CN104394962A - 溶剂处理装置 - Google Patents

Abstract

该溶剂处理装置采用的移动部件包含：网带输送机(9)，其具有在与溶剂吸附片(3)的内周面重叠的状态下输送溶剂吸附片(3)的输送网带(9A)；驱动辊(2A)和从动辊(50A)，它们沿输送网带(9A)的厚度方向只夹入输送网带(9A)而使输送网带(9A)旋转移动。

Description

溶剂处理装置

技术领域

本发明涉及一种溶剂处理装置，并且涉及一种用于处理包含从涂装工厂和半导体制造工厂等排出的溶剂(以甲苯、二甲苯等为代表的有机溶剂等且浓度为30ppm～300ppm左右)的排气的技术。即、是一种利用在对排气中的溶剂进行除去处理的技术中的、为了减少最终处理量而将溶剂的浓度浓缩的技术的溶剂处理装置。更详细而言，涉及一种如下技术：该技术采用以活性炭的毡为主体的环形的溶剂吸附片，使含有溶剂的处理对象气体以沿着溶剂吸附片的厚度方向透过溶剂吸附片内的方式进行供给，通过使该处理对象气体中的溶剂被溶剂吸附片吸附来除去溶剂。

背景技术

在使用溶剂吸附片来处理溶剂的情况下(片式)，与例如将纤维状活性炭纸片化，并进行分段加工而成型为具有多个气体通路的蜂窝状，然后采用使该蜂窝状活性炭支承于框内而得到的块状的溶剂吸附体，通过使处理对象气体沿着该溶剂吸附体的气体通路内透过，与纤维状活性炭所分散的气体通路的四周壁部接触来吸附溶剂的(蜂巢转轮式)相比，具有以下那样的优点。

在采用蜂巢转轮式的情况下，使处理对象气体沿着气体通路的四周壁部流动并与吸附材料接触而使溶剂吸附于吸附材料，因此，相对于溶剂吸附体的大小而言，吸附材料与溶剂的接触面积较小，而且加工工序多，吸附材料和溶剂的接触效率差，所以相对于溶剂吸附体的大小而言，处理能力小且成本高。

而且，在对溶剂吸附体进行加热而使溶剂脱附时，因为不仅溶剂吸附体较大，而且支承用的框会吸收热量，所以需要大量的热量，并且，在脱附后为了使溶剂吸附体恢复到可吸附状态，还需要进行冷却，运转成本较高。

针对此情况，在采用日本特开平05-245336号公报(专利文献1)、日本特开平05-277328号公报(专利文献2)、日本特开平05-277331号公报(专利文献3)中所公开那样的环形的溶剂吸附片的情况下，通过利用纤维状活性炭的毡构成溶剂吸附片等增加接触面积，从而能够优化接触效率。也能够使溶剂吸附片的厚度变薄。

其结果，溶剂吸附片也变得容易加热、冷却，所以用于脱附的加热所需的运转成本也可以变得廉价。溶剂吸附片不需要特殊的装置种类，就能够进行为了脱附后的吸附的冷却。

专利文献1：日本特开平05-245336号公报

专利文献2：日本特开平05-277328号公报

专利文献3：日本特开平05-277331号公报

发明内容

发明要解决的问题

在上述各专利文献公开的溶剂处理装置中，作为使环形的溶剂吸附片以沿着循环路径的方式卷绕并使该溶剂吸附片旋转移动的移动部件，使用网带输送机。

该网带输送机具有卷绕在设置于4个角的辊的输送网带，利用该输送网带使溶剂吸附片沿着循环路径移动。利用张力辊始终将恒定的张力施加于输送网带。

但是，输送网带随着使用会发生逐渐拉长的情况，有时在循环路径上会产生曲折。在该情况下，认为有可能造成使溶剂处理装置的处理对象气体中的溶剂吸附于溶剂吸附片的吸附效率降低。

本发明是为了解决上述课题而做成的，其目的在于提供一种具有能够抑制输送网带在循环路径上产生拉长的结构的溶剂处理装置。

用于解决问题的方案

在基于该发明的溶剂处理装置中，具有如下部件：移动部件，其使将活性炭的毡作为主体的环形的溶剂吸附片以沿着循环路径的方式进行卷绕并使溶剂吸附片旋转移动；吸附部件，其在上述循环路径的第1设定位置以含有溶剂的处理对象气体沿着上述溶剂吸附片的厚度方向透过的方式向上述溶剂吸附片内供给该含有溶剂的处理对象气体，并使上述溶剂吸附于溶剂吸附片；脱附部件，其在与上述第1设定位置不同的第2设定位置以脱附用气体沿着上述溶剂吸附片的厚度方向透过的方式向上述溶剂吸附片内供给该脱附用气体，并使溶剂从上述溶剂吸附片脱附。

上述移动部件包含：网带输送机，其具有在与上述溶剂吸附片的内周面重叠的状态下输送上述溶剂吸附片的输送网带；驱动辊和从动辊，它们在上述输送网带的厚度方向只夹入上述输送网带而使上述输送网带旋转移动。

在其他技术方案中，以利用上述驱动辊和上述从动辊在厚度方向夹入上述输送网带的方式驱动上述输送网带后，通过释放被施加于上述输送网带的张力，而使上述输送网带向下方松弛，与此同时，在上述输送网带向下方松弛的区域进一步设置用于抑制上述输送网带的曲折的器件。

发明的效果

采用基于该发明的溶剂处理装置，可以提供一种具有能够抑制输送网带在循环路径上产生拉长的结构的溶剂处理装置。

附图说明

图1是表示本实施方式的溶剂处理装置的概略结构的示意图。

图2是本实施方式的溶剂处理装置的立体图。

图3是沿着图2中的III-III线向视得到的剖视图。

图4是沿着图2中的IV-IV线向视得到的剖视图。

图5A是表示本实施方式的溶剂吸附片主要部分的结构的第1剖视图。

图5B是表示本实施方式的溶剂吸附片主要部分的结构的第2剖视图。

图5C是表示本实施方式的溶剂吸附片主要部分的结构的第3剖视图。

图6A是本实施方式的溶剂吸附片的连接部的第1俯视图。

图6B是本实施方式的溶剂吸附片的连接部的第2俯视图。

图7是本实施方式的溶剂吸附片的连接部的剖视图。

图8是本实施方式的输送网带主要部分的俯视图。

图9是表示本实施方式的输送网带和引导机构之间的关系的主要部分的横剖主视图。

图10是表示本实施方式的输送网带和引导机构之间的关系的主要部分的纵剖主视图。

图11是表示本实施方式的溶剂处理装置的概略结构的框图。

图12是表示本实施方式的溶剂处理装置的移动部件的图。

图13是表示本实施方式的溶剂处理装置的移动部件的图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明实施方式。在以下所示的实施方式中，在图中对相同或者对应的部分标记相同的附图标记，而不重复其说明。在以下所说明的实施方式中，在涉及个数、数量等的情况下，除了特别记载的情况以外，并不限定于该个数、数量等。

参照图1，本实施方式的除臭装置1000具有溶剂处理装置1100和催化剂氧化装置1200。从外部设备将处理对象气体G1送入溶剂处理装置1100内。在溶剂处理装置1100内，在循环路径的第1设定位置使处理对象气体G1所含有的溶剂吸附于溶剂吸附片3。

被吸附于溶剂吸附片3的溶剂是在与第1设定位置不同的第2设定位置利用脱附用气体G2从溶剂吸附片3脱附的溶剂。使溶剂从脱附用气体G2脱附了的处理气体g1利用风扇F2向除臭装置1000的外部排出。

在催化剂氧化装置1200中，被脱附用气体G2脱附了溶剂而得到的浓缩气体g2被风扇F4送入具有加热器121、催化剂122以及换热器123的路径中，并作为脱附用气体G2被再次使用。利用风扇F3将脱附用空气送入换热器123。

如从图2至图4所示，溶剂处理装置1100具有移动部件，该移动部件将具有透气性的环形(无端带状)的溶剂吸附片3卷绕设置于循环路径，并使该溶剂吸附片3沿着循环路径旋转移动。

溶剂处理装置1100具有：吸附部件，其在循环路径的第1设定位置以处理对象气体G1沿着溶剂吸附片3的厚度方向透过的方式向溶剂吸附片3内供给该处理对象气体G1，并使溶剂吸附于溶剂吸附片3；脱附部件，其在与上述第1设定位置不同的第2设定位置以脱附用气体G2沿着厚度方向透过溶剂吸附片3的方式供给该脱附用气体G2，并使溶剂从溶剂吸附片3脱附。

如图3和图4所示，循环路径包含：上升路径部、与上升路径部的上端相连的水平的上侧路径部、与上侧路径部的终端相连的下降路径部以及从该下降路径部向上升路径部去的水平的下侧路径部。

(溶剂吸附片3)

如从图5A至图5C、图6A、图6B以及图7所示，溶剂吸附片3以活性炭作为吸附材料，在常温下吸附处理对象气体G1中的溶剂，并通过加热(100度～130度)使溶剂脱附。

如图5A、图5B以及图5C所示，溶剂吸附片3具有：纤维状活性炭的毡3A，其为了保护其表面而在其表面和背面重叠有由无纺布等构成的保护层3a；加强体3B，其固定于该毡3A中的沿着移动方向的侧端缘；第2加强体3C，其固定于毡3A的长度方向(前后方向)的两端；连接结构，其将两端的第2加强体3C彼此连接起来而使溶剂吸附片3整体形成为环形。

举出毡3A的实际数值的例子，活性炭纤维的直径是10μm～20μm、厚度是从10mm到20mm、单位面积重量是600g/m²左右。在图中为了便于判断，将保护层3a表示得较厚，但保护层3a的实际的厚度非常薄。加强体3B和第2加强体3C均具有耐热性、耐溶剂性、挠性(柔软性)，并且具有比毡3A大的抗张力性。

如图5A、图5B以及图5C所示，保护层3a、加强体3B以及第2加强体3C连续地将毡3A的表面端部、端面以及背面端部覆盖，通过缝制向毡3A固定。作为固定结构，能够举出如下结构：如图5A所示，在将毡3A的端部压紧的状态下缝制而成的结构，如图5B所示，在毡3A的端部未压紧的状态下缝制而成的结构，如图5C所示，在借助耐热性的密封件3b将毡3A的端部压紧的状态下缝制而成的结构。

如图6A、图6B以及图7所示，毡3A的连接结构是将毡3A的两端在宽度方向进行了定位的状态将两端连接起来的结构。该结构具有：拉链6，其利用拉头4的滑动将装卸自由的链齿5的一侧安装到第2加强体3C中的一侧，并且，将另一侧的链齿5安装到另一侧的第2加强体3C上；连接材料7，其在除去了拉头4的状态下防止该拉链6的链齿5彼此脱离。

如图6A所示，拉链6以比毡3A的宽度长的尺寸被安装在毡3A上，如图6B所示，接合后为了与毡3A的宽度一致而将两端部切掉除去，连接材料7在切掉除去后的拉链6的两端以不使链齿5彼此脱离的方式进行固定。

在拉链6上设置有遮蔽板8，该遮蔽板8以横跨第2加强体3C彼此的方式设置，从而将该第2加强体3C之间密封。遮蔽板8固定于第2加强体3C。

该遮蔽板8、第2加强体3C以及拉链6可以通过一次性缝制而同时固定于毡3A上，或者，也可以分开固定。另外，在各种固定中也可以同时使用粘接剂。作为粘接剂，优选具有耐热性的粘接剂。

(网带输送机9)

移动部件是在与溶剂吸附片3的内周面重叠的状态下沿着循环路径移动输送该溶剂吸附片3的网带输送机9。该网带输送机9包含：输送网带9A、引导输送网带9A移动的引导机构以及驱动辊2A。

如图8和图9所示，输送网带9A是编制平带状的网带材料而构成的。在网带材料中，处于沿着移动方向的状态的网带材料9a是由抗张力较强的芳纶树脂制。处于沿着宽度方向的状态的网带材料9b是特氟龙(注册商标)树脂制。

为了获得良好的挠性，输送网带9A的厚度(t)被设为t＝0.5mm～1mm左右，网眼大小是5mm×5mm左右、网带材料的宽度是1mm左右。在沿着输送网带9A的移动方向的端缘上固定有加强带9c。

再次参照图2和图3，引导机构包含：配置在循环路径的拐角部(4个角部)的导辊2和驱动辊2A，以及分别配置于上升路径部、下降路径部、上侧路径部的导轨9D。

如图9和图10所示，导轨9D具有：引导槽9d，其通过与固定于输送网带9A的加强带9c的销10卡合，从而限制输送网带9A的宽度方向的错位；引导面9e，其在输送网带9A的内周面上滑动以防止该输送网带9A在厚度方向振摆。引导面9e中的移动上方侧的端部分9f为了使销10不与导轨9D的端面钩挂而形成为倾斜状态。

参照图11和图12，驱动辊2A利用设置在外部的驱动装置70(参照图2)借助皮带轮2P皮带驱动。在与驱动辊2A面对的位置设置有从动辊50A，以使沿着输送网带9A的厚度方向只夹入输送网带9A，并使输送网带9A旋转移动。在从动辊50A上设置有用于向驱动辊2A侧按压从动辊50A的(图中箭头F方向)按压弹簧60。

驱动辊2A具有芯骨构件2a和由包围芯骨构件2a的软质材料构成的表层构件2b，以使表层构件2b进入输送网带9A的网眼的方式进行卡合。从动辊50A具有芯骨构件50a和由包围芯骨构件50a的软质材料构成的表层构件50b，以使表层构件50b进入输送网带9A的网眼的方式进行卡合。

在本实施方式中，由于不向被驱动辊2A和从动辊50A驱动后的输送网带9A上施加张力，所以如图2和图3所示，输送网带9A处于向下方松弛的状态。溶剂吸附片3在循环路径中的下侧路径部处从输送网带9A向下方分离而使溶剂吸附片3成为自由状态。

这样一来，在本实施方式中，因为不向输送网带9A施加张力，所以能够抑制输送网带在使用中产生拉长的情况。

如图2和图3所示，在输送网带9A向下方松弛的区域设置有作为用于抑制输送网带9A曲折的器件的板构件80。

(吸附部件和脱附部件)

如从图3至图5以及图13所示，吸附部件是在循环路径中的上升路径部和下降路径部中以处理对象气体G1沿着厚度方向透过溶剂吸附片3的方式向该溶剂吸附片3供给该处理对象气体G1并使溶剂吸附于该溶剂吸附片3的部件。

该吸附部件包含：封装壳体13，其用于收容装置整体；吸附用吸引口14，其在上升路径部和下降路径部中以从外侧供给处理对象气体G1的方式借助形成于封装壳体13的供给口将处理对象气体G1供给到封装壳体13内；以及吸附用排出管道15，其以隔着溶剂吸附片3与吸附用吸引口14相对的方式配置在溶剂吸附片3的内侧，用于吸引已穿过了溶剂吸附片3的处理气体g1。

在吸附用吸引口14和溶剂吸附片3之间以及吸附用排出管道15和溶剂吸附片3之间设置2mm～3mm左右的间隙。

如图3、图4以及图11所示，脱附部件是在循环路径中的上侧路径部中以高温的脱附用气体G2沿着厚度方向透过溶剂吸附片3的方式向该溶剂吸附片3供给该高温的脱附用气体G2并使溶剂从溶剂吸附片3脱附的装置。该脱附部件包含：脱附用供给管道16，其在上侧路径部中从外侧供给脱附用气体G2；脱附用排出管道17，其以隔着溶剂吸附片3与脱附用供给管道16相对的方式配置在溶剂吸附片3的内侧，用于吸引已穿过了溶剂吸附片3的浓缩气体g2。被脱附用排出管道17所吸引的浓缩气体g2被送出到催化剂氧化装置1200侧。

在脱附用供给管道16和溶剂吸附片3之间以及脱附用排出管道17和溶剂吸附片3之间设置2mm～3mm左右的间隙。

(溶剂处理装置1100的内部压力控制)

一般，在处理对象气体G1的处理时，如图13所示，在将吸附用吸引口14的内部压力设为P1、将吸附用排出管道15的内部压力设为P2、将脱附用供给管道16的内部压力设为P3以及将脱附用排出管道17的内部压力设为P4的情况下，以满足P1≤P4、P1≥P3以及P2≥P3的关系的方式利用控制装置300进行溶剂处理装置1100的吸附部件的内部压力和脱附部件的内部压力的控制。

这样一来，以维持各区域的内部压力关系的方式进行控制，从吸附用吸引口14吸引来的处理对象气体G1穿过溶剂吸附片3后作为处理气体g1从吸附用排出管道15排出，并且脱附用气体G2穿过溶剂吸附片3后作为浓缩气体g2从脱附用排出管道17排出，处理对象气体G1不向脱附用排出管道17流出，另外脱附用气体G2既不向吸附用吸引口14侧流出，也不向吸附用排出管道15流出。

溶剂处理装置1100的内部压力根据从外部设备送入的处理对象气体G1的送风量而变化。因此，在控制装置300中，时常监测作为吸附用吸引口14的内部压力的P1，并在P1变动时，以满足P1≤P4、P1≥P3以及P2≥P3的关系的方式对作为脱附用供给管道16的内部压力的P3进行调整。

溶剂处理装置1100的内部压力的调整是使用用于调节处理气体g1的风量的风扇F2、用于调节脱附用气体G2的风量的风扇F3以及用于调节浓缩气体g2的风量的风扇F4来实施的。各气体的风量是通过变频控制各风扇的转速来进行调节的。使各风扇的送风量恒定，在供各气体通过的管路内设置用于改变管路的通路截面积的阻尼器，通过控制该阻尼器的开闭动作，可以调节各气体的风量。

这样一来，在本实施方式的溶剂处理装置1100的内部压力的调整中，如上所述，在将吸附用吸引口14的内部压力设为P1、将吸附用排出管道15的内部压力设为P2、将脱附用供给管道16的内部压力设为P3以及将脱附用排出管道17的内部压力设为P4的情况下，以满足P1≤P4、P1≥P3以及P2≥P3的关系的方式进行吸附部件的内部压力和脱附部件的内部压力的控制，从而在防止处理对象气体G1向脱附用排出管道17流出的同时，防止脱附用气体G2向吸附用吸引口14流出以及向吸附用排出管道15流出。

上述的吸附部件的内部压力和脱附部件的内部压力的从P1到P4的压力控制是一个例子。吸附部件的内部压力和脱附部件的内部压力的从P1到P4的压力控制以如下方式实施：在防止处理对象气体G1向脱附用排出管道17流出的同时，能够防止脱附用气体G2向吸附用吸引口14流出以及向吸附用排出管道15流出。

本次公开的上述实施方式的所有方面均是例示，而不作为限定。本发明的保护范围是根据权利要求书来划定的，另外包含与权利要求书的记载均等的情况以及在权利要求书的范围内的所有的变更。

附图标记说明

2  导辊、

2A  驱动辊、

2a，50a  芯骨构件、

2b，50b  表层构件、

2P  皮带轮、

3  溶剂吸附片、

3A  毡、

3B  加强体、

3C  第2加强体、

3a  保护层、

3b  密封件、

4  拉头、

5  链齿、

6  拉链、

7  连接材料、

8  遮蔽板、

9  网带输送机、

9A  输送网带、

9D  导轨、

9a，9b  网带材料、

9c  加强带、

9d  引导槽、

9e  引导面、

9f  端部分、

10  销、

13  封装壳体、

14  吸附用吸引口、

15  吸附用排出管道、

15a，17a  吸入口、

16  脱附用供给管道、

16a  供给口、

17  脱附用排出管道、

50A  从动辊、

60  按压弹簧、

70  驱动装置、

80  板构件、

121  加热器、

122  催化剂、

123  换热器、

300  控制装置、

1000  除臭装置、

1100  溶剂处理装置、

1200  催化剂氧化装置、

F2，F3，F4  风扇、

G1  处理对象气体、

G2  脱附用气体、

P1，P2  内部压力、

g1  处理气体、

g2  浓缩气体。

Claims (6)

1.一种溶剂处理装置，其中，其具有：

移动部件，其使将活性炭的毡作为主体的环形的溶剂吸附片以沿着循环路径的方式进行卷绕并使该溶剂吸附片旋转移动；

吸附部件，其在所述循环路径的第1设定位置以含有溶剂的处理对象气体沿着所述溶剂吸附片的厚度方向透过的方式向所述溶剂吸附片内供给该含有溶剂的处理对象气体，并使所述溶剂吸附于溶剂吸附片；

脱附部件，其在与所述第1设定位置不同的第2设定位置以脱附用气体沿着所述溶剂吸附片的厚度方向透过的方式向所述溶剂吸附片内供给该脱附用气体，并使溶剂从所述溶剂吸附片脱附，

所述移动部件包含：

网带输送机，其具有在与所述溶剂吸附片的内周面重叠的状态下输送所述溶剂吸附片的输送网带；

驱动辊和从动辊，它们沿所述输送网带的厚度方向只夹入所述输送网带而使所述输送网带旋转移动。

2.根据权利要求1所述的溶剂处理装置，其中，

以利用所述驱动辊和所述从动辊沿厚度方向夹入所述输送网带的方式驱动所述输送网带后，通过释放被施加于所述输送网带的张力，而使所述输送网带向下方松弛，与此同时，

在所述输送网带向下方松弛的区域进一步设置用于抑制所述输送网带的曲折的器件。

3.根据权利要求1所述的溶剂处理装置，其中，

所述驱动辊具有驱动辊芯骨构件和驱动辊表层构件，所述驱动辊表层构件以进入所述输送网带的网眼的方式卡合，

所述从动辊具有从动辊芯骨构件和包围所述从动辊芯骨构件的从动辊表层构件，所述从动辊表层构件以进入所述输送网带的网眼的方式卡合。

4.根据权利要求1所述的溶剂处理装置，其中，

将所述从动辊向所述驱动辊侧按压。

5.根据权利要求1所述的溶剂处理装置，其中，

所述从动辊的外径比所述驱动辊的外径小。

6.根据权利要求1所述的溶剂处理装置，其中，

只有所述输送网带被所述驱动辊和所述从动辊夹入，而所述溶剂吸附片在所述从动辊的下方穿过。