CN104570604A - 光敏树脂组合物和使用其的挡光层 - Google Patents
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- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims abstract description 65
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 title claims abstract description 24
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 186
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 64
- 239000000049 pigment Substances 0.000 claims abstract description 46
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 25
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 16
- -1 acryl Chemical group 0.000 claims description 100
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 24
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 21
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 claims description 16
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 16
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 16
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N alpha-methacrylic acid Natural products CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 claims description 15
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 12
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 12
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 claims description 11
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 10
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 8
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N acrylic acid methyl ester Natural products COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 125000001118 alkylidene group Chemical group 0.000 claims description 7
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 claims description 6
- 125000005647 linker group Chemical group 0.000 claims description 6
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 5
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 5
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 4
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 claims description 4
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 4
- 239000007870 radical polymerization initiator Substances 0.000 claims description 4
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 4
- ZAOMUMJENGCKAR-UHFFFAOYSA-N 2-(1-phenylbut-3-en-2-yloxy)but-3-enylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1CC(C=C)OC(C=C)CC1=CC=CC=C1 ZAOMUMJENGCKAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- UGIJCMNGQCUTPI-UHFFFAOYSA-N 2-aminoethyl prop-2-enoate Chemical compound NCCOC(=O)C=C UGIJCMNGQCUTPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000006539 C12 alkyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 claims description 3
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910005965 SO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- NKKMVIVFRUYPLQ-UHFFFAOYSA-N but-2-enenitrile Chemical compound CC=CC#N NKKMVIVFRUYPLQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 125000006159 dianhydride group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 claims description 3
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 claims description 3
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 claims description 3
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 claims description 3
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- YPHQUSNPXDGUHL-UHFFFAOYSA-N n-methylprop-2-enamide Chemical compound CNC(=O)C=C YPHQUSNPXDGUHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N prop-2-enylbenzene Chemical compound C=CCC1=CC=CC=C1 HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- KOZCZZVUFDCZGG-UHFFFAOYSA-N vinyl benzoate Chemical compound C=COC(=O)C1=CC=CC=C1 KOZCZZVUFDCZGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000003999 initiator Substances 0.000 abstract description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 30
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 16
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 13
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 10
- 235000010755 mineral Nutrition 0.000 description 10
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 10
- 239000001055 blue pigment Substances 0.000 description 9
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- FKRCODPIKNYEAC-UHFFFAOYSA-N ethyl propionate Chemical compound CCOC(=O)CC FKRCODPIKNYEAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 8
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 8
- 125000003866 trichloromethyl group Chemical group ClC(Cl)(Cl)* 0.000 description 8
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N phenylbenzene Natural products C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000000047 product Substances 0.000 description 7
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 206010034960 Photophobia Diseases 0.000 description 6
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 6
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 208000013469 light sensitivity Diseases 0.000 description 6
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- DYDWFNLGKFGCMS-UHFFFAOYSA-N 2-methylbutanoic acid;propane-1,2-diol Chemical class CC(O)CO.CCC(C)C(O)=O DYDWFNLGKFGCMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- QEWYKACRFQMRMB-UHFFFAOYSA-N monofluoroacetic acid Natural products OC(=O)CF QEWYKACRFQMRMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 5
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 5
- 239000001052 yellow pigment Substances 0.000 description 5
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Natural products CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 241000011547 Plebejus idas Species 0.000 description 4
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N ac1mqpva Chemical compound CC12C(=O)OC(=O)C1(C)C1(C)C2(C)C(=O)OC1=O GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 4
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 4
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical class C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 4
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 239000001056 green pigment Substances 0.000 description 4
- CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N heptan-2-one Chemical compound CCCCCC(C)=O CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910017053 inorganic salt Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 239000000080 wetting agent Substances 0.000 description 4
- BEQKKZICTDFVMG-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4,6-pentaoxepane-5,7-dione Chemical compound O=C1OOOOC(=O)O1 BEQKKZICTDFVMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YLZOPXRUQYQQID-UHFFFAOYSA-N 3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-1-[4-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]propan-1-one Chemical compound N1N=NC=2CN(CCC=21)CCC(=O)N1CCN(CC1)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F YLZOPXRUQYQQID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WVDDGKGOMKODPV-UHFFFAOYSA-N Benzyl alcohol Chemical compound OCC1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 3
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 3
- 239000002671 adjuvant Substances 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N benzyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1=CC=CC=C1 AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 3
- SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N diacetone alcohol Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)O SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 3
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010695 polyglycol Substances 0.000 description 3
- 229920000151 polyglycol Polymers 0.000 description 3
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 3
- KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 1-Octanol Chemical compound CCCCCCCCO KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LEJBBGNFPAFPKQ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOC(=O)C=C LEJBBGNFPAFPKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N 2-Oxohexane Chemical compound CCCCC(C)=O QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl acetate Chemical compound COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 2-prop-2-enoyloxyethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOC(=O)C=C KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DUJMVKJJUANUMQ-UHFFFAOYSA-N 4-methylpentanenitrile Chemical compound CC(C)CCC#N DUJMVKJJUANUMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DEXFNLNNUZKHNO-UHFFFAOYSA-N 6-[3-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperidin-1-yl]-3-oxopropyl]-3H-1,3-benzoxazol-2-one Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C1CCN(CC1)C(CCC1=CC2=C(NC(O2)=O)C=C1)=O DEXFNLNNUZKHNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RJUFJBKOKNCXHH-UHFFFAOYSA-N Methyl propionate Chemical compound CCC(=O)OC RJUFJBKOKNCXHH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATHHXGZTWNVVOU-UHFFFAOYSA-N N-methylformamide Chemical compound CNC=O ATHHXGZTWNVVOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 2
- WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M Potassium chloride Chemical compound [Cl-].[K+] WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GTXJFCIRQNFSFP-UHFFFAOYSA-N acetic acid;1-propoxypropan-2-ol Chemical class CC(O)=O.CCCOCC(C)O GTXJFCIRQNFSFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000008062 acetophenones Chemical class 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 125000005907 alkyl ester group Chemical group 0.000 description 2
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QUKGYYKBILRGFE-UHFFFAOYSA-N benzyl acetate Chemical compound CC(=O)OCC1=CC=CC=C1 QUKGYYKBILRGFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N butyl acetate Chemical compound CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 2
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 2
- HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N cyclohexanol Chemical compound OC1CCCCC1 HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- MTZQAGJQAFMTAQ-UHFFFAOYSA-N ethyl benzoate Chemical compound CCOC(=O)C1=CC=CC=C1 MTZQAGJQAFMTAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 150000002220 fluorenes Chemical class 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 2
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical compound [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001072 heteroaryl group Chemical group 0.000 description 2
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005638 hydrazono group Chemical group 0.000 description 2
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWVMLCQWXVFZCN-UHFFFAOYSA-N isoindoline Chemical class C1=CC=C2CNCC2=C1 GWVMLCQWXVFZCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N isophorone Chemical compound CC1=CC(=O)CC(C)(C)C1 HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 2
- BHIWKHZACMWKOJ-UHFFFAOYSA-N methyl isobutyrate Chemical compound COC(=O)C(C)C BHIWKHZACMWKOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940017219 methyl propionate Drugs 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- XNLICIUVMPYHGG-UHFFFAOYSA-N pentan-2-one Chemical compound CCCC(C)=O XNLICIUVMPYHGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FDPIMTJIUBPUKL-UHFFFAOYSA-N pentan-3-one Chemical compound CCC(=O)CC FDPIMTJIUBPUKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 2
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000003504 photosensitizing agent Substances 0.000 description 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 2
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IZMJMCDDWKSTTK-UHFFFAOYSA-N quinoline yellow Chemical class C1=CC=CC2=NC(C3C(C4=CC=CC=C4C3=O)=O)=CC=C21 IZMJMCDDWKSTTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- CIHOLLKRGTVIJN-UHFFFAOYSA-N tert‐butyl hydroperoxide Chemical compound CC(C)(C)OO CIHOLLKRGTVIJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 150000003918 triazines Chemical class 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HGTUJZTUQFXBIH-UHFFFAOYSA-N (2,3-dimethyl-3-phenylbutan-2-yl)benzene Chemical group C=1C=CC=CC=1C(C)(C)C(C)(C)C1=CC=CC=C1 HGTUJZTUQFXBIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WRXCBRHBHGNNQA-UHFFFAOYSA-N (2,4-dichlorobenzoyl) 2,4-dichlorobenzenecarboperoxoate Chemical compound ClC1=CC(Cl)=CC=C1C(=O)OOC(=O)C1=CC=C(Cl)C=C1Cl WRXCBRHBHGNNQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FJKOQFIGFHTRRW-UHFFFAOYSA-N (2-methoxy-3-methylphenyl)-(3-methylphenyl)methanone Chemical compound COC1=C(C)C=CC=C1C(=O)C1=CC=CC(C)=C1 FJKOQFIGFHTRRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QEQBMZQFDDDTPN-UHFFFAOYSA-N (2-methylpropan-2-yl)oxy benzenecarboperoxoate Chemical compound CC(C)(C)OOOC(=O)C1=CC=CC=C1 QEQBMZQFDDDTPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,7,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C=CC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N 0.000 description 1
- 239000001605 (5-methyl-2-propan-2-ylcyclohexyl) acetate Substances 0.000 description 1
- SPTHWAJJMLCAQF-UHFFFAOYSA-N 1,2-di(propan-2-yl)benzene;hydrogen peroxide Chemical class OO.CC(C)C1=CC=CC=C1C(C)C SPTHWAJJMLCAQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MSAHTMIQULFMRG-UHFFFAOYSA-N 1,2-diphenyl-2-propan-2-yloxyethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC(C)C)C(=O)C1=CC=CC=C1 MSAHTMIQULFMRG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKEGCUDAFWNSSO-UHFFFAOYSA-N 1,8-dibromooctane Chemical compound BrCCCCCCCCBr DKEGCUDAFWNSSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UICXTANXZJJIBC-UHFFFAOYSA-N 1-(1-hydroperoxycyclohexyl)peroxycyclohexan-1-ol Chemical compound C1CCCCC1(O)OOC1(OO)CCCCC1 UICXTANXZJJIBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUZYGTVTZYSBCU-UHFFFAOYSA-N 1-(4-chlorophenyl)ethanone Chemical compound CC(=O)C1=CC=C(Cl)C=C1 BUZYGTVTZYSBCU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DREPONDJUKIQLX-UHFFFAOYSA-N 1-[ethenyl(ethoxy)phosphoryl]oxyethane Chemical compound CCOP(=O)(C=C)OCC DREPONDJUKIQLX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 1-butoxybutane Chemical compound CCCCOCCCC DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-ethoxyethoxy)ethane Chemical compound CCOCCOCCOCC RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CNJRPYFBORAQAU-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-methoxyethoxy)ethane Chemical compound CCOCCOCCOC CNJRPYFBORAQAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPIUIOXAFBGMNB-UHFFFAOYSA-N 1-hexoxyhexane Chemical class CCCCCCOCCCCCC BPIUIOXAFBGMNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YIKSHDNOAYSSPX-UHFFFAOYSA-N 1-propan-2-ylthioxanthen-9-one Chemical compound S1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2C(C)C YIKSHDNOAYSSPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAMHTTBNEJBIKA-UHFFFAOYSA-N 2,2,2-trichloro-1-phenylethanone Chemical compound ClC(Cl)(Cl)C(=O)C1=CC=CC=C1 OAMHTTBNEJBIKA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERJZAHSUZVMCH-UHFFFAOYSA-N 2,2-dichloro-1-phenylethanone Chemical compound ClC(Cl)C(=O)C1=CC=CC=C1 CERJZAHSUZVMCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BRKORVYTKKLNKX-UHFFFAOYSA-N 2,4-di(propan-2-yl)thioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C(C)C)=CC(C(C)C)=C3SC2=C1 BRKORVYTKKLNKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 2,4-diethylthioxanthen-9-one Chemical class C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CC)=CC(CC)=C3SC2=C1 BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DMWVYCCGCQPJEA-UHFFFAOYSA-N 2,5-bis(tert-butylperoxy)-2,5-dimethylhexane Chemical class CC(C)(C)OOC(C)(C)CCC(C)(C)OOC(C)(C)C DMWVYCCGCQPJEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)-N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C(=O)NCCC(N1CC2=C(CC1)NN=N2)=O VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SHRXHKBJUMSIMF-UHFFFAOYSA-N 2-(2-phenylethenyl)-4-(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound ClC(Cl)(Cl)C1=NC=NC(C=CC=2C=CC=CC=2)=N1 SHRXHKBJUMSIMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHOPWFKONJYLCF-UHFFFAOYSA-N 2-(2-sulfanylethyl)isoindole-1,3-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)N(CCS)C(=O)C2=C1 UHOPWFKONJYLCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YSUQLAYJZDEMOT-UHFFFAOYSA-N 2-(butoxymethyl)oxirane Chemical compound CCCCOCC1CO1 YSUQLAYJZDEMOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GUKQCRBUPPCDSA-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-methylpropan-2-yl)oxy]propan-2-ylbenzene Chemical compound CC(C)(C)OC(C)(C)C1=CC=CC=C1 GUKQCRBUPPCDSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CGWDABYOHPEOAD-UHFFFAOYSA-N 2-[(4-fluorophenoxy)methyl]oxirane Chemical compound C1=CC(F)=CC=C1OCC1OC1 CGWDABYOHPEOAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HWSSEYVMGDIFMH-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]ethoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOCCOCCOC(=O)C(C)=C HWSSEYVMGDIFMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQSZMKXODLZDRZ-UHFFFAOYSA-N 2-[[4-(9h-fluoren-1-yl)phenoxy]methyl]oxirane Chemical compound C=1C=C(C=2C3=C(C4=CC=CC=C4C3)C=CC=2)C=CC=1OCC1CO1 OQSZMKXODLZDRZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AAXRSWGYLGOFQP-UHFFFAOYSA-N 2-butoxy-1-(2-butoxyphenyl)ethanone Chemical compound CCCCOCC(=O)C1=CC=CC=C1OCCCC AAXRSWGYLGOFQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MRDMGGOYEBRLPD-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxy-1-(2-ethoxyphenyl)ethanone Chemical compound CCOCC(=O)C1=CC=CC=C1OCC MRDMGGOYEBRLPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XBHQOMRKOUANQQ-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxypropanoic acid Chemical compound CCOC(C)C(O)=O XBHQOMRKOUANQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFUGQJXVXHBTEM-UHFFFAOYSA-N 2-hydroperoxy-2-(2-hydroperoxybutan-2-ylperoxy)butane Chemical compound CCC(C)(OO)OOC(C)(CC)OO WFUGQJXVXHBTEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one Chemical compound CC(C)(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTHJQRHPNQEPAB-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethenylbenzene Chemical compound COC=CC1=CC=CC=C1 CTHJQRHPNQEPAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ICPWFHKNYYRBSZ-UHFFFAOYSA-N 2-methoxypropanoic acid Chemical compound COC(C)C(O)=O ICPWFHKNYYRBSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHNNAWXXUZQSNM-UHFFFAOYSA-N 2-methylbut-1-ene Chemical group CCC(C)=C MHNNAWXXUZQSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPBWMJBZQXCSFW-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropanoyl 2-methylpropaneperoxoate Chemical compound CC(C)C(=O)OOC(=O)C(C)C RPBWMJBZQXCSFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYISVPVWAQRUTL-UHFFFAOYSA-N 2-methylthioxanthen-9-one Chemical class C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C)=CC=C3SC2=C1 MYISVPVWAQRUTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZXTHWIZHGLNEPG-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-4,5-dihydro-1,3-oxazole Chemical compound O1CCN=C1C1=CC=CC=C1 ZXTHWIZHGLNEPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYYQKWASBLTRIW-UHFFFAOYSA-N 2-trimethoxysilylbenzoic acid Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1C(O)=O WYYQKWASBLTRIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJQITXILEOCXGI-UHFFFAOYSA-N 3,3,6,6-tetramethyl-1,2,4,5-tetraoxane Chemical compound CC1(C)OOC(C)(C)OO1 SJQITXILEOCXGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRIBMENBGGCKPD-UHFFFAOYSA-N 3-(2,3-dimethoxyphenyl)prop-2-enal Chemical compound COC1=CC=CC(C=CC=O)=C1OC FRIBMENBGGCKPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRXXEXVXTFEBIY-UHFFFAOYSA-N 3-ethoxypropanoic acid Chemical compound CCOCCC(O)=O JRXXEXVXTFEBIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YSIKHBWUBSFBRZ-UHFFFAOYSA-N 3-methoxypropanoic acid Chemical compound COCCC(O)=O YSIKHBWUBSFBRZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 4-bromo-1,1,1-trifluorobutane Chemical compound FC(F)(F)CCCBr DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XRUKRHLZDVJJSX-UHFFFAOYSA-N 4-cyanopentanoic acid Chemical compound N#CC(C)CCC(O)=O XRUKRHLZDVJJSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGVHNLRUAMRIEW-UHFFFAOYSA-N 4-methylcyclohexan-1-one Chemical compound CC1CCC(=O)CC1 VGVHNLRUAMRIEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YGYCECQIOXZODZ-UHFFFAOYSA-N 4415-87-6 Chemical compound O=C1OC(=O)C2C1C1C(=O)OC(=O)C12 YGYCECQIOXZODZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 5-(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-carbonyl)-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(C(C=2C=C3C(=O)OC(=O)C3=CC=2)=O)=C1 VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JVERADGGGBYHNP-UHFFFAOYSA-N 5-phenylbenzene-1,2,3,4-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC(C=2C=CC=CC=2)=C1C(O)=O JVERADGGGBYHNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 8beta-(2,3-epoxy-2-methylbutyryloxy)-14-acetoxytithifolin Natural products COC(=O)C(C)O LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNSMNVMLTJELDZ-UHFFFAOYSA-N Bis(2-chloroethyl)ether Chemical compound ClCCOCCCl ZNSMNVMLTJELDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N Carbazole Natural products C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XHXUANMFYXWVNG-UHFFFAOYSA-N D-menthyl acetate Natural products CC(C)C1CCC(C)CC1OC(C)=O XHXUANMFYXWVNG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-UHFFFAOYSA-N Di-Et ester-Fumaric acid Natural products CCOC(=O)C=CC(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-WAYWQWQTSA-N Diethyl maleate Chemical compound CCOC(=O)\C=C/C(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-WAYWQWQTSA-N 0.000 description 1
- AQZGPSLYZOOYQP-UHFFFAOYSA-N Diisoamyl ether Chemical compound CC(C)CCOCCC(C)C AQZGPSLYZOOYQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 240000007833 Dracaena angustifolia Species 0.000 description 1
- 235000009262 Dracaena angustifolia Nutrition 0.000 description 1
- XXRCUYVCPSWGCC-UHFFFAOYSA-N Ethyl pyruvate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=O XXRCUYVCPSWGCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N Ethylene carbonate Chemical compound O=C1OCCO1 KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229930194542 Keto Natural products 0.000 description 1
- XHXUANMFYXWVNG-ADEWGFFLSA-N Menthyl acetate Natural products CC(C)[C@@H]1CC[C@@H](C)C[C@H]1OC(C)=O XHXUANMFYXWVNG-ADEWGFFLSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKIZCWYLBDKLSU-UHFFFAOYSA-M N,N,N-Trimethylmethanaminium chloride Chemical compound [Cl-].C[N+](C)(C)C OKIZCWYLBDKLSU-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CCNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OHLUUHNLEMFGTQ-UHFFFAOYSA-N N-methylacetamide Chemical compound CNC(C)=O OHLUUHNLEMFGTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N Phosphorous acid Chemical group OP(O)=O ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 1
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 1
- OUUQCZGPVNCOIJ-UHFFFAOYSA-M Superoxide Chemical compound [O-][O] OUUQCZGPVNCOIJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KNSXNCFKSZZHEA-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C KNSXNCFKSZZHEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BEUGBYXJXMVRFO-UHFFFAOYSA-N [4-(dimethylamino)phenyl]-phenylmethanone Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 BEUGBYXJXMVRFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NOZAQBYNLKNDRT-UHFFFAOYSA-N [diacetyloxy(ethenyl)silyl] acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](OC(C)=O)(OC(C)=O)C=C NOZAQBYNLKNDRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KYIKRXIYLAGAKQ-UHFFFAOYSA-N abcn Chemical compound C1CCCCC1(C#N)N=NC1(C#N)CCCCC1 KYIKRXIYLAGAKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVFWUIDXKJXYFJ-UHFFFAOYSA-N acetic acid;1,2-diethoxyethane Chemical class CC(O)=O.CCOCCOCC SVFWUIDXKJXYFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULIHEZMMKCMMOM-UHFFFAOYSA-N acetic acid;2-phenoxyethanol Chemical class CC(O)=O.OCCOC1=CC=CC=C1 ULIHEZMMKCMMOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HFBMWMNUJJDEQZ-UHFFFAOYSA-N acryloyl chloride Chemical compound ClC(=O)C=C HFBMWMNUJJDEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000001476 alcoholic effect Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000003973 alkyl amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000003282 alkyl amino group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- CHIHQLCVLOXUJW-UHFFFAOYSA-N benzoic anhydride Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OC(=O)C1=CC=CC=C1 CHIHQLCVLOXUJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 1
- 229940007550 benzyl acetate Drugs 0.000 description 1
- 235000019445 benzyl alcohol Nutrition 0.000 description 1
- 229960004217 benzyl alcohol Drugs 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- JZZSYBRYYXBMSD-UHFFFAOYSA-N boric acid sulfane Chemical class OB(O)O.S JZZSYBRYYXBMSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- IWPATTDMSUYMJV-UHFFFAOYSA-N butyl 2-methoxyacetate Chemical compound CCCCOC(=O)COC IWPATTDMSUYMJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWLNAUNEAKQYLH-UHFFFAOYSA-N butyric acid octyl ester Natural products CCCCCCCCOC(=O)CCC PWLNAUNEAKQYLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FJDQFPXHSGXQBY-UHFFFAOYSA-L caesium carbonate Chemical compound [Cs+].[Cs+].[O-]C([O-])=O FJDQFPXHSGXQBY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000024 caesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 125000003917 carbamoyl group Chemical group [H]N([H])C(*)=O 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- PBAYDYUZOSNJGU-UHFFFAOYSA-N chelidonic acid Natural products OC(=O)C1=CC(=O)C=C(C(O)=O)O1 PBAYDYUZOSNJGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- VYVRIXWNTVOIRD-LRHBOZQDSA-N ciguatoxin CTX1B Chemical compound C([C@@]12[C@@H](C)[C@@H]([C@@H]3[C@H]([C@H]([C@H](C)[C@H]4O[C@H]5C[C@@H](C)C[C@H]6O[C@@]7(C)[C@H](O)C[C@H]8O[C@H]9C=C[C@H]%10O[C@H]%11C[C@@H]%12[C@H]([C@@H]([C@H]%13O[C@H](C=CC[C@@H]%13O%12)\C=C\[C@H](O)CO)O)O[C@@H]%11C=C[C@@H]%10O[C@@H]9C\C=C/C[C@@H]8O[C@@H]7C[C@@H]6O[C@@H]5C[C@@H]4O3)O)O2)C)[C@H](O)CO1 VYVRIXWNTVOIRD-LRHBOZQDSA-N 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- IPHJYJHJDIGARM-UHFFFAOYSA-M copper phthalocyaninesulfonic acid, dioctadecyldimethylammonium salt Chemical compound [Cu+2].CCCCCCCCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)CCCCCCCCCCCCCCCCCC.C=1C(S(=O)(=O)[O-])=CC=C(C(=NC2=NC(C3=CC=CC=C32)=N2)[N-]3)C=1C3=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 IPHJYJHJDIGARM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 1
- 125000000392 cycloalkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000012933 diacyl peroxide Substances 0.000 description 1
- 150000001989 diazonium salts Chemical class 0.000 description 1
- MHDVGSVTJDSBDK-UHFFFAOYSA-N dibenzyl ether Chemical compound C=1C=CC=CC=1COCC1=CC=CC=C1 MHDVGSVTJDSBDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940019778 diethylene glycol diethyl ether Drugs 0.000 description 1
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940075557 diethylene glycol monoethyl ether Drugs 0.000 description 1
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N doxepin Chemical compound C1OC2=CC=CC=C2C(=C/CCN(C)C)/C2=CC=CC=C21 ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=C NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- WNIHNYUROPJCLW-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-ethoxy-2-methylpropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)(C)OCC WNIHNYUROPJCLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLEKJZUYWFJPMB-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methoxyacetate Chemical compound CCOC(=O)COC JLEKJZUYWFJPMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KNFXXAGQEUUZAZ-UHFFFAOYSA-N ethyl ethaneperoxoate Chemical compound CCOOC(C)=O KNFXXAGQEUUZAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 229940117360 ethyl pyruvate Drugs 0.000 description 1
- STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol dimethacrylate Substances CC(=C)C(=O)OCCOC(=O)C(C)=C STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical class F* 0.000 description 1
- 125000002485 formyl group Chemical group [H]C(*)=O 0.000 description 1
- ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-f][2]benzofuran-1,3,5,7-tetrone Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC2=C1C(=O)OC2=O ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 125000005549 heteroarylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 1
- 125000004366 heterocycloalkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000717 hydrazino group Chemical group [H]N([*])N([H])[H] 0.000 description 1
- 150000002432 hydroperoxides Chemical class 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 125000001841 imino group Chemical group [H]N=* 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000001023 inorganic pigment Substances 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N iso-butyl acetate Natural products CC(C)COC(C)=O GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WDAXFOBOLVPGLV-UHFFFAOYSA-N isobutyric acid ethyl ester Natural products CCOC(=O)C(C)C WDAXFOBOLVPGLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M isocaproate Chemical compound CC(C)CCC([O-])=O FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N isovaleric acid methyl ester Natural products COC(=O)CC(C)C OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 150000003903 lactic acid esters Chemical class 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 125000005641 methacryl group Chemical group 0.000 description 1
- AKWHOGIYEOZALP-UHFFFAOYSA-N methyl 2-methoxy-2-methylpropanoate Chemical class COC(=O)C(C)(C)OC AKWHOGIYEOZALP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940057867 methyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 1
- 150000002762 monocarboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- ZWRUINPWMLAQRD-UHFFFAOYSA-N n-Nonyl alcohol Natural products CCCCCCCCCO ZWRUINPWMLAQRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZWRDBWDXRLPESY-UHFFFAOYSA-N n-benzyl-n-ethylethanamine Chemical compound CCN(CC)CC1=CC=CC=C1 ZWRDBWDXRLPESY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUIQMZJEGPQKFD-UHFFFAOYSA-N n-butyric acid methyl ester Natural products CCCC(=O)OC UUIQMZJEGPQKFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIKUXBYRTXDNIY-UHFFFAOYSA-N n-methyl-n-phenylformamide Chemical compound O=CN(C)C1=CC=CC=C1 JIKUXBYRTXDNIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MZYHMUONCNKCHE-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,2,3,4-tetracarboxylic acid Chemical compound C1=CC=CC2=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C21 MZYHMUONCNKCHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000012860 organic pigment Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- UFOIOXZLTXNHQH-UHFFFAOYSA-N oxolane-2,3,4,5-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1OC(C(O)=O)C(C(O)=O)C1C(O)=O UFOIOXZLTXNHQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N phenyl(114C)methanol Chemical compound O[14CH2]C1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N 0.000 description 1
- LYXOWKPVTCPORE-UHFFFAOYSA-N phenyl-(4-phenylphenyl)methanone Chemical compound C=1C=C(C=2C=CC=CC=2)C=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 LYXOWKPVTCPORE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CLYVDMAATCIVBF-UHFFFAOYSA-N pigment red 224 Chemical compound C=12C3=CC=C(C(OC4=O)=O)C2=C4C=CC=1C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C4=CC=C3C1=C42 CLYVDMAATCIVBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001515 polyalkylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 1
- 239000001103 potassium chloride Substances 0.000 description 1
- 235000011164 potassium chloride Nutrition 0.000 description 1
- KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoyloxy prop-2-eneperoxoate Chemical compound C=CC(=O)OOOC(=O)C=C KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BWJUFXUULUEGMA-UHFFFAOYSA-N propan-2-yl propan-2-yloxycarbonyloxy carbonate Chemical compound CC(C)OC(=O)OOC(=O)OC(C)C BWJUFXUULUEGMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N propylene carbonate Chemical compound CC1COC(=O)O1 RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- DCKVNWZUADLDEH-UHFFFAOYSA-N sec-butyl acetate Chemical compound CCC(C)OC(C)=O DCKVNWZUADLDEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 1
- 229960001866 silicon dioxide Drugs 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000003930 superacid Substances 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002769 thiazolinyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003573 thiols Chemical class 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N tributylamine Chemical compound CCCCN(CCCC)CCCC IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol Chemical group OCCOCCOCCO ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[2-(7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-yl)ethyl]silane Chemical compound C1C(CC[Si](OC)(OC)OC)CCC2OC21 DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
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- G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
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Abstract
Description
相关申请的引用
本申请要求于2013年10月23日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请号10-2013-0126542的优先权和权益，通过引用将其全部内容结合于本文中。
技术领域
本公开内容涉及包含cardo类树脂（咔唑基树脂，cardo-based resin）的光敏树脂组合物和使用其的挡光层（光阻挡层，light blocking layer）。
背景技术
液晶显示器件包括：下基板，下基板包括含有挡光层的滤色片，ITO像素电极形成在下基板上；有源电路部分，有源电路部分包括液晶层、薄膜晶体管和电容器层；以及上基板，ITO像素电极形成在上基板上。挡光层阻挡从基板的透明像素电极透射出的非受控光，并因此防止由于透过薄膜晶体管的光所导致的对比度下降。红、绿和蓝挡光层透射白光中具有预定波长的光并且显示彩色。通常，通过颜料分散法制备挡光层。颜料分散法包括：用含着色剂的可光致聚合组合物涂覆透明基板，通过热固化曝光以提供图案，以及用溶剂除去未曝光的部分。然而，当光敏聚酰亚胺或酚类树脂用作颜料分散法中的粘合剂树脂时可以获得高耐热性，但是感光度降低并且需要有机溶剂作为显影溶剂。使用叠氮化合物的光致抗蚀剂具有低感光度和耐热性，并且在曝光期间会受到氧的影响。同样，丙烯酰基类树脂具有良好的耐热性、耐收缩性、耐化学性等，但是感光度、可显影性和紧密接触特性降低。由于大量包括黑色颜料以便调节挡光层的光密度，所以可以显著劣化感光度、可显影性和紧密接触特性。
发明内容
本发明的一个实施方式提供了具有优异紧密接触特性（closecontacting properties）和分辨率的光敏树脂组合物。
本发明的另一个实施方式提供了使用该光敏树脂组合物制造的挡光层。
本发明的一个方面提供了一种光敏树脂组合物，包括：（A）含有由以下化学式1表示的重复单元的cardo类树脂；（B）活性不饱和化合物（反应性不饱和化合物，reactive unsaturated compound）；（C）颜料；（D）引发剂；以及（E）溶剂。
[化学式1]
在以上化学式1中，
R11和R12独立地是由以下化学式2-1或2-2表示的取代基，
R13和R14独立地是氢原子、卤素原子，或取代或未取代的C1至C20烷基，
R5是氢原子、或由以下化学式3表示的取代基，
Z11是单键、O、CO、SO2、CR6R7、SiR8R9（其中，R6至R9独立地是氢原子、或取代或未取代的C1至C20烷基）、或由以下化学式4-1至4-11表示的一种连接基团，
Z12是酸酐残基（acid anhydride residual group）或酸二酐残基（aciddianhydride residual group），并且
m11和m12独立地是0至4范围的整数。
[化学式2-1]
[化学式2-2]
[化学式3]
在以上化学式2-1和2-2中，
L1至L3独立地是单键、取代或未取代的C1至C30亚烷基、或取代或未取代的C6至C30亚芳基，
R15和R16独立地是氢原子、或取代或未取代的C1至C12烷基，并且
在以上化学式3中，
R17是取代或未取代的C1至C30烷基、或取代或未取代的(甲基)丙烯酸酯基。
[化学式4-1]
[化学式4-2]
[化学式4-3]
[化学式4-4]
[化学式4-5]
在以上化学式4-5中，
Ra是氢原子、乙基、C2H4Cl、C2H4OH、CH2CH=CH2、或苯基。
[化学式4-6]
[化学式4-7]
[化学式4-8]
[化学式4-9]
[化学式4-10]
[化学式4-11]
以上化学式3可以由选自以下化学式5-1至5-4中的一种表示。
[化学式5-1]
[化学式5-2]
[化学式5-3]
[化学式5-4]
在以上化学式5-1至5-4中，
L4至L6独立地是单键、取代或未取代的C1至C30亚烷基、或取代或未取代的C6至C30亚芳基，并且
R18至R24独立地是取代或未取代的C1至C30烷基。
cardo类树脂可以具有约500g/mol至约50,000g/mol的重均分子量。
cardo类树脂可以在两个末端中的至少一个处包括由以下化学式6表示的端基（terminal group）。
[化学式6]
在以上化学式6中，
Z3是由以下化学式7-1至7-7表示的连接基团。
[化学式7-1]
在以上化学式7-1中，
Rb和Rc独立地是氢原子、取代或未取代的C1至C20烷基、酯基、或醚基。
[化学式7-2]
[化学式7-3]
[化学式7-4]
[化学式7-5]
在以上化学式7-5中，
Rd是O、S、NH、取代或未取代的C1至C20亚烷基、C1至C20烷基胺基（烷胺基，alkylamine group）、或C2至C20烯丙胺基。
[化学式7-6]
[化学式7-7]
光敏树脂组合物可以包含约1wt%至约30wt%的cardo类树脂（A）；约1wt%至约40wt%的活性不饱和化合物（B）；约1wt%至约50wt%的颜料（C）；约0.01wt%至约10wt%的引发剂（D）；以及余量的溶剂（E）。
光敏树脂组合物可以进一步包含丙烯酰基类树脂（丙烯酸基类树脂，acryl-based resin）。
丙烯酰基类树脂可以是第一烯键式不饱和单体（ethylenic unsaturatedmonomer）和第二烯键式不饱和单体的共聚物，第一烯键式不饱和单体包括(甲基)丙烯酸、马来酸、衣康酸、富马酸、或它们的组合；第二烯键式不饱和单体包括苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、乙烯基苄甲醚、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸-2-氨基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-二甲基氨基乙酯、乙酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯腈、(甲基)丙烯酰胺、或它们的组合。
丙烯酰基类树脂可以具有约3,000g/mol至约40,000g/mol的重均分子量。
可以以约99:1至约30:70的重量比包括cardo类树脂和丙烯酰基类树脂。
引发剂可以是光聚合引发剂、自由基聚合引发剂、或它们的组合。
基于100重量份的光敏树脂组合物，光敏树脂组合物可以进一步包含约0.01重量份至约20重量份的环氧化合物。
本发明的另一个方面提供了使用光敏树脂组合物制造的挡光层。
本发明的其他方面包括在以下具体实施方式中。
光敏树脂组合物具有紧密接触特性和分辨率，并且可以有效应用于挡光层等。
具体实施方式
在下文中，详细描述本发明的实施方式。然而，这些实施方式是示例性的，并且本公开内容并不限于此。
如在本文中使用的，当没有另外提供具体定义时，术语“烷基”是指C1至C20烷基，术语“烯基”是指C2至C20烯基，术语“环烯基”是指C3至C20环烯基，术语“杂环烯基”是指C3至C20杂环烯基，术语“芳基”是指C6至C20芳基，术语“芳烷基”是指C6至C20芳烷基，术语“亚烷基”是指C1至C20亚烷基，术语“亚芳基”是指C6至C20亚芳基，术语“亚烷基芳基（烷基亚芳基，alkylarylene group）”是指C6至C20亚烷基芳基，术语“亚杂芳基（杂亚芳基，heteroarylene group）”是指C3至C20亚杂芳基，以及术语“亚烷氧基”是指C1至C20亚烷氧基。
如在本文中使用的，当没有另外提供具体定义时，术语“取代的”是指用下述的取代基取代，代替至少一个氢，所述取代基选自卤素原子（F、Cl、Br或I）、羟基、C1至C20烷氧基、硝基、氰基、胺基、亚氨基、叠氮基、脒基、肼基、亚肼基（肼叉，亚联氨基，hydrazono group）、羰基、氨基甲酰基、硫羟基、酯基、醚基、甲硅烷基、羧基或其盐、磺酸基或其盐、磷酸基或其盐如膦酸基等、C1至C20烷基、C2至C20烯基、C2至C20炔基、C6至C20芳基、C3至C20环烷基、C3至C20环烯基、C3至C20环炔基、C2至C20杂环烷基、C2至C20杂环烯基、C2至C20杂环炔基、C3至C20杂芳基、或它们的组合。
如在本文中使用的，当没有另外提供具体定义时，术语“杂”是指在化学式中包括选自N、O、S和P中的至少一个杂原子。
如在本文中使用的，当没有另外提供具体定义时，“(甲基)丙烯酸酯”是指“丙烯酸酯”和“甲基丙烯酸酯”，并且“(甲基)丙烯酸”是指“丙烯酸”和“甲基丙烯酸”。
如在本文中使用的，当没有另外提供具体定义时，术语“组合”是指混合或共聚。
如在本文中使用的，除非另外提供具体定义，否则氢原子键合在其中假定给出但没有画出化学键的位置处。
如在本文中使用的，当没有另外提供具体定义时，“*”表示其中相同或不同原子或化学式被连接的点。
根据一个实施方式的光敏树脂组合物包含（A）cardo类树脂、（B）活性不饱和化合物、（C）颜料、（D）引发剂、以及（E）溶剂。cardo类树脂包括由以下化学式2-1或2-2表示的取代基，并且还包括由以下化学式5-1至5-4表示的一种或多种取代基，并且从而可以改善对基板的紧密接触力，以及可以实现优异的分辨率。
在下文中，将具体地描述每种组分。
（A）Cardo类树脂
cardo类树脂包括由以下化学式1表示的重复单元。
[化学式1]
在以上化学式1中，
R11和R12独立地是由以下化学式2-1或2-2表示的取代基，
R13和R14独立地是氢原子、卤素原子、或取代或未取代的C1至C20烷基，
R5是氢原子、或由以下化学式3表示的取代基，
Z11是单键、O、CO、SO2、CR6R7、SiR8R9（其中，R6至R9独立地是氢原子、或取代或未取代的C1至C20烷基）、或由以下化学式4-1至4-11表示的一种连接基团，
Z12是酸酐残基或酸二酐残基，并且
m11和m12独立地是0至4范围的整数。
[化学式2-1]
[化学式2-2]
[化学式3]
在以上化学式2-1和2-2中，
L1至L3独立地是单键、取代或未取代的C1至C30亚烷基、或取代或未取代的C6至C30亚芳基，
R15和R16独立地是氢原子、或取代或未取代的C1至C12烷基，并且
在以上化学式3中，
R17是取代或未取代的C1至C30烷基、或取代或未取代的(甲基)丙烯酸酯基。
[化学式4-1]
[化学式4-2]
[化学式4-3]
[化学式4-4]
[化学式4-5]
在以上化学式4-5中，
Ra是氢原子、乙基、C2H4Cl、C2H4OH、CH2CH=CH2、或苯基。
[化学式4-6]
[化学式4-7]
[化学式4-8]
[化学式4-9]
[化学式4-10]
[化学式4-11]
由以上化学式1表示的重复单元包括在指示为R11和R12的位置处由以上化学式2-1或2-2表示的取代基以及在指示为R5的位置处由以上化学式3表示的取代基，并且因而可以改善光敏树脂组合物与基板的紧密接触力，并且因而改善分辨率。
以上化学式3可以由选自以下化学式5-1至5-4中的一种表示。
[化学式5-1]
[化学式5-2]
[化学式5-3]
[化学式5-4]
在以上化学式5-1至5-4中，
L4至L6独立地是单键、取代或未取代的C1至C30亚烷基、或取代或未取代的C6至C30亚芳基，并且
R18至R24独立地是取代或未取代的C1至C30烷基。
cardo类树脂可以在两个末端中的至少一个处包括由以下化学式6表示的端基。
[化学式6]
在以上化学式6中，
Z3是由以下化学式7-1至7-7表示的连接基团。
[化学式7-1]
在以上化学式7-1中，
Rb和Rc独立地是氢原子、取代或未取代的C1至C20烷基、酯基、或醚基。
[化学式7-2]
[化学式7-3]
[化学式7-4]
[化学式7-5]
在以上化学式7-5中，
Rd是O、S、NH、取代或未取代的C1至C20亚烷基、C1至C20烷基胺基、或C2至C20烯丙胺基。
[化学式7-6]
[化学式7-7]
可以具体地通过混合下述中的至少两种制备cardo类树脂：含氟化合物，如9,9-双(4-环氧乙基甲氧基苯基)氟（9,9-bis(4-oxiranylmethoxyphenyl)fluorine）等；酸酐化合物，如苯四羧酸二酐、萘四羧酸二酐、联苯基四羧酸二酐、二苯甲酮四羧酸二酐、均苯四酸二酐、环丁烷四羧酸二酐、二萘嵌苯四羧酸二酐、四氢呋喃四羧酸二酐、四氢邻苯二甲酸酐（tetrahydrophthalic anhydride）等；二醇化合物，如乙二醇、丙二醇、聚乙二醇等；醇化合物，如甲醇、乙醇、丙醇、正丁醇、环己醇、苄醇等；溶剂化合物，如丙二醇甲基乙基乙酸酯、N-甲基吡咯烷酮等；磷化合物，如三苯基膦等；以及胺或铵盐化合物，如氯化四甲铵、溴化四乙铵、苄基二乙胺、三乙胺、三丁胺、苄基三乙基氯化铵等。
cardo类树脂可以具有约500g/mol至约50,000g/mol、例如约1,000g/mol至约30,000g/mol的重均分子量。当cardo类树脂具有在此范围内的重均分子量时，可以很好地形成图案而在挡光层的制备期间不存在残余物并且在显影期间不存在膜厚度损失。
基于光敏树脂组合物的总量，可以以约1wt%至约30wt%、例如约3wt%至约20wt%的量包括cardo类树脂。当cardo类树脂包括在此范围内时，可以获得优异的感光度、可显影性和紧密接触特性。
除了cardo类树脂之外，光敏树脂组合物可以进一步包含丙烯酰基类树脂。丙烯酰基类树脂是第一烯键式不饱和单体和与第一烯键式不饱和单体可共聚的第二烯键式不饱和单体的共聚物，并且是包含至少一个丙烯酰基类重复单元的树脂。
第一烯键式不饱和单体是包括至少一个羧基的烯键式不饱和单体。单体的实例包括(甲基)丙烯酸、马来酸、衣康酸、富马酸、或它们的组合。
基于丙烯酰基类树脂的总量，可以以约5wt%至约50wt%、例如约10wt%至约40wt%的量包括第一烯键式不饱和单体。
第二烯键式不饱和单体可以是芳族乙烯基化合物如苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、乙烯基苄基甲基醚等；不饱和羧酸酯化合物如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸苯酯等；不饱和羧酸氨基烷基酯化合物如(甲基)丙烯酸-2-氨基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-二甲基氨基乙酯等；羧酸乙烯基酯化合物如乙酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯等；不饱和羧酸缩水甘油酯化合物如(甲基)丙烯酸缩水甘油酯等；乙烯基氰化物如(甲基)丙烯腈等；不饱和酰胺化合物如(甲基)丙烯酰胺等；等，并且可以单独或作为两种或更多种的混合物使用。
丙烯酰基类树脂的具体实例可以是丙烯酸/甲基丙烯酸苄酯共聚物、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸苄酯共聚物、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸苄酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸-2-羟基乙酯共聚物、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸苄酯/苯乙烯/甲基丙烯酸-2-羟基乙酯共聚物等，但不限于此。这些可以单独地或作为两种或更多种的混合物使用。
丙烯酰基类树脂可以具有约3,000g/mol至约40,000g/mol、例如约5,000g/mol至约30,000g/mol的重均分子量。当丙烯酰基类树脂具有在此范围内的重均分子量时，光敏树脂组合物可以具有优异的物理和化学特性以及适当的粘度，保持适当的可显影性和感光度，并且在制备挡光层期间显示出优异的与基板的紧密接触力。
丙烯酰基类树脂可以具有范围从约20mgKOH/g至约200mgKOH/g、例如从约50mgKOH/g至约150mgKOH/g的酸值。当丙烯酰基类树脂具有在此范围内的酸值时，像素图案可以维持可显影性，并且从而具有优异的分辨率。
当丙烯酰基类树脂包括在光敏树脂组合物中时，可以以范围从约99:1至约30:70以及例如约95:5至约50:50的重量比使用cardo类树脂和丙烯酰基类树脂。当cardo类树脂和丙烯酰基类树脂包括在此重量比范围内时，可以形成具有优异锥度特性（tapering characteristics）以及维持优异的可显影性和感光度的挡光层图案，并且还可以抑制底切。
（B）活性不饱和化合物
活性不饱和化合物可以是在光敏树脂组合物中通常使用的单体或低聚物。其可以是包括至少一个烯键式不饱和双键的(甲基)丙烯酸的单官能或多官能酯。
活性不饱和化合物具有烯键式不饱和双键，从而可以在图案形成过程中在曝光期间引起充分聚合，并且形成具有优异耐热性、耐光性和耐化学性的图案。
活性不饱和化合物的具体实例可以是二丙烯酸乙二醇酯、二甲基丙烯酸乙二醇酯、二丙烯酸二乙二醇酯、二丙烯酸三乙二醇酯、二甲基丙烯酸三乙二醇酯、二丙烯酸-1,6-己二醇酯、二甲基丙烯酸-1,6-己二醇酯、三丙烯酸季戊四醇酯、四丙烯酸季戊四醇酯、五丙烯酸二季戊四醇酯、六丙烯酸二季戊四醇酯、双酚A环氧丙烯酸酯、乙二醇单甲醚丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、磷酸三丙烯酰氧乙基酯等。
可光聚合单体的商业可获得的实例如下。单官能(甲基)丙烯酸酯可以包括Aronix（TOAGOSEI CHEMICALINDUSTRY Co.,Ltd.）；KAYARAD（NIPPONKAYAKU Co.,Ltd.）；（OSAKA ORGANIC CHEMICALIND.,Ltd.）等。双官能(甲基)丙烯酸酯的实例可以包括Aronix （TOAGOSEI CHEMICAL INDUSTRY Co.,Ltd.）、KAYARAD（NIPPON KAYAKU Co.,Ltd.）、（OSAKA ORGANIC CHEMICAL IND.,Ltd.）等。三官能(甲基)丙烯酸酯的实例可以包括Aronix （TOAGOSEI CHEMICALINDUSTRY Co.,Ltd.）、KAYARAD （NIPPON KAYAKU Co.,Ltd.）、 （Osaka Yuki Kayaku Kogyo Co.Ltd.）等。这些可以单独地或作为两种或更多种的混合物使用。
可以用酸酐处理活性不饱和化合物以改善可显影性。
基于光敏树脂组合物的总量，可以以约1wt%至约40wt%、例如约1wt%至约20wt%的量包括活性不饱和化合物。当在此范围内包括活性不饱和化合物时，在图案形成过程中在曝光期间，活性不饱和化合物被充分固化并且具有优异的可靠性，从而可以形成具有优异耐热性、耐光性、和耐化学性，以及还有优异的分辨率和紧密接触特性的图案。
（C）颜料
颜料可以包括有机颜料和无机颜料。
颜料可以包括红颜料、绿颜料、蓝颜料、黄颜料、黑颜料等。
红颜料的实例可以是C.I.红颜料254、C.I.红颜料255、C.I.红颜料264、C.I.红颜料270、C.I.红颜料272、C.I.红颜料177、C.I.红颜料89等。绿颜料的实例可以是卤素取代的铜酞菁颜料如C.I.绿颜料36、C.I.绿颜料7等。蓝颜料的实例可以是铜酞菁颜料如C.I.蓝颜料15:6、C.I.蓝颜料15、C.I.蓝颜料15:1、C.I.蓝颜料15:2、C.I.蓝颜料15:3、C.I.蓝颜料15:4、C.I.蓝颜料15:5、C.I.蓝颜料16等。黄颜料的实例可以是异吲哚啉类颜料（isoindoline-based pigment）如C.I.黄颜料139等，喹酞酮类颜料（quinophthalone-based pigment）如C.I.黄颜料138等，镍复合物颜料（镍络合物颜料，nickel complex pigment）如C.I.黄颜料150等。黑颜料的实例可以是苯胺黑、二萘嵌苯黑、钛黑、炭黑等。颜料可以单独或作为两种或更多种的混合物使用，但不限于此。
在这些颜料之中，黑颜料可以用于进行有效的挡光层的光阻挡。黑颜料可以与颜色校准剂（color calibrator）如蒽醌类颜料、二萘嵌苯类颜料、酞菁类颜料、偶氮类颜料等一起使用。
光敏树脂组合物可以进一步包含分散剂以便改善颜料的分散。具体地，颜料可以利用分散剂进行表面预处理，或颜料和分散剂可以在制备光敏树脂组合物的过程中一起加入。
分散剂可以是非离子分散剂、阴离子分散剂、阳离子分散剂等。分散剂的具体实例可以是聚亚烷基二醇及其酯、聚氧化烯（聚乙二醇）、多元醇酯氧化烯加成产物（多元醇酯环氧烷加成产物，polyhydric alcohol esteralkylene oxide addition product）、醇氧化烯加成产物（醇环氧烷加成产物）、磺酸酯、磺酸盐、羧酸酯、羧酸盐、烷基酰胺氧化烯加成产物、烷基胺等，并且可以单独或作为两种或更多种的混合物使用。
分散剂的商业可获得的实例可以包括：由BYK Co.,Ltd.制造的DISPERBYK-101、DISPERBYK-130、DISPERBYK-140、DISPERBYK-160、DISPERBYK-161、DISPERBYK-162、DISPERBYK-163、DISPERBYK-164、DISPERBYK-165、DISPERBYK-166、DISPERBYK-170、DISPERBYK-171、DISPERBYK-182、DISPERBYK-2000、DISPERBYK-2001等；由EFKAChemicals Co.制造的EFKA-47、EFKA-47EA、EFKA-48、EFKA-49、EFKA-100、EFKA-400、EFKA-450等；由Zeneka Co.制造的Solsperse5000、Solsperse12000、Solsperse13240、Solsperse13940、Solsperse17000、Solsperse20000、Solsperse24000GR、Solsperse27000、Solsperse28000等；或由Ajinomoto Inc.制造的PB711、PB821等。
基于光敏树脂组合物的总重量，可以以约0.1wt%至约15wt%的量包括分散剂。当在此范围内包括分散剂时，光敏树脂组合物具有优异的分散特性，并且因此可以形成具有优异的稳定性、可显影性以及图案形成能力的挡光层。
可以使用水溶性无机盐和润湿剂对颜料进行预处理。当对颜料进行预处理时，颜料的初级颗粒可以变得更细。
可以通过将颜料与水溶性无机盐和润湿剂一起捏和，然后过滤和洗涤捏和颜料而进行预处理。
可以在范围从约40℃至约100℃的温度下进行捏和，并且可以通过在用水等洗去无机盐之后过滤颜料而进行过滤和洗涤。
水溶性无机盐的实例可以是氯化钠、氯化钾等，但不限于此。润湿剂可以使颜料与水溶性无机盐均匀地混合并且研磨成粉。润湿剂的实例包括亚烷基二醇单烷基醚，如乙二醇单乙醚、丙二醇单甲醚、二乙二醇单甲醚等；以及醇，如乙醇、异丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、二乙二醇、聚乙二醇、甘油聚乙二醇（glycerine polyethylene glycol）等。这些可以单独地或作为两种或更多种的混合物使用。
在捏和之后，颜料可以具有范围从约30nm至约100nm的平均粒径。当颜料具有在此范围内的平均粒径时，可以有效地形成具有优异的耐热性和耐光性的精细图案。
基于光敏树脂组合物的总量，可以以约1wt%至约50wt%并且例如约2wt%至约45wt%的量包括颜料。当在此范围内包括颜料时，可以获得具有优异的颜色再现性、固化特性和紧密接触特性的图案。
（D）引发剂
引发剂可以是光聚合引发剂、自由基聚合引发剂、或它们的组合。
光聚合引发剂可以是光敏树脂组合物中通常使用的光聚合引发剂，例如苯乙酮类化合物、二苯甲酮类化合物、噻吨酮类化合物、苯偶姻类化合物、三嗪类化合物、肟类化合物等。
苯乙酮类化合物的实例可以是2,2′-二乙氧基苯乙酮、2,2′-二丁氧基苯乙酮、2-羟基-2-甲基苯丙酮、对叔丁基三氯苯乙酮、对叔丁基二氯苯乙酮、4-氯苯乙酮、2,2′-二氯-4-苯氧基苯乙酮、2-甲基-1-(4-(甲硫基)苯基)-2-吗啉代丙-1-酮、2-苄基-2-二甲氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁-1-酮等。
二苯甲酮类化合物的实例可以是二苯甲酮、苯甲酰基苯甲酸酯、甲基苯甲酰基苯甲酸酯、4-苯基二苯甲酮、羟基二苯甲酮、丙烯酸酯化二苯甲酮（丙烯酸化二苯甲酮）、4,4′-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4′-双(二乙基氨基)二苯甲酮、4,4′-二甲基氨基二苯甲酮、4,4′-二氯二苯甲酮、3,3′-二甲基-2-甲氧基二苯甲酮等。
噻吨酮类化合物的实例可以是噻吨酮、2-氯噻吨酮、2-甲基噻吨酮、异丙基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2,4-二异丙基噻吨酮等。
苯偶姻类化合物的实例可以是苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻异丙醚、苯偶姻异丁醚、苄基二甲基缩酮等。
三嗪类化合物的实例可以是2,4,6-三氯-s-三嗪、2-苯基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(3′,4′-二甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4′-甲氧基萘基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(对甲氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(对甲苯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-联苯基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、双(三氯甲基)-6-苯乙烯基-s-三嗪、2-(萘并-1-基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基萘并-1-基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-胡椒基-s-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-s-三嗪等。
肟类化合物的实例可以是O-酰基肟类化合物、2-(O-苯甲酰基肟)-1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-辛二酮、1-(O-乙酰基肟)-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]乙酮、O-乙氧基羰基-α-氧氨基-1-苯基丙-1-酮等。O-酰基肟类化合物的具体实例可以是1,2-辛二酮、2-二甲氨基-2-(4-甲苄基)-1-(4-吗啉-4-基-苯基)-丁-1-酮、1-(4-苯基硫烷基苯基)-丁烷-1,2-二酮2-肟-O-苯甲酸酯、1-(4-苯基硫烷基苯基)-辛烷-1,2-二酮2-肟-O-苯甲酸酯、1-(4-苯基硫烷基苯基)-辛-1-酮肟-O-乙酸酯、1-(4-苯基硫烷基苯基)-丁-1-酮肟-O-乙酸酯等。
除了该化合物之外，光聚合引发剂可以进一步包括咔唑类化合物、二酮类化合物、硼酸锍类化合物、重氮类化合物、咪唑类化合物、联咪唑类化合物（biimidazole-based compound）等。
自由基聚合引发剂可以是过氧化物类化合物、偶氮双类化合物（偶氮双基化合物，azobis-based compound）等。
过氧化物类化合物的实例可以是酮过氧化物类，如过氧化甲乙酮、过氧化甲基异丁酮、过氧化环己酮、过氧化甲基环己酮、过氧化乙酰丙酮等；二酰基过氧化物类，如过氧化异丁酰、2,4-二氯苯甲酰过氧化物、邻甲基苯甲酰过氧化物、双-3,5,5-三甲基己酰过氧化物等；氢过氧化物类（hydroperoxides），如2,4,4-三甲基苯基-2-氢过氧化物、二异丙基苯氢过氧化物、枯烯氢过氧化物、叔丁基氢过氧化物等；二烷基过氧化物类，如二枯基过氧化合物、2,5-二甲基-2,5-二(叔丁基过氧)己烷、1,3-双(叔丁氧基异丙基)苯、叔丁基过氧戊酸正丁酯等；烷基过酸酯，如2,4,4-三甲基戊基过氧苯氧基乙酸酯、α-枯基过氧新癸酸酯、叔丁基过氧苯甲酸酯、二叔丁基过氧三甲基己二酸酯等；过碳酸酯类，如二-3-甲氧基丁基过氧二碳酸酯、二-2-乙基己基过氧二碳酸酯、双-4-叔丁基环己基过氧二碳酸酯、二异丙基过氧二碳酸酯、乙酰环己基磺酰基过氧化物、叔丁基过氧芳基碳酸酯等。
偶氮双类化合物的实例可以是1,1′-偶氮双环己烷-1-腈、2,2′-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)、2,2-偶氮双(甲基异丁酸酯)、2,2′-偶氮双(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、α,α′-偶氮双(异丁腈)和4,4′-偶氮双(4-氰基戊酸)等。
引发剂可以与通过吸收光并且变得被激发而能够引起化学反应，然后传递其能量的光敏剂一起使用。
光敏剂的实例可以是四乙二醇双-3-巯基丙酸盐(酯)、季戊四醇四-3-巯基丙酸盐(酯)、二季戊四醇四-3-巯基丙酸盐(酯)等。
基于光敏树脂组合物的总量，可以以约0.01wt%至约10wt%、例如以约0.1wt%至约5wt%的量包含引发剂。当所包括的引发剂在此范围内时，由于在图案形成过程中在曝光期间的充分固化可以确保优异的可靠性，图案可以具有优异的分辨率和紧密接触特性以及优异的耐热性、耐光性、以及耐化学性，并且由于非反应引发剂，使得可以防止透光度劣化。
（E）溶剂
溶剂是与cardo类树脂、活性不饱和化合物、颜料和引发剂具有相容性而不与它们反应的物质。
溶剂的实例可以包括醇类，如甲醇、乙醇等；醚类，如二氯乙醚、正丁基醚、二异戊醚、甲基苯醚、四氢呋喃等；二醇醚，如乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚等；溶纤剂乙酸酯（乙酸溶纤剂），如甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、二乙基溶纤剂乙酸酯等；卡必醇类，如甲基乙基卡必醇、二乙基卡必醇、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二乙醚等；丙二醇烷基醚乙酸酯类，如丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇丙醚乙酸酯等；芳族烃类，如甲苯、二甲苯等；酮类，如甲乙酮、环己酮、4-羟基-4-甲基-2-戊酮、甲基正丙基酮、甲基正丁基酮、甲基正戊基酮、2-庚酮等；饱和脂肪族单羧酸烷基酯，如乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯等；乳酸酯类，如乳酸甲酯、乳酸乙酯等；氧乙酸烷基酯类（oxy acetic acid alkyl esters），如氧乙酸甲酯、氧乙酸乙酯、氧乙酸丁酯等；烷氧基乙酸烷基酯，如甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯等；3-氧丙酸烷基酯，如3-氧丙酸甲酯、3-氧丙酸乙酯等；3-烷氧基丙酸烷基酯，如3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯等；2-氧丙酸烷基酯，如2-氧丙酸甲酯、2-氧丙酸乙酯、2-氧丙酸丙酯等；2-烷氧基丙酸烷基酯，如2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸甲酯等；2-氧基-2-甲基丙酸酯（2-oxy-2-methylpropionic acid ester），如2-氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-氧基-2-甲基丙酸乙酯等；2-烷氧基-2-甲基丙酸烷基酯的单氧基单羧酸烷基酯，如2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯等；酯类，如2-羟基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、羟基乙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯等；酮酸酯类，如丙酮酸乙酯等。另外地，还可以使用高沸点溶剂如N-甲基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N-甲基甲酰苯胺、N-甲基乙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲亚砜、苄基乙醚、二己醚、乙酰丙酮、异佛尔酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、苄醇、乙酸苄酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、γ-丁内酯、碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯、苯基溶纤剂乙酸酯等。
考虑到互溶性和反应性，可以优选使用二醇醚类，如乙二醇单乙醚等；乙二醇烷基醚乙酸酯类，如乙基溶纤剂乙酸酯等；酯类，如2-羟基丙酸乙酯等；卡必醇类，如二乙二醇单甲醚等；丙二醇烷基醚乙酸酯类，如丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇丙醚乙酸酯等。
基于光敏树脂组合物的总量，溶剂以余量并且具体地以约40wt%至约90wt%使用。当所包括的溶剂在此范围内时，光敏树脂组合物可以具有导致改善挡光层的涂覆特性的适当的粘度。
（F）其他添加剂
光敏树脂组合物可以进一步包含环氧化合物以改善与基板的紧密接触特性等。
环氧化合物的实例可以包括苯酚酚醛环氧化合物（可溶可熔酚醛环氧化合物，phenol novolac epoxy compound）、四甲基二苯基环氧化合物、双酚A环氧化合物、脂环族环氧化合物、或它们的组合。
基于100重量份的光敏树脂组合物，可以以约0.01重量份至约20重量份并且例如约0.1重量份至约10重量份的量包含环氧化合物。当所包括的环氧化合物在此范围内时，可以改善紧密接触特性、储存特性等。
此外，光敏树脂组合物可以进一步包含具有活性取代基如羧基、甲基丙烯酰基、异氰酸酯基、环氧基等的硅烷偶联剂，以改善其与基板的粘附性。
硅烷类偶联剂的实例可以包括三甲氧基甲硅烷基苯甲酸、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、γ-异氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、γ-缩水甘油氧基丙基三甲氧基硅烷、β-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷等。这些可以单独地或作为两种或更多种的混合物使用。
基于100重量份的光敏树脂组合物，可以以约0.01重量份至约10重量份的量包含硅烷偶联剂。当所包括的硅烷偶联剂在此范围内时，紧密接触特性、储存特性等可以是优异的。
此外，根据需要，光敏树脂组合物可以进一步包含表面活性剂以改善涂覆并且防止缺陷。
表面活性剂的实例可以是商业的氟类表面活性剂如和（BM Chemie Inc.）；MEGAFACE F以及（Dainippon Ink Kagaku Kogyo Co.,Ltd.）；FULORADFULORADFULORAD和FULORAD（Sumitomo3M Co.,Ltd.）；SURFLONSURFLONSURFLONSURFLON和（Asahi Glass Co.,Ltd.）；以及和等（ToraySilicone Co.,Ltd.）。
基于100重量份的光敏树脂组合物，可以以约0.001重量份至约5重量份的量使用表面活性剂。当所包括的表面活性剂在此范围内时，可以确保玻璃基板上的优异的润湿以及涂覆均匀性，而不能产生污迹。
此外，光敏树脂组合物可以以预定量包含其他添加剂如抗氧化剂、稳定剂等，除非它们会劣化光敏树脂组合物的性能。
根据本发明的另一个实施方式，提供了使用光敏树脂组合物制造的挡光层。可以如下制造挡光层。
（1）施用和膜形成
使用旋涂法或狭缝涂覆法、辊涂法、丝网印刷法、涂抹法（applicatormethod）等，将光敏树脂组合物涂覆在经过预定预处理的基板上，以具有期望的厚度，例如范围从约0.5μm至约25μm的厚度。然后，在范围从约70℃至约110℃的温度下加热涂覆的基板约1分钟至约10分钟以去除溶剂。
（2）曝光
在放置具有预定形状的掩模之后，通过约190nm至约500nm的活性射线辐照得到的膜以形成期望的图案。
通过使用光源如具有低压、高压或超高压的汞灯、金属卤化物灯、氩气激光器等进行辐照。根据情况，还可以使用X射线、电子束等。
当使用高压汞灯时，曝光过程使用，例如，约500mJ/cm2或更少的光剂量（用365nm传感器）。然而，光剂量可以根据光敏树脂组合物的每一种组分的种类、其组合比以及干膜厚度而变化。
（3）显影
在曝光过程之后，使用碱性水溶液以通过溶解并且去除曝光部分之外的不必要的部分来使曝光的膜显影，从而形成图像图案。
（4）后处理
为了实现耐热性、耐光性、紧密接触特性、抗裂性、耐化学性、高强度、储存稳定性等方面的优异质量，可以再次加热或通过活性射线等辐照显影的图像图案用于进行固化。
因此，以上光敏树脂组合物可以提供具有改善的高紧密接触力和挡光层需要的分辨率的图案。
在下文中，将参照实施例更详细地说明本发明。然而，这些实施例在任何情况下都不能解释为限制本发明的范围。
（制备Cardo类树脂单体）
制备例1-1
将100g9,9′-双(4-缩水甘油氧基苯基)芴（9,9'-bis(4-glycidoxyphenyl)fluorene）（Hear Chem）、96g单-2-乙基丙烯酰琥珀酸、1.4g苄基三乙基氯化铵（Daejung Chmeicals&Metals Co.,Ltd.）、1g三苯基膦（Aldrich Corporation）、196g丙二醇甲基乙基乙酸酯（propylglycolmethylethylacetate）（Daicel Chemical Industries,Ltd.）和0.5g氢醌置于反应器中，并且将混合物加热至120℃，然后维持12小时，获得其中（基于溶液的总量）溶解50wt%的由以下化学式8-1表示的化合物的溶液。
[化学式8-1]
制备例1-2
（1）在反应器中将50g6-羟基己酸（Acros Organics）和39g三乙胺（Aldrich Corporation）溶解在200g二氯甲烷（Daejung Chmeicals&Metals Co.,Ltd.）中，将溶液冷却至5℃，然后，维持在相同的温度下，用1小时将35g丙烯酰氯（Aldrich Corporation）缓慢加入其中，并且将获得的混合物加热至40℃并且搅拌6小时。将反应溶液冷却至室温，过滤并且除去其中产生的盐，并且在减压下蒸馏滤液，合成由以下化学式8-2表示的化合物。
[化学式8-2]
（2）将100g9,9′-双(4-缩水甘油氧基苯基)芴（Hear Chem）、83g由以上化学式8-2表示的化合物、1.4g苄基三乙基氯化铵（Daejung Chmeicals&Metals Co.,Ltd.)、1g三苯基膦（Aldrich Corporation）、183g丙二醇甲基乙基乙酸酯（Daicel Chemical Industries,Ltd.）和0.5g氢醌置于反应器中，将混合物加热至120℃，然后维持12小时，获得其中（基于溶液的全部量）溶解50wt%的由以下化学式8-3表示的化合物的溶液。
[化学式8-3]
（制备cardo类树脂）
制备例2-1
将100g根据制备例1-1的新型cardo类单体溶液、8.22g联苯二酸酐（biphenyl diacid anhydride）（Mitsubishi Chemical Co.）、以及2.28g四氢邻苯二甲酸酐（Aldrich Corporation）置于反应器中，并且将混合物加热至120℃且搅拌9小时，获得包括由以下化学式8-4表示的重复单元并且具有5,300g/mol的重均分子量的聚合物。
[化学式8-4]
制备例2-2
将100g根据制备例1-2的新型cardo类单体溶液、8.22g联苯二酸酐（Mitsubishi Chemical Co.）、以及2.28g四氢邻苯二甲酸酐（AldrichCorporation）置于反应器中，并且将混合物加热至120℃且搅拌9小时，获得包括由以下化学式8-5表示的重复单元并且具有5,100g/mol的重均分子量的聚合物。
[化学式8-5]
制备例2-3
将100g根据制备例2-1的聚合物溶液、2g丁基缩水甘油醚（AldrichCorporation）、以及0.2g三苯基膦（Aldrich Corporation）置于反应器中，将混合物加热至100℃且维持9小时，获得其中同时存在由以上化学式8-4和以下化学式8-6表示的重复单元的化合物。由化学式8-6表示的化合物的重均分子量为5,700g/mol。
[化学式8-6]
制备例2-4
将100g根据制备例2-1的聚合物溶液、2g甲基丙烯酸缩水甘油酯（Aldrich Corporation）、以及0.2g三苯基膦（Aldrich Corporation）置于反应器中，将混合物加热至100℃且维持9小时，获得其中同时存在由以上化学式8-4和以下化学式8-7表示的重复单元的化合物。由化学式8-7表示的化合物的重均分子量为5,700g/mol。
[化学式8-7]
制备例2-5
将100g根据制备例2-2的聚合物溶液、2g KBE-9007（ShinetsuChemical Co.,Ltd.）、以及0.2g三苯基膦（Aldrich Corporation）置于反应器中，将混合物加热至100℃并保持9小时，获得其中同时存在由以上化学式8-5和以下化学式8-8表示的重复单元的化合物。由化学式8-8表示的化合物的重均分子量为6,100g/mol。
[化学式8-8]
制备例2-6
（1）将25g二乙基乙烯基膦酸酯（Aldrich Corporation）、11.3g缩水甘油（Aldrich Corporation）、以及9.9g碳酸铯（Aldrich Corporation）置于反应器中，使混合物在50℃下反应5小时并且冷却至室温，将反应溶液加入至200g水中，用300g二氯甲烷（Aldrich Corporation）萃取混合物并且在减压下蒸馏，并且通过硅胶柱处理获得的溶液，获得由以下化学式8-9表示的化合物（用于接枝的磷基环氧化合物）。
[化学式8-9]
（2）将100g根据制备例2-2的聚合物溶液、2g由以上化学式8-9表示的化合物、以及0.2g三苯基膦（Aldrich Corporation）置于反应器中，并且将混合物加热至100℃且维持9小时，获得其中同时存在由以上化学式8-5和以下化学式8-10表示的重复单元的化合物。由化学式8-10表示的化合物的重均分子量为5,500g/mol。
[化学式8-10]
（制备颜料分散体）
制备例3：黑颜料分散体的制备
将15g炭黑（XC72R,Cabot Creanery Co.）、4gDISPERBYK-163（BYK）、3g丙烯酸/甲基丙烯酸苄酯共聚物（NPR8000,Miwon Commercial Co.,Ltd.）、以及78g丙二醇甲基乙基乙酸酯（甲基乙基乙酸丙二醇酯，propylene glycol methylethylacetate）置于反应器中，并且通过使用涂料混合器（paint-shaker）（Asada Iron Works Co.,Ltd.）分散混合物12小时，制备黑颜料分散体。
（制备光敏树脂组合物）
实施例1至6和比较例1
通过使用以下表1中的下列组分制备根据实施例1至6和比较例1的各种光敏树脂组合物以具有该组成。
具体地，将引发剂溶解在溶剂中，将溶液在室温下搅拌2小时，在其中加入粘合剂树脂和活性不饱和化合物，并且将混合物在室温下搅拌2小时。随后，将根据制备例3的黑颜料分散体和硅烷偶联剂加入反应物中，并且将混合物在室温下搅拌1小时。随后，将产物过滤三次以去除其中的杂质，制备光敏树脂组合物。
（A）粘合剂树脂
（A-1）使用根据制备例2-1的由化学式8-4表示的化合物作为cardo类树脂。
（A-2）使用根据制备例2-2的由化学式8-5表示的化合物作为cardo类树脂。
（A-3）使用根据制备例2-3的由化学式8-6表示的化合物作为cardo类树脂。
（A-4）使用根据制备例2-4的由化学式8-7表示的化合物作为cardo类树脂。
（A-5）使用根据制备例2-5的由化学式8-8表示的化合物作为cardo类树脂。
（A-6）使用根据制备例2-6的由化学式8-10表示的化合物作为cardo类树脂。
（A-7）使用由Nippon Steel Chemical Co.,Ltd.制备的V259ME作为cardo类树脂。
（B）活性不饱和化合物
使用六丙烯酸二季戊四醇酯。
（C）颜料分散体
使用根据制备例3的黑颜料分散体。在本文中，基于黑颜料分散体的总量，以15wt%的量包括颜料固体。
（D）引发剂
使用由Ciba-Geigy Co.制备的IRGACURE OXE02。
（E）溶剂
使用丙二醇甲醚乙酸酯。
（F）添加剂
使用γ-缩水甘油氧基丙基三甲氧基硅烷（S-510,Chisso Co.）作为硅烷偶联剂。
[表1]
（单位：wt%）
（*表示基于黑颜料分散体的总量的颜料的固体含量）
评价1：分辨率评价
用旋涂机（Opticoat MS-A150,Mikasa Co.,Ltd.），在10cm*10cm的玻璃上将根据实施例1至6和比较例1的光敏树脂组合物分别涂覆至1.2μm高，在100℃下在热板上软烘烤120秒，并且通过使用曝光器（HB-50110AA,Ushio Inc.）和光掩模用80mJ曝光。随后，通过使用显影剂（SSP-200,SVS Corp.）将涂布的玻璃在0.043wt%的氢氧化钾（KOH）水溶液中显影，并且在烘箱中在230℃下硬烘烤30分钟，获得图案化的玻璃试样。随后，用光学显微镜检查玻璃试样中具有大于或等于1.1μm的厚度的图案的CD（临界尺寸）以选取达到最细的线宽的样品，并且将结果提供在以下表2中。
评价2：紧密接触力
通过使用旋涂机（Opticoat MS-A150,Mikasa Co.,Ltd.），在10cm*10cm的玻璃上将根据实施例1至6和比较例1的光敏树脂组合物分别涂覆至1.2μm高，在100℃下在热板上软烘烤130秒，并且通过使用曝光器（HB-50110AA,Ushio Inc.）和光掩模用40mJ曝光。随后，通过使用显影剂（SSP-200,SVS Corp.）将涂布的玻璃在0.043wt%的氢氧化钾（KOH）水溶液中显影，并且在烘箱中在230℃下硬烘烤30分钟，获得图案化的玻璃试样。将这些试样切割成2cm*2cm的尺寸，用安装夹具（Mount clip）将螺柱销（Stud pin）固定在切割试样上，并且在通过在烘箱中在120℃下将它们加热30分钟固定螺柱销和玻璃试样之后去除安装夹具。通过使用UTM（Inspekt10-1,Hegewald&Peschke）评价试样的紧密接触力，并且将结果提供在以下表2中。
[表2]
参照表2，通过分别使用根据制备例2-1至2-6的cardo类树脂制备的根据实施例1至6的光敏树脂组合物实现了较细的线宽，从而，与根据比较例1的光敏树脂组合物相比具有较高的紧密接触力。
虽然已经结合目前被认为是实用的示例性实施方式对本发明进行了描述，但是应当理解，本发明并不限于所公开的实施方式，而是相反，旨在涵盖包括在所附权利要求书的精神和范围内的各种改变和等同设置。因此，应当将上述实施方式理解为是示例性的而不以任何方式限制本发明。
Claims (12)
1.一种光敏树脂组合物，包含：
（A）含有由以下化学式1表示的重复单元的cardo类树脂；
（B）活性不饱和化合物；
（C）颜料；
（D）引发剂；以及
（E）溶剂：
[化学式1]
其中，在以上化学式1中，
R11和R12独立地是由以下化学式2-1或2-2表示的取代基，
R13和R14独立地是氢原子、卤素原子、或取代或未取代的C1至C20烷基，
R5是氢原子、或由以下化学式3表示的取代基，
Z11是单键、O、CO、SO2、CR6R7、SiR8R9、或由以下化学式4-1至4-11表示的一种连接基团，其中，R6至R9独立地是氢原子、或取代或未取代的C1至C20烷基，
Z12是酸酐残基或酸二酐残基，并且
m11和m12独立地是0至4范围的整数，
[化学式2-1]
[化学式2-2]
[化学式3]
其中，在以上化学式2-1和2-2中，
L1至L3独立地是单键、取代或未取代的C1至C30亚烷基、或取代或未取代的C6至C30亚芳基，并且
R15和R16独立地是氢原子、或取代或未取代的C1至C12烷基，
在以上化学式3中，
R17是取代或未取代的C1至C30烷基、或取代或未取代的(甲基)丙烯酸酯基，
[化学式4-1]
[化学式4-2]2 -->
[化学式4-3]
[化学式4-4]
[化学式4-5]
其中，在以上化学式4-5中，
Ra是氢原子、乙基、C2H4Cl、C2H4OH、CH2CH=CH2、或苯基，
[化学式4-6]
[化学式4-7]
[化学式4-8]3 -->
[化学式4-9]
[化学式4-10]
[化学式4-11]
2.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中，以上化学式3由选自以下化学式5-1至5-4中的一种表示：
[化学式5-1]
[化学式5-2]
[化学式5-3]
[化学式5-4]
其中，在以上化学式5-1至5-4中，
L4至L6独立地是单键、取代或未取代的C1至C30亚烷基、或取代或未取代的C6至C30亚芳基，并且
R18至R24独立地是取代或未取代的C1至C30烷基。
3.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中，所述cardo类树脂具有500g/mol至50,000g/mol的重均分子量。
4.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中，所述cardo类树脂在两个末端中的至少一个处包括由以下化学式6表示的端基：
[化学式6]
其中，在以上化学式6中，
Z3是由以下化学式7-1至7-7表示的连接基团：
[化学式7-1]
其中，在以上化学式7-1中，
Rb和Rc独立地是氢原子、取代或未取代的C1至C20烷基、酯基、或醚基，
[化学式7-2]
[化学式7-3]
[化学式7-4]
[化学式7-5]
其中，在以上化学式7-5中，6 -->
Rd是O、S、NH、取代或未取代的C1至C20亚烷基、C1至C20烷基胺基、或C2至C20烯丙胺基，
[化学式7-6]
[化学式7-7]
5.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中，所述光敏树脂组合物包含：
1wt%至30wt%的所述cardo类树脂（A）；
1wt%至40wt%的所述活性不饱和化合物（B）；
1wt%至50wt%的所述颜料（C）；
0.01wt%至10wt%的所述引发剂（D）；以及
余量的所述溶剂（E）。
6.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中，所述光敏树脂组合物进一步包含丙烯酰基类树脂。
7.根据权利要求6所述的光敏树脂组合物，其中，所述丙烯酰基类树脂是第一烯键式不饱和单体和第二烯键式不饱和单体的共聚物，所述第一烯键式不饱和单体包括(甲基)丙烯酸、马来酸、衣康酸、富马酸、或它们的组合；所述第二烯键式不饱和单体包括苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、乙烯基苄甲醚、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸-2-氨基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-二甲基氨基乙酯、乙酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯腈、(甲基)丙烯酰胺、或它们的组合。
8.根据权利要求6所述的光敏树脂组合物，其中，所述丙烯酰基类树脂具有3,000g/mol至40,000g/mol的重均分子量。
9.根据权利要求6所述的光敏树脂组合物，其中，以99:1至30:70的重量比包含所述cardo类树脂和所述丙烯酰基类树脂。
10.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中，所述引发剂包括光聚合引发剂、自由基聚合引发剂、或它们的组合。
11.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中，基于100重量份的所述光敏树脂组合物，所述光敏树脂组合物进一步包含0.01至20重量份的环氧化合物。
12.一种通过使用根据权利要求1所述的光敏树脂组合物制备的挡光层。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2013-0126542 | 2013-10-23 | ||
| KR1020130126542A KR101686567B1 (ko) | 2013-10-23 | 2013-10-23 | 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 차광층 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104570604A true CN104570604A (zh) | 2015-04-29 |
| CN104570604B CN104570604B (zh) | 2019-01-25 |
Family
ID=52826475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410146184.2A Expired - Fee Related CN104570604B (zh) | 2013-10-23 | 2014-04-11 | 光敏树脂组合物和使用其的挡光层 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9164385B2 (zh) |
| KR (1) | KR101686567B1 (zh) |
| CN (1) | CN104570604B (zh) |
| TW (1) | TWI522741B (zh) |
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| US20150111156A1 (en) | 2015-04-23 |
| TWI522741B (zh) | 2016-02-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
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Granted publication date: 20190125 Termination date: 20200411 |