CN106076059A - 挥发性气体处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明包括挥发性气体处理装置包括：外壳，具有流入部与流出部；过滤单元，设置在所述外壳内，并且吸附从所述流入部流入的未处理气体中的挥发性有害物质；喷射单元，沿着所述过滤单元的所述流出部侧的面移动，并且将加热气体喷射于所述过滤单元；吸入单元，沿着所述过滤单元的流入部侧的面对应于所述喷射单元地移动，并且密封式吸入所述加热气体；及循环单元，沿着所述喷射单元移动，向所述喷射单元供应在所述过滤单元的区域中经过被所述喷射单元加热的区域的处理气体。

Description

挥发性气体处理装置

技术领域

本发明涉及用于净化挥发性有害气体的处理装置。

背景技术

一般地说，在诸如半导体、LCD、涂装工厂的使用挥发性气体的工厂中，更具体的说在使用挥发性有害物质(VOC:Volatile Organic Compounds)的工厂中具有用于净化上述气体的装置。

净化装置大致由鼓风机风扇与吸附过滤器等构成。具体地说，鼓风机风扇向吸附过滤器压送混合了挥发性有机化合物的VOC混合气体，该吸附过滤器从VOC混合气体中吸附出挥发性有害物质，进而净化混合气体。

当在吸附过滤器过度的吸附挥发性有害物质的情况下，吸附功能下降，进而净化效果也随之下降。为了解决与此相同的问题，具备从吸附过滤器脱落有害物质的脱落部。

为了脱落挥发性有害物质，脱落部以固定在一侧的状态下对从外部提供的空气加热，并且向吸附过滤器喷射，因喷射的加热空气，挥发性有害物质从吸附过滤器脱落，并借助吸入工具向外部排出，进而可再利用吸附过滤器。.

但是，如上所述的净化装置因被固定结构结构的脱落部而限定了可加热空气的喷射区域。并且，因流入外部空气并加热的工序，存在结构的复杂性及费用增加的问题，因此要求解决这一问题的方案。

发明内容

(要解决的问题)

本发明的目的在于提供一种如下的处理挥发性气体的处理装置：提高对吸附过滤器的全部区域的脱落性能，并且能够再利用内部气体从而提高利用性。

(解决问题的手段)

为了实现上述目的，与本发明一实施例相关的挥发性气体处理装置可包括：外壳，具有流入部与流出部；过滤单元，设置在所述外壳内，并且可吸附从所述流入部流入的未处理气体中的挥发性有害物质；喷射单元，沿着所述过滤单元的所述流出部侧的面移动，并且可将加热气体喷射于所述过滤单元；吸入单元，沿着所述过滤单元的流入部侧的面可对应于所述喷射单元地移动，并且可密封式吸入所述加热气体；及循环单元，沿着所述喷射单元移动，可向所述喷射单元供应在所述过滤单元的区域中经过被所述喷射单元加热的区域的处理气体。

在此，还可包括封闭引导部，所述封闭引导部分别设置在所述过滤单元的两面，防止因所述过滤单元与所述喷射单元及所述吸入单元之间接触而发生的损伤。

在此，还可包括移送单元，所述移送单元用于沿着所述过滤单元移动所述喷射单元及所述吸入单元。

在此，所述移送单元可包括：水平引导部，设置在所述外壳内部的底面，与所述过滤单元构成水平；及垂直引导部，垂直于所述水平引导部，并且沿着所述水平引导部移动，并自行升下降。

在此，所述移送单元可包括：第一移送单元，设置所述喷射单元；及第二移送单元，设置所述吸入单元。

在此，在所述喷射单元位于作为现在位置的第一位置的情况下，所述循环单元可结合于所述喷射单元，使所述喷射单元位于作为位于所述第一位置之前的位置的第二位置。

在此，还可包括循环管，所述循环管用于所述喷射单元循环所述处理气体，连接所述循环单元及所述喷射单元。

在此，所述循环单元可包括循环风扇，所述循环风扇用于沿着所述循环管向所述喷射单元强制移动所述处理气体。

在此，所述喷射单元可包括加热部，所述加热部用于加热通过所述循环管移动的所述处理气体。

在此，所述喷射单元可包括位置改变部，所述位置改变部在沿着所述过滤单元移动的过程中接近边缘位置的情况下，改变已结合的所述循环单元的位置。

为了实现上述目的，与本发明另一实施例相关的挥发性气体处理装置可包括：外壳；过滤单元，设置在所述外壳内部，并且能够从外部引入的未处理气体中吸附挥发性有害物质；及再生单元，具有喷射单元、吸入单元及循环单元，所述喷射单元沿着所述过滤单元移动并向所述过滤单元喷射加热气体，所述吸入单元吸入因所述加热气体而从所述过滤单元脱落的所述挥发性有害物质，所述循环单元收集经过所述过滤单元的处理气体用所述喷射单元循环。

为了实现上述目的，与本发明其他实施例相关的挥发性气体处理装置可包括：外壳，具有流入部与流出部；过滤单元，设置在所述外壳内，并且可吸附从所述流入部流入的未处理气体中的挥发性有害物质；喷射单元，沿着所述过滤单元的所述流出部侧的一面移动，并且能够将从外部供应的加热气体喷射于所述过滤单元；及封闭引导部，设置在所述过滤单元的两面。

在此，所述过滤单元可包括连续配置的多个过滤元件。

在此，所述过滤元件内部配置有蜂窝状结构的沸石，所述封闭引导部可沿着所述过滤元件的边框结合，以使所述引导引导部件与所述沸石隔离。

(发明的效果)

与如上述构成的本发明相关的挥发性气体处理装置为层叠(Stack)类型，因此能够简单化设计，并且能够在制作费用或维护方面提高效率性。

根据一示例，在过滤单元的区域中循环经过未冷却区域的气体，进而可提高净化气体的品质，并且有效地构成装置。

根据一示例，因设置有封闭引导部，进而在保持密封的同时可防止过滤单元的损伤。

附图说明

图1是用于说明根据本发明一实施例的挥发性气体处理装置100整体结构的立体图。

图2是在正面观察根据本发明一实施例的挥发性气体处理装置100的内部结构的正面图。

图3是用于说明根据本发明一实施例的喷射单元170及循环单元210的结合结构的图面。

图4是用于说明根据本发明一实施例的封闭引导部150的结合结构的分解立体图。

图5是用于说明根据本发明一实施例的喷射单元170与循环单元210的运行方法的图面。

图6是用于说明根据本发明一实施例的结合于喷射单元170的循环单元210的位置改变过程的图面。

图7是用于说明根据本发明另一实施例的挥发性气体处理装置400的图面。

图8是用于说明根据本发明另一实施例的喷射单元470与吸入单元490的结构的图面。

图9是用于说明根据本发明其他实施例的喷射单元570与吸入单元590的结构的图面。

(附图标记说明)

100、400：挥发性气体处理装置 220：循环管

110：外壳 230：密封部

111：流入部 250、350：移送单元

113：流出部 250-1：第一移送单元

115：排出部 250-2：第二移送单元

116：边缘位置 251：水平引导部

130、430：过滤单元 253：垂直引导部

150、450：封闭引导部 255：移送结合部

170、470：喷射单元 420：气体供应工具

171：喷射头部 A1：第一中空部

173：加热部 A2：第二中空部

175：位置改变部 G1：未处理气体

175a：旋转结合部 G2：处理气体

175b：旋转引导部 HG：加热气体

190、490：吸入单元 P1：第一区域

191：吸入头部 P2：第一区域

193：吸入管

210：循环单元

211：循环头部

213：循环风扇

具体实施方法

以下，参照附图详细说明根据本发明优选实施例的挥发性气体处理装置。在本说明书中，即使是相互不同的实施例，对于相同、类似的构成赋予相同的参照符号，其说明则用最初的说名来替代。

图1是用于说明根据本发明一实施例的挥发性气体处理装置100整体结构的立体图。图2是在正面观察根据本发明一实施例的挥发性气体处理装置100的内部结构的正面图。图3是用于说明根据本发明一实施例的喷射单元170及循环单元210的结合结构的图面。图4是用于说明根据本发明一实施例的封闭引导部150的结合结构的分解立体图。

如图1至图4所示，挥发性气体处理装置100可包括外壳110、过滤单元130、封闭引导部150、喷射单元170、吸入单元190、循环单元210、循环管220、密封部230及移送单元250。在此，喷射单元170、吸入单元190及循环单元210可统称为再生单元。

外壳110形成挥发性气体处理装置100的外观。外壳110大致可形成箱子形状的六面体，但是本发明不限于此，并且外壳110的形状可根据工艺及实验条件使用最适当的形状。

外壳110可包括流入部111、流出部113、排出部115。

流入部111将包括在外部产生的挥发性有害物质的未处理气体G1流入至外壳110内部。流入部111形成在外壳110的一面并可向另一面喷射未处理气体G1。为此，流入部111可包括诸如鼓风机风扇的送风工具。

在所述未处理气体G1经过后述的过滤单元130变换为去除了挥发性有害物质的处理气体G2的情况下，流出部113向外部排出该处理气体G2。流出部113可设置在外壳110的两侧面中流入部111的相反面。并且，流出部113追加构成有过滤器，再一次过滤处理气体G2进而向外部排出出去。

排出部115与后述的吸入单元190连通进而向外部排出从吸入单元190吸入的挥发性有害物质。为此，排出部115可设置为用于吸入挥发性有害物质的吸入工具的吸入风扇。

为了吸附从流入部111流入的未处理气体G1中的挥发性有害物质，过滤单元130可设置在外壳110的内部。具体地，过滤单元130结合了多个过滤元件131并且形成为对应于外壳110的截面的形状。因此，根据过滤单元130的设置位置，外壳110的中空部可被区划为流入部111所在的区域-第一中空部A1、与流出部113所在的第二中空部A2。

过滤元件131内部由形成蜂窝状结构的沸石133构成。因此，在沸石133的表面与过滤元件131的边框135之间可具有相当于元件阶梯差(CH)的高度差。

封闭引导部150防止因过滤单元130与后述的喷射单元170及吸入单元190之间的接触而发生的损伤。具体地说，封闭引导部150可形成由细铁丝构成的一对网体。这种封闭引导部150分别设置在过滤单元130的两面。因此封闭引导部150如图2及图3所示，在过滤单元130的外面与吸入单元190、喷射单元170及循环单元210的密封部230接触。据此，封闭引导部150在保持未处理气体G1或者处理气体G2的移动性状态下，可防止各个密封部230与过滤单元130直接接触。虽然未在本实施例中示出，但是为了防止过滤单元130的损伤，也可在过滤单元130的两面设置玻璃纤维(Glass Fiber)。

并且，如图4所示，封闭引导部150由多个构成，并且分别嵌合于过滤元件131的边框135。如上所述，过滤单元130在沸石133与边框135之间形成元件阶梯差CH，进而封闭引导部150可设置在边框135内部。在这一情况下，因封闭引导部150消除元件阶梯差CH，因此过滤元件131之间的表面具有相同高度。

为了将加热气体HG喷射于过滤单元130，可使喷射单元170沿着过滤单元130的流出部113侧面移动。具体地说，使喷射单元170在第二中空部A2中面向过滤单元130配置。并且，在经过过滤单元130的处理气体G2被后述的循环单元210提供到喷射单元170的情况下，喷射单元170向过滤单元130喷射加热了处理气体G2的加热气体GH。从而，在喷射单元170喷射加热气体HG的情况下，吸附于过滤单元130的挥发性有害物质可脱落下来。

这种喷射单元170可包括喷射头部171、加热部173、位置改变部175。

如图3所示，为了将加热气体HG喷射于过滤单元130，喷射头部171面向过滤单元130的一侧形成开口。在本实施例中，喷射头部171的形状形成直六面体，但是本发明不限于此，可根据工艺及实验条件形成多面体及圆筒形状。

加热部173对由循环单元210供应的处理气体G2进行加热。这种加热部173可由电加热器构成，并且可形成在与循环管220连接的喷射头部171的一侧。

位置改变部175改变结合于喷射头部171的循环单元210的位置。如图3所示，这种位置改变部175可包括旋转结合部175a及旋转引导部175b。

旋转结合部175a将循环单元210与喷射单元171相互结合。为此，旋转结合部175a的一侧结合于喷射头部171，而其另一侧则可结合于循环单元210。

旋转引导部175b使旋转结合部175a移动。这种旋转引导部175b沿着对应于喷射头部171中心轴的周围形成。具体地说，在旋转引导件175b与旋转结合部175a的一端结合并且接收到关于改变位置的位置改变信号的情况下，旋转引导部175b可使已结合的旋转结合部175a移动。虽然未在本实施例中详细示出，但是旋转引导部175b可包括：与旋转结合部175a的一端结合的引导结合部；及移动引导结合部的驱动部。对于位置改变部175的动作说明将在图6中进行更加详细的说明。

为了吸入从过滤单元130脱落的挥发性有害物质，吸入单元190可沿着过滤单元130的流入部111侧的面并且与喷射单元170对应地进行移动。具体地说，吸入单元190设置在第一中空部A1，使吸入单元190与喷射单元170相互面对面地配置，并且吸入单元190与喷射单元170一同移动。

这种吸入单元190可包括吸入头部191及吸入管193。

如图2所示，吸入头部191形成一侧向喷射头部171开口的状态，并且可吸入在过滤单元130中脱落的挥发性有害物质。在此，吸入头部191可构成与喷射头部171相同的形状。

吸入管193可形成管状，用于将在吸入头部191收集的挥发性有害物质向外部移动。这种吸入管193可与吸入驱动部连接，所述吸入驱动部设置在外壳110内部的一侧，并且用吸入风扇将吸力施加于吸入头部191。

循环单元210向喷射单元170供应在过滤单元130的区域中经过了被喷射单元170加热区域的处理气体G2。具体地说，循环单元210与喷射单元170连接并根据喷射单元170的移动进行相同的移动。

这种循环单元210可包括循环头部及循环风扇。

循环头部211向过滤单元130的一侧形成开口，并通过旋转结合部175a与喷射头部171结合。即，上述的喷射头部171、吸入头部191及循环头部211仅在设置位置不同，另外可形成相同形状。

循环风扇213是用于将经过了过滤单元130的处理气体G2向喷射单元170强制移动的工具，可设置在循环头部211的内部。

为了连通循环头部211与喷射头部171，循环管220一端可结合于循环头部211，而另一端则可结合于喷射头部171。因此，通过循环头部211收集的处理气体G2被循环风扇213沿着循环管211向喷射头部171移动。

密封部230沿着喷射头部171、吸入头部191、循环头部211的开口侧边框向过滤单元130的方向延伸形成。因此，喷射头部171、吸入头部191、循环头部211与过滤单元130之间隔固定距离，但是各个的密封部230则与过滤单元130接触。据此，各个头部的内部空间以与过滤单元130接触的状态形成密封的空间。这时，密封部230可由诸如橡胶的弹性材质构成。与此相同，因密封部230的设置，可确定喷射单元170喷射加热气体HG的区域、吸入单元190的吸入区域、循环单元210的处理气体G2收集区域。

移送单元250使喷射单元170及吸入单元190沿着过滤单元130移动。因此，移送单元250可由设置喷射单元170的第一移送单元250-1、与设置吸入单元190的第二移送单元250-2构成。第一移送单元250-1及第二移送单元250-2具有相互相同的结构，进而对于后述的移送单元250的详细构成以单一构成为对象进行说明。

这种移送单元250可包括水平引导部251、垂直引导部253及移送结合部255。

水平引导部251使垂直引导部253沿着外壳110的底面移动。为此，水平引导部251沿着外壳110的内部底面与过滤单元130水平设置。即，水平引导部251可由设置在外壳110内部底面的导轨构成。

垂直引导部253沿着水平引导部251移动并且可自行升降。因此，垂直引导部253在水平引导部251中沿高度方向延伸形成，并且整体高度可具有与过滤单元130相同的高度。并且，虽未在本实施例中详细示出垂直引导部253，但是垂直引导部253内部可包括升降驱动部。升降驱动部为皮带驱动方式或者气压驱动方式，可沿着垂直引导部253上下移动。

移送结合部255一侧结合于垂直引导部253，而另一侧则分别结合于喷射单元170及吸入单元190，并且根据垂直引导部253的驱动可升降移送结合部255。具体地说，如图2所示，移送结合部255在第一移送单元250-1中相互连接喷射单元170与垂直引导部253。并且，在第二移送单元中250-2中相互连接吸入单元190与垂直引导部253。因此，移送结合部255根据垂直引导部253的驱动力可使喷射单元170及吸入单元190上下移动。不仅如此，虽然未在本实施例中示出，但是移送结合部255由多个构成，并且也可与循环单元210结合。在这种情况下，循环单元210不与喷射单元210连接，而是通过移送结合部255可个别移动。这时，循环单元210应当可以改变位置，因此与循环单元210结合的移送结合部255需要能够旋转地构成。在此，移送结合部255的旋转可具有循环头部能够沿着喷射头部171的周围移动的旋转半径。

根据如上述构成的挥发性气体处理装置100，喷射单元170及吸入单元190沿着过滤单元130移动的同时去除吸附于过滤单元130的挥发性有害气体。尤其是，循环单元210可将通过被喷射单元179加热且经过过滤单元130区域的处理气体G2供应于喷射单元170。

以上，说明了挥发性气体处理装置100的构成，在图4中说明了根据喷射单元170的移动的循环单元210的运行方法。

图5是用于说明根据本发明一实施例的喷射单元170与循环单元210的运行方法的图面。

首先，如图5(a)所示，最初喷射单元170及吸入单元190在过滤单元130的区域中配置在第一区域P1。这时，喷射单元170的位置为第一位置。在这一情况下，喷射单元170将加热气体HG喷射于第一区域P1，并且吸入单元190可吸入因该加热气体HG而从第一区域P1脱落的挥发性有害物质。

若完成对第一区域P1的脱落作业，则喷射单元170及吸入单元190通过各个的移送单元250进行相同的移动。在图5(b)的情况下，喷射单元170及吸入单元190完成针对第一区域P1的脱落作业之后，通过移送单元250下降并且可一同移动到过滤单元130的第二区域P2。这时，喷射单元170的位置为第二位置。在这样移动的情况下，喷射单元170及吸入单元190与图5(a)相同地实施对第二区域P2的脱落作业。

与此同时，与喷射单元170结合的循环单元210位于喷射单元170的之前位置的第一位置，即位于过滤单元130的第一区域P1。第一区域P1为之前被喷射单元170喷射加热气体HG的区域，因此该区域为以加热的状态使未处理气体G1经过并变换为处理气体G2的区域。因此，循环单元210收集在第一区域P1中经过的已加热的处理气体G2，循环至喷射单元170。

如此，在循环单元210中提供的处理气体G2经过喷射单元170重新向第二区域P2喷射。即，不是在外部供应加热气体HG，而是再循环在外壳110内部的处理气体作为加热气体HG使用。这时，在循环单元210供应的处理气体G2具有固定的加热温度。因此，缩短喷射单元170的加热部173的加热温度及加热时间，进而可减少消耗电力。

并且，第一区域P1为还未进行冷却的未冷却区域，因此该区域的过滤单元130为未激活的状态。因此，通过第一区域P1的未处理气体G1可成为未吸附挥发性有害物质的状态的处理气体G2。在这一情况下，根据本发明的循环单元210，将包括挥发性有害物质的处理气体G2喷射于过滤单元130，并被吸附单元190排出。结果，再利用包括挥发性有害物质的处理气体G2并排出该气体，进而可更加提高挥发性气体处理装置的净化性能。

以上，关于循环单元210的处理气体G2供应方法进行了说明。在图6中关于循环单元210的位置改变进行说明。

图6是用于说明根据本发明一实施例的结合于喷射单元170的循环单元210的位置改变过程的图面。

如图所示，喷射单元170根据移送单元250沿着过滤单元130的面移动。这时，循环单元210为结合于喷射单元170的状态，因此根据喷射单元170的移动进行移动。

喷射单元170在移动的过程中，若接近过滤单元130的边缘位置116，则循环单元210被喷射单元170的位置改变部175改变位置。具体地说，喷射单元170被移送单元250移动的过程中，若接近过滤单元130的边缘位置116，则控制部的控制循环单元210改变位置。在此，控制部是用于电气性控制挥发性气体处理装置100的构成的工具。

作为用于告知喷射单元170接近过滤单元130的边缘位置116的方法，可参照过滤单元130的高度及长度信息与喷射单元170的位置信息。并且，喷射单元170根据固定模式移动的情况下，可参照该模式信息。这时，在模式信息中可包括移动时间信息。不仅如此，在循环单元210的一侧具有距离感应传感器或者图像传感器，据此参照收集的周边感应信息，可识别喷射单元170接近过滤单元130的边缘位置116。

因此，控制部根据上述的感应方法判断喷射单元170接近过滤单元130的边缘位置116的情况下，可驱动喷射单元170的位置改变部175来改变循环单元210的位置。

例如，如图6所示在最初循环单元210结合于喷射单元170上部的状态下，移送单元250可向过滤单元130的上部边缘位置116移动喷射单元170。在这一情况下，控制部接收该接近信息，在现有的喷射单元170的上部中向喷射单元170的侧面移动循环单元210。并且，在该位置改变的状态下，若喷射单元170对过滤单元130的边缘位置116完成加热气体HG的喷射，则控制部可控制移送单元250及位置改变部175，使循环单元210位于该区域。

根据这种循环单元210的位置改变，喷射单元170可对过滤单元130的整体面无死角地喷射加热气体HG。

以上说明了循环单元210的位置改变的一示例。在图6中将说明根据本发明另一实施例的挥发性气体处理装置100。

图7是用于说明根据本发明另一实施例的挥发性气体处理装置400的图面。图8是用于说明根据本发明另一实施例的喷射单元470与吸入单元490的结构的图面。

如图所示，挥发性气体处理装置400与图1至图6的挥发性气体处理装置100(图1)大致相同，但是循环单元210(图1)除外，在喷射单元470与外壳外部的气体供应工具420连接上存在区别。

具体地说，如图1至图6所示喷射单元470及吸入单元490根据移送单元350沿着设置封闭引导部450的过滤单元430的两面移动。这时，喷射单元470与外部气体供应工具420连接。

气体供应工具420收集外部的气体并加热，将已加热的气体供应于喷射单元470。因此，喷射单元470将接收的加热气体喷射于过滤单元430，进而无需另外配置加热部173(图3)

本实施例也可被单独适用，但是也可与图1至图6的实施例结合。也就是说，在图1至图6的挥发性处理装置100(图1)追加图6的气体供应工具420来适用。

图9是用于说明根据本发明其他实施例的喷射单元570与吸入单元590的结构的图面。

如图所示，挥发性气体处理装置500与图8及图9的挥发性气体处理装置400(图8)大致相同，但是在不连通气体供应工具420(图8)而是在喷射单元570自行生产加热气体HG上存在区别。

为此，喷射单元570可包括配置在喷射头部571的开口部572、喷射风扇573、加热部574。

开口部572可由通路构成，该通路设置在喷射头部571的一侧并将处理气体G2流入喷射头部571的内部。因此，通过过滤单元530的处理气体G2通过开口部572流入喷射头部571的内部。

喷射风扇573设置在喷射头部571的开口部572侧，并且可使外部的处理气体G2向喷射头部571内部强制移动。喷射风扇573是用于使处理气体G2更容易地流入喷射头部571内部的工具，因此根据工艺及实验状况可选择性地设置喷射风扇。

加热器574加热向喷射头部571内部流入的处理气体G2并转换为加热气体HG，这种加热器574可由电加热器构成。

具有上述构成的喷射单元570的运行方法如下。

最初，未处理气体G1通过过滤单元530变换为去除挥发性有害物质的处理气体G2。这样变换的处理气体G2通过喷射单元570的开口部572流入喷射头部571内部。这时，可根据设置在喷射头部571的喷射风扇573的吸力流入处理气体G2，并且也可根据与喷射单元570对称设置的吸入单元590的吸力流入处理气体G2。

流入到喷射头部571内部的处理气体G2被加热器加热变换为加热气体HG。变换的加热气体HG根据吸入单元590的吸力或者喷射风扇573的喷射力向过滤器单元530方向移动。加热气体HG通过过滤单元530向吸入单元590移动的情况下，吸附于过滤单元530的挥发性有害物质被脱落，与加热气体HG一同移动至吸入单元590。从而，移动至吸入单元590的加热气体及挥发性有害物质沿着吸入管排到外部。

根据与此相同构成的挥发性气体处理装置500，为了生成加热气体，无需追加构成，因此能够简单地构成装置，并且能够节省费用。

如上所述的挥发性气体处理装置并不限定于在以上说明的实施例的构成与运行方式。所述实施例为也可构成，选择性地组合各个实施例的全部或者一部分来进行各种变形。

Claims (14)

1.一种挥发性气体处理装置，其特征在于，包括：

外壳，具有流入部与流出部；

过滤单元，设置在所述外壳内，并且吸附从所述流入部流入的未处理气体中的挥发性有害物质；

喷射单元，沿着所述过滤单元的所述流出部侧的一面移动，并且将加热气体喷射于所述过滤单元；

吸入单元，沿着所述过滤单元的流入部侧的面对应于所述喷射单元地移动，并且密封式吸入所述加热气体；及

循环单元，沿着所述喷射单元移动，向所述喷射单元供应在所述过滤单元的区域中经过被所述喷射单元加热的区域的处理气体。

2.根据权利要求1所述的挥发性气体处理装置，其特征在于，还包括：

封闭引导部，分别设置在所述过滤单元的两面，防止因所述过滤单元与所述喷射单元及所述吸入单元之间接触而发生损伤。

3.根据权利要求1所述的挥发性气体处理装置，其特征在于，还包括：

移送单元，用于使所述喷射单元及所述吸入单元沿着所述过滤单元移动。

4.根据权利要求3所述的挥发性气体处理装置，其特征在于，

所述移送单元包括：

水平引导部，设置在所述外壳内部的底面，与所述过滤单元构成水平；及

垂直引导部，垂直于所述水平引导部，并且沿着所述水平引导部移动，并自行升下降。

5.根据权利要求4所述的挥发性气体处理装置，其特征在于，

所述移送单元包括：

第一移送单元，设置所述喷射单元；及

第二移送单元，设置所述吸入单元。

6.根据权利要求1所述的挥发性气体处理装置，其特征在于，

所述循环单元在所述喷射单元位于作为现在位置的第一位置的情况下，结合于所述喷射单元，使所述喷射单元位于第二位置，所述第二位置位于所述第一位置之前的位置。

7.根据权利要求1所述的挥发性气体处理装置，其特征在于，还包括：

循环管，用于所述喷射单元循环所述处理气体，连接所述循环单元及所述喷射单元。

8.根据权利要求7所述的挥发性气体处理装置，其特征在于，

所述循环单元包括：循环风扇，用于沿着所述循环管向所述喷射单元强制移动所述处理气体。

9.根据权利要求7所述的挥发性气体处理装置，其特征在于，

所述喷射单元包括：加热部，用于加热通过所述循环管移动的所述处理气体。

10.根据权利要求1所述的挥发性气体处理装置，其特征在于，

所述喷射单元包括：位置改变部，在沿着所述过滤单元移动的过程中接近边缘位置的情况下，改变已结合的所述循环单元的位置。

11.一种挥发性气体处理装置，其特征在于，包括：

外壳；

过滤单元，设置在所述外壳内部，并且从外部引入的未处理气体中吸附挥发性有害物质；及

再生单元，具有喷射单元、吸入单元及循环单元，所述喷射单元沿着所述过滤单元移动并向所述过滤单元喷射加热气体，所述吸入单元吸入因所述加热气体而从所述过滤单元脱落的所述挥发性有害物质，所述循环单元收集经过所述过滤单元的处理气体用所述喷射单元循环。

12.一种挥发性气体处理装置，其特征在于，包括：

外壳，具有流入部与流出部；

过滤单元，设置在所述外壳内，并且吸附从所述流入部流入的未处理气体中的挥发性有害物质；

喷射单元，沿着所述过滤单元的所述流出部侧的一面移动，并且能够将从外部供应的加热气体喷射于所述过滤单元；及

封闭引导部，设置在所述过滤单元的两面。

13.根据权利要求12所述的挥发性气体处理装置，其特征在于，

所述过滤单元包括连续配置的多个过滤元件。

14.根据权利要求13所述的挥发性气体处理装置，其特征在于，

所述过滤元件内部配置有蜂窝状结构的沸石，

所述封闭引导部沿着所述过滤元件的边框结合，以使所述引导引导部件与所述沸石隔离。