JP2003135924A - 吸脱着式ガス浄化装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型安価で吸脱着性能に優れ、しかも、装置
運転の安定性や吸着ベルトの耐用性にも優れた吸脱着式
ガス浄化装置を提供する。 【解決手段】 吸着ベルト３を循環経路に沿って回転移
動させる移動手段と、循環経路の設定箇所で吸着ベルト
３内を厚さ方向に透過するように処理対象ガスＧ１を給
排する吸着手段と、前記設定箇所とは異なる別の設定箇
所で吸着ベルト３内を厚さ方向に透過するように脱着用
ガスＧ２を給排する脱着手段とを設け、吸着ベルト３
に、その幅方向両端同士の相対接近を阻止する複数のベ
ルト幅規制体３Ｄを回転移動方向に間隔を隔てて装着
し、吸着ベルト３を幅方向の両側から挟む状態に配置し
た一対の規制体２２に対しベルト幅規制体３Ｄのベルト
幅方向における両端部を摺動させることにより、吸着ベ
ルト３の幅方向での位置を規制する位置規制手段を設け
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、塗装工場や半導体製造
工場などから排出される溶剤（トルエンやキシレンで代
表される有機溶剤等で３０〜３００ｐｐｍ程度の濃度）
含有の排気を処理する、つまり、排気中の溶剤を除去処
理する技術のうち、最終処理量の減量を図るように溶剤
の濃度を濃縮する場合などに用いられる装置で、詳しく
は、通気性を備えた吸着ベルトを用い、溶剤などの除去
対象物を含有する処理対象ガスを、その吸着ベルト内を
厚さ方向で透過するように供給することによりその処理
対象ガス中の除去対象物を吸着ベルトに吸着させて処理
対象ガスを浄化する一方、前記の吸着ベルトに脱着用ガ
スを、その吸着ベルトの厚さ方向で透過するように供給
することにより吸着ベルトからそれに吸着されている除
去対象物を脱着して吸着ベルトの更新と除去対象物の濃
縮とを行う吸脱着式ガス浄化装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】吸着ベルトを用いてガス浄化を行う本発
明対象の吸脱着式ガス浄化装置では、例えば、繊維状活
性炭をペーパ化し、段加工して多数のガス通路を有する
ハニカム状に成形し、それを枠に支持させたブロック状
の吸着体を用い、その吸着体のガス通路内に沿って処理
対象ガスを透過させることにより、繊維状活性炭が分散
するガス通路周囲壁に接触させて溶剤などの除去対象物
を吸着させるハニカムロータ式の吸脱着式ガス浄化装置
に比較して、次のような利点がある。つまり、ハニカム
ロータ式の吸脱着式ガス浄化装置による場合には、ガス
通路周囲壁に沿って処理対象ガスを流動させて吸着材に
接触させることで吸着させるため、吸着体の大きさの割
りには吸着材と処理対象ガスとの接触面積が小さくて、
吸着材と処理対象ガスとの接触効率が悪く、吸着体の大
きさの割りには処理能力が小さくてコストの高いものに
なる。しかも、吸着体を加熱して脱着する際、吸着体が
大きく、加えて、支持用の枠に熱を取られることによ
り、多量の熱量が必要であり、かつ、脱着後に吸着可能
状態に更新させる上で冷却を必要とすることもあり、ラ
ンニングコストが高くつく。これに対し、本発明が対象
とする上述の吸脱着式ガス浄化装置による場合には、吸
着ベルトを、繊維状活性炭のフェルトから構成したり、
或いは、活性炭を内部に分散させたフェルトから構成し
たりすることなどにより、吸着ベルトと処理対象ガスと
の接触面積を大きくして接触効率を優れたものにできる
割りには吸着ベルトの厚さを薄くでき、その結果、吸着
ベルトを加熱・冷却し易いものにできて、脱着のための
加熱に要するランニングコストが安くて済み、また、特
別な装置類を要することなく脱着後の吸着のための冷却
を行える。そのような利点を有する吸脱着式ガス浄化装
置として従来では、図２８に示すように、吸着ベルト３
を第１のロールＲ１から繰り出すとともに、第２のロー
ルＲ２で巻き取り、その第１のロールＲ１から第２のロ
ールＲ２への移動途中で、処理対象ガスＧ１を供給して
溶剤などの除去対象物を吸着ベルト３に吸着させ、第２
のロールＲ２を収納する加熱室Ｈに脱着用ガスＧ２とし
ての加熱空気を供給して吸着ベルト３からそれの吸着さ
れている除去対象物を脱着する技術が知られている（例
えば特公昭５３―９５８７号公報）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
によるときは、吸着ベルトを第１のロールから繰り出し
つつ第２のロールで巻き取ることで移動させて吸着ベル
トに除去対象物を吸着させるから、そのような移動時に
加熱室に加熱空気を並行して供給することにより、吸着
と同時に脱着を行えるものの、第２のロールに吸着ベル
トが最後まで巻き取られると、第１のロールに吸着ベル
トを巻き戻しする必要があって、処理形態が、吸脱着と
巻き戻しとを交互に繰り返す形態とならざるを得ない。
その結果、長時間の処理を行うには、第１のロールから
吸着ベルトの全部を繰り出しての１回の吸着作業時間を
長くしたり、或いは、複数の装置を設けて一方のものが
吸脱着しているときに他方のものが巻き戻しするように
交互に使用したりする必要がある。そして、前者の場合
には、吸着ベルトの巻き取り径が大きくなってそれに付
帯する装置の大型化、コストアップを招来するのみなら
ず、第２のロールに巻き取られた状態で加熱室で吸着ベ
ルトが除去対象物を吸着した状態で加熱される時間が長
くなることで、吸着ベルトの異常な昇温を招来すること
があって、それを防止するための構成が別途必要にな
り、装置の大型化、コストアップが不可避である。この
ことは、特に、高濃度の処理対象ガスを処理するために
吸着ベルトの移動速度を速くした場合に顕著である。他
方、後者の場合には、装置の数が増えて、やはり、装置
の大型化、コストアップが不可避である。本発明の目的
は、上記欠点を解消する点、つまり、たとえ前記従来例
の主使用領域濃度に比べて高濃度の処理対象ガスであっ
ても、装置の大型化、コストアップを招来することなく
長時間連続処理できるようにする点にある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の第１発明による
吸脱着式ガス浄化装置の特徴は、通気性を備えた吸着ベ
ルトを循環経路に沿うように巻きかけて回転移動させる
移動手段と、前記循環経路の設定箇所でその吸着ベルト
内を厚さ方向に透過するように処理対象ガスを給排する
吸着手段と、前記設定箇所とは異なる別の設定箇所で吸
着ベルト内を厚さ方向に透過するように脱着用ガスを給
排する脱着手段とを設け、前記吸着ベルトに、その吸着
ベルトの幅方向両端同士の相対接近を阻止する複数のベ
ルト幅規制体を回転移動方向に間隔を隔てて装着し、前
記吸着ベルトを幅方向の両側から挟む状態に配置した一
対の規制体に対して前記ベルト幅規制体のベルト幅方向
における両端部を前記吸着ベルトの回転移動に伴い摺動
させることにより、前記吸着ベルトの幅方向での位置を
規制する位置規制手段を設けてある点にある。

【０００５】本発明の第２発明による吸脱着式ガス浄化
装置の特徴は、上記第１発明において、前記吸着ベルト
をコンベアネットの外周面に重ねた状態でコンベアネッ
トを前記循環経路に沿って回転移動させることにより前
記吸着ベルトを前記循環経路に沿って移送するネットコ
ンベアにより前記移動手段を構成し、前記循環経路のう
ち下降経路部から上昇経路部へわたる下側経路部におい
て前記コンベアネットを前記吸着ベルトから上方へ分離
させて吸着ベルトを自由状態にする分離手段を設け、こ
の分離手段により前記コンベアネットを前記吸着ベルト
から上方へ分離させた分離部において前記ベルト幅規制
体の両端部を前記規制体に対し摺動させる状態に前記位
置規制手段を配置してある点にある。

【０００６】

【作用】上記本発明の第１発明によれば、吸着ベルトを
循環経路に沿って回転移動させるとともに、吸着手段と
脱着手段とを作動させることにより、処理対象ガスの供
給箇所と脱着用ガスの供給箇所とに交互に繰り返して吸
着ベルトを移動させて、吸着ベルトによる処理対象ガス
からの除去対象物の吸着と、その吸着した除去対象物の
脱着用ガスへの脱着とを行うことができるから、吸着ベ
ルトの回転移動と、その状態での処理対象ガスの供給及
び脱着用ガスの供給とを連続して行うことにより、吸脱
着を中断することなく連続して行うことができるととも
に、脱着時に吸着ベルトを過剰に加熱することがない。
しかも、吸着ベルトにはその循環経路に沿って確実円滑
に回転移動するために回転移動方向にテンションが掛け
られており、特に循環経路のうち上昇経路部分や下降経
路部分では自重自体がテンションとして作用し、そのよ
うなテンションは吸着ベルトの幅を狭めようとする力と
して作用するが、ベルト幅規制体を設けてあるから、テ
ンションや自重にかかわらず吸着ベルトの幅縮小方向へ
の変形を防止することができる。その結果、装置の小型
化・コンパクト化を進める上で、吸着部の処理対象ガス
供給口・処理ガス吸い込み口及び脱着部の脱着用ガス供
給口・濃縮ガス吸い込み口の幅を吸着ベルトの幅に匹敵
する大きさにしてあっても、吸着ベルトの幅内にそれら
の口を確実に対応位置させて、供給した処理対象ガスや
脱着用ガスが吸着ベルトを透過せずに吸着ベルト脇から
処理室内に漏出することを防止することができる。換言
すれば、吸着ベルトを最小限の幅に構成してあっても、
その吸着ベルトのほぼ全幅を吸脱着に確実に使用して効
率の良い吸脱着を行うことができる。そしてまた、位置
規制手段により吸着ベルトの幅方向での位置を規制する
から、吸着ベルトの幅方向での位置を適切な位置に安定
的に保持することができて、吸着ベルトが幅方向で不適
切な位置にずれることよる運転支障を効果的に防止した
状態で良好な装置運転を安定的に実施することができ
る。しかも、前記ベルト幅規制体を利用して、ベルト幅
規制体の両端部を一対の規制体に対し摺動させることに
より、吸着ベルトの幅方向での位置を規制するから、吸
着ベルト自身に無理な力が作用するのを効果的に防止し
た状態で、吸着ベルトの幅方向での位置を規制すること
ができ、これにより吸着ベルトの耐用性も高めることが
できる。

【０００７】本発明の第２発明によれば、下側経路部に
おいて分離手段によりコンベアネットを吸着ベルトから
上方へ分離させて吸着ベルトを自由状態にすることで、
その状態部分において吸着ベルトの温度変化や経年使用
などによる回転移動方向での伸縮を効果的に吸収するこ
とができ、これにより、吸着ベルトを長期にわたり良好
な状態で安定的に回転移動させることができる。そし
て、この自由状態部分では吸着ベルトからコンベアネッ
トが上方へ分離していることで、吸着ベルトの幅方向へ
の位置ずれが生じ易いが、この自由状態部分、すなわ
ち、分離手段によりコンベアネットを吸着ベルトから上
方へ分離させた分離部において、前記位置規制手段によ
り吸着ベルトの幅方向での位置を規制することで、その
自由状態部分での吸着ベルトの幅方向への位置ずれを確
実に防止することができ、これらのことが相まって、良
好な装置運転を一層安定的に実施することができる。

【０００８】

【発明の効果】従って、本発明によれば、吸着ベルトを
連続的に回転移動させて、装置の大型化及びコストアッ
プを招来することなく、高濃度の除去対象物含有ガスを
長時間連続処理でき、しかも、所期の吸脱着性能をも同
時に向上でき、また、装置運転の安定性や吸着ベルトの
耐用性も高く確保し得るようになった。そして特に、請
求項２のようにすれば、装置運転の安定性に一層優れた
ものにすることができる。

【０００９】

【実施例】溶剤処理設備への適用例を示す。溶剤処理設
備は、図１に示すように、除去対象物の一例である溶剤
を含有する処理対象ガスＧ１を濃縮する前処理用の吸脱
着式ガス浄化装置１と、そこからの濃縮ガスｇ２中の溶
剤を除去する最終処理装置２とからなる。前記吸脱着式
ガス浄化装置１は、図２、図３に示すように、輪状（無
端帯状）に形成された通気性の吸着ベルト３と、その吸
着ベルト３を循環経路に沿うように巻きかけて回転移動
させる移動手段とを処理室４内に設け、吸着手段と、脱
着手段と、分離手段と、位置規制手段とを設けて構成さ
れている。前記循環経路は、上昇経路部と、それの上端
に連なる水平の上側経路部と、その終端に連なる下降経
路部と、その下降経路部から上昇経路部への水平な下側
経路部とからなる。前記吸着ベルト３は、活性炭を吸着
材として、常温で処理対象ガスＧ１中の溶剤を吸着し、
加熱（１００〜１３０度）により脱着するものである。
具体的には、図４に示すように、繊維状活性炭をフェル
ト状に加工した通気性のマット３Ａを設け、そのマット
３Ａの内周面に、耐熱性（１３０℃程度に耐えられる性
能）及び通気性の不織布等からなる無端帯状の補強用の
基材３Ｂを重ねて固定し、マット３Ａの外周面に耐熱性
（１３０℃程度に耐えられる性能）及び通気性の不織布
等からなる保護層３Ｃを重ねて固定し、ベルト幅規制体
３Ｄと第１及び第２の通気制限帯状体３Ｅ，３Ｆとを設
けて構成されている。前記マット３Ａの実数値例を挙げ
ると、活性炭繊維の径は１０〜２０μｍ、厚さは１０〜
２０ｍｍ、目付け量は６００ｇ／ｍ^２程度である。な
お、図では判りやすくする上で基材３Ｂ及び保護層３Ｃ
を厚く示してあるが、基材３Ｂ及び保護層３Ｃの実際の
厚さは非常に薄いものである。そして、吸着ベルト３の
外周面には、ベルト幅方向に沿った姿勢で、ベルト幅の
全幅にわたる幅及び基材３Ｂの外周面に達する深さを有
する複数の切り込み５が回転移動方向に間隔を隔てて形
成されている。つまり、マット３Ａは、回転移動方向で
複数個に単位体３ａに分割構成されており、保護層３Ｃ
は、単位体３ａの回転移動方向の端面を覆うように折り
曲げ形成されている。もって、吸着ベルト３は、その各
部位がコーナー部を通過する際、回転移動方向で隣合う
マット３Ａの外周面側同士が切り込み５を開くように回
転移動方向で相互に離間することにより外周面の引張力
を吸収するように構成されている。前記ベルト幅規制体
３Ｄは、吸着ベルト３の幅方向両端同士の相対接近を阻
止するものであって、金属材料や合成樹脂（耐熱性を有
し、熱変形や熱膨張を起こしにくいものが好ましい。）
などからなり、丸棒状や角棒状、板状に形成されてい
る。なお、図では丸棒状のものを示してあるが、大きさ
や形状は、可及的にガスの通過を阻害しないように設定
する。そして、吸着ベルト３の切り込み形成箇所のそれ
ぞれに配置されている。前記第１の通気制限帯状体３Ｅ
は、非通気性のもので、前記吸着ベルト３の切り込み形
成箇所の内周面それぞれにその吸着ベルト３の全幅にわ
たる状態に装着されて切り込み形成箇所での通気を防止
するものであり、耐熱性の合成樹脂シートから構成され
ている。前記第２の通気制限帯状体３Ｆは、非通気性
で、前記吸着ベルト３のうちベルト幅規制体設置箇所の
内周面それぞれにその吸着ベルト３の全幅にわたる状態
に装着されて内周面側からそれら各ベルト幅規制体３Ｄ
に向かう通気を阻止するものであり、前記第１の通気制
限帯状体３Ｅと兼用構成されている。前記移動手段は、
同図４に示す如く、前記吸着ベルト３をコンベアネット
６Ａの外周面に重ねた状態で前記の循環経路に沿ってコ
ンベアネット６Ａを回転移動することにより吸着ベルト
３を循環経路に沿って移送するネットコンベア６であ
り、コンベアネット６Ａと、それを移動案内するガイド
機構と、駆動ローラ６Ｂと、テンション機構とからな
る。前記コンベアネット６Ａは、図５〜図７に示すよう
に、回転移動方向に沿う姿勢の平帯状の縦ネット材６ａ
と幅方向に沿う姿勢の横ネット材６ｂとを編織したネッ
トを設け、このネットの幅方向の両端に補強材６ｃを取
り付けて構成されている。前記縦ネット材６ａは、抗張
力が大きいアラミド樹脂製であり、横ネット材６ｂは、
テフロン（登録商標）樹脂製である。そして、コンベア
ネット６Ａの厚さｔは、良好な可撓性を得る上で０．５
〜１ｍｍ程度としてあり、目の大きさは５ｍｍ×５ｍｍ
程度、ネット材の幅は１ｍｍ程度である。前記ガイド機
構は、循環経路のコーナ部に配置したガイドローラ７
と、上昇経路部、下降経路部、上側経路部のそれぞれに
配置したガイドレール８とからなる。ガイドレール８
は、図６、図７に示すように、コンベアネット６Ａの補
強ベルト６ｃに固定したピン９に係合することにより、
コンベアネット６Ａの幅方向の位置ずれを規制するガイ
ド溝８ａと、コンベアネット６Ａの内周面に摺動してそ
のコンベアネット６Ａの厚さ方向での振れを防止するガ
イド面８ｂとを備え、ガイド面８ｂのうち移動上手側の
端部分８ｃは、ガイドレール８の端面にピン９が引っ掛
からないようにするため傾斜姿勢に形成されている。前
記駆動ローラ６Ｂは、ガイドローラ７の一つをモータ１
０などのアクチュエータに連動させることで構成されて
おり、その周面は、コンベアネット６Ａの目に入り込ん
で係合するようにゴム等の軟質材１１から構成されてい
る。前記テンション機構は、循環経路のうち下側経路部
において、テンションローラ１２でコンベアネット６Ａ
を上方に持ち上げてそのコンベアネット６Ａにテンショ
ンを付与するものであり、このテンション付与の作用で
コンベアネット６Ａが吸着ベルト３から上方に分離して
吸着ベルト３が自由状態となる。つまり、テンション機
構が、コンベアネット６Ａを吸着ベルト３から上方に分
離して吸着ベルト３を自由状態にする前記分離手段を構
成している。前記吸着手段は、前記処理対象ガスＧ１中
の溶剤を吸着ベルト３により吸着除去する手段であっ
て、前記循環経路のうち上昇経路部と下降経路部とで前
記吸着ベルト３内を厚さ方向に透過するように処理対象
ガスＧ１を外周面側から供給するとともに、その吸着ベ
ルト３で溶剤を吸着除去されて内周面側に透過してきた
処理ガスｇ１を排出するように構成されている。詳述す
ると、図８にも示すように、前記処理室４を形成する外
装ケース１３のうち上昇経路部と下降経路部とに対応す
る箇所に形成の処理対象ガス供給口１４ａを介して処理
室４内のうち外装ケース１３と吸着ベルト３の外周面と
の間に処理対象ガスＧ１を供給するための吸着用供給ダ
クト１４と、吸着ベルト３で囲まれた箇所で吸着ベルト
３の内周面に近接位置する処理ガス吸い込み口１５ａを
介して吸着ベルト３内から透過した処理ガスｇ１を吸引
して処理室４外に排出するための処理ガス排出ダクト１
５とを設け、処理対象ガスＧ１の供給ファンＦ１と処理
ガスｇ１の排気ファンｆ１とを設けて構成されている。
つまり、処理対象ガス供給口１４ａ及び処理ガス吸い込
み口１５ａとから、処理室４内に位置して吸着ベルト３
に対して処理対象ガスＧ１を給排する吸着部が構成され
ている。前記脱着手段は、前記吸着ベルト３に吸着され
た溶剤を高温の脱着用ガスＧ２により脱着する手段であ
って、前記循環経路のうち上側経路部で前記吸着ベルト
３内を厚さ方向に透過するように脱着用ガスＧ２を内周
面側から供給するとともに、吸着ベルト３から溶剤を脱
着して外周面側に透過してきた濃縮ガスｇ２を排出する
ように構成されている。詳述すると、図８にも示すよう
に、処理室４内のうち前記吸着ベルト３で囲まれた箇所
でその吸着ベルト３の内周面に近接位置する脱着用ガス
供給口１６ａを介して吸着ベルト３に内周面側から脱着
用ガスＧ２を供給するための脱着用供給ダクト１６と、
処理室４内のうちその脱着用供給ダクト１６の脱着用ガ
ス供給口１６ａに吸着ベルト３を挟んで対向する箇所で
吸着ベルト３の外周面に近接位置する濃縮ガス吸い込み
口１７ａを介して吸着ベルト３を透過した濃縮ガスｇ２
を処理室４外に排出するための濃縮ガス排出ダクト１７
とを設け、脱着用ガスＧ２の供給ファンＦ２と濃縮ガス
ｇ２の排気ファンｆ２とを設けて構成されている。つま
り、脱着用ガス供給口１６ａ及び濃縮ガス吸い込み口１
７ａとから、処理室４内に位置して吸着ベルト３に対し
て脱着用ガスＧ２を給排する脱着部が構成されている。
前記濃縮ガス排出ダクト１７は濃縮ガスｇ２を前記最終
処理装置２に供給する排出ダクトである。そして、脱着
用ガス供給口１６ａをその外郭が濃縮ガス吸い込み口１
７ａの内側に位置する大きさに構成し、供給口１６ａと
吸着ベルト３とに隙間ｄ（２ｍｍ〜３ｍｍ程度で、供給
口を吸着ベルト３に接触させない寸法。）を形成し、か
つ、脱着用供給ダクト１６内の圧力Ｐ３を外装ケース１
３内の圧力、つまり、図８に示すように、吸着用供給ダ
クト１４内の圧力Ｐ１よりも高くして、脱着用供給ダク
ト１６から隙間ｄを介して若干の脱着用ガスＧ２が処理
室４内に排出されるようにすることにより、吸着ベルト
３に供給される脱着用ガスＧ２中に処理室４内の冷たい
ガスが混入しないように構成してある。前記のように、
隙間ｄから脱着用ガスＧ２を排出するための制御は、脱
着用供給ダクト１６内の圧力Ｐ３と処理室４内の圧力Ｐ
１とを検出し、その差圧が設定値となるように脱着用ガ
スＧ２の供給圧や濃縮ガスｇ２の吸引圧を制御しても良
いが、上記のように吸着部と脱着部とを配置した場合の
処理室４内には、脱着用ガスＧ２の排出量に応じて温度
成層が形成される傾向にあるなど、処理室４内の温度状
況と脱着用ガスＧ２の排出量とを関係付けることができ
る場合には、温度に基づいて制御しても良い。因みに、
吸着用供給ダクト１４の圧力Ｐ１と処理ガス排出ダクト
１５の圧力Ｐ２と脱着用供給ダクト１６の圧力Ｐ３と濃
縮ガス排出ダクト１７の圧力Ｐ４とは、Ｐ２＜Ｐ１＜Ｐ
３、Ｐ４＜Ｐ３の関係にある。また、吸着手段及び脱着
手段には、ガス吸引に伴う吸着ベルト３の変形を防止す
る吸引変形防止手段が設けられている。吸着用の吸引変
形防止手段は、図９、図１０に示すように、処理ガス吸
い込み口１５ａの全周において吸引に抗してコンベアネ
ット６Ａ及び吸着ベルト３を支持するシール用の支持板
１８と、支持体１９とからなる。前記支持板１８は、処
理ガス吸い込み口１５ａの回転移動方向の前後両端に位
置するとともに、回転移動方向に設定長さＬを有する前
後の支持部１８Ａと、処理ガス吸い込み口１５ａの左右
方向（幅方向）の両端に位置するとともに、左右方向に
設定長さＬを有する左右の支持部１８Ｂとからなる。前
記支持体１９は、コンベアフレーム１９Ａの回転移動方
向に間隔を隔てた複数箇所それぞれに、コンベアネット
６Ａを支持するローラ１９Ｂを、吸着ベルト３の幅方向
に沿った水平軸芯周りに自由回転自在に装着して構成さ
れている。つまり、複数のローラ１９Ｂがコンベアネッ
ト６Ａの回転移動に伴い水平軸芯周りに回転することに
より、摺動抵抗なくコンベアネット６Ａを支持するよう
に構成されている。前記脱着用の吸引変形防止手段は、
図１１、図１２に示すように、濃縮ガス吸い込み口１７
ａの全周において吸引に抗して吸着ベルト３を支持する
シール用の支持板２０と、支持体２１とからなる。前記
支持板２０は、濃縮ガス吸い込み口１７ａの回転移動方
向の前後両端に位置するとともに、回転移動方向に設定
長さＬを有する前後の支持部２０Ａと、濃縮ガス吸い込
み口１７ａの左右方向の両端に位置するとともに、左右
方向に設定長さＬを有する左右の支持部２０Ｂとからな
る。前記支持体２１は、コンベアフレーム２１Ａの回転
移動方向に間隔を隔てた複数箇所それぞれに、吸着ベル
ト３を支持するローラ２１Ｂを、吸着ベルト３の幅方向
に沿った水平軸芯周りに自由回転自在に装着して構成さ
れている。つまり、複数のローラ２１Ｂが吸着ベルト３
の回転移動に伴い水平軸芯周りに回転することにより、
摺動抵抗なく吸着ベルト３を支持するように構成されて
いる。なお、この脱着用の吸引変形防止手段のローラ２
１Ｂは、吸着用の吸引変形防止手段のローラ１９Ｂより
も大径に構成してある。また、前記吸着用のローラ１９
Ｂ及び脱着用のローラ２１Ｂの配置手段の例として、図
９、図１１に示すように、吸着ベルト３の幅に相当する
長さの長尺物を一列の状態に配置したものを示したが、
図１３の（イ）（ロ）に示すように、短尺物を幅方向に
複数列の状態に設けても良い。この場合、（イ）に示す
ように幅方向で隣合うものが回転移動方向の同一箇所に
位置する状態に配置する形態及び（ロ）に示すように千
鳥の状態に配置する形態のいずれを採用しても良い。前
記位置規制手段は、図１４に示すように、下側経路部の
左右両脇に、コンベアネット６Ａから下方に離脱して自
由状態にある吸着ベルト３の左右の端縁、詳しくは、ベ
ルト幅規制体３Ｄのうち幅方向外方に突出する長手方向
の端部に摺動する（逆言すれば、ベルト幅規制体３Ｄの
ベルト幅方向における両端部を吸着ベルト３の回転移動
に伴い摺動させる）ことにより、吸着ベルト３の幅方向
での位置を規制する規制板２２を設けて構成されてい
る。

【００１０】〔別実施例〕上記実施例では、循環経路と
して、上昇経路部と下降経路部と上側経路部と下側経路
部とを備えたものを示したが、循環経路の形状は適宜変
更自在である。上記実施例では、吸着を循環経路の２箇
所で、脱着を１箇所で行うものを示したが、それらの数
は不問である。上記実施例では、切り込み形成箇所にベ
ルト幅規制体３Ｄを配置したが、図１５に示すように、
切り込み形成箇所とは異なる箇所にベルト幅規制体３Ｄ
を配置してもよい。この場合、第１の通気制限帯状体３
Ｅと第２の通気制限帯状体３Ｆとを別個に設置すること
になる。上記実施例では、マット３Ａを、回転移動方向
で隣合うもの同士が相互に分離する単位体３ａから構成
したが、図１６に示すように、切り込み５をマット３Ａ
の厚さ方向の中間までの深さのものにして、マット３Ａ
がそれ自身で一連に一体化していても良い。上記実施例
では、切り込み５付きの吸着ベルト３を示したが、吸着
ベルト３は、図１７に示すように、マット３Ａの幅方向
両端に「コ」の字形の補強材３Ｇを取り付け、幅方向中
間の内外周に、平板状の補強材３Ｈをマット３Ａを挟む
状態に取り付けて、対引張性能を向上し、かつ、マット
３Ａの幅方向の端部を保護するように構成したものや、
図１８に示すように、マット３Ａの内周面に、補強用の
ガラス繊維製のネット３Ｊを取り付けたものであっても
良い。前記コンベアネット６Ａを次のように構成しても
良い。図１９、図２０に示すように、循環径路に沿って
回転移動自在なフレームに上記実施例で示したネットを
取り付ける。前記フレームは、２本の補強兼用の駆動ベ
ルト６ｄを幅方向に間隔を隔てて配置し、回転移動方向
に間隔を隔てた箇所それぞれでそれら駆動ベルト６ｄ同
士を繋いでそれらの間隔を保持するとともに駆動ベルト
６ｄ同士の回転方向の位置づれを抑制する補強材６ｅを
設けて構成されている。６ｆは、補強材６ｅ及びネット
を厚さ方向から挟む状態でネットに取り付けた内外一対
の非通気性のシートであり、これは、補強材６ｅとネッ
ト特に縦ネット材６ａとを固定連結して一体化するとと
もに、補強材６ｅにガスが接触しないようにその補強材
６ｅへの通気を制限するものである。前記駆動ベルト６
ｄは、Ｖベルトやタイミングベルトなどであり、従っ
て、このコンベアネット６Ａを駆動並びに移動案内する
ものは、Ｖ溝付きのプーリーや歯付きのプーリーなどで
ある。また、補強材６ｅは、金属材料や合成樹脂材料な
どからなり、平板状や棒状（丸や角などの形状）のもの
であり、曲げ剛性に優れたものであることが好ましい。
上記コンベアネット６Ａの場合、回転移動する際、補強
材６ｅそれぞれによりネットがその全幅で引っ張られ、
その結果、ネットを全幅で均等に回転移動させやすく、
かつ、ネットには補強材６ｅ間分のテンションのみが作
用し、ネットの寿命が長くなる。また、上記のコンベア
ネット６Ａを次のようにしても良い。すなわち、図２
１、図２２に示すように、補強材６ｅの両端を外方に延
長する。この場合、コンベアネット６Ａの駆動構成とし
て、コンベアネット６Ａの両脇に駆動チェーンＣＨを設
け、この駆動チェーンＣＨに、補強材６ｅの延長端部６
ｇに連結、或いは、係合する連係部Ｌを装備させて、チ
ェーン駆動によりコンベアネット６Ａを駆動する形式を
採用することができる。上記実施例では、吸着用の吸引
変形防止手段の支持体１９として、コンベアフレーム１
９Ａとローラ１９Ｂとからなるいわゆるローラコンベア
を示したが、この支持体１９としては、図２３に示すよ
うに、処理ガス吸い込み口１５ａ内の幅方向に間隔を隔
てた複数箇所それぞれにＶベルトやタイミングベルト
（滑り止め用の歯付きベルト）で代表されるベルトＢを
プーリＰ間に巻き掛けたベルトコンベアの複数を、吸着
ベルト３の回転移動に伴い追従回動しながらそのベルト
Ｂで吸着ベルト３を支持するように配置して構成された
ものであっても良い。上記実施例では、脱着用の吸引変
形防止手段の支持体２１として、コンベアフレーム２１
Ａとローラ２１Ｂとからなるいわゆるローラコンベアを
示したが、この支持体２１としては、図２４に示すよう
に、ローラＲ間にコンベアネットＮを巻き掛けたネット
コンベアを、吸着ベルト３の回転移動に伴い追従回動し
ながらそのコンベアネットＮで吸着ベルト３を支持する
ように配置して構成されたものであっても良い。前記吸
着用の吸引変形防止手段の支持体１９を脱着用の吸引変
形防止手段の支持体２１として用いたり、反対に、脱着
用の吸引変形防止手段の支持体２１を吸着用の吸引変形
防止手段の支持体１９として用いたりする。上記実施例
では、吸着ベルト３として、繊維状活性炭をフェルト状
に加工したものを示したが、吸着ベルト３としては、
（イ）図２５に示すように、通気性及び可撓性を有する
不織布などの基材Ｂの表面に粒状活性炭ｃを接着により
担持させたものや、（ロ）図２６に示すように、通気性
及び可撓性を有する不織布などの基材Ｂの複数を重ね、
それら基材Ｂ間に粒状活性炭や繊維活性炭・粉状活性炭
ｃを挟み込んだもの、（ハ）図２７に示すように、通気
性及び可撓性を有する不織布などの基材Ｂ中に粒状活性
炭ｃを分散させて保持させたものであってもよい。これ
らの構造の吸着ベルト３では、基材Ｂ自体に吸着能が要
求されず、ベルトとして使用できる機能が基材Ｂに備わ
っていればよいから、基材Ｂの材質選定の自由度が高
く、その結果、耐久性に優れたものを得やすい。なお、
図では、判りやすくするために、活性炭を大きく誇張し
て示してある。上記実施例及び別の実施例では、吸着物
質として活性炭を示したが、吸着物質は、天然や合成の
ゼオライトであってもよい。この場合、ゼオライトが不
燃性であるため、脱着用ガスＧ２による加熱に起因した
吸着物質の損傷を考える必要がなく、脱着用ガスＧ２の
温度設定の自由度を上げることができる。

【００１１】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構成に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】溶剤処理設備の概念構成を示すブロック図

【図２】吸脱着式ガス処理装置の切り欠き正面図

【図３】吸脱着式ガス処理装置の切り欠き側面図

【図４】要部の拡大断面図

【図５】コンベアネット要部の平面図

【図６】コンベアネットとガイド機構との関係を示す要
部の横断正面図

【図７】コンベアネットとガイド機構との関係を示す要
部の縦断正面図

【図８】吸脱着ガス処理装置の概略構成図

【図９】吸着部を示す要部の正面図

【図１０】吸着部を示す要部の拡大縦断正面図

【図１１】脱着部を示す要部の平面図

【図１２】脱着部を示す要部の拡大縦断正面図

【図１３】吸着用・脱着用の吸引変形防止手段の支持体
の他の配置例を示す平面図

【図１４】位置規制手段を示す要部の拡大側面図

【図１５】別の実施例を示す吸着ベルト要部の縦断面図

【図１６】別の実施例を示す吸着ベルト要部の縦断面図

【図１７】別の実施例を示す吸着ベルトの斜視図

【図１８】別の実施例を示す吸着ベルトの斜視図

【図１９】別の実施例を示す要部の横断面図

【図２０】別の実施例を示す要部の縦断面図

【図２１】別の実施例を示す要部の横断面図

【図２２】別の実施例を示す要部の縦断面図

【図２３】別の実施例を示す吸着部の斜視図

【図２４】別の実施例を示す脱着部の斜視図

【図２５】別の実施例を示す吸着ベルト要部（マット）
の拡大断面図

【図２６】別の実施例を示す吸着ベルト要部（マット）
の拡大断面図

【図２７】別の実施例を示す吸着ベルト要部（マット）
の拡大断面図

【図２８】従来例を示す断面図

【符号の説明】

３ 吸着ベルト Ｇ１ 処理対象ガス Ｇ２ 脱着用ガス ３Ｄ ベルト幅規制体 ２２ 規制体 ６Ａ コンベアネット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 兵頭 雅夫 東京都新宿区西新宿２丁目６番１号 株式 会社大氣社内 (72)発明者 田中 信平 東京都新宿区西新宿２丁目６番１号 株式 会社大氣社内 Ｆターム(参考） 4D002 AA33 AC10 BA04 CA05 DA41 DA45 EA08 FA01 HA10 4D012 CA11 CA12 CC01 CD01 CG01

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 通気性を備えた吸着ベルト（３）を循環
   経路に沿うように巻きかけて回転移動させる移動手段
   と、前記循環経路の設定箇所でその吸着ベルト（３）内
   を厚さ方向に透過するように処理対象ガス（Ｇ１）を給
   排する吸着手段と、前記設定箇所とは異なる別の設定箇
   所で吸着ベルト（３）内を厚さ方向に透過するように脱
   着用ガス（Ｇ２）を給排する脱着手段とを設け、前記吸
   着ベルト（３）に、その吸着ベルト（３）の幅方向両端
   同士の相対接近を阻止する複数のベルト幅規制体（３
   Ｄ）を回転移動方向に間隔を隔てて装着し、 前記吸着ベルト（３）を幅方向の両側から挟む状態に配
   置した一対の規制体（２２）に対して前記ベルト幅規制
   体（３Ｄ）のベルト幅方向における両端部を前記吸着ベ
   ルト（３）の回転移動に伴い摺動させることにより、前
   記吸着ベルト（３）の幅方向での位置を規制する位置規
   制手段を設けてある吸脱着式ガス浄化装置。
2. 【請求項２】 前記吸着ベルト（３）をコンベアネット
   （６Ａ）の外周面に重ねた状態でコンベアネット（６
   Ａ）を前記循環経路に沿って回転移動させることにより
   前記吸着ベルト（３）を前記循環経路に沿って移送する
   ネットコンベア（６）により前記移動手段を構成し、 前記循環経路のうち下降経路部から上昇経路部へわたる
   下側経路部において前記コンベアネット（６Ａ）を前記
   吸着ベルト（３）から上方へ分離させて吸着ベルト
   （３）を自由状態にする分離手段を設け、 この分離手段により前記コンベアネット（６Ａ）を前記
   吸着ベルト（３）から上方へ分離させた分離部において
   前記ベルト幅規制体（３Ｄ）の両端部を前記規制体（２
   ２）に対し摺動させる状態に前記位置規制手段を配置し
   てある請求項１記載の吸脱着式ガス浄化装置。