CN203307423U

CN203307423U - 电子枪用坩埚换位装置

Info

Publication number: CN203307423U
Application number: CN2013202871900U
Authority: CN
Inventors: 袁永旭
Original assignee: BEIJING BEIYI INNOVATION VACUUM TECHNOLOGY Co Ltd
Current assignee: BEIJING BEIYI INNOVATION VACUUM TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date: 2013-05-23
Filing date: 2013-05-23
Publication date: 2013-11-27
Anticipated expiration: 2023-05-23

Abstract

本实用新型公开了一种电子枪用坩埚换位装置，属于坩埚换位机构。该装置包括：连接坩埚的坩埚连接部；传动轴，其顶端与坩埚连接部连接；密封座，套设有所述传动轴外；电机固定座，设置在所述密封座下方，通过支柱与所述密封座固定连接；步进电机，设置在所述电机固定座上；轴套，连接所述传动轴与所述步进电机的转轴；光耦板，设置在所述电机固定板上；遮光片，其底端设置在所述轴套上，前端设置在所述光耦板内。该装置采用步进电机有利于自动化控制，提高转动精度。用轴套代替齿轮，消除齿轮的传动空回。光耦板与配合的遮光片，体积小，重量轻，成本低。

Description

电子枪用坩埚换位装置

技术领域

本实用新型涉及一种电子枪用坩埚换位装置。

背景技术

镀膜机已经被广泛应用，制镀薄膜尤其广泛，其制作的各种薄膜被应用到各光电系统及光学仪器中，电子枪坩埚是镀膜机中加热源部件电子枪的容器。在镀膜机工作过程中，可能需要不打开真空室蒸镀不同的膜层，这就需要有多个坩埚，在坩埚换位机构的作用下，一层蒸镀完成后转换到下一坩埚，进行另一层蒸镀。对于圆形坩埚，需要进行旋转换位。

目前换位机构的结构如图1所示，由传动轴2顶部设置连接坩埚的坩埚连接部1，套在传动轴2上部的密封座3，设置在密封座3下方，通过支柱与密封座3固定连接的电机固定板4，调速电机7设置在电机固定板4上，调速电机7通过小齿轮9带动大齿轮8驱动传动轴2，传动轴2上设置遮光法兰10，和设置在密封座3上的对应于遮光法兰10的光耦板11。其工作过程如下：（1）传动过程：由调速电机7驱动小齿轮9带动大齿轮8，再通过圆柱销连接带动传动轴2，传动轴2通过圆柱销带动上方坩埚连接部1连接的坩埚进行转动。（2）定位方式：遮光法兰10为杯形，并在侧壁开一狭缝；光耦板11上圆周均匀分布着若干个光耦片（数目与坩埚数量相同）；遮光法兰10随传动轴2转动，当遮光法兰10上的狭缝转动到一个光耦位置时，光耦接通给控制器发出信号，控制器使调速电机7停止转动，坩埚到达指定位置。

现有的换位机构存在以下缺点：（1）光耦板上有多个光耦，光耦之间无区别，无法确定是第几号坩埚，不能实现自动化控制。（2）成本高，结构复杂，电机采用变频调速电机，价格很高，遮光法兰为纯铝铣成，浪费材料严重，光耦板上有多个光耦，增加了成本。采用不锈钢齿轮，成本很高。（3）采用齿轮传动有较大空回，精度差。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种电子枪用坩埚换位装置，可以较简单的结构实现坩埚的准确换位，并能为自动化镀膜提供数据。

解决上述技术问题的技术方案如下：

本实用新型提供一种电子枪用坩埚换位装置，包括：

连接坩埚的坩埚连接部；

传动轴，其顶端与坩埚连接部连接；

密封座，套设有所述传动轴外；

电机固定座，设置在所述密封座下方，通过支柱与所述密封座固定连接；

其特征在于，包括：

步进电机，设置在所述电机固定座上；

轴套，连接所述传动轴与所述步进电机的转轴；

光耦板，设置在所述电机固定板上，其上设有一光耦片；

遮光片，其底端设置在所述轴套上，前端能遮挡所述光耦板的光耦片。

本实用新型的有益效果为：（1）采用步进电机有利于自动化控制，提高转动精度。（2）用轴套代替齿轮，消除齿轮的传动空回。（3）光耦板与配合的遮光片，体积小，重量轻，成本低。（4）光耦板只用一个光耦片，成本降低，同时可以按照转动角度进行自动化控制。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1为现有技术提供的坩埚用换位机构的示意图；

图2为本实用新型实施例提供的电子枪用坩埚换位装置的示意图。

具体实施方式

下面对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。

本实用新型实施例提供一种电子枪用坩埚换位装置，如图2所示，该装置包括：

连接坩埚的坩埚连接部21；

传动轴22，其顶端与坩埚连接部21连接；

密封座23，套设有所述传动轴22外；

电机固定座24，设置在所述密封座23下方，通过支柱25与所述密封座23固定连接；

上述的坩埚连接部21、传动轴22、密封座23、电机固定座24和支柱25等各部件的结构及连接关系与现有的坩埚换位机构的相同部分基本相同，在此不再详细说明，与现有坩埚换位机构结构不同的是，该换位装置采用：

步进电机25，设置在所述电机固定座24上；

轴套26，连接所述传动轴22与所述步进电机25的转轴；

光耦板28，设置在所述电机固定板24上，其上设有一光耦片281；

遮光片27，其底端设置在所述轴套26上，前端能遮挡所述光耦板28的光耦片281，具体的遮光片27为L型结构，其遮光片前端朝向电机固定座上的光耦板28方向，光耦板28上的光耦片为截面是U型的光耦片，遮光片27前端位置与光耦板28的光耦片281对应时，能遮挡光耦片281，发出控制信号。

进一步的上述装置还包括：控制器，分别与所述光耦板28和步进电机25电连接，根据光耦信号控制步进电机25的转动。

下面结合附图和具体实施例对本实用新型实施例作进一步地详细描述。

本实施例的换位装置，与现有的坩埚换位机构的主要区别为：（1）采用步进电机，（2）用轴套连接步进电机的转轴与传动轴，精简了原大小齿轮的传动方式，（3）用新型遮光片（L型遮光片）替代原遮光法兰，（4）采用新型光耦板，具有一个U型截面的光耦板。

该换位装置的传动方式为：步进电机通过轴套直接驱动传动轴转动，从而带动坩埚旋转。

定位方式：遮光片起始于光耦片位置，当遮光片随坩埚旋转一周回到起始位置时，遮挡光耦片发出一个遮挡信号，重新标记起始点，控制器根据坩埚数量等分360°，得出需要转动的角度，然后控制器计算出需要转到坩埚的角度，控制步进电机换位到相应坩埚。

通过上述改进，本实用新型实施例的换位装置的优点如下：

（1）采用步进电机有利于自动化控制，提高转动精度。

（2）用轴套代替齿轮，消除齿轮的传动空回。

（3）新型遮光片，体积小，重量轻，成本低。

（4）新光耦板只用一个光耦片，成本降低，同时可以按照转动角度进行自动化控制。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

Claims

1.一种电子枪用坩埚换位装置，包括：

连接坩埚的坩埚连接部；

传动轴，其顶端与坩埚连接部连接；

密封座，套设有所述传动轴外；

其特征在于，包括：

步进电机，设置在所述电机固定座上；

轴套，连接所述传动轴与所述步进电机的转轴；

光耦板，设置在所述电机固定板上，其上设有一光耦片；

遮光片，其底端设置在所述轴套上，前端能对应遮挡所述光耦板的光耦片。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述遮光片为L型结构，其前端朝向所述电机固定座上的所述光耦板方向。

3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述光耦板的光耦片为截面是U型的光耦片。

4.权利要求3所述的装置，其特征在于，所述遮光片前端设置在所述光耦板的光耦片内。