CN104339850B - 液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法。即使槽列的数量增加，也能够将端子电极与外部电路容易地连接。液体喷射头具备：压电体基板，其具有从上表面贯通至下表面的喷出槽沿基准方向排列的多个槽列、设置于喷出槽侧面的驱动电极、电连接于驱动电极且设置于下表面的端子电极；以及柔性电路基板，其与端子电极电连接，且连接于压电体基板的下表面，压电体基板具备在多个槽列之间从上表面贯通至下表面的第一开口部，柔性电路基板通过第一开口部并从压电体基板的下表面引出至上表面。

Description

液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法

技术领域

本发明涉及将液滴喷出并记录于被记录介质的液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法。

背景技术

近年来，将油墨滴喷出至记录纸等以记录字符、图形，或者将液体材料喷出至元件基板的表面以形成功能性薄膜的喷墨(ink jet)方式的液体喷射头得到利用。该方式将油墨、液体材料等液体从液体储罐经由供给管导引至通道，对填充于通道的液体施加压力并从连通于通道的喷嘴喷出液滴。在喷出液滴时，移动液体喷射头、被记录介质以记录字符、图形，或者形成既定形状的功能性薄膜、三维构造。

此种液体喷射头具备：促动器部，其排列有多个用于对液体瞬间地施加压力的通道以构成通道列；液体供给部，其具备对各通道供给液体的液室；以及喷嘴板，其排列有分别连接于多个通道且喷射液滴的喷嘴。近年来，随着记录密度的增大，在一个液体喷射头构成多个通道列的液体喷射头实用化。然而，由于需要对各个通道独立地供给驱动信号，故若通道列增加，则用于供给驱动信号的电极布线变得复杂。在使个别地制造的液体喷射头排列多个以构成多个通道列的情况下，液体喷射头整体的容积变大，并且由于制造时的偏差，难以高精度地校准各液体喷射头的喷嘴位置。

在专利文献1中记载有具备4个喷嘴列的液体喷射头。图10是专利文献1所记载的液体喷射头的分解立体图。液体喷射头由以下部分构成：形成有4个喷嘴列的液室单元106、在基底部件141的上表面设置有4个压电元件部件142的促动器单元104、以及将促动器单元104安装于收纳部152，并对液室单元106供给液体的框架单元105。液室单元106由以下部分构成：并列形成4个喷嘴列的喷嘴板101、形成4列用于对液体加压的液室，且以各列的液室连通于各列的喷嘴111的方式接合于喷嘴板101的流路部件102、以及以使液室闭塞的方式接合于流路部件102，且对各列的各液室独立地传递振动的振动部件103。促动器单元104的4个压电元件部件142与4列液室对应地接合。压电元件部件142对各列的各液室独立地传递振动。框架单元105具备对各列的液室供给液体的4个共通液室151。

在此，保持4个压电元件部件142的基底部件141在第二列压电元件部件142与第三列压电元件部件142之间具备贯通孔144。使柔性电路基板(FPC线缆143)通过该贯通孔144。即，第一列的压电元件部件142和第四列的压电元件部件142连接于沿着基底部件141外侧面的2片FPC线缆143。第二列的压电元件部件142和第三列的压电元件部件142连接于通过基底部件141的贯通孔144的2片FPC线缆143。各FPC线缆143连接于各压电元件部件142的侧面，并与各压电元件的端子电连接。

在专利文献2中记载有形成第一列～第四列的通道列的液体喷射头。各通道由在压电体基板表面形成的细长槽构成，在将槽与槽区划的侧壁的侧面形成驱动电极，对该驱动电极施加驱动信号以使侧壁厚度滑移变形从而对填充于槽的液体施加压力，以从连通于槽的喷嘴喷出液滴。构成第一列和第四列的压电体基板的槽从基板的前端到后端笔直地形成。构成第二列和第三列的压电体基板的槽从基板的前端开始，在后端的近前处结束，槽的深度在结束处附近朝基板后方逐渐变浅。在构成第一列和第四列的压电体基板中，与设置于槽侧面的驱动电极电连接的引出电极被引出到压电体基板的后端侧面，在后端侧面处连接于柔性电路基板。在构成第二列和第三列的压电体基板中，与设置于槽侧面的驱动电极电连接的引出电极被引出到压电体基板的后端附近的基板表面，并在基板表面处连接于FPC。构成第一列～第四列的各压电体基板个别地制造，并通过粘接剂连接以一体化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-68555号公报；

专利文献2：日本特开2012-6181号公报。

发明内容

发明要解决的问题

专利文献1所记载的液体喷射头的构成要素极多，制造方法复杂，生产率低。例如，关于隔着贯通孔144设置在两侧的第二列和第三列的压电元件部件142，难以在将压电元件部件142粘接于基底部件的状态下将FPC线缆143压接在贯通孔144侧的侧面。因此，在将FPC线缆143压接并连接于压电元件部件142的侧面之后将连接有FPC线缆143的压电元件部件142接合于基底部件141。因此，装配工序烦杂，对位变难。

另外，专利文献2所记载的液体喷射头个别地制作构成第一列～第四列的压电体基板，将第二列的压电体基板与第三列的压电体基板接合，将第一列的压电体基板接合在第二列的压电体基板的上表面，将第四列的压电体基板在第三列的压电体基板的下表面。因此，各列的槽的对位变得烦杂。另外，由于第一列和第四列的槽的形状、第二列和第三列的槽的形状不同，故难以使各列的喷出条件为一定的。

用于解决问题的方案

本发明的液体喷射头具备：压电体基板，其具有从上表面贯通至下表面的喷出槽沿基准方向排列的多个槽列、设置于所述喷出槽的侧面的驱动电极、电连接于所述驱动电极且设置于下表面的端子电极；以及柔性电路基板，其与所述端子电极电连接，且连接于所述压电体基板的下表面，所述压电体基板具备在多个所述槽列之间从上表面贯通至下表面的第一开口部，所述柔性电路基板通过所述第一开口部从所述压电体基板的下表面引出至上表面。

另外，具备盖板，其具有连通于所述喷出槽的液室，且接合于所述压电体基板上表面，所述盖板具备沿板厚方向贯通的第二开口部，所述柔性电路基板通过所述第二开口部而引出。

另外，具备流路板，所述流路板接合于所述盖板的与所述压电体基板为相反侧的表面，且具有连通于所述液室的流路，所述流路板具备第三开口部，所述第三开口部从所述盖板一侧贯通至与所述盖板相反的一侧，所述柔性电路基板通过所述第三开口部而引出。

另外，所述压电体基板具有：非喷出槽，其从上表面贯通至下表面，且与所述喷出槽沿基准方向交替地排列；以及驱动电极，其设置于所述非喷出槽的侧面。

另外，所述压电体基板沿基准方向并列地设置有4列槽列，所述第一开口部设置于第二列与第三列的所述槽列之间，在第一列和第二列这2个邻接的所述槽列、或者第三列和第四列这2个邻接的所述槽列中，一侧的槽列所包含的所述喷出槽的另一侧端部与另一侧的槽列所包含的所述非喷出槽的一侧端部间隔开，并且，沿所述压电体基板的厚度方向重叠。

另外，具备喷嘴板，所述喷嘴板具有连通于所述喷出槽的喷嘴沿基准方向排列的多个喷嘴列，且接合于所述压电体基板的下表面。

本发明的液体喷射装置具备：上述液体喷射头；使所述液体喷射头与被记录介质相对地移动的移动机构；对所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及对所述液体供给管供给所述液体的液体储罐。

本发明的液体喷射头的制造方法具备：槽形成工序，切削压电体基板，并且使喷出槽沿基准方向排列的槽列形成多个；电极形成工序，在所述喷出槽的侧面形成驱动电极，并在所述压电体基板的下表面形成端子电极；开口部形成工序，切削所述压电体基板的相邻的所述槽列之间，并形成从所述压电体基板的上表面贯通至下表面的第一开口部；以及电路基板连接工序，将形成布线图案的柔性电路基板的所述布线图案与所述端子电极电连接，并使所述柔性电路基板通过所述第一开口部且连接于所述压电体基板的下表面。

另外，具备：盖板接合工序，将形成多个液室的盖板以所述液室与所述喷出槽连通的方式接合于所述压电体基板的上表面，所述盖板具备沿板厚方向贯通相邻的所述液室之间的第二开口部，所述电路基板连接工序包含使所述柔性电路基板通过所述第二开口部的工序。

另外，具备：盖板接合工序，将形成多个液室的盖板以所述液室与所述喷出槽连通的方式接合于所述压电体基板的上表面，所述开口部形成工序包含在形成所述第一开口部的同时切削所述盖板的相邻液室之间以形成沿板厚方向贯通的第二开口部的工序，所述电路基板连接工序包含使所述柔性电路基板通过所述第二开口部的工序。

另外，具备：流路板接合工序，将流路板接合于所述盖板的与所述压电体基板一侧为相反侧的表面，所述流路板具备沿板厚方向贯通的第三开口部，所述电路基板连接工序包含使所述柔性电路基板通过所述第三开口部的工序。

另外，具备：流路板接合工序，将流路板接合于所述盖板的与所述压电体基板一侧为相反侧的表面，所述开口部形成工序包含在形成所述第一以及第二开口部的同时切削所述流路板以形成沿板厚方向贯通的第三开口部的工序，所述电路基板连接工序包含使所述柔性电路基板通过所述第三开口部的工序。

另外，具备：喷嘴板接合工序，将喷嘴板接合于所述压电体基板的下表面，所述喷嘴板接合工序包含在将所述喷嘴板接合于所述压电体基板的下表面之后，切削所述喷嘴板以使所述压电体基板的形成所述端子电极的区域露出的工序。

另外，所述槽形成工序具备：喷出槽形成工序，从所述压电体基板的上表面开始切削以形成所述喷出槽；以及非喷出槽形成工序，从所述压电体基板的下表面开始切削以形成非喷出槽。

发明效果

本发明的液体喷射头具备：压电体基板，其具有从上表面贯通至下表面的喷出槽沿基准方向排列的多个槽列、设置于喷出槽侧面的驱动电极、电连接于驱动电极且设置于下表面的端子电极；以及柔性电路基板，其与端子电极电连接，且连接于压电体基板的下表面，压电体基板具备在多个槽列之间从上表面贯通至下表面的第一开口部，柔性电路基板通过第一开口部从压电体基板的下表面引出至上表面。由此，即使槽列的数量增加，也能够容易地连接端子电极与外部电路。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头的说明图。

图2是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的截面示意图。

图3是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的示意性的部分分解立体图。

图4是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的说明图。

图5是表示本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的工序图。

图6是用于说明本发明的第四实施方式的各工序的图。

图7是表示本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的工序图。

图8是用于说明本发明的第五实施方式的各工序的图。

图9是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射装置的示意性立体图。

图10是以往公知的液体喷射头的分解立体图。

具体实施方式

(第一实施方式)

图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头1的说明图。图1(a)是液体喷射头1的喷出槽3的槽方向的截面示意图，图1(b)是液体喷射头1的示意性的部分分解立体图，省略了柔性电路基板8。

如图1所示，液体喷射头1具备压电体基板2、接合在压电体基板2上表面US的盖板9、接合在压电体基板2下表面LS的喷嘴板13、以及连接于压电体基板2下表面LS的柔性电路基板8。压电体基板2设置有第一槽列5a和第二槽列5b，在第一槽列5a与第二槽列5b之间形成有从上表面US贯通至下表面LS的第一开口部H1。在第一槽列5a中，从上表面US贯通至下表面LS的第一喷出槽3a沿基准方向K排列，在第二槽列5b中，从上表面US贯通至下表面LS的第二喷出槽3b沿基准方向K排列。在第一以及第二喷出槽3a、3b的侧面设置有驱动电极6，各驱动电极6电连接于在压电体基板2下表面LS设置的端子电极7，端子电极7电连接于在柔性电路基板8形成的未图示的布线图案。

即，压电体基板2具备：第一以及第二槽列5a、5b，其中从上表面US贯通到下表面LS的第一以及第二喷出槽3a、3b分别沿基准方向K排列；驱动电极6，其设置于第一以及第二喷出槽3a、3b侧面；端子电极7，其电连接于驱动电极6且设置于下表面LS；以及第一开口部H1，其在第一槽列5a与第二槽列5b之间，且从上表面US贯通至下表面LS。而且，柔性电路基板8x通过第一开口部H1从压电体基板2的下表面LS引出到上表面US。

盖板9具备2个第一液室10a和2个第二液室10b，并且在第一液室10a与第二液室10b之间具备沿盖板9的板厚方向贯通的第二开口部H2。2个第一液室10a分别连通于第一喷出槽3a的两端部，2个第二液室10b分别连通于第二喷出槽3b的两端部。第二开口部H2连通于压电体基板2的第一开口部H1，柔性电路基板8x通过第二开口部H2向上方引出。喷嘴板13具有分别连通于第一以及第二喷出槽3a、3b的喷嘴14，具备连通于第一喷出槽3a的喷嘴14沿基准方向K排列的第一喷嘴列15a、以及连通于第二喷出槽3b的喷嘴14沿基准方向K排列的第二喷嘴列15b。喷嘴板13在柔性电路基板8连接于压电体基板2下表面LS的区域处以端子电极7露出的方式被除去。

液体喷射头1还具备柔性电路基板8y，连接于压电体基板2外周侧的下表面LS，沿压电体基板2以及盖板9的侧面向上方引出。第一槽列5a和第二槽列5b沿基准方向K偏移半个间距地设置。因此，第一喷嘴列15a和第二喷嘴列15b也沿基准方向K偏移半个间距地形成。

如上所述，在压电体基板2的第一槽列5a与第二槽列5b之间，以及盖板9的第一液室10a与第二液室10b之间形成沿各自的板厚方向贯通的第一开口部H1以及第二开口部H2，将柔性电路基板8x通过该第一以及第二开口部H1、H2从下表面LS向上方引出。由于能够在同一工序中形成第一喷出槽3a和第二喷出槽3b，故在装配时不需要进行第一喷出槽3a与第二喷出槽3b之间的对位。另外，通过形成第一开口部H1，连接于第一以及第二槽列5a、5b的端子电极7被分配到第一以及第二槽列5a、5b的两侧。因此，端子电极7的基准方向K的排列间距变宽，端子电极7与柔性电路基板8的布线图案之间的连接变得容易。在喷出槽3的基准方向K的排列高密度化的情况下是特别有效的。

在此，作为压电体基板2，能够使用PZT陶瓷材料。压电体基板2被实施极化处理。例如，能够使用沿上表面US或下表面LS的垂直方向一致地实施极化处理的压电体基板2、将沿上表面US或下表面LS的垂直方向实施了极化处理的压电体基板和沿与其相反的方向实施了极化处理的压电体基板接合的V字(chevron)型压电体基板。另外，本发明的压电体基板2至少在邻接的槽之间的侧壁使用压电体材料即可，还可以在压电体基板2的周缘部、盖板9的与液室10对应的区域使用非压电体材料。

盖板9能够使用陶瓷材料、金属材料、合成树脂材料等。作为盖板9，优选为具有与压电体基板2相同程度的热膨胀系数的材料。作为盖板9，例如能够使用PZT陶瓷、可加工陶瓷。

液体喷射头1如下地驱动。对第一液室10a的一侧供给液体，对第一槽列5a的各第一喷出槽3a填充液体。而且，从各第一喷出槽3a对第一液室10a的另一侧排出液体，并从另一侧对外部排出液体。2个第二液室10b也是同样的。然后，从4个柔性电路基板8x、8y的布线图案对端子电极7供给驱动信号，对驱动电极6施加驱动信号以在构成第一以及第二喷出槽3a、3b的侧壁诱发厚度滑移变形。例如，通过增加喷出槽3的容积并接着使其收缩的拉射法(引き打法)来从喷嘴14喷出液滴。在液体喷射头1具备2列第一以及第二槽列5a、5b和与它们对应的2列第一以及第二喷嘴列15a、15b，与一个槽列的情况相比，能够以2倍的记录密度、或者2倍的记录速度来记录。

形成于压电体基板2的第一开口部H1可以是将压电体基板2完全分割的开口，也可以是压电体基板2不完全地分割而是一部分连续地残留的开口。同样地，形成于盖板9的第二开口部H2可以是将盖板9完全地分割的开口，还可以是盖板9不完全地分割而是一部分地连续地残留的开口。另外，还可以是虽然压电体基板2由第一开口部H1分割，但盖板9一部分连续地残留的构成。

此外，在上述第一实施方式中，采用2列的第一以及第二槽列5a、5b、2列的第一以及第二喷嘴列15a、15b，但能够采用更多的槽列5和喷嘴列15。特别地，在构成3列以上的槽列5的情况下，能够将中央部的槽列5与外部电路容易地电连接。另外，能够使构成各槽列5的槽交替地为喷出槽和非喷出槽的排列构成。另外，不问喷出槽、非喷出槽的形状。

(第二实施方式)

图2是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头1的截面示意图。与第一实施方式不同的点是在盖板9的上表面设置流路板11这一点，其他构成与第一实施方式相同。以下，说明与第一实施方式不同的构成，对于相同的构成省略说明。对相同部分或具有相同功能的部分附以相同符号。

液体喷射头1具备流路板11。流路板11在盖板9接合于与压电体基板2为相反侧的表面，具有连通于液室10的流路12。流路板11具备从盖板9一侧向与盖板9相反的一侧贯通(以下，称为沿板厚方向贯通)的第三开口部H3。第三开口部H3连通于盖板9的第二开口部H2，柔性电路基板8x通过该第三开口部H3向上方引出。

具体而言，流路板11具备连通于2个第一液室10a的一侧和2个第二液室10b的一侧的供给流路12x、以及连通于2个第一液室10a的另一侧和2个第二液室10b的另一侧的排出流路12y，能够由一个流路板11一体地构成。柔性电路基板8x通过连通的第一开口部H1～第三开口部H3向与喷出液滴的方向相反的上方引出，柔性电路基板8y沿压电体基板2、盖板9以及流路板11的侧面向与喷出液滴的方向相反的上方引出。因此，能够将生成驱动信号等的驱动器、控制电路收纳到与喷出液滴一侧为相反侧的上方，因而能够紧凑地构成液体喷射头1。

(第三实施方式)

图3是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的示意性的部分分解立体图。图4是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头1的说明图。图4(a)是喷出槽3的槽方向的截面示意图，图4(b)是从下表面LS侧看压电体基板2的平面示意图，省略了柔性电路基板8和流路板11。与第一实施方式不同的点是具备第一槽列5a～第四槽列5d这四个槽列5，具备与其对应的第一喷嘴列15a～第四喷嘴列15d这四个喷嘴列15，各槽列5中喷出槽3与非喷出槽4交替地排列这一点。对相同部分或具有相同功能的部分附以相同符号。

如图3所示，液体喷射头1具备接合在压电体基板2上表面US的盖板9、接合在压电体基板2下表面LS的喷嘴板13、以及如图4所示地连接在压电体基板2下表面LS的柔性电路基板8x、8y。压电体基板2具备沿基准方向K排列的喷出槽3、以及从上表面US贯通到下表面LS并与喷出槽3沿基准方向K交替地排列的非喷出槽4。沿基准方向K交替地排列的喷出槽3和非喷出槽4构成第一槽列5a～第四槽列5d这并列的4个槽列5。压电体基板2还具有设置在喷出槽3和非喷出槽4侧面的驱动电极6、电连接于驱动电极6且设置在下表面LS的端子电极7、以及在第二槽列5b与第三槽列5c之间从上表面US贯通至下表面LS的第一开口部H1。柔性电路基板8x通过该第一开口部H1从压电体基板2的下表面LS引出到上表面US。

盖板9具备连通于喷出槽3的液室10、以及沿板厚方向贯通的第二开口部H2，柔性电路基板8x通过第一开口部H1和第二开口部H2向上方引出。喷嘴板13具有分别连通于各喷出槽3的喷嘴14，构成与第一槽列5a～第四槽列5d分别对应的第一喷嘴列15a～第四喷嘴列15d这四个喷嘴列15。

具体地进行说明。如图4(a)所示，从压电体基板2的上表面US贯通至下表面LS的喷出槽3从上表面US朝下表面LS具有凸形状，非喷出槽4从下表面LS朝上表面US具有凸形状。在此，将第一槽列5a包含的喷出槽3和非喷出槽4作为第一喷出槽3a和第一非喷出槽4a，将第二槽列5b包含的喷出槽3和非喷出槽4作为第二喷出槽3b和第二非喷出槽4b，将第三槽列5c包含的喷出槽3和非喷出槽4作为第三喷出槽3c和第三非喷出槽4c，将第四槽列5d包含的喷出槽3和非喷出槽4作为第四喷出槽3d和第四非喷出槽4d。

相邻的第一槽列5a和第二槽列5b如下地构成。一侧的第一槽列5a所包含的，某第一喷出槽3a的第二槽列5b侧的端部与另一侧的第二槽列5b所包含的第二非喷出槽4b之中和该第一喷出槽3a邻接的第二非喷出槽4b的第一槽列5a侧的端部间隔开，并且，在压电体基板2的厚度方向上重叠。另外，第一槽列5a包含的第一非喷出槽4a的一侧端部为浅槽，直到压电体基板2的一侧侧面作为具有笔直形状的浅槽形成。第二槽列5b包含的第二非喷出槽4b的另一侧端部为浅槽，直到第一开口部H1的侧面作为具有笔直形状的浅槽形成。各浅槽的距下表面LS的深度比压电体基板2的厚度的1/2深。

同样地，相邻的第三槽列5c和第四槽列5d如下地构成。一侧的第三槽列5c所包含的，某第三喷出槽3c的第四槽列5d侧的端部与另一侧的第四槽列5d所包含的第四非喷出槽4d之中和该第三喷出槽3c邻接的第四非喷出槽4d的第三槽列5c侧的端部间隔开，并且，在压电体基板2的厚度方向上重叠。另外，第三槽列5c包含的第三非喷出槽4c的一侧端部为浅槽，直到第一开口部H1的侧面作为具有笔直形状的浅槽形成。第四槽列5d包含的第四非喷出槽4d的另一侧端部为浅槽，直到压电体基板2的另一侧侧面作为具有笔直形状的浅槽形成。各浅槽的距下表面LS的深度比压电体基板2的厚度的1/2深。通过如此形成喷出槽3和非喷出槽4，能够缩短第一槽列5a和第二槽列5b的槽方向宽度、以及第三槽列5c和第四槽列5d的槽方向宽度。另外，通过将非喷出槽4的一侧端部形成为浅槽，能够使在各非喷出槽4的两侧面形成的未图示的驱动电极电分离且连接于端子电极7。

第一槽列5a包含的第一喷出槽3a沿基准方向K以间距P排列。第二～第四槽列5b～5d分别包含的第二～第四喷出槽3b～3d也在基准方向K上分别以间距P排列。而且，第一喷出槽3a与第二喷出槽3b沿基准方向K偏移1/2间距P。第三喷出槽3c与第四喷出槽3d同样地沿基准方向K偏移1/2间距P。而且，第二喷出槽3b与第三喷出槽3c沿基准方向偏移1/4间距P。其结果，第一～第四喷出槽3a～3d关于基准方向K以1/4间距P排列，与一个槽列5的情况相比，能够使记录密度为4倍。

使用图4(b)说明驱动电极6以及端子电极7的构成。从压电体基板2的下表面LS看，槽方向长度短的喷出槽3和槽方向长度长的非喷出槽4沿基准方向K交替地排列，构成第一～第四槽列5a～5d。在压电体基板2的槽方向宽度的中央，第一开口部H1开口。在非喷出槽4的槽方向的两端部之中，一个端部由具有笔直形状的浅槽构成(参照图4(b))，第一槽列5a的第一非喷出槽4a延伸设置直到压电体基板2的侧面，第二槽列5b的第二非喷出槽4b延伸设置直到第一开口部H1的侧面。第三以及第四槽列5c、5d的第三以及第四非喷出槽4c、4d也具有同样的构造。在喷出槽3和非喷出槽4的侧面设置驱动电极。驱动电极的距下表面LS的最大深度设置为压电体基板2的厚度的约1/2。

关于第一槽列5a，端子电极7设置在压电体基板2侧面附近的下表面LS。端子电极7包含与第一喷出槽3a两侧面的驱动电极电连接的共通端子电极7x、以及与隔着第一喷出槽3a的2个第一非喷出槽4a的两侧面的驱动电极电连接的个别端子电极7y。个别端子电极7y设置于压电体基板2的侧面侧，共通端子电极7x与个别端子电极7y相比设置于第一喷出槽3a一侧，都露出到连接柔性电路基板8y的区域。关于第二槽列5b，端子电极7包含与第二喷出槽3b两侧面的驱动电极6电连接的共通端子电极7x、以及与隔着第二喷出槽3b的2个第二非喷出槽4b的侧面的驱动电极电连接的个别端子电极7y。个别端子电极7y设置于第一开口部H1的开口部侧，共通端子电极7x与个别端子电极7y相比设置于第二喷出槽3b一侧，都露出到连接柔性电路基板8x的区域。关于第三槽列5c以及第四槽列5d，也具备同样的构成。

而且，将柔性电路基板8y通过热压接连接于第一槽列5a的端子电极7(共通端子电极7x以及个别端子电极7y)的区域，以将柔性电路基板8y的布线图案与端子电极7电连接。另外，将柔性电路基板8x通过第二开口部H2以及第一开口部H1并利用热压接连接于第二槽列5b的端子电极7的区域，以将柔性电路基板8x的未图示的布线图案与端子电极7电连接。关于第三槽列5c以及第四槽列5d，也同样地，将柔性电路基板8x、8y连接于下表面LS，以将端子电极7与布线图案电连接。

盖板9具有在槽方向的宽度的中央形成的第二开口部H2、以及第一～第四液室10a～10d和第一以及第二共通液室10e、10f。第一共通液室10e连通于第一槽列5a所包含的第一喷出槽3a的第二槽列5b侧的端部、以及第二槽列5b所包含的第二喷出槽3b的第一槽列5a侧的端部，第一液室10a连通于第一喷出槽3a的其他端部，第二液室10b连通于第二喷出槽3b的其他端部。同样地，第二共通液室10f连通于第三槽列5c所包含的第三喷出槽3c的第四槽列5d侧的端部、以及第四槽列5d所包含的第四喷出槽3d的第三槽列5c侧的端部，第三液室10c连通于第三喷出槽3c的其他端部，第四液室10d连通于第四喷出槽3d的其他端部。非喷出槽4在各液室10开口的压电体基板2的上表面US不开口。因此，没有必要在各液室10设置与喷出槽3连通并使非喷出槽4闭塞的狭缝。由此，液室10的构造变得极为简单。还能够使液体流入第一以及第二共通液室10e、10f，并从第一～第四液室10a～10d流出液体，以使液体循环。另外，还能够与其相反地循环。或者，还可以对全部液室10供给液体。

流路板11接合于盖板9的与压电体基板2为相反侧的表面。流路板11具备供给流路12x、排出流路12y、以及第三开口部H3。第三开口部H3沿流路板11的板厚方向贯通，柔性电路基板8x通过该第三开口部H3向上方引出。供给流路12x连通于盖板9的第一共通液室10e和第二共通液室10f，排出流路12y连通于第一～第四液室10a～10d。即，从供给流路12x对压电体基板2侧供给液体，并从排出流路12y排出液体。或者，还可以与其相反地流动。

喷嘴板13具有连通于喷出槽3的喷嘴14沿基准方向K排列的第一～第四喷嘴列15a～15d，并接合于压电体基板2的下表面LS。喷嘴板13一并粘贴于下表面LS，之后，形成端子电极7，并从连接柔性电路基板8的区域以及第一开口部H1开口的区域去除喷嘴板13。即，能够在一次中对各喷嘴列15进行对位。

如此，由于在压电体基板2设有第一开口部H1，故能够将连接于3列以上的槽列5的端子电极7与外部电路容易地电连接。另外，由于液体不会接触设置于非喷出槽4的驱动电极6、个别端子电极7y，故从外部施加的驱动信号不会经由液体泄漏，另外，也不会在驱动电极6的表面引起电解而发生断线等。另外，由于以在第一槽列5a与第二槽列5b之间使第一喷出槽3a和第二非喷出槽4b的端部、以及第二喷出槽3b和第一非喷出槽4a的端部沿压电体基板2的板厚方向重叠的方式构成，并且使第一喷出槽3a和第二喷出槽3b双方连通于第一共通液室10e，因而能够大幅地缩短槽方向的宽度。在第三槽列5c以及第四槽列5d中也同样。

此外，在本发明中，关于喷出槽3、非喷出槽4的形状，另外，第一喷出槽3a～第四喷出槽3d的基准方向K的位置等不限定于本实施方式。另外，关于设置于压电体基板2下表面LS的端子电极7，使共通端子电极7x与各第一喷出槽3a、各第二喷出槽3b对应地引出至压电体基板2的端部侧、第一开口部H1一侧，但本发明不限定于该构成。例如，还可以扩大第一槽列5a与第二槽列5b的间隔，将第一喷出槽3a与第二喷出槽3b的各共通端子电极7x引出到第一槽列5a与第二槽列5b之间的下表面LS以共通电极化，并引绕过压电体基板2的基准方向K的端部附近的下表面LS以电连接于柔性电路基板8y或8x的布线图案。同样地，还可以扩大第三槽列5c与第四槽列5d的间隔，将第三喷出槽3c与第四喷出槽3d的各共通端子电极7x引出到第三槽列5c与第四槽列5d之间的下表面LS以共通电极化，并引绕过压电体基板2的基准方向K的端部附近的下表面LS以电连接于柔性电路基板8y、柔性电路基板8x的布线图案。由此，端子电极7的排列间距扩大，与柔性电路基板8的布线图案的电连接变得容易。

(第四实施方式)

图5以及图6是用于说明本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头1的制造方法的图。图5是表示本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头1的制造方法的工序图，图6是用于说明本发明的第四实施方式的各工序的图。本实施方式表示本发明的液体喷射头的基本制造方法。对相同部分或具有相同功能的部分附以相同符号。

本发明的液体喷射头1的制造方法具备：在压电体基板2形成多个槽列的槽形成工序S1；在压电体基板2形成电极的电极形成工序S2；在压电体基板2的槽列5之间使第一开口部H1贯通的开口部形成工序S3；以及通过第一开口部H1将柔性电路基板8连接于压电体基板2的下表面LS的电路基板连接工序S4。由此，即使槽列增加，也能够从外部电路对各槽列5容易地供给驱动信号。以下，使用图6具体地说明各工序。

如图6(S1)所示，在槽形成工序S1中，使用切割刀片20来切削压电体基板2，使喷出槽3沿基准方向K排列的槽列5形成多个。作为压电体基板2，能够使用PZT陶瓷。在图6中，沿从纸面近前朝里的基准方向K并列地形成第一槽列5a和第二槽列5b这两个槽列5。此外，还可以使用切割刀片20形成不从上表面US贯通至下表面LS的槽，接着磨削下表面LS，以使槽贯通。另外，如之后说明的，还可以沿基准方向K交替地形成喷出槽3和非喷出槽4。

如图6(S2)所示，在电极形成工序S2中，在喷出槽3侧面形成驱动电极6，在压电体基板2下表面LS形成端子电极7。驱动电极6的距下表面LS的最大深度形成为压电体基板2的板厚的约1/2。端子电极7隔着喷出槽3形成于一侧和另一侧。例如，一侧的端子电极7设置于压电体基板2的端部附近的下表面LS，另一侧的端子电极7设置于压电体基板2的中央部的下表面LS。例如关于第一槽列5a，使一侧的端子电极7电连接于在第一喷出槽3a的一个侧面设置的驱动电极6，使另一侧的端子电极7电连接于在第一喷出槽3a的另一个侧面设置的驱动电极6。第二槽列5b一侧的端子电极7也同样地形成。驱动电极6和端子电极7例如能够在下表面LS的进行了图案形成的抗蚀剂上从下表面LS一侧开始利用斜向蒸镀法堆积铝、镍、金、银等金属，并利用将抗蚀剂剥离的举离法来同时地形成。

此外，在本实施方式中，使用在表面的垂直方向上沿一个方向实施了极化处理的压电体基板2。作为其代替，在使用V字型的压电体基板2的情况下，需要使驱动电极6的距下表面LS的深度比压电体基板的极化边界深地形成。

如图6(S3)所示，在开口部形成工序S3中，切削相邻的第一槽列5a与第二槽列5b之间，以形成从压电体基板2的上表面US贯通至下表面LS的第一开口部H1。第一开口部H1能够通过切割刀片20、喷砂(sandblast)法形成。接着，如图6(S4)所示，在电路基板连接工序S4中，将形成有未图示的布线图案的柔性电路基板8x的布线图案与第一开口部H1附近的端子电极7电连接，并使柔性电路基板8x通过第一开口部H1且连接于压电体基板2的下表面LS。而且，将形成有布线图案的柔性电路基板8y以布线图案与压电体基板2的外周端附近的端子电极7电连接的方式连接于下表面LS。

由于如此在多个槽列5之间形成第一开口部H1，故即使在形成3列以上的槽列5的情况下，也能够将电连接于端子电极7的柔性电路基板8容易地引出到压电体基板2的与形成端子电极7一侧相反的一侧。

此外，在实际上构成液体喷射头1的情况下，在槽形成工序S1之后将盖板9接合于上表面US，在电路基板连接工序S4之前或之后，将喷嘴板13接合于压电体基板2的下表面LS。另外，在开口部形成工序S3中，能够在将第一开口部H1形成于压电体基板2的同时将第二开口部H2形成于盖板9。而且，在电路基板连接工序S4的工序中，能够将柔性电路基板8通过第一开口部H1和第二开口部H2并连接于下表面LS。

(第五实施方式)

图7以及图8是用于说明本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头1的制造方法的图。图7是表示本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头1的制造方法的工序图，图8是用于说明本发明的第五实施方式的各工序的图。在本实施方式中，为形成第一槽列5a～第四槽列5d这四个槽列5，各槽列5中喷出槽3与非喷出槽4沿基准方向K交替地排列，并在第二槽列5b与第三槽列5c之间的压电体基板2形成第一开口部H1的例子。对相同部分或具有相同功能的部分附以相同符号。

如图7所示，本实施方式的液体喷射头1的制造方法具备槽形成工序S1、盖板接合工序S5、电极形成工序S2、开口部形成工序S3、流路板接合工序S6、喷嘴板接合工序S7、以及电路基板连接工序S4。以下，按照工序顺序具体地进行说明。

如图8(S1)所示，在槽形成工序S1中，切削压电体基板2，形成喷出槽3和非喷出槽4沿基准方向交替地排列的第一～第四槽列5a～5d。具体而言，包含从压电体基板2的上表面US开始切削以形成第一～第四喷出槽3a～3d的喷出槽形成工序S11、以及从压电体基板2的下表面LS进行切削以形成第一～第四非喷出槽4a～4d的非喷出槽形成工序S12。在非喷出槽形成工序S12中，使第一非喷出槽4a的与第二槽列5b为相反侧的端部为浅槽，直到压电体基板2的侧面笔直地形成。使第二非喷出槽4b的第三槽列5c侧的端部为浅槽，直到压电体基板2的槽方向的宽度的中央笔直地形成。使第三非喷出槽4c的第二槽列5b侧的端部为浅槽，直到槽方向的宽度的中央笔直地形成。使第四非喷出槽4d的与第三槽列5c为相反侧的端部为浅槽，直到压电体基板2的侧面笔直地形成。

在此，第一槽列5a的第一喷出槽3a与第二槽列5b的第二喷出槽3b沿基准方向K偏移半个间距地形成。同样地，第三槽列5c的第三喷出槽3c与第四槽列5d的第四喷出槽3d沿基准方向K偏移半个间距地形成。而且，第二槽列5b的第二喷出槽3b与第三槽列5c的第三喷出槽3c沿基准方向偏移1/4间距地形成。由此，从槽方向看，各槽列5的喷出槽3以1/4间距的等间隔排列，记录密度与一个槽列的情况相比变为4倍。

而且，第一喷出槽3a和第二喷出槽4b、以及第一非喷出槽4a和第二喷出槽3b沿槽方向设置为直线状，同样地，第三喷出槽3c和第四非喷出槽4d、以及第三非喷出槽4c和第四喷出槽3d沿槽方向设置为直线状。而且，第一喷出槽3a与第二非喷出槽4b间隔开，并且，以沿压电体基板2的板厚方向部分地重叠的方式形成，第一非喷出槽4a与第二喷出槽3b间隔开，并且能够以沿压电体基板2的板厚方向重叠的方式形成。同样地，第三喷出槽3c与第四非喷出槽4d间隔开，并且，以沿压电体基板2的板厚方向重叠的方式形成，第三非喷出槽4c与第四喷出槽3d间隔开，并且能够以沿压电体基板2的板厚方向重叠的方式形成。若如此形成，则能够缩短第一槽列5a与第二槽列5b之间、以及第三槽列5c与第四槽列5d之间的距离，紧凑地构成液体喷射头1整体。此外，第一～第四非喷出槽4a～4d还可以以不在压电体基板2上表面US开口的方式形成。

如图8(S5)所示，在盖板接合工序S5中，将形成有多个液室10的盖板9以液室10与喷出槽3连通的方式接合于压电体基板2的上表面US。具体地进行说明。盖板9具有第一共通液室10e，与第一共通液室10e的两侧间隔开地具有第一液室10a以及第二液室10b，具有第二共通液室10f，与第二共通液室10f的两侧间隔开地具有第三液室10c以及第四液室10d。第一液室10a连通于第一喷出槽3a的一侧端部。第一共通液室10e连通于第一喷出槽3a的另一侧端部和第二喷出槽3b的一侧端部。第二液室10b连通于第二喷出槽3b的另一侧端部。第三液室10c连通于第三喷出槽3c的一侧端部。第二共通液室10f连通于第三喷出槽3c的另一侧端部和第四喷出槽3d的一侧端部。第四液室10d连通于第四喷出槽3d的另一侧端部。此外，在第一以及第二共通液室10e、10f、第一～第四液室10a～10d的压电体基板2侧的任意开口区域，第一～第四非喷出槽4a～4d中的任一个都不开口。

如图8(S2)所示，在电极形成工序S2中，在喷出槽3以及非喷出槽4的两侧面形成驱动电极6，在压电体基板2下表面LS形成端子电极7。例如能够在下表面LS的进行了图案形成的抗蚀剂上从下表面LS侧开始利用斜向蒸镀法堆积铝、镍、金、银等金属，并利用将抗蚀剂剥离的举离法来同时地形成驱动电极6和端子电极7。在沿上表面US或下表面LS的垂直方向一致地实施了极化处理的压电体基板2的情况下，在与压电体基板2的厚度的约1/2相比的下表面LS侧形成驱动电极6，在V字型的压电体基板2的情况下，需要使驱动电极6的距下表面LS的深度比压电体基板的极化边界深地形成。在压电体基板2的下表面LS形成的端子电极7与第三实施方式的图4(b)所示的一样。

如图8(S3)所示，在开口部形成工序S3中，切削压电体基板2的相邻的第二槽列5b与第三槽列5c之间，将第一开口部H1从压电体基板2的上表面US形成到下表面LS，同时形成沿板厚方向贯通盖板9的相邻的第二液室10b与第三液室10c之间的第二开口部H2。由此，能够在一次切削工序中将第一开口部H1以及第二开口部H2开口。此外，还可以在盖板9预先形成沿板厚方向贯通相邻的第二液室10b与第三液室10c之间的第二开口部H2，在开口部形成工序S3中仅切削第一开口部H1。

如图8(S6)所示，在流路板接合工序S6中，将流路板11接合于盖板9的与压电体基板2一侧为相反侧的表面。在流路板11具备沿板厚方向贯通的第三开口部H3，在接合时与盖板9的第二开口部H2连通。而且，在流路板11具备供给流路12x和排出流路12y，供给流路12x连通于盖板9的第一共通液室10e以及第二共通液室10f，排出流路12y连通于第一～第四液室10a～10d。此外，还可以预先将未形成第三开口部H3的流路板11接合于盖板9的与压电体基板2一侧为相反侧的表面，并形成第一开口部H1以及第二开口部H2，同时切削流路板11以形成沿板厚方向贯通的第三开口部H3。

如图8(S7)所示，在喷嘴板接合工序S7中，将喷嘴板13接合于压电体基板2的下表面LS。在喷嘴板13，在与第一～第四喷出槽3a～3d对应的位置使喷嘴14穿孔，并形成第一～第四喷嘴列15a～15d。而且，在将喷嘴板13接合于下表面LS之后，切削喷嘴板13，使压电体基板2的形成端子电极7的区域露出。由此，能够在一次工序中进行4列的第一～第四槽列5a～5d的各喷出槽3与4列的第一～第四喷嘴列15a～15d的各喷嘴14的对位。此外，在将喷嘴板13接合于下表面LS之后使喷嘴14穿孔，或者将喷嘴板13连同喷嘴列15接合于下表面LS，能够省略喷嘴板13的切削工序。

如图8(S4)所示，在电路基板连接工序S4中，将形成有布线图案的柔性电路基板8x的布线图案与端子电极7电连接，并使柔性电路基板8x通过第一开口部H1～第三开口部H3且连接于压电体基板2的下表面LS。压电体基板2的下表面LS侧的空间较广地开放。因此，能够使各向异性导电材料间置于下表面LS与柔性电路基板8之间，从柔性电路基板8的背面侧使压接端子抵接，以将端子电极7与布线图案一并连接。

此外，还可以在槽形成工序S1中使喷出槽3不从上表面US贯通至下表面LS，在将盖板接合工序S5接合于压电体基板2之后磨削压电体基板2的下表面LS，以使喷出槽3在下表面LS开口。在盖板接合工序S5中，由于压电体材料残留在喷出槽3底部，故能够防止喷出槽3底部侧的缺损等的发生。另外，开口部形成工序S3可以在流路板接合工序S6之后，也可以在喷嘴板接合工序S7之后。另外，在第一槽列5a与第二槽列5b之间、第三槽列5c与第四槽列5d之间，喷出槽3和非喷出槽4以沿压电体基板2的厚度方向部分地重叠的方式形成，但本发明不限于该构成，喷出槽3和非喷出槽4还可以以沿厚度方向不重叠的方式间隔开。另外，槽列5能够比4列更为增多，并进一步增加从压电体基板2上表面US贯通至下表面LS的开口部。

(第六实施方式)

图9是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射装置30的示意性立体图。液体喷射装置30具备：使液体喷射头1、1’往复移动的移动机构40；对液体喷射头1、1’供给液体，从液体喷射头1、1’排出液体的流路部35、35’；以及连通于流路部35、35’的液体泵33、33’以及液体储罐34、34’。各液体喷射头1、1’具备多个槽列，一侧的槽列所包含的喷出槽的另一侧端部与另一侧的槽列所包含的非喷出槽的一侧端部间隔开，并且，在压电体基板的厚度方向上重叠。液体喷射头1、1’使用已经说明了的第一～第五实施方式中的任一个。

液体喷射装置30具备：沿主扫描方向搬送纸等被记录介质44的一对搬送部件41、42；将液体喷出至被记录介质44的液体喷射头1、1’；载置液体喷射头1、1’的滑架单元43；将储存于液体储罐34、34’的液体推压并供给至流路部35、35’的液体泵33、33’；以及沿与主扫描方向正交的副扫描方向扫描液体喷射头1、1’的移动机构40。未图示的控制部控制并驱动液体喷射头1、1’、移动机构40、搬送部件41、42。

一对搬送部件41、42具备沿副扫描方向延伸，且在使辊面接触的同时旋转的栅格辊(grid roller)和夹送辊(pinch roller)。通过未图示的电动机使栅格辊与夹送辊绕轴转移并沿主扫描方向搬送夹入在辊之间的被记录介质44。移动机构40具备沿副扫描方向延伸的一对导轨36、37、能够沿一对导轨36、37滑动的滑架单元43、连结滑架单元43并使其沿副扫描方向移动的无接头带38、以及通过未图示的滑轮使该无接头带38绕转的电动机39。

滑架单元43载置多个液体喷射头1、1’，喷出例如黄、洋红、青、黑这四种液滴。液体储罐34、34’储存对应颜色的液体，经由液体泵33、33’、流路部35、35’对液体喷射头1、1’进行供给。各液体喷射头1、1’根据驱动信号喷出各色液滴。通过控制从液体喷射头1、1’喷出液体的定时、驱动滑架单元43的电动机39的旋转以及被记录介质44的搬送速度，能够在被记录介质44上记录任意图案。

此外，虽然本实施方式是移动机构40使滑架单元43和被记录介质44移动并进行记录的液体喷射装置30，但是作为其替代，还可以是将滑架单元固定，移动机构使被记录介质二维地移动并进行记录的液体喷射装置。即，移动机构是使液体喷射头与被记录介质相对地移动的机构即可。

符号说明

1 液体喷射头

2 压电体基板

3 喷出槽、3a 第一喷出槽、3b 第二喷出槽、3c 第三喷出槽、3d 第四喷出槽

4 非喷出槽、4a 第一非喷出槽、4b 第二非喷出槽、4c 第三非喷出槽、4d 第四非喷出槽

5 槽列、5a 第一槽列、5b 第二槽列、5c 第三槽列、5d 第四槽列

6 驱动电极

7 端子电极、7x 共通端子电极、7y 个别端子电极

8、8x、8y 柔性电路基板

9 盖板

10 液室、10a 第一液室、10b 第二液室、10c 第三液室、10d 第四液室、10e 第一共通液室、10f 第二共通液室

11 流路板

12 流路、12x 供给流路、12y 排出流路

13 喷嘴板

14 喷嘴

15 喷嘴列、15a 第一喷嘴列、15b 第二喷嘴列、15c 第三喷嘴列、15d 第四喷嘴列

US 上表面、LS 下表面、K 基准方向

H1 第一开口部、H2 第二开口部、H3 第三开口部

Claims (14)

1.一种液体喷射头，具备：

压电体基板，其具有从上表面贯通至下表面的喷出槽沿基准方向排列的多个槽列、和在多个所述槽列之间从上表面贯通至下表面的第一开口部；以及

柔性电路基板，

其特征在于，

所述压电体基板还具有设置于所述喷出槽的侧面的驱动电极、和电连接于所述驱动电极且设置于下表面的端子电极，

所述柔性电路基板与所述端子电极电连接且连接于所述压电体基板的下表面，并且通过所述第一开口部从所述压电体基板的下表面引出至上表面。

2.根据权利要求1所述的液体喷射头，具备：

盖板，其具有连通于所述喷出槽的液室，且接合于所述压电体基板的上表面，

所述盖板具备沿板厚方向贯通的第二开口部，所述柔性电路基板通过所述第二开口部而引出。

3.根据权利要求2所述的液体喷射头，具备：

流路板，其接合于所述盖板的与所述压电体基板为相反侧的表面，且具有连通于所述液室的流路，

所述流路板具备第三开口部，所述第三开口部从所述盖板一侧贯通至与所述盖板相反的一侧，所述柔性电路基板通过所述第三开口部而引出。

4.根据权利要求1所述的液体喷射头，其中，所述压电体基板具有：非喷出槽，其从上表面贯通至下表面，且与所述喷出槽沿基准方向交替地排列；以及驱动电极，其设置于所述非喷出槽的侧面。

5.根据权利要求4所述的液体喷射头，其中，

所述压电体基板沿基准方向并列地设置有4列槽列，所述第一开口部设置于第二列与第三列的所述槽列之间，

在第一列和第二列这2个邻接的所述槽列、或者第三列和第四列这2个邻接的所述槽列中，一侧的槽列所包含的所述喷出槽的另一侧端部与另一侧的槽列所包含的所述非喷出槽的一侧端部间隔开，并且，沿所述压电体基板的厚度方向重叠。

6.根据权利要求1所述的液体喷射头，具备喷嘴板，所述喷嘴板具有连通于所述喷出槽的喷嘴沿基准方向排列的多个喷嘴列，且接合于所述压电体基板的下表面。

7.一种液体喷射装置，具备：

液体喷射头；

使所述液体喷射头与被记录介质相对地移动的移动机构；

对所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及

对所述液体供给管供给所述液体的液体储罐，

其特征在于，所述液体喷射头是根据权利要求1所述的液体喷射头。

8.一种液体喷射头的制造方法，具备：

槽形成工序，切削压电体基板，并且使喷出槽沿基准方向排列的槽列形成多个；和

开口部形成工序，切削所述压电体基板的相邻的所述槽列之间，并形成从所述压电体基板的上表面贯通至下表面的第一开口部；

其特征在于，所述液体喷射头的制造方法还具备：

电极形成工序，在所述喷出槽的侧面形成驱动电极，并在所述压电体基板的下表面形成端子电极；以及

电路基板连接工序，将形成布线图案的柔性电路基板的所述布线图案与所述端子电极电连接，并使所述柔性电路基板通过所述第一开口部且连接于所述压电体基板的下表面。

9.根据权利要求8所述的液体喷射头的制造方法，具备：

盖板接合工序，将形成多个液室的盖板以所述液室与所述喷出槽连通的方式接合于所述压电体基板的上表面，

所述盖板具备沿板厚方向贯通相邻的所述液室之间的第二开口部，

所述电路基板连接工序包含使所述柔性电路基板通过所述第二开口部的工序。

10.根据权利要求8所述的液体喷射头的制造方法，具备：

盖板接合工序，将形成多个液室的盖板以所述液室与所述喷出槽连通的方式接合于所述压电体基板的上表面，

所述开口部形成工序包含在形成所述第一开口部的同时切削所述盖板的相邻液室之间以形成沿板厚方向贯通的第二开口部的工序，

所述电路基板连接工序包含使所述柔性电路基板通过所述第二开口部的工序。

11.根据权利要求9所述的液体喷射头的制造方法，具备：

流路板接合工序，将流路板接合于所述盖板的与所述压电体基板一侧为相反侧的表面，

所述流路板具备沿板厚方向贯通的第三开口部，

所述电路基板连接工序包含使所述柔性电路基板通过所述第三开口部的工序。

12.根据权利要求10所述的液体喷射头的制造方法，具备：

流路板接合工序，将流路板接合于所述盖板的与所述压电体基板一侧为相反侧的表面，

所述开口部形成工序包含在形成所述第一以及第二开口部的同时切削所述流路板以形成沿板厚方向贯通的第三开口部的工序，

所述电路基板连接工序包含使所述柔性电路基板通过所述第三开口部的工序。

13.根据权利要求8所述的液体喷射头的制造方法，具备：

喷嘴板接合工序，将喷嘴板接合于所述压电体基板的下表面，

所述喷嘴板接合工序包含在将所述喷嘴板接合于所述压电体基板的下表面之后，切削所述喷嘴板以使所述压电体基板的形成所述端子电极的区域露出的工序。

14.根据权利要求8所述的液体喷射头的制造方法，其中，所述槽形成工序具备：喷出槽形成工序，从所述压电体基板的上表面开始切削以形成所述喷出槽；以及非喷出槽形成工序，从所述压电体基板的下表面开始切削以形成非喷出槽。