CN104136653A - 蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本发明的蒸镀装置用于通过蒸镀在所输送的被蒸镀体上形成薄膜。该蒸镀装置具有配置在构成热壁的筒状体的内部的分离板。通过该分离板，所述筒状体的内部被分离为在与被蒸镀体的输送方向垂直的方向上并列的第一分离空间和第二分离空间。在所述第一分离空间中设有构成为保持放射到该第一分离空间中的蒸镀材料的蒸镀源和构成为检测来自该蒸镀源的蒸镀材料的放射的传感器。所述第二分离空间的情况也同样。

Description

蒸镀装置

技术领域

本发明涉及使蒸镀材料蒸镀而形成薄膜的蒸镀装置。

背景技术

以往，公知有连续式蒸镀装置，该连续式蒸镀装置利用生产线输送基板，将该基板作为被蒸镀体，用于在其表面上蒸镀薄膜并进行层叠。连续式蒸镀装置通过蒸镀依次层叠薄膜，由此能够高效制造有机电致发光元件(以下也称为“有机EL元件”)等电气设备。

在连续式蒸镀装置中，在腔室内配置有保持蒸镀材料的蒸镀源，并且，以一定速度输送基板等被蒸镀体。在减压状态下对蒸镀源进行加热而使蒸镀材料气化，使蒸镀材料沉积在被蒸镀体的表面上，从而在被蒸镀体的表面上形成薄膜。但是，从蒸镀源气化的蒸镀材料的一部分有时不朝向被蒸镀体行进，不附着在被蒸镀体的表面上。当不附着在被蒸镀体上的蒸镀材料变多时，成为材料的使用效率降低和蒸镀速度降低的原因。因此，公知有如下的蒸镀装置：利用筒状体包围对置的蒸镀源与被蒸镀体之间的空间，以使蒸镀材料再次气化的温度对该筒状体进行加热，使气化的蒸镀材料穿过筒状体内并蒸镀在被蒸镀体的表面上。例如，在专利文献1中公开了使用筒状体的蒸镀装置。

图10A和图10B示出现有的蒸镀装置16、17，图11示出使用多个蒸镀装置16、17依次层叠薄膜的蒸镀系统。蒸镀装置16、17具有放射用于形成薄膜的蒸镀材料的蒸镀源26、27、以及朝向被蒸镀体101放出从蒸镀源26、27放射的蒸镀材料的筒状体36、37。

图10A示出具有1个蒸镀源26的装置，图10B示出具有两个蒸镀源27(例如主体和掺杂剂)的装置。在图11的蒸镀系统中，适当组合图10A和图10B所示的蒸镀装置16、17，在输送方向上并列多个蒸镀装置16、17。蒸镀装置16、17的筒状体36、37被加热到蒸镀材料气化的温度。通过由蒸镀源26、27气化并从筒状体36、37的开口46、47放出的蒸镀材料，在所输送的被蒸镀体101上形成薄膜。由此，从筒状体36、37放出的蒸镀材料不会飞散，能够附着在被蒸镀体101的表面上而高效地形成薄膜。

在筒状体36、37上设有传感器86、87。传感器86、87用于监视来自各个蒸镀源26、27的蒸镀材料的放射、即蒸镀速度和膜厚。在蒸镀时，根据使用传感器86、87的监视，对来自各蒸镀源26、27的蒸镀速度进行控制。由此，能够高精度地形成薄膜。

当使用这种蒸镀系统时，能够高效地制作构成有机EL元件等的层叠体。能够利用该蒸镀系统作为有机EL元件的制造装置。

在有机EL元件的制造中，在利用蒸镀装置形成构成有机层等的薄膜并制作层叠体时，当作为被蒸镀体的基板的尺寸较大时，产生从蒸镀源放射的蒸镀材料很难到达基板的端部的问题。当在基板的端部没有层叠蒸镀材料时，无法得到厚度恒定的薄膜。在使用多个蒸镀材料进行共蒸镀时，混合比可能不稳定。为了解决该问题，例如考虑增加安装在筒状体上的蒸镀源的数量。但是，在蒸镀源增加的情况下，在监视来自各蒸镀源的蒸镀材料的放射时，很难监视各个蒸镀源中的放射。

例如，为了形成发光层等，有时需要主体和掺杂剂这2种蒸镀源。具有2种蒸镀源2的蒸镀装置例如是图10A所示的装置。例如当蒸镀源的个数针对1种蒸镀材料增加到2个时，主体蒸镀源为2个，掺杂剂蒸镀源为2个，在筒状体上设有合计4个蒸镀源。该情况下，从4个蒸镀源蒸发的蒸镀材料在筒状体内均匀地混合。在高精度形成薄膜时，要求监视从各个蒸镀源放射的蒸镀材料，因此，与蒸镀源个数相同的传感器(例如膜厚计等)与筒状体连接。在设有4个蒸镀源的情况下，设有4个传感器。但是，由于均匀混合后的材料到达各传感器，所以，不能高精度地监视来自各个蒸镀源的蒸镀材料。

在蒸镀源为1种的情况下，当蒸镀源的数量增加时，为了高精度地形成厚度均匀的薄膜，要求设置该个数的传感器。但是，当与蒸镀源个数相同的多个传感器(例如膜厚计)与筒状体连接时，来自各蒸镀源的蒸镀材料均匀混合并到达各传感器，所以，不能高精度地监视来自各个蒸镀源的蒸镀材料。

如果不能单独监视来自各蒸镀源的蒸镀材料的放射，则不能进行适当的蒸镀控制，对蒸镀在被蒸镀体上的薄膜的膜厚和混合浓度比的精度造成不良影响，可能导致电气设备的品质降低。特别是在有机EL元件中，由于厚度和混合浓度不均匀的膜而使发光特性降低，可能产生品质不良。

在专利文献2中公开了通过多个蒸镀源形成薄膜的蒸镀装置，但是，由于在输送方向上并列蒸镀源并形成材料浓度倾斜的有机层，所以，该专利文献2所记载的技术无法应对基板尺寸较大的情况。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-129224号公报

专利文献2：日本特开2003-77662号公报

发明内容

发明的概要

发明所要解决的课题

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供针对大型被蒸镀体也能够均匀且稳定地形成薄膜的蒸镀装置。

解决课题所采用的技术手段

本发明的第1方式的蒸镀装置用于通过蒸镀在所输送的被蒸镀体上形成薄膜，该蒸镀装置具有构成热壁的筒状体，该筒状体具有面向沿着所述被蒸镀体的输送方向的所述被蒸镀体的一面的开口，其特征在于，所述蒸镀装置具有配置在所述筒状体的内部并构成所述热壁的分离板，通过该分离板，所述筒状体的内部被分离为沿着所述开口的面在与所述被蒸镀体的输送方向垂直的方向上并列的第一分离空间和第二分离空间，在所述第一分离空间中设有构成为保持放射到该第一分离空间中的蒸镀材料的第一蒸镀源和构成为检测来自该第一蒸镀源的蒸镀材料的放射的第一传感器，在所述第二分离空间中设有构成为保持放射到该第二分离空间中的蒸镀材料的第二蒸镀源和构成为检测来自该第二蒸镀源的蒸镀材料的放射的第二传感器。

即，在本发明的第2方式的蒸镀装置中，在第1方式中，所述分离板构成为不在其开口附近对所述筒状体的内部进行分离，所述分离板构成为隔断分别连接所述第一蒸镀源和第二蒸镀源的放射部与所述第二传感器和第一传感器的传感器部的假想直线。

即，在本发明的第3方式的蒸镀装置中，在第1或第2方式中，所述第一蒸镀源和第二蒸镀源分别由多个蒸镀源构成，所述第一传感器和第二传感器分别由多个传感器构成。

即，在本发明的第4方式的蒸镀装置中，在第1～第3方式的任意一个方式中，所述蒸镀装置具有配置在所述筒状体的内部并构成所述热壁的第二分离板，通过该第二分离板，所述筒状体的内部被分离为沿着所述开口的面在与所述被蒸镀体的输送方向垂直的方向上并列的所述第二分离空间和第三分离空间，在所述第三分离空间中设有构成为保持放射到该第三分离空间中的蒸镀材料的第三蒸镀源和构成为检测来自该第三蒸镀源的蒸镀材料的放射的第三传感器，由所述第一蒸镀源保持的蒸镀材料、由所述第二蒸镀源保持的蒸镀材料、由所述第三蒸镀源保持的蒸镀材料为相同种类。

在本发明的第5方式的蒸镀装置中，在第1～第4方式的任意一个方式中，所述蒸镀装置具有构成为沿着所述开口的面局部遮蔽所述筒状体的内部的遮蔽体，该遮蔽体配置在比所述第一传感器和所述第二传感器靠所述开口侧的位置。

在本发明的第6方式的蒸镀装置中，在第5方式中，在所述筒状体的轴方向上并列设置多个所述遮蔽体。

在本发明的第7方式的蒸镀装置中，在第6方式中，多个所述遮蔽体分别具有开口，在所述筒状体的轴方向上相邻的所述遮蔽体的所述开口在所述轴方向上不重合。

发明的效果

如果使用本发明的蒸镀装置，则针对大型被蒸镀体，也能够均匀且稳定地形成薄膜。

附图说明

图1A是示出第一实施方式的蒸镀装置的概略剖视图。

图1B是示出第一实施方式的蒸镀装置的概略平面图。

图2A是示出第一实施方式的蒸镀装置的第一变形例的概略剖视图。

图2B是示出第一实施方式的蒸镀装置的概略剖视图。

图2C是示出第一实施方式的蒸镀装置的第二变形例的概略剖视图。

图3A是示出第二实施方式的蒸镀装置的概略剖视图。

图3B是示出第二实施方式的蒸镀装置的概略平面图。

图4A是示出第三实施方式的蒸镀装置的概略剖视图。

图4B是示出第四实施方式的蒸镀装置的概略剖视图。

图5是示出第五实施方式的蒸镀装置的概略剖视图。

图6是示出所述第五实施方式的第一变形例的概略平剖视图。

图7是示出所述第五实施方式的第二变形例的概略剖视图。

图8是示出蒸镀系统(有机电致发光元件制造装置)的一例的立体图。

图9是示出膜厚分布的曲线图。

图10A是示出现有的蒸镀装置的一例的概略剖视图。

图10B是示出现有的蒸镀装置的另一例的概略剖视图。

图11是示出现有的蒸镀系统(有机电致发光元件制造装置)的一例的立体图。

具体实施方式

蒸镀装置具有放射用于形成薄膜的蒸镀材料的蒸镀源、以及被加热到所述蒸镀材料气化的温度并朝向被蒸镀体放出从所述蒸镀源放射的所述蒸镀材料的筒状体，通过从所述筒状体放出的所述蒸镀材料，在所输送的所述被蒸镀体上形成所述薄膜，在所述筒状体中，通过沿着输送方向设置且被加热到所述蒸镀材料气化的温度的分离板，内部被分离为多个分离空间，在所述分离空间中设有至少1个所述蒸镀源、以及用于监视来自该蒸镀源的所述蒸镀材料的放射的传感器。

所述分离板设置成不对所述筒状体的开口附近进行分离，并且，在引出连接一个所述分离空间中的所述蒸镀源的放射部和另一个所述分离空间中的所述传感器的传感器部的直线作为假想线时，优选所述分离板设置成隔断该假想线。

也可以在所述分离空间中设有多个所述蒸镀源、以及用于监视来自该蒸镀源的所述蒸镀材料的放射的多个所述传感器。

在所述筒状体中，也可以通过多个所述分离板，内部被分离为多个所述分离空间，在多个所述分离空间中设有放射相同种类的蒸镀材料的所述蒸镀源。

图1A和图1B示出蒸镀装置的第一实施方式。该蒸镀装置11用于在所输送的被蒸镀体10上形成薄膜。蒸镀装置11具有放射用于形成薄膜的蒸镀材料的蒸镀源21、以及朝向被蒸镀体10放出从蒸镀源21放射的蒸镀材料的筒状体31。筒状体31被加热到蒸镀材料气化的温度。该筒状体31包围相互对置的蒸镀源21与被蒸镀体10之间的空间。如果蒸镀装置11不具有筒状体31，则无法形成厚度和混合比均匀的薄膜。在图1A中，被蒸镀体10的输送方向是与纸面垂直且从近前朝向里侧的方向，通过用圆包围x这样的记号表示该方向。并且，在图1B中，通过空心箭头表示被蒸镀体10的输送方向。蒸镀装置11能够形成构成有机电致发光元件(有机EL元件)的薄膜层。蒸镀装置11中的蒸镀温度为比较低温(400℃以下等)，蒸镀装置11是通过所谓的热壁进行蒸镀的装置。

即，本实施方式的蒸镀装置11具有构成热壁的筒状体31。热壁是热壁蒸镀法中采用的要素。附着在该热壁上的蒸镀材料被加热而再次气化，由此，蒸镀效率提高。该筒状体31具有面向沿着被蒸镀体10的输送方向的被蒸镀体10的一面的开口41。为了使筒状体31构成热壁，优选在筒状体31上设有构成为对该筒状体31进行加热的加热器。

蒸镀装置11具有配置在筒状体31的内部的分离板51。该分离板51与筒状体31一起构成热壁。为了使分离壁51构成热壁，优选在分离壁51上设有构成为对该分离壁51进行加热的加热器。通过该分离板51，筒状体31的内部被分离为沿着筒状体31的开口41的面在与被蒸镀体10的输送方向垂直的方向上并列的第一分离空间611和第二分离空间612。

在第一分离空间611中设有构成为保持放射到该第一分离空间611中的蒸镀材料的第一蒸镀源211和构成为检测来自该第一蒸镀源211的蒸镀材料的放射的第一传感器811。在第二分离空间612中设有构成为保持放射到该第二分离空间612中的蒸镀材料的第二蒸镀源212和构成为检测来自该第二蒸镀源212的蒸镀材料的放射的第二传感器812。

筒状体31形成为具有矩形状截面的空洞的纵型筒形状。筒状体31的下部与蒸镀源21连接。在筒状体31的上部设有用于向上方放出气化的蒸镀材料的开口41。如果通过筒状体31朝向被蒸镀体10放出蒸镀材料，则能够在被蒸镀体10上层叠形成薄膜。并且，通过以蒸镀材料的气化温度以上的温度对筒状体31进行加热，蒸镀材料不会附着在筒状体31的内部，而能够从开口41放出。筒状体31为金属制即可。蒸镀为真空蒸镀即可。真空蒸镀可以在腔室内进行。在图1A中，通过黑箭头示出蒸镀材料的放出方向。另外，也可以在筒状体31的开口41设有遮蔽板，该遮蔽板构成为对蒸镀材料的放出量进行控制，以调整宽度方向(沿着开口41的面的、与被蒸镀体体10的输送方向垂直的方向)的膜厚分布。

在蒸镀源21中形成有朝向筒状体31的内部开口的凹处。在该凹处内保持蒸镀材料。优选蒸镀源21具有构成为对由该蒸镀源21保持的蒸镀材料进行加热的加热器。加热器例如构成为以电阻加热式、电子束式、高频感应式、激光式等公知方式对蒸镀材料进行加热。通过利用蒸镀源21使蒸镀材料气化，蒸镀材料从蒸镀源21朝向筒状体31的内部放出。该蒸镀材料穿过筒状体31的内部，进而从开口4朝向被蒸镀体10放出。

如图1A所示，在本实施方式中，开口41形成为沿着被蒸镀体10的输送方向配置短边、并且沿着与被蒸镀体10的输送方向垂直的方向(宽度方向)配置长边的矩形形状。由此，能够在所输送的被蒸镀体10表面形成膜厚更加均匀的薄膜。

图1A和图1B的蒸镀装置11从筒状体31放出2种蒸镀材料而形成薄膜。即，薄膜形成为混合2种材料后的混合膜。在筒状体31中，用于放射2种蒸镀材料的蒸镀源21a和21b各设置2个。即，在筒状体31中设有两个蒸镀源21a，还设有两个保持与蒸镀源21a不同种类的蒸镀材料的蒸镀源21b。因此，蒸镀源21全部设置4个。在蒸镀源21与筒状体31的连接部分形成有用于放射蒸镀材料的放射部71。放射部71由开口形成。例如，也可以在该放射部71中设有能够改变开闭状态(开口的大小)的遮蔽机构等。遮蔽机构改变开闭状态，从而能够控制蒸镀材料的放射量。

蒸镀装置11具有第一蒸镀源211和第二蒸镀源212。第一和第二蒸镀源211、212分别由多个蒸镀源21构成。在本实施方式中，第一和第二蒸镀源211、212分别包括蒸镀源21a和蒸镀源21b这两个蒸镀源21。这些蒸镀源21的放射部71是蒸镀源21内的、从该蒸镀源21放出的蒸镀材料最后穿过的部位。在本实施方式中，如上所述，放出部21是形成在蒸镀源21中的凹处的开口。

在本实施方式中，根据放射的材料的不同，蒸镀源21被分类为蒸镀源21a和保持与蒸镀源21a不同种类的蒸镀材料的蒸镀源21b。该装置例如可以用于共蒸镀。蒸镀源21a例如可以是用于放出掺杂剂材料的掺杂剂蒸镀源。蒸镀源21b例如可以是用于放出主体材料的主体蒸镀源。当放射相同种类的蒸镀材料的蒸镀源的个数增加为多个时，蒸镀材料的放出量增加，所以，在被蒸镀体大型化的情况下，也能够高效地形成薄膜。在针对1种材料设置1个蒸镀源、要提高该蒸镀源的输出来放射大量蒸镀材料的情况下，对蒸镀材料造成负担，蒸镀材料可能劣化。但是，在本实施方式中，设置多个蒸镀源21，各个蒸镀源21的输出为通常输出即可，所以，能够抑制蒸镀材料的劣化。图1A和图1B的蒸镀装置11能够形成混合2种材料的混合层。该蒸镀装置11例如能够层叠形成有机EL元件的发光层。

在本实施方式中，由第一蒸镀源211保持的蒸镀材料和由第二蒸镀源212保持的蒸镀材料为相同种类。即，第一蒸镀源211中包含的蒸镀源21a和第二蒸镀源212中包含的蒸镀源21a构成为保持相同种类的蒸镀材料(掺杂剂材料)。第一蒸镀源211中包含的蒸镀源21b和第二蒸镀源212中包含的蒸镀源21b也构成为保持相同种类的蒸镀材料(主体材料)。

在本实施方式中，通过沿着被蒸镀体10的输送方向设置的分离板51，筒状体31的内部被分离为多个分离空间611、612。在筒状体31的宽度方向(与输送方向垂直的方向)的中央部，分离板51以与输送方向平行的方式配置在筒状体31内。在本实施方式中，通过设有大致均等地将筒状体31分成2部分的分离板51，设有容积大致相同的两个分离空间611、612。分离板51被加热到蒸镀材料气化的温度。通过以蒸镀材料的气化温度以上的温度对分离板51进行加热，蒸镀材料不会附着在分离板51上，能够从开口41放出。分离板51的温度可以是与筒状体31相同的温度，也可以是与筒状体31不同的温度。如果以具有热传递性的方式连接筒状体31和分离板51、通过对筒状体31进行加热而分离板51也被加热，则加热机构变得简单。分离板51为金属制即可。例如，分离板51可以由钢板形成。

在本实施方式中，分离空间611、612是筒状的空间。即，分离空间611、612是由筒状体31和分离板51包围的空间。由此，从蒸镀源21放射的蒸镀材料向上方移动并从开口41放出。分离板51分隔空间而形成分离空间611、612，以使得筒状体31的下部空间(与开口41相反的一侧的空间)不连通。当通过孔等而使空间连通时，可能在另一个分离空间611、612中混入所放射的蒸镀材料。

在蒸镀装置11中，在分离空间611、612中分别设有至少1个蒸镀源21和用于监视来自该蒸镀源21的蒸镀材料的放射的传感器81。在本实施方式中，在各分离空间611、612中设有多个(2个)蒸镀源21和用于监视来自该蒸镀源21的蒸镀材料的放射的多个(2个)传感器81。由此，蒸镀装置11放射不同的蒸镀材料，能够高精度地形成材料混合后的混合层。另外，蒸镀源21也可以是3个以上。传感器81也可以是3个以上。但是，优选传感器81的个数与蒸镀源21的个数相同或该蒸镀源21的个数以上。并且，优选设置在各分离空间611、612中的蒸镀源21的数量相同。即，优选设置在第一分离空间611中的蒸镀源21的数量和设置在第二分离空间612中的蒸镀源21的数量相同。由此，能够在各分离空间611、612中配置蒸镀源21的组，能够从各分离空间61放出相同种类的蒸镀材料。

即，在本实施方式中，在第一分离空间611中设有第一蒸镀源211和第一传感器811。第一蒸镀源211构成为保持放射到第一分离空间611中的蒸镀材料。第一传感器811构成为检测来自第一蒸镀源211的蒸镀材料的放射。第一蒸镀源211由多个蒸镀源21构成，第一传感器811由多个传感器81构成。

另外，只要由该第一蒸镀源211保持的蒸镀材料能够放射到第一分离空间611中，则第一蒸镀源211可以配置在任意位置。例如，第一蒸镀源211可以配置在第一分离空间611内，也可以配置在第一分离空间611外。只要该第一传感器811能够检测来自第一蒸镀源211的蒸镀材料的放射，则第一传感器811也可以配置在任意位置。例如，第一传感器811可以配置在第一分离空间611内，也可以配置在第一分离空间611外，还可以配置在第一蒸镀源211内。

进而，在本实施方式中，在第二分离空间612中设有第二蒸镀源212和第二传感器812。第二蒸镀源212构成为保持放射到第二分离空间612中的蒸镀材料。第二传感器812构成为检测来自第二蒸镀源212的蒸镀材料的放射。第二蒸镀源212由多个蒸镀源21构成，第二传感器812由多个传感器81构成。

另外，只要由该第二蒸镀源212保持的蒸镀材料能够放射到第二分离空间612中，则第二蒸镀源212可以配置在任意位置。例如，第二蒸镀源212可以配置在第二分离空间612内，也可以配置在第二分离空间612外。只要该第二传感器812能够检测来自第二蒸镀源212的蒸镀材料的放射，则第二传感器812也可以配置在任意位置。例如，第二传感器812可以配置在第二分离空间612内，也可以配置在第二分离空间612外，还可以配置在第二蒸镀源212内。

传感器81用于监视来自各个蒸镀源21的蒸镀材料的放射、即蒸镀速度和膜厚。在蒸镀时，根据利用传感器81的监视，对从各蒸镀源21放射的蒸镀材料的蒸镀速度(每单位时间的蒸镀材料的放射量)进行控制。由此，蒸镀装置能够高精度地形成薄膜。在传感器81的前端设有传感器部91。当蒸镀材料到达传感器部91时，能够监视蒸镀材料的放射。作为传感器81，可以使用膜厚计等，例如可以使用晶体振子等。

另外，传感器部91是传感器81中的、由该传感器81检测到的蒸镀材料最初到达的部位。在本实施方式中，传感器81具有与分离空间连通的筒状部件以及配置在该部件内的检测元件。作为检测元件，例如举出具有石英振子的石英振子膜厚计。筒状部件中的与分离空间连通的开口是本实施方式的传感器部91。该情况下，蒸镀材料从传感器部91引入到筒状部件内，通过检测元件检测该蒸镀材料。检测元件例如根据伴随蒸镀材料的附着而引起的石英振子的振动频率的变化来检测蒸镀膜厚，计测蒸镀速度，生成包含与该蒸镀速度有关的信息的控制信号。检测元件例如将控制信息发送到控制器。控制器例如构成为，根据控制信号控制蒸发源21来调整蒸镀速度。控制器的动作在后面详细叙述。

在第一实施方式中，在各分离空间611、612中设有蒸镀源21a、蒸镀源21b、传感器81a和传感器81b。传感器81a和传感器81b用于监视来自蒸镀源21a和蒸镀源21b的蒸镀材料的放射。即，在各分离空间611、612中设有放射相同种类的蒸镀材料的1个或2个以上的蒸镀源21，设有与该蒸镀源21的个数对应的数量的传感器81。

如图1B所示，在本实施方式中，在与输送方向垂直的方向上并列配置各蒸镀源21。由此，蒸镀装置11能够稳定地形成在被蒸镀体10的宽度方向上均匀的薄膜。按照蒸镀源21a、蒸镀源21b、蒸镀源21a、蒸镀源21b的顺序，交替配置种类不同的多个蒸镀源21。由此，能够形成更加稳定的薄膜。

本实施方式的蒸镀装置11通过设置分离板51并将筒状体31的内部分离为多个分离空间6，在对宽度方向(与沿着开口41的面的输送方向垂直的方向)的长度较长的被蒸镀体10进行蒸镀的情况下，也能够简单地调整蒸镀材料的放射，调整蒸镀量的分布。即，在使用未设置分离板且筒状体的内部完全连通的蒸镀装置的情况下，当在筒状体上设置多个放射相同种类的蒸镀材料的蒸镀源时，材料在筒状体的内部混合。于是，即使使用传感器进行监视，也无法判别是从哪个蒸镀源放射的蒸镀材料，无法适当控制蒸镀源的放射量等。但是，在本实施方式中，设置分离板51并对筒状体31内部的空间进行分隔，在各个分离空间611、612中设置蒸镀源21和传感器81，所以，能够简单地监视来自各个蒸镀源21的材料的放射。因此，蒸镀装置11能够高精度地形成薄膜。

分离板51也可以以拆装自如的方式插入筒状体31中。分离板51也可以构成为能够进行高度调整。例如，如果从筒状体31的下部以滑动自如的方式插入分离板51，则分离板51通过上下滑动，能够简单地调整其高度。该情况下，改变分离板51的遮蔽状态，能够进一步优化薄膜的形成条件。也可以从筒状体31的侧部(前方或后方)以拆装自如的方式插入分离板51。该情况下，更换高度(上下方向的长度)不同的分离板51，能够改变对分离空间611、612进行分离的分离板51的高度。该情况下，改变分离板51的遮蔽状态，能够进一步优化薄膜的形成条件。

图2A～图2C示出具有高度(上下方向的长度)彼此不同的分离板5的蒸镀装置11的例子。图2B示出第一实施方式，图2A和图2C分别示出第一实施方式的变形例。在图2A的例子中，分离板51的高度与筒状体31的内部空间的高度大致相同。因此，在图2A中，分离板51对开口41进行分离。在图2B和图2C的例子中，分离板51的高度低于筒状体31的内部空间的高度。因此，在图2B和图2C中，分离板51不对开口41进行分离。

在蒸镀装置11中，如图2B或图2C的例子那样，优选分离板51设置成不对筒状体31的开口41附近进行分离。该情况下，分离板51的上端51a配置在比开口41靠下方。如图2A的例子那样，当筒状体31的开口41被分离板51分离时，在从筒状体31放出蒸镀材料时，按照由分离板51划分的每个区域放出蒸镀材料。于是，放出到分离板51的上方的蒸镀材料减少，可能很难得到厚度均匀的薄膜。但是，如图2B和图2C那样，当开口41不被分离板51分离时，到达开口41附近的蒸镀材料在该部分相互混合并从筒状体31放出。因此，分离板51的正上方附近的膜厚分布平缓，蒸镀装置11能够形成膜厚均匀的薄膜。

即，如图1A、图2B和图2C所示，优选分离板51构成为不在其开口41附近对筒状体31的内部进行分离。换言之，优选分离板51在筒状体31的内部从筒状体31的开口41退避。

并且，如图2B和图2C所示，优选分离板51设置成，在引出连接一个分离空间中的蒸镀源21的放射部71和另一个分离空间中的传感器81的传感器部91的直线作为假想线L1时，隔断假想线L1。在设置多个蒸镀源21和多个传感器81的情况下，优选隔断全部假想线L1。可以以放射部71和传感器部91的中心为基准引出假想线L1，但是，为了进一步提高遮蔽度，优选从两者的缘部到缘部引出假想线L1以使线的长度变长。通过使分离板51的高度高于假想线L1穿过的位置，该假想线L1被分离板51隔断。通过隔断假想线L1，在其他分离空间中放射的蒸镀材料很难到达传感器81的传感器部91，能够提高蒸镀材料的监视精度。

即，如图2B和图2C所示，优选分离板51构成为，隔断连接第一蒸镀源211中包含的蒸镀源21的放射部71和第二传感器812中包含的传感器81的传感器部91的假想直线(假想线L1)，并且，隔断连接第二蒸镀源212中包含的蒸镀源21的放射部71和第一传感器811中包含的传感器81的传感器部91的假想直线(假想线L1)。换言之，优选这些假想线L1与分离板51交叉。该情况下，通过传感器81，以更高精度检测来自各蒸镀源21的蒸镀材料的放射。在第一蒸镀源211由多个蒸镀源21构成、且第二传感器812由多个传感器81构成的情况下，优选即使选择任意蒸镀源21与传感器81的组合，分离板51也能够隔断连接蒸镀源21的放射部71与传感器81的传感器部91的假想直线(假想线L1)。在第二蒸镀源212由多个蒸镀源21构成、且第一传感器811由多个传感器81构成的情况下，优选即使选择任意蒸镀源21与传感器81的组合，分离板51也能够隔断连接蒸镀源21的放射部71与传感器81的传感器部91的假想直线(假想线L1)。

进而，如图2B所示，优选分离板51的高度高于传感器81的传感器部91的高度位置H1。在设置多个传感器81的情况下，优选分离板51的高度高于全部传感器部91。朝向上方放射蒸镀材料，但是，有时蒸镀材料碰到筒状体31的壁面或分离板51而弹回，从而改变行进方向。并且，向上方行进的蒸镀材料的行进方向有时由于与其他蒸镀材料的冲突或气压变化等而变更为其他分离空间侧从而弯曲。此时，如图2C那样，当分离板51的高度配置在低于传感器部91的位置时，分离空间中放出的蒸镀材料可能进入其他分离空间，传感器81可能计测不同分离空间的蒸镀材料。但是，如图2B的例子那样，当分离板51的上端部51a比传感器部91的位置靠上方时，能够进一步抑制传感器81检测其他分离空间中放射的蒸镀材料，能够高精度地监视蒸镀材料的放射。

即，优选从筒状体31的开口41到分离板51的端部51a的尺寸比从筒状体31的开口41到传感器81的传感器部91的尺寸短。该情况下，通过传感器81以更高精度检测来自各蒸镀源21的蒸镀材料的放射。特别优选从筒状体31的开口41到分离板51的端部51a的尺寸比从筒状体31的开口41到全部传感器81中的任意一个传感器81的传感器部91的尺寸短。另外，这些尺寸是筒状体31的轴方向的尺寸。

如上所述，在筒状体31的内部的空间被分离板51分离为多个分离空间611、612的情况下，当分离板51分隔开口41时，在分离板51的位置，蒸镀材料的放出量减少，膜的厚度可能变薄。即，在对薄膜的膜厚分布描绘曲线图时，可能在曲线图中形成凹陷。因此，为了形成厚度更加均匀的薄膜，优选将分离板51的高度降低到膜厚分布中不会出现凹陷的高度。另一方面，为了提高使用传感器81的监视精度，优选分离板51的高度较高。因此，具体而言，例如，分离板51的高度(上端部51a的位置)在上下方向上在传感器81的传感器部91的位置与开口41的位置之间的1/5～4/5的范围内即可，但是不限于此。

即，优选从筒状体31的开口41到分离板51的端部5a的尺寸在从筒状体31的开口41到传感器81的传感器部91的尺寸的1/5～4/5的范围内。另外，这些尺寸是筒状体的轴方向的尺寸。该情况下，被蒸镀体10上形成的薄膜的厚度更加均匀，并且，通过传感器81以更高精度检测来自蒸镀源21的蒸镀材料的放射。

这样，当分离板51的高度过高时，很难得到均匀的膜厚，当分离板51的高度过低时，对传感器81的监视造成不良影响，所以，适当设定分离板51的高度。另外，分离板51的厚度没有特别限定，但是，当厚度过厚时，可能很难在分离板51的上方放出蒸镀材料，所以例如为1～30mm。

传感器81对蒸镀材料的放射的监视为蒸镀速度或膜厚的监视即可。如果对蒸镀速度或膜厚进行监视，就能够适当监视蒸镀材料的混合比和薄膜的厚度。在传感器81的前端设有传感器部91。在传感器81为膜厚计的情况下，通过监视传感器部91中形成的膜厚的厚度，能够监视蒸镀材料的放射。优选朝向下方设置传感器81的传感器部91。在传感器81安装在筒状体31的壁面上的情况下，以传感器部91朝向斜下方的方式安装传感器81。由此，监视性能提高。

在第一实施方式中，传感器81a配置在筒状体31的侧部(侧方的壁面)，传感器81b配置在筒状体31的前部(上游侧的壁面)。当传感器81a与传感器81b的距离较近时，可能无法适当监视蒸镀材料的放射。但是，通过在筒状体31的其他壁面上设置传感器81，与传感器部91之间的距离较远，能够高精度地监视蒸镀材料的放射。

优选蒸镀装置11根据使用传感器81监视到的蒸镀速度或膜厚，对从蒸镀源21放射的蒸镀材料的蒸镀速度进行控制。由此，蒸镀装置11更加容易形成膜厚均匀的薄膜。进而，蒸镀装置11能够形成混合比稳定的薄膜。例如，在蒸镀装置11中设置蒸镀量控制机构(控制器)。即，在蒸镀装置11中设置构成为对蒸镀量进行控制的控制器。控制器由适当的电子运算设备构成。控制器例如构成为，根据使用传感器81监视到的蒸镀速度与设定蒸镀速度的偏差，对来自蒸镀源21的蒸镀材料的放射量进行控制。例如，当监视到的蒸镀速度与设定值之间存在偏差时，控制器通过控制对蒸镀源21的加热机构(加热器)供给的电力量，对蒸镀源21中的加热容器内的温度进行调节。由此，调整来自蒸镀源21的蒸镀材料的放射量。另外，也可以在蒸镀源21的放射部71中设置利用阀的开闭来改变遮蔽度的遮蔽体。该情况下，控制器也可以构成为，通过调整阀的开度，对蒸镀材料的放射量进行调整。

在本实施方式的情况下，由于在各分离空间611、612中设置两个蒸镀源21和两个传感器81，所以，利用使蒸镀材料与传感器81得到的测定结果的关系成为数学式的联立方程式，能够求出各个蒸镀材料的蒸镀速度。

在计算蒸镀速度时，关注每个分离空间611、612的蒸镀速度。这是因为，由于一个分离空间与其他分离空间分开，所以，不用考虑从其他分离空间放射的蒸镀材料。

首先，在各分离空间611、612中，设从蒸镀源21a分别到达传感器81a和传感器81b的蒸镀材料的每单位时间的到达量比的值为A1。并且，设蒸镀源21a的设定蒸镀速度的值为C1、蒸镀源21b的蒸镀速度的值为X2、传感器81b监视到的蒸镀速度的值为Y2。于是，下面的(式1)成立。

(式1)Y2＝A1×C1+X2

根据该(式1)，控制器能够计算蒸镀源21b的蒸镀速度X2。

同样，设从蒸镀源21b分别到达传感器81a和传感器81b的蒸镀材料的每单位时间的到达量比的值为A2。并且，设蒸镀源21b的设定蒸镀速度的值为C2、第1蒸镀源21a的蒸镀速度的值为X1、传感器81a监视到的蒸镀速度的值为Y1。于是，下面的(式2)成立。

(式2)Y1＝A2×C2+X1

根据该(式2)，控制器能够计算蒸镀源21a的蒸镀速度X1。

控制器针对全部多个分离空间611、612进行以上计算。接着，控制器调整蒸镀材料的放射量，以使得各蒸镀源21中的蒸镀速度(在上述例子中为X1、X2)成为设定蒸镀速度(在上述例子中为C1、C2)。由此，蒸镀装置能够以设定蒸镀速度进行蒸镀并形成薄膜，能够形成材料的混合比恒定、膜厚稳定的薄膜。

另外，在第一实施方式中，在各分离空间611、612中设置2个蒸镀源21，但是，也可以在各分离空间611、612中设置3个以上的蒸镀源21。该情况下，蒸镀装置11能够对2种以上的掺杂剂进行共蒸镀并与主体材料混合。在各分离空间611、612中设置3个以上的蒸镀源21的情况下，优选在各分离空间611、612中设置至少与蒸镀源21的个数相同的传感器81。通过使蒸镀源21和传感器81的个数匹配，能够通过联立方程式简单地计算蒸镀速度。但是，当蒸镀源21过多时，计算变得复杂，所以，一个分离空间中设置的蒸镀源21的个数为5个以下或4个以下比较好。

图1A和图1B的蒸镀装置11能够在被蒸镀体10上形成在宽度方向上均匀且稳定的薄膜，所以，适于在宽度方向的长度较长的大型基板上形成薄膜。例如，在形成大型有机EL元件的情况下，当膜厚不均匀时，发光容易产生不均，但是，本实施方式的蒸镀装置11能够形成厚度更加均匀且减少了混合比的偏差的薄膜，所以，能够得到抑制了发光不均的有机EL元件。被蒸镀体10(基板)的宽度方向的长度例如为730mm以上即可。这样，在基板大型的情况下，当使用按照每个蒸镀材料配置一个蒸镀源的现有的蒸镀装置时，不容易得到均匀且稳定的薄膜。但是，当使用本实施方式的蒸镀装置11时，由于在该蒸镀装置11中设置多个蒸镀源21，所以，能够简单地得到均匀且稳定的薄膜。另外，被蒸镀体10(基板)的宽度方向的长度为第10代的玻璃基板的长度即2880mm以下即可，但是不限于此。

这样，在1个筒状体31中混合了2组以上的2种材料的情况下，第一实施方式的蒸镀装置11能够单独监视来自各个蒸镀源21的蒸镀速度，能够高精度地控制蒸镀速度和掺杂浓度。因此，蒸镀装置11能够在被蒸镀体10上形成膜厚和浓度偏差较小的薄膜。即，在本实施方式中，在使用两种以上的蒸镀材料的情况下，也能够高精度地计测各蒸镀材料的蒸镀速度，因此，能够以更高精度控制通过蒸镀而形成的薄膜的厚度和组成。

图3A和图3B示出第二实施方式。除了蒸镀源和传感器的数量与第一实施方式不同以外，本实施方式具有与第一实施方式相同的结构。本实施方式的蒸镀装置12用于通过蒸镀在所输送的被蒸镀体10上形成薄膜。

图3A和图3B的蒸镀装置12具有多个放射1种蒸镀材料的蒸镀源21。

与第一实施方式同样，第二实施方式的蒸镀装置12具有放射用于形成薄膜的蒸镀材料的蒸镀源22、以及朝向被蒸镀体10放出从蒸镀源22放射的蒸镀材料的筒状体32。筒状体32被加热到蒸镀材料气化的温度。

即，蒸镀装置12具有构成热壁的筒状体32。该筒状体32具有面向沿着被蒸镀体10的输送方向的被蒸镀体10的一面的开口42。蒸镀装置12还具有构成为保持放射到筒状体32的内部的蒸镀材料的蒸镀源22。

在图3A和图3B的蒸镀装置12中，从筒状体32放出1种蒸镀材料并形成薄膜。即，形成由1种材料构成的薄膜。在筒状体32中设有2个用于放射蒸镀材料的蒸镀源22。当放射相同种类的材料的蒸镀源22的个数增加为多个时，蒸镀材料的放出量增加，所以，在被蒸镀体10大型化的情况下，也能够高效地形成薄膜。图3A和图3B的蒸镀装置12例如能够在有机EL元件的制造中层叠形成由一个蒸镀材料构成的层。作为这种层，在有机EL元件中，例示整体注入层、整体输送层、电子输送层、电子注入层、中间层等层。

在本实施方式中，通过沿着输送方向设置的分离板52，筒状体32的内部被分离为多个分离空间621、622。在第二实施方式中，通过大致均等地将筒状体32分成2部分的分离板52，设有容积大致相同的两个分离空间621、622。分离板52被加热到蒸镀材料气化的温度。

即，蒸镀装置12具有配置在筒状体32的内部的分离板52。该分离板52与筒状体32一起构成热壁。通过该分离板52，筒状体32的内部被分离为沿着筒状体32的开口42的面在与被蒸镀体10的输送方向垂直的方向上并列的第一分离空间621和第二分离空间622。

在图3A和图3B的蒸镀装置12中，在各分离空间621、622中设有1个蒸镀源22和监视来自该蒸镀源22的蒸镀材料的放射的1个传感器82。由此，在被蒸镀体10的宽度增大的情况下，蒸镀装置12也能够在宽度方向上形成薄膜。在本实施方式中，设置在各分离空间621、622中的传感器82监视设置在相同分离空间中的蒸镀源22的蒸镀材料的放射。因此，蒸镀装置12能够在各个分离空间621、622中监视来自蒸镀源22的蒸镀材料的放射，能够高精度进行蒸镀。并且，由于设置在各分离空间621、622中的蒸镀源22放射相同种类的蒸镀材料，所以，能够从各分离空间621、622放出相同种类的蒸镀材料。

即，在第一分离空间621中设有构成为保持放射到该第一分离空间621中的蒸镀材料的第一蒸镀源221和构成为检测来自该第一蒸镀源221的蒸镀材料的放射的第一传感器821。在第二分离空间622中设有构成为保持放射到该第二分离空间622中的蒸镀材料的第二蒸镀源222和构成为检测来自该第二蒸镀源222的蒸镀材料的放射的第二传感器822。在本实施方式中，第一和第二蒸镀源221、222分别由一个蒸镀源22构成，第一和第二传感器821、822分别由一个传感器82构成。第一蒸镀源221和第二蒸镀源222构成为保持相同种类的蒸镀材料。

如图3B所示，在与输送方向垂直的方向上并列配置蒸镀源22。由此，蒸镀装置12能够稳定地形成在被蒸镀体10的宽度方向上均匀的薄膜。

在本实施方式中，通过由分离板52将筒状体32的内部分隔为多个分离空间621、622，在对宽度方向的长度较长的被蒸镀体10进行蒸镀的情况下，蒸镀装置12也能够简单地调整蒸镀材料的放射，调整蒸镀量的分布。即，在使用未设置分离板的筒状体的内部完全连通的蒸镀装置的情况下，当在筒状体上设置多个相同种类的蒸镀源时，材料在筒状体的内部混合。于是，即使利用传感器进行监视，蒸镀装置也无法判别是从哪个蒸镀源放射的蒸镀材料，无法适当控制蒸镀源的放射量等。但是，在本实施方式中，分离板52对筒状体32内部的空间进行分隔，在各分离空间621、622中设置蒸镀源22和传感器82，所以，蒸镀装置12能够简单地监视来自各个蒸镀源22的材料的放射。因此，蒸镀装置12能够高精度地形成薄膜。

分离板52的结构与第一实施方式的分离板51的结构相同即可。即，优选分离板52不对筒状体32的开口4附近进行分离。并且，优选分离板52设置成，在引出连接一个分离空间中的蒸镀源22的放射部72和另一个分离空间中的传感器82的传感器部92的直线作为假想线时，隔断该假想线。进而，优选分离板52的高度高于传感器82的传感器部92。并且，分离板52能够进行高度调节。如参照图2A～图2C说明的那样，当分离板52的高度过高时，很难得到均匀的膜厚，当分离板52的高度过低时，对传感器82的监视造成不良影响，所以，适当设定分离板52的高度。

即，优选分离板52构成为不在其开口42附近对筒状体32的内部进行分离。换言之，优选分离板52在筒状体32的内部从筒状体32的开口42退避。优选分离板52构成为，隔断连接第一蒸镀源221的放射部72和第二传感器822的传感器部92的假想直线(假想线)，并且，隔断连接第二蒸镀源222的放射部72和第一传感器822的传感器部92的假想直线(假想线)。换言之，优选这些假想线与分离板52交叉。

使用传感器82的蒸镀材料的放射的监视与第一实施方式相同即可。与第一实施方式同样，优选根据传感器82的监视，对蒸镀速度进行控制。

在第二实施方式中，由于在各分离空间621、622中设置一个蒸镀源22和一个传感器82，所以，能够以一对一的关系进行监视。即，不需要通过联立方程式等求出蒸镀材料的放射的监视，能够直接监视蒸镀速度。因此，蒸镀装置12能够高精度且简单地形成膜厚均匀的薄膜。

第二实施方式的蒸镀装置12能够在被蒸镀体10上形成在宽度方向上均匀且稳定的薄膜。因此，蒸镀装置12适于在宽度方向的长度较长的大型基板上形成薄膜。例如，在形成大型有机EL元件的情况下，当膜厚不均匀时，发光容易产生不均。但是，由于蒸镀装置12能够形成厚度更加均匀的薄膜，所以，能够得到抑制了发光不均的有机EL元件。被蒸镀体10的宽度方向的长度与第一实施方式相同即可。

这样，在从2个以上的蒸镀源22向1个筒状体32放出1种材料的情况下，第二实施方式的蒸镀装置12能够单独监视来自各个蒸镀源22的蒸镀速度，能够高精度控制蒸镀速度。因此，蒸镀装置12能够在被蒸镀体10上形成膜厚的偏差较小的薄膜。

图4A和图4B分别示出第三和第四实施方式。图4A所示的第三实施方式的蒸镀装置13使用多个放射多种(2种)蒸镀材料的蒸镀源23的组。图4B所示的第四实施方式的蒸镀装置14使用多个放射1种蒸镀材料的蒸镀源24。

与第一实施方式同样，第三实施方式的蒸镀装置13具有放射用于形成薄膜的蒸镀材料的蒸镀源23、以及朝向被蒸镀体10放出从蒸镀源23放射的蒸镀材料的筒状体33。筒状体33被加热到蒸镀材料气化的温度。第四实施方式的蒸镀装置14具有放射用于形成薄膜的蒸镀材料的蒸镀源24、以及朝向被蒸镀体10放出从蒸镀源24放射的蒸镀材料的筒状体34。筒状体34被加热到蒸镀材料气化的温度。

在第三实施方式的蒸镀装置13中，从筒状体33放出2种蒸镀材料并形成薄膜。即，薄膜形成为基于2种材料的混合膜。当设放射2种蒸镀材料的两个蒸镀源23为1组时，在筒状体33中设置3组这样的组。其结果，设置合计6个用于放射蒸镀材料的蒸镀源23。当放射相同种类的材料的蒸镀源23的个数增加为多个时，蒸镀材料的放出量增加，所以，在被蒸镀体10大型化的情况下，蒸镀装置13也能够高效地形成薄膜。特别是如第三实施方式的装置那样，当蒸镀源23的组数增加时，由于在宽度方向上更加均匀地放出蒸镀材料，所以，在被蒸镀体10更加大型的情况下，蒸镀装置13也能够形成更加均匀的薄膜。

在第四实施方式的蒸镀装置14中，从筒状体34放出1种蒸镀材料并形成薄膜。即，薄膜形成为单一蒸镀材料的薄膜。在筒状体34内设置合计3个放射1种蒸镀材料的蒸镀源24。当放射相同种类的材料的蒸镀源24的个数增加为多个时，蒸镀材料的放出量增加，所以，在被蒸镀体10大型化的情况下，蒸镀装置14也能够高效地形成薄膜。特别是如第四实施方式的装置那样，当蒸镀源24的个数为3个以上时，由于在宽度方向上更加均匀地放出蒸镀材料，所以，在被蒸镀体10更加大型的情况下，蒸镀装置14也能够形成更加均匀的薄膜。

在第三和第四实施方式中，通过沿着输送方向设置的多个分离板，筒状体的内部被分离为多个分离空间。具体而言，通过在宽度方向上大致均等地将筒状体分成3部分的两个分离板，设有容积大致相同的三个分离空间。各分离板被加热到蒸镀材料气化的温度。在第三和第四实施方式中，设置3个分离空间，但是，分离空间也可以是4个以上。另外，由于分离板对筒状体的内部空间进行分离，所以，分离空间的数量成为比分离板的数量多一个的数量。在多个分离空间中设有相同蒸镀源的组。即，朝向各分离空间放射相同种类的蒸镀材料。

在第三实施方式的蒸镀装置13中，在分离空间631、632、633中分别设置多个(2个)蒸镀源23和用于监视来自该蒸镀源23的蒸镀材料的放射的多个(2个)传感器83。由此，在被蒸镀体10的宽度增大的情况下，蒸镀装置13也能够形成宽度方向上厚度更加均匀且混合比稳定的薄膜。在本实施方式中，设置在各分离空间631、632、633中的传感器84用于监视设置在相同分离空间631、632、633中的蒸镀源23的蒸镀材料的放射。因此，蒸镀装置13能够在各分离空间631、632、633中监视来自蒸镀源2的蒸镀材料的放射，能够高精度进行蒸镀。另外，在由分离板531、532分隔的中央的分离空间632中，在其前方的壁面和后方的壁面上设置传感器83。由此，通过使传感器部93之间的距离较远，能够提高监视精度。另外，也可以在分离板531、532上设置传感器83，但是，装置变得复杂，所以，传感器83设置在筒状体33的壁面上较好。

并且，在第四实施方式的蒸镀装置14中，在分离空间641、642、643中分别设置1个蒸镀源24和监视来自该蒸镀源24的蒸镀材料的放射的1个传感器84。由此，在被蒸镀体10的宽度增大的情况下，蒸镀装置14也能够形成宽度方向上厚度更加均匀的薄膜。在本实施方式中，设置在各分离空间641、642、643中的传感器84用于监视设置在相同分离空间641、642、643中的蒸镀源24的蒸镀材料的放射。因此，蒸镀装置14能够在各分离空间641、642、643中监视来自蒸镀源24的蒸镀材料的放射，能够高精度进行蒸镀。

在第三和第四实施方式的蒸镀装置中，通过设置分离板并将筒状体的内部分隔为多个分离空间，在对宽度方向的长度较长的被蒸镀体10进行蒸镀的情况下，也能够简单地调整蒸镀材料的放射，调整蒸镀量的分布。即，在使用未设置分离板且筒状体的内部完全连通的蒸镀装置的情况下，当在筒状体上设置多个相同种类的蒸镀源时，材料在筒状体的内部混合。于是，即使利用传感器进行监视，也无法判别是从哪个蒸镀源放射的蒸镀材料，无法适当控制蒸镀源的放射量等。但是，在本实施方式中，设置分离板并对筒状体内部的空间进行分隔，在各个分离空间中设置蒸镀源和传感器，所以，能够简单地监视来自各个蒸镀源的材料的放射。因此，能够高精度地形成薄膜。

在第三和第四实施方式中，分离板的结构采用与第一实施方式的分离板相同的结构即可。即，优选分离板设置成不对筒状体的开口附近进行分离。并且，优选分离板设置成，在引出连接一个分离空间中的蒸镀源的放射部和另一个分离空间中的传感器的传感器部的直线作为假想线时，隔断该假想线。进而，优选分离板的高度高于传感器的传感器部。并且，分离板能够进行高度调节。当分离板的高度过高时，很难得到均匀的膜厚，当分离板的高度过低时，对传感器的监视造成不良影响，所以，适当设定分离板的高度。

在第三和第四实施方式中，传感器对蒸镀材料的放射的监视与第一实施方式相同即可。与第一实施方式同样，优选根据传感器的监视，对蒸镀速度进行控制。

第三和第四实施方式的蒸镀装置13、14能够在被蒸镀体10上形成在宽度方向上均匀且稳定的薄膜，所以，适于在宽度方向的长度较长的大型基板上形成薄膜。例如，在形成大型有机EL元件的情况下，当膜厚不均匀时，发光容易产生不均，但是，在该蒸镀装置13、14中，由于能够以厚度更加均匀且减少了混合比的偏差的方式进行成膜，所以，能够得到抑制了发光不均的有机EL元件。被蒸镀体10的宽度方向的长度与第一实施方式相同即可，但是，在本实施方式中，与第一实施方式中使用的被蒸镀体10相比，能够进一步增大宽度方向的长度。

这样，在1个筒状体33内混合3组以上的2种材料的情况下，第三实施方式的蒸镀装置13能够单独监视来自各个蒸镀源23的蒸镀材料的蒸镀速度，能够高精度控制蒸镀速度和掺杂浓度。因此，蒸镀装置13能够在被蒸镀体10上形成膜厚和浓度偏差较小的混合薄膜。并且，在从3个以上的蒸镀源24向1个筒状体34放出1种材料的情况下，第四实施方式的蒸镀装置14能够单独监视来自各个蒸镀源24的蒸镀材料的蒸镀速度，能够高精度控制蒸镀速度。因此，蒸镀装置14能够在被蒸镀体10上形成膜厚的偏差较小的薄膜。

如上所述，第三实施方式的蒸镀装置13具有与第一实施方式相同的结构，还具有第二分离板532、第三蒸镀源23和第三传感器83。该蒸镀装置14用于通过蒸镀在所输送的被蒸镀体10上形成薄膜。蒸镀装置13具有构成热壁的筒状体33。该筒状体33具有面向沿着被蒸镀体10的输送方向的被蒸镀体10的一面的开口43。

蒸镀装置13具有配置在筒状体33的内部的两个分离板531、532(第一分离板531和第二分离板532)。这些分离板531、532与筒状体33一起构成热壁。通过第一分离板531，筒状体33的内部被分离为沿着筒状体33的开口43的面在与被蒸镀体10的输送方向垂直的方向上并列的第一分离空间631和第二分离空间632。进而，通过第二分离板532，筒状体33的内部被分离为沿着筒状体33的开口43的面在与被蒸镀体10的输送方向垂直的方向上并列的第二分离空间632和第三分离空间633。即，通过第一分离板531和第二分离板532，筒状体33的内部被分离为沿着筒状体33的开口43的面在与被蒸镀体10的输送方向垂直的方向上并列的第一分离空间631、第二分离空间632和第三分离空间633。

在第一分离空间631中设有构成为保持放射到该第一分离空间631中的蒸镀材料的第一蒸镀源231和构成为检测来自该第一蒸镀源231的蒸镀材料的放射的第一传感器831。在第二分离空间632中设有构成为保持放射到该第二分离空间632中的蒸镀材料的第二蒸镀源232和构成为检测来自该第二蒸镀源232的蒸镀材料的放射的第二传感器832。在第三分离空间633中设有构成为保持放射到该第三分离空间633中的蒸镀材料的第三蒸镀源233和构成为检测来自该第三蒸镀源233的蒸镀材料的放射的第三传感器833。

第一、第二和第三蒸镀源231、232、233分别由多个蒸镀源23构成。在本实施方式中，第一、第二和第三蒸镀源231、232、233分别包含蒸镀源23a和蒸镀源23b这两个蒸镀源23。

在本实施方式中，由第一蒸镀源231保持的蒸镀材料、由第二蒸镀源232保持的蒸镀材料、由第三蒸镀源233保持的蒸镀材料为相同种类。即，第一蒸镀源231中包含的蒸镀源23a、第二蒸镀源232中包含的蒸镀源23a、第三蒸镀源233中包含的蒸镀源23a构成为保持相同种类的蒸镀材料(掺杂剂材料)。第一蒸镀源231中包含的蒸镀源23b、第二蒸镀源232中包含的蒸镀源23b、第三蒸镀源233中包含的蒸镀源23b也构成为保持相同种类的蒸镀材料(主体材料)。

第一、第二和第三传感器831、832、833分别由多个传感器83构成。在本实施方式中，第一、第二和第三传感器831、832、833分别包含传感器83a和传感器83b这两个传感器83。

第一分离板531构成为不在其开口43附近对筒状体33的内部进行分离。该第一分离板531构成为，隔断分别连接第一和第二蒸镀源231、232的放射部73与第二和第一传感器832、831的传感器部93的假想直线。第二分离板532也构成为不在其开口43附近对筒状体33的内部进行分离。该第二分离板532构成为，隔断分别连接第二和第三蒸镀源232、233的放射部73与第三和第二传感器833、832的传感器部93的假想直线。

如上所述，第四实施方式的蒸镀装置14具有与第二实施方式相同的结构，还具有第二分离板542、第三蒸镀源243和第三传感器843。该蒸镀装置14用于通过蒸镀在所输送的被蒸镀体10上形成薄膜。蒸镀装置14具有构成热壁的筒状体84。该筒状体84具有面向沿着被蒸镀体10的输送方向的被蒸镀体10的一面的开口44。

蒸镀装置14具有配置在筒状体84的内部的两个分离板541、542(第一分离板541和第二分离板542)。这些分离板541、542与筒状体34一起构成热壁。通过第一分离板541，筒状体34的内部被分离为沿着筒状体34的开口44的面在与被蒸镀体10的输送方向垂直的方向上并列的第一分离空间641和第二分离空间642。进而，通过第二分离板542，筒状体34的内部被分离为沿着筒状体34的开口44的面在与被蒸镀体10的输送方向垂直的方向上并列的第二分离空间642和第三分离空间643。即，通过第一分离板541和第二分离板542，筒状体34的内部被分离为沿着筒状体34的开口44的面在与被蒸镀体10的输送方向垂直的方向上并列的第一分离空间641、第二分离空间642和第三分离空间643。

在第一分离空间641中设有构成为保持放射到该第一分离空间641中的蒸镀材料的第一蒸镀源241和构成为检测来自该第一蒸镀源241的蒸镀材料的放射的第一传感器841。在第二分离空间642中设有构成为保持放射到该第二分离空间642中的蒸镀材料的第二蒸镀源242和构成为检测来自该第二蒸镀源242的蒸镀材料的放射的第二传感器842。在第三分离空间643中设有构成为保持放射到该第三分离空间643中的蒸镀材料的第三蒸镀源243和构成为检测来自该第三蒸镀源243的蒸镀材料的放射的第三传感器843。

第一、第二和第三蒸镀源241、242、243分别由一个蒸镀源24构成。在本实施方式中，由第一蒸镀源241保持的蒸镀材料、由第二蒸镀源242保持的蒸镀材料、由第三蒸镀源243保持的蒸镀材料为相同种类。

第一、第二和第三传感器841、842、843分别由一个传感器84构成。

第一分离板541构成为不在其开口44附近对筒状体34的内部进行分离。该第一分离板541构成为，隔断分别连接第一和第二蒸镀源241、242的放射部74与第二和第一传感器842、841的传感器部94的假想直线。第二分离板542也构成为不在其开口44附近对筒状体34的内部进行分离。该第二分离板542构成为，隔断分别连接第二和第三蒸镀源242、243的放射部74与第三和第二传感器843、842的传感器部94的假想直线。

另外，在第一和第二实施方式中，通过在筒状体的内部配置一个分离板，筒状体内部的空间被分离为两个分离空间，在第三和第四实施方式中，通过在筒状体的内部配置两个分离板，筒状体内部的空间被分离为三个分离空间，但是，分离板和分离空间的数量不限于此。即，也可以通过在筒状体的内部配置三个以上的分离板，筒状体内部的空间被分离为四个以上的分离空间，在各分离空间中设置蒸镀源和传感器。

图5示出第五实施方式的蒸镀装置15。该蒸镀装置15具有与第三实施方式的蒸镀装置13相同的结构，还具有遮蔽体30。该蒸镀装置15用于通过蒸镀在所输送的被蒸镀体10上形成薄膜。蒸镀装置15具有构成热壁的筒状体35。该筒状体35具有面向沿着被蒸镀体10的输送方向的被蒸镀体10的一面的开口45。

蒸镀装置15具有配置在筒状体35的内部的两个分离板551、552(第一分离板551和第二分离板552)。这些分离板551、552与筒状体35一起构成热壁。通过第一分离板551，筒状体35的内部被分离为沿着筒状体35的开口45的面在与被蒸镀体10的输送方向垂直的方向上并列的第一分离空间651和第二分离空间652。进而，通过第二分离板552，筒状体35的内部被分离为沿着筒状体35的开口45的面在与被蒸镀体10的输送方向垂直的方向上并列的第二分离空间652和第三分离空间653。

在第一分离空间651中设有构成为保持放射到该第一分离空间651中的蒸镀材料的第一蒸镀源251和构成为检测来自该第一蒸镀源251的蒸镀材料的放射的第一传感器851。在第二分离空间652中设有构成为保持放射到该第二分离空间652中的蒸镀材料的第二蒸镀源252和构成为检测来自该第二蒸镀源252的蒸镀材料的放射的第二传感器852。在第三分离空间653中设有构成为保持放射到该第三分离空间653中的蒸镀材料的第三蒸镀源253和构成为检测来自该第三蒸镀源253的蒸镀材料的放射的第三传感器853。

第一、第二和第三蒸镀源251、252、253分别由多个蒸镀源25构成。在本实施方式中，第一、第二和第三蒸镀源251、252、253分别包含蒸镀源25a和蒸镀源25b这两个蒸镀源25。

在本实施方式中，由第一蒸镀源251保持的蒸镀材料、由第二蒸镀源252保持的蒸镀材料、由第三蒸镀源253保持的蒸镀材料为相同种类。即，第一蒸镀源251中包含的蒸镀源25a、第二蒸镀源252中包含的蒸镀源25a、第三蒸镀源253中包含的蒸镀源25a构成为保持相同种类的蒸镀材料(掺杂剂材料)。第一蒸镀源251中包含的蒸镀源25b、第二蒸镀源252中包含的蒸镀源25b、第三蒸镀源253中包含的蒸镀源25b也构成为保持相同种类的蒸镀材料(主体材料)。

第一、第二和第三传感器851、852、853分别由多个传感器85构成。在本实施方式中，第一、第二和第三传感器851、852、853分别包含传感器85a和传感器85b这两个传感器85。

遮蔽体30构成为沿着其开口45的面局部遮蔽筒状体35的内部。在筒状体35的轴方向上并列设置多个遮蔽体30。多个遮蔽体30分别具有开口304。筒状体35的轴方向上相邻的遮蔽体30的开口304在该轴方向上不重合。

多个遮蔽体30分别具有分别局部遮蔽多个分离空间651、652、653的部分301、302、303。即，多个遮蔽体30分别具有局部遮蔽第一分离空间651的部分301、局部遮蔽第二分离空间652的部分302、局部遮蔽第三分离空间653的部分303。这些部分301、302、303分别具有开口304。

这些遮蔽体30配置在比第一传感器851、第二传感器852和第三传感器853靠筒状体35的开口45侧的位置。即，各遮蔽体30配置在比任意传感器85靠筒状体35的开口45侧的位置。

本实施方式的蒸镀装置15与第三实施方式的情况同样，即使被蒸镀体10为大型，也能够在被蒸镀体10上形成膜厚和组成的偏差较小的薄膜。特别是在本实施方式中，通过遮蔽体30遮蔽作为外界干扰要因的物质到达各传感器85。作为外界干扰要因的物质是引起传感器85的检测精度降低的物质，作为其例子，举出从一个分离空间放出并侵入其他分离空间的蒸镀物质。因此，各传感器85的检测精度提高，由此，能够以更高精度形成薄膜。

进而，在本实施方式中，通过使多种蒸镀物质穿过遮蔽体30，良好地混合这些蒸镀物质。因此，薄膜的组成的偏差进一步减小。

另外，在本实施方式中，设置多个遮蔽体30，但是，也可以仅设置一个遮蔽体30。

图6示出第五实施方式的第一变形例。在本变形例中，变更第五实施方式中的蒸镀源25和传感器85的位置。在本变形例中，分别设置在多个分离空间651、652、653中的多个蒸镀源25沿着被蒸镀体10的输送方向并列。即，第一蒸镀源251中包含的两个蒸镀源25a、25b沿着被蒸镀体10的输送方向并列，第二蒸镀源252中包含的两个蒸镀源25a、25b沿着被蒸镀体10的输送方向并列，第三蒸镀源253中包含的两个蒸镀源25a、25b沿着被蒸镀体10的输送方向并列。进而，分别设置在多个分离空间651、652、653中的多个传感器85也沿着被蒸镀体10的输送方向并列。即，第一传感器851中包含的两个传感器85a、85b沿着被蒸镀体10的输送方向并列，第二传感器852中包含的两个传感器85a、85b沿着被蒸镀体10的输送方向并列，第三传感器853中包含的两个传感器85a、85b沿着被蒸镀体10的输送方向并列。在本实施方式中，在筒状体35中的在被蒸镀体10的输送方向上相互对置的两个壁面上分别安装传感器85a和传感器85b。由此，容易实现各分离空间651、652、653中的在被蒸镀体10的输送方向上并列的两个传感器85a、85b的配置。

在本变形例中，在各分离空间651、652、653中，多个蒸镀源25沿着被蒸镀物10的输送方向并列，所以，在各分离空间651、652、653内，容易沿着被蒸镀物10的输送方向产生多种蒸镀材料的浓度分布的倾斜。这样，在浓度分布产生倾斜的状态下，通过传感器85检测蒸镀材料。因此，能够以更高精度计测各蒸镀材料的蒸镀速度，以更高精度控制通过蒸镀而形成的薄膜的厚度和组成。

图7示出第五实施方式的第二变形例。在本变形例中，变更第五实施方式中的传感器85的位置。在本变形例中，传感器85分别安装在多个蒸镀源25中。即，在第一蒸镀源251中包含的蒸镀源25a和蒸镀源25b中分别安装第一传感器851中包含的传感器85a和传感器85b。在第二蒸镀源252中包含的蒸镀源25a和蒸镀源25b中分别安装第二传感器852中包含的传感器85a和传感器85b。在第三蒸镀源253中包含的蒸镀源25a和蒸镀源25b中分别安装第三传感器853中包含的传感器85a和传感器85b。

在本变形例中，在各蒸镀源25中气化的蒸镀材料从该蒸镀源25放射之前，通过设置在该蒸镀源25中的传感器85进行检测。因此，在多种蒸镀材料被放出到各分离空间651、652、653中时，在这些蒸镀材料混合之前，通过传感器85检测各蒸镀材料。因此，能够以更高精度计测各蒸镀材料的蒸镀速度，以更高精度控制通过蒸镀而形成的薄膜的厚度和组成。

图8是具有多个蒸镀装置1的蒸镀系统的一例。该蒸镀系统能够用作有机电致发光元件制造装置(有机EL制造装置)。该蒸镀系统使用多个蒸镀装置11、12，通过蒸镀依次在所输送的被蒸镀体10上层叠形成薄膜。由此，有机EL制造装置能够以串联方式高效地制造有机EL元件等电气设备。在图8中，图示了从输送方向(空心箭头)的上游朝向下游依次配置2个蒸镀装置11、12的状况。另外，蒸镀装置也可以是3个以上。例如，也可以使用与通过蒸镀而形成的薄膜的数量相同的数量的蒸镀装置。作为多个蒸镀装置，可以混合配置第一实施方式的蒸镀材料为多种的蒸镀装置11和第二实施方式的蒸镀材料为1种的蒸镀装置12。即，如图5所示，例如，蒸镀系统可以具有第一实施方式的蒸镀装置11和第二实施方式的蒸镀装置12。由此，蒸镀系统能够结合材料而形成发光层或电荷输送层等适当层。另外，蒸镀系统也可以具有第一～第五实施方式的蒸镀装置11、12、13、14、15中的两个以上的蒸镀装置。

图8的形式的蒸镀系统具有输送被蒸镀体10的输送单元20。输送单元20由传送机等适当输送机构构成。通过由输送机构进行输送，被蒸镀体10能够沿着生产线从输送方向的上游侧朝向下游侧依次穿过各蒸镀装置11、12的上方。输送单元20例如具有构成为对被蒸镀体10的宽度方向的端部进行支承的支承部件。该情况下，输送单元20构成为，利用支承部件支承被蒸镀体10的宽度方向的端部，并且，使被蒸镀体10的下部表面露出到外部，并按照每个支承部件输送被蒸镀体10。通过使被蒸镀体10的下部表面露出，能够在该表面上蒸镀从筒状体31、32放出的蒸镀材料并形成薄膜。被蒸镀体10例如至少包含基板。例如，作为被蒸镀体10，使用在表面上形成有透明电极的基板。作为被蒸镀体10，也可以使用在表面上形成有透明电极和有机层的一部分层的基板。以形成有薄膜的表面成为下方的方式，将基板放置在适当的支承部件上。由此，能够构成被蒸镀体10。另外，也可以构成为，输送单元20具有配置在宽度方向的各端部的辊或皮带等传送机，将基板的宽度方向的端部载置在传送机上来输送基板。在蒸镀时，也可以在被蒸镀体10的下部表面上重叠掩模。由此，蒸镀系统不会对被蒸镀体10的外周部进行蒸镀，并且能够以适当图案层叠薄膜。

图8的蒸镀系统能够更加均匀且稳定地在大型的被蒸镀体10上依次形成薄膜，所以，有机EL制造装置能够高效制造大型有机EL元件。构成制造出的有机EL元件的各层的厚度在其宽度方向(与输送方向垂直的方向)的全体范围内一致，特别是在混合层(即含有两种以上的材料的层)中，材料的混合比(掺杂量等)在宽度方向的全体范围内稳定。因此，有机EL元件的发光不均减少，能够得到更加均匀的面状发光。由此，利用该有机EL制造装置制造出的有机EL元件能够有效用作面状照明装置。

实施例

发明人如下所述调查了蒸镀装置中的由于分离板高度不同而引起的膜厚分布的变化。作为蒸镀装置，与图3A和图3B所示的第二实施方式同样，使用放出1种蒸镀材料的蒸镀装置。即，在该蒸镀装置中，通过一个分离板将筒状体的内部等分分离为两个分离空间，在各分离空间中设置一个蒸镀源。筒状体的高度为400mm，其宽度方向(与输送方向垂直的方向)的长度为840mm，其输送方向的长度为100mm。传感器的传感器部配置在从筒状体的上端起的下方300mm处的位置。作为被蒸镀体，使用宽度为730mm、输送方向的长度为920mm的基板(板状基材)。作为分离板，使用厚度为3mm的钢板，该分离板配置在筒状体的中央。以使被蒸镀体的宽度方向的中央部和筒状体的宽度方向的中央部的位置一致的方式输送被蒸镀体。

图9是示出在分离板的高度彼此不同的两个实施例(薄膜例1和薄膜例2)中形成的薄膜的厚度分布的曲线图。横轴是“与基板中央之间的距离”，关于与被蒸镀体的宽度方向的中央部分之间的距离，利用正数表示一个端部侧，利用负数表示另一个端部侧。纵轴是所层叠的薄膜的“粒子密度”，这是与厚度分布相等的指标。另外，为了利用指数表示数值而使用“E”，例如，2E+20是指2×10²⁰。在薄膜例1中，分离板的上端部的位置位于比筒状体的上端靠下方30mm处。该分离板的上端部的位置也可以位于比传感器的传感器部靠上方。在薄膜例2中，分离板的高度与筒状体的高度相同，通过分离板分离筒状体的开口。

如图9的薄膜例2所示，在分离板的高度与筒状体的高度相同时，分离板的正上方附近(基板中央附近)的膜厚变薄，膜厚分布的均匀性成为±5％以上(最大值和最小值从平均值超出5％的范围)。在薄膜的膜厚分布中，在宽度方向的中央部出现凹陷。认为这是因为在分离板的上方放出的蒸镀材料减少。另外，在凹陷中形成凸部，薄膜的厚度稍微变厚。从相邻的两个分离空间放出的蒸镀材料重复沉积而形成该凸部。

另一方面，如图9的薄膜例1所示，在分离板的高度低于开口的位置、分离板不对筒状体的开口附近进行分离时，膜厚分布在宽度方向的中央部大致恒定，膜厚分布的均匀性成为±3％以下(最大值和最小值从平均值超出3％的范围内)。进而，在分离板的上端部的位置位于比筒状体的上端靠下方60mm处的情况下，膜厚分布的均匀性成为±1％以下(最大值和最小值从平均值超出1％的范围内)。

另外，膜厚在基板端部减小，但是，由于多数情况下在基板端部可以不形成薄膜，所以没有问题。

这样，确认到当分离板的高度低于筒状体的高度时，调整被蒸镀体的膜厚分布，在被蒸镀体上形成膜厚偏差更小的薄膜。

Claims (7)

1.一种蒸镀装置，用于通过蒸镀在所输送的被蒸镀体上形成薄膜，该蒸镀装置具有构成热壁的筒状体，该筒状体具有面向沿着所述被蒸镀体的输送方向的所述被蒸镀体的一面的开口，其特征在于，

所述蒸镀装置具有配置在所述筒状体的内部并构成所述热壁的分离板，通过该分离板，所述筒状体的内部被分离为沿着所述开口的面在与所述被蒸镀体的输送方向垂直的方向上并列的第一分离空间和第二分离空间，

在所述第一分离空间中设有构成为保持放射到该第一分离空间中的蒸镀材料的第一蒸镀源和构成为检测来自该第一蒸镀源的蒸镀材料的放射的第一传感器，

在所述第二分离空间中设有构成为保持放射到该第二分离空间中的蒸镀材料的第二蒸镀源和构成为检测来自该第二蒸镀源的蒸镀材料的放射的第二传感器。

2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述分离板构成为不在筒状体的开口附近对所述筒状体的内部进行分离，

所述分离板构成为隔断分别连接所述第一蒸镀源和第二蒸镀源的放射部与所述第二传感器和第一传感器的传感器部的假想直线。

3.如权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述第一蒸镀源和第二蒸镀源分别由多个蒸镀源构成，所述第一传感器和第二传感器分别由多个传感器构成。

4.如权利要求1～3中的任意一项所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述蒸镀装置具有配置在所述筒状体的内部并构成所述热壁的第二分离板，通过该第二分离板，所述筒状体的内部被分离为沿着所述开口的面在与所述被蒸镀体的输送方向垂直的方向上并列的所述第二分离空间和第三分离空间，

在所述第三分离空间中设有构成为保持放射到该第三分离空间中的蒸镀材料的第三蒸镀源和构成为检测来自该第三蒸镀源的蒸镀材料的放射的第三传感器，

由所述第一蒸镀源保持的蒸镀材料、由所述第二蒸镀源保持的蒸镀材料、由所述第三蒸镀源保持的蒸镀材料为相同种类。

5.如权利要求1～4中的任意一项所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述蒸镀装置具有构成为沿着所述开口的面局部遮蔽所述筒状体的内部的遮蔽体，该遮蔽体配置在比所述第一传感器和所述第二传感器靠所述开口侧的位置。

6.如权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，

在所述筒状体的轴方向上并列设置多个所述遮蔽体。

7.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，

多个所述遮蔽体分别具有开口，在所述筒状体的轴方向上相邻的所述遮蔽体的所述开口在所述轴方向上不重合。