CN103579410B - 刻划装置及刻划方法 - Google Patents

Abstract

本发明是有关于一种刻划装置及刻划方法。当对已形成有图案P1的薄膜太阳电池基板进行刻划时，可与图案P1的线平行地，正确地刻划图案P2、P3的线。当影像处理部以既定周期读取基板的图案P1，且以刻划时的移动速度移动时，抽出间隔为刻划单元的固有周期以上的特征点。其次，根据已抽出的特征点的位置数据，以与已刻划的线平行的方式控制加工头。借此，可减少异常振动，且可不使加工头的位置急遽变化而提高加工精度地进行刻划。

Description

刻划装置及刻划方法

技术领域

本发明涉及一种对脆性材料基板进行按压、刻划等加工的刻划装置及刻划方法。

背景技术

在集成型薄膜太阳电池的制造步骤中，例如如专利文献1所记载，有将半导体薄膜积层在基板上且反复地进行多次图案化的步骤。在该制造步骤中，在脆性材料基板上形成金属制的下部电极层，借由激光光束将电极层分割为长条状，且切分为图案P1。在该图案P1上形成P型光吸收层及缓冲层，从而形成积层型半导体薄膜。然后，沿着稍微偏离图案P1的槽的线，机械地对缓冲层与P型光吸收层的一部分进行刻划，借此，将其分割为长条状，且切分为图案P2。其次，在缓冲层上形成由金属氧化物构成的透明导电膜。其次，沿着稍微偏离图案P2的槽的线，机械地对透明导电膜、缓冲层及P型光吸收层的一部分进行刻划，借此，呈长条状地将其切分为图案P3。如此，可制造薄膜太阳电池。因此，需要使图案P2、P3的线分别稍微偏离图案P1的线，对于一块基板，需要以例如5mm左右的间距形成百数十条平行的槽。

又，专利文献2、3中揭示了如下步骤：借由激光刻划于基板上形成图案P1，在其后的制造过程中，亦借由激光刻划，以与图案P1的线隔开既定间隔且不交叉的方式形成第2、第3图案线，借此制造太阳电池。

[先前技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本特开2005-191167号公报

[专利文献2]日本特开2010-162586号公报

[专利文献3]日本特开2011-031302号公报

有鉴于上述现有的刻划装置及刻划方法存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新的刻划装置及刻划方法，能够改进一般现有的刻划装置及刻划方法，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

[发明所要解决的课题]

然而，如专利文献1所示，在机械地进行刻划而在薄膜上依序形成图案的情形时，在形成图案P1之后形成缓冲层或光吸收层，从而形成透明导电膜。在形成该薄膜时，由于反复地加热或冷却，因此，图案P1的线有时会弯曲而非呈直线状。因此，图案P2、P3需要尽可能正确地沿着弯曲的图案P1的线而形成图案。然而，在太阳电池中，存在无法借由激光刻划而形成图案P2、P3的材质的太阳电池。因此，存在如下问题点：当检测图案P1的线的弯曲，且以沿着该线的方式控制刻划头时，有时即使缩短位置修正的周期，刻划头的位置亦不会依照修正指令而发生变化，反而使位置精度变差。又，亦存在如下问题点：若在位置控制的每个时序，使刻划头的位置急遽变化，则有时会产生振动，导致刻划头的位置不稳定。

本发明是鉴于如上所述的问题点而成的发明，目的在于：即使在制造太阳电池时，机械地进行刻划的情形下，亦可沿着已形成的图案P1正确地控制加工头，形成图案P2、P3。

[解决课题的技术手段]

为了解决上述课题，本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的刻划装置，对保持于载台上的基板进行刻划；上述基板积层有薄膜且在薄膜上形成有图案；上述刻划装置具备：滑件，其安装有刻划单元；滑动机构，其使上述滑件与上述基板的面平行地沿着已形成的图案的线移动；升降机构，其安装于上述滑件，且在上下方向驱动上述刻划单元；位置修正机构，其安装于上述滑件，且使上述刻划单元与滑件的移动方向垂直地移动；影像处理部，其以既定周期，自固定于上述载台上的基板读取已形成的图案的位置；以及控制部，其在沿着上述影像处理部所读取的图案进行位置控制时，以使控制间隔为刻划单元的固有周期以上的方式进行过滤，且以根据过滤后的数据，与上述图案的线隔开既定间隔而平行地进行刻划的方式，控制上述滑动机构、升降机构及上述位置修正机构。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

此处，上述控制部亦可以如下方式进行过滤：在上述刻划单元的固有周期的1.4倍以上的每个间隔，控制上述滑动机构及上述位置修正机构。

此处，上述刻划单元亦可并排地安装有多个加工头。

为了解决上述课题，本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的刻划方法使安装有刻划单元的滑件移动，借此，刻划具有图案的基板；以既定周期，自固定于载台上的基板读取已形成的图案的位置；生成已读取的图案的线的检测点的坐标数据；相对于上述滑件的移动速度，以刻划单元的固有周期以上的间隔，自上述检测点中抽出表示上述图案的特征的特征点；附加既定的偏移而使刻划头沿着上述特征点移动，借此，与上述基板的图案并行地进行刻划。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

此处，上述特征点的抽出亦可是相对于检测出的起点与终点之间的基准线，检测邻接的各点之间的线段的角度，分别抽出角度的符号的变化点。

此处，上述特征点的抽出亦可是抽出由检测出的各点两侧的线段所成的角度为既定值以下的点。

此处，亦可根据上述抽出的特征点的位置数据控制上述刻划头。

此处，亦可算出用以移动至上述抽出的特征点为止的速度数据，根据上述速度数据控制上述刻划头。

[发明的效果]

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本发明刻划装置及刻划方法至少具有下列优点：根据具有如上所述的特征的本发明，由于以安装有加工头的刻划单元的固有周期以上的时序，对该刻划单元的位置进行控制，因此，不会使刻划单元的位置急遽变化，可减少异常振动且提高加工精度。又，可正确地沿着图案P1刻划图案P2、P3，从而可提高加工精度。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是本发明实施例的刻划装置的立体图。

图2是本实施例的刻划装置的前视图。

图3是本实施例的刻划装置的侧视图。

图4A是表示本实施例的刻划装置的滑件的周边部分的立体图。

图4B是表示本实施例的安装于滑件的刻划单元的立体图。

图5是安装于本发明实施例的刻划装置的加工头的前视图。

图6是该加工头的俯视图。

图7(a)和图7(b)是该加工头的侧视图。

图8是该加工头的中央纵剖面图。

图9是该加工头的立体图。

图10是表示本实施例的刻划装置的构成的方框图。

图11是表示本实施例的刻划装置的动作的流程图。

图12A是表示本实施例的刻划装置进行刻划之前的具有图案P1的基板的概略图。

图12B是表示本实施例的刻划装置在区域R1中刻划图案P2的状态的概略图。

图12C是表示本实施例的刻划装置在区域R2中刻划图案P2之前的状态的概略图。

图12D是表示本实施例的刻划装置在区域R1中刻划图案P3之前的状态的概略图。

图13(a)、图13(b)、图13(c)、图13(d)、图13(e)是表示本实施例的刻划装置所检测出的图案P1及生成与该图案P1相伴的控制信息的处理的概略图。

【主要元件符号说明】

11：基座 12a～12d：脚部

13a、13b：支柱 14：横梁

15：滑件 16：线性马达

17：框架 18：平板

19：CCD相机 21：升降机构

22：位置修正机构 23：刻划单元

23A：位置调整块 24a、24b：载台基座

25：载台 26a、26b：搬送机构

27a、27b、27c、27d：搬送板 30：加工头

31、32：狭缝 33、36：杆状部

34、35、37、38：连结部 40：本体部

50：头部 53：槽

56A、56B：刀尖 60：控制器

61：影像处理部 62：控制部

63：线性马达驱动部 64：升降驱动部

65：位置修正控制部 66：搬送控制部

67：监视器 68：存储器

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的刻划装置其具体实施方式、结构、刻划方法、步骤、特征及其功效，详细说明如后。

图1是本发明实施例的刻划装置的立体图，图2是该刻划装置的前视图，图3是侧视图。如上述图所示，刻划装置于长方形状的基座11的四方设置有脚部12a～12d。脚部12a～12d亦可为隔震安装构造。在基座11的上部设置有一对支柱13a、13b，在该一对支柱13a、13b的上部，沿着x轴方向安装有横梁14。一部分具有缺口的框状的滑件15安装于横梁14。滑件15是以借由侧方的包含线性标度的线性马达16而沿着横梁14朝x轴方向自如移动的方式构成。此处，线性马达16与横梁14构成使滑件15沿着x轴移动的滑动机构。

图4A是将滑件15的周边放大的立体图。在该滑件15的侧方安装有コ字形的框架17，平板18是与xz平面平行地借由4根螺钉而突出地固定于该框架17的外侧。在该平板18的外侧，邻接地安装有CCD相机19、测长器20。CCD相机19是朝下方被固定且检测y轴方向的线的线感测器。又，刻划单元23朝下方设置于框架17与平板18之间。在框架17的内部，装入有使刻划单元23在上下方向（z轴方向）上移动的升降机构21、及使刻划单元23稍微朝y轴方向移动的位置修正机构22。再者，即使当使刻划单元朝y轴方向移动时，CCD相机19亦因安装于平板18而不会移动。

刻划单元23如图4B所示，在位置调整块23A中，大致无间隙地并排安装有5个后述的加工头。

在基座11上，与y轴平行地左右设置有一对载台基座24a、24b，在横梁14下方的由刻划头通过的位置，安装有细长的载台25。载台25为了将用于刻划的基板保持于其上表面，被正确地定位安装于载台基座24a、24b之间。

又，如图1、图3所示，在支柱13a、13b与横梁14的左右，为了朝y轴方向搬送基板而在上游侧设置有搬送机构26a，在下游侧设置有搬送机构26b。在上述搬送机构26a、26b上，较薄的4块搬送板27a～27d沿着纵方向等间隔地配置于载台基座24a、24b之间。在左右的搬送板27a、27d上，设置有多个自如地上下移动的辊输送机，在搬送时，使辊稍微上升，从而可借由该辊朝y轴方向搬送基板。又，在搬送板27a～27d的上表面设置有多个空气喷出部。在加工时，使辊下降，将基板保持于载台上，并且利用空气支持该基板。

图5、图6是本发明实施例的安装于位置调整块23A的加工头的前视图及俯视图，图7（a）、图7（b）是该加工头的左右的侧视图，图8是A-A线剖面图，图9是该加工头的立体图。该加工头30是由会发生弹性变形的金属例如不锈钢（SUS）构成的平板状的构件。如图5所示，加工头30具有本体部40与头部50。而且，本体部40的左下部分被较细的狭缝31切去而构成头部50。

如图7(a)和图7(b)所示，在该加工头30中，整个头部50与本体部40的下半部分自下方至其中央部，与xz面平行地形成有微小的狭缝32。因此，头部50实际上是由两个独立的头部50A、50B构成，该头部50A、50B分别独立地进行动作。以下，主要对一个头部50A进行说明，但该说明亦可直接适用于另一个头部50B。

如图所示，本体部40与头部50A之间是由与x轴平行的杆状部33及其左右的较细的连结部34、35、以及与x轴平行的杆状部36及其左右两端的较细的连结部37、38连结。连结部34、35、37、38的厚度相同。如此，杆状部33、36两侧的连结部34、35、37、38作为能够稍微弯曲的弹性体而发挥功能。因此，构成连接机构，该连接机构由两根平行的杆状部33、36、本体部40及头部50A构成。借此，能够在由两根杆状部及其连结部形成的四边形保持平行四边形的形状的状态下，使头部50A弹性地稍微上下移动。头部50B亦相同。

头部50A具有朝x轴方向突出的大致三角形状的突出部51。另一方面，本体部40是以在该突出部51周围形成狭缝31的方式而形成有大致三角形的缺口41，且该缺口41与突出部51之间的间隔保持固定。如此，当头部50A上下移动时，若该上下移动量变大，则该头部50A会与本体部40接触。因此，可对朝上下移动方向移动的上端与下端进行限制。亦即，若预先已将本体部40的位置固定，则突出部51的上端与本体部40的缺口41接触时的位置成为头部50A朝上方向振动时的上限。同样地，头部50A的突出部51的下端与缺口41接触时的位置成为头部50A朝下方振动时的下限。

亦可将长方形状的构件作为刀尖，且以可更换且自如装卸的方式安装于头部50A的下端。如图9所示，在头部50A的下端，以使头部50A的下方宽度变窄的方式形成有缺口52。在该缺口52的中央部分，沿着z轴朝上而形成有槽53，且沿着x轴方向形成有槽54。而且，在该槽53的上部埋设有磁铁55。如此，可沿着槽53将刀尖56A自下方插入，使其与磁铁55接触而固定该刀尖56A。而且，可朝向槽53设置未图示的螺纹槽而进行螺固，借此固定刀尖56A。同样地，在头部50B的下端亦固定着刀尖56B。再者，除了使加工用的刀尖在头部50A、50B的下端自如装卸之外，亦可直接将头部50A、50B的下端作为刀尖。

而且，如图8的剖面图所示，在本体部40的上部，并排地设置有沿着z轴方向将本体部40贯通的两根汽缸42A、42B。汽缸42A的中心轴朝向头部50A，汽缸42B的中心轴朝向头部50B。汽缸42A、42B下方的朝向头部50A、50B的部分的直径变细。在两根汽缸42A、42B的上部分别形成有螺纹槽43A、43B，汽缸42A、42B的上部由未图示的螺栓密封。而且，在上述汽缸42A、42B中，为了能够自侧方注入压缩空气，使z轴方向的高度稍有不同而形成有分别朝向汽缸42A、42B的两根连结孔44A、44B。在连结孔44A、44B的出口部分分别设置有栓塞45A、45B，可经由未图示的管路将压缩空气分别送入至汽缸42A、42B，借此，在汽缸42A、42B内，可分别使活塞46A、46B独立地上下移动。又，如图9所示，在本体部40的左侧方，在用以固定上述加工头30的上下形成有两个螺纹槽47、48。

在本实施例中，如图4B所示，包含5个加工头30的刻划单元23稍微倾斜地安装于位置修正机构22。如此，在将加工头按压至基板且施加了既定负载的状态下，使滑件15朝x轴方向移动，借此，可同时平行地形成10条刻划线。

其次，使用方框图说明本实施例的刻划装置的控制系统的构成。图10是表示刻划装置的控制器60的方框图。在本图中，来自CCD相机19的输出经由影像处理部61被给予控制部62。控制部62为了形成刻划线控制线性马达驱动部63、升降驱动部64、位置修正控制部65及搬送控制部66。线性马达驱动部63驱动线性马达16。又，升降驱动部64驱动升降机构21的马达21a而使刻划单元升降，并且在刻划时，以如下方式进行驱动：利用适当负载将加工头压接于基板的表面上。又，位置修正控制部65驱动位置修正机构22的马达22a。搬送控制部66驱动搬送机构26a、26b的马达。上游侧的搬送机构26a在使基板朝载台25的刻划位置移动时进行驱动，下游侧的搬送机构26b在搬送刻划后的基板时进行驱动。而且，监视器67或存储器68连接于控制部62。

其次，使用图11的流程图，说明使用了本实施例的刻划装置的刻划方法及太阳电池的制造过程。首先，在太阳电池的制造步骤中，在脆性材料基板上形成金属制的下部电极层，借由激光光束将电极层分割为长条状，且切分为图案P1。在该图案P1上形成P型光吸收层及缓冲层，从而形成积层型半导体薄膜。图12A表示平行地形成有多条图案P1的基板。图案P1形成为隔开固定间隔的多条直线，但当对半导体薄膜进行积层时，由于反复地加热、冷却，因此，该图案P1会成为稍微弯曲的图案。

其次，在步骤S11中，借由本实施例的刻划装置的搬送机构26a，自上游侧朝y轴方向搬送积层有P型光吸收层与缓冲层的基板。其次，若太阳电池的应刻划的区域R1到达横梁14下方的载台25，则停止搬送，且在该位置固定薄膜基板。其次，在步骤S12中，一面使滑件15等速度地朝x轴方向移动，另一面借由安装于平板18的CCD相机19，以固定的取样周期拍摄最靠近区域R1的图案P1的线。该取样周期例如为200Hz～1kHz，以基板上的长度计算，取样间距为1mm～5mm。图13（a）表示以固定周期的时序拍摄图案P1时的摄影区域。其次，在步骤S13中生成坐标数据。如图13（b）所示，该处理是在各摄影区域中检测图案P1的线的位置，且检测该线的中点的y轴坐标。图案P1的加工线通常具有数十微米的宽度，因此，亦可检测加工线两侧的边缘，将其中间的位置作为加工线的位置。又，取而代之，亦可检测加工线的一个边缘的位置，将该位置作为加工线的位置。如此，如图13（b）所示，算出各点A1、A2…的坐标数据。

其次，在步骤S14中，根据以既定间隔对图案P1进行取样所得的点A1、A2…的坐标数据，依序算出线段的数据。其次，在步骤S15中，检测各线段的斜度。将连结最初的点A1与最后的点A13的假想直线L作为基准线，依序算出自各点至下一个点为止的线段相对于基准线的倾斜角度。例如在图13（c）的例子中，针对点A1～A12而分别算出角度α1～α12。此处，α1、α2、α3、α8、α9、α10为负角度，α4、α5、α6、α11、α12为正角度。

其次，在步骤S16中，根据以下的（1）～（3）的基准，抽出作为控制基准的特征点。

（1）抽出如下的点，该点是步骤S15中所检测出的角度中的连续两个点的角度αi、αi＋1（i为自然数）由正变为负或由负变为正的点。此是检测角度符号发生了变化的点作为特征点。在图13(a)、图13(b)、图13(c)、图13(d)和图13(e)的例子中，根据该条件，抽出点A4、A8、A11作为角度的符号的变化点。

（2）针对在两侧具有线段的各点A2～A12，检测由两侧的线段所成的角度（无论方向如何，均为180°以下）β2～β12。其次，抽出该角度β2～β12中的既定值以下的角度的点。此是检测角度变化大的点作为特征点。在图13(a)、图13(b)、图13(c)、图13(d)和图13(e)的例子中，根据该条件，抽出角度β4、β11的点A4、A11。

（3）当以上述（1）、（2）中的任一个基准抽出的点中，存在相邻间隔为既定间隔以下的点时，以达到既定间隔以上的方式剔除任一个点。关于剔除方法，例如在抽出的点彼此的间隔小于既定值的情形时，对上述点的角度β2～β12进行比较，抽出角度较小的点。在图13（e）中，以上述方式最终抽出3个点A4、A8、A11。

刻划单元23各自具有固有的振动频率，若以高于固有振动频率的频率进行控制，则刻划单元23有可能会振动。因此，进行控制的时间间隔为刻划单元23的固有周期以上，更佳为该固有周期的1.4倍以上的间隔。另一方面，为了提高位置检测精度，较佳为图13（a）的取样周期短。因此，在本实施例中，进行过滤，即如图13（d）、图13（e）所示，一面抽出特征点，一面剔除数据，将控制间隔设为固定周期的1.4倍以上，借此，确实地检测特征点，并且减小在控制时，刻划单元23产生异常振动的可能性。

进而，在步骤S17中，算出用以对朝向y轴方向的刻划单元23的位置进行修正的控制数据。在该位置修正中，如图13（c）所示，以形成依照序号连结了起点A1、终点A13与抽出的各点A4、A8、A11的直线的方式进行控制。该修正的控制方法中有位置控制与速度控制。在位置控制中，制成特征点的数据作为使加工头移动的xy坐标。又，在速度控制中，以速度为指示值，生成位置修正用的数据作为控制移动方向与速度的数据。

接着，使滑件15暂时返回原来的位置，相对于检测出的图案P1，保持固定的偏移而朝y轴方向进行刻划。因此，根据位置控制中所决定的位置数据，以朝该位置数据的坐标移动的方式，依序控制x轴方向的线性马达16与位置修正控制部的马达22a。其次，一面使刻划单元23朝y轴方向移动微小距离，一面使滑件15沿着横梁14移动。又，在速度控制中，将两个马达的速度作为控制数据，因此，以达到该速度的方式进行控制。如此，可以低频率进行控制，因此，可顺利地进行位置控制。如图12B所示，可与图案P1的线隔开既定的偏移间隔，利用10个加工头对保持于载台25的基板的加工区域R1进行刻划，从而形成图案P2。当以上述方式进行刻划时，利用CCD相机19拍摄最靠近区域R1的图案P1，收集用以进行下一次刻划的数据。然而，在基板上的最先刻划的区域R1中，检测的图案P1与刻划之前所检测的图案相同。

如此，刻划与区域R1相关的10条图案P2之后，朝y轴方向搬送基板。其次，若区域R2到达刻划单元下方，则将基板固定于载台25上。其次，如图12C所示，刻划与区域R2相关的图案P2。在该刻划过程中，利用CCD相机19检测最靠近区域R2的图案P1的位置。最靠近区域R2的图12C左侧的图案P1是成为下一个区域的控制基准的线。因此，当在下一个区域R3中刻划图案P2时，根据该线进行位置控制。如此，可在使滑件15移动的同时进行刻划，从而可缩短时间。如此，在制造中的基板的整个面上，与图案P1并排地形成图案P2的线。其次，若已完成了整个面的图案P2，则借由搬送控制部66将基板搬出至刻划装置外。

其次，在基板的缓冲层上形成由金属氧化物构成的透明导电膜。其次，再次将该基板放入至刻划装置，以刻划图案P3。即使在该情形时，亦借由刻划装置的搬送机构26a自上游侧朝y轴方向搬送基板。其次，如图12D所示，若应刻划的区域到达载台25下方，则停止搬送，在该位置固定基板。其次，与图案P2的线隔开既定的偏移间隔，同样机械地对透明导电膜、缓冲层及P型光吸收层的一部分进行刻划，借此，呈长条状地切分为图案P3。在该情形时，可以图案P2的线为基准而刻划图案P3，亦可以如下方式进行控制：自背面检测图案P1的线，偏离该图案P1的线而刻划图案P3。

[产业上的可利用性]

上述刻划装置可与已形成的基板的图案平行地，隔开固定间隔而正确地刻划其他图案。因此，可较佳地用于制造需要并排地形成多条图案的太阳电池。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (7)

1.一种刻划装置，对保持于载台上的基板进行刻划；

该基板积层有薄膜且在薄膜上形成有图案；

其特征在于该刻划装置具备：

滑件，其安装有刻划单元；

滑动机构，其使该滑件与该基板的面平行地沿着已形成的图案的线移动；

升降机构，其安装于该滑件，且在上下方向驱动该刻划单元；

位置修正机构，其安装于该滑件，且使该刻划单元与滑件的移动方向垂直地移动；

影像处理部，其以既定周期，自固定于该载台上的基板读取已形成的图案的位置；以及

控制部，其在沿着该影像处理部所读取的图案进行位置控制时，以使控制间隔为刻划单元的固有周期以上的方式进行过滤，且根据过滤后的数据以与该图案的线隔开既定间隔而平行地进行刻划的方式，控制该滑动机构、升降机构及该位置修正机构；

该控制部以如下方式进行过滤：在该刻划单元的固有周期的1.4倍以上的每个间隔，控制该滑动机构及该位置修正机构。

2.根据权利要求1所述的刻划装置，其特征在于其中该刻划单元并排地安装有多个加工头。

3.一种刻划方法，其特征在于：使安装有刻划单元的滑件移动，借此，刻划具有图案的基板；

以既定周期，自固定于载台上的基板读取已形成的图案的位置；

生成已读取的图案的线的检测点的坐标数据；

相对于该滑件的移动速度，以刻划单元的固有周期的1.4倍以上的间隔，自该检测点中抽出表示该图案的特征的特征点；

附加既定的偏移而使刻划头沿着该特征点移动，借此，与该基板的图案并行地进行刻划。

4.根据权利要求3所述的刻划方法，其特征在于其中该特征点的抽出是相对于检测出的起点与终点之间的基准线，检测邻接的各点之间的线段的角度，分别抽出角度的符号的变化点。

5.根据权利要求3所述的刻划方法，其特征在于其中该特征点的抽出是抽出由检测出的各点两侧的线段所成的角度为既定值以下的点。

6.根据权利要求3所述的刻划方法，其特征在于其中根据该抽出的特征点的位置数据控制该刻划头。

7.根据权利要求3所述的刻划方法，其特征在于其中算出用以移动至该抽出的特征点为止的速度数据，根据该速度数据控制该刻划头。