內，且與殘液用凹部113-2之底面不接觸，亦即是很貼近地定位。

即，排出管250之長度L2將內側容器內在上述流體排出用加壓範圍加壓時，排出管250之前端的吸液口251位於內側容器之殘液用凹部內，且與殘液用凹部113-2之底面不接觸地，亦即可說是很貼近地定位的長度。

又，作為收納於內側容器110、110-2內之上述流體的一例，會有亦包含收納時，處理上要求高清潔度的藥液，例如相當於半導體領域及液晶領域之至少一方所使用之藥液。如上所述，作為在半導體領域之藥液，例如為CMP 研磨液、光抗蝕劑、顯影液、蝕刻液、洗浄液等，在液晶領域，為光抗蝕劑、顏色抗蝕劑、色彩濾波器材料等。

又，如該「用以實施發明之形態」欄的開頭所記載，可使用各種內容量之外側容器120，但上述實施形態中已說明之內容即使對使用了各種外側容器120之情形，亦包含底板122及頂板123之變形量，同樣地可適用。

接著，本發明之第2實施形態，可俐舉上述內袋複合容器用分配裝置200的製造方法。

如上所述，內袋複合容器用分配裝置200中將容器內加壓地進行排出收納液，但伴隨著該加壓，內袋複合容器100、105亦會變形。且與該變形量對應，可適切地設定內袋複合容器用分配裝置200之排出管250的長度，但對容器內殘液量之減低會有很大影響。

因此，第2實施形態之上述製造方法中，進行以下的動作來謀求殘液量減低。在此，作為一例，採用以內袋複合容器105為例來進行說明。

即，如已說明地，首先，加壓前之內袋複合容器105中，求取將安裝於內側容器110-2之出入口部111之排出管250到殘液用凹部113-2之底面為止配置成直線狀時之基本長度L1。接著，例如以圖6所示之預先求得之加壓壓力與容器變形量的關係為基礎，求取與容器之加壓壓力對應之底板122及頂板123-2的合計變形量。且，除了將求得之合計變形量當作基本長度L1以外，並決定排出管250之設定長度L2。

如上所述，藉由決定在出入口部111安裝內袋複合容器用分配裝置200時之排出管250的設定長度L2，收納液排出時之容器加壓狀態下，排出管250中，其之吸液口251會位於從出入口部111到殘液用凹部113-2內，且與殘液用凹部113-2之底面不接觸，亦即是延伸直到很貼近之位置。因此，可使殘液用凹部113-2之收納液的殘液量為最小限。

又，本發明中，亦可採取如以下之態樣。

作為第3態樣之內袋複合容器用分配裝置，在上述第1態樣之內袋複合容器用分配裝置，上述底板及上述頂板的每一個，會利用朝該內袋複合容器內之流體排出用加壓，具有往容器外側底板及頂板之直徑大約3~5%的變形量，用該變形量，上述底板及上述頂板已變形之狀態下，亦可具有上述排出管從內側容器之上述出入口部到上述殘液用凹部為止沿伸成直線狀存在的長度。

又，第4態樣中，在上述第1態樣之內袋複合容器用分配裝置，更具有與從上述開口突出之上述出入口部螺合地來安裝，保持上述排出管及上述氣體供給機構之栓塞本體，該栓塞本體具有與該栓塞本體一體成型且專用扳手卡合的頭部，利用上述專用扳手之上述頭部的旋轉，可使該栓塞本體朝上述出入口部鎖緊。

又，第5態樣中，上述第1、3、4態樣中任一內袋複合容器用分配裝置中，上述外側容器在上述頂板具有卡合部，上述內側容器在該內側容器之頂面具有旋轉停止部，該旋轉停止部與上述卡合部嵌合，可使其防止以上述 中心軸為中心之外側容器內之內側容器的旋轉。

產業上之可利用性

本發明可適用於內袋複合容器用分配裝置、及該分配裝置之製造方法，其可進行在鋼製之外側容器內收納於設置了樹脂製內側容器之內袋複合容器之收納流體的分配。

110‧‧‧內側容器

111‧‧‧出入口部

112‧‧‧底面

113‧‧‧殘液用凹部

120‧‧‧外側容器

122‧‧‧底板

200‧‧‧分配裝置

201‧‧‧栓塞本體

201h‧‧‧頭部

201r‧‧‧連結圈

201s‧‧‧栓塞殼

202‧‧‧氣體供給裝置

203‧‧‧第1接點

204‧‧‧第2接點

250‧‧‧排出管

251‧‧‧吸液口

270‧‧‧異徑管接頭

2012‧‧‧密封環

Claims (5)

1. 一種內袋複合容器用分配裝置，安裝於內袋複合容器，其特徵在於：上述內袋複合容器是由公稱容量從10到60公升之提筒罐所形成，並具有：樹脂製之內側容器，為收納流體之袋狀且具有上述流體之出入口部；與外側容器，是由在筒狀主體將底板捲箍而成形且收納上述內側容器的鋼製容器所形成的外側容器，並且上述出入口部形成可突出之開口的頂板會與上述底板相對向地安裝於上述主體，上述內側容器之上述出入口部、及上述外側容器之上述開口位於通過該內袋複合容器之直徑中心的中心軸上，上述內側容器在上述中心軸上且在上述出入口部的正下方，具有從該內側容器之底面朝外側突出而成形並收集殘液且儲存的殘液用凹部，且，該內袋複合容器用分配裝置具有：樹脂製的排出管，是可安裝於從上述外側容器之開口突出之上述內側容器的出入口部的管，其前端位於內側容器之上述殘液用凹部內，並將收納於內側容器之流體導往容器外部；及氣體供給機構，可安裝於從上述開口突出之上述出入口部，且朝內袋複合容器內供給氣體並透過上述排出 管，使收納於上述內側容器內之流體朝容器外部排出；又，上述排出管具有可撓性及形狀復元性，在上述氣體供給機構之容器內加壓前，利用可撓性來撓曲，另一方面，具有在藉由上述氣體供給機構之容器內加壓，而底板及頂板往內袋複合容器外側變形之狀態下，可藉由形狀復元性，而從內側容器之上述出入口部到上述殘液用凹部延伸成直線狀存在的長度，進而為外徑φ 10mm、厚度1mm之管。
2. 如請求項1之內袋複合容器用分配裝置，其中上述底板及上述頂板各自具有因朝該內袋複合容器內之流體排出用加壓而底板及頂板直徑朝容器外側之大約3~5%的變形量，並在因該變形量而上述底板及上述頂板已變形之狀態下，上述排出管具有從內側容器之上述出入口部到上述殘液用凹部延伸成直線狀存在的長度。
3. 如請求項1之內袋複合容器用分配裝置，其更具有栓塞本體：是螺合且安裝於從上述開口突出之上述出入口部，且保持上述排出管及上述氣體供給機構，又，該栓塞本體具有與該栓塞本體一體成型且專用扳手所卡合的頭部，並藉由上述專用扳手旋轉上述頭部，使該栓塞本體朝上述出入口部緊固。
4. 如請求項1至3中任一項之內袋複合容器用分配裝置，其中上述外側容器在上述頂板具有卡合部，又，上述內側容器在該內側容器之頂面具有旋轉停止部，又，該旋轉停止部可與上述卡合部嵌合，並防止 在以上述中心軸為中心之外側容器內之內側容器的旋轉。
5. 一種內袋複合容器用分配裝置之製造方法，其是如請求項1至4中任一項之內袋複合容器用分配裝置之製造方法，其特徵在於包含以下步驟：求取在氣體供給機構之容器內加壓前的內袋複合容器中，將安裝於內側容器之出入口部的排出管配置成直線狀到殘液用凹部之底面時之基本長度的步驟；以加壓壓力與容器變形量之關係為基礎，求取與容器之加壓壓力對應之底板及頂板之合計變形量的步驟；將求得之合計變形量加上上述基本長度，來決定上述排出管之設定長度的步驟。