JP7379843B2 - 液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置 - Google Patents
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図1は、本開示の第1実施形態の液体吐出装置100の構成を模式的示す説明図である。液体吐出装置100は、液体の一例であるインクの液滴を媒体12に吐出して印刷する、インクジェット方式の印刷装置である。媒体12は、印刷用紙の他、樹脂フィルムや布等の任意の材質の印刷対象を採用可能である。図1以降の各図においては、互いに直交する第1軸方向X、第2軸方向Yおよび第3軸方向Zのうち、ノズル列方向を第1軸方向Xとし、ノズルNzからのインクの吐出方向に沿った方向を第3軸方向Zとし、第1軸方向Xと第3軸方向Zに直交する方向を第2軸方向Yとする。インクの吐出方向は、鉛直方向と平行であってもよいし、それと交差する方向でもよい。なお、液体吐出ヘッド26の搬送方向に沿った主走査方向は第2軸方向Yであり、媒体12の送り方向である副走査方向は第1軸方向Xとなる。以下の説明においては、説明の便宜上、主走査方向を印刷方向と、適宜称する。また、向きを特定する場合には、正の方向を「+」、負の方向を「-」として、方向表記に正負の符合を併用する。なお、液体吐出装置100は、媒体送り方向(副走査方向)と液体吐出ヘッド26の搬送方向(主走査方向)とが一致する、いわゆるラインプリンタでもよい。
図15は、第2実施形態の流路プレート150の斜視図である。図16は、第2実施形態の液体吐出ヘッド26aの構成を説明するための第1の図である。図17は、第2実施形態の液体吐出ヘッド26aの構成を説明するための第2の図である。図16は、流路形成基板10と流路プレート150とを-第3軸方向Z側から平面視したときの模式図である。図17は、ノズルプレート20のノズルNzと、圧力チャンバー221とを通るXZ平面で切断したときの模式図である。
図18は、第3実施形態のノズルプレート20bの平面図である。図19は、第3実施形態の流路プレート150bの一部を示す分解斜視図である。図20は、第3実施形態の液体吐出ヘッド26bの構成を説明するための第1の図である。図21は、液体吐出ヘッド26bの構成を説明するための第2の図である。図20は、ノズルプレート20bのノズルNzと、圧力チャンバー221とを通るXZ平面で切断したときの模式図である。第21は、流路形成基板10と流路プレート150bとを-第3軸方向Z側から平面視したときの図である。
図22は、第4実施形態の流路プレート150cの一部を示す分解斜視図である。図23は、液体吐出ヘッド26cの液体の流れを説明するための模式図である。図22には、一のノズルNzと連通する流路プレート150cの構成を図示している。上記各実施形態では、一のノズルNzに連通する圧力チャンバー221の数は2つであったが、これに限定されるものではなく、3つ以上であってもよい。第4実施形態の液体吐出ヘッド26cは、4つの圧力チャンバー221A,221B,221C,221Dが一のノズルNzに連通する例である。液体吐出ヘッド26cと図6に示す液体吐出ヘッド26との違いは流路プレート150cの構成である。液体吐出ヘッド26cのその他の構成については第1実施形態の液体吐出ヘッド26と同様であるため、同様の構成については同一符号を付すと共に説明を省略する。なお、第4実施形態のノズルプレート20のノズル列を構成するノズルNzの数は、第1実施形態のノズルプレート20のノズル列を構成するノズルNzの数の半分である。
図24は、第5実施形態の液体吐出ヘッド26dの分解斜視図である。図25は吐出ヘッド26dの記録媒体と対向する側を表す平面図である。図26は、図25の26-26断面図である。図27は、流路形成基板10dと流路プレート15dとを第3軸方向Zのマイナス側から平面視した場合の模式図である。図4に示す第1実施形態の液体吐出ヘッド26と、第5実施形態の液体吐出ヘッド26dとの主な違いは、第1圧力チャンバー221aと第2圧力チャンバー221bとが共通する1つのリザーバ42dと連通している点と、流路形成基板10dおよびケース部材40dの構成である。第5実施形態の液体吐出ヘッド26dと第1実施形態の液体吐出ヘッド26とで同様の構成については同一符号を付すと共に説明を省略する。
第1実施形態~第5実施形態の液体吐出ヘッド26~26dでは、図7および図8に示すように、第1接続流路198は第2接続流路199よりも短いように構成されている。つまり、第1接続流路198のイナ-タンスITF1は、第2接続流路199のイナ-タンスITF2よりも小さい関係を有する。この関係を有する液体吐出ヘッド26~26dにおける好ましい形態を第6実施形態として説明する。以下では、ノズルプレート20bに連通流路292が形成された第3実施形態の好ましい形態の液体吐出ヘッド26baを例に好ましい形態である第6実施形態を説明する。
第1実施形態~第5実施形態の液体吐出ヘッド26~26dでは、図7および図8に示すように、第1接続流路198は第2接続流路199よりも短いように構成されている。よって、第1接続流路198と第2接続流路199との流路形状が同じである場合には、第1接続流路198のイナ-タンスITF1は、第2接続流路199のイナ-タンスITF2よりも小さい関係となる。第1接続流路198のイナ-タンスITF1は、第2接続流路199のイナ-タンスITF2よりも小さい関係となった場合には、第1接続流路198と第2接続流路199とにおいて液体の流れやすさに不均衡が生じ得る。以下では、第1接続流路198が第2接続流路199よりも短い場合における好ましい形態を第7実施形態として説明する。以下では、ノズルプレート20bに連通流路292が形成された第3実施形態の好ましい形態の液体吐出ヘッド26bbを例に好ましい形態である第7実施形態を説明する。
上記第1実施形態から第7実施形態の液体吐出装置100は、図10~図12に示すように、一のノズルNzに連通する第1圧力チャンバー221aに対応する第1セグメント電極240aと、一のノズルNzに連通する第2圧力チャンバー221bに対応する第2セグメント電極240bとは、共通の第2リード電極276によって端子123に電気的に接続されていた。しかしながら、第1セグメント電極240aと、第2セグメント電極240bとは、別々の第2リード電極276によって、各端子123に電気的に接続されていてもよい。つまり、第1セグメント電極240aと第2セグメント電極240bとには、互いに独立した駆動パルスが供給されてもよい。つまり、第1圧力チャンバー221aの液圧を可変させる第1駆動素子としての第1駆動部220aと、第2圧力チャンバー221bの液圧を可変させる第2駆動素子としての第2駆動部220bとは、互いに独立して駆動可能に構成されてもよい。こうすることで、液体吐出ヘッド26~26bbの液体の吐出制御の自由度が向上する。
図33は、第9実施形態の液体吐出ヘッド26hの分解斜視図である。図34は、一のノズルNzが通るYZ平面で液体吐出ヘッド26hを切断したときの断面図である。図24に示す第5実施形態の液体吐出ヘッド26dと、液体吐出ヘッド26hとの違いは以下の通りである。つまり、図34に示すように、液体吐出ヘッド26hが、第1軸方向Xと交差、本実施形態では直交する第2軸方向Yに並んだ第1圧力チャンバー221aと第2圧力チャンバー221bとが一の連通流路292hを通じて一のノズルNzと連通している点と、連通流路292hがノズルプレート20hに形成されている点で、液体吐出ヘッド26hと液体吐出ヘッド26dとは異なる。第9実施形態において、第5実施形態と同様の構成については同一符号を付すと共に説明を省略する。
図35は、第10実施形態の液体吐出ヘッド26iの分解斜視図である。図36は、一のノズルNzが通るYZ平面で液体吐出ヘッド26iを切断したときの断面図である。図33に示す第9実施形態の液体吐出ヘッド26hと、液体吐出ヘッド26iとの違いは以下の通りである。つまり、図35に示すように、液体吐出ヘッド26iの連通流路16iは、流路プレート15iに形成されている点と、ノズルプレート20iには連通流路292hが形成されていない点である。第10実施形態のその他の構成については、第9実施形態と同様の構成であるので、同様の構成については同一符号を付すと共に説明を省略する。
図37は、第9実施形態および第10実施形態の液体吐出ヘッド26h,26iの好ましい形態を説明するための図である。第9実施形態および第10実施形態の液体吐出ヘッド26h,26iの電気配線の一例を示す図である。駆動素子1100jは、液体吐出ヘッド26h,26iに用いることができる。駆動素子1100jは、第1セグメント電極240aと第2セグメント電極240bとを有する。
上記第1実施形態~第11実施形態では、例えば図10に示すように、第1セグメント電極240aと第2セグメント電極240bとは、共通する一の第2リード電極276に接続されていた。しかしながら、一のノズルNzに対応して設けられた第1セグメント電極240aと第2セグメント電極240bとに共通する駆動パルスCOMを供給する電気配線の接続態様についてはこれに限定されるものでない。以下に第2リード電極276を共通して用いることに代えて用いることができる電気配線の接続態様の例を説明する。
上記各実施形態において、第1リザーバ42a,42daおよび第2リザーバ42b,42dbは、液体供給源である液体容器14から連通流路16,16c,16d,16i,292,292hへと液体を供給する供給リザーバであったが、これに限定されるものではない。図40は、第13実施形態の液体吐出装置100jを説明するための図である。上記の液体吐出装置100,100gとの違いは、液体容器14から液体吐出ヘッド26へと液体を供給する供給流路811に加え、液体吐出ヘッド26から液体容器14へと液体を回収するための回収流路812を有する点である。供給流路811は、第1リザーバ42a,42daに連通する図4などに示す第1導入孔44a,44haに接続される。回収流路812は、第2リザーバ42b,42dbに連通する図4などに示す第2導入孔44b,44hbに接続される。つまり、第1リザーバ42a,42daは、連通流路16,16c,16d,16i,292,292hへと液体を供給する供給リザーバとして機能する。また第2リザーバ42b,42dbは、連通流路16,16c,16d,16i,292,292hから液体を回収する回収リザーバとして機能する。流動機構615は、制御ユニット620によって制御されることで、液体を液体吐出ヘッド26内を通過させて移動させる。本実施形態では、流動機構615は、供給流路811と回収流路812とを介して液体容器14と液体吐出ヘッド26との間で液体を循環させる。以上のように、例えば、供給流路811や回収流路812や流動機構615が、第1リザーバ42aに液体を供給すると共に第2リザーバ42bから液体を回収する機構に相当する。
本開示は、上述した実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実現することができる。例えば、本開示は、以下の形態によっても実現可能である。以下に記載した各形態中の技術的特徴に対応する上記実施形態中の技術的特徴は、本開示の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、本開示の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。例えば、本開示は以下の形態として実施できる。
形態:液体吐出ヘッドであって、液体を吐出するノズルと、複数の圧力チャンバーと、各前記圧力チャンバーに対応して設けられた駆動素子と、前記駆動素子に電気信号を供給するための複数のリード電極と、を有するチャンバープレートと、前記リード電極上で接続される端子を有する回路基板と、を備え、前記複数の圧力チャンバーは、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーとを含み、前記チャンバープレートは、一の前記ノズルに共通して連通する第1圧力チャンバーおよび第2圧力チャンバーと、前記駆動素子を構成する第1セグメント電極および第2セグメント電極であって、平面視で、前記第1圧力チャンバーと重なり前記第2圧力チャンバーとは重ならないように形成された第1セグメント電極と、平面視で前記第2圧力チャンバーと重なり前記第1圧力チャンバーとは重ならないように形成された第2セグメント電極と、を有し、前記第1セグメント電極および前記第2セグメント電極は、共通する一の前記リード電極に接続されており、前記駆動素子は、前記各圧力チャンバーに対応して設けられた駆動部と、前記駆動部とは異なる部分である他の部分とを有し、前記リード電極は、前記他の部分に積層して設けられている、液体吐出ヘッド。この形態によれば、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーが一のノズルと連通することで、圧力チャンバーの体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。またこの形態によれば、駆動素子により近い位置であるリード電極によって、第1セグメント電極と第2セグメント電極への電気信号の配線を共通化できる。これにより、駆動素子において、回路基板から第1セグメント電極までの配線インピーダンスと、回路基板から第2セグメント電極までの配線インピーダンスのバラツキを低減できる。よって、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーとから、より均等に液体をノズルに供給できるので、ノズルの吐出特性がばらつく可能性を低減できる。
この形態によれば、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーがノズルと連通することで、圧力チャンバーの体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。
この形態によれば、平面視で連通流路をノズルよりも大きい領域に形成できる。
この形態によれば、液体吐出ヘッドが水平方向に大型化することを抑制できる。
この形態によれば、連通流路の深さ寸法をノズルの深さ寸法以上とすることで、連通流路のイナ-タンスが大きくなることを抑制できる。
この形態によれば、連通流路を、エッチングなどによって形成する際の製造時間が長くなることを抑制できる。またこの形態によれば、連通流路の深さ寸法の製造バラツキの程度を小さくできるので、各ノズルNzからの液体の吐出量にバラツキが生じる可能性を低減できる。
この形態によれば、第1圧力チャンバーから連通流路へと伝達され圧力波と、第2圧力チャンバーから連通流路へと伝達される圧力波との大きさの偏りを抑制できる。これにより、第1圧力チャンバーから連通流路に流入する液体の量と、第2圧力チャンバーから連通流路に流入する液体の量に偏りが生じることを抑制できる。
この形態によれば、第1圧力チャンバーからノズルへと伝達され圧力波と、第2圧力チャンバーからノズルへと伝達される圧力波との大きさの偏りをさらに抑制できる。これにより、第1圧力チャンバーからノズルに流入する液体の量と、第2圧力チャンバーからノズルに流入する液体の量に偏りが生じることをさらに抑制できる。
この形態によれば、第1貫通孔と第2貫通孔とを有する中間プレートを介して第1圧力チャンバーおよび第2圧力チャンバーを連通流路に連通させることができる。
この形態によれば、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーとを異なるリザーバに接続できる。
この形態によれば、第1リザーバを連通流路に液体を供給する供給リザーバとして機能させ、第2リザーバを連通流路から液体を回収する回収リザーバとして機能させることができる。
この形態によれば、第1リザーバに液体を供給すると共に第2リザーバから液体を回収できる。
この形態によれば、媒体を液体吐出ヘッドに対して相対的に移動できる。
この形態によれば、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーがノズルと連通することで、圧力チャンバーの体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。またこの形態によれば、連通流路の開口を隔壁の第2領域と重なるように形成することで、連通流路のイナ-タンスを小さくできる。つまり、連通流路の開口を隔壁の第2領域と重なるように形成することで、連通流路の流路断面積をより大きくできる。これにより、連通流路のイナ-タンスを小さくできるので、圧力チャンバーから連通流路を介してノズルへと液体を円滑に流通させることができる。よって、ノズルからの液体の吐出効率を向上できる。
ここで、第2領域の第2軸方向の長さが第1領域の第2軸方向の長さの半分よりも大きくなると、相対的に第1領域が小さくなり、圧力チャンバーのコンプライアンス上昇による吐出効率低下の影響が著しくなる場合がある。この形態によれば、第2領域の第2軸方向の長さを第1領域の第2軸方向の長さの半分以下とすることで、ノズルからの液体の吐出効率をより向上できる。
この形態によれば、ノズルからの液体の吐出効率をより一層向上できる。
この形態によれば、連通流路の流路断面積が小さくなることを抑制できるので、連通流路のイナ-タンスが大きくなることをより抑制できる。よって、ノズルから液体を吐出する吐出効率が大きく低下することを抑制できる。
この形態によれば、チャンバープレートと流路プレートとの線膨張係数を同程度にできるので、熱による反りや熱によるクラック、剥離などの発生を抑制することができる。
この形態によれば、第1圧力チャンバーから連通流路へと伝達され圧力波と、第2圧力チャンバーから連通流路へと伝達される圧力波との大きさの偏りを抑制できる。これにより、第1圧力チャンバーから連通流路に流入する液体の量と、第2圧力チャンバーから連通流路に流入する液体の量に偏りが生じることを抑制できる。
この形態によれば、第1圧力チャンバーからノズルへと伝達され圧力波と、第2圧力チャンバーからノズルへと伝達される圧力波との大きさの偏りを抑制できる。これにより、第1圧力チャンバーから連通流路を介してノズルに流入する液体の量と、第2圧力チャンバーから連通流路を介してノズルに流入する液体の量に偏りが生じることを抑制できる。
この形態によれば、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーとを異なるリザーバに接続できる。
この形態によれば、第1リザーバを連通流路に液体を供給する供給リザーバとして機能させ、第2リザーバを連通流路から液体を回収する回収リザーバとして機能させることができる。
この形態によれば、第1駆動素子と第2駆動素子とを互いに独立して駆動させることで、第2領域を通じて第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーとの間で生じるクロストークの発生を低減できる。
この形態によれば、第1リザーバに液体を供給すると共に第2リザーバから液体を回収できる。
この形態によれば、第1駆動素子に第1駆動パルスを印加し、第2駆動素子に第2駆動パルスを印加することで、第2領域を通じて第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーとの間で生じるクロストークの発生を低減できる。
この形態によれば、媒体を液体吐出ヘッドに対して相対的に移動できる。
この形態によれば、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーがノズルと連通することで、圧力チャンバーの体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。
この形態によれば、第1軸方向に沿って並んで配置された複数のノズルから液体を吐出できる。
ここで、液体を第1圧力チャンバーから連通流路を通って第2圧力チャンバーへと流した場合、ノズル近傍の流れに起因して、ノズルから吐出される液体の向きがノズル開口方向に対してズレる場合がある。よって、各連通流路の流れの向きを揃えることで、各ノズルから吐出される液体の向きのバラツキの程度を小さくできる。
この形態によれば、液体吐出ヘッドが水平方向に大型化することを抑制できる。
この形態によれば、第1接続流路が第2接続流路よりも短い液体吐出ヘッドを提供できる。
ここで、圧力チャンバーから見て接続流路側のイナータンスやノズル側のイナータンスは、圧力チャンバーからノズルへの液体の吐出効率に影響する。例えば、接続流路側のイナータンスが相対的に大きくなれば加圧された圧力チャンバーからノズルへと向かう流れの効率、すなわち吐出効率は相対的に大きくなる。一方で、ノズル側のイナータンスが相対的に大きくなれば、加圧された圧力チャンバーからの吐出効率は相対的に小さくなる。したがって、第1接続流路と第2接続流路との間でのイナータンスの違いは、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーとの間でのノズルからの吐出効率のアンバランスの原因となり得る。このようなアンバランスを補償又は低減するためには、上記形態のごとく、一のノズルから第1圧力チャンバーまでの流路長さを、一のノズルから第2圧力チャンバーまでの流路長さよりも短くすることでイナ-タンスを調整することが好ましい。
ここで、圧力チャンバーから見て接続流路側のイナータンスやノズル側のイナータンスは、圧力チャンバーからノズルへの液体の吐出効率に影響する。例えば、接続流路側のイナータンスが相対的に大きくなれば加圧された圧力チャンバーからノズルへと向かう流れの効率、すなわち吐出効率は相対的に大きくなる。一方で、ノズル側のイナータンスが相対的に大きくなれば、加圧された圧力チャンバーからの吐出効率は相対的に小さくなる。したがって、第1接続流路と第2接続流路との間でのイナータンスの違いは、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーとの間でのノズルからの吐出効率のアンバランスの原因となり得る。このようなアンバランスを補償又は低減するためには、上記形態のごとく第1イナ-タンスを第2イナータンスよりも小さくすることが好ましい。
この形態によれば、第2接続流路のイナ-タンスと第1接続流路のイナ-タンスとが大きく乖離することを抑制できる。
この形態によれば、第1リザーバを連通流路に液体を供給する供給リザーバとして機能させ、第2リザーバを連通流路から液体を回収する回収リザーバとして機能させることができる。
この形態によれば、第1リザーバに液体を供給すると共に第2リザーバから液体を回収できる。
この形態によれば、媒体を液体吐出ヘッドに対して相対的に移動できる。
この形態によれば、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーが一のノズルと連通することで、圧力チャンバーの体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。またこの形態によれば、駆動素子により近い位置であるリード電極によって、第1セグメント電極と第2セグメント電極への電気信号の配線を共通化できる。これにより、駆動素子において、回路基板から第1セグメント電極までの配線インピーダンスと、回路基板から第2セグメント電極までの配線インピーダンスのバラツキを低減できる。よって、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーとから、より均等に液体をノズルに供給できるので、ノズルの吐出特性がばらつく可能性を低減できる。
この形態によれば、共通の電極層を用いて第1セグメント電極と第2セグメント電極とを形成できる。
この形態によれば、回路基板から第1セグメント電極までの配線インピーダンスと、回路基板から第2セグメント電極までの配線インピーダンスとのバラツキを低減できる。
この形態によれば、回路基板から第1セグメント電極までの配線インピーダンスと、回路基板から第2セグメント電極までの配線インピーダンスとのバラツキをさらに低減できる。
この形態によれば、各組に対応する複数の一のノズルが第1軸方向に沿って並んで配置できる。
この形態によれば、一のリード電極内を流れる電流のバラツキを低減できる。またこの形態によれば、隣り合う2つのリード電極間の間隔を十分に確保し易くなるので、短絡の発生を抑制できる。
この形態によれば、第1軸方向に沿ってならんで配置された第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーとを形成できる。
この形態によれば、第2軸方向に沿って並んで配置された第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーとを形成できる。
この形態によれば、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーとを異なるリザーバに接続できる。
この形態によれば、第1リザーバを連通流路に液体を供給する供給リザーバとして機能させ、第2リザーバを連通流路から液体を回収する回収リザーバとして機能させることができる。
この形態によれば、第1リザーバに液体を供給すると共に第2リザーバから液体を回収できる。
この形態によれば、媒体を液体吐出ヘッドに対して相対的に移動できる。
この形態によれば、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーが一のノズルと連通することで、圧力チャンバーの体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。またこの形態によれば、駆動素子により近い位置である端子によって、第1セグメント電極と第2セグメント電極への電気信号の配線を共通化できる。これにより、駆動素子において、回路基板から第1セグメント電極までの配線インピーダンスと、回路基板から第2セグメント電極までの配線インピーダンスのバラツキを低減できる。よって、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーとから、より均等に液体をノズルに供給できるので、ノズルの吐出特性がばらつく可能性を低減できる。
この形態によれば、複数のノズルが第1軸方向に沿って並んで配置されたノズル列を構成できる。
この形態によれば、端子内を流れる電流のバラツキを低減できる。またこの形態によれば、隣り合う2つの端子間の間隔を十分に確保し易くなるので、短絡の発生を抑制できる。
この形態によれば、第1軸方向に沿って並んで配置された第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーを提供できる。
この形態によれば、第2軸方向に沿って並んで配置された第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーを提供できる。
この形態によれば、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーとを異なるリザーバに接続できる。
この形態によれば、第1リザーバを連通流路に液体を供給する供給リザーバとして機能させ、第2リザーバを連通流路から液体を回収する回収リザーバとして機能させることができる。
この形態によれば、第1リザーバに液体を供給すると共に第2リザーバから液体を回収できる。
この形態によれば、媒体を液体吐出ヘッドに対して相対的に移動できる。
Claims (14)
- 液体吐出ヘッドであって、
液体を吐出するノズルと、
複数の圧力チャンバーと、各前記圧力チャンバーに対応して設けられた駆動素子と、前記駆動素子に電気信号を供給するための複数のリード電極と、を有するチャンバープレートと、
前記リード電極上で接続される端子を有する回路基板と、を備え、
前記複数の圧力チャンバーは、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーとを含み、
前記チャンバープレートは、
一の前記ノズルに共通して連通する第1圧力チャンバーおよび第2圧力チャンバーと、
前記駆動素子を構成する第1セグメント電極および第2セグメント電極であって、平面視で、前記第1圧力チャンバーと重なり前記第2圧力チャンバーとは重ならないように形成された第1セグメント電極と、平面視で前記第2圧力チャンバーと重なり前記第1圧力チャンバーとは重ならないように形成された第2セグメント電極と、を有し、
前記第1セグメント電極および前記第2セグメント電極は、共通する一の前記リード電極に接続されており、
前記駆動素子は、前記各圧力チャンバーに対応して設けられた駆動部と、前記駆動部とは異なる部分である他の部分とを有し、
前記リード電極は、前記他の部分に積層して設けられている、液体吐出ヘッド。 - 請求項1に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第1セグメント電極と前記第2セグメント電極とは、共通の電極層の一部として形成されている、液体吐出ヘッド。 - 請求項1または請求項2に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第1セグメント電極と前記第2セグメント電極とは、平面視で第1仮想線に実質的に線対称に形成され、
前記一のリード電極は、前記平面視で前記第1仮想線を跨ぐように形成されている、液体吐出ヘッド。 - 請求項3に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記端子と前記リード電極とは、前記平面視で前記第1仮想線と重なる位置で接続されている、液体吐出ヘッド。 - 液体吐出ヘッドであって、
液体を吐出するノズルと、
複数の圧力チャンバーと、各前記圧力チャンバーに対応して設けられた駆動素子と、前記駆動素子に電気信号を供給するための複数のリード電極と、を有するチャンバープレートと、
前記リード電極上で接続される端子を有する回路基板と、を備え、
前記複数の圧力チャンバーは、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーとを含み、
前記チャンバープレートは、
一の前記ノズルに共通して連通する第1圧力チャンバーおよび第2圧力チャンバーと、
前記駆動素子を構成する第1セグメント電極および第2セグメント電極であって、平面視で、前記第1圧力チャンバーと重なり前記第2圧力チャンバーとは重ならないように形成された第1セグメント電極と、平面視で前記第2圧力チャンバーと重なり前記第1圧力チャンバーとは重ならないように形成された第2セグメント電極と、を有し、
前記第1セグメント電極および前記第2セグメント電極は、共通する一の前記リード電極に接続されており、
前記第1圧力チャンバーと、前記第2圧力チャンバーと、前記一のノズルと、前記一のリード電極との組は複数備えられ、
各前記組に対応する複数の前記一のノズルは、第1軸方向に沿って並んで配置されてノズル列を構成し、
前記一のリード電極の前記第1軸方向の最大幅は、前記ノズル列のノズルピッチの50%以上80%以下である、液体吐出ヘッド。 - 請求項5に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第1圧力チャンバーと前記第2圧力チャンバーとは、前記第1軸方向に沿って並んで配置されている、液体吐出ヘッド。 - 請求項5に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第1圧力チャンバーと前記第2圧力チャンバーとは、前記第1軸方向と交差する第2軸方向に沿って並んで配置されている、液体吐出ヘッド。 - 液体吐出ヘッドであって、
液体を吐出するノズルと、
複数の圧力チャンバーと、各前記圧力チャンバーに対応して設けられた駆動素子と、前記駆動素子に電気信号を供給するための複数のリード電極と、を有するチャンバープレートと、
前記リード電極上で接続される端子を有する回路基板と、を備え、
前記複数の圧力チャンバーは、第1圧力チャンバーと第2圧力チャンバーとを含み、
前記チャンバープレートは、
一の前記ノズルに共通して連通する第1圧力チャンバーおよび第2圧力チャンバーと、
前記駆動素子を構成する第1セグメント電極および第2セグメント電極であって、平面視で、前記第1圧力チャンバーと重なり前記第2圧力チャンバーとは重ならないように形成された第1セグメント電極と、平面視で前記第2圧力チャンバーと重なり前記第1圧力チャンバーとは重ならないように形成された第2セグメント電極と、を有し、
前記第1セグメント電極および前記第2セグメント電極は、共通する一の前記リード電極に接続されており、
前記第1圧力チャンバーと、前記第2圧力チャンバーと、前記一のノズルと、前記一のリード電極との組は複数備えられ、
各前記組に対応する複数の前記一のノズルは、第1軸方向に沿って並んで配置されてノズル列を構成し、
前記一のノズルには、前記第1圧力チャンバーおよび前記第2圧力チャンバー以外の圧力チャンバーは連通しておらず、
前記第1圧力チャンバーと前記第2圧力チャンバーとは、前記第1軸方向から見て重なるようにして前記第1軸方向に沿って並んで配置されている、液体吐出ヘッド。 - 請求項1から請求項8までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、さらに、
前記複数の圧力チャンバーに共通して連通する第1リザーバおよび第2リザーバを備え、
前記第1圧力チャンバーと前記第1リザーバとは接続され、前記第2圧力チャンバーと前記第2リザーバとは接続される、液体吐出ヘッド。 - 請求項9に記載の液体吐出ヘッドであって、さらに、
前記第1圧力チャンバーおよび前記第2圧力チャンバーと、前記一のノズルとを連通させる連通流路を有し、
前記第1リザーバは、前記連通流路へと前記液体を供給する供給リザーバであり、
前記第2リザーバは、前記連通流路から前記液体を回収する回収リザーバである、液体吐出ヘッド。 - 請求項1から請求項10までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第1圧力チャンバーと前記第2圧力チャンバーは、隔壁によって隔てられている、液体吐出ヘッド。 - 請求項1から請求項11までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
複数の前記駆動素子は、前記第1圧力チャンバーの液圧を可変させ、前記第2圧力チャンバーの液圧を可変させない第1駆動素子と、前記第2圧力チャンバーの液圧を可変させ、前記第1圧力チャンバーの液圧を可変させない第2駆動素子と、を含む、液体吐出ヘッド。 - 請求項1から請求項12までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
第1リザーバに液体を供給すると共に第2リザーバから前記液体を回収する機構と、を備える、液体吐出装置。 - 請求項1から請求項12までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドから吐出された液体を受ける媒体を前記液体吐出ヘッドに対して相対的に移動させる機構と、を備える、液体吐出装置。
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