JP3145171B2 - 溶剤処理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、塗装工場や半導体製造
工場などから排出される溶剤（トルエンやキシレンで代
表される有機溶剤等で３０〜３００ｐｐｍ程度の濃度）
含有の排気を処理する、つまり、排気中の溶剤を除去処
理する技術のうち、最終処理量の減量を図るように溶剤
の濃度を濃縮する技術で、詳しくは、溶剤吸着シートを
用い、溶剤を含有する処理対象ガスを、溶剤吸着シート
内を厚さ方向で透過するように供給してその処理対象ガ
ス中の溶剤を溶剤吸着シートに吸着させることにより溶
剤を除去する技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】溶剤吸着シートを用いて溶剤を処理する
場合（シート式）には、例えば、繊維状活性炭をペーパ
化し、段加工して多数のガス通路を有するハニカム状に
成形し、それを枠に支持させたブロック状の溶剤吸着体
を用い、その溶剤吸着体のガス通路内に沿って処理対象
ガスを透過させることにより、繊維状活性炭が分散する
ガス通路周囲壁に接触させて溶剤を吸着させる場合（ハ
ニカムロータ式）に比較して、次のような利点がある。
つまり、ハニカムロータ式の場合には、ガス通路周囲壁
に沿って処理対象ガスを流動させて吸着材に接触させる
ことで吸着させるため、溶剤吸着体の大きさの割りには
吸着材と溶剤との接触面積が小さくて吸着材と溶剤との
接触効率が悪く、その上、加工数が多く、溶剤吸着体の
大きさの割りには処理能力が小さくてコストの高いもの
になる。しかも、溶剤吸着体を加熱して脱着する際、溶
剤吸着体が大きく、加えて、支持用の枠に熱を取られる
ことにより、多量の熱量が必要であり、かつ、脱着後に
吸着可能状態に復帰させる上で冷却を必要とすることも
あり、ランニングコストが高くつく。これに対して、本
発明が対象とするシート式の場合には、溶剤吸着シート
を、繊維状活性炭のフェルトから構成することなどによ
り、接触面積を大きくして接触効率を優れたものにでき
る割りには溶剤吸着シートの厚さを薄くでき、その結
果、溶剤吸着シートを加熱・冷却し易いものにできて、
脱着のための加熱に要するランニングコストが安くて済
み、また、特別な装置類を要することなく脱着後の吸着
のための冷却を行える。そのような利点を有する溶剤処
理技術として、従来では、図１６に示すように、溶剤吸
着シート３を第１のロールＲ１から繰り出すとともに、
第２のロールＲ２で巻き取り、その第１のロールＲ１か
ら第２のロールＲ２への移動途中で、処理対象ガスＧ１
を供給して溶剤を溶剤吸着シート３に吸着させ、第２の
ロールＲ２を収納する加熱室Ｈに脱着用ガスＧ２として
の加熱空気を供給して溶剤吸着シート３から溶剤を脱着
する技術が知られている（例えば特公昭５３―９５８７
号公報）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
によるときは、溶剤吸着シートを第１のロールから繰り
出しつつ第２のロールで巻き取ることで移動させて溶剤
吸着シートに溶剤を吸着させるから、そのような移動時
に加熱室に加熱空気を並行して供給することにより、吸
着と同時に脱着を行えるものの、第２のロールに溶剤吸
着シートが最後まで巻き取られると、第１のロールに溶
剤吸着シートを巻き戻しする必要があって、処理形態
が、吸脱着と巻き戻しとを交互に繰り返す形態とならざ
るを得ない。その結果、長時間の処理を行うには、第１
のロールから溶剤吸着シートの全部を繰り出しての１回
の吸着作業時間を長くしたり、或いは、複数の溶剤処理
装置を設けて一方のものが吸脱着しているときに他方の
ものが巻き戻しするように交互に使用したりする必要が
ある。そして、前者の場合には、溶剤吸着シートの巻き
取り径が大きくなってそれに付帯する装置の大型化、コ
ストアップを招来するのみならず、第２のロールに巻き
取られた状態で加熱室で溶剤吸着シートが加熱される時
間が長くなることで、溶剤吸着シートの異常な昇温を招
来することがあって、それを防止するための構成が別途
必要になり、装置の大型化、コストアップが不可避であ
る。このことは、特に、高濃度の処理対象ガスを処理す
るために溶剤吸着シートの移動速度を速くした場合に顕
著である。他方、後者の場合には、溶剤処理装置の数が
増えて、やはり、装置の大型化、コストアップが不可避
である。本発明の目的は、上記欠点を解消する点、つま
り、たとえ前記従来例の主使用領域濃度に比べて高濃度
の処理対象ガスであっても、装置の大型化、コストアッ
プを招来することなく長時間連続処理できるようにする
点にある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明の特
徴は、輪状の溶剤吸着シートを循環経路に沿うように巻
きかけて回転移動させる移動手段と、前記循環経路の設
定箇所でその溶剤吸着シート内を厚さ方向に透過するよ
うに溶剤含有の処理対象ガスを供給して溶剤を溶剤吸着
シートに吸着させる吸着手段と、前記設定箇所とは異な
る別の設定箇所で溶剤吸着シート内を厚さ方向に透過す
るように脱着用ガスを供給して溶剤吸着シートから溶剤
を脱着する脱着手段とを設け、前記移動手段を構成する
に、溶剤吸着シートの内周面を重ねた状態でその溶剤吸
着シートを移送するネットコンベアを設け、 前記循環経
路を上昇経路部と下降経路部とを有する状態に形成し、
その下降経路部から上昇経路部へのターン経路部に、ネ
ットコンベアのコンベアネットを溶剤吸着シートから上
方に離して溶剤吸着シートを自由状態にする分離手段を
設けてある点にある。

【０００５】請求項２に係る発明の特徴は、請求項１に
係る発明の実施において、 前記溶剤吸着シートのうちタ
ーン経路部でコンベアネットから分離した自由状態部分
の幅方向位置を規制する位置規制手段を設けてある点に
ある。

【０００６】請求項３に係る発明の特徴は、請求項１又
は２に係る発明の実施において、 前記ネットコンベアの
コンベアネットを、平帯状のネット材を編織して構成し
てある点にある。

【０００７】請求項４に係る発明の特徴は、請求項１〜
３のいずれか１項に係る発明の実施 において、 前記ネッ
トコンベアのコンベアネットを駆動する駆動ローラとし
て、周面が軟質材で構成されたものを設けてある点にあ
る。

【０００８】請求項５に係る発明の特徴は、請求項１〜
４のいずれか１項に係る発明の実施において、 前記溶剤
吸着シートが、活性炭のフエルトを主体として形成され
たものである点にある。

【０００９】

【作用】請求項１に係る発明によれば、溶剤吸着シート
を循環移動させるとともに、吸着手段と脱着手段とを作
動させることにより、処理対象ガスの供給箇所と脱着用
ガスの供給箇所とに交互に繰り返して溶剤吸着シートを
循環移動させて、溶剤吸着シートによる処理対象ガスか
らの溶剤の吸着と、その吸着した溶剤の脱着用ガスへの
脱着とを行うことができるから、溶剤吸着シートの循環
移動と、その状態での処理対象ガスの供給及び脱着用ガ
スの供給とを連続して行うことにより、吸脱着を中断す
ることなく連続して行うことができるとともに、脱着時
に溶剤吸着シートを過剰に加熱することがない。しか
も、前記移動手段としてネットコンベアを設けてあるか
ら、圧力損失の少ない高効率の吸脱着を行える軟弱な溶
剤吸着シートを用いながらも、溶剤吸着シートに局部的
に力を集中させずにネットコンベアのコンベアネットで
溶剤吸着シートの全体を万遍なく、かつ、溶剤吸着シー
トを若干コンベアネットの目に入り込み係合させて移動
方向及び幅方向に位置規制した状態に支持でき、その結
果、溶剤吸着シートに移動のための無理な力を掛けるこ
とがなくて溶剤吸着シートを損なうことなく安定して循
環移動させることができる。もちろん、コンベアネット
が溶剤吸着シートに重なるものの、コンベアネットには
目が全体に分散配置するから、溶剤吸着シートの全体に
ガスを供給できるのみならず、コンベアネットで溶剤吸
着シートに対するガス通過を阻害することがほとんどな
く、吸脱着のためのガス供給を抵抗少なく円滑に行え
る。そしてまた、上記分離手段により、下降経路部から
上昇経路部へのターン経路部で溶剤吸着シートをコンベ
アネットから分離させて自由状態にすることができるの
で、溶剤吸着シートのコンベアネットに対する熱膨張の
差を吸収して、溶剤吸着シートが過剰に引っ張られるこ
とや過剰に弛むことを防止でき、これにより、溶剤吸着
シートをコンベアネットに、その溶剤吸着シートに無理
な力を掛けることなく重ね合わせて支持させることがで
きて、溶剤吸着シートの損傷を一層効果的に抑止できる
とともに、溶剤吸着シートのコンベアネットに対する幅
方向の位置ずれ（横ずれ）も一層効果的に防止できる。
その上、ターン経路部で自由状態になることで溶剤吸着
シートに余裕があることにより、循環経路に沿って巻き
かけられたコンベアネットに重ねるように輪状の溶剤吸
着シートを巻きかけ装着することが非常に容易になる。

【００１０】請求項２に係る発明によれば、自由状態に
ある溶剤吸着シート部分を幅方向に位置規制して横ずれ
を修正するから、横ずれ修正に際して溶剤吸着シートに
無理な力を掛けてその溶剤吸着シートを損なうことがな
い。 請求項３に係る発明によれば、コンベアネットを非
常に薄いもの、つまり、屈曲性、可撓性に富んだものに
できるから、たとえ循環経路のターン経路部の曲率が大
きくてもその循環経路に沿ってコンベアネットを円滑に
循環移動させることができることはもちろん、吸着手段
や脱着手段において吸い込み口の周縁にコンベアネット
が摺動するように循環移動させる状態において溶剤吸着
シートを厚さ方向で通過するようにガスを供給する際、
吸い込み口の周縁と溶剤吸着シートとの間隙を小さくし
て、その間隙からガスが入り込むリークを抑制すること
ができる。請求項４に係る発明によれば、駆動ローラの
軟質周面が変形してコンベアネットの目に入り込んでコ
ンベアネットに係合するから、駆動ローラに対するコン
ベアネットのスリップがなく、コンベアネットを確実に
ロスなく循環移動させることができる。請求項５に係る
発明によれば、活性炭のフエルトを溶剤吸着シートの主
体とすることで、シート式の利点である低圧力損失と高
吸脱着効率とを効果的に発揮を することができる。

【００１１】

【発明の効果】請求項１に係る発明によれば、溶剤吸着
シートを確実、かつ、円滑に循環移動させて、圧力損失
の少ない高効率の吸脱着を行え、しかも、シートの耐久
性を優れたものにできることにより、装置の大型化及び
コストアップを招来することなく、高濃度の溶剤含有ガ
スを長時間連続処理できるようになった。そしてまた、
溶剤吸着シートとコンベアネットとの熱膨張の差に原因
する溶剤吸着シートの過剰な引っ張りや過剰な弛みも効
果的に防止できることで、上記シート耐久性の向上が一
層効果的に達成され、また、溶剤吸着シートの巻きかけ
装着が容易になることでメンテナンス面でも優れたもの
になる。 請求項２に係る発明によれば、シート耐久性の
向上をさらに効果的に達成でき、しかも、吸着手段や脱
着手段の吸い込み口に溶剤吸着シートを幅方向で正確に
対応位置させて所期の吸脱着の確実化を図り得る。 請求
項３に係る発明によれば、より一層、溶剤吸着シートを
安定して循環移動させることができ、しかも、処理対象
ガスが処理ガスに混入することや、脱着用ガスが濃縮ガ
スに混入することを極力抑制して、処理を確実化でき
る。請求項４に係る発明によれば、溶剤吸着シートの循
環移動をより一層安定化できる。請求項５に係る発明に
よれば、シート式の利点である圧力損失の少ない高効率
の吸脱着を効果的に発揮させ得る点で、極めて高性能の
溶剤処理装置となる。

【００１２】

【実施例】溶剤処理設備は、図１に示すように、溶剤を
含有する処理対象ガスＧ１を濃縮する前処理用の溶剤処
理装置１と、そこからの濃縮ガスｇ２から溶剤を除去す
る最終処理装置２とからなる。前記溶剤処理装置１は、
図２，図３に示すように、通気性を有する輪状（無端帯
状）の溶剤吸着シート３を循環経路に巻き掛け設置し、
その溶剤吸着シート３を循環経路に沿って回転移動させ
る移動手段を設け、前記循環経路の設定箇所でその溶剤
吸着シート３内を厚さ方向に透過するように処理対象ガ
スＧ１を供給して溶剤を前記溶剤吸着シート３に吸着さ
せる吸着手段と、前記設定箇所とは異なる別の設定箇所
で溶剤吸着シート３を厚さ方向に透過するように脱着用
ガスＧ２を供給して溶剤吸着シート３から溶剤を脱着す
る脱着手段と、分離手段と、位置規制手段とを設けて構
成されている。前記循環経路は、同図２に示すように、
上昇経路部と、それの上端に連なる水平の上側経路部
と、その終端に連なる下降経路部と、その下降経路部か
ら上昇経路部への水平な下側経路部とからなる。前記溶
剤吸着シート３は、図４乃至図６に示すように、活性炭
を吸着材として、常温で処理対象ガスＧ１中の溶剤を吸
着し、加熱（１００〜１３０度）により脱着するもので
あり、具体的には、その表面保護のためにその表裏に不
織布等からなる保護層３ａが重ねられた繊維状活性炭の
フェルト３Ａと、そのフェルト３Ａのうち移動方向にそ
った側端縁に固定した補強体３Ｂと、フェルト３Ａの長
手方向（前後方向）の両端に固定した第２の補強体３Ｃ
と、両端の第２の補強体３Ｃ同士を接続して全体を輪状
にするための接続構造とからなる。前記フェルト３Ａの
実数値例を挙げると、活性炭繊維の径は１０〜２０μ
ｍ、厚さは１０から２０ｍｍ、目付け量は６００ｇ／ｍ
² 程度である。なお、図では判りやすくする上で保護層
３ａを厚く示してあるが、保護層３ａの実際の厚さは非
常に薄いものである。前記補強体３Ｂ及び第２の補強体
３Ｃは、ともに、耐熱性、耐溶剤性、可撓性（柔軟性）
を有するとともに、フェルト３Ａよりも大きい抗張力を
有する。そして、図４に示すように、表面端部と端面と
裏面端部とを一連に覆うものであり、そのフェルト３Ａ
への固定手段は、縫合であり、固定構造としては、図４
の（イ）に示すように、フェルト３Ａの端部を圧密した
状態で縫合した構造や、図４の（ロ）に示すように、フ
ェルト３Ａの端部を圧密しない状態で縫合した構造、図
４の（ハ）に示すように、フェルト３Ａの端部を耐熱性
のパッキン３ｂを介して圧密した状態で縫合した構造を
挙げることができる。前記接続構造は、フェルト３Ａの
両端を幅方向で位置決めした状態で接続するための構造
であって、図５、図６に示すように、スライダ４のスラ
イドにより係脱自在な務歯５の一方を第２の補強体３Ｃ
のうちの一方に装着し、かつ、他方の務歯５を他方の第
２の補強体３Ｃに装着したファスナー６と、前記スライ
ダ４を除去した状態のそのファスナー６の務歯５同士の
離脱を阻止する連結材７とからなる。つまり、ファスナ
ー６は、図５の（イ）に示すように、フェルト３Ａの幅
よりも長いものとしてフェルト３Ａに装着されていて、
接合後に、図５の（ロ）に示すように、フェルト３Ａの
幅に一致するように両端部を切断除去され、連結材７
は、切断除去後のファスナー６の両端において務歯５同
士が離脱しないように固定するものである。８は、第２
の補強体３Ｃ同士にわたって位置することでその第２の
補強体３Ｃ間をシールする遮蔽シートであり、一方の第
２の補強体３Ｃに固定されている。この遮蔽シート８及
び第２の補強体３Ｃ、ファスナー６は、一回の縫合で一
括的にフェルト３Ａに固定しても良く、また、別々に固
定しても良い。加えて、各種の固定に接着剤を併用して
も良い。接着剤としては、耐熱性のものが好ましい。前
記移動手段は、図１０にも示すように、前記溶剤吸着シ
ート３の内周面を重ねた状態でその溶剤吸着シート３を
前記の循環経路に沿って移送するネットコンベア９であ
り、コンベアネット９Ａと、それを移動案内するガイド
機構と、駆動ローラ９Ｂと、テンション機構とからな
る。前記コンベアネット９Ａは、図７、図８に示すよう
に、平帯状のネット材を編織して構成されている。ネッ
ト材のうち、移動方向に沿う姿勢のネット材９ａは、抗
張力が大きいアラミド樹脂製であり、幅方向に沿う姿勢
のネット材９ｂは、テフロン樹脂製である。そして、コ
ンベアネット９Ａの厚さｔは、良好な可撓性を得る上で
０．５〜１ｍｍ程度としてあり、目の大きさは５ｍｍ×
５ｍｍ程度、ネット材の幅は１ｍｍ程度である。かつ、
コンベアネット９Ａの移動方向にそった端縁には、補強
ベルト９ｃが固定されている。前記ガイド機構は、図２
に示すように、循環経路のコーナ部に配置したガイドロ
ーラ９Ｃと、上昇経路部、下降経路部、上側経路部のそ
れぞれに配置したガイドレール９Ｄとからなる。ガイド
レール９Ｄは、図８、図９に示すように、コンベアネッ
ト９Ａの補強ベルト９ｃに固定したピン１０に係合する
ことにより、コンベアネット９Ａの幅方向の位置ずれを
規制するガイド溝９ｄと、コンベアネット９Ａの内周面
に摺動してそのコンベアネット９Ａの厚さ方向での振れ
を防止するガイド面９ｅとを備え、ガイド面９ｅのうち
移動上手側の端部分９ｆは、ガイドレール９Ｄの端面に
ピン１０が引っ掛からないようにするため傾斜姿勢に形
成されている。前記駆動ローラ９Ｂは、ガイドローラ９
Ｃの一つをモータ１１などのアクチュエータに連動させ
ることで構成されており、その周面は、コンベアネット
９Ａの目に入り込んで係合するようにゴム等の軟質材Ｓ
から構成されている。前記テンション機構は、図２に示
すように、循環経路のうち下側経路部において、テンシ
ョンローラ１２でコンベアネット９Ａを上方に持ち上げ
てそのコンベアネット９Ａにテンションを付与するもの
であり、このテンション付与の作用でコンベアネット９
Ａが溶剤吸着シート３から上方に分離して溶剤吸着シー
ト３が自由状態となる。つまり、テンション機構が、コ
ンベアネット９Ａを溶剤吸着シート３から上方に分離し
て溶剤吸着シート３を自由状態にする前記分離手段を構
成している。前記吸着手段は、図２、図３及び図１１に
示すように、前記循環経路のうち上昇経路部と下降経路
部とで前記溶剤吸着シート３にその溶剤吸着シート３を
厚さ方向に透過するように前記処理対象ガスＧ１を供給
して溶剤をその溶剤吸着シート３に吸着させる手段であ
って、全体を収容する外装ケース１３と、上昇経路部と
下降経路部とにおいて外側から処理対象ガスＧ１を供給
するように外装ケース１３に形成の供給口１４ａを介し
て外装ケース１３内に処理対象ガスＧ１を供給する吸着
用供給ダクト１４と、溶剤吸着シート３の内側に近接位
置して溶剤吸着シート３内から透過ガスを吸引する吸い
込み口１５ａを有する処理ガスｇ１の排出ダクト１５と
からなる。前記脱着手段は、図２、図３及び図１１に示
すように、前記循環経路のうち上側経路部で溶剤吸着シ
ート３にその溶剤吸着シート３を厚さ方向に透過するよ
うに高温の脱着用ガスＧ２を供給して溶剤吸着シート３
から溶剤を脱着する手段であり、上側経路部において外
側から脱着用ガスＧ２を供給する脱着用供給ダクト１６
と、その脱着用供給ダクト１６の供給口１６ａに溶剤吸
着シート３を挟んで対向位置して透過ガスを吸引する吸
い込み口１７ａを備えた濃縮ガスｇ２の排出ダクト、つ
まり、濃縮ガスｇ２を前記最終処理装置２に供給する排
出ダクト１７とからなる。そして、脱着用供給ダクト１
６の供給口１６ａをその外郭が吸い込み口１７ａの外側
に位置する大きさに構成し、供給口１６ａと溶剤吸着シ
ート３とに隙間ｄ（２ｍｍ〜３ｍｍ程度で、供給口１６
ａを溶剤吸着シート３に接触させない寸法。）を形成
し、かつ、脱着用供給ダクト１６内の圧力Ｐ３を外装ケ
ース１３内の圧力、つまり、図１１に示すように、吸着
用供給ダクト１４内の圧力Ｐ１よりも高くして、脱着用
供給ダクト１６から隙間ｄを介して若干の脱着用ガスＧ
２が外装ケース１３内に排出されるようにすることによ
り、溶剤吸着シート３に供給される脱着用ガスＧ２中に
外装ケース１３内の冷たいガスが混入しないように構成
してある。前記のように、隙間ｄから脱着用ガスＧ２を
排出するための制御は、脱着用供給ダクト１６内の圧力
Ｐ３と外装ケース１３内の圧力Ｐ１とを検出し、その差
圧が設定値となるように脱着用ガスＧ２の供給圧や濃縮
ガスの吸引圧を制御しても良いが、外装ケース１３内に
は、脱着用ガスＧ２の排出量に応じて温度成層が形成さ
れる傾向にあるなど、外装ケース１３内の温度状況と脱
着用ガスＧ２の排出量とを関係付けることができる場合
には、温度に基づいて制御しても良い。因みに、吸着用
供給ダクト１４の圧力Ｐ１と処理ガスｇ１の排出ダクト
１５の圧力Ｐ２と脱着用供給ダクト１６の圧力Ｐ３と濃
縮ガスｇ２の排出ダクト１７の圧力Ｐ４とは、Ｐ２＜Ｐ
１＜Ｐ３、Ｐ４＜Ｐ３の関係にある。Ｆ１は、処理対象
ガスＧ１の供給ファンであり、Ｆ２は、脱着用ガスＧ２
の供給ファンであり、ｆ１は、処理ガスｇ１の排気ファ
ンであり、ｆ２は、濃縮ガスｇ２を最終処理装置２に供
給排出する排気ファンである。また、吸着手段及び脱着
手段には、図１２、図１３に示すように、吸い込み口１
５ａ，１７ａの全周において吸引に抗してコンベアネッ
ト９Ａ及び溶剤吸着シート３を支持するシール用の支持
板１８と、支持体１９とが設けられている。前記支持板
１８は、吸い込み口１５ａ，１７ａのシート移動方向の
前後両端に位置するとともに、シート移動方向に設定長
さＬを有する前後の支持部１８Ａと、吸い込み口１５
ａ，１７ａの左右方向の両端に位置するとともに、左右
方向に設定長さＬを有する左右の支持部１８Ｂとからな
り、各支持部１８Ａ，１８Ｂには、溶剤吸着シート３側
からガスをチャンバ２２内に吸引するための丸孔状の複
数の吸引孔２０ａ，２０ｂが分散形成されている。つま
り、設定長さＬは、図１２に示すように、吸い込みに伴
う溶剤吸着シート３の変形でその溶剤吸着シート３に生
じた浮き上がり部Ａに連なる部分Ｂまでを支持部１８
Ａ，１８Ｂで支持できる長さである。また、図１１に示
すように、吸引孔２０ａ，２０ｂから吸引したガスは、
処理対象ガスＧ１として回収するようになっている。前
記支持体１９は、図１２、図１３に示すように、複数の
ガイド板１９Ａをその板厚方向が左右方向となるように
左右方向に間隔を隔てて配置し、それらガイド板１９Ａ
を移動方向に間隔を隔てて位置する複数の丸棒利用の連
結材１９Ｂで連結固定して構成されており、連結材１９
Ｂの上端はガイド板１９Ａの上端よりも設定距離（１ｍ
ｍ程度）低く配置されている。前記位置規制手段は、図
２、図１４に示すように、下側経路部の左右両脇に、コ
ンベアネット９Ａから下方に離脱して自由状態にある溶
剤吸着シート３の左右の端縁に摺動することにより、溶
剤吸着シート３の幅方向での位置を規制する規制板２１
を設けて構成されている。

【００１３】〔別実施例〕 循環経路の形状は適宜変更自在である。上記実施例で
は、吸着を循環経路の２箇所で、脱着を１箇所で行うも
のを示したが、それらの数は不問である。上記実施例で
は、コンベアネット９Ａとして、編織したものを示した
が、コンベアネット９Ａは、図１５に示すように、縦横
のネット材９ａ，９ｂを同一平面内に位置する格子状に
合成樹脂から一体成形されたものであっても良い。

【００１４】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構成に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】溶剤処理設備の概念構成を示すブロック図

【図２】溶剤処理装置の切り欠き正面図

【図３】溶剤処理装置の切り欠き側面図

【図４】溶剤吸着シート要部の断面図

【図５】溶剤吸着シートの接続部の平面図

【図６】溶剤吸着シートの接続部の断面図

【図７】コンベアネット要部の平面図

【図８】コンベアネットとガイド機構との関係を示す要
部の横断正面図

【図９】コンベアネットとガイド機構との関係を示す要
部の縦断正面図

【図１０】移動手段要部の拡大正面図

【図１１】溶剤処理装置の概略構成図

【図１２】吸い込み口部を示す要部の拡大縦断正面図

【図１３】吸い込み口部を示す要部の平面図

【図１４】位置規制手段を示す要部の拡大側面図

【図１５】別の実施例を示す要部の斜視図

【図１６】従来例を示す概略正面図

【符号の説明】

３ 溶剤吸着シート Ｇ１ 処理対象ガス Ｇ２ 脱着用ガス ３Ａ フエルト９ ネットコンベア ９Ａ コンベアネット ９Ｂ 駆動ローラ Ｓ 軟質材

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B01D 53/06

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 輪状の溶剤吸着シート（３）を循環経路
   に沿うように巻きかけて回転移動させる移動手段と、 前記循環経路の設定箇所でその溶剤吸着シート（３）内
   を厚さ方向に透過するように溶剤含有の処理対象ガス
   （Ｇ１）を供給して溶剤を溶剤吸着シート（３）に吸着
   させる吸着手段と、 前記設定箇所とは異なる別の設定箇所で溶剤吸着シート
   （３）内を厚さ方向に透過するように脱着用ガス（Ｇ
   ２）を供給して溶剤吸着シート（３）から溶剤を脱着す
   る脱着手段とを設け、 前記移動手段を構成するに、溶剤吸着シート（３）の内
   周面を重ねた状態でその溶剤吸着シート（３）を移送す
   るネットコンベア（９）を設け、 前記循環経路を上昇経路部と下降経路部とを有する状態
   に形成し、 その下降経路部から上昇経路部へのターン経路部に、ネ
   ットコンベア（９）のコンベアネット（９Ａ）を溶剤吸
   着シート（３）から上方に離して溶剤吸着シート（３）
   を自由状態にする分離手段を設けてある 溶剤処理装置。
2. 【請求項２】 前記溶剤吸着シート（３）のうちターン
   経路部でコンベアネット（９Ａ）から分離した自由状態
   部分の幅方向位置を規制する位置規制手段を設けてある
   請求項１記載の溶剤処理装置。
3. 【請求項３】 前記ネットコンベア（９）のコンベアネ
   ット（９Ａ）を、平帯状のネット材を編織して構成して
   ある請求項１又は２記載の溶剤処理装置。
4. 【請求項４】 前記ネットコンベア（９）のコンベアネ
   ット（９Ａ）を駆動する駆動ローラ（９Ｂ）として、周
   面が軟質材（Ｓ）で構成されたものを設けてある請求項
   １〜３のいずれか１項に記載の溶剤処理装置。
5. 【請求項５】 前記溶剤吸着シート（３）が、活性炭の
   フエルト（３Ａ）を主体として形成されたものである請
   求項１〜４のいずれか１項に記載の溶剤処理装置。