KR102068057B1

KR102068057B1 - 용제 처리 장치

Info

Publication number: KR102068057B1
Application number: KR1020147034633A
Authority: KR
Inventors: 츠토무 스기우라; 가즈유키 가와타
Original assignee: 도요보 가부시키가이샤
Priority date: 2012-06-13
Filing date: 2013-06-03
Publication date: 2020-01-20
Also published as: JP5423841B2; KR20150020554A; CN104394962A; JP2013255893A; TWI593456B; TW201408361A; CN104394962B; WO2013187274A1

Abstract

본 발명의 용제 처리 장치에 채용되는 이동 수단은, 용제 흡착 시트(3)의 내주면에 겹친 상태에서 용제 흡착 시트(3)를 이송하는 컨베이어 네트(9A)를 갖는 네트 컨베이어(9)와, 컨베이어 네트(9A)만을 컨베이어 네트(9A)의 두께 방향으로 끼워 넣어 컨베이어 네트(9A)를 회전 이동시키는 구동 롤러(2A) 및 종동 롤러(50A)를 포함한다.

Description

용제 처리 장치{SOLVENT PROCESSING DEVICE}

본 발명은 용제 처리 장치에 관한 것이고, 도장 공장 및 반도체 제조 공장 등으로부터 배출되는 용제(톨루엔, 크실렌 등으로 대표되는 유기 용제 등에서 30ppm 내지 300ppm 정도의 농도)가 함유된 배기를 처리하는 기술에 관한 것이다. 즉, 배기 중의 용제를 제거 처리하는 기술 중, 최종 처리량의 감량을 도모하도록 용제의 농도를 농축하는 기술을 사용한 용제 처리 장치이다. 보다 상세하게는, 활성탄의 펠트를 주체로 하는 바퀴 형상의 용제 흡착 시트를 사용하여, 용제를 함유하는 처리 대상 가스를, 용제 흡착 시트 내를 그 두께 방향으로 투과하도록 공급해서 그 처리 대상 가스 중의 용제를 용제 흡착 시트에 흡착시킴으로써 용제를 제거하는 기술에 관한 것이다.

용제 흡착 시트를 사용해서 용제를 처리하는 경우(시트식)에는, 예를 들어 섬유 형상 활성탄을 페이퍼화하고 단(段)가공해서 다수의 가스 통로를 갖는 하니컴 형상으로 성형하고, 그것을 프레임에 지지시킨 블록 형상의 용제 흡착체를 사용하여, 그 용제 흡착체의 가스 통로 내를 따라 처리 대상 가스를 투과시킴으로써, 섬유 형상 활성탄이 분산되는 가스 통로 주위벽에 접촉시켜서 용제를 흡착시키는 경우(하니컴 로터식)에 비교하여 다음과 같은 이점이 있다.

하니컴 로터식의 경우에는, 가스 통로 주위벽을 따라 처리 대상 가스를 유동시켜서 흡착재에 접촉시킴으로써 흡착시키기 때문에, 용제 흡착체의 크기에 비해서는 흡착재와 용제의 접촉 면적이 작고, 게다가 가공수가 많아서 흡착재와 용제의 접촉 효율이 나쁘고, 용제 흡착체의 크기에 비해서는 처리 능력이 작아서 비용이 높아진다.

또한, 용제 흡착체를 가열해서 탈착할 때, 용제 흡착체가 크고, 이에 더하여 지지용 프레임에 열을 빼앗김으로써 다량의 열량이 필요하며, 또한 탈착 후에 흡착 가능 상태로 복귀시키는 데에 냉각이 필요하기도 하여, 러닝 코스트가 높아진다.

이에 반해, 일본 특허 공개 (평)05-245336호 공보(특허문헌 1), 일본 특허 공개 (평)05-277328호 공보(특허문헌 2), 일본 특허 공개 (평)05-277331호 공보(특허문헌 3)에 개시된 바와 같은 바퀴 형상의 용제 흡착 시트를 사용한 경우에는, 용제 흡착 시트를, 섬유 형상 활성탄의 펠트로 구성하는 것 등에 의해, 접촉 면적을 크게 해서 접촉 효율을 우수한 것으로 할 수 있다. 용제 흡착 시트의 두께를 얇게 할 수도 있다.

그 결과, 용제 흡착 시트는 가열·냉각하기 쉬워져, 탈착을 위한 가열에 필요한 러닝 코스트가 저가로 된다. 용제 흡착 시트는 특별한 장치류를 요하지 않고, 탈착 후의 흡착을 위한 냉각을 행할 수 있다.

일본 특허 공개 (평)05-245336호 공보 일본 특허 공개 (평)05-277328호 공보 일본 특허 공개 (평)05-277331호 공보

상기 각 특허문헌에 개시되는 용제 처리 장치에 있어서는, 바퀴 형상의 용제 흡착 시트를 순환 경로를 따르도록 감아 걸어서 회전 이동시키기 위한 이동 수단으로서, 네트 컨베이어가 사용되고 있다.

이 네트 컨베이어는, 4각에 설치된 롤러에 감아 걸쳐진 컨베이어 네트를 갖고, 이 컨베이어 네트에 의해 용제 흡착 시트가 순환 경로를 이동한다. 컨베이어 네트에는 텐션 롤러에 의해 항상 일정한 텐션이 가해지고 있다.

그러나, 컨베이어 네트는 사용에 따라 서서히 늘어남이 발생하여, 순환 경로에 있어서 사행(蛇行)이 발생하는 경우가 있다. 그 경우에는, 용제 처리 장치에 있어서의 처리 대상 가스 중의 용제를 용제 흡착 시트에 흡착시키는 효율을 저하시키는 것으로 이어질 가능성을 생각할 수 있다.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 순환 경로에 있어서 컨베이어 네트의 늘어남의 발생을 억제할 수 있는 구성을 구비한 용제 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 기초한 용제 처리 장치에 있어서는, 활성탄의 펠트를 주체로 하는 바퀴 형상의 용제 흡착 시트를 순환 경로를 따르도록 감아 걸어서 회전 이동시키는 이동 수단과, 상기 순환 경로의 제1 설정 개소에서 상기 용제 흡착 시트 내에, 상기 용제 흡착 시트의 두께 방향으로 투과하도록 용제를 함유하는 처리 대상 가스를 공급하여, 상기 용제를 용제 흡착 시트에 흡착시키는 흡착 수단과, 상기 제1 설정 개소와는 상이한 별도의 제2 설정 개소에서 상기 용제 흡착 시트 내에, 상기 용제 흡착 시트의 두께 방향으로 투과하도록 탈착용 가스를 공급하여, 상기 용제 흡착 시트로부터 용제를 탈착하는 탈착 수단을 구비한다.

상기 이동 수단은, 상기 용제 흡착 시트의 내주면에 겹친 상태에서 상기 용제 흡착 시트를 이송하는 컨베이어 네트를 갖는 네트 컨베이어와, 상기 컨베이어 네트만을 상기 컨베이어 네트의 두께 방향으로 끼워 넣어서 상기 컨베이어 네트를 회전 이동시키는 구동 롤러 및 종동 롤러를 포함한다.

다른 형태에 있어서는, 상기 구동 롤러와 상기 종동 롤러에 의해 두께 방향으로 끼워 넣어서 상기 컨베이어 네트를 구동한 후의, 상기 컨베이어 네트에 가해지는 텐션을 자유롭게 함으로써 하방을 향해서 처지게 하는 동시에, 상기 컨베이어 네트가 하방으로 처진 영역에 상기 컨베이어 네트의 사행을 억제하는 기구가 더 설치되어 있다.

본 발명에 기초한 용제 처리 장치에 의하면, 순환 경로에 있어서 컨베이어 네트의 늘어남의 발생을 억제할 수 있는 구성을 구비한 용제 처리 장치를 제공하는 것을 가능하게 한다.

도 1은 본 실시 형태에 있어서의 용제 처리 장치의 개략 구성을 도시하는 모식도이다.
도 2는 본 실시 형태에 있어서의 용제 처리 장치의 사시도이다.
도 3은 도 2 중의 III-III선 화살표 방향에 따라 볼 때의 단면도이다.
도 4는 도 2 중의 IV-IV선 화살표 방향에 따라 볼 때의 단면도이다.
도 5a는 본 실시 형태에 있어서의 용제 흡착 시트 주요부의 구조를 도시하는 제1 단면도이다.
도 5b는 본 실시 형태에 있어서의 용제 흡착 시트 주요부의 구조를 도시하는 제2 단면도이다.
도 5c는 본 실시 형태에 있어서의 용제 흡착 시트 주요부의 구조를 도시하는 제3 단면도이다.
도 6a는 본 실시 형태에 있어서의 용제 흡착 시트의 접속부의 제1 평면도이다.
도 6b는 본 실시 형태에 있어서의 용제 흡착 시트의 접속부의 제2 평면도이다.
도 7은 본 실시 형태에 있어서의 용제 흡착 시트의 접속부의 단면도이다.
도 8은 본 실시 형태에 있어서의 컨베이어 네트 주요부의 평면도이다.
도 9는 본 실시 형태에 있어서의 컨베이어 네트와 가이드 기구의 관계를 도시하는 주요부의 횡단 정면도이다.
도 10은 본 실시 형태에 있어서의 컨베이어 네트와 가이드 기구와의 관계를 도시하는 주요부의 종단 정면도이다.
도 11은 본 실시 형태에 있어서의 용제 처리 장치의 개략 구성을 도시하는 블록도이다.
도 12는 본 실시 형태에 있어서의 용제 처리 장치의 이동 수단을 도시하는 도면이다.
도 13은 본 실시 형태에 있어서의 용제 처리 장치의 이동 수단을 도시하는 도면이다.

이하에 실시 형태에 대해서 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 이하에 나타내는 실시 형태에 있어서는, 동일 또는 대응하는 부분에 대해서 도면 중 동일한 부호를 부여하고, 그 설명은 반복하지 않는 경우가 있다. 이하에 설명하는 실시 형태에 있어서, 개수, 양 등을 언급하는 경우, 특별히 기재되는 경우를 제외하고, 반드시 그 개수, 양 등으로 한정되는 것은 아니다.

도 1을 참조하여, 본 실시 형태에 있어서의 탈취 장치(1000)는 용제 처리 장치(1100)와 촉매 산화 장치(1200)를 갖고 있다. 용제 처리 장치(1100) 내에는, 처리 대상 가스(G1)가 외부 설비로부터 보내져온다. 용제 처리 장치(1100) 내에서는, 순환 경로의 제1 설정 개소에서 처리 대상 가스(G1)에 함유되는 용제가 용제 흡착 시트(3)에 흡착된다.

용제 흡착 시트(3)에 흡착된 용제는, 제1 설정 개소와는 상이한 별도의 제2 설정 개소에서 탈착용 가스(G2)에 의해 용제 흡착 시트(3)로부터 용제가 탈착된다. 탈착용 가스(G2)로부터 용제가 탈착된 처리 가스(g1)는, 팬(F2)에 의해 탈취 장치(1000)의 외부로 배출된다.

촉매 산화 장치(1200)에 있어서는, 탈착용 가스(G2)에 용제가 탈착된 농축 가스(g2)가, 팬(F4)에 의해 히터(121), 촉매(122) 및 열교환기(123)의 경로로 보내져와서, 탈착용 가스(G2)로서 다시 사용된다. 열교환기(123)에는 팬(F3)에 의해 탈착용 공기가 보내져온다.

도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 용제 처리 장치(1100)는 통기성을 갖는 바퀴 형상(무단 띠 형상)의 용제 흡착 시트(3)를 순환 경로에 감아 걸어 설치하고, 그 용제 흡착 시트(3)를 순환 경로를 따라 회전 이동시키는 이동 수단을 갖는다.

용제 처리 장치(1100)는 순환 경로의 제1 설정 개소에서 그 용제 흡착 시트(3) 내를, 그의 두께 방향으로 투과하도록 처리 대상 가스(G1)를 공급해서 용제를 용제 흡착 시트(3)에 흡착시키는 흡착 수단과, 제1 설정 개소와는 상이한 별도의 제2 설정 개소에서 용제 흡착 시트(3)를 두께 방향으로 투과하도록 탈착용 가스(G2)를 공급해서 용제 흡착 시트(3)로부터 용제를 탈착하는 탈착 수단을 포함한다.

도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 순환 경로는 상승 경로부와, 그것의 상단부로 이어지는 수평의 상측 경로부와, 그의 종단부로 이어지는 하강 경로부와, 그 하강 경로부로부터 상승 경로부에 대해 수평한 하측 경로부를 포함한다.

(용제 흡착 시트(3))

도 5a 내지 도 5c, 도 6a, 도 6b 및 도 7에 도시한 바와 같이, 용제 흡착 시트(3)는 활성탄을 흡착재로 하여, 상온에서 처리 대상 가스(G1) 중의 용제를 흡착하고, 가열(100 내지 130도)에 의해 탈착하는 것이다.

도 5a, 도 5b 및 도 5c에 도시한 바와 같이, 용제 흡착 시트(3)는 그의 표면 보호를 위해서 그의 표리에 부직포 등을 포함하는 보호층(3a)이 겹쳐진 섬유 형상 활성탄의 펠트(3A)와, 그 펠트(3A) 중 이동 방향을 따른 측단부 테두리에 고정한 보강체(3B)와, 펠트(3A)의 길이 방향(전후 방향)의 양단에 고정한 제2 보강체(3C)와, 양단의 제2 보강체(3C)끼리를 접속해서 전체를 바퀴 형상으로 하기 위한 접속 구조를 갖는다.

펠트(3A)의 실수값의 예를 들면, 활성탄 섬유의 직경은 10㎛ 내지 20㎛, 두께는 10㎜ 내지 20㎜, 단위면적당 중량은 600g/㎡ 정도이다. 도면에서는 알기 쉽게 하기 위해 보호층(3a)을 두껍게 나타내고 있지만, 보호층(3a)의 실제 두께는 매우 얇은 것이다. 보강체(3B) 및 제2 보강체(3C)는 모두 내열성, 내용제성, 가요성(유연성)을 가지는 동시에, 펠트(3A)보다도 큰 항장력을 갖는다.

도 5a, 도 5b 및 도 5c에 도시한 바와 같이, 보호층(3a), 보강체(3B) 및 제2 보강체(3C)는 표면 단부와 단부면과 이면 단부를 연속되게 덮는 것이며, 펠트(3A)에 대한 고정 수단은 봉합이다. 고정 구조로는, 도 5a에 도시한 바와 같이 펠트(3A)의 단부를 압밀한 상태로 봉합한 구조, 도 5b에 도시한 바와 같이 펠트(3A)의 단부를 압밀하지 않은 상태로 봉합한 구조, 도 5c에 도시한 바와 같이 펠트(3A)의 단부를 내열성의 패킹(3b)을 통해 압밀한 상태로 봉합한 구조를 들 수 있다.

도 6a, 도 6b 및 도 7에 도시한 바와 같이, 펠트(3A)의 접속 구조는 펠트(3A)의 양단을 폭 방향에서 위치 결정한 상태로 접속하는 구조이다. 슬라이더(4)의 슬라이드에 의해 걸림 이탈 가능한 물림치(5)의 한쪽을 제2 보강체(3C) 중 한쪽에 장착하고, 또한 다른 쪽 물림치(5)를 다른 쪽 제2 보강체(3C)에 장착한 파스너(6)와, 슬라이더(4)를 제거한 상태의 그 파스너(6)의 물림치(5)끼리의 이탈을 저지하는 연결재(7)를 포함한다.

도 6a에 도시한 바와 같이, 파스너(6)는 펠트(3A) 폭보다도 긴 것으로서 펠트(3A)에 장착되고, 도 6b에 도시한 바와 같이, 접합 후에 펠트(3A)의 폭에 일치하도록 양단부를 절단 제거하고, 연결재(7)는 절단 제거 후의 파스너(6)의 양단에 있어서 물림치(5)끼리가 이탈하지 않도록 고정한다.

파스너(6)에는, 제2 보강체(3C)끼리에 걸쳐 위치함으로써 그 제2 보강체(3C) 사이를 시일하는 차폐 시트(8)가 설치되어 있다. 차폐 시트(8)는 제2 보강체(3C)에 고정되어 있다.

이 차폐 시트(8), 제2 보강체(3C) 및 파스너(6)는 1회의 봉합으로 일괄적으로 펠트(3A)에 고정할 수도 있거나, 또는 따로따로 고정할 수도 있다. 또한, 각종 고정에 접착제를 병용할 수 있다. 접착제로는 내열성인 것이 바람직하다.

(네트 컨베이어(9))

이동 수단은 용제 흡착 시트(3)의 내주면을 겹친 상태에서 그 용제 흡착 시트(3)를 순환 경로를 따라 이송하는 네트 컨베이어(9)이다. 이 네트 컨베이어(9)는 컨베이어 네트(9A)와, 그것을 이동 안내하는 가이드 기구와, 구동 롤러(2A)를 포함한다.

도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 컨베이어 네트(9A)는, 평대상(平帶狀)의 네트재를 편직하여 구성되어 있다. 네트재 중, 이동 방향을 따르는 자세의 네트재(9a)는 항장력이 큰 아라미드 수지제이다. 폭 방향을 따르는 자세의 네트재(9b)는 테플론(등록 상표) 수지제이다.

컨베이어 네트(9A)의 두께(t)는 양호한 가요성을 얻는 데 있어서 t=0.5㎜ 내지 1㎜ 정도로 하고 있고, 눈의 크기는 5㎜×5㎜ 정도, 네트재의 폭은 1㎜ 정도이다. 컨베이어 네트(9A)의 이동 방향을 따르는 단부 테두리에는 보강 벨트(9c)가 고정되어 있다.

다시 도 2 및 도 3을 참조하여, 가이드 기구는 순환 경로의 코너부(4 코너부)에 배치한 가이드 롤러(2) 및 구동 롤러(2A)와, 상승 경로부, 하강 경로부, 상측 경로부의 각각에 배치한 가이드 레일(9D)을 포함한다.

도 9 및 도 10에 도시한 바와 같이, 가이드 레일(9D)은 컨베이어 네트(9A)의 보강 벨트(9c)에 고정한 핀(10)에 걸림 결합함으로써, 컨베이어 네트(9A)의 폭 방향의 위치 어긋남을 규제하는 가이드 홈(9d)과, 컨베이어 네트(9A)의 내주면에 슬라이딩하여 그 컨베이어 네트(9A)의 두께 방향에서의 요동을 방지하는 가이드 면(9e)을 구비한다. 가이드 면(9e) 중 이동 상측의 단부 부분(9f)은 가이드 레일(9D)의 단부면에 핀(10)이 걸리지 않도록 하기 위해서, 경사 자세로 형성되어 있다.

도 11 및 도 12를 참조하여, 구동 롤러(2A)는 외부에 설치된 구동 장치(70)(도 2 참조)에 의해 풀리(2P)를 통해 벨트 구동되고 있다. 구동 롤러(2A)는, 그 대향하는 위치에 컨베이어 네트(9A)만을 컨베이어 네트(9A)의 두께 방향으로 끼워 넣어서 컨베이어 네트(9A)를 회전 이동시키는 종동 롤러(50A)가 설치되어 있다. 종동 롤러(50A)에는, 종동 롤러(50A)를 구동 롤러(2A) 측으로 가압(도면 중 화살표 F 방향)하기 위한 가압 스프링(60)이 설치되어 있다.

구동 롤러(2A)는, 코어 금속 부재(2a) 및 코어 금속 부재(2a)를 둘러싸는 연질 재료를 포함하는 표층 부재(2b)를 갖고, 표층 부재(2b)가 컨베이어 네트(9A)의 눈에 인입하여 걸림 결합한다. 종동 롤러(50A)는, 코어 금속 부재(50a) 및 코어 금속 부재(50a)를 둘러싸는 연질 재료를 포함하는 표층 부재(50b)를 갖고, 표층 부재(50b)가 컨베이어 네트(9A)의 눈에 인입해서 걸림 결합한다.

본 실시 형태에서는, 컨베이어 네트(9A)의 구동 롤러(2A)와 종동 롤러(50A)에 의해 구동한 후의 컨베이어 네트(9A)에는 텐션이 가해지지 않는다는 점에서, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 컨베이어 네트(9A)는 하방으로 처지게 한 상태가 된다. 용제 흡착 시트(3)는 순환 경로 중 하측 경로부에 있어서, 컨베이어 네트(9A)로부터 하방으로 분리해서 용제 흡착 시트(3)가 자유 상태가 된다.

이와 같이, 본 실시 형태에 있어서는, 컨베이어 네트(9A)에는 텐션이 가해지지 않고 있다는 점에서, 컨베이어 네트의 사용에 따른 늘어남의 발생을 억제하는 것이 가능하게 된다.

도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 컨베이어 네트(9A)가 하방으로 처진 영역에서는, 컨베이어 네트(9A)의 사행을 억제하는 기구로서 플레이트 부재(80)를 설치하면 된다.

(흡착 수단 및 탈착 수단)

도 3 내지 도 5 및 도 13에 도시한 바와 같이, 흡착 수단은 순환 경로 중 상승 경로부와 하강 경로부에서 용제 흡착 시트(3)에 그 용제 흡착 시트(3)를 두께 방향으로 투과하도록 처리 대상 가스(G1)를 공급해서 용제를 그 용제 흡착 시트(3)에 흡착시키는 수단이다.

장치의 전체를 수용하는 외장 케이스(13)와, 상승 경로부와 하강 경로부에 있어서 외측으로부터 처리 대상 가스(G1)를 공급하도록 외장 케이스(13)에 형성된 공급구를 통해서 외장 케이스(13) 내에 처리 대상 가스(G1)를 공급하는 흡착용 흡인구(14)와, 용제 흡착 시트(3)의 내측에, 용제 흡착 시트(3)를 사이에 두고 흡착용 흡인구(14)에 대향 배치되어, 용제 흡착 시트(3)를 통과한 처리 가스(g1)를 흡인하는 흡착용 배출 덕트(15)를 포함한다.

흡착용 흡인구(14)와 용제 흡착 시트(3)의 사이, 흡착용 배출 덕트(15)와 용제 흡착 시트(3)의 사이에는 2㎜ 내지 3㎜ 정도의 간극이 형성되어 있다.

도 3, 도 4 및 도 11에 도시한 바와 같이, 탈착 수단은 순환 경로 중의 상측 경로부에서 용제 흡착 시트(3)에 그 용제 흡착 시트(3)를 두께 방향으로 투과하도록 고온의 탈착용 가스(G2)를 공급해서 용제 흡착 시트(3)로부터 용제를 탈착하는 수단이다. 상측 경로부에 있어서 외측으로부터 탈착용 가스(G2)를 공급하는 탈착용 공급 덕트(16)와, 용제 흡착 시트(3)의 내측에, 용제 흡착 시트(3)를 사이에 두고 탈착용 공급 덕트(16)에 대향 배치되어, 용제 흡착 시트(3)를 통과한 농축 가스(g2)를 흡인하는 탈착용 배출 덕트(17)를 포함한다. 탈착용 배출 덕트(17)에 의해 흡인된 농축 가스(g2)는 촉매 산화 장치(1200)측으로 송출된다.

탈착용 공급 덕트(16)와 용제 흡착 시트(3)의 사이, 탈착용 배출 덕트(17)와 용제 흡착 시트(3)의 사이에는 2㎜ 내지 3㎜ 정도의 간극이 형성되어 있다.

(용제 처리 장치(1100)의 내압의 제어)

통상, 처리 대상 가스(G1)의 처리시에는, 도 13에 도시한 바와 같이 흡착용 흡인구(14)의 내압을 (P1)로 하고, 흡착용 배출 덕트(15)의 내압을 (P2)로 하고, 탈착용 공급 덕트(16)의 내압을 (P3)으로 하고, 탈착용 배출 덕트(17)의 내압을 (P4)로 했을 경우에, (P1)≤(P4), (P1)≥(P3) 및 (P2)≥(P3)의 관계를 구비하도록, 용제 처리 장치(1100)의 흡착 수단의 내압 및 탈착 수단의 내압의 제어가 제어 장치(300)에 의해 행해진다.

이렇게 각 영역의 내압 관계를 유지하도록 제어함으로써, 흡착용 흡인구(14)로부터 흡인된 처리 대상 가스(G1)는, 용제 흡착 시트(3)를 통과한 후 처리 가스(g1)로서 흡착용 배출 덕트(15)로부터 배출되는 동시에, 탈착용 가스(G2)는 용제 흡착 시트(3)를 통과한 후 농축 가스(g2)로서 탈착용 배출 덕트(17)로부터 배출되어, 처리 대상 가스(G1)가 탈착용 배출 덕트(17)로 유출될 일이 없고, 또한 탈착용 가스(G2)의 흡착용 흡인구(14)측으로의 유출 및 흡착용 배출 덕트(15)로 유출될 일도 없다.

용제 처리 장치(1100)의 내압은, 외부 설비로부터 보내져오는 처리 대상 가스(G1)의 송풍량에 따라서 변화한다. 따라서, 제어 장치(300)에 있어서는, 흡착용 흡인구(14)의 내압인 (P1)을 항상 모니터링하고, (P1)의 변동에 있어서, (P1)≤(P4), (P1)≥(P3) 및 (P2)≥(P3)의 관계를 구비하도록, 탈착용 공급 덕트(16)의 내압인 (P3)의 조절을 행한다.

용제 처리 장치(1100)의 내압의 조절은, 처리 가스(g1)의 풍량을 조절하는 팬(F2), 탈착용 가스(G2)의 풍량을 조절하는 팬(F3) 및 농축 가스(g2)의 풍량을 조절하는 팬(F4)를 사용해서 행해진다. 각 가스의 풍량은, 각 팬의 회전 수를 인버터 제어에 의해 행한다. 각 팬의 송풍량은 일정하게 하고, 각 가스가 통과하는 관로 내에 관로의 통로 단면적을 변경하는 댐퍼를 설치하고, 이 댐퍼의 개폐 동작을 제어함으로써, 각 가스의 풍량을 조절할 수 있다.

이렇게 본 실시 형태에 있어서의 용제 처리 장치(1100)의 내압의 조절에 있어서는, 상기한 바와 같이, 흡착용 흡인구(14)의 내압을 (P1)으로 하고, 흡착용 배출 덕트(15)의 내압을 (P2)로 하고, 탈착용 공급 덕트(16)의 내압을 (P3)로 하고, 탈착용 배출 덕트(17)의 내압을 (P4)로 했을 경우에, (P1)≤(P4), (P1)≥(P3) 및 (P2)≥(P3)의 관계를 구비하도록, 흡착 수단의 내압 및 탈착 수단의 내압의 제어를 행함으로써, 처리 대상 가스(G1)의 탈착용 배출 덕트(17)로의 유출을 방지하는 동시에, 탈착용 가스(G2)의 흡착용 흡인구(14)로의 유출 및 흡착용 배출 덕트(15)로의 유출을 방지한다.

상술한 흡착 수단의 내압 및 탈착 수단의 내압(P1 내지 P4)의 압력의 제어는 일례이다. 흡착 수단의 내압 및 탈착 수단의 내압(P1 내지 P4)의 압력의 제어는, 처리 대상 가스(G1)의 탈착용 배출 덕트(17)로의 유출을 방지하는 동시에, 탈착용 가스(G2)의 흡착용 흡인구(14)로의 유출 및 흡착용 배출 덕트(15)로의 유출을 방지할 수 있도록, (P1 내지 P4)의 압력의 제어를 행한다.

이번에 개시한 상기 실시 형태는 모든 점에서 예시이며, 제한적인 것이 아니다. 본 발명의 기술적 범위는 청구범위에 의해 획정되고, 또한 청구범위의 기재와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경을 포함하는 것이다.

2: 가이드 롤러
2A: 구동 롤러
2a, 50a: 코어 금속 부재
2b, 50b: 표층 부재
2P: 풀리
3: 용제 흡착 시트
3A: 펠트
3B: 보강체
3C: 제2 보강체
3a: 보호층
3b: 패킹
4: 슬라이더
5: 물림치
6: 파스너
7: 연결재
8: 차폐 시트
9: 네트 컨베이어
9A: 컨베이어 네트
9D: 가이드 레일
9a, 9b: 네트재
9c: 보강 벨트
9d: 가이드 홈
9e: 가이드 면
9f: 단부 부분
10: 핀
13: 외장 케이스
14: 흡착용 흡인구
15: 흡착용 배출 덕트
15a, 17a: 흡입구
16: 탈착용 공급 덕트
16a: 공급구
17: 탈착용 배출 덕트
50A: 종동 롤러
60: 가압 스프링
70: 구동 장치
80: 플레이트 부재
121: 히터
122: 촉매
123: 열교환기
300: 제어 장치
1000: 탈취 장치
1100: 용제 처리 장치
1200: 촉매 산화 장치
F2, F3, F4: 팬
G1: 처리 대상 가스
G2: 탈착용 가스
P1, P2: 내부 압력
g1: 처리 가스
g2: 농축 가스

Claims

활성탄의 펠트를 주체로 하는 바퀴 형상의 용제 흡착 시트를 순환 경로를 따르도록 감아 걸어서 회전 이동시키는 이동 수단과,
상기 순환 경로의 제1 설정 개소에서 상기 용제 흡착 시트 내에, 상기 용제 흡착 시트의 두께 방향으로 투과하도록 용제를 함유하는 처리 대상 가스를 공급하여, 상기 용제를 용제 흡착 시트에 흡착시키는 흡착 수단과,
상기 제1 설정 개소와는 상이한 별도의 제2 설정 개소에서 상기 용제 흡착 시트 내에, 상기 용제 흡착 시트의 두께 방향으로 투과하도록 탈착용 가스를 공급하여, 상기 용제 흡착 시트로부터 용제를 탈착하는 탈착 수단을 구비하고,
상기 이동 수단은,
상기 용제 흡착 시트의 내주면에 겹친 상태에서 상기 용제 흡착 시트를 이송하는 컨베이어 네트를 갖는 네트 컨베이어와,
상기 컨베이어 네트만을 상기 컨베이어 네트의 두께 방향으로 끼워 넣어서 상기 컨베이어 네트를 회전 이동시키는 구동 롤러 및 종동 롤러
를 포함하고,
상기 구동 롤러와 상기 종동 롤러에 의해 두께 방향으로 끼워 넣어서 상기 컨베이어 네트를 구동한 후의, 상기 컨베이어 네트에 가해지는 텐션을 자유롭게 함으로써 하방을 향해서 처지게 함과 동시에,
상기 컨베이어 네트가 하방으로 처진 영역에 상기 컨베이어 네트의 사행(蛇行)을 억제하는 기구가 더 설치되어 있는 용제 처리 장치.
제1항에 있어서, 상기 구동 롤러는 구동 롤러 코어 금속 부재 및 구동 롤러 표층 부재를 갖고, 상기 구동 롤러 표층 부재가 상기 컨베이어 네트의 눈에 인입해서 걸림 결합하고,
상기 종동 롤러는 종동 롤러 코어 금속 부재 및 상기 종동 롤러 코어 금속 부재를 둘러싸는 종동 롤러 표층 부재를 갖고, 상기 종동 롤러 표층 부재가 상기 컨베이어 네트의 눈에 인입해서 걸림 결합하는 용제 처리 장치.
제1항에 있어서, 상기 종동 롤러는 상기 종동 롤러를 상기 구동 롤러측으로 가압하는 용제 처리 장치.
제1항에 있어서, 상기 종동 롤러의 외경은 상기 구동 롤러의 외경보다 작은 용제 처리 장치.
제1항에 있어서, 상기 컨베이어 네트만이 상기 구동 롤러와 상기 종동 롤러에 의해 끼워 넣어지고, 상기 용제 흡착 시트는 상기 종동 롤러의 하방을 통과하는 용제 처리 장치.
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