CN104593731A - 蒸镀换料一体化设备及其使用方法 - Google Patents

蒸镀换料一体化设备及其使用方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种蒸镀换料一体化设备及其使用方法。该设备包括：蒸镀腔体区域(1)、换料腔体区域(2)、及设于所述蒸镀腔体区域(1)与换料腔体区域(2)之间将二者分隔开的阀门(3)；所述蒸镀腔体区域(1)、与换料腔体区域(2)内均设有一承载平台(41)、设于所述承载平台(41)上的数个蒸镀源(43)、用于固定与传送所述数个蒸镀源(43)的数个交换装置(45)、及一独立的抽真空装置，所述承载平台(41)内设有加热升温装置；所述蒸镀腔体区域(1)内还设有基板；所述换料腔体区域(2)远离所述阀门(3)的一侧还设有一填料门(5)。该设备能够在不破坏蒸镀区域真空的条件下完成更换蒸镀材料与预升温蒸镀材料，提高生产效率。

Description

蒸镀换料一体化设备及其使用方法
技术领域
本发明涉及有机发光二极管显示器件的制程领域，尤其涉及一种蒸镀换料一体化设备及其使用方法。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)是一种极具发展前景的显示技术，它不仅具有十分优异的显示性能，还具有自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性，被誉为“梦幻显示器”，得到了各大显示器厂家的青睐，已成为显示技术领域中第三代显示器件的主力军。目前，OLED已处于大规模量产的前夜，随着研究的进一步深入，新技术的不断涌现，OLED显示器件必将有一个突破性的发展。
OLED显示器件通常包括：基板、设于基板上的阳极、设于阳极上的空穴注入层、设于空穴注入层上的空穴传输层、设于空穴传输层上的发光层、设于发光层上的电子传输层、设于电子传输层上的电子注入层、及设于电子注入层上的阴极。现有的OLED显示器件制作方法主要是真空热蒸镀法，使用蒸镀设备先将有机材料以真空热蒸镀的方式成膜于ITO阳极层上，再将金属阴极以真空热蒸镀或溅镀的方式沉积上去。
OLED显示器件全彩化的一种实现方式是将白色有机发光二极管(White Organic Light Emitting Diode，WOLED)和彩色滤光层(Color Filter，CF)进行叠加。
随着大尺寸WOLED的研制，OLED生产线发展到G8.5世代，玻璃基板的尺寸达到2250×2500mm，而蒸镀设备的腔体体积达到30m3以上，对如此大体积的腔体抽真空需要很长的时间，至少达到5小时以上才能使腔体内部压强达到5×10-5Pa以下，从而满足生产需要的真空条件。这样就使得在利用现有的蒸镀设备进行真空蒸镀制程时，每次蒸镀材料消耗完以后，都必须破真空打开腔体，重新加蒸镀材料后再次抽真空，当腔体达到满足要求的高真空后，再对蒸镀材料进行升温，每次换料、升温到恢复生产所需的时间都在10个小时以上，而这种形式的换料在正常生产过程中每周都需要进行至少一次，累积起来便造成大量生产时间的浪费，降低了生产效率，影响了产能，增加了生产成本，降低了企业的竞争力。
发明内容
本发明的目的在于提供一种蒸镀换料一体化设备，能够在不破坏蒸镀区域真空的条件下完成更换蒸镀材料与预升温蒸镀材料，大幅减少对生产时间的浪费，提高生产效率，提升产能，降低生产成本，提高企业的竞争力。
本发明还提供一种蒸镀换料一体化设备的使用方法，无需对蒸镀区域破真空即可实现快速更换蒸镀材料，并在更换蒸镀材料前对蒸镀材料进行预升温，更换蒸镀材料后无需长时间加热即可直接进行蒸镀制程，大幅减少对生产时间的浪费，提高生产效率，提升产能，降低生产成本，提高企业的竞争力。
为实现上述目的，本发明首先提供一种蒸镀换料一体化设备，包括蒸镀腔体区域、换料腔体区域、及设于所述蒸镀腔体区域与换料腔体区域之间将二者分隔开的阀门；
所述蒸镀腔体区域、与换料腔体区域内均设有一承载平台、设于所述承载平台上的数个蒸镀源、用于固定与传送所述数个蒸镀源的数个交换装置、及一独立的抽真空装置，所述承载平台内设有加热升温装置；
所述蒸镀腔体区域内还设有基板；所述换料腔体区域远离所述阀门的一侧还设有一填料门；
所述蒸镀腔体区域内始终保持高真空状态；蒸镀时，所述阀门关闭，所述蒸镀腔体区域内的数个蒸镀源的蒸镀与所述换料腔体区域内的数个蒸镀源的预升温同时进行；换料时，所述阀门打开，所述交换装置将蒸镀腔体区域内消耗完毕的蒸镀源与换料腔体区域内未消耗的蒸镀源进行置换；填料时，所述阀门关闭，所述填料门打开，在所述换料腔体区域内对置换出的消耗完毕的蒸镀源进行填料。
所述阀门为气动阀门。
所述蒸发源包括坩埚及填充于所述坩埚内的蒸镀材料。
所述承载平台、及交换装置具有360°旋转功能，从而当所述基板处于蒸镀腔体区域内的不同位置时，所述承载平台、及交换装置共同作用使所述蒸镀源的出气口正对基板。
所述交换装置为可伸缩连杆结构，其一端固定于一基座上，另一端通过夹具固定所述蒸镀源。
本发明还提供一种蒸镀换料一体化设备的使用方法，包括如下步骤：
步骤1、提供蒸镀换料一体化设备、及蒸镀材料；
所述蒸镀换料一体化设备包括蒸镀腔体区域、换料腔体区域、及设于所述蒸镀腔体区域与换料腔体区域之间将二者分隔开的阀门；所述蒸镀腔体区域、与换料腔体区域内均设有一承载平台、设于所述承载平台上的数个蒸镀源、用于固定与传送所述数个蒸镀源的数个交换装置、及一独立的抽真空装置，所述承载平台内设有加热升温装置；所述蒸镀腔体区域内还设有基板；所述换料腔体区域远离所述阀门的一侧还设有一填料门；
所述换料腔体区域内的承载平台的部分位置空置；
步骤2、关闭所述填料门、与阀门，将所述蒸镀腔体区域、换料腔体区域分别通过所述独立的抽真空装置抽真空，通过所述承载平台内的加热升温装置同时进行所述蒸镀腔体区域内的数个蒸镀源的蒸镀与所述换料腔体区域内的数个蒸镀源的预升温；
步骤3、当所述蒸镀腔体区域内的某一蒸镀源消耗完毕后，打开所述阀门，通过所述交换装置将蒸镀腔体区域内消耗完毕的蒸镀源与换料腔体区域内未消耗的蒸镀源进行置换，然后再关闭所述阀门，所述蒸镀腔体区域内继续进行蒸镀；
步骤4、在所述蒸镀腔体区域内正常进行蒸镀的同时，将所述换料腔体区域破真空后打开填料门，对置换出的消耗完毕的蒸镀源进行蒸镀材料填充，填料完成后关闭填料门，再对换料腔体区域抽真空，并通过所述承载平台内的加热升温装置对填料后的蒸镀源进行预升温，等待下一次置换。
所述步骤3具体包括：
步骤31、通过所述交换装置将所述蒸镀腔体区域内消耗完毕的蒸镀源移动至阀门处，打开所述阀门；
步骤32、将所述换料腔体区域内的承载平台的一空置位置移动至阀门处，再通过所述交换装置将所述蒸镀腔体区域内消耗完毕的蒸镀源放置于该空置位置上；
步骤33、将所述换料腔体区域内的承载平台上对应设有未消耗的蒸镀源的位置移动至阀门处，再通过所述交换装置将该未消耗的蒸镀源置换至所述蒸镀腔体区域内的承载平台空出的位置上；
步骤34、关闭所述阀门，所述蒸镀腔体区域内继续进行蒸镀。
所述阀门为气动阀门；所述蒸发源包括坩埚及填充于所述坩埚内的蒸镀材料。
所述承载平台、及交换装置具有360°旋转功能，从而当所述基板处于蒸镀腔体区域内的不同位置时，所述承载平台、及交换装置共同作用使所述蒸镀源的出气口正对基板。
所述交换装置为可伸缩连杆结构，其一端固定于一基座上，另一端通过夹具固定所述蒸镀源。
本发明的有益效果：本发明提供的一种蒸镀换料一体化设备及其使用方法，通过阀门将该设备内部分隔为可独立抽真空的蒸镀腔体区域、及换料腔体区域，并在所述蒸镀腔体区域、及换料腔体区域内分别设置加热升温装置、及数个交换装置，蒸镀时，所述阀门关闭，所述蒸镀腔体区域内的数个蒸镀源的蒸镀与所述换料腔体区域内的数个蒸镀源的预升温同时进行；换料时，所述阀门打开，所述交换装置将蒸镀腔体区域内消耗完毕的蒸镀源与换料腔体区域内未消耗的蒸镀源进行置换；填料时，所述阀门关闭，在所述换料腔体区域内对置换出的消耗完毕的蒸镀源进行填料；整个过程中无需对所述蒸镀腔体区域破真空，即可实现快速换料，且在换料前，所述换料腔体区域内的蒸镀源已经进行了预升温，提前使蒸镀材料达到预定的蒸镀速率，换料后无需长时间加热即可进行蒸镀制程，大幅减少了对生产时间的浪费，提高了生产效率，提升了产能，降低了生产成本，提高了企业的竞争力。
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图说明
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其他有益效果显而易见。
附图中，
图1为本发明的蒸镀换料一体化设备的结构示意图；
图2为本发明的蒸镀换料一体化设备的蒸镀腔体区域、及换料腔体区域的内部结构的剖面示意图；
图3为本发明的蒸镀换料一体化设备的使用方法的流程图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请同时参阅图1、图2，本发明首先提供一种蒸镀换料一体化设备，包括蒸镀腔体区域1、换料腔体区域2、及设于所述蒸镀腔体区域1与换料腔体区域2之间将二者分隔开的阀门3。
所述蒸镀腔体区域1、与换料腔体区域2内均设有一承载平台41、设于所述承载平台41上的数个蒸镀源43、用于固定与传送所述数个蒸镀源43的数个交换装置45、及一独立的抽真空装置，所述承载平台41内设有加热升温装置。所述蒸镀腔体区域1内还设有基板。所述换料腔体区域2远离所述阀门3的一侧还设有一填料门5。
所述换料腔体区域2足够容纳数个蒸镀源43即可，所述蒸镀腔体区域1则除需容纳数个蒸镀源43外，还要容纳所述基板，因此设置所述换料腔体区域2的体积远小于所述蒸镀腔体区域1的体积，相应的对所述换料腔体区域2进行破真空、抽真空的操作更简单，耗时较短。
具体地，所述阀门3为气动阀门。
所述蒸发源43包括坩埚及填充于所述坩埚内的蒸镀材料，所述蒸镀材料为有机材料、或氟化锂(LiF)等无机材料。
所述承载平台41、及交换装置45可通过现有技术实现360°旋转功能，从而当所述基板处于蒸镀腔体区域1内的不同位置时，无论基板水平放置或垂直放置，所述承载平台41、及交换装置45共同作用使所述蒸镀源43的出气口431正对基板，保证蒸镀制程顺利进行。
所述交换装置45为可伸缩连杆结构，其一端固定于一基座7上，另一端通过夹具9固定所述蒸镀源43，所述可伸缩连杆结构能够将蒸镀源43传送至需要的位置。
上述蒸镀换料一体化设备的蒸镀腔体区域1内在首次通过所述独立的抽真空装置抽真空后，其内部始终保持压强在5×10-5Pa以下的高真空状态。蒸镀时，所述阀门3关闭，所述蒸镀腔体区域1内的数个蒸镀源43的蒸镀与所述换料腔体区域2内的数个蒸镀源43的预升温同时进行；换料时，所述阀门3打开，所述交换装置45将蒸镀腔体区域1内消耗完毕的蒸镀源43与换料腔体区域2内未消耗的蒸镀源43进行置换；填料时，所述阀门3关闭，所述填料门5打开，在所述换料腔体区域2内对置换出的消耗完毕的蒸镀源43进行填料。整个过程中无需对所述蒸镀腔体区域1破真空，即可实现快速换料，且在换料前，所述换料腔体区域2内的蒸镀源43已经进行了预升温，提前使蒸镀材料达到预定的蒸镀速率，换料后无需长时间加热即可进行蒸镀制程，与现有技术相比，大幅减少了因开腔换料造成的生产时间浪费，提高了生产效率，提升了产能，降低了生产成本，提高了企业的竞争力。
值得一提的是，由于所述蒸镀换料一体化设备的蒸镀腔体区域1与换料腔体区域2内均设有数个蒸镀源43，在蒸镀过程中，若所述蒸镀腔体区域1内的部分蒸镀材料堵塞蒸镀源43的出气口431时，也可立即通过所述交换装置45进行置换，并将出问题的蒸镀源43在所述换料腔体区域2内进行及时处理，确保了蒸镀制程的正常进行，实现连续不间断的长时间生产。
请参阅图3，本发明还提供一种蒸镀换料一体化设备的使用方法，包括如下步骤：
步骤1、提供蒸镀换料一体化设备、及蒸镀材料。
结合图1、图2，所述蒸镀换料一体化设备包括蒸镀腔体区域1、换料腔体区域2、及设于所述蒸镀腔体区域1与换料腔体区域2之间将二者分隔开的阀门3。
所述蒸镀腔体区域1、与换料腔体区域2内均设有一承载平台41、设于所述承载平台41上的数个蒸镀源43、用于固定与传送所述数个蒸镀源43的数个交换装置45、及一独立的抽真空装置，所述承载平台41内设有加热升温装置。所述蒸镀腔体区域1内还设有基板。所述换料腔体区域2远离所述阀门3的一侧还设有一填料门5。
所述换料腔体区域2内的承载平台41的部分位置空置。
具体地，所述换料腔体区域2足够容纳数个蒸镀源43即可，所述蒸镀腔体区域1则除需容纳数个蒸镀源43外，还要容纳所述基板，因此设置所述换料腔体区域2的体积远小于所述蒸镀腔体区域1的体积。
所述阀门3为气动阀门。
所述蒸发源43包括坩埚及填充于所述坩埚内的蒸镀材料，所述蒸镀材料为有机材料、或氟化锂(LiF)等无机材料。
所述承载平台41、及交换装置45可通过现有技术实现360°旋转功能，从而当所述基板处于蒸镀腔体区域1内的不同位置时，无论基板水平放置或垂直放置，所述承载平台41、及交换装置45共同作用使所述蒸镀源43的出气口431正对基板。
所述交换装置45为可伸缩连杆结构，其一端固定于一基座7上，另一端通过夹具9固定所述蒸镀源43，所述可伸缩连杆结构能够将蒸镀源43传送至需要的位置。
步骤2、关闭所述填料门5、与阀门3，将所述蒸镀腔体区域1、换料腔体区域2分别通过所述独立的抽真空装置抽真空，通过所述承载平台41内的加热升温装置同时进行所述蒸镀腔体区域1内的数个蒸镀源43的蒸镀与所述换料腔体区域2内的数个蒸镀源43的预升温。
步骤3、当所述蒸镀腔体区域1内的某一蒸镀源43消耗完毕后，打开所述阀门3，通过所述交换装置45将蒸镀腔体区域1内消耗完毕的蒸镀源43与换料腔体区域2内未消耗的蒸镀源43进行置换，然后再关闭所述阀门3，所述蒸镀腔体区域1内继续进行蒸镀。
具体地，该步骤3可细分为：
步骤31、通过所述交换装置45将所述蒸镀腔体区域1内消耗完毕的蒸镀源43移动至阀门3处，打开所述阀门3；
步骤32、将所述换料腔体区域2内的承载平台41的一空置位置移动至阀门3处，再通过所述交换装置45将所述蒸镀腔体区域1内消耗完毕的蒸镀源43放置于该空置位置上；
步骤33、将所述换料腔体区域2内的承载平台41上对应设有未消耗的蒸镀源43的位置移动至阀门3处，再通过所述交换装置45将该未消耗的蒸镀源43置换至所述蒸镀腔体区域1内的承载平台41空出的位置上；
步骤34、关闭所述阀门3，所述蒸镀腔体区域1内继续进行蒸镀。
所述步骤3无需对所述蒸镀腔体区域1破真空，即可实现快速换料，且在换料前，所述换料腔体区域2内的蒸镀源43已经进行了预升温，提前使蒸镀材料达到预定的蒸镀速率，换料后无需长时间加热即可进行蒸镀制程。与现有技术相比，大幅减少了因开腔换料造成的生产时间浪费，提高了生产效率，提升了产能，降低了生产成本，提高了企业的竞争力。
步骤4、在所述蒸镀腔体区域1内正常进行蒸镀的同时，将所述换料腔体区域2破真空后打开填料门5，对置换出的消耗完毕的蒸镀源43进行蒸镀材料填充，填料完成后关闭填料门5，再对换料腔体区域2抽真空，并通过所述承载平台41内的加热升温装置对填料后的蒸镀源43进行预升温，等待下一次置换。
所述步骤4在蒸镀腔体区域1内保持真空状态并正常进行蒸镀的同时，依次进行对换料腔体区域2破真空、对置换出的消耗完毕的蒸镀源43填料、及再次对换料腔体区域2抽真空，由于所述换料腔体区域2的体积远小于所述蒸镀腔体区域1的体积，对所述换料腔体区域2进行破真空、抽真空的操作更简单，耗时较短，且不间断蒸镀制程的正常进行，达到了节约生产时间，提高生产效率，提升产能，降低生产成本的效果。
综上所述，本发明的蒸镀换料一体化设备及其使用方法，通过阀门将该设备内部分隔为可独立抽真空的蒸镀腔体区域、及换料腔体区域，并在所述蒸镀腔体区域、及换料腔体区域内分别设置加热升温装置、及数个交换装置，蒸镀时，所述阀门关闭，所述蒸镀腔体区域内的数个蒸镀源的蒸镀与所述换料腔体区域内的数个蒸镀源的预升温同时进行；换料时，所述阀门打开，所述交换装置将蒸镀腔体区域内消耗完毕的蒸镀源与换料腔体区域内未消耗的蒸镀源进行置换；填料时，所述阀门关闭，在所述换料腔体区域内对置换出的消耗完毕的蒸镀源进行填料；整个过程中无需对所述蒸镀腔体区域破真空，即可实现快速换料，且在换料前，所述换料腔体区域内的蒸镀源已经进行了预升温，提前使蒸镀材料达到预定的蒸镀速率，换料后无需长时间加热即可进行蒸镀制程，大幅减少了对生产时间的浪费，提高了生产效率，提升了产能，降低了生产成本，提高了企业的竞争力。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种蒸镀换料一体化设备，其特征在于，包括蒸镀腔体区域(1)、换料腔体区域(2)、及设于所述蒸镀腔体区域(1)与换料腔体区域(2)之间将二者分隔开的阀门(3)；
所述蒸镀腔体区域(1)、与换料腔体区域(2)内均设有一承载平台(41)、设于所述承载平台(41)上的数个蒸镀源(43)、用于固定与传送所述数个蒸镀源(43)的数个交换装置(45)、及一独立的抽真空装置，所述承载平台(41)内设有加热升温装置；
所述蒸镀腔体区域(1)内还设有基板；所述换料腔体区域(2)远离所述阀门(3)的一侧还设有一填料门(5)；
所述蒸镀腔体区域(1)内始终保持高真空状态；蒸镀时，所述阀门(3)关闭，所述蒸镀腔体区域(1)内的数个蒸镀源(43)的蒸镀与所述换料腔体区域(2)内的数个蒸镀源(43)的预升温同时进行；换料时，所述阀门(3)打开，所述交换装置(45)将蒸镀腔体区域(1)内消耗完毕的蒸镀源(43)与换料腔体区域(2)内未消耗的蒸镀源(43)进行置换；填料时，所述阀门(3)关闭，所述填料门(5)打开，在所述换料腔体区域(2)内对置换出的消耗完毕的蒸镀源(43)进行填料。
2.如权利要求1所述的蒸镀换料一体化设备，其特征在于，所述阀门(3)为气动阀门。
3.如权利要求1所述的蒸镀换料一体化设备，其特征在于，所述蒸发源(43)包括坩埚及填充于所述坩埚内的蒸镀材料。
4.如权利要求1所述的蒸镀换料一体化设备，其特征在于，所述承载平台(41)、及交换装置(45)具有360°旋转功能，从而当所述基板处于蒸镀腔体区域(1)内的不同位置时，所述承载平台(41)、及交换装置(45)共同作用使所述蒸镀源(43)的出气口(431)正对基板。
5.如权利要求1所述的蒸镀换料一体化设备，其特征在于，所述交换装置(45)为可伸缩连杆结构，其一端固定于一基座(7)上，另一端通过夹具(9)固定所述蒸镀源(43)。
6.一种蒸镀换料一体化设备的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1、提供蒸镀换料一体化设备、及蒸镀材料；
所述蒸镀换料一体化设备包括蒸镀腔体区域(1)、换料腔体区域(2)、及设于所述蒸镀腔体区域(1)与换料腔体区域(2)之间将二者分隔开的阀门(3)；所述蒸镀腔体区域(1)、与换料腔体区域(2)内均设有一承载平台(41)、设于所述承载平台(41)上的数个蒸镀源(43)、用于固定与传送所述数个蒸镀源(43)的数个交换装置(45)、及一独立的抽真空装置，所述承载平台(41)内设有加热升温装置；所述蒸镀腔体区域(1)内还设有基板；所述换料腔体区域(2)远离所述阀门(3)的一侧还设有一填料门(5)；
所述换料腔体区域(2)内的承载平台(41)的部分位置空置；
步骤2、关闭所述填料门(5)、与阀门(3)，将所述蒸镀腔体区域(1)、换料腔体区域(2)分别通过所述独立的抽真空装置抽真空，通过所述承载平台(41)内的加热升温装置同时进行所述蒸镀腔体区域(1)内的数个蒸镀源(43)的蒸镀与所述换料腔体区域(2)内的数个蒸镀源(43)的预升温；
步骤3、当所述蒸镀腔体区域(1)内的某一蒸镀源(43)消耗完毕后，打开所述阀门(3)，通过所述交换装置(45)将蒸镀腔体区域(1)内消耗完毕的蒸镀源(43)与换料腔体区域(2)内未消耗的蒸镀源(43)进行置换，然后再关闭所述阀门(3)，所述蒸镀腔体区域(1)内继续进行蒸镀；
步骤4、在所述蒸镀腔体区域(1)内正常进行蒸镀的同时，将所述换料腔体区域(2)破真空后打开填料门(5)，对置换出的消耗完毕的蒸镀源(43)进行蒸镀材料填充，填料完成后关闭填料门(5)，再对换料腔体区域(2)抽真空，并通过所述承载平台(41)内的加热升温装置对填料后的蒸镀源(43)进行预升温，等待下一次置换。
7.如权利要求6所述的蒸镀换料一体化设备的使用方法，其特征在于，所述步骤3具体包括：
步骤31、通过所述交换装置(45)将所述蒸镀腔体区域(1)内消耗完毕的蒸镀源(43)移动至阀门(3)处，打开所述阀门(3)；
步骤32、将所述换料腔体区域(2)内的承载平台(41)的一空置位置移动至阀门(3)处，再通过所述交换装置(45)将所述蒸镀腔体区域(1)内消耗完毕的蒸镀源(43)放置于该空置位置上；
步骤33、将所述换料腔体区域(2)内的承载平台(41)上对应设有未消耗的蒸镀源(43)的位置移动至阀门(3)处，再通过所述交换装置(45)将该未消耗的蒸镀源(43)置换至所述蒸镀腔体区域(1)内的承载平台(41)空出的位置上；
步骤34、关闭所述阀门(3)，所述蒸镀腔体区域(1)内继续进行蒸镀。
8.如权利要求6所述的蒸镀换料一体化设备的使用方法，其特征在于，所述阀门(3)为气动阀门；所述蒸发源(43)包括坩埚及填充于所述坩埚内的蒸镀材料。
9.如权利要求6所述的蒸镀换料一体化设备的使用方法，其特征在于，所述承载平台(41)、及交换装置(45)具有360°旋转功能，从而当所述基板处于蒸镀腔体区域(1)内的不同位置时，所述承载平台(41)、及交换装置(45)共同作用使所述蒸镀源(43)的出气口(431)正对基板。
10.如权利要求6所述的蒸镀换料一体化设备的使用方法，其特征在于，所述交换装置(45)为可伸缩连杆结构，其一端固定于一基座(7)上，另一端通过夹具(9)固定所述蒸镀源(43)。
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