JP3335694B2 - 吸脱着式ガス浄化装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、塗装工場や半導体製造
工場などから排出される溶剤（トルエンやキシレンで代
表される有機溶剤等で３０〜３００ｐｐｍ程度の濃度）
含有の排気を処理する、つまり、排気中の溶剤を除去処
理する技術のうち、最終処理量の減量を図るように溶剤
の濃度を濃縮する場合などに用いられる装置で、詳しく
は、通気性を備えたフェルト状の吸着ベルトを用い、溶
剤などの除去対象物を含有する処理対象ガスを、その吸
着ベルト内を厚さ方向で透過するように供給することに
よりその処理対象ガス中の除去対象物を吸着ベルトに吸
着させて処理対象ガスを浄化する一方、前記の吸着ベル
トに脱着用ガスを、その吸着ベルトの厚さ方向で透過す
るように供給することにより吸着ベルトからそれに吸着
されている除去対象物を脱着して吸着ベルトの更新と除
去対象物の濃縮とを行う吸脱着式ガス浄化装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】吸着ベルトを用いてガス浄化を行う本発
明対象の吸脱着式ガス浄化装置では、例えば、繊維状活
性炭をペーパ化し、段加工して多数のガス通路を有する
ハニカム状に成形し、それを枠に支持させたブロック状
の吸着体を用い、その吸着体のガス通路内に沿って処理
対象ガスを透過させることにより、繊維状活性炭が分散
するガス通路周囲壁に接触させて溶剤などの除去対象物
を吸着させるハニカムロータ式の吸脱着式ガス浄化装置
に比較して、次のような利点がある。つまり、ハニカム
ロータ式の吸脱着式ガス浄化装置による場合には、ガス
通路周囲壁に沿って処理対象ガスを流動させて吸着材に
接触させることで吸着させるため、吸着体の大きさの割
りには吸着材と処理対象ガスとの接触面積が小さくて、
吸着材と処理対象ガスとの接触効率が悪く、吸着体の大
きさの割りには処理能力が小さくてコストの高いものに
なる。しかも、吸着体を加熱して脱着する際、吸着体が
大きく、加えて、支持用の枠に熱を取られることによ
り、多量の熱量が必要であり、かつ、脱着後に吸着可能
状態に更新させる上で冷却を必要とすることもあり、ラ
ンニングコストが高くつく。これに対し、本発明が対象
とする上述の吸脱着式ガス浄化装置による場合には、吸
着ベルトを、繊維状活性炭のフェルトから構成したり、
或いは、活性炭を内部に分散させたフェルトから構成し
たりすることなどにより、吸着ベルトと処理対象ガスと
の接触面積を大きくして接触効率を優れたものにできる
割りには吸着ベルトの厚さを薄くでき、その結果、吸着
ベルトを加熱・冷却し易いものにできて、脱着のための
加熱に要するランニングコストが安くて済み、また、特
別な装置類を要することなく脱着後の吸着のための冷却
を行える。そのような利点を有する吸脱着式ガス浄化装
置として従来では、図３２に示すように、吸着ベルト３
を第１のロールＲ１から繰り出すとともに、第２のロー
ルＲ２で巻き取り、その第１のロールＲ１から第２のロ
ールＲ２への移動途中で、処理対象ガスＧ１を供給して
溶剤などの除去対象物を吸着ベルト３に吸着させ、第２
のロールＲ２を収納する加熱室Ｈに脱着用ガスＧ２とし
ての加熱空気を供給して吸着ベルト３からそれの吸着さ
れている除去対象物を脱着する技術が知られている（例
えば特公昭５３―９５８７号公報）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
によるときは、吸着ベルトを第１のロールから繰り出し
つつ第２のロールで巻き取ることで移動させて吸着ベル
トに除去対象物を吸着させるから、そのような移動時に
加熱室に加熱空気を並行して供給することにより、吸着
と同時に脱着を行えるものの、第２のロールに吸着ベル
トが最後まで巻き取られと、第１のロールに吸着ベルト
を巻き戻しする必要があって、処理形態が、吸脱着と巻
き戻しとを交互に繰り返す形態とならざるを得ない。そ
の結果、長時間の処理を行うには、第１のロールから吸
着ベルトの全部を繰り出しての１回の吸着作業時間を長
くしたり、或いは、複数の装置を設けて一方のものが吸
脱着しているときに他方のものが巻き戻しするように交
互に使用したりする必要がある。そして、前者の場合に
は、吸着ベルトの巻き取り径が大きくなってそれに付帯
する装置の大型化、コストアップを招来するのみなら
ず、第２のロールに巻き取られた状態で加熱室で吸着ベ
ルトが除去対象物を吸着した状態で加熱される時間が長
くなることで、吸着ベルトの異常な昇温を招来すること
があって、それを防止するための構成が別途必要にな
り、装置の大型化、コストアップが不可避である。この
ことは、特に、高濃度の処理対象ガスを処理するために
吸着ベルトの移動速度を速くした場合に顕著である。他
方、後者の場合には、装置の数が増えて、やはり、装置
の大型化、コストアップが不可避である。本発明の目的
は、上記欠点を解消する点、つまり、たとえ前記従来例
の主使用領域濃度に比べて高濃度の処理対象ガスであっ
ても、装置の大型化、コストアップを招来することなく
長時間連続処理できるようにする点にある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の第１発明による
吸脱着式ガス浄化装置の特徴は、通気性を備えたフェル
ト状の吸着ベルトを循環経路に沿うように巻きかけて回
転移動させる移動手段と、前記循環経路の設定箇所でそ
の吸着ベルト内を厚さ方向に透過するように処理対象ガ
スを給排する吸着部と、前記設定箇所よりも上方に位置
する別の設定箇所で吸着ベルト内を厚さ方向に透過する
ように脱着用ガスを給排する脱着部とを処理室内に設
け、前記脱着部から処理室内に漏出して処理室内上部に
滞留したガス層の下面高さを検出するガス漏出状態検出
手段を設け、前記処理室内のうち吸着部のガス吸引作用
が及ぶ吸着処理域に前記ガス層の下面が下降しないよう
に、前記ガス漏出状態検出手段の検出情報に基づいて前
記脱着部での給排気量を制御する給排制御手段を設けて
ある点にある。

【０００５】本発明の第２発明による吸脱着式ガス浄化
装置の特徴は、上記第１発明において、前記処理室内
を、前記吸着ベルトの回転移動を許容する状態で前記の
吸着処理域とその上部のガス層形成用域とに仕切る仕切
り板を設けてある点にある。

【０００６】

【作用】上記本発明の第１発明によれば、吸着ベルトを
循環経路に沿って回転移動させるとともに、その回転移
動する吸着ベルトに対して吸着部で処理対象ガスを、か
つ、脱着部で脱着用ガスをそれぞれ給排することによ
り、吸着部と脱着部とに交互に繰り返して吸着ベルトを
移動させて、吸着ベルトによる処理対象ガスからの除去
対象物の吸着と、その吸着した除去対象物の脱着用ガス
への脱着とを行うことができるから、吸着ベルトの回転
移動と、その状態での吸着ベルトに対する処理対象ガス
及び脱着用ガスの給排とを連続して行うことにより、吸
脱着を中断することなく連続して行うことができるとと
もに、脱着時に吸着ベルトを過剰に加熱することがな
い。しかも、吸着ベルト及び吸着部、吸着部を処理室に
内装してあるから、吸着ベルトを回転移動させて吸脱着
を行う関係上、吸着部構成材・脱着部構成材と吸着ベル
トとの間に隙間が不可避的に形成される構成になりなが
らも、その隙間から漏洩した処理対象ガス及び処理ガ
ス、脱着用ガス、濃縮ガスが外部に漏出することがな
い。その上、低温の吸着部を下部に、かつ、高温の脱着
部を上部に配置して、処理室内での温度差による気流発
生を抑制することで脱着部から漏出した温度の高いガス
を処理室内の上部に溜まる傾向を作りだしてあるから、
脱着部から漏出したガスが吸着部に入ること及びその逆
の現象を少ないものにできる。更に、上記のことを利用
して、ガス漏出状態検出手段の検出情報に基づいて給排
制御手段で脱着部での給排気量を制御することにより吸
着部のガス吸引作用が及ぶ吸着処理領域にまで処理室内
の上部に滞留したガス層（つまり、脱着部から処理室内
に漏出したガス）の下面が下降しないようにしてあるか
ら、脱着部から漏出したガスが吸着部に入ること及びそ
の逆の現象を確実に防止することができる。

【０００７】本発明の第２発明によれば、仕切り板によ
り、吸着ベルトの回転移動を許容する状態で処理室内を
下部の吸着処理域と上部のガス層形成用域とに仕切って
あるから、処理室内に多少のガスの流れがあっても、吸
着処理域とガス層形成用域との間でのガスの行き来を抑
制して、吸着処理域とガス層形成用域との間に形成する
ガス往来抑制用の中間域の上下幅を小さくすることがで
き、しかも、仕切り板と吸着ベルトとの隙間が絞りとし
て作用して、吸着部からのガス漏出量に応じて圧力が変
動する吸着処理域と、脱着部からのガス漏出量に応じて
圧力が変動するガス層形成用域との間での圧力面での相
互干渉を抑制することができる。つまり、脱着部でのガ
ス漏出による影響少なく、吸着部でのガス漏出状態を吸
着処理域の圧力をパラメーターとして精度良く検出する
ことができる一方、吸着部でのガス漏出による影響少な
く、脱着部でのガス漏出状態をガス層形成用域の圧力を
パラメーターとして精度良く検出することができる。

【０００８】

【発明の効果】従って、本発明によれば、吸着ベルトを
連続的に回転移動させて、装置の大型化及びコストアッ
プを招来することなく、高濃度の除去対象物含有ガスを
長時間連続処理でき、しかも、そのように吸着ベルトを
回転移動させての吸脱着形態、つまり、脱着部及び吸着
部でのガス漏れが不可避的な形態を採用しながらも、外
部へのガス漏れをなくして安全性を保証できることはも
ちろん、濃縮ガスが処理ガスに混入するといった処理不
良を確実に防止できるようになった。特に、請求項２の
ようにすれば、吸着部と脱着部との上下間隔を小さくし
て全体の高さを小さいものにでき、しかも、同時に、ガ
ス漏出状態検出手段の形態として、温度を用いる形態の
他、圧力を用いる形態も採用することができ、汎用性を
向上できる。

【０００９】

【実施例】溶剤処理設備への適用例を示す。溶剤処理設
備は、図１に示すように、除去対象物の一例である溶剤
を含有する処理対象ガスＧ１を濃縮する前処理用の吸脱
着式ガス浄化装置１と、そこからの濃縮ガスｇ２中の溶
剤を除去する最終処理装置２とからなる。前記吸脱着式
ガス浄化装置１は、図２、図３に示すように、輪状（無
端帯状）に形成された通気性の吸着ベルト３と、その吸
着ベルト３を循環経路に沿うように巻きかけて回転移動
させる移動手段とを処理室４内に設け、吸着手段と、脱
着手段と、分離手段と、位置規制手段と、ガス漏出状態
検出手段と、給排制御手段とを設けて構成されている。
前記循環経路は、上昇経路部と、それの上端に連なる水
平の上側経路部と、その終端に連なる下降経路部と、そ
の下降経路部から上昇経路部への水平な下側経路部とか
らなる。前記吸着ベルト３は、活性炭を吸着材として、
常温で処理対象ガスＧ１中の溶剤を吸着し、加熱（１０
０〜１３０度）により脱着するものである。具体的に
は、図４に示すように、繊維状活性炭をフェルト状に加
工した通気性のマット３Ａを設け、そのマット３Ａの内
周面に、耐熱性（１３０℃程度に耐えられる性能）及び
通気性の不織布等からなる無端帯状の補強用の基材３Ｂ
を重ねて固定し、マット３Ａの外周面に耐熱性（１３０
℃程度に耐えられる性能）及び通気性の不織布等からな
る保護層３Ｃを重ねて固定し、ベルト幅規制体３Ｄと第
１及び第２の通気制限帯状体３Ｅ，３Ｆとを設けて構成
されている。前記マット３Ａの実数値例を挙げると、活
性炭繊維の径は１０〜２０μｍ、厚さは１０から２０ｍ
ｍ、目付け量は６００ｇ／ｍ² 程度である。なお、図で
は判りやすくする上で基材３Ｂ及び保護層３Ｃを厚く示
してあるが、基材３Ｂ及び保護層３Ｃの実際の厚さは非
常に薄いものである。そして、吸着ベルト３の外周面に
は、ベルト幅方向に沿った姿勢で、ベルト幅の全幅にわ
たる幅及び基材３Ｂの外周面に達する深さを有する複数
の切り込み５が回転移動方向に間隔を隔てて形成されて
いる。つまり、マット３Ａは、回転移動方向で複数個に
単位体３ａに分割構成されており、保護層３Ｃは、単位
体３ａの回転移動方向の端面を覆うように折り曲げ形成
されている。もって、吸着ベルト３は、その各部位がコ
ーナー部を通過する際、回転移動方向で隣合うマット３
Ａの外周面側同士が切り込み５を開くように回転移動方
向で相互に離間することにより外周面に引張力を吸収す
るように構成されている。前記ベルト幅規制体３Ｄは、
吸着ベルト３の幅方向両端同士の相対接近を阻止するも
のであって、金属材料や合成樹脂（耐熱性を有し、熱変
形や熱膨張を起こしにくいものが好ましい。）などから
なり、丸棒状や角棒状、板状に形成されている。なお、
図では丸棒状のものを示してあるが、大きさかや形状
は、可及的にガスの通過を阻害しないように設定する。
そして、吸着ベルト３の切り込み形成箇所のそれぞれに
配置されている。前記第１の通気制限帯状体３Ｅは、非
通気性のもので、前記吸着ベルト３の切り込み形成箇所
の内周面それぞれにその吸着ベルト３の全幅にわたる状
態に装着されて切り込み形成箇所での通気を防止するも
のであり、耐熱性の合成樹脂シートから構成されてい
る。前記第２の通気制限帯状体３Ｆは、非通気性で、前
記吸着ベルト３のうちベルト幅規制体設置箇所の内周面
それぞれにその吸着ベルト３の全幅にわたる状態に装着
されて内周面側からそれら各ベルト幅規制体３Ｄに向か
う通気を阻止するものであり、前記第１の通気制限帯状
体３Ｅと兼用構成されている。前記移動手段は、前記吸
着ベルト３をその外周面に重ねた状態で前記の循環経路
に沿って回転移動することにより吸着ベルト３を循環経
路に沿って移送するネットコンベア６であり、コンベア
ネット６Ａと、それを移動案内するガイド機構と、駆動
ローラ６Ｂと、テンション機構とからなる。前記コンベ
アネット６Ａは、図５〜図７に示すように、回転移動方
向に沿う姿勢の平帯状の縦ネット材６ａと幅方向に沿う
姿勢の横ネット材６ｂとを編織したネットを設け、この
ネットの幅方向の両端に補強材６ｃを取り付けて構成さ
れている。前記縦ネット材６ａは、抗張力が大きいアラ
ミド樹脂製であり、横ネット材６ｂは、テフロン樹脂製
である。そして、コンベアネット６Ａの厚さｔは、良好
な可撓性を得る上で０．５〜１ｍｍ程度としてあり、目
の大きさは５ｍｍ×５ｍｍ程度、ネット材の幅は１ｍｍ
程度である。前記ガイド機構は、循環経路のコーナ部に
配置したガイドローラ７と、上昇経路部、下降経路部、
上側経路部のそれぞれに配置したガイドレール８とから
なる。ガイドレール８は、図６、図７に示すように、コ
ンベアネット６Ａの補強ベルト６ｃに固定したピン９に
係合することにより、コンベアネット６Ａの幅方向の位
置ずれを規制するガイド溝８ａと、コンベアネット６Ａ
の内周面に摺動してそのコンベアネット６Ａの厚さ方向
での振れを防止するガイド面８ｂとを備え、ガイド面８
ｂのうち移動上手側の端部分８ｃは、ガイドレール８の
端面にピン９が引っ掛からないようにするため傾斜姿勢
に形成されている。前記駆動ローラ６Ｂは、ガイドロー
ラ７の一つをモータ１０などのアクチュエータに連動さ
せることで構成されており、その周面は、コンベアネッ
ト６Ａの目に入り込んで係合するようにゴム等の軟質材
１１から構成されている。前記テンション機構は、循環
経路のうち下側経路部において、テンションローラ１２
でコンベアネット６Ａを上方に持ち上げてそのコンベア
ネット６Ａにテンションを付与するものであり、このテ
ンション付与の作用でコンベアネット６Ａが吸着ベルト
３から上方に分離して吸着ベルト３が自由状態となる。
つまり、テンション機構が、コンベアネット６Ａを吸着
ベルト３から上方に分離して吸着ベルト３を自由状態に
する前記分離手段を構成している。前記吸着手段は、前
記処理対象ガスＧ１中の溶剤を吸着ベルト３により吸着
除去する手段であって、前記循環経路のうち上昇経路部
と下降経路部とで前記吸着ベルト３内を厚さ方向に透過
するように処理対象ガスＧ１を外周面側から供給すると
ともに、その吸着ベルト３で溶剤を吸着除去されて内周
面側に透過してきた処理ガスｇ１を排出するように構成
されている。詳述すると、図８にも示すように、前記処
理室４を形成する外装ケース１３のうち上昇経路部と下
降経路部とに対応する箇所に形成の処理対象ガス供給口
１４ａを介して処理室４内のうち外装ケース１３と吸着
ベルト３の外周面との間に処理対象ガスＧ１を供給する
ための吸着用供給ダクト１４と、吸着ベルト３で囲まれ
た箇所で吸着ベルト３の内周面に近接位置する処理ガス
吸い込み口１５ａを介して吸着ベルト３内から透過した
処理ガスｇ１を吸引して処理室４外に排出するための処
理ガス排出ダクト１５とを設け、処理対象ガスＧ１の供
給ファンＦ１と処理ガスｇ１の排気ファンｆ１とを設け
て構成されている。つまり、処理対象ガス供給口１４ａ
及び処理ガス吸い込み口１５ａとから、処理室４内に位
置して吸着ベルト３に対して処理対象ガスＧ１を給排す
る吸着部が構成されている。前記脱着手段は、前記吸着
ベルト３に吸着された溶剤を高温の脱着用ガスＧ２によ
り脱着する手段であって、前記循環経路のうち上側経路
部で前記吸着ベルト３内を厚さ方向に透過するように脱
着用ガスＧ２を内周面側から供給するとともに、吸着ベ
ルト３から溶剤を脱着して外周面側に透過してきた濃縮
ガスｇ２を排出するように構成されている。詳述する
と、図８にも示すように、処理室４内のうち前記吸着ベ
ルト３で囲まれた箇所でその吸着ベルト３の内周面に近
接位置する脱着用ガス供給口１６ａを介して吸着ベルト
３に内周面側から脱着用ガスＧ２を供給するための脱着
用供給ダクト１６と、処理室４内のうちその脱着用供給
ダクト１６の脱着用ガス供給口１６ａに吸着ベルト３を
挟んで対向する箇所で吸着ベルト３の外周面に近接位置
する濃縮ガス吸い込み口１７ａを介して吸着ベルト３を
透過した濃縮ガスｇ２を処理室４外に排出するための濃
縮ガス排出ダクト１７とを設け、脱着用ガスＧ２の供給
ファンＦ２と濃縮ガスｇ２の排気ファンｆ２とを設けて
構成されている。つまり、脱着用ガス供給口１６ａ及び
濃縮ガス吸い込み口１７ａとから、処理室４内に位置し
て吸着ベルト３に対して脱着用ガスＧ２を給排する脱着
部が構成されている。前記濃縮ガス排出ダクト１７は濃
縮ガスｇ２を前記最終処理装置２に供給する排出ダクト
である。そして、脱着用ガス供給口１６ａをその外郭が
濃縮ガス吸い込み口１７ａの内側に位置する大きさに構
成し、供給口１６ａと吸着ベルト３とに隙間ｄ（２ｍｍ
〜３ｍｍ程度で、供給口を吸着ベルト３に接触させない
寸法。）を形成し、かつ、脱着用供給ダクト１６内の圧
力Ｐ３を外装ケース１３内の圧力、つまり、図８に示す
ように、吸着用供給ダクト１４内の圧力Ｐ１よりも高く
して、脱着用供給ダクト１６から隙間ｄを介して若干の
脱着用ガスＧ２が処理室４内に排出されるようにするこ
とにより、吸着ベルト３に供給される脱着用ガスＧ２中
に処理室４内の冷たいガスが混入しないように構成して
ある。前記のように、隙間ｄから脱着用ガスＧ２を排出
するための制御は、脱着用供給ダクト１６内の圧力Ｐ３
と処理室４内の圧力Ｐ１とを検出し、その差圧が設定値
となるように脱着用ガスＧ２の供給圧や濃縮ガスｇ２の
吸引圧を制御しても良いが、上記のように吸着部と脱着
部とを配置した場合の処理室４内には、脱着用ガスＧ２
の排出量に応じて温度成層が形成される傾向にあるな
ど、処理室４内の温度状況と脱着用ガスＧ２の排出量と
を関係付けることができる場合には、温度に基づいて制
御しても良い。因みに、吸着用供給ダクト１４の圧力Ｐ
１と処理ガス排出ダクト１５の圧力Ｐ２と脱着用供給ダ
クト１６の圧力Ｐ３と濃縮ガス排出ダクト１７の圧力Ｐ
４とは、Ｐ２＜Ｐ１＜Ｐ３、Ｐ４＜Ｐ３の関係にある。
また、吸着手段及び脱着手段には、ガス吸引に伴う吸着
ベルト３の変形を防止する吸引変形防止手段が設けられ
ている。吸着用の吸引変形防止手段は、図９、図１０に
示すように、処理ガス吸い込み口１５ａの全周において
吸引に抗してコンベアネット６Ａ及び吸着ベルト３を支
持するシール用の支持板１８と、支持体１９とからな
る。前記支持板１８は、処理ガス吸い込み口１５ａの回
転移動方向の前後両端に位置するとともに、回転移動方
向に設定長さＬを有する前後の支持部１８Ａと、処理ガ
ス吸い込み口１５ａの左右方向（幅方向）の両端に位置
するとともに、左右方向に設定長さＬを有する左右の支
持部１８Ｂとからなる。前記支持体１９は、コンベアフ
レーム１９Ａの回転移動方向に間隔を隔てた複数箇所そ
れぞれに、コンベアネット６Ａを支持するローラ１９Ｂ
を、吸着ベルト３の幅方向に沿った水平軸芯周りに自由
回転自在に装着して構成されている。つまり、複数のロ
ーラ１９Ｂがコンベアネット６Ａの回転移動に伴い水平
軸芯周りに回転することにより、摺動抵抗なくコンベア
ネット６Ａを支持するように構成されている。前記脱着
用の吸引変形防止手段は、図１１、図１２に示すよう
に、濃縮ガス吸い込み口１７ａの全周において吸引に抗
して吸着ベルト３を支持するシール用の支持板２０と、
支持体２１とからなる。前記支持板２０は、濃縮ガス吸
い込み口１７ａの回転移動方向の前後両端に位置すると
ともに、回転移動方向に設定長さＬを有する前後の支持
部２０Ａと、濃縮ガス吸い込み口１７ａの左右方向の両
端に位置するとともに、左右方向に設定長さＬを有する
左右の支持部２０Ｂとからなる。前記支持体２１は、コ
ンベアフレーム２１Ａの回転移動方向に間隔を隔てた複
数箇所それぞれに、吸着ベルト３を支持するローラ２１
Ｂを、吸着ベルト３の幅方向に沿った水平軸芯周りに自
由回転自在に装着して構成されている。つまり、複数の
ローラ２１Ｂが吸着ベルト３の回転移動に伴い水平軸芯
周りに回転することにより、摺動抵抗なく吸着ベルト３
を支持するように構成されている。なお、この脱着用の
吸引変形防止手段のローラ２１Ｂは、吸着用の吸引変形
防止手段のローラ１９Ｂよりも大径に構成してある。ま
た、前記吸着用のローラ１９Ｂ及び脱着用のローラ２１
Ｂの配置手段の例として、図９、図１１に示すように、
吸着ベルト３の幅に相当する長さの長尺物を一列の状態
に配置したものを示したが、図１３の（イ）（ロ）に示
すように、短尺物を幅方向に複数列の状態に設けても良
い。この場合、（イ）に示すように幅方向で隣合うもの
が回転移動方向の同一箇所に位置する状態に配置する形
態及び（ロ）に示すように千鳥の状態に配置する形態の
いずれを採用しても良い。前記位置規制手段は、図１４
に示すように、下側経路部の左右両脇に、コンベアネッ
ト６Ａから下方に離脱して自由状態にある吸着ベルト３
の左右の端縁、詳しくは、ベルト幅規制体３Ｄのうち幅
方向外方に突出する長手方向の端部に摺動することによ
り、吸着ベルト３の幅方向での位置を規制する規制板２
２を設けて構成されている。前記ガス漏出状態検出手段
は、前記脱着部から処理室４内に漏出して処理室４内上
部に滞留したガス層の下面高さを検出する手段であっ
て、具体的には、図８に示すように、前記処理室４内の
うち吸着部のガス吸引作用が及ぶ吸着処理域Ａとその上
部のガス層形成用域Ｂとの境界よりもやや上方箇所に、
温度センサＳＳを設けて、その温度センサＳＳの検出情
報がガス層形成用域Ｂの設定温度ＴＢ（１００℃程度）
のとき滞留ガス層下面がガス層形成用域Ｂにあると判断
し、温度センサＳＳの検出情報が吸着処理域Ａの設定温
度ＴＡ（３５℃程度）に変化したとき滞留ガス層下面が
ガス層形成用域Ｂよりも下方に下降したと判断するよう
に構成されている。前記給排制御手段は、吸着処理域に
前記ガス層の下面が下降しないように、前記ガス漏出状
態検出手段の検出情報に基づいて前記脱着部での給排気
量を制御する手段であって、具体的には、脱着用供給ダ
クト１６に設けた供給ファンＦ２を検出情報に基づいて
インバーター制御する制御器ＴＣを設けて構成されてい
る。

【００１０】〔別実施例〕上記実施例を次のように変更
する。 《１》図１５に示すように、吸着ベルト３の回転移動を
許容する状態で可及的接近して処理室４を前記の吸着処
理域Ａとガス層形成用域Ｂとに仕切る仕切り板Ｄを設け
る。 《２》図１６に示すように、上記のように仕切り板Ｄを
設ける一方、前記ガス漏出状態検出手段として、吸着処
理域Ａ及びガス層形成用域Ｂそれぞれの圧力を検出する
圧力センサＰＡ，ＰＢを設け、給排制御手段として、脱
着用供給ダクト１６に設けた供給ファンＦ２を検出情報
に基づいてインバーター制御する制御器ＰＣを設ける。 《３》図１７に示すように、上記のように仕切り板Ｄを
設け、前記ガス漏出状態検出手段として、吸着処理域Ａ
とガス層形成用域Ｂとの差圧を検出する差圧センサＰを
設け、給排制御手段として、脱着用供給ダクト１６に設
けた供給ファンＦ２を検出情報に基づいてインバーター
制御する制御器ｐＣを設ける。 前記給排制御手段として、図１９に示すように、上記実
施例及び別の実施例で説明したガス漏出状態検出手段の
検出情報に基づいて、脱着用供給ダクト１６に設けたダ
ンパＤｐを制御する制御器ＤＣを設ける。なお、図は実
施例の改良例を示してある。上記実施例では、循環経路
として、上昇経路部と下降経路部と上側経路部と下側経
路部とを備えたものを示したが、循環経路の形状は適宜
変更自在である。上記実施例では、吸着を循環経路の２
箇所で、脱着を１箇所で行うものを示したが、それらの
数は不問である。上記実施例では、切り込み形成箇所に
ベルト幅規制体３Ｄを配置したが、図１９に示すよう
に、切り込み形成箇所とは異なる箇所にベルト幅規制体
３Ｄを配置してもよい。この場合、第１の通気制限帯状
体３Ｅと第２の通気制限帯状体３Ｆとを別個に設置する
ことになる。上記実施例では、マット３Ａを、回転移動
方向で隣合うもの同士が相互に分離する単位体３ａから
構成したが、図２０に示すように、切り込み５をマット
３Ａの厚さ方向の中間までの深さのものにして、マット
３Ａがそれ自身で一連に一体化していても良い。上記実
施例では、切り込み５付きの吸着ベルト３を示したが、
吸着ベルト３は、図２１に示すように、マット３Ａの幅
方向両端に「コ」の字形の補強材３Ｇを取り付け、幅方
向中間の内外周に、平板状の補強材３Ｈをマット３Ａを
挟む状態に取り付けて、対引張性能を向上し、かつ、マ
ット３Ａの幅方向の端部を保護するように構成したもの
や、図２２に示すように、マット３Ａの内周面に、補強
用のガラス繊維製のネット３Ｊを取り付けたものであっ
ても良い。前記コンベアネット６Ａを次のように構成し
ても良い。図２３、図２４に示すように、循環径路に沿
って回転移動自在なフレームに上記実施例で示したネッ
トを取り付ける。前記フレームは、２本の補強兼用の駆
動ベルト６ｄを幅方向に間隔を隔てて配置し、回転移動
方向に間隔を隔てた箇所それぞれでそれら駆動ベルト６
ｄ同士を繋いでそれらの間隔を保持するとともに駆動ベ
ルト６ｄ同士の回転方向の位置づれを抑制する補強材６
ｅを設けて構成されている。６ｆは、補強材６ｅ及びネ
ットを厚さ方向から挟む状態でネットに取り付けた内外
一対の非通気性のシートであり、これは、補強材６ｅと
ネット特に縦ネット材６ａとを固定連結して一体化する
とともに、補強材６ｅにガスが接触しないようにその補
強材６ｅへの通気を制限するものである。前記駆動ベル
ト６ｄは、Ｖベルトやタイミングベルトなどであり、従
って、このコンベアネット６Ａを駆動並びに移動案内す
るものは、Ｖ溝付きのプーリーや歯付きのプーリーなど
である。また、補強材６ｅは、金属材料や合成樹脂材料
などからなり、平板状や棒状（丸や角などの形状）のも
のであり、曲げ剛性に優れたものであることが好まし
い。上記コンベアネット６Ａの場合、回転移動する際、
補強材６ｅそれぞれによりネットがその全幅で引っ張ら
れ、その結果、ネットを全幅で均等に回転移動させやす
く、かつ、ネットには補強材６ｅ間分のテンションのみ
が作用し、ネットの寿命が長くなる。また、上記のコン
ベアネット６Ａを次のようにしても良い。すなわち、図
２５、図２６に示すように、補強材６ｅの両端を外方に
延長する。この場合、コンベアネット６Ａの駆動構成と
して、コンベアネット６Ａの両脇に駆動チェーンＣＨを
設け、この駆動チェーンＣＨに、補強材６ｅの延長端部
６ｇに連結、或いは、係合する連係部Ｌを装備させて、
チェーン駆動によりコンベアネット６Ａを駆動する形式
を採用することができる。上記実施例では、吸着用の吸
引変形防止手段の支持体１９として、コンベアフレーム
１９Ａとローラ１９Ｂとからなるいわゆるローラコンベ
アを示したが、この支持体１９としては、図２７に示す
ように、処理ガス吸い込み口１５ａ内の幅方向に間隔を
隔てた複数箇所それぞれにＶベルトやタイミングベルト
（滑り止め用の歯付きベルト）で代表されるベルトＢを
プーリＰ間に巻き掛けたベルトコンベアの複数を、吸着
ベルト３の回転移動に伴い追従回動しながらそのベルト
Ｂで吸着ベルト３を支持するように配置して構成された
ものであっても良い。上記実施例では、脱着用の吸引変
形防止手段の支持体２１として、コンベアフレーム２１
Ａとローラ２１Ｂとからなるいわゆるローラコンベアを
示したが、この支持体２１としては、図２８に示すよう
に、ローラＲ間にコンベアネットＮを巻き掛けたネット
コンベアを、吸着ベルト３の回転移動に伴い追従回動し
ながらそのコンベアネットＮで吸着ベルト３を支持する
ように配置して構成されたものであっても良い。前記吸
着用の吸引変形防止手段の支持体１９を脱着用の吸引変
形防止手段の支持体２１として用いたり、反対に、脱着
用の吸引変形防止手段の支持体２１を吸着用の吸引変形
防止手段の支持体１９として用いたりする。上記実施例
では、吸着ベルト３として、繊維状活性炭をフェルト状
に加工したものを示したが、吸着ベルト３としては、
（イ）図２９に示すように、通気性及び可撓性を有する
不織布などの基材Ｂの表面に粒状活性炭ｃを接着により
担持させたものや、（ロ）図３０に示すように、通気性
及び可撓性を有する不織布などの基材Ｂの複数を重ね、
それら基材Ｂ間に粒状活性炭や繊維活性炭・粉状活性炭
ｃを挟み込んだもの、（ハ）図３１に示すように、通気
性及び可撓性を有する不織布などの基材Ｂ中に粒状活性
炭ｃを分散させて保持させたものであってもよい。これ
ら構造の吸着ベルト３では、基材Ｂ自体に吸着能が要求
されず、ベルトとして使用できる機能が基材Ｂの備わっ
ていればよいから、基材Ｂの材質選定の自由度が高く、
その結果、耐久性に優れたものを得やすい。なお、図で
は、判りやすくするために、活性炭を大きく誇張して示
してある。上記実施例及び別の実施例では、吸着物質と
して活性炭を示したが、吸着物質は、天然や合成のゼオ
ライトであってもよい。この場合、ゼオライトが不燃性
であるため、脱着用ガスＧ２による加熱に起因した吸着
物質の損傷を考える必要がなく、脱着用ガスＧ２の温度
設定の自由度を上げることができる。

【００１１】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構成に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】溶剤処理設備の概念構成を示すブロック図

【図２】吸脱着式ガス処理装置の切り欠き正面図

【図３】吸脱着式ガス処理装置の切り欠き側面図

【図４】要部の拡大断面図

【図５】コンベアネット要部の平面図

【図６】コンベアネットとガイド機構との関係を示す要
部の横断正面図

【図７】コンベアネットとガイド機構との関係を示す要
部の縦断正面図

【図８】吸脱着ガス処理装置の概略構成図

【図９】吸着部を示す要部の正面図

【図１０】吸着部を示す要部の拡大縦断正面図

【図１１】脱着部を示す要部の平面図

【図１２】脱着部を示す要部の拡大縦断正面図

【図１３】吸着用・脱着用の吸引変形防止手段の支持体
の他の配置例を示す平面図

【図１４】位置規制手段を示す要部の拡大側面図

【図１５】別の実施例を示す吸脱着ガス処理装置の概略
構成図

【図１６】別の実施例を示す吸脱着ガス処理装置の概略
構成図

【図１７】別の実施例を示す吸脱着ガス処理装置の概略
構成図

【図１８】別の実施例を示す吸脱着ガス処理装置の概略
構成図

【図１９】別の実施例を示す吸着ベルト要部の縦断面図

【図２０】別の実施例を示す吸着ベルト要部の縦断面図

【図２１】別の実施例を示す吸着ベルト要部の斜視図

【図２２】別の実施例を示す吸着ベルト要部の斜視図

【図２３】別の実施例を示す要部の横断面図

【図２４】別の実施例を示す要部の縦断面図

【図２５】別の実施例を示す要部の横断面図

【図２６】別の実施例を示す要部の縦断面図

【図２７】別の実施例を示す吸着部の斜視図

【図２８】別の実施例を示す脱着部の斜視図

【図２９】別の実施例を示す吸着ベルト要部（マット）
の拡大断面図

【図３０】別の実施例を示す吸着ベルト要部（マット）
の拡大断面図

【図３１】別の実施例を示す吸着ベルト要部（マット）
の拡大断面図

【図３２】従来例を示す断面図

【符号の説明】

３ 吸着ベルト ４ 処理室 Ｄ 仕切り板

フロントページの続き (72)発明者 兵頭 雅夫 東京都新宿区西新宿２丁目６番１号 株 式会社大氣社内 (72)発明者 田中 信平 東京都新宿区西新宿２丁目６番１号 株 式会社大氣社内 (56)参考文献 特開 平２−90912（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B01D 53/06

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 通気性を備えたフェルト状の吸着ベルト
   （３）を循環経路に沿うように巻きかけて回転移動させ
   る移動手段と、前記循環経路の設定箇所でその吸着ベル
   ト（３）内を厚さ方向に透過するように処理対象ガスを
   給排する吸着部と、前記設定箇所よりも上方に位置する
   別の設定箇所で吸着ベルト（３）内を厚さ方向に透過す
   るように脱着用ガスを給排する脱着部とを処理室（４）
   内に設け、前記脱着部から処理室（４）内に漏出して処
   理室（４）内上部に滞留したガス層の下面高さを検出す
   るガス漏出状態検出手段を設け、前記処理室（４）内の
   うち吸着部のガス吸引作用が及ぶ吸着処理域に前記ガス
   層の下面が下降しないように、前記ガス漏出状態検出手
   段の検出情報に基づいて前記脱着部での給排気量を制御
   する給排制御手段を設けてある吸脱着式ガス浄化装置。
2. 【請求項２】 前記処理室（４）内を、前記吸着ベルト
   （３）の回転移動を許容する状態で前記の吸着処理域と
   その上部のガス層形成用域とに仕切る仕切り板（Ｄ）を
   設けてある請求項１記載の吸脱着式ガス浄化装置