JPH05277331A - 溶剤処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 有機溶剤の濃度が３０〜３００ｐｐｍ程度の
処理対象ガスに対して、装置の大型化、コストアップを
招来することなく連続処理できるようにする。 【構成】 活性炭のフェルト３Ａを主体とする輪状の溶
剤吸着シート３を循環経路に沿うように巻きかけて回転
移動させる移動手段と、前記循環経路の設定箇所でその
溶剤吸着シート３内を厚さ方向に透過するように溶剤含
有の処理対象ガスＧ１を供給して溶剤を溶剤吸着シート
３に吸着させる吸着手段と、前記設定箇所とは異なる別
の設定箇所で溶剤吸着シート３内を厚さ方向に透過する
ように脱着用ガスＧ２を供給して溶剤吸着シート３から
溶剤を脱着する脱着手段とを設け、前記移動手段を構成
するに、溶剤吸着シート３の内周面を重ねた状態でその
溶剤吸着シート３を移送するネットコンベア９を設け
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、塗装工場や半導体製造
工場などから排出される溶剤（トルエンやキシレンで代
表される有機溶剤等で３０〜３００ｐｐｍ程度の濃度）
含有の排気を処理する、つまり、排気中の溶剤を除去処
理する技術のうち、最終処理量の減量を図るように溶剤
の濃度を濃縮する技術で、詳しくは、活性炭のフェルト
を主体とする溶剤吸着シートを用い、溶剤を含有する処
理対象ガスを、溶剤吸着シート内を厚さ方向で透過する
ように供給してその処理対象ガス中の溶剤を溶剤吸着シ
ートに吸着させることにより溶剤を除去する技術に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】溶剤吸着シートを用いて溶剤を処理する
場合（シート式）には、例えば、繊維状活性炭をペーパ
化し、段加工して多数のガス通路を有するハニカム状に
成形し、それを枠に支持させたブロック状の溶剤吸着体
を用い、その溶剤吸着体のガス通路内に沿って処理対象
ガスを透過させることにより、繊維状活性炭が分散する
ガス通路周囲壁に接触させて溶剤を吸着させる場合（ハ
ニカムロータ式）に比較して、次のような利点がある。
つまり、ハニカムロータ式の場合には、ガス通路周囲壁
に沿って処理対象ガスを流動させて吸着材に接触させる
ことで吸着させるため、溶剤吸着体の大きさの割りには
吸着材と溶剤との接触面積が小さく、その上加工数が多
くて、吸着材と溶剤との接触効率が悪く、溶剤吸着体の
大きさの割りには処理能力が小さくてコストの高いもの
になる。しかも、溶剤吸着体を加熱して脱着する際、溶
剤吸着体が大きく、加えて、支持用の枠に熱を取られる
ことにより、多量の熱量が必要であり、かつ、脱着後に
吸着可能状態に復帰させる上で冷却を必要とすることも
あり、ランニングコストが高くつく。これに対して、本
発明が対象とするシート式の場合には、溶剤吸着シート
を、繊維状活性炭のフェルトから構成することなどによ
り、接触面積を大きくして接触効率を優れたものにでき
る割りには溶剤吸着シートの厚さを薄くでき、その結
果、溶剤吸着シートを加熱・冷却し易いものにできて、
脱着のための加熱に要するランニングコストが安くて済
み、また、特別な装置類を要することなく脱着後の吸着
のための冷却を行える。そのような利点を有する溶剤処
理技術として、従来では、図１６に示すように、溶剤吸
着シート３を第１のロールＲ１から繰り出すとともに、
第２のロールＲ２で巻き取り、その第１のロールＲ１か
ら第２のロールＲ２への移動途中で、処理対象ガスＧ１
を供給して溶剤を溶剤吸着シート３に吸着させ、第２の
ロールＲ２を収納する加熱室Ｈに脱着用ガスＧ２として
の加熱空気を供給して溶剤吸着シート３から溶剤を脱着
する技術が知られている（例えば特公昭５３―９５８７
号公報）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
によるときは、溶剤吸着シートを第１のロールから繰り
出しつつ第２のロールで巻き取ることで移動させて溶剤
吸着シートに溶剤を吸着させるから、そのような移動時
に加熱室に加熱空気を並行して供給することにより、吸
着と同時に脱着を行えるものの、第２のロールに溶剤吸
着シートが最後まで巻き取られと、第１のロールに溶剤
吸着シートを巻き戻しする必要があって、処理形態が、
吸脱着と巻き戻しとを交互に繰り返す形態とならざるを
得ない。その結果、長時間の処理を行うには、第１のロ
ールから溶剤吸着シートの全部を繰り出しての１回の吸
着作業時間を長くしたり、或いは、複数の溶剤処理装置
を設けて一方のものが吸脱着しているときに他方のもの
が巻き戻しするように交互に使用したりする必要があ
る。そして、前者の場合には、溶剤吸着シートの巻き取
り径が大きくなってそれに付帯する装置の大型化、コス
トアップを招来するのみならず、第２のロールに巻き取
られた状態で加熱室で溶剤吸着シートが溶剤を吸着した
状態で加熱される時間が長くなることで、溶剤吸着シー
トの異常な昇温を招来することがあって、それを防止す
るための構成が別途必要になり、装置の大型化、コスト
アップが不可避である。このことは、特に、高濃度の処
理対象ガスを処理するために溶剤吸着シートの移動速度
を速くした場合に顕著である。他方、後者の場合には、
溶剤処理装置の数が増えて、やはり、装置の大型化、コ
ストアップが不可避である。本発明の目的は、上記欠点
を解消する点、つまり、たとえ前記従来例の主使用領域
濃度に比べて高濃度の処理対象ガスであっても、装置の
大型化、コストアップを招来することなく長時間連続処
理できるようにする点にある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の第１発明による
溶剤処理装置の特徴は、活性炭のフェルトを主体とする
輪状の溶剤吸着シートを循環経路に沿うように巻きかけ
て回転移動させる移動手段と、前記循環経路の設定箇所
でその溶剤吸着シート内を厚さ方向に透過するように溶
剤含有の処理対象ガスを供給して溶剤を溶剤吸着シート
に吸着させる吸着手段と、前記設定箇所とは異なる別の
設定箇所で溶剤吸着シート内を厚さ方向に透過するよう
に脱着用ガスを供給して溶剤吸着シートから溶剤を脱着
する脱着手段とを設け、前記移動手段を構成するに、溶
剤吸着シートの内周面を重ねた状態でその溶剤吸着シー
トを移送するネットコンベアを設けてある点にある。

【０００５】本発明の第２発明による溶剤処理装置の特
徴は、上記第１発明において、前記ネットコンベアのコ
ンベアネットを、平帯状のネット材を編織して構成して
ある点にある。

【０００６】本発明の第３発明による溶剤処理装置の特
徴は、上記第１発明や第２発明において、前記ネットコ
ンベアのコンベアネットを駆動する駆動ローラとして、
周面が軟質材で構成されたものを設けてある点にある。

【０００７】本発明の第４発明による溶剤処理装置の特
徴は、上記第１発明や第２発明、第３発明において、前
記循環経路を、上昇経路部と下降経路部とを有する状態
に形成し、その下降経路部から上昇経路部へのターン経
路部に、ネットコンベアのネットを溶剤吸着シートから
上方に離して溶剤吸着シートを自由状態にする分離手段
を設けてある点にある。

【０００８】本発明の第５発明による溶剤処理装置の特
徴は、上記第４発明において、前記溶剤吸着シートのう
ちターン経路部でネットから分離した自由状態部分の幅
方向位置を規制する位置規制手段を設けてある点にあ
る。

【０００９】

【作用】上記本発明の第１発明によれば、溶剤吸着シー
トを循環移動させるとともに、吸着手段と脱着手段とを
作動させることにより、処理対象ガスの供給箇所と脱着
用ガスの供給箇所とに交互に繰り返して溶剤吸着シート
を循環移動させて、溶剤吸着シートによる処理対象ガス
からの溶剤の吸着と、その吸着した溶剤の脱着用ガスへ
の脱着とを行うことができるから、溶剤吸着シートの循
環移動と、その状態での処理対象ガスの供給及び脱着用
ガスの供給とを連続して行うことにより、吸脱着を中断
することなく連続して行うことができるとともに、脱着
時に溶剤吸着シートを過剰に加熱することがない。しか
も、前記移動手段としてネットコンベアを設けてあるか
ら、圧力損失の少ない高効率の吸脱着を行える軟弱な活
性炭のフェルトを用いて溶剤吸着シートを構成しながら
も、溶剤吸着シートに局部的に力を集中させずにネット
コンベアのコンベアネットで溶剤吸着シートの全体を万
遍なく、かつ、溶剤吸着シートを若干コンベアネットの
目に入り込み係合させて移動方向及び幅方向に位置規制
した状態に支持でき、その結果、溶剤吸着シート、つま
り、活性炭のフェルトに移動のために無理な力を掛ける
ことがなくて溶剤吸着シートを損なうことなく安定して
循環移動させることができる。もちろん、コンベアネッ
トが溶剤吸着シートに重なるものの、コンベアネットに
は目が全体に分散配置するから、溶剤吸着シートの全体
にガスを供給できるのみならず、コンベアネットで溶剤
吸着シートに対するガス通過を阻害することがほとんど
なく、吸脱着のためのガス供給を抵抗少なく円滑に行え
る。

【００１０】本発明の第２発明によれば、コンベアネッ
トを非常に薄いもの、つまり、屈曲性、可撓性に富んだ
ものにできるから、たとえ循環経路のターン部の曲率が
大きくてもその循環経路に沿ってコンベアネットを円滑
に循環移動させることができることはもちろん、吸着手
段や脱着手段において吸い込み口の周縁にコンベアネッ
トが周度摺動するように循環移動させる状態で溶剤吸着
シートを厚さ方向で通過するようにガスを供給する際、
吸い込み口の周縁と溶剤吸着シートとの間隙を小さくし
て、その間隙からガスが入り込むリークを抑制すること
ができる。本発明の第３発明によれば、駆動ローラの軟
質周面が変形してコンベアネットの目に入り込んでコン
ベアネットに係合するから、駆動ローラに対するコンベ
アネットのスリップがなく、コンベアネットを確実にロ
スなく循環移動させることができる。本発明の第４発明
によれば、下降経路部から上昇経路部へのターン部で溶
剤吸着シートをコンベアネットから分離させて自由状態
にすることができるので、溶剤吸着シートのコンベアネ
ットに対する熱膨張の差を吸収して、溶剤吸着シートが
過剰に引っ張られることや過剰に弛むことを防止でき、
溶剤吸着シートをコンベアネットに、その溶剤吸着シー
トに無理な力を掛けることなく重ね合わせて支持させる
ことができて、溶剤吸着シートの損傷を抑制でき、しか
も、溶剤吸着シートのコンベアネットに対する幅方向の
位置ずれ（横ずれ）を解消できる。その上、ターン部で
自由状態にあることで溶剤吸着シートに余裕があること
により、循環移動経路に沿って巻きかけられたコンベア
ネットに重ねるように輪状のコンベアネットを巻きかけ
装着することが非常に容易である。本発明の第５発明に
よれば、自由状態にある溶剤吸着シート部分を幅方向に
位置規制して横ずれを修正するから、横ずれ修正に際し
て溶剤吸着シートに無理な力を掛けてその溶剤吸着シー
トを損なうことがない。

【００１１】

【発明の効果】従って、本発明によれば、活性炭のフェ
ルトを確実、かつ、円滑に循環移動させて、圧力損失の
少ない高効率の吸脱着を行え、しかも、フェルトの耐久
性を優れたものにできることにより、装置の大型化及び
コストアップを招来することなく、高濃度の溶剤含有ガ
スを長時間連続処理できるようになった。特に、請求項
２記載のようにすれば、より一層、溶剤吸着シートを安
定して循環移動させることができ、しかも、処理対象ガ
スが処理ガスに混入することや、脱着用ガスが濃縮ガス
に混入することを極力抑制して、処理を確実化できる。
請求項３記載のようにすれば、溶剤吸着シートの循環移
動をより一層安定化できる。請求項４記載のようにすれ
ば、フェルトの耐久性をより一層向上できる。請求項５
記載のようにすれば、フェルトの耐久性をより一層向上
でき、しかも、吸着手段や脱着手段の吸い込み口に溶剤
吸着シートを幅方向で正確に対応位置させて所期の吸脱
着の確実化を図り得る。

【００１２】

【実施例】溶剤処理設備は、図１に示すように、溶剤を
含有する処理対象ガスＧ１を濃縮する前処理用の溶剤処
理装置１と、そこからの濃縮ガスｇ２から溶剤を除去す
る最終処理装置２とからなる。前記溶剤処理装置１は、
図２，図３に示すように、通気性を有する輪状（無端帯
状）の溶剤吸着シート３を循環経路に巻き掛け設置し、
その溶剤吸着シート３を循環経路に沿って回転移動させ
る移動手段を設け、前記循環経路の設定箇所でその溶剤
吸着シート３内を厚さ方向に透過するように処理対象ガ
スＧ１を供給して溶剤を前記溶剤吸着シート３に吸着さ
せる吸着手段と、前記設定箇所とは異なる別の設定箇所
で溶剤吸着シート３を厚さ方向に透過するように脱着用
ガスＧ２を供給して溶剤吸着シート３から溶剤を脱着す
る脱着手段と、分離手段と、位置規制手段とを設けて構
成されている。前記循環経路は、図３に示すように、上
昇経路部と、それの上端に連なる水平の上側経路部と、
その終端に連なる下降経路部と、その下降経路部から上
昇経路部への水平な下側経路部とからなる。前記溶剤吸
着シート３は、図４乃至図６に示すように、活性炭を吸
着材として、常温で処理対象ガスＧ１中の溶剤を吸着
し、加熱（１００〜１３０度）により脱着するものであ
り、具体的には、その表面保護のためにその表裏に不織
布等からなる保護層３ａが重ねられた繊維状活性炭のフ
ェルト３Ａと、そのフェルト３Ａのうち移動方向にそっ
た側端縁に固定した補強体３Ｂと、フェルト３Ａの長手
方向（前後方向）の両端に固定した第２の補強体３Ｃ
と、両端の第２の補強体３Ｃ同士を接続して全体を輪状
にするための接続構造とからなる。前記フェルト３Ａの
実数値例を挙げると、活性炭繊維の径は１０〜２０μ
ｍ、厚さは１０から２０ｍｍ、目付け量は６００ｇ／ｍ
² 程度である。なお、図では判りやすくする上で保護層
３ａを厚く示してあるが、保護層３ａの実際の厚さは非
常に薄いものである。前記補強体３Ｂ及び第２の補強体
３Ｃは、ともに、耐熱性、耐溶剤性、可撓性（柔軟性）
を有するとともに、フェルト３Ａよりも大きい抗張力を
有する。そして、図４に示すように、表面端部と端面と
裏面端部とを一連に覆うものであり、そのフェルト３Ａ
への固定手段は、縫合であり、固定構造としては、図４
の（イ）に示すように、フェルト３Ａの端部を圧密した
状態で縫合した構造や、図４の（ロ）に示すように、フ
ェルト３Ａの端部を圧密しない状態で縫合した構造、図
４の（ハ）に示すように、フェルト３Ａの端部を耐熱性
のパッキン３ｂを介して圧密した状態で縫合した構造を
挙げることができる。前記接続構造は、フェルト３Ａの
両端を幅方向で位置決めした状態で接続するための構造
であって、図５、図６に示すように、スライダ４のスラ
イドにより係脱自在な務歯５の一方を第２の補強体３Ｃ
のうちの一方に装着し、かつ、他方の務歯５を他方の第
２の補強体３Ｃに装着したファスナー６と、前記スライ
ダ４を除去した状態のそのファスナー６の務歯５同士の
離脱を阻止する連結材７とからなる。つまり、ファスナ
ー６は、図５の（イ）に示すように、フェルト３Ａの幅
よりも長いものとしてフェルト３Ａに装着されていて、
接合後に、図５の（ロ）に示すように、フェルト３Ａの
幅に一致するように両端部を切断除去され、連結材７
は、切断除去後のファスナー６の両端において務歯５同
士が離脱しないように固定するものである。８は、第２
の補強体３Ｃ同士にわたって位置することでその第２の
補強体３Ｃ間をシールする遮蔽シートであり、一方に第
２の補強体３Ｃに固定されている。この遮蔽シート８及
び第２の補強体３Ｃ、ファスナー６は、一回の縫合で一
括的にフェルト３Ａに固定しても良く、また、別々に固
定しても良い。加えて、各種の固定に接着剤を併用して
も良い。接着剤としては、耐熱性のものが好ましい。前
記移動手段は、図１０にも示すように、前記溶剤吸着シ
ート３の内周面を重ねた状態でその溶剤吸着シート３を
前記の循環経路に沿って移送するネットコンベア９であ
り、コンベアネット９Ａと、それを移動案内するガイド
機構と、駆動ローラ９Ｂと、テンション機構とからな
る。前記コンベアネット９Ａは、図７、図８に示すよう
に、平帯状のネット材を編織して構成されている。ネッ
ト材のうち、移動方向に沿う姿勢のネット材９ａは、抗
張力が大きいアラミド樹脂製であり、幅方向に沿う姿勢
のネット材９ｂは、テフロン樹脂製である。そして、コ
ンベアネット９Ａの厚さｔは、良好な可撓性を得る上で
０．５〜１ｍｍ程度としてあり、目の大きさは５ｍｍ×
５ｍｍ程度、ネット材の幅は１ｍｍ程度である。かつ、
コンベアネット９Ａの移動方向にそった端縁には、補強
ベルト９ｃが固定されている。前記ガイド機構は、図２
に示すように、循環経路のコーナ部に配置したガイドロ
ーラ９Ｃと、上昇経路部、下降経路部、上側経路部のそ
れぞれに配置したガイドレール９Ｄとからなる。ガイド
レール９Ｄは、図８、図９に示すように、コンベアネッ
ト９Ａの補強ベルト９ｃに固定したピン１０に係合する
ことにより、コンベアネット９Ａの幅方向の位置ずれを
規制するガイド溝９ｄと、コンベアネット９Ａの内周面
に摺動してそのコンベアネット９Ａの厚さ方向での振れ
を防止するガイド面９ｅとを備え、ガイド面９ｅのうち
移動上手側の端部分９ｆは、ガイドレール９Ｄの端面に
ピン１０が引っ掛からないようにするため傾斜姿勢に形
成されている。前記駆動ローラ９Ｂは、ガイドローラ９
Ｃの一つをモータ１１などのアクチュエータに連動させ
ることで構成されており、その周面は、コンベアネット
９Ａの目に入り込んで係合するようにゴム等の軟質材Ｓ
から構成されている。前記テンション機構は、図２に示
すように、循環経路のうち下側経路部において、テンシ
ョンローラ１２でコンベアネット９Ａを上方に持ち上げ
てそのコンベアネット９Ａにテンションを付与するもの
であり、このテンション付与の作用でコンベアネット９
Ａが溶剤吸着シート３から上方に分離して溶剤吸着シー
ト３が自由状態となる。つまり、テンション機構が、コ
ンベアネット９Ａを溶剤吸着シート３から上方に分離し
て溶剤吸着シート３を自由状態にする前記分離手段を構
成している。前記吸着手段は、図２、図３及び図１１に
示すように、前記循環経路のうち上昇経路部と下降経路
部とで前記溶剤吸着シート３にその溶剤吸着シート３を
厚さ方向に透過するように前記処理対象ガスＧ１を供給
して溶剤をその溶剤吸着シート３に吸着させる手段であ
って、全体を収容する外装ケース１３と、上昇経路部と
下降経路部とにおいて外側から処理対象ガスＧ１を供給
するように外装ケース１３に形成の供給口１４ａを介し
て外装ケース１３内に処理対象ガスＧ１を供給する吸着
用供給ダクト１４と、溶剤吸着シート３の内側に近接位
置して溶剤吸着シート３内から透過ガスを吸引する吸い
込み口１５ａを有する処理ガスｇ１の排出ダクト１５と
からなる。前記脱着手段は、図２、図３及び図１１に示
すように、前記循環経路のうち上側経路部で溶剤吸着シ
ート３にその溶剤吸着シート３を厚さ方向に透過するよ
うに高温の脱着用ガスＧ２を供給して溶剤吸着シート３
から溶剤を脱着する手段であり、上側経路部において外
側から脱着用ガスを供給する脱着用供給ダクト１６と、
その脱着用供給ダクト１６の供給口１６ａに溶剤吸着シ
ート３を挟んで対向位置して透過ガスを吸引する吸い込
み口１７ａを備えた濃縮ガスｇ２の排出ダクト、つま
り、濃縮ガスｇ２を前記最終処理装置２に供給する排出
ダクト１７とからなる。そして、脱着用供給ダクト１６
の供給口１６ａをその外郭が吸い込み口１７ａの外側に
位置する大きさに構成し、供給口１６ａと溶剤吸着シー
ト３とに隙間ｄ（２ｍｍ〜３ｍｍ程度で、供給口を溶剤
吸着シート３に接触させない寸法。）を形成し、かつ、
脱着用供給ダクト１６内の圧力Ｐ３を外装ケース１３内
の圧力、つまり、図１１に示すように、吸着用供給ダク
ト１４内の圧力Ｐ１よりも高くして、脱着用供給ダクト
１６から隙間ｄを介して若干の脱着用ガスＧ２が外装ケ
ース１３内に排出されるようにすることにより、溶剤吸
着シート３に供給される脱着用ガスＧ２中に外装ケース
１３内の冷たいガスが混入しないように構成してある。
前記のように、隙間ｄから脱着用ガスＧ２を排出するた
めの制御は、脱着用供給ダクト１６内の圧力Ｐ３と外装
ケース１３内の圧力Ｐ１とを検出し、その差圧が設定値
となるように脱着用ガスＧ２の供給圧や濃縮ガスの吸引
圧を制御しても良いが、外装ケース１３内には、脱着用
ガスＧ２の排出量に応じて温度成層が形成される傾向に
あるなど、外装ケース１３内の温度状況と脱着用ガスＧ
２の排出量とを関係付けることができる場合には、温度
に基づいて制御しても良い。因みに、吸着用供給ダクト
１４の圧力Ｐ１と処理ガスｇ１の排出ダクト１５の圧力
Ｐ２と脱着用供給ダクト１６の圧力Ｐ３と濃縮ガスｇ２
の排出ダクト１７の圧力Ｐ４とは、Ｐ２＜Ｐ１＜Ｐ３、
Ｐ４＜Ｐ３の関係にある。Ｆ１は、処理対象ガスＧ１の
供給ファンであり、Ｆ２は、脱着用ガスＧ２の供給ファ
ンであり、ｆ１は、処理ガスｇ１の排気ファンであり、
ｆ２は、濃縮ガスｇ２を最終処理装置２に供給排出する
排気ファンである。また、吸着手段及び脱着手段には、
図１２、図１３に示すように、吸い込み口１５ａ，１７
ａの全周において吸引に抗してコンベアネット９Ａ及び
溶剤吸着シート３を支持するシール用の支持板１８と、
支持体１９とが設けられている。前記支持板１８は、吸
い込み口１５ａ，１７ａのシート移動方向の前後両端に
位置するとともに、シート移動方向に設定長さＬを有す
る前後の支持部１８Ａと、吸い込み口１５ａ，１７ａの
左右方向の両端に位置するとともに、左右方向に設定長
さＬを有する左右の支持部１８Ｂとからなり、各支持部
１８Ａ，１８Ｂには、溶剤吸着シート３側からガスをチ
ャンバ２２内に吸引するための丸孔状の複数の吸引孔２
０ａ，２０ｂが分散形成されている。つまり、設定長さ
Ｌは、図１２に示すように、吸い込みに伴う溶剤吸着シ
ート３の変形でその溶剤吸着シート３に生じた浮き上が
り部Ａに連なる部分Ｂまでを支持部１８Ａ，１８Ｂで支
持できる長さである。また、図１１に示すように、吸引
孔２０ａ，２０ｂから吸引したガスは、処理対象ガスＧ
１として回収するようになっている。前記支持体１９
は、図１２、図１３に示すように、複数のガイド板１９
Ａをその板厚方向が左右方向となるように左右方向に間
隔を隔てて配置し、それらガイド板１９Ａを移動方向に
間隔を隔てて位置する複数の丸棒利用の連結材１９Ｂで
連結固定して構成されており、連結材１９Ｂの上端はガ
イド板１９Ａの上端よりも設定距離（１ｍｍ程度）低く
配置されている。前記位置規制手段は、図２、図１４に
示すように、下側経路部の左右両脇に、コンベアネット
９Ａから下方に離脱して自由状態にある溶剤吸着シート
３の左右の端縁に摺動することにより、溶剤吸着シート
３の幅方向での位置を規制する規制板２１を設けて構成
されている。

【００１３】〔別実施例〕上記実施例では、循環経路と
して、上昇経路部と下降経路部と上側経路部と下側経路
部とを備えたものを示したが、循環経路の形状は適宜変
更自在である。上記実施例では、吸着を循環経路の２箇
所で、脱着を１箇所で行うものを示したが、それらの数
は不問である。上記実施例では、コンベアネット９Ａと
して、編織したものを示したが、コンベアネット９Ａ
は、図１５に示すように、縦横のネット材９ａ，９ｂを
同一平面内に位置する格子状に合成樹脂から一体成形さ
れたものであっても良い。

【００１４】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構成に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】溶剤処理設備の概念構成を示すブロック図

【図２】溶剤処理装置の切り欠き正面図

【図３】溶剤処理装置の切り欠き側面図

【図４】溶剤吸着シート要部の断面図

【図５】溶剤吸着シートの接続部の平面図

【図６】溶剤吸着シートの接続部の断面図

【図７】コンベアネット要部の平面図

【図８】コンベアネットとガイド機構との関係を示す要
部の横断正面図

【図９】コンベアネットとガイド機構との関係を示す要
部の縦断正面図

【図１０】移動手段要部の拡大正面図

【図１１】溶剤処理装置の概略構成図

【図１２】吸い込み口部を示す要部の拡大縦断正面図

【図１３】吸い込み口部を示す要部の平面図

【図１４】位置規制手段を示す要部の拡大側面図

【図１５】別の実施例を示す要部の斜視図

【図１６】従来例を示す概略正面図

【符号の説明】

３ 溶剤吸着シート Ｇ１ 処理対象ガス Ｇ２ 脱着用ガス ３Ａ フェルト ３Ｂ 補強体 ３Ｃ 第２の補強体 Ｓ 軟質材

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 活性炭のフェルト（３Ａ）を主体とする
   輪状の溶剤吸着シート（３）を循環経路に沿うように巻
   きかけて回転移動させる移動手段と、前記循環経路の設
   定箇所でその溶剤吸着シート（３）内を厚さ方向に透過
   するように溶剤含有の処理対象ガス（Ｇ１）を供給して
   溶剤を溶剤吸着シート（３）に吸着させる吸着手段と、
   前記設定箇所とは異なる別の設定箇所で溶剤吸着シート
   （３）内を厚さ方向に透過するように脱着用ガス（Ｇ
   ２）を供給して溶剤吸着シート（３）から溶剤を脱着す
   る脱着手段とを設け、前記移動手段を構成するに、溶剤
   吸着シート（３）の内周面を重ねた状態でその溶剤吸着
   シート（３）を移送するネットコンベア（９）を設けて
   ある溶剤処理装置。
2. 【請求項２】前記ネットコンベア（９）のコンベアネッ
   ト（９Ａ）を、平帯状のネット材を編織して構成してあ
   る請求項１記載の溶剤処理装置。
3. 【請求項３】前記ネットコンベア（９）のコンベアネッ
   ト（９Ａ）を駆動する駆動ローラ（９Ｂ）として、周面
   が軟質材（Ｓ）で構成されたものを設けてある請求項１
   又は２記載の溶剤処理装置。
4. 【請求項４】前記循環経路を、上昇経路部と下降経路部
   とを有する状態に形成し、その下降経路部から上昇経路
   部へのターン経路部に、ネットコンベア（９）のコンベ
   アネット（９Ａ）を溶剤吸着シート（３）から上方に離
   して溶剤吸着シート（３）を自由状態にする分離手段を
   設けてある請求項１、２又は３記載の溶剤処理装置。
5. 【請求項５】前記溶剤吸着シート（３）のうちターン経
   路部でコンベアネット（９Ａ）から分離した自由状態部
   分の幅方向位置を規制する位置規制手段を設けてある請
   求項４記載の溶剤処理装置。