CN104043573A

CN104043573A - 干燥装置及干燥处理方法

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Publication number: CN104043573A
Application number: CN201410096586.6A
Authority: CN
Inventors: 岛村明典; 林辉幸; 今田雄; 佐田彻也; 西山淳; 斋藤广美; 大田司; 田边诚一
Original assignee: Seiko Epson Corp; Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2013-03-14
Filing date: 2014-03-14
Publication date: 2014-09-17
Anticipated expiration: 2034-03-14
Also published as: KR101754260B1; KR20140113399A; CN104043573B

Abstract

本发明提供能够高效地且在短时间内除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且能够在基板的面内进行均匀的干燥处理的干燥装置及干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）、用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为支承构件的载置台（3）、用于朝向支承在载置台（3）的基板（S）上的有机材料膜喷射气体的气体喷射装置（5）、以及控制部（6）。干燥装置（100）还包括用于调节处理容器（1）内的压力的压力控制机构。多个喷嘴（51）构成为能够针对每个喷嘴（51）独立调节气体的喷射流量、气体的种类。

Description

干燥装置及干燥处理方法

技术领域

本发明例如涉及在有机EL元件的制造过程中能够用来进行有机材料膜的干燥的干燥装置及干燥处理方法。

背景技术

有机EL（Electro Luminescence）元件是通过通入电流而利用产生的有机化合物发光的发光元件，成为在一对电极之间夹有多个有机功能膜的层叠体（以下将该层叠体统称作“EL层”）的构造。在此，EL层例如具有从阳极侧起按照［正穴输送层／发光层／电子输送层］、［正穴注入层／正穴输送层／发光层／电子输送层］、或者［正穴注入层／正穴输送层／发光层／电子输送层／电子注入层］等的顺序层叠而成的构造。

通过针对各层分别在基板上蒸镀或者涂敷有机材料而形成EL层。在形成高精度的微细图案的情况下，作为涂敷方法，一般认为利用喷墨印刷法是有利的。

由于在利用喷墨印刷法印刷在基板上的有机材料膜中含有大量的溶剂，因此，为了除去该溶剂而进行减压干燥处理（例如专利文献1、专利文献2）。进而对干燥后的有机材料膜进行烘焙处理。利用该烘焙处理使有机材料膜变化为构成EL层的有机功能膜（例如专利文献3）。

在干燥处理时，溶剂、水分等自基板上的有机材料膜大量地挥发。因此，若不自干燥装置的处理容器内迅速地除去这些挥发成分，则干燥效率降低。干燥后的有机材料膜的状态会对EL层的特性产生影响是众所周知。例如在干燥处理时，若在基板的面内产生干燥状态的不均匀，则基板面内的有机EL元件的特性会产生偏差，在用作有机EL显示器时，会成为引起显示不均匀等不良的原因。

但是，若使干燥装置的处理容器内减压，则随着压力的降低而排气量减少，因此，在高真空状态下排气量变少。此外，在高真空状态下，自有机材料膜中挥发的溶剂在处理容器内形成分子流，因此，产生溶剂滞留在处理容器内这样的问题。

作为除去利用喷墨印刷法涂敷的有机材料膜中的溶剂的干燥装置，提出了一种在与基板的涂敷面相对的盖构件中包括用于喷出非活性气体的多个喷出口的干燥装置（例如专利文献4）。在该专利文献4中，出于在基板面内使喷射的非活性气体的量均匀化的目的，记载有在与基板相对配置的盖构件中改变喷出口的大小、喷出口的数量的内容。此外，在专利文献4中也记载有为了防止涂敷膜的急剧干燥而向处理容器内供给溶剂蒸汽的内容。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第3951162号公报（段落0023等）

专利文献2：日本专利第4168968号公报（权利要求2等）

专利文献3：日本专利第4148933号公报（权利要求1等）

专利文献4：日本特开2010－67430号公报（图1等）

发明内容

发明要解决的问题

本发明的目的在于提供一种能够高效地且在短时间内除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且能够在基板的面内进行均匀的干燥处理的干燥装置及干燥处理方法。

用于解决问题的方案

本发明人等基于在减压干燥处理中对涂敷在基板上的有机材料膜干燥的行为进行研究的结果得出了这样的见解：有机材料膜在基板的面内不均匀地进行干燥；以及基板面内的有机材料膜的干燥程度根据有机材料膜的图案形状也会很大程度地变化。基于这些见解，本发明人等设想：通过一边调节压力、一边使朝向基板喷射的气体的流量、种类在基板面内积极地发生变化，能够在基板面内以均匀的速度进行干燥，完成了本发明。

本发明的干燥装置是除去被涂敷在基板的表面的有机材料膜中的溶剂而使有机材料膜干燥的干燥装置。本发明的干燥装置包括能够抽成真空的处理容器、用于排出上述处理容器内的气体的排气口、用于在上述处理容器内支承上述基板的支承构件、具有用于朝向支承在上述支承构件上的上述基板喷射气体的多个喷嘴的气体喷射装置、以及以一个喷嘴或者两个以上喷嘴的组合为单位来独立调节从上述多个喷嘴喷射的上述气体的喷射流量和／或上述气体的种类的控制部。

本发明的干燥装置也可以是，上述多个喷嘴喷射用于促进上述有机材料膜的干燥的干燥用气体。

本发明的干燥装置也可以是，上述多个喷嘴喷射用于抑制上述有机材料膜的干燥的干燥抑制用气体。

本发明的干燥装置也可以是，上述多个喷嘴包含：喷射用于促进上述有机材料膜的干燥的干燥用气体的喷嘴、以及喷射用于抑制上述有机材料膜的干燥的干燥抑制用气体的喷嘴。

本发明的干燥装置也可以是，上述多个喷嘴至少包含距支承在上述支承构件上的基板的距离相对较近的喷嘴、以及相对较远的喷嘴。

本发明的干燥装置也可以是，上述喷嘴包括圆筒状的纵长的主体部，沿着该主体部的长度方向形成有狭缝状的长条的气体喷射口。在这种情况下，上述多个喷嘴也可以包含用于朝向支承在上述支承构件上的上述基板的中央部喷射气体的第1喷嘴组、以及用于朝向上述基板的周缘部喷射气体的第2喷嘴组。

本发明的干燥处理方法是除去被涂敷在基板的表面的有机材料膜中的溶剂而使有机材料膜干燥的干燥处理方法。本发明的干燥处理方法使用干燥装置，该干燥装置包括能够抽成真空的处理容器、用于排出上述处理容器内的气体的排气口、用于在上述处理容器内支承上述基板的支承构件、具有用于朝向支承在上述支承构件上的上述基板喷射气体的多个喷嘴的气体喷射装置、以及以一个喷嘴或者两个以上喷嘴的组合为单位来独立调节从上述多个喷嘴喷射的上述气体的喷射流量和／或上述气体的种类的控制部。

本发明的干燥处理方法也可以将上述处理容器内的压力保持在0.1Pa～100Pa的范围内来进行干燥处理。

本发明的干燥处理方法也可以在以一个喷嘴或者两个以上喷嘴的组合为单位来独立调节用于促进上述有机材料膜的干燥的干燥用气体的喷射流量的同时、朝向上述基板喷射该干燥用气体。

本发明的干燥处理方法也可以在以一个喷嘴或者两个以上喷嘴的组合为单位来独立调节用于抑制上述有机材料膜的干燥的干燥抑制用气体的喷射流量的同时、朝向上述基板喷射该干燥抑制用气体。

本发明的干燥处理方法也可以在以一个喷嘴或者两个以上喷嘴的组合为单位来独立调节用于促进上述有机材料膜的干燥的干燥用气体和用于抑制上述有机材料膜的干燥的干燥抑制用气体的混合比率的同时、朝向上述基板喷射该干燥用气体和干燥抑制用气体的混合气体。

本发明的干燥处理方法也可以呈脉冲状喷射上述气体。

本发明的干燥处理方法也可以在有机EL元件的制造过程中利用喷墨印刷法在上述基板上涂敷上述有机材料膜。

发明的效果

采用本发明的干燥装置和干燥处理方法，能够高效地且在短时间内除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂，并且能够在基板的面内进行均匀的干燥。因而，采用本发明，例如能够提供一种能够提高有机EL元件的制造工艺的生产率、并且可靠性较高的有机EL元件。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式的干燥装置的概略结构的剖视图。

图2是表示图1的干燥装置中的喷嘴的配置的说明图。

图3是示意地表示处理容器内的压力变化的特性图。

图4是表示有机EL元件的制造工序的概略的流程图。

图5是表示本发明的第2实施方式的干燥装置的概略结构的剖视图。

图6是表示图5的干燥装置中的喷嘴的配置的说明图。

图7是表示在对处理容器内进行减压排气的中途导入了N₂气的情况和未导入N₂气的情况下的压力变化的特性图。

图8是表示向处理容器内连续地导入了N₂气的情况下的N₂气流量与处理容器内的压力之间的关系的特性图。

图9是表示向处理容器内非连续地导入了N₂气的情况下的N₂气流量与处理容器内的压力之间的关系的特性图。

图10是在确认本发明的效果的实验中与基板的俯视图重叠地表示观察到的基板表面的干燥程度的位置和喷嘴的设置位置的说明图。

图11是表示本发明的第3实施方式的干燥装置的概略结构的剖视图。

图12是表示图11的干燥装置中的喷嘴的结构的立体图。

图13是图11的干燥装置中的喷嘴的与长度方向正交的方向上的剖视图。

图14是表示图11的干燥装置中的喷嘴的配置的说明图。

图15是说明在图11的干燥装置中对基板进行干燥处理的情况下的气体喷射流量和喷射时机的一例子的图。

图16是表示本发明的第4实施方式的干燥装置的概略结构的剖视图。

图17是表示本发明的第5实施方式的干燥装置的概略结构的剖视图。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的实施方式。

第1实施方式

图1是表示本发明的第1实施方式的单片式的干燥装置的概略结构的剖视图。本实施方式的干燥装置100用于对作为被处理体的例如有机EL显示器用的玻璃基板（以下简记作“基板”）S除去被涂敷在其表面的有机材料膜中的溶剂并使其干燥的干燥处理。

本实施方式的干燥装置100包括能够抽成真空的处理容器1、用于在处理容器1内支承基板S的作为支承构件的载置台3、用于朝向支承在载置台3的基板S上的有机材料膜喷射气体的气体喷射装置5、以及以一个喷嘴或者两个以上喷嘴的组合为单位来独立调节从多个喷嘴喷射的气体的喷射流量和／或气体的种类的控制部6。另外，在“气体的种类”中包含混合比率（以下同样）。此外，干燥装置100还包括用于调节处理容器1内的压力的压力控制机构。

处理容器

处理容器1是能够抽成真空的耐压容器。处理容器1利用金属材料形成。作为形成处理容器1的材料，例如能够使用铝、铝合金、不锈钢等。处理容器1包括底壁11、方筒状的4个侧壁13、以及顶部15。

在侧壁13中设有用于向装置内搬入基板S或者自该装置搬出基板S的搬入搬出口13a。搬入搬出口13a用于在处理容器1与外部之间搬入或搬出基板S。在搬入搬出口13a中设有闸阀GV。闸阀GV具有打开或关闭搬入搬出口13a的功能，其在关闭状态下以气密的方式密封处理容器1，并且在打开状态下能够在处理容器1和外部之间移送基板S。

在底壁11中设有排气口11a。排气口11a经由排气管17连接于外部的排气装置19。构成为通过驱动该排气装置19，能够对处理容器1内进行减压排气至规定的真空度、例如0.1Pa左右的压力。

载置台

在处理容器1的内部配备有作为支承装置的载置台3。载置台3被多个支柱21支承。多个支柱21固定在底壁11上。载置台3虽省略图示，但载置台3具有用于使基板S升降移位的机构、例如升降销等，能够在交接基板S的交接位置和将基板3载置在载置台3上而进行干燥处理的处理位置之间调整基板S的高度位置。

压力控制机构

本实施方式的干燥装置100还包括排气装置19。另外，排气装置19既可以是干燥装置100的一个构成部分，也可以是与干燥装置100分开的外部装置。排气装置19例如具有涡轮分子泵、干泵等真空泵。干燥装置100还包括连接排气口11a和排气装置19的排气管17、以及设于排气管17的中途的APC（Adaptive Pressure Control）阀23。通过使排气装置19的真空泵工作，并且调节APC阀23的开度，能够将处理容器1的内部空间减压排气到规定的真空度。

此外，本实施方式的干燥装置100还包括用于监视处理容器1内的压力的压力计25。压力计25将处理容器1内的测量压力作为电信号发送到APC阀23。

在本实施方式中，由排气装置19、排气管17、APC阀23以及压力计25构成对处理容器1内进行减压排气并调节到规定压力的压力控制机构。

气体喷射装置

气体喷射装置5包括多个喷嘴51、向各喷嘴51供给气体的气体供给源53、以及连接气体供给源53和各喷嘴51且用于向各喷嘴51供给气体的多个配管55。在图1中代表性地表示了6个喷嘴51。对于各喷嘴51，在为了便于说明而需要区分的情况下，朝向图1的纸面从左侧开始标记为喷嘴51A、喷嘴51B、喷嘴51C、喷嘴51C、喷嘴51B、喷嘴51A。在此，喷嘴51C与矩形基板S的中央部分的上方相对地配置，喷嘴51A与基板S的周缘部分的上方相对地配置，喷嘴51B与基板S的中央部分和周缘部分之间的中间部分的上方相对地配置。

气体供给源53包括非活性气体供给源53A和溶剂气体供给源53B。非活性气体供给源53A例如供给用于促进有机材料膜的干燥的作为干燥用气体的非活性气体。作为非活性气体，例如能够使用氮气、氩气、氦气等。溶剂气体供给源53B供给用于抑制有机材料膜的干燥的作为干燥抑制用气体的溶剂气体。另外，气体供给源53除了非活性气体供给源53A和溶剂气体供给源53B之外，也可以还包括其他的气体供给源。

此外，气体喷射装置5在配管55的中途包括多个开闭阀59和用于控制气体流量的多个质量流量控制器（MFC）57。利用质量流量控制器（MFC）57和开闭阀59能够控制从喷嘴51喷射的气体的流量、喷射速度、气体的种类等。另外，在图1中，对于配管55、开闭阀59以及质量流量控制器（MFC）57图示了代表性的形态，但它们的配设位置、数量并不限定于图1所例示的内容。

多个喷嘴51为了能够朝向基板S的表面喷射气体而设置在基板S的上方。多个喷嘴51构成为能够独立调节气体的喷射流量和／或气体的种类。也就是说，配备为利用配管55、质量流量控制器（MFC）57以及开闭阀59的组合能够针对每个喷嘴51独立地控制气体的喷射流量。此外，构成为利用配管55、质量流量控制器（MFC）57以及多个开闭阀59的组合能够针对每个喷嘴51独立地切换气体的种类并进行喷射。

气体的喷射流量

多个喷嘴51构成为能够分别以独立的喷射流量喷射非活性气体。例如能够从配置在有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分的正上方的喷嘴51C以相对较大的流量V1向该中央部分喷射非活性气体。此外，能够从配置在有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分的正上方的喷嘴51A以与流量V1相比相对较小的流量V2向该周缘部分喷射非活性气体。并且，能够从喷嘴51B以流量V1和流量V2的中间的流量V3向基板S的中央部分和周缘部分之间的中间部分喷射非活性气体。另外，也可以不向基板S的周缘部分和中间部分喷射非活性气体。

此外，多个喷嘴51构成为能够分别以独立的喷射流量喷射溶剂气体。例如能够从喷嘴51A以相对较大的流量V4向有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分喷射溶剂气体。此外，能够从喷嘴51C以与流量V4相比相对较小的流量V5向有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分喷射溶剂气体。并且，能够从喷嘴51B以流量V4和流量V5的中间的流量V6向基板S的中央部分和周缘部分之间的中间部分喷射溶剂气体。另外，也可以不向基板S的中央部分和中间部分喷射溶剂气体。

另外，气体的喷射流量并不限定于流量V1～V3、V4～V6各3个等级，也可以是1个等级或者两个等级或者4个等级以上。此外，并不限定于基板S的中央部分、周缘部分和中间部分，能够对于更加细分化的区域以各自设定流量的方式喷射气体。

气体种类

多个喷嘴51构成为能够分别独立地喷射非活性气体、溶剂气体、或者非活性气体和溶剂气体的混合气体（以下有时简记作“混合气体”）。例如能够从喷嘴51C向有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分喷射非活性气体。此外，能够从喷嘴51A向有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分喷射溶剂气体。并且，能够从喷嘴51B向基板S的中央部分和周缘部分之间的中间部分喷射非活性气体和溶剂气体的混合气体。

并且，多个喷嘴51构成为能够分别以独立的混合比率喷射混合气体。例如能够从喷嘴51C以溶剂气体浓度较低的第1混合比率向有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分喷射混合气体。此外，能够从喷嘴51A以溶剂气体浓度比第1混合比率高的第2混合比率向有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分喷射混合气体。并且，能够从喷嘴51B以溶剂气体的浓度为第1混合比率和第2混合比率的中间的第3混合比率向基板S的中央部分和周缘部分之间的中间部分喷射混合气体。

另外，混合气体并不限定于第1～第3混合比率这3个等级，也可以是1个等级或者两个等级或者4个等级以上。此外，并不限定于基板S的中央部分、周缘部分和中间部分，能够对于更加细分化的区域以各自设定种类、混合比率的方式喷射气体。

喷嘴高度位置

在本实施方式的干燥装置100中，能够各自设定多个喷嘴51的高度位置。即，多个喷嘴51至少包含距支承在载置台3上的基板S的距离相对较近的喷嘴51C、相对较远的喷嘴51A、以及它们中间的高度位置的喷嘴51B。例如能够通过在导入到处理容器1内的配管55和喷嘴51之间安装未图示的管接头（延长配管）来实现各喷嘴51的高度位置。通过这样改变喷嘴51和基板S之间的距离，即便例如在以相同的速度喷射相同气体的情况下，也能够控制到达基板S的表面的气体的强度、量等。在图1所示的例子中，在有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分，在距基板S的距离相对较近的高度位置H1配置有喷嘴51C。此外，在有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分，在比高度位置H1高且距基板S的距离相对较远的高度位置H2配置有喷嘴51A。并且，在基板S的中央部分和周缘部分之间的中间部分，在比高度位置H1高且比高度位置H2低的高度位置H3配置有喷嘴51B。

另外，喷嘴51的高度位置并不限定于高度位置H1～H3这3个等级，也可以是1个等级或者两个等级或者4个等级以上。此外，并不限定于基板S的中央部分、周缘部分和中间部分，能够对于更加细分化的区域以各自设定喷嘴51的高度位置的方式喷射气体。

喷嘴的配置

图2是用于说明图1的干燥装置100中的喷嘴51的配置的基板S的俯视图。在图2中，以向基板S的上表面投影的方式表示了喷嘴51的配置。此外，在图2中，用R1～R4表示利用喷墨印刷法图案涂敷在基板S上的有机材料膜的形成区域。在此，区域R1～R4分别与有机EL产品、例如有机EL显示器的大小对应。也就是说，为了能够由1张基板S制造4个有机EL产品，在基板S的面内划分有机材料膜而形成有机EL产品。多个喷嘴51针对4个有机材料膜的形成区域R1～R4分别均等地配置有各9个。这样，能够考虑到形成在基板S上的有机材料膜的布局来配置喷嘴51。

另外，并不限定于基板S的区域R1～R4这4个区域，能够对于更加细分化的区域以各自设定喷嘴51的配置的方式喷射气体。此外，作为另一个配置例，虽省略图示，但也可以在有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分的上方以相对地增多喷嘴51的数量的方式紧密配置喷嘴51，在有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分的上方以相对地减少喷嘴51的数量的方式稀疏配置喷嘴51。此外，优选的是能够根据基板S的种类、形状来变更喷嘴51的位置、气体流量的构造。

控制部

如图1所示，干燥装置100的各构成部、例如排气装置19、APC阀23、质量流量控制器（MFC）57、开闭阀59等成为连接于控制部6而被控制的结构。控制部6包括具有CPU的控制器61、用户接口62以及存储部63。控制器61具有计算机功能，在干燥装置100中整体地控制各构成部。用户接口62由为了供工序管理者管理干燥装置100而进行命令的输入操作等的键盘、可视化地显示干燥装置100的运转状况的显示器等构成。在存储部63中保存有用于利用控制器61的控制来实现由干燥装置100执行的各种处理的控制程序（软件）、记录有处理条件数据等的制程程序。用户接口62和存储部63连接于控制器61。

而且，通过根据需要利用来自用户接口62的指示等从存储部63调出任意的制程程序并使控制器61执行，能够在控制器61的控制下在干燥装置100中进行期望的干燥处理。即，控制部6向排气装置19和APC阀23送出控制信号，使处理容器1内保持在规定的压力。此外，控制部6向多个质量流量控制器（MFC）57和开闭阀59送出控制信号，针对每个喷嘴51或者每两个以上喷嘴51的组合独立调节从多个喷嘴51喷射的气体的喷射流量和／或气体的种类。上述控制程序、处理条件数据等的制程程序可以利用存储在计算机能够读取的存储介质、例如CD－ROM、硬盘、软磁盘、闪存器等中的状态的程序。或者，也可以从其他装置通过例如专用线路随时传送而在线利用。

干燥处理方法

接着，参照图3说明使用干燥装置100对基板S表面的有机材料膜进行的干燥处理。本实施方式的干燥处理方法在干燥装置100的处理容器1内对涂敷在基板S的表面上的有机材料膜进行干燥处理。在干燥处理的期间内，利用控制部6针对包括多个喷嘴51的气体喷射装置5的每个喷嘴51各自调节气体的喷射流量、气体的种类等而朝向基板S的表面喷射气体。从各喷嘴51喷射非活性气体和／或溶剂气体既可以是连续的，也可以是非连续的（间歇的）。此外，由于干燥处理促进有机材料膜中所含有的溶剂的挥发，提高干燥效率，因此，将处理容器1内的压力保持在0.1Pa～100Pa的范围内、优选的是0.3Pa～10Pa的范围内地进行。在本实施方式中，通过使利用气体喷射装置5喷射气体和控制处理容器1内的压力相关联地进行，能够在使处理容器1内成为高真空的同时降低气氛中的溶剂浓度，能够提高基板S表面的有机材料膜的干燥效率，在短时间内进行干燥处理。

图3是示意地表示对处理容器1内进行减压排气的过程中的压力变化的特性图。图3中的纵轴表示处理容器1内的压力，横轴表示时间。在干燥装置100中，能够通过使排气装置19工作而将处理容器1的内部空间减压排气至规定的真空度。例如在使排气装置19工作时，在处理容器1内，例如像图3中的曲线A所示那样发生压力降低。在此，就对于有机材料膜进行的干燥处理来说优选的压力范围假定为图3中的压力P1～P2的范围内。在此，压力P1、P2的值是根据基板S表面的有机材料膜中的溶剂量等设定即可，压力P1优选设定在例如10Pa～100Pa的范围内，压力P2优选设定在例如0.1Pa～0.3Pa的范围内。在处理容器1内的压力P1大于100Pa时，有机材料膜的干燥效率会降低。在处理容器1内的压力P2小于0.1Pa时，会过度进行在基板S的面内易于干燥的区域（例如周缘部）的干燥，基板S的面内的干燥程度会产生偏差。此外，在处理容器1内的压力超出P1～P2的范围而较大程度变动时，很难管理基板S上的有机材料膜的干燥程度，不仅很难把握一张基板S的面内的干燥程度，也有可能在多张基板S之间产生处理的偏差。因而，在例如从时刻t1到时刻t2对基板S进行干燥处理的情况下，在至少t1～t2的期间内，优选将压力设在P1～P2的范围内，在处理容器1内做成图3中的曲线B那样的压力的状态。

通过利用质量流量控制器（MFC）57控制导入气体的流量和调节APC阀23的开度，能够将处理容器1内的压力控制在恒定的幅度。在本实施方式的干燥处理方法中，由于利用气体喷射装置5向处理容器1内连续地或者非连续地导入气体，因此，优选利用控制部6按照以下的步骤控制压力和气体流量。例如在图3中，与处理容器1内的压力下降到P1的时刻t1同时开始喷射气体，在直到完成干燥处理的时刻t2为止的期间内连续地喷射气体。此外，在另一个例子中，在图3中，也可以与处理容器1内的压力下降到P1的时刻t1同时开始喷射气体，在直到完成干燥处理的时刻t2为止的期间内，反复地喷射气体或者停止喷射气体。在非连续地导入气体的情况下，例如优选以10秒～100秒的范围内的间隔切换导入气体和停止导入气体。

像以上那样，在将处理容器1内维持在压力P1～P2的范围内的高真空状态的同时，连续地或者非连续地导入气体。通过利用这样导入的气体的气流而促进排出处理容器1内的气氛中的溶剂，能够在短时间内进行干燥处理。

干燥处理的步骤

接着，说明利用像以上那样构成的干燥装置100进行的干燥处理的步骤。首先，作为前阶段，利用外部的喷墨印刷装置（省略图示）以规定的图案在基板S上印刷有机材料膜。接着，打开闸阀GV，利用外部的输送装置（省略图示）将印刷有有机材料膜的基板S交接到干燥装置100的载置台3。

接着，关闭干燥装置100的闸阀GV，使排气装置19工作而对处理容器1内进行减压排气。然后，在利用压力计25监视处理容器1内的压力的同时，控制APC阀23的开度而减压至规定的真空度。这样，能够实施将形成在基板S上的有机材料膜中所含有的溶剂除去的干燥处理。在该干燥处理的期间内，一边控制处理容器1内的压力一边利用包括能够各自调节气体的喷射流量、气体的种类等的多个喷嘴51的气体喷射装置5朝向基板S的表面喷射气体，从而能够在使基板S的面内的有机材料膜的干燥程度均匀化的同时在短时间内高效地使其干燥。此外，通过利用气体喷射装置5向处理容器1内导入气体，在处理容器1内产生气流，因此，能够促进排出滞留在处理容器1内的溶剂。

接着，停止利用气体喷射装置5喷射气体和利用排气装置19进行排气，使处理容器1内升压至规定压力之后，打开干燥装置100的闸阀GV，利用外部的输送装置（省略图示）从处理容器1搬出基板S。利用以上的步骤，完成对1张基板S进行的干燥处理。

应用于有机EL元件的制造工艺的例子

就有机EL元件的制造而言，在阳极和阴极之间作为EL层形成多个有机功能膜。本实施方式的干燥装置100也能够应用于制造任何层叠构造的有机EL元件。在此，列举制造作为EL层从阳极侧朝向阴极侧具有正穴注入层／正穴输送层／发光层／电子输送层／电子注入层的有机EL元件的情况的例子说明利用干燥装置100进行的具体的处理。

图4表示有机EL元件的制造工序的概略。在本例子中，利用STEP1～STEP8的工序制造有机EL元件。在STEP1中，利用例如蒸镀法等以规定的图案在基板S上形成阳极（像素电极）。接着，在STEP2中，在阳极之间形成利用绝缘物形成的分隔壁（堤）。作为用于形成分隔壁的绝缘材料，例如能够使用感光性聚酰亚胺树脂等高分子材料。

接着，在STEP3中，在STEP1中形成的阳极上形成正穴注入层。首先，利用喷墨印刷法在被各分隔壁划分的阳极上印刷成为正穴注入层的材料的有机材料。接着，使用干燥装置100对这样印刷而成的有机材料膜进行用于除去溶剂的减压干燥处理。接着，通过将干燥处理后的基板S移送到烘焙装置进行烘焙处理，形成正穴注入层。

接着，在STEP4中，在STEP3中形成的正穴注入层上形成正穴输送层。首先，利用喷墨印刷法在正穴注入层上印刷成为正穴输送层的材料的有机材料。使用干燥装置100对这样印刷而成的有机材料膜进行用于除去溶剂的减压干燥处理。接着，通过将干燥处理后的基板S移送到烘焙装置进行烘焙处理，形成正穴输送层。

接着，在STEP5中，在STEP4中形成的正穴输送层上形成发光层。首先，利用喷墨印刷法在正穴输送层上印刷成为发光层的材料的有机材料。使用干燥装置100对这样印刷而成的有机材料膜进行用于除去溶剂的减压干燥处理。接着，通过将干燥处理后的基板S移送到烘焙装置进行烘焙处理，形成发光层。另外，在发光层由多层构成的情况下，重复上述处理。

接着，通过利用例如蒸镀法在发光层上依次形成电子输送层（STEP6）、电子注入层（STEP7）以及阴极（STEP8），从而能够得到有机EL元件。

在这样的有机EL元件的制造工艺中，干燥装置100能够优选地应用于STEP3（形成正穴注入层）、STEP4（形成正穴输送层）及STEP5（形成发光层）。即，在利用喷墨印刷法印刷了作为各层的前阶段的有机材料膜之后，能够使用干燥装置100对有机材料膜进行减压干燥处理。在这种情况下，由于干燥装置100具有包括能够各自调节气体的喷射流量、气体的种类等的多个喷嘴51的气体喷射装置5，因此，在高真空状态下也能够在短时间内获得优异的干燥效率。

通过像以上那样使用干燥装置100，能够以高生产率高效地进行有机EL元件的制造工艺中的为了形成EL层所需要的干燥工序。

第2实施方式

接着，参照图5和图6说明本发明的第2实施方式的干燥装置。图5是表示第2实施方式的干燥装置101的概略结构的剖视图。图6是用于说明图5的干燥装置101中的喷嘴51的配置的基板S的俯视图。作为与第1实施方式的干燥装置100的主要的不同点，在本实施方式的干燥装置101中，构成为能够针对多个喷嘴51的每个组合调节气体的喷射流量和／或气体的种类。下面，以与第1实施方式的干燥装置100的不同点为中心进行说明，在本实施方式的干燥装置101中，对与第1实施方式相同的结构标注相同的附图标记并省略说明。

本实施方式的干燥装置101包括能够抽成真空的处理容器1、用于在处理容器1内支承基板S的作为支承构件的载置台3、用于朝向支承在载置台3的基板S上的有机材料膜喷射气体的气体喷射装置5A、以及以一个喷嘴或者两个以上喷嘴的组合为单位来独立调节从多个喷嘴喷射的气体的喷射流量和／或气体的种类的控制部6。此外，干燥装置101还包括用于调节处理容器1内的压力的压力控制机构。

在本实施方式的干燥装置101中，处理容器1、载置台3、压力控制机构以及控制部6的结构与第1实施方式的干燥装置100是同样的。

气体喷射装置

气体喷射装置5A包括多个喷嘴51、向各喷嘴51供给气体的气体供给源53、以及连接气体供给源53和各喷嘴51且用于向各喷嘴51供给气体的多个配管55。在图5中代表性地表示了11个喷嘴51。此外，气体喷射装置5A在配管55的中途包括多个开闭阀59和用于控制气体流量的多个质量流量控制器（MFC）57。利用质量流量控制器（MFC）57和开闭阀59能够控制从喷嘴51喷射的气体的流量、喷射速度、气体的种类等。另外，在图5中，对于配管55、开闭阀59以及质量流量控制器（MFC）57图示了代表性的形态，但它们的配设位置、数量并不限定于图5所例示的内容。

在本实施方式中，多个喷嘴51还包含多个组合，能够针对每个该组合独立调节气体的喷射流量和／或气体的种类。在图5中，代表性地表示了由多个喷嘴51构成的两个组合（喷嘴组52）。对于各喷嘴组52，在为了便于说明而需要区分的情况下，朝向图5的纸面从左侧开始标记为喷嘴组52A、喷嘴组52B、喷嘴组52A。在此，喷嘴组52B与矩形基板S的中央部分的上方相对地配置，喷嘴组52A与基板S的周缘部分的上方相对地配置。另外，并不限定于基板S的中央部分和周缘部分，也能够对于更加细分化的区域各自设定喷嘴组52。

气体供给源53包括非活性气体供给源53A和溶剂气体供给源53B。气体供给源53的结构与第1实施方式是同样的。

在本实施方式中，多个喷嘴51为了能够朝向基板S的表面喷射气体而设置在基板S的上方。而且，多个喷嘴组52构成为能够针对每个喷嘴组52独立调节气体的喷射流量、气体的种类。也就是说，配备为利用配管55、质量流量控制器（MFC）57以及开闭阀59的组合能够针对每个喷嘴组52独立地控制气体的喷射流量。此外，构成为利用配管55和多个开闭阀59的组合能够针对每个喷嘴组52独立地切换气体的种类并进行喷射。

气体的喷射流量

多个喷嘴组52构成为能够分别以独立的喷射流量喷射非活性气体。例如能够从配置在有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分的正上方的喷嘴组52B以相对较大的流量V7向该中央部分喷射非活性气体。此外，能够从配置在有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分的正上方的喷嘴组52A以与流量V7相比相对较小的流量V8向该周缘部分喷射非活性气体。另外，也可以不向基板S的周缘部分喷射非活性气体。

此外，多个喷嘴组52构成为能够分别以独立的喷射流量喷射溶剂气体。例如能够从喷嘴组52A以相对较大的流量V9向有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分喷射溶剂气体。此外，能够从喷嘴组52B以与流量V9相比相对较小的流量V10向有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分喷射溶剂气体。另外，也可以不向基板S的中央部分喷射溶剂气体。

气体的喷射流量并不限定于两个等级，也可以是1个等级或者3个等级以上。此外，并不限定于基板S的中央部分和周缘部分，能够对于更加细分化的区域以各自设定流量的方式喷射气体。

气体种类

多个喷嘴组52构成为能够分别独立地喷射非活性气体、溶剂气体、或者非活性气体和溶剂气体的混合气体（以下有时简记作“混合气体”）。例如能够从喷嘴组52B向有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分喷射非活性气体。此外，能够从喷嘴组52A向有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分喷射溶剂。

并且，多个喷嘴组52构成为能够分别以独立的混合比率喷射混合气体。例如能够从喷嘴组52B以溶剂气体浓度较低的第1混合比率向有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分喷射混合气体。此外，能够从喷嘴组52A以溶剂气体浓度比第1混合比率高的第2混合比率向有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分喷射混合气体。

另外，混合气体的混合比率并不限定于两个等级，也可以是1个等级或者3个等级以上。此外，并不限定于基板S的中央部分和周缘部分，能够对于更加细分化的区域以各自设定种类、浓度的方式喷射气体。

喷嘴高度位置

在本实施方式中，能够各自设定喷嘴组52中的多个喷嘴51的高度位置。在图5所示的例子中，改变与有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分相对的喷嘴组52B所含有的多个喷嘴51的高度位置。即，喷嘴组52B至少包含距支承在载置台3上的基板S的距离相对较近的高度位置H4、相对较远的高度位置H5、以及比高度位置H4高且比高度位置H5低的高度位置H6的喷嘴51。

此外，在图5所示的例子中，喷嘴组52A所含有的喷嘴51的高度位置全部被设定在相同的高度位置H5。

另外，在改变喷嘴组52中的喷嘴51的高度位置的情况下，并不限定于3个等级，也可以是两个等级或者4个等级以上。此外，也能够对于基板S的更加细分化的区域以各自设定喷嘴51的高度位置的方式喷射气体。

喷嘴的配置

在图6中，以向基板S的上表面投影的方式表示了喷嘴51的配置。如图6所示，喷嘴组52B与矩形基板S的中央部分的上方相对地配置，喷嘴组52A与基板S的周缘部分的上方相对地配置。具体地讲，配置为8个喷嘴组52A围在具有25个喷嘴51的喷嘴组52B的周围。此外，喷嘴组52A包含喷嘴组52A1和喷嘴组52A2，它们所包含的喷嘴51的数量有所不同，喷嘴组52A1是15个，喷嘴组52A2是9个，但喷嘴组52A1和喷嘴组52A2在向基板S喷射气体的功能这一点上是共通的。

此外，在图6中，用R1～R4表示利用喷墨印刷法图案涂敷在基板S上的有机材料膜的形成区域。在此，区域R1～R4分别与有机EL产品、例如有机EL显示器的大小相对应。也就是说，为了能够由1张基板S制造4个有机EL产品，在基板S的面内划分有机材料膜而形成有机EL产品。多个喷嘴51相对于4个有机材料膜的形成区域R1～R4分别均等地配置有各25个。这样，能够考虑到形成在基板S上的有机材料膜的布局来配置喷嘴51。

另外，并不限定于基板S的区域R1～R4这4个区域，能够对于更加细分化的区域以各自设定喷嘴51的配置的方式喷射气体。此外，作为另一个配置例，虽省略图示，但也可以在有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分的上方以相对地增多喷嘴51的数量的方式紧密配置喷嘴51，在有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分的上方以相对地减少喷嘴51的数量的方式稀疏配置喷嘴51。

本实施方式的干燥装置101的干燥处理除了一边利用控制部6以喷嘴组52A或者喷嘴组52B为单位来各自调节气体的喷射流量和／或气体的种类一边朝向基板S的表面喷射气体这一点之外，与第1实施方式是同样的。而且，在干燥处理的期间内，通过一边控制处理容器1内的压力一边使用气体喷射装置5A朝向基板S的表面喷射气体，能够在使基板S的面内的有机材料膜的干燥程度均匀化的同时在短时间内高效率地使其干燥。

本实施方式的其他的结构和效果与第1实施方式是同样的。此外，干燥装置101与第1实施方式同样能够应用于有机EL元件的制造工艺。

接着，参照图7～图9说明成为本发明的基础的实验结果。另外，图7～图9中的纵轴表示处理容器1内的压力（Pa；对数尺度），横轴表示时间（秒）。在以下的实验中，使用与图1中的干燥装置100同样的干燥装置。

图7是表示在使排气装置19工作而对处理容器1内进行减压排气的中途导入了N₂气的情况和未导入了N₂气的情况下的压力变化的特性图。图7中的曲线A表示在干燥处理的期间内未导入N₂的情况下的压力变化，曲线B表示从处理容器1内的压力降低到10Pa的时刻到干燥处理结束为止以180ml／min（sccm）的流量连续地导入了N₂气的情况下的压力变化。根据图7能够确认：通过利用质量流量控制器（MFC）57一边向处理容器1内导入N₂气、一边调节APC阀23的开度，能够将压力维持在大致恒定。

图8是表示在使排气装置19工作而对处理容器1内进行减压排气的同时、向处理容器1内连续地导入了N₂气的情况下的N₂气流量与处理容器1内的压力之间的关系的特性图。在图8中表示了从处理容器1内的压力降低到10Pa的时刻到干燥处理结束为止以100ml／min（sccm）的流量连续地导入了N₂气的情况下的压力变化。根据图8能够确认：通过利用质量流量控制器（MFC）57一边向处理容器1内导入N₂气、一边调节APC阀23的开度，能够将压力维持在大致恒定。

图9是表示在使排气装置19工作而对处理容器1内进行减压排气的同时、向处理容器1内非连续地导入了N₂气的情况下的N₂气流量与处理容器1内的压力之间的关系的特性图。在图9中表示了从处理容器1内的压力降低到10Pa的时刻到干燥处理结束为止的期间内以100ml／min（sccm）的流量非连续地导入了N₂气的情况下的压力变化。根据图9能够确认：在向处理容器1内导入N₂气的期间内，维持在大致1Pa左右的压力，在停止导入N₂气的期间内，维持在大致0.3Pa左右的压力。这样能够确认：通过利用质量流量控制器（MFC）57一边向处理容器1内导入N₂气、一边调节APC阀23的开度，能够将压力维持在规定的范围内、例如0.3Pa～1Pa的范围内。

接着，参照图10说明确认本发明的效果的实验结果。在该实验中，使用与图1中的干燥装置100同样的干燥装置。图10是基板S的俯视图。在图10中，以与基板S的俯视图重叠的方式表示了观察在实验所采用的干燥装置的处理容器1内对基板S进行了干燥处理的情况下的基板S表面的干燥程度的位置和喷嘴51的设置位置。此外，在图10中，用附图标记R1、R2表示了与有机EL产品、例如有机EL显示器的大小相对应的区域。基板S的大小设为长边920mm×短边730mm。

在基板S上的4处、即位置S1、位置S2、位置S3、位置S4的正上方配置喷嘴51，能够朝向基板S喷射气体。各喷嘴51之间的距离L设定为250mm。在该实验中，将处理容器1内的压力控制在1.4Pa，对从各喷嘴51分别以180mL／min（sccm）导入N₂气的情况和完全未导入气体的情况进行了比较。此外，对于在基板S的面内干燥进行得较慢的区域R1的中央部的位置S1和在基板S的面内干燥进行得较快的区域R1的拐角部的位置S5而言，有机材料膜达到规定的干燥程度，测量直到干燥完成为止的时间。

其结果，在位置S1，导入了N₂气的情况下直到干燥完成为止的时间为53秒，未导入N₂气的情况下直到干燥完成为止的时间为68秒。此外，在位置S5，导入了N₂气的情况下直到干燥完成为止的时间为55秒，未导入N₂气的情况下直到干燥完成为止的时间为54秒。根据该结果，在未导入N₂气的情况下，对于区域R1的中央部的位置S1和拐角部的位置S5而言，干燥时间的差异较大。但是，通过导入N₂气，对于位置S1和位置S5而言，能够使直到干燥完成为止的时间相等。因而能够确认：通过导入N₂气，能够使基板S的面内的干燥进行速度均匀化。

第3实施方式

接着，参照图11～图14说明本发明的第3实施方式的干燥装置。图11是表示第3实施方式的干燥装置102的概略结构的剖视图。图12是用于说明图11的干燥装置102中的一个喷嘴51的结构的立体图，图13是喷嘴51的与长度方向正交的方向的剖视图。图14是表示从下方的载置台3侧（基板S侧）看到的喷嘴51的配置的说明图。作为与第1实施方式的干燥装置100的主要的不同点，在本实施方式的干燥装置102中，喷嘴51呈管状。下面，以与第1实施方式的干燥装置100的不同点为中心进行说明，在本实施方式的干燥装置102中，对与第1实施方式相同的结构标注相同的附图标记并省略说明。

本实施方式的干燥装置102包括能够抽成真空的处理容器1、用于在处理容器1内支承基板S的作为支承构件的载置台3、用于朝向支承在载置台3的基板S上的有机材料膜喷射气体的气体喷射装置5B、以及以一个喷嘴51或者两个以上喷嘴51的组合为单位来独立调节从多个喷嘴51喷射的气体的喷射流量和／或气体的种类的控制部6。此外，干燥装置102包括用于调节处理容器1内的压力的压力控制机构。

在本实施方式的干燥装置102中，处理容器1、载置台3、压力控制机构以及控制部6的结构与第1实施方式的干燥装置100是同样的。

气体喷射装置

气体喷射装置5B包括多个喷嘴51、用于向各喷嘴51供给气体的气体供给源53、以及连接气体供给源53和各喷嘴51且用于向各喷嘴51供给气体的多个配管55。在图11中代表性地表示了11个喷嘴51。此外，气体喷射装置5B在配管55的中途包括多个开闭阀59和用于控制气体流量的多个质量流量控制器（MFC）57。利用质量流量控制器（MFC）57和开闭阀59能够控制从喷嘴51喷射的气体的流量、喷射速度、气体的种类等。另外，在图11中，对于配管55、开闭阀59以及质量流量控制器（MFC）57图示了代表性的形态，但它们的配设位置、数量并不限定于图11所例示的内容。

如图12所示，喷嘴51包括圆筒状的纵长的主体部51a。此外，在喷嘴51的主体部51a中沿着其长度方向形成有狭缝状的长条的气体喷射口51b。如图13所示，在本实施方式中，在主体部51a的下部设有一个、在侧部设有两个合计3个气体喷射口51b。3个气体喷射口51b形成为在主体部51a的周向上分别各错开90°角度。圆筒状的主体部51a的内部空间作为供气体扩散的气体扩散空间发挥作用。而且，由于利用狭缝状的长条的气体喷射口51b能够呈线状喷射非活性气体、溶剂气体、或者它们的混合气体，因此，难以产生喷射不均匀，能够朝向基板S表面的规定的区域均等地喷射气体。另外，气体喷射口51b在主体部51a的周向上既可以是1个，也可以以任意的角度设置两个或者4个以上。此外，气体喷射口51b也可以在主体部51a的长度方向上被分割成多个。

在本实施方式中，多个喷嘴51还包含多个组合，能够针对每个该组合独立调节气体的喷射流量和／或气体的种类。在图11中，代表性地表示了由多个喷嘴51构成的两个组合（喷嘴组52）。对于各喷嘴组52，在为了便于说明而需要区分的情况下，朝向图11的纸面从左侧开始标记为喷嘴组52C、喷嘴组52D、喷嘴组52C。在此，如图14所示，喷嘴组52D与矩形基板S的中央部分的上方相对地配置，喷嘴组52C与基板S的周缘部分的上方相对地配置。另外，并不限定于基板S的中央部分和周缘部分，也能够对于更加细分化的区域各自设定喷嘴组52。

喷嘴的配置

在图14中，以向喷嘴51的配置投影的方式表示了基板S的位置。如图14所示，喷嘴组52D与矩形基板S的中央部分的上方相对地配置，喷嘴组52C与基板S的周缘部分的上方相对地配置。具体地讲，配置为具有16根喷嘴51的喷嘴组52C围在具有5根喷嘴51的喷嘴组52D的周围。喷嘴组52C包含主体部51a和气体喷射口51b的长度不同的多个喷嘴51，但它们并没有实质上的差异。

此外，也能够考虑到形成在基板S上的有机材料膜的布局来配置喷嘴51。另外，并不限于基板S的中央部和周缘部分这两个区域，能够对于更加细分化的区域以各自设定喷嘴51的配置的方式喷射气体。此外，作为另一个配置例，虽省略图示，但也可以在有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分的上方以相对地增多喷嘴51的数量的方式紧密配置喷嘴51，在有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分的上方以相对地减少喷嘴51的数量的方式稀疏配置喷嘴51。

气体的喷射流量

多个喷嘴组52构成为能够分别以独立的喷射流量喷射非活性气体。例如能够从配置在有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分的正上方的喷嘴组52D以相对较大的流量V11向该中央部分喷射非活性气体。此外，能够从配置在有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分的正上方的喷嘴组52C以与流量V11相比相对较小的流量V12向该周缘部分喷射非活性气体。另外，也可以不向基板S的周缘部分喷射非活性气体。

此外，多个喷嘴组52构成为能够分别以独立的喷射流量喷射溶剂气体。例如能够从喷嘴组52C以相对较大的流量V13向有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分喷射溶剂气体。此外，能够从喷嘴组52D以与流量V13相比相对较小的流量V14向有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分喷射溶剂气体。另外，也可以不向基板S的中央部分喷射溶剂气体。

气体种类

多个喷嘴组52构成为能够分别独立地喷射非活性气体、溶剂气体、或者非活性气体和溶剂气体的混合气体（以下有时简记作“混合气体”）。例如能够从喷嘴组52D向有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分喷射非活性气体。此外，能够从喷嘴组52C向有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分喷射溶剂。

并且，多个喷嘴组52构成为能够分别以独立的混合比率喷射混合气体。例如能够从喷嘴组52D以溶剂气体浓度较低的第1混合比率向有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分喷射混合气体。此外，能够从喷嘴组52C以溶剂气体浓度比第1混合比率高的第2混合比率向有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分喷射混合气体。

本实施方式的干燥装置102的干燥处理除了一边利用控制部6以喷嘴组52C或者喷嘴组52D为单位来各自调节气体的喷射流量和／或气体的种类一边朝向基板S的表面喷射气体这一点之外，与第1实施方式是同样的。而且，在干燥处理的期间内，通过一边控制处理容器1内的压力一边使用气体喷射装置5B朝向基板S的表面喷射气体，能够在使基板S的面内的有机材料膜的干燥程度均匀化的同时在短时间内高效率地使其干燥。

干燥处理的步骤

接着，说明利用干燥装置102进行的干燥处理的步骤。首先，作为前阶段，利用外部的喷墨印刷装置（省略图示）以规定的图案在基板S上印刷有机材料膜。接着，打开闸阀GV，利用外部的输送装置（省略图示）将印刷有有机材料膜的基板S交接到干燥装置102的载置台3。

接着，关闭干燥装置102的闸阀GV，使排气装置19工作而对处理容器1内进行减压排气。然后，在利用压力计25监视处理容器1内的压力的同时，控制APC阀23的开度而减压至规定的真空度。这样，能够实施将形成在基板S上的有机材料膜中所含有的溶剂除去的干燥处理。在该干燥处理的期间内，一边控制处理容器1内的压力，一边利用包括能够各自调节气体的喷射流量、气体的种类和比率等的多个喷嘴51的气体喷射装置5B朝向基板S的表面喷射气体，从而能够在使基板S的面内的有机材料膜的干燥程度均匀化的同时在短时间内高效地使其干燥。此外，通过利用气体喷射装置5B向处理容器1内导入气体，在处理容器1内产生气流，因此，能够促进排出滞留在处理容器1内的溶剂。

在此，例示图15对在使用干燥装置102以脉冲状喷射气体的同时对基板S进行干燥处理的情况下的气体喷射控制方法进行说明。图15表示在利用干燥装置102以脉冲状喷射气体的同时对基板S进行干燥处理的情况下的气体喷射流量和喷射时机的一例子。在该例子中，作为气体，仅使用氮气等非活性气体。此外，如图14所示，从与矩形基板S的中央部分的上方相对地配置的喷嘴组52D和与基板S的周缘部分的上方相对地配置的喷嘴组52C分别间歇地在不同的时机朝向基板S喷射非活性气体。在对1张基板S进行的干燥处理的初始阶段，从喷嘴组52D和喷嘴组52C以喷射流量V21交替地以脉冲状喷射非活性气体。此时的脉冲周期设为T1，脉冲宽度设为D1。在对1张基板S进行的干燥处理的下一个阶段，从喷嘴组52D和喷嘴组52C以喷射流量V22交替地以脉冲状喷射非活性气体。此时的脉冲周期设为T2，脉冲宽度设为D2。在对1张基板S进行的干燥处理的再下一个阶段，从喷嘴组52D和喷嘴组52C以喷射流量V23交替地以脉冲状喷射非活性气体。此时的脉冲周期设为T3，脉冲宽度设为D3。这样，在干燥装置102中，能够根据对1张基板S进行的干燥处理的阶段改变喷射流量V21～V23、且改变占空比来喷射气体。喷射流量V21～V23、脉冲周期T1～T3、脉冲宽度D1～D3也可以在喷嘴组52D和喷嘴组52C中有所不同，能够根据处理容器1内的压力、溶剂浓度、温度、溶剂的种类、基板S上的有机材料膜的种类等各自设定。另外，喷射流量、脉冲周期以及脉冲宽度也可以不变而设为恒定。

在对一张基板S进行的干燥处理结束之后，接着停止利用气体喷射装置5B喷射气体和利用排气装置19进行排气。然后，在使处理容器1内升压至规定压力之后，打开干燥装置102的闸阀GV，利用外部的输送装置（省略图示）从处理容器1搬出基板S。利用以上的步骤，完成对1张基板S进行的干燥处理。

本实施方式的其他的结构和效果与第1实施方式是同样的。此外，干燥装置102与第1实施方式同样能够应用于有机EL元件的制造工艺。

第4实施方式

接着，参照图16说明本发明的第4实施方式的干燥装置。图16是表示第4实施方式的干燥装置103的概略结构的剖视图。作为与第1实施方式的干燥装置100的主要的不同点，在本实施方式的干燥装置103中，构成为能够针对多个喷嘴51的每个组合调节气体的喷射流量和／或气体的种类。此外，在多个喷嘴51中具有不是与平板状的基板S的上表面垂直、而是相对于该上表面倾斜地喷射气体的喷嘴51。下面，以与第1实施方式的干燥装置100的不同点为中心进行说明，在本实施方式的干燥装置103中，对与第1实施方式相同的结构标注相同的附图标记并省略说明。

本实施方式的干燥装置103包括能够抽成真空的处理容器1、用于在处理容器1内支承基板S的作为支承构件的载置台3、用于朝向支承在载置台3的基板S上的有机材料膜喷射气体的气体喷射装置5C、以及以一个喷嘴51或者两个以上喷嘴51的组合为单位来独立调节从多个喷嘴51喷射的气体的喷射流量和／或气体的种类的控制部6。此外，干燥装置103还包括用于调节处理容器1内的压力的压力控制机构。

在本实施方式的干燥装置103中，处理容器1、载置台3、压力控制机构以及控制部6的结构与第1实施方式的干燥装置100是同样的。

气体喷射装置

气体喷射装置5C包括多个喷嘴51、用于向各喷嘴51供给气体的气体供给源53、以及连接气体供给源53和各喷嘴51且用于向各喷嘴51供给气体的多个配管55。在图16中代表性地表示了11个喷嘴51。此外，气体喷射装置5C在配管55的中途包括多个开闭阀59和用于控制气体流量的多个质量流量控制器（MFC）57。利用质量流量控制器（MFC）57和开闭阀59能够控制从喷嘴51喷射的气体的流量、喷射速度、气体的种类等。另外，在图16中，对于配管55、开闭阀59以及质量流量控制器（MFC）57图示了代表性的形态，但它们的配设位置、数量并不限定于图16所例示的内容。

在本实施方式中，如图16所示，多个喷嘴51具有与平板状的基板S的上表面垂直地喷射气体的喷嘴51、以及相对于该上表面倾斜地喷射气体的喷嘴51。具体地讲，与矩形基板S的中央部分的上方相对地配置的多个喷嘴51构成为能够与基板S的上表面大致垂直地喷射气体。另一方面，与基板S的周缘部分的上方相对地配置的多个喷嘴51构成为能够相对于平板状的基板S的上表面以例如30°～45°的角度喷射气体。因而，即使气体的喷射流量相同也能够向有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分直接强有力地喷射非活性气体，另一方面，能够减弱对有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分喷射非活性气体的喷射力。

此外，在本实施方式中，多个喷嘴51还包含多个组合，能够针对每个该组合独立调节气体的喷射流量和／或气体的种类。在图16中，代表性地表示了由多个喷嘴51构成的两个组合（喷嘴组52）。对于各喷嘴组52，在为了便于说明而需要区分的情况下，朝向图16的纸面从左侧开始标记为喷嘴组52E、喷嘴组52F、喷嘴组52E。在此，如图16所示，喷嘴组52F与矩形基板S的中央部分的上方相对地配置，喷嘴组52E与基板S的周缘部分的上方相对地配置。另外，并不限定于基板S的中央部分和周缘部分，也能够对于更加细分化的区域各自设定喷嘴组52。

气体的喷射流量

多个喷嘴组52构成为能够分别以独立的喷射流量喷射非活性气体。例如能够从配置在有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分的正上方的喷嘴组52F以相对较大的流量V31向该中央部分喷射非活性气体。此外，能够从配置在有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分的正上方的喷嘴组52E以与流量V31相比相对较小的流量V32向该周缘部分喷射非活性气体。另外，也可以不向基板S的周缘部分喷射非活性气体。

此外，多个喷嘴组52构成为能够分别以独立的喷射流量喷射溶剂气体。例如能够从喷嘴组52E以相对较大的流量V33向有机材料膜比较容易进行干燥的基板S的周缘部分喷射溶剂气体。此外，能够从喷嘴组52F以与流量V33相比相对较小的流量V34向有机材料膜比较难以进行干燥的基板S的中央部分喷射溶剂气体。另外，也可以不向基板S的中央部分喷射溶剂气体。

本实施方式的其他的结构和效果与第1实施方式是同样的。此外，干燥装置103与第1实施方式同样能够应用于有机EL元件的制造工艺。

第5实施方式

接着，参照图17说明本发明的第5实施方式的干燥装置。图17是表示第5实施方式的干燥装置104的概略结构的剖视图。作为与第1实施方式的干燥装置100的主要的不同点，在本实施方式的干燥装置104中，构成为能够以多个喷嘴51的组合为单位来调节气体的喷射流量和／或气体的种类。此外，多个喷嘴51构成为能够不是与平板状的基板S的上表面垂直、而是向与该上表面平行或者倾斜的方向喷射气体。下面，以与第1实施方式的干燥装置100的不同点为中心进行说明，在本实施方式的干燥装置104中，对与第1实施方式相同的结构标注相同的附图标记并省略说明。

本实施方式的干燥装置104包括能够抽成真空的处理容器1、用于在处理容器1内支承基板S的作为支承构件的载置台3、用于朝向支承在载置台3的基板S上的有机材料膜喷射气体的气体喷射装置5D、以及以两个以上喷嘴51的组合为单位来调节从多个喷嘴51喷射的气体的喷射流量和／或气体的种类的控制部6。此外，干燥装置104还包括用于调节处理容器1内的压力的压力控制机构。

在本实施方式的干燥装置104中，处理容器1、载置台3、压力控制机构以及控制部6的结构与第1实施方式的干燥装置100是同样的。

气体喷射装置

气体喷射装置5D包括多个喷嘴51、用于向各喷嘴51供给气体的气体供给源53、以及连接气体供给源53和各喷嘴51且用于向各喷嘴51供给气体的多个配管55。此外，气体喷射装置5D在配管55的中途包括多个开闭阀59和用于控制气体流量的多个质量流量控制器（MFC）57。利用质量流量控制器（MFC）57和开闭阀59能够控制从喷嘴51喷射的气体的流量、喷射速度、气体的种类等。另外，在图17中，对于配管55、开闭阀59以及质量流量控制器（MFC）57图示了代表性的形态，但它们的配设位置、数量并不限定于图17所例示的内容。

在本实施方式中，如图17所示，多个喷嘴51构成为与矩形基板S的中央部分的上方相对地配置，而且向相对于平板状的基板S的上表面平行或者以规定的角度倾斜的方向喷射气体。也就是说，构成为能够从与基板S的中央部分相对的位置呈放射状向水平方向、或者自水平方向向下方以例如30°～45°的角度倾斜地喷射非活性气体。因而，在基板S的面内能够使非活性气体、溶剂气体的喷射量均匀化。

此外，在本实施方式中，多个喷嘴51成为一个组合单位。在图17中表示了由多个喷嘴51构成的1个组合（喷嘴组52G）。喷嘴组52G与矩形基板S的中央部分的上方相对地配置。另外，并不仅限定于基板S的中央部分，也可以设置多个喷嘴组52。

本实施方式的其他的结构和效果与第1实施方式是同样的。此外，干燥装置104与第1实施方式同样能够应用于有机EL元件的制造工艺。

以上，出于例示的目的详细地说明了本发明的实施方式，但本发明并不被限制为上述实施方式，能够进行各种变形。例如，有机EL元件的制造工序并不限定于图4所例示的工序，即使在例如EL层具有从阳极侧朝向阴极侧按照［正穴输送层／发光层／电子输送层］、［正穴注入层／正穴输送层／发光层／电子输送层］等的顺序层叠而成的构造的情况下，也能够同样地应用本发明的干燥装置100～104。

此外，在第1实施方式的干燥装置100中，能够以喷嘴51为单位来独立调节气体的喷射流量和／或气体的种类，在第2～第5实施方式的干燥装置101～104中，能够以喷嘴组52为单位来独立调节气体的喷射流量和／或气体的种类。但是，在另一个实施方式中，也可以在使喷嘴51和喷嘴组52混合存在的状态下能够独立调节它们的气体的喷射流量和／或气体的种类。

附图标记说明

1、处理容器；3、载置台；5、5A、气体喷射装置；6、控制部；11、底壁；13、侧壁；15、顶部；15a、排气口；17、排气管；19、排气装置；21、支柱；23、APC阀；25、压力计；51、喷嘴；53、气体供给源；53A、非活性气体供给源；53B、溶剂气体供给源；55、配管；57、质量流量控制器；59、开闭阀；61、控制器；62、用户接口；63、存储部；100、101、干燥装置；S、基板；GV、闸阀。

Claims

1.一种干燥装置，其除去被涂敷在基板的表面的有机材料膜中的溶剂而使有机材料膜干燥，其中，

该干燥装置包括能够抽成真空的处理容器、用于排出上述处理容器内的气体的排气口、用于在上述处理容器内支承上述基板的支承构件、具有用于朝向支承在上述支承构件上的上述基板喷射气体的多个喷嘴的气体喷射装置、以及以一个喷嘴或者两个以上喷嘴的组合为单位来独立调节从上述多个喷嘴喷射的上述气体的喷射流量和／或上述气体的种类的控制部。

2.根据权利要求1所述的干燥装置，其中，

上述多个喷嘴喷射用于促进上述有机材料膜的干燥的干燥用气体。

3.根据权利要求1所述的干燥装置，其中，

上述多个喷嘴喷射用于抑制上述有机材料膜的干燥的干燥抑制用气体。

4.根据权利要求1所述的干燥装置，其中，

上述多个喷嘴包含：喷射用于促进上述有机材料膜的干燥的干燥用气体的喷嘴以及喷射用于抑制上述有机材料膜的干燥的干燥抑制用气体的喷嘴。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的干燥装置，其中，

上述多个喷嘴至少包含距支承在上述支承构件上的基板的距离相对较近的喷嘴、以及相对较远的喷嘴。

6.根据权利要求1所述的干燥装置，其中，

上述喷嘴包括圆筒状的纵长的主体部，沿着该主体部的长度方向形成有狭缝状的长条的气体喷射口。

7.根据权利要求6所述的干燥装置，其中，

上述多个喷嘴包含用于朝向支承在上述支承构件上的上述基板的中央部喷射气体的第1喷嘴组、以及用于朝向上述基板的周缘部喷射气体的第2喷嘴组。

8.一种干燥处理方法，其中，

该干燥处理方法使用后述的干燥装置除去被涂敷在基板的表面的有机材料膜中的溶剂而使有机材料膜干燥；前述的干燥装置包括能够抽成真空的处理容器、用于排出上述处理容器内的气体的排气口、用于在上述处理容器内支承基板的支承构件、具有用于朝向支承在上述支承构件上的上述基板喷射气体的多个喷嘴的气体喷射装置、以及以一个喷嘴或者两个以上喷嘴的组合为单位来独立调节从上述多个喷嘴喷射的上述气体的喷射流量和／或上述气体的种类的控制部。

9.根据权利要求8所述的干燥处理方法，其中，

将上述处理容器内的压力保持在0.1Pa～100Pa的范围内来进行干燥处理。

10.根据权利要求8或9所述的干燥处理方法，其中，

在以一个喷嘴或者两个以上喷嘴的组合为单位来独立调节用于促进上述有机材料膜的干燥的干燥用气体的喷射流量的同时、朝向上述基板喷射该干燥用气体。

11.根据权利要求8～10中任一项所述的干燥处理方法，其中，

在以一个喷嘴或者两个以上喷嘴的组合为单位来独立调节用于抑制上述有机材料膜的干燥的干燥抑制用气体的喷射流量的同时、朝向上述基板喷射该干燥抑制用气体。

12.根据权利要求8～10中任一项所述的干燥处理方法，其中，

在以一个喷嘴或者两个以上喷嘴的组合为单位来独立调节用于促进上述有机材料膜的干燥的干燥用气体和用于抑制上述有机材料膜的干燥的干燥抑制用气体的混合比率的同时、朝向上述基板喷射该干燥用气体和该干燥抑制用气体的混合气体。

13.根据权利要求8～12中任一项所述的干燥处理方法，其中，

呈脉冲状喷射上述气体。

14.根据权利要求8～13中任一项所述的干燥处理方法，其中，

在有机EL元件的制造过程中利用喷墨印刷法在上述基板上涂敷上述有机材料膜。