CN104221137B - 基板搬送装置、曝光装置、基板支持装置及元件制造方法 - Google Patents

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Abstract

一种基板搬送装置(7)，是将载置于基板支持构件(T)的基板(P)与该基板支持构件一起搬送，其特征在于具备：使载置有前述基板的前述基板支持构件振动的加振部(V)；保持前述加振部使振动的前述基板支持构件并移动的搬送部(4)。

Description

基板搬送装置、曝光装置、基板支持装置及元件制造方法
本申请是基于2009年10月28日提出申请的美国临时申请第61/272745号主张优先权并将其内容在此引用。
技术领域
本发明是关于一种基板搬送装置、曝光装置、基板支持装置、及元件制造方法。
背景技术
在平板显示器等的电子元件的工艺中，使用曝光装置或检查装置等大型基板的处理装置。在使用此等处理装置的曝光步骤、检查步骤，使用将大型基板(例如玻璃基板)搬送至处理装置的下述专利文献所揭示的搬送装置。
专利文献1：日本特开2001-100169号公报。
发明内容
然而，在上述的大型基板的搬送装置，在将搬出入部所保持的基板交接至基板支持装置时，基板与基板支持装置分别受到支持。因此，依基板的支持方法会有使基板因本身重量而向下方弯曲的情形。若将因本身重量而呈弯曲状态的基板交接至基板支持装置，则基板的向下方弯曲的部分会与基板支持装置接触，由于接触部分的摩擦，在基板支持装置上基板会维持弯曲状态。
例如在曝光装置，若将呈如上述变形状态的基板交接至曝光用的基板保持具，则会产生无法在基板上的适当位置进行既定曝光等的曝光不良的问题。又，在载置于基板支持装置的基板产生弯曲的情形，为了解决上述情形而重新进行交接，因此会产生基板的处理延迟的问题。
本发明的形态的目的在于提供一种可解决在基板交接时产生的基板的弯曲的基板搬送装置、曝光装置、基板支持装置、及元件制造方法。
依本发明第1形态，提供一种基板搬送装置，是将载置于基板支持构件的基板与该基板支持构件一起搬送，其特征在于具备：使载置有前述基板的前述基板支持构件振动的加振部；保持前述加振部使振动的前述基板支持构件并移动的搬送部。
依本发明第2形态，提供一种曝光装置，对基板保持具保持的基板照射曝光用光而使前述基板曝光，其特征在于：具备对前述基板保持具搬送前述基板的上述的基板搬送装置。
依本发明第3形态，提供一种基板支持装置，支持基板，其特征在于具有：载置前述基板的载置部；设于前述载置部且使前述载置部振动的振动产生部。
依本发明第4形态，提供一种元件制造方法，包含：使用上述的曝光装置使该基板曝光的动作；以及基于曝光结果处理曝光后的前述基板的动作。
根据本发明的形态，可解决在基板交接时产生的基板的弯曲。
附图说明
图1显示曝光装置的整体概略的剖面俯视图。
图2搬送机器手的外观立体图。
图3用以说明搬送机器手的动作的立体图。
图4显示搬出入部的概略构成的侧视图。
图5显示托盘的平面构造的俯视图。
图6显示托盘收容于基板保持具的槽部的状态的部分侧剖面图。
图7A显示第1实施形态的拖盘及搬送手的概略构成的剖面图。
图7B显示第1实施形态的拖盘及搬送手的概略构成的剖面图。
图8A显示第1实施形态的拖盘及搬出入部的概略构成的剖面图。
图8B显示第1实施形态的拖盘及搬出入部的概略构成的剖面图。
图9是以颜色的浓淡显示基板的弯曲的俯视图。
图10说明现有习知的曝光装置的基板交接步骤的示意图。
图11说明现有习知的曝光装置的基板交接步骤的示意图。
图12说明本实施形态的曝光装置的基板交接步骤的示意图。
图13说明本实施形态的曝光装置的基板交接步骤的示意图。
图14显示第2实施形态的拖盘及搬送手的概略构成的剖面图。
图15显示第2实施形态的拖盘及搬出入部的概略构成的剖面图。
图16A显示第3实施形态的拖盘及搬送手的概略构成的剖面图。
图16B显示第3实施形态的拖盘及搬送手的概略构成的剖面图。
图17A显示第3实施形态的拖盘及搬出入部的概略构成的剖面图。
图17B显示第3实施形态的拖盘及搬出入部的概略构成的剖面图。
图18说明本发明实施形态的元件制造方法的流程图。
【主要元件符号说明】
1：曝光装置
3：曝光装置本体
4、4a、4b：搬送机器手(搬送部)
5、5a、5b：搬出入部(出入口部)
7、7a、7b：基板搬送装置
9：基板保持具
12：搬送手
16、17：抵接部
18：侧部
20：载置部
20a：上面(基板支持面)
30：槽部
31：保持部(保持具部)
52b：拖盘支持销(支持部)
52c、52e：抵接部
61：手致动器(致动器、振动产生部)
62：手控制部(控制部、振动产生部)
71：支持部致动器(致动器、振动产生部)
72：支持部控制部(控制部、振动产生部)
EH、EH2：手侧供电部(供电部)
EP、EP2：支持部侧供电部(供电部)
ET：拖盘侧供电部(供电部)
IL：曝光用光
P：基板
T、T1、T2：拖盘(基板支持构件、基板支持装置)
V、V1、V2：加振部
VA、VA1、VA2：振动致动器(振动产生部)
具体实施方式
参阅图式说明本发明的第1实施形态。又，本发明并不限于此。以下，针对具备本发明的基板搬送装置、对涂布有感光剂的基板进行使液晶显示元件用图案曝光的曝光处理的曝光装置进行说明，且针对本发明的基板支持装置、及元件制造方法的一实施形态也进行说明。
图1显示本实施形态的曝光装置的概略构成的剖面俯视图。曝光装置1具备使液晶显示元件用图案曝光于基板的曝光装置本体3、搬送机器手(搬送部)4、搬出入部(出入口部)5、及具有不图示的加振部的基板搬送装置7，所述收纳于被高度洁净化、且调整至既定温度的腔室2内。关于基板搬送装置7的加振部，往后使用图面详细说明。本实施形态中，基板是大型玻璃板，其一边的尺寸为例如500mm以上。
图2是曝光装置本体3、及将基板P搬送至此曝光装置本体3的搬送机器手4的外观立体图。曝光装置本体3具备以曝光用光IL照明光罩M的未图标的照明系统、保持形成有液晶显示元件用图案的光罩M的未图示的光罩载台、配置于此光罩载台下方的投影光学系统PL、设成可在配置于投影光学系统PL下方的基座8上二维移动的基板保持具9、及保持基板保持具9且使该基板保持具9移动的移动机构33。亦即，曝光装置本体3，设有具备基板保持具9与移动机构33的载台装置。
此外，以下说明中，设基板保持具9相对基座8的二维移动是在水平面内进行，在此水平面内彼此正交的方向设定X轴及Y轴。基板保持具9对基板P的保持面，在基准状态(例如，进行基板P的交接时的状态)下设与水平面平行。又，在与X轴及Y轴正交的方向设定Z轴，投影光学系统PL的光轴设与Z轴平行。此外，将绕X轴、Y轴及Z轴的各方向分别称为θX方向、θY方向及θZ方向。
移动机构33具有移动机构本体35，及配置于移动机构本体35上、保持基板保持具9的板台34。移动机构本体35是借由气体轴承以非接触方式支持于导引面8a(基座8的上面)，可在导引面8a上移动于XY方向。曝光装置本体3，在保持基板P的状态下，在光射出侧(投影光学系统PL的像面侧)，可在导引面8a的既定区域内移动。
移动机构本体35是借由包含例如线性马达等致动器的粗动系统(移动机构)的动作，可在导引面8a上移动于XY平面内。板台34是借由包含例如音圈马达等致动器的微动系统的动作，可相对移动机构本体35在Z轴、θX、θY方向移动。板台34是借由包含粗动系统及微动系统的基板载台驱动系统的动作，在保持基板P的状态下，可在X轴、Y轴、Z轴、θX、θY、及θZ方向的六个方向移动。
搬送机器手4是用以对曝光装置本体3及搬出入部5搬送基板P者。搬送机器手4保持支持载置的基板P的后述的托盘(基板支持构件、基板支持装置)T，使基板P与托盘T一起移动以搬送基板P，对曝光装置本体3及搬出入部5交接基板P。
曝光装置1，在长方形基板P载置于上述基板保持具9上的状态下，进行步进扫描方式的曝光，形成光罩M的图案依序转印至基板P上的多个、例如4个曝光区域(图案转印区域)。亦即，在此曝光装置1，进行下述扫描曝光，亦即借由来自照明系统的曝光用光IL照明光罩M上的狭缝状的照明区域的状态下，借由未图示的控制器通过未图标的驱动系统，使保持光罩M的光罩载台与保持基板P的基板保持具9同步移动于既定扫描方向(此处设为Y轴方向)，借此将光罩M的图案转印至基板P上的1个曝光区域，亦即，进行扫描曝光。此外，本实施形态的曝光装置1构成投影光学系统PL具有多个投影光学模块、上述照明系统包含与多个投影光学模块对应的多个照明模块的所谓多透镜型扫描曝光装置。
在此1个曝光区域的扫描曝光结束后，进行使基板保持具9以既定量在X方向移动至下一个曝光区域的扫描开始位置的步进动作。接着，在曝光装置本体3，借由反复进行此种扫描曝光与步进动作，将光罩M的图案依序转印至4个曝光区域。
如图2所示，搬送机器手4具有例如水平关节型构造者，具备由通过垂直关节轴连结的多个部分构成的臂部10、连结于此臂部10前端的搬送手12、及驱动装置13。臂部10可借由驱动装置13例如在上下方向(Z轴方向)移动。驱动装置13是借由未图标的控制装置控制其驱动。
搬送手12，前端部设成开放的大致U型的形状，将托盘T的长边方向(基板P的长边方向)的两侧部18、18支持于与托盘T的长边平行的支持方向，借此可通过托盘T保持基板P。此外，搬送手12具备对设于托盘T的不图示的振动致动器(振动产生部)供给电力的不图示的供电部。关于振动致动器及供电部，往后使用图面详细说明。
图3用以说明搬送机器手4的动作的立体图。如图2及图3所示，搬送机器手4能以使搬送手12的长边方向(基板P的长边方向)朝向曝光装置本体3的基板保持具9侧的方式改变搬送手12的方向。借此，搬送机器手4将基板P交接至基板保持具9。
此外，此搬送机器手4，在图2及图3为了方便起见并未图示，但具备设于搬送手12下方、具有与此搬送手12相同的机构且可独立驱动的搬送手的双臂构造。又，搬送机器手4并不限于水平关节型构造的机器手，可适当采用公知的机器手(一般而言为搬送机构)或组合来实现。
图4显示搬出入部5的概略构成的侧视图。搬出入部5被交接在与曝光装置1相邻配置的涂布显影机(未图示)涂布感光剂并搬送而来的基板P。搬出入部5具备支持基板P的基板支持部51、及支持托盘T的托盘支持部52。基板支持部51具备平板状的第1支持部51a、及竖设于此第1支持部51a上并分别支持基板P下面的不同部位的多个基板支持销(支持销)51b。本实施形态中，基板支持销51b设置例如30个。
各基板支持销51b设成下端部固定于第1支持部51a、上端部(上端面)可支持基板P。在基板支持销51b的上端面设有连接于未图示的真空泵的吸附孔，可吸附保持基板P。又，在基板支持销51b的上端部设有检测基板P是否载置于基板支持销51b的未图示的基板检测部。
基板支持部51是通过连结构件53连接于驱动部54。驱动部54例如借由包含粗动系统及微动系统的驱动系统的动作，在基座部55上可移动于XY平面及θZ方向。借此，搬出入部5可进行支持于基板支持销51b的基板P的X方向及Y方向的位置修正、或使基板P在θZ方向旋转90度。
托盘支持部52具备框状的第2支持部52a、及竖设于此第2支持部52a上并分别支持托盘T下面的不同部位的多个托盘支持销(第2支持销)52b。此外，托盘支持部52具备对托盘T具备的不图示的振动致动器(振动产生部)供给电力的不图示的供电部。关于振动致动器及供电部，往后使用图面详细说明。
各托盘支持销52b设成下端部固定于第2支持部52a、上端部可支持托盘T。托盘支持销52b配置在较基板支持部51的第1支持部51a外侧。又，在托盘支持销52b的上端部设有检测托盘T是否载置于托盘支持销52b的未图示的托盘检测部。
托盘支持部52设成借由未图标的驱动部的动作可沿着导引部56移动于Z轴方向。导引部56设在基板支持部51的驱动部54及基座部55的外侧。又，基板支持部51的第1支持部51a、连结构件53及驱动部54配置于框状的第2支持部52a的内侧。借此，托盘支持部52能与基板支持部51的第1支持部51a、连结构件53及驱动部54不产生干涉地在Z轴方向移动。
又，托盘支持部52，借由往Z轴正方向上升，能使支持于托盘支持销52b的托盘T往Z轴正方向上升，使支持于基板支持部51的基板支持销51b上的基板P载置于托盘T。又，托盘支持部52，将借由托盘支持销52b支持的载置有基板P的托盘T交接至搬送机器手4的搬送手12。
接着，详细说明托盘T的构造。图5显示托盘T的平面构造的俯视图。如图5所示，托盘T具备借由在纵横以既定间隔交织的多个条线状构件19形成格子状的载置部20。亦即，载置部20的未配置线状构件19的部分成为矩形的开口部21。托盘T在载置部20的两侧部18、18之间的既定位置载置基板P，从下方支持基板P。又，托盘T的形状并不限于图5所示的形状，为例如仅形成一个开口部21的仅支持基板P的周缘部的框状的单一框架亦可。
基板P配置成长边与载置部20的两侧部18、18平行。托盘T在于载置部20载置基板P的状态下，两侧部18、18被搬送机器手4的搬送手12从下方支持(参阅图2及图3)。亦即，本实施形态的搬送机器手4借由保持托盘T并使移动，通过托盘T支持基板P且将基板P搬送至既定位置。
托盘T，载置部20的下面是借由图4所示的搬出入部5的托盘支持部52的多个托盘支持销52b支持。又，托盘T，如图4所示，在借由托盘支持销52b支持载置部20的下面的状态下，使基板支持部51的多个基板支持销51b插通于图5所示的多个开口部21。
此外，作为托盘T的形成材料，较佳为使用在托盘T支持基板P时可抑制基板P的本身重量导致的弯曲的材料，例如可使用各种合成树脂或金属。具体而言，可举出尼龙、聚丙烯、AS(丙烯腈-苯乙烯共聚物)树脂、ABS(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)树脂、聚碳酸酯、纤维强化塑料、不锈钢等。作为纤维强化塑料，可举出GFRP(Glass Fiber ReinforcedPlastic：玻璃纤维强化热硬化性塑料)或CFRP(Carbon Fiber Reinforced Plastic：碳纤维强化热硬化性塑料)。又，交织成格子状的线状构件19，使用引线等柔软性优异的构件形成亦可。
此处，如图2所示，在基板保持具9的上面形成有保持托盘T的槽部30。槽部30是与托盘T的框架构造对应设成格子状。又，借由在基板保持具9的上面形成槽部30，岛状设置多个基板P的保持部(保持具部)31。保持部31具有与托盘T的开口部21对应的尺寸。
保持部31的上面加工成基板保持具9对基板P的实质保持面具有良好平面度。再者，在保持部31的上面设置多个用以使基板P仿效此面密合的吸引孔K(参阅图2)。各吸引孔K连接于未图示的真空泵。
图6显示托盘T收容于基板保持具9的槽部30的状态的部分侧剖面图。如图6所示，托盘T的厚度小于槽部30的深度。借此，托盘T插入陷入槽部30内，成为保持部31从开口部21突出的状态，仅载置于托盘T上的基板P交接至保持部31。
在托盘T的载置部20的下面侧的四角形成圆锥状的凹部41，在槽部30内与各凹部41对应的位置设有卡合于凹部41的球状凸部42。托盘T，在载置部20插入至槽部30时，借由基板保持具9的凸部42卡合于载置部20的凹部41内，可防止收容于槽部30的托盘T的位置偏移。
以下，针对本实施形态的基板搬送装置7的加振部、振动产生部及供电部，使用图7及图8详细说明。
图7显示本实施形态的搬送手12及拖盘T的概略构成的图，(a)是对应于沿图2的A-A’线的剖面的示意剖面图，(b)是(a)的α部的扩大图。图8说明本实施形态的托盘支持部52及拖盘T的概略构成的图，(a)是对应于沿图4的B-B’线的剖面的示意剖面图，(b)是(a)的β部的扩大图。
如图7(a)及7(b)所示，本实施形态的基板搬送装置7具备使拖盘T振动的加振部V。加振部V具有设于拖盘T的振动致动器(振动产生部)VA、设于拖盘T的拖盘侧供电部(供电部)ET、设于搬送手12的手侧供电部(供电部)EH。此外，加振部V是如图8(a)及8(b)所示，具有设于搬出入部5的拖盘支持部52的支持部侧供电部(供电部)EP。
振动致动器VA埋入构成载置部20的线状构件19而配置于载置部20的内部，对载置部20固定。做为振动致动器VA，可使用例如借由使偏心分铜旋转来使振动产生的振动马达或具备对应于施加的电压变形的压电元件的超音波马达等。在本实施形态虽是针对具备多个振动致动器VA的构成说明，但随条件不同，振动致动器VA为1个亦可。
另外，振动致动器VA只要是可固定于载置部20，使载置部20以所欲的振动频率振动者，并不限定于上述的振动马达或超音波马达。此外，振动致动器VA并不一定要埋入载置部20的内部，亦可固定于线状构件19的下面或侧面。此外，振动致动器VA配置于载置部20的欲给予振动的位置的附近更有效。
振动致动器VA是借由对端子部VAT施加既定的电压来驱动，使拖盘T的载置部20以既定的振动频率振动。在此，振动致动器VA的振动的频率是对应于载置部20的振动的频率设定。载置部20的振动的频率设定为载置于载置部20的基板P的下面与载置部20的上面(基板支持面)20a因振动的作用而产生滑动的高频。
手侧供电部EH是由设于搬送机器手4的电源部(图示略)、手侧配线14、手侧端子部15构成。手侧配线14是借由一端侧连接于手侧端子部15而另一端侧连接于搬送机器手4的不图示的电源部来将手侧端子部15与电源部电气连接。
手侧端子部15是对应于配置于拖盘T的下面的拖盘侧端子部22露出形成于搬送手12的上面。手侧端子部15是在搬送手12对拖盘T定位而保持拖盘T时与露出形成于拖盘T的下面的拖盘侧端子部22接触来与拖盘侧端子部22电气连接。
此外，手侧端子部15设为可弹性变形，在搬送手12保持拖盘T时，借由与设于拖盘T的拖盘侧端子部22接触并往搬送手12侧弹性变形而对拖盘侧端子部22弹压。借此，手侧端子部15在按压状态下对拖盘侧端子部22接触，确保与拖盘侧端子部22的电气连接。
拖盘侧供电部ET是由设于拖盘T的拖盘侧配线23、拖盘侧端子部22构成。
拖盘侧配线23是借由一端侧连接于振动致动器VA的端子部VAT而另一端侧连接于拖盘侧端子部22来将露出于拖盘T的下面的拖盘侧端子部22与配置于载置部20内部的振动致动器VA的端子部VAT电气连接。
拖盘侧端子部22是对应于配置于搬送手12的上面的手侧端子部15露出形成于载置部20的下面。拖盘侧端子部22是在搬送手12对拖盘T定位而保持拖盘T时与露出形成于搬送手12的上面的手侧端子部15接触来与手侧端子部15电气连接。
此外，拖盘侧端子部22设为可弹性变形，在搬送手12保持拖盘T时，借由与设于搬送手12的手侧端子部15接触并往拖盘T侧弹性变形而对手侧端子部15弹压。借此，拖盘侧端子部22在按压状态下对手侧端子部15接触，确保与手侧端子部15的电气连接。
借由以上的构成，手侧供电部EH及拖盘侧供电部ET在手侧端子部15与拖盘侧端子部22电气连接时，可将连接于手侧配线14的另一端的不图示的电源部所供给的电力通过手侧配线14及拖盘侧配线23对做为振动产生部的振动致动器VA供给。
此外，在搬送手12的上面设有支持拖盘T的载置部20的下面的多个抵接部16。抵接部16配置于不与设于拖盘T的振动致动器VA在俯视重叠的位置。换言之，振动致动器VA是在拖盘T对搬送手12定位保持的状态下，在沿拖盘T的方向配置于2个抵接部16与抵接部16之间。在此，振动致动器VA配置于在由抵接部16支持的拖盘T的载置部20振动时线状构件19的振动的腹点的位置较理想。
如图8(a)及8(b)所示，支持部侧供电部EP是由设于搬出入部5的电源部(图示略)、支持部侧配线57、支持部侧端子部58构成。支持部侧配线57是借由一端侧连接于支持部侧端子部58而另一端侧连接于搬出入部5的不图示的电源部来将支持部侧端子部58与电源部电气连接。
支持部侧端子部58是对应于配置于拖盘T的下面的拖盘侧端子部22露出形成于托盘支持销52b的上端部。支持部侧端子部58是在拖盘T对托盘支持销52b定位保持时与露出形成于拖盘T的下面的拖盘侧端子部22接触来与拖盘侧端子部22电气连接。
此外，支持部侧端子部58设为可弹性变形，在托盘支持销52b支持拖盘T时，借由与设于拖盘T的拖盘侧端子部22接触并往拖盘支持部52侧弹性变形而对拖盘侧端子部22弹压。借此，支持部侧端子部58在按压状态下对拖盘侧端子部22接触，确保与拖盘侧端子部22的电气连接。
借由以上的构成，支持部侧供电部EP在支持部侧端子部58与拖盘侧端子部22电气连接时，可将连接于支持部侧配线57的另一端的不图示的电源部所供给的电力通过支持部侧配线57及拖盘侧配线23对做为振动产生部的振动致动器VA供给。
此外，在托盘支持销52b的上面设有支持拖盘T的载置部20的下面的多个抵接部52c。托盘支持销52b配置为不与设于拖盘T的振动致动器VA在俯视重叠。亦即，振动致动器VA是在拖盘T对托盘支持销52b定位而以托盘支持销52b支持时，在沿拖盘T的方向配置于2个抵接部52c与抵接部52c之间。在此，振动致动器VA配置于在由抵接部52c支持的拖盘T的载置部20振动时线状构件19的振动的腹点的位置较理想。
图9是以颜色的浓淡显示借由图4所示的基板支持销51b支持的基板P的弯曲的俯视图。图中，颜色愈表示基板P愈向下方(图4中的Z轴负方向)弯曲。如图9所示，基板P是借由5×6个配置成数组状的合计30支基板支持销51b支持下面侧。因此，从基板支持销51b离开的基板P的中央部或外缘部因基板P的本身重量成为向下方弯曲的状态。又，沿着基板P长边的部分成为最向下方弯曲的状态，接着沿着短边的部分及与短边平行的中央部分成为向下方弯曲的状态。
接着，说明曝光装置1的动作。具体而言，针对借由搬送机器手4将基板P搬入及搬出的方法进行说明。此处，针对将基板P载置至托盘T，将载置于此托盘T的基板P搬入、搬出曝光装置本体3的步骤进行说明。
涂布有感光剂的基板P是从涂布显影机搬送至图1所示的搬出入部5，定位载置于图4所示的基板支持部51的基板支持销51b上的既定位置，吸附保持于基板支持销51b的上面。如上述，借由多个基板支持销51b支持的基板P，如图9所示，成为未由基板支持销51b支持的部分向下方弯曲的状态。
在基板P吸附保持于基板支持销51b的上面后，基板支持部51，在将基板P吸附保持于基板支持销51b的上面的状态下，使驱动部54动作，使基板P对准于托盘T。基板P与托盘T的对准结束后，搬出入部5使托盘支持部52沿着导引部56上升，以使托盘支持销52b上的托盘T上升。借此，基板P在定位的状态下载置于托盘T的载置部20上。
此时，在现有习知的曝光装置，将弯曲状态的基板载置于托盘时，具有以下的问题。图10(a)～图10(c)说明从现有习知的曝光装置的搬出入部500至现有习知的托盘T0的基板P0的交接步骤的示意图。
如图10(a)所示，借由多个基板支持销510b支持的基板P0，成为未由基板支持销510b支持的部分向下方弯曲的状态。在此状态下，使托盘支持部520上升，以使由托盘支持销520b支持的托盘T0上升。
于是，如图10(b)所示，基板P0载置于托盘T0上，将基板P0从搬出入部500的基板支持销510b交接至托盘T0。此时，基板P0从向下方弯曲的部分与托盘T0接触，因该部分与托盘T0的摩擦，基板P在托盘T0上无法扩展，维持波浪般弯曲的状态。接着，使配置于托盘T0下方的搬送机器手400的搬送手1200上升。
于是，如图10(c)所示，托盘T 0的两侧部是借由搬送手1200保持，托盘T0在载置基板P0的状态下往托盘支持销520b的上方被举起。托盘T0两侧部被支持，因基板P0与托盘T0的本身重量，借由搬送手1200支持的两侧部的中间部成为向下方弯曲的状态。因此，基板P0成为中央部成为下凸的弯曲状态，朝向中央部压缩的应力作用且从上方观察的基板P0的平面积变小。
之后，使搬送手1200移动，将载置基板P0的托盘T0朝向图11所示的基板保持具900的上方搬送。
图11说明从现有习知的托盘T0将基板P0交接至现有习知的曝光装置的基板保持具900的步骤的示意图。
如图11(a)所示，借由搬送手1200将基板P0往基板保持具900的上方搬送后，使搬送手1200下降。于是，如图11(b)所示，托盘T0收容于基板保持具900的槽部300，基板P0载置于基板保持具900上。此时，基板P0从最往下方弯曲的部分与基板保持具900接触。
如图11(c)所示，进一步使搬送手1200下降后，基板P0载置于基板保持具900，基板P0从托盘T0交接至基板保持具900。又，托盘T0与基板保持具900的槽部300的底部抵接，托盘T0从搬送手1200交接至基板保持具900的槽部300。此时，由于基板保持具900与基板P0的摩擦，基板P0的弯曲状态的形状无法完全回复，基板P0的平面积较完全平坦的情形缩小。如上述，在现有习知的曝光装置，基板P0在基板保持具900上成为弯曲状态，会有产生无法在基板上的适当位置进行既定曝光等曝光不良问题的情形。
另一方面，本实施形态的曝光装置1，为了解决上述现有习知的曝光装置的问题，使用上述基板搬送装置7。以下，说明曝光装置1的动作与本实施形态的基板搬送装置7的作用。
图12(a)、(b)、及(c)说明从本实施形态的曝光装置1的搬出入部5至托盘T的基板P的交接步骤的示意图。
如图12(a)所示，借由多个基板支持销51b支持的基板P，成为未由基板支持销51b支持的部分向下方弯曲的状态。
此外，拖盘T是以托盘支持销52b支持，如图8(a)及8(b)所示，设于拖盘T的下面的拖盘侧端子部22与设于托盘支持销52b的前端部的支持部侧端子部58接触而电气连接。亦即，支持部侧供电部EP是借由不图示的电源部供给电力，成为可对设于拖盘T的振动致动器VA的端子部VAT供电的状态。在此状态下，使托盘支持部52上升，以使由托盘支持销52b支持的托盘T上升。
于是，如图12(b)所示，基板P载置于托盘T上，将基板P从搬出入部5的基板支持销51b交接至托盘T。此时，搬出入部5是以支持部侧供电部EP的不图示的电源部对振动致动器VA的端子部VAT供给电力，使振动致动器VA以既定的频率振动。振动致动器VA以既定的频率振动后，固定有振动致动器VA的拖盘T的载置部20以既定的频率振动。
在此，振动致动器VA的振动的频率是对应于载置部20的振动的频率设定。载置部20的振动的频率设定为载置于载置部20的基板P的下面与载置部20的上面(基板支持面)20a因振动的作用而产生滑动的高频。因此，载置部20以既定的频率振动后，载置部20的上面20a与基板P的下面成为重复部分且瞬间分离与接触的状态，成为载置部20的上面20a与基板P的下面之间的摩擦力降低的状态。
借此，如图12(a)所示弯曲为在面方向压缩而在平面积变小的状态下载置于载置部20的基板P的应力开放，如图12(b)所示，基板P的外缘部以从基板P的中央部往外侧扩张的方式移动。借此，基板P以平坦的状态载置于拖盘T。
此时，如图8所示，托盘支持销52b配置于不与设于拖盘T的振动致动器VA俯视地重叠的位置。因此，可使托盘支持销52b间的线状构件19更容易振动，可使载置部20效率良好地振动。另外，在将振动致动器VA配置于线状构件19的振动的腹点的部分场合可使线状构件19的振动增幅，使载置部20效率更好且有效地振动。
其次，在将基板P调整为实施曝光处理的温度后，使配置于托盘T下方的搬送机器手4的搬送手12上升。
于是，如图12(c)所示，托盘T的两侧部18、18(参阅图2及图5)是借由搬送手12保持，在托盘T载置基板P的状态下往托盘支持销52b的上方被举起。托盘T两侧部18、18被支持，因基板P与托盘T的本身重量，借由搬送手12支持的两侧部18、18之间成为向下方弯曲的状态。
此时，如图7(a)及7(b)所示，设于搬送手12的上面的手侧端子部15与设于拖盘T的下面的拖盘侧端子部22接触而电气连接。亦即，手侧供电部EH是借由不图示的电源部供给电力，成为可对设于拖盘T的振动致动器VA的端子部VAT供电的状态。
在此，搬送机器手4是在以搬送手12支持托盘T两侧部18、18往上方举起时，借由手侧供电部EH的不图示的电源部对振动致动器VA的端子部VAT供给电力，使振动致动器VA以既定的频率振动。振动致动器VA以既定的频率振动后，固定有振动致动器VA的拖盘T的载置部20以既定的频率振动。
在此，振动致动器VA的振动的频率是对应于载置部20的振动的频率设定。此外，载置部20的振动的频率设定为载置于载置部20的基板P的下面与载置部20的上面(基板支持面)20a因振动的作用而产生滑动的高频。因此，载置部20以既定的频率振动后，载置部20的上面20a与基板P的下面成为重复部分且瞬间分离与接触的状态，成为载置部20的上面20a与基板P的下面之间的摩擦力降低的状态。
借此，如图12(c)所示，基板P的下面与拖盘T的载置部20的上面20a以开放基板P的应力的方式滑动，可防止基板P弯曲成为波浪般的状态。又，可缓和使基板P朝向中央部压缩的应力。
接着，如图3所示，搬送机器手4改变搬送手12的方向以使搬送手12的长边方向(基板P的长边方向)朝向曝光装置本体3的基板保持具9侧。之后，使搬送手12移动，将载置有基板P的托盘T朝向图13所示的基板保持具9上方搬送。此时，可继续手侧供电部EH对振动致动器VA的电力供给，使托盘T的载置部20的振动继续，或暂时中断对振动致动器VA的电力供给，使托盘T的载置部20的振动中断亦可。
此外，搬送手12以基板P表面与基板保持具9的保持部31成为大致平行的方式搬送基板P。此处，大致平行意指排除因本身重量导致的基板P的弯曲时平行或接近平行的状态。具体而言，搬送手12以搬送手12保持基板P的被保持部分与保持部31的基板载置面成为大致平行的方式搬送基板P。借此，即使为于拖盘T的搬送时使载置部20的振动继续的场合，亦可防止基板P或拖盘T的位置偏移。
图13说明从托盘T将基板P交接至曝光装置1的基板保持具9的步骤的示意图。
搬送机器手4，如图13(a)所示，借由搬送手12将基板P向基板保持具9上方搬送，进行托盘T与槽部30的对准后，使图2所示的驱动装置13驱动以使搬送手12下降。于是，如图13(b)所示，托盘T收容于基板保持具9的槽部30，基板P载置于基板保持具9上。此时，基板P从最往下方弯曲的部分与基板保持具9的保持部31(参阅图3)接触。
在此，搬送机器手4是以手侧供电部EH对振动致动器VA供给电力使振动致动器VA振动，使拖盘T的载置部20以既定的振动频率振动。于是，成为载置部20的上面20a与基板P的下面之间的摩擦力降低的状态。之后，在基板P与基板保持具9的保持部31的接触面积逐渐增加时，基板P的下面与拖盘T的载置部20的上面20a滑动使基板P的应力开放，防止基板P的弯曲。
如图13(c)所示，进一步使搬送手12下降后，基板P载置于基板保持具9的保持部31，基板P从托盘T交接至基板保持具9。又，托盘T与基板保持具9的槽部30的底部抵接，托盘T从搬送手12交接至基板保持具9的槽部30。如上述，在本实施形态的曝光装置1，在基板P的交接时防止基板P的弯曲，基板P在基板保持具9上成为平坦状态。因此，可在基板P上的适当位置良好地进行既定曝光。
对基板保持具9的基板P的交接完成后，搬送机器手4使搬送手12从基板保持具9上退避。
在基板P载置至基板保持具9后，借由照明系统以曝光用光IL照明图2所示的光罩M。以曝光用光IL照明的光罩M的图案，是通过投影光学系统PL投影曝光于载置于基板保持具9的基板P。
在曝光装置1，如上述可将基板P良好地载置于基板保持具9上，因此可在基板P上的适当位置高精度进行既定曝光，可实现信赖性高的曝光处理。又，在曝光装置1，如上述可顺利进行对托盘T及基板保持具9的基板P的交接，因此可无延迟地进行对基板P的曝光处理。
接着，针对曝光处理结束后的从基板保持具9的基板P的搬出动作进行说明。此外，以下的说明中虽说明搬送手12进行基板P的搬出，但双手构造中的另一个搬送手进行搬出亦可。
曝光处理结束后，搬送机器手4驱动搬送手12，在载置于基板保持具9上的托盘T的下方将搬送手12从-Y方向侧插入至基板保持具9的X轴方向两侧。与此同时，借由未图标的控制装置解除真空泵的吸引，解除基板保持具9进行的基板P的吸附。
接着，搬送手12被驱动装置13往上方驱动既定量后，搬送手12分别抵接于托盘T的载置部20的两侧部18、18的下面。搬送手12进一步被往上方驱动后，载置于基板保持具9的保持部31的基板P交接至托盘T。此时，根据本实施形态，如上述可防止基板P的弯曲，因此在使托盘T往上方移动时，可在较以往平坦的状态下将基板P载置于托盘T的载置部20上。搬送手12进一步被往上方驱动后，支持基板P的托盘T往基板保持具9的上方被举起，载置部20从基板保持具9离开。
在托盘T被举起至此载置部20与基板保持具9离开的位置的时点，保持基板P的托盘T是借由搬送手12而从基板保持具9上退避。以此方式，完成对曝光装置本体3的基板P的搬出动作。
其次，针对本发明的第2实施形态，援用图1～图13，使用图14及图15说明。本实施形态的基板搬送装置7a振动产生部不设于拖盘(基板支持构件)T1而设于搬送机器手4a及搬出入部(出入口部)5a的方面与上述的第1实施形态的基板搬送装置7不同。其它方面与第1实施形态的基板搬送装置7相同，故对相同的部分赋予相同的符号而说明省略。
图14显示本实施形态的拖盘T1及搬送手12的概略构成的示意剖面图。
如图14所示，在不设有于图7(a)及7(b)显示的振动致动器VA及拖盘侧供电部ET方面与已于第1实施形态说明的拖盘T相异，其它方面则设为与拖盘T相同。
搬送机器手(搬送部)4a具备：保持拖盘T1的搬送手12、使搬送手12移动的手致动器(致动器、振动产生部)61、控制手致动器61的手控制部(控制部、振动产生部)62。手致动器61具有致动器本体61a、升降驱动部63、直动驱动部64。
升降驱动部63具备借由绕轴旋转来使搬送手12升降的进给螺杆63a、固定于致动器本体61a并使进给螺杆63a绕轴旋转的升降马达63b、固定于搬送手12的手支持部63c。在致动器本体61a沿使搬送手12升降的方向形成有滑槽61b。手支持部63c具有设为可与设于致动器本体61a的滑槽61b卡合并沿滑槽61b的延在方向滑动的卡合部63d。
升降驱动部63是借由以升降马达63b使进给螺杆63a绕轴旋转并使搬送手12与手支持部63c一起沿滑槽61b移动来使搬送手12在与拖盘T1的载置部20的上面20a交叉的方向，例如铅直方向(Z方向)移动。
直动驱动部64具有使致动器本体61a沿拖盘T1的载置部20的上面20a移动的线性马达64a、使致动器本体61a可滑动地卡合的直动导引部64b。线性马达64a及直动导引部64b沿载置部20的上面20a的搬送手12的移动方向设置。
直动驱动部64是借由使线性马达64a驱动并使致动器本体61a沿直动导引部64b移动来使通过手支持部63c与致动器本体61a连结的搬送手12在沿载置部20的上面20a的方向，例如水平方向(XY平面方向)移动。
手控制部62设为可对手致动器61的升降马达63b及线性马达64a分别传达既定的控制信号，设为可分别振动性控制升降马达63b及线性马达64a。在此，所谓振动性控制指使各马达产生既定的频率的振动，使搬送手12在各移动方向以既定的频率振动。
升降马达63b及线性马达64a的振动的频率是基于搬送手12的振动的频率设定。此外，搬送手12的振动的频率是基于搬送手12的振动传达至保持于搬送手12的拖盘T1而拖盘T1振动时的载置部20的振动的频率设定。载置部20的振动的频率设定为与在第1实施形态以振动致动器VA振动的拖盘T的载置部20的振动的频率相同。
在搬送手12的上面设有支持拖盘T1的载置部20的下面的多个抵接部17。本实施形态的抵接部17设为可将在搬送手12产生的振动效率良好地传达至拖盘T1。亦即，本实施形态的抵接部17也做为传达振动的振动传达构件发挥机能。
图15显示本实施形态的拖盘T1及搬出入部5a的概略构成的示意剖面图。
如图15所示，本实施形态的搬出入部5a的拖盘支持部52具有使拖盘支持部52升降的支持部致动器(致动器、振动产生部)71、控制支持部致动器71的支持部控制部(控制部、振动产生部)72。
支持部致动器71是如在上述第1实施形态已说明，设为可使拖盘支持部52沿于图4显示的导引部56在Z轴方向移动。支持部控制部72设为可对支持部致动器71传达既定的控制信号，设为可振动性控制支持部致动器71。在此，所谓振动性控制指使各致动器产生既定的频率的振动，使拖盘支持部52沿Z方向以既定的频率振动。
在本实施形态是上述的手致动器61及手控制部62、支持部致动器71及支持部控制部72分别构成使搬送手12及拖盘支持部52产生振动的振动产生部。此外，此等振动产生部构成基于供给电力使保持拖盘T1的搬送手12及托盘支持销52b分别产生振动的加振部V1。
此外，在托盘支持销52b的上面设有支持拖盘T1的载置部20的下面的多个抵接部52e。本实施形态的抵接部52e设为可将在拖盘支持部52产生的振动效率良好地传达至拖盘T1。亦即，本实施形态的抵接部52e也做为传达振动的振动传达构件发挥机能。
在如图12(a)～图12(b)所示使由基板支持销51b支持的基板P载置于拖盘T1的载置部20时，首先如图15所示使支持部致动器71动作。接着，如图12(a)所示，借由使拖盘支持部52上升，使以拖盘支持部52保持的拖盘T1上升。
其次，在如图12(b)所示使由基板支持销51b支持的基板P载置于拖盘T1的载置部20时，以在图15显示的支持部控制部72使支持部致动器71以既定的频率振动。于是，如图15所示，支持部致动器71的振动传达至拖盘支持部52，托盘支持销52b以既定的频率振动。
托盘支持销52b以既定的频率振动后，该振动通过抵接部52e传达至拖盘T1，与第1实施形态同样地，拖盘T1的载置部20以既定的频率振动。借此，与在图12(b)显示的第1实施形态同样地，除去基板P的弯曲，基板P变平坦。
此外，如图12(c)所示，在以搬送手12保持拖盘T1并举起时，以在图14显示的手控制部62使手致动器61的升降马达63b及线性马达64a以既定的频率振动。此时，可对应于基板P的状况，仅使升降马达63b振动，或仅使线性马达64a振动。
于是，升降马达63b及线性马达64a的振动传达至搬送手12，搬送手12以既定的振动频率在与拖盘T1的载置部20的上面20a交叉的方向及沿上面20a的方向振动。搬送手12以既定的频率振动后，搬送手12的振动通过抵接部17传达至拖盘T1，拖盘T1的载置部20以既定的振动频率在各方向振动。
于是，与在图12(c)显示的第1实施形态同样地，基板P的下面与拖盘T1的载置部20的上面20a滑动，基板P的应力开放，防止基板P的弯曲。另外，如图13(a)～图13(c)所示，在将载置于拖盘T1的基板P交接至基板保持具9时亦可与第1实施形态同样地防止基板P的弯曲。
如以上说明，利用本实施形态，不仅可获得与第1实施形态同样的效果，且无在拖盘T1设振动致动器VA或拖盘侧供电部ET的必要，故可使基板搬送装置7的构成简洁。
其次，针对本发明的第3实施形态，援用图1～图13，使用图16及图17说明。本实施形态的基板搬送装置7b振动产生部不设于拖盘(基板支持构件)T2而设于搬送机器手4b及搬出入部(出入口部)5b的方面与上述的第1实施形态的基板搬送装置7不同。其它方面与第1实施形态的基板搬送装置7相同，故对相同的部分赋予相同的符号而说明省略。
图16显示本实施形态的搬送手12及拖盘T2的概略构成的图，(a)是对应于沿图2的A-A’线的剖面的示意剖面图，(b)是(a)的α1部的扩大图。图17说明本实施形态的托盘支持部52及拖盘T2的概略构成的图，(a)是对应于沿图4的B-B’线的剖面的示意剖面图，(b)是(a)的β1部的扩大图。
如图16(a)及图16(b)所示，本实施形态的拖盘T2在不设有于图7(a)及7(b)显示的振动致动器VA及拖盘侧供电部ET方面与已在第1实施形态说明的拖盘T相异，其它方面则设为与拖盘T相同。
如图16(a)及图16(b)所示，本实施形态的基板搬送装置7b具备使搬送手12振动而使拖盘T2振动的加振部V2。加振部V2具有设于搬送手12的多个振动致动器(振动产生部)VA1、设于搬送手12的手侧供电部(供电部)EH2。此外，加振部V2是如图17(a)及17(b)所示，具有设于搬出入部5b的拖盘支持部52的振动致动器(振动产生部)VA2、支持部侧供电部(供电部)EP2。
如图16(a)及图16(b)所示，振动致动器VA1使用与第1实施形态的振动致动器VA同样者，埋入搬送手12的内部而固定于搬送手12。振动致动器VA1分别设于支持拖盘T2的载置部20的两侧部18、18的一对爪状的部分的双方。
手侧供电部EH2是由设于搬送机器手4b的电源部(图示略)、手侧配线14b构成。手侧配线14是借由一端侧连接于搬送机器手4b的不图示的电源部来将振动致动器VA1与端子部VAT1电气连接。
此外，在搬送手12的上面设有与上述的第2实施形态同样的多个抵接部17。在本实施形态，抵接部17设于振动致动器VA1的附近，配置为与振动致动器VA1平面地重叠。换言之，在本实施形态中，振动致动器VA1设于抵接部17的附近，配置于与抵接部17平面地重叠的位置。
如图17(a)及图17(b)所示，振动致动器VA2使用与第1实施形态的振动致动器VA同样者，埋入托盘支持销52b而固定于托盘支持销52b。支持部侧供电部EP2是由设于搬出入部5b的电源部(图示略)、支持部侧配线57b构成。支持部侧配线57b是借由一端侧连接于振动致动器VA2而另一端侧连接于搬出入部5b的不图示的电源部来将振动致动器VA2与电源部电气连接。
此外，在托盘支持销52b的上面设有与上述的第2实施形态同样的抵接部52e。在本实施形态，抵接部52e设于振动致动器VA2的附近，配置为与振动致动器VA2平面地重叠。换言之，在本实施形态中，振动致动器VA2设于抵接部52e的附近，配置于与抵接部52e平面地重叠的位置。
在本实施形态，在如图12(a)～图12(b)所示使由基板支持销51b支持的基板P载置于拖盘T2的载置部20时，如图17(a)及图17(b)所示，从支持部侧供电部EP2对振动致动器VA2供给电力，使振动致动器VA2以既定的频率振动。于是，如图17(b)所示，振动致动器VA2使托盘支持销52b以既定的频率振动。
托盘支持销52b以既定的频率振动后，该振动通过抵接部52e传达至拖盘T2，与第1实施形态及第2实施形态同样地，拖盘T2的载置部20以既定的振动频率振动。借此，与在图12(b)显示的第1实施形态同样地，除去基板P的弯曲，基板P变平坦。
在此，在本实施形态，振动致动器VA2设于抵接部52e的附近，配置于与抵接部52e平面地重叠的位置。因此，防止振动的减衰，可将在振动致动器VA2产生的振动能量效率良好地传达至拖盘T2与基板P。
此外，如图12(c)所示，在以搬送手12保持拖盘T2并举起时，以在图16(a)及图16(b)显示的手侧供电部EH2对振动致动器VA2供给电力，使振动致动器VA1以既定的频率振动。振动致动器VA1以既定的频率振动后，搬送手12以既定的频率振动。搬送手12以既定的频率振动后，搬送手12的振动通过抵接部17传达至拖盘T2，拖盘T2的载置部20以既定的振动频率振动。
于是，与在图12(c)显示的第1实施形态同样地，基板P的下面与拖盘T2的载置部20的上面20a滑动，基板P的应力开放，防止基板P的弯曲。另外，如图13(a)～图13(c)所示，在将载置于拖盘T2的基板P交接至基板保持具9时亦可与第1实施形态同样地防止基板P的弯曲。
在此，在本实施形态，如图16(a)及图16(b)所示，振动致动器VA1设于抵接部17的附近，配置于与抵接部17平面地重叠的位置。因此，防止振动的减衰，可将在振动致动器VA1产生的振动能量效率良好地传达至拖盘T2与基板P。
如以上说明，利用本实施形态，不仅可获得与第1实施形态同样的效果，且无在拖盘T2设振动致动器VA或拖盘侧供电部ET的必要，故可使基板搬送装置7的构成简洁。此外，与第2实施形态比较，搬送手12及拖盘支持部52的移动中亦可对拖盘T2继续给予一样的振动。
另外，在本实施形态虽已说明分别具备多个振动致动器VA1、VA2的构成，但此等只要在搬送手12及拖盘支持部52各设置少1个即可。
又，作为上述实施形态的基板P，不仅适用显示器元件用的玻璃基板，也适用于半导体元件制造用的半导体晶圆、薄膜磁头用的陶瓷晶圆、或曝光装置所使用的光罩或标线片的原版(合成石英、硅晶圆)等。
又，作为曝光装置，除了适用使光罩M与基板P同步移动以经由光罩M的图案的曝光用光IL使基板P扫描曝光的步进扫描方式的扫描型曝光装置(扫描步进器)外，亦可适用于在光罩M与基板P静止的状态下使光罩M的图案一次曝光、使基板P依序步进移动的步进重复方式的投影曝光装置(步进器)。
又，本发明亦可适用于美国专利第6341007号说明书、美国专利第6208407号说明书、美国专利第6262796号说明书等所揭示的具备多个基板载台的双载台型曝光装置。
又，本发明亦可适用于美国专利第6897963号说明书、欧洲专利申请公开第1713113号说明书等所揭示的具备保持基板的基板载台及不保持基板、载置形成有基准标记的基准构件及/或各种光电传感器的测量载台的曝光装置。又，可采用具备多个基板载台及测量载台的曝光装置。
此外，上述实施形态中，虽使用在光透射性基板上形成既定遮光图案(或相位图案、减光图案)的光透射型光罩，但替代此光罩，使用例如美国专利第6778257号说明书所揭示的根据待曝光图案的电子数据形成透射图案或反射图案、或发光图案的可变成形光罩(也称为电子光罩、主动光罩、或影像产生器)亦可。又，替代具备非发光型影像显示元件的可变成形光罩，具备包含自发光型影像显示元件的图案形成装置亦可。
上述实施形态的曝光装置，是以保持既定机械精度、电气精度、光学精度的方式组装包含本发明申请专利范围记载的各构成要素的各种子系统来制造。为了确保所述各种精度，在该组装前后对各种光学系统进行用以达成光学精度的调整，对各种机械系统进行用以达成机械精度的调整，对各种电气系统进行用以达成电气精度的调整。
从各种子系统至曝光装置的组装步骤，包含各种子系统相互的机械连接、电路的配线连接、气压回路的配管连接等。在从各种子系统至曝光装置的组装步骤之前，当然有各子系统个别的组装步骤。在各种子系统至曝光装置的组装步骤结束后，进行综合调整以确保曝光装置整体的各种精度。此外，曝光装置的制造以在温度及真空度等受到管理的无尘室进行为佳。
半导体元件等的微元件，如图18所示，是经由下述步骤制造，即进行微元件的功能/性能设计的步骤201、根据该设计步骤制作光罩(标线片)的步骤202、制造元件的基材即基板的步骤203、包含基板处理(曝光处理)(包含根据上述实施形态使用光罩的图案以曝光用光使基板曝光的动作、及使曝光后基板(感光剂)显影的动作)的基板处理步骤204、元件组装步骤(包含切割步骤、接合步骤、封装步骤等的加工程序)205、以及检查步骤206等。此外，在步骤204，包含借由使感光剂显影，形成与光罩的图案对应的曝光图案层(显影后感光剂的层)，通过该曝光图案层对基板加工的动作。
此外，上述实施形态的要件可适当加以组合。又，也有未使用一部分的构成要素的情形。又，在法律容许的范围内，援引在上述实施形态引用的关于曝光装置等的所有公开公报及美国专利的揭示作为本说明书记载的一部分。

Claims (19)

1.一种基板搬送装置，是将载置于基板支持构件的基板与该基板支持构件一起往基板保持具搬送，其特征在于具备：
设于前述基板支持构件，在前述基板载置于前述基板支持构件的状态下使前述基板支持构件振动的加振部；
以将前述位置已调整的前述基板从前述基板支持构件交接至前述基板保持具的方式，将载置有前述基板的前述基板支持构件往前述基板保持具驱动的搬送部。
2.如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述加振部包含设于前述基板支持构件并基于供给电力使前述基板支持构件产生振动的至少1个振动产生部。
3.如权利要求2所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述加振部包含对前述振动产生部进行电力供给的供电部，该供电部的至少一部分设于前述搬送部。
4.如权利要求2所述的基板搬送装置，其特征在于其中，具备：支持载置有前述基板的前述基板支持构件的出入口部；
前述加振部包含对前述振动产生部进行电力供给的供电部，该供电部的至少一部分设于前述出入口部；
前述搬送部保持支持于前述出入口部的前述基板支持构件并移动。
5.如权利要求4所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述出入口部具有分别支持前述基板支持构件的不同位置的多个支持部；
前述多个支持部配置于不与该多个支持部支持的前述基板支持构件上的前述振动产生部在俯视重叠的位置。
6.一种基板搬送装置，是将载置于基板支持构件的基板与该基板支持构件一起往基板保持具搬送，其特征在于具备：
驱动载置有前述基板的前述基板支持构件的搬送部；
在前述基板载置于前述基板支持构件的状态下使前述基板支持构件振动，包含基于供给电力使前述搬送部之中保持前述基板支持构件的部分产生振动的至少1个振动产生部的加振部。
7.如权利要求6所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述搬送部具备保持前述基板支持构件的搬送手、使前述搬送手移动的致动器；
前述振动产生部具有控制前述致动器使前述搬送手振动的控制部。
8.如权利要求6所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述搬送部具备保持前述基板支持构件的搬送手；
前述振动产生部具有设于前述搬送手且使前述搬送手振动的至少1个振动致动器。
9.如权利要求8所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述搬送部进一步具备支持前述基板支持构件的多个抵接部；
前述振动致动器配置于前述抵接部的附近。
10.如权利要求7至9中任一权利要求所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述致动器设为可将前述搬送手在沿前述基板支持构件的基板支持面的方向及与前述基板支持面交叉的方向的至少一方移动。
11.一种基板搬送装置，是将载置于基板支持构件的基板与该基板支持构件一起往基板保持具搬送，其特征在于具备：
驱动载置有前述基板的前述基板支持构件的搬送部；
支持载置有前述基板的前述基板支持构件的出入口部；
在前述基板载置于前述基板支持构件的状态下使前述基板支持构件振动，包含设于前述出入口部并基于供给电力使前述出入口部产生振动的至少1个振动产生部的加振部。
12.如权利要求11所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述出入口部具有分别支持前述基板支持构件的不同位置的多个支持部；
前述振动产生部具有设于前述支持部且使前述支持部振动的至少1个振动致动器。
13.如权利要求11或12中任一权利要求所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述出入口部具备分别支持前述基板支持构件的不同位置的多个支持部、使前述支持部移动的致动器；
前述振动产生部具有控制前述致动器使前述支持部振动的控制部。
14.如权利要求1至9、11、12中任一项权利要求所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述搬送部是将前述基板支持构件交接至前述基板保持具。
15.如权利要求14所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述搬送部是对前述基板保持具的中载置前述基板的保持具部交接前述基板，对前述基板保持具之中与前述保持具部不同的部分交接前述基板支持构件。
16.如权利要求15所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述搬送部是对前述基板保持具之中对前述保持具部设为槽状的槽部交接前述基板支持构件。
17.如权利要求1至9、11、12中任一项权利要求所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述搬送部保持前述基板支持构件的两侧部。
18.一种曝光装置，对基板保持具保持的基板照射曝光用光而使前述基板曝光，其特征在于：
具备对前述基板保持具搬送前述基板的权利要求1至17中任一项权利要求所述的基板搬送装置。
19.一种元件制造方法，其特征在于包含：
使用权利要求18所述的曝光装置使该基板曝光的动作；以及
基于曝光结果处理曝光后的前述基板的动作。
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