CN103521479A - 清洁装置及直线涂布机 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及到显示装置生产设备的技术领域，公开了一种应用于直线涂布机机台的清洁装置及直线涂布机。该清洁装置包括：真空吸气装置，所述真空吸气装置具有多个朝向待清洁物体表面的第一吸气口；与所述真空吸气装置转动连接并可滚动的至少一个粘性滚轴，所述粘性滚轴用于粘附待清洁物体表面的杂质。在上述技术方案中，通过真空吸气装置吸走直线涂布机机台上的细小颗粒，通过粘性滚轴粘走颗粒比较大的颗粒，从而提高了直线涂布机机台的清洁度，进而提高了基板涂布的效果。

Description

清洁装置及直线涂布机
技术领域
本发明涉及到显示装置生产设备的技术领域，尤其涉及到一种清洁装置及包括该清洁装置的直线涂布机。
背景技术
光刻胶涂布是光刻工艺（Photolithograph）的重要环节，对涂布设备的精确度要求很高，直线涂布机机台的平整度直接影响到光刻胶的涂布效果。如果机台上存在杂质，基板在放置在机台上时会有凸起，造成基板表面不平整，在涂布时会造成涂布不均匀，产品出现各种缺陷和不良，杂质较大时甚至导致涂布中断、玻璃破碎以及涂布装置损坏，严重影响了产品良率和设备稳定性。
目前设备没有清洁直线涂布机机台的装置，只有在发现产品缺陷或者报警后进行停机作业，人工进入设备里手动用无尘布或者粘尘滚轴清理直线涂布机机台。采用上述清洁工具不但清洁效果有限，而且工作效率比较低。
发明内容
本发明提供了一种清洁装置及直线涂布机，用以提高直线涂布机的清洁度，进而提高基板的涂布效果。
本发明提供了一种清洁装置，该清洁装置包括：
真空吸气装置，所述真空吸气装置具有多个朝向待清洁物体表面的第一吸气口；
与所述真空吸气装置转动连接并可滚动的至少一个粘性滚轴，所述粘性滚轴用于粘附待清洁物体表面的杂质。
在上述技术方案中，通过真空吸气装置吸走待清洁物体表面的细小颗粒，通过粘性滚轴粘走颗粒比较大的颗粒，从而提高了物体表面的清洁度。将所述清洁装置应用于直线涂布机，可以提稿直线涂布机机台的清洁度，进而提高了基板涂布的效果。
优选的，所述真空吸气装置具有容纳所述粘性滚轴的凹陷槽，且所述凹陷槽位于相邻的两个第一吸气口之间，所述粘性滚轴设置于所述凹陷槽内并部分露出，以接触待清洁物体表面。通过将粘性滚轴设置于真空吸气装置中的容纳槽，有效的降低了清洁装置的体积，同时，粘性滚轴位于两个吸气口之间，避免了粘性滚轴粘连颗粒比较小的颗粒，提高了粘性滚轴的工作效率。
优选的，所述凹陷槽的槽壁上设置有滚轴刷，所述滚轴刷下方的凹陷槽的槽壁上设有容纳所述滚轴刷刷下的杂质的容纳槽，且所述容纳槽内设置有吸附杂质的第二吸气口。通过滚轴刷将粘连在粘性滚轴上的杂质除去，从而保证了粘性滚轴能够与直线涂布机机台充分的接触，提高了粘性滚轴的工作效率。
优选的，所述凹陷槽的槽壁上设置有多个吸附所述滚轴刷刷落的杂质的吸气孔。通过吸气孔将滚轴刷刷下的比较细小的颗粒吸走，防止其掉落到直线涂布机机台上，提高了清洁装置的清洁效果。
优选的，所述清洁装置还包括设置于所述真空吸气装置壳体并用于打磨待清洁物体表面上的杂质的至少一个打磨部件。通过打磨部件打磨粘连在直线涂布机机台上的杂质，进一步提高了清洁装置的清洁效果。
优选的，所述打磨部件通过弹簧或弹性橡胶与所述真空吸气装置弹性连接。通过弹簧或者弹性橡胶将打磨部件和真空吸气装置弹性连接，保证了打磨部件与直线涂布机机台的充分接触，并有一定的接触压力，便于打磨部件打磨杂质。
优选的，所述打磨部件的个数为一个，所述粘性滚轴的个数为两个，且所述打磨部件位于两个粘性滚轴之间。通过粘性滚轴将打磨部件打磨下来的杂质粘连走，提高了清洁装置的清洁效果。
优选的，所述打磨部件的个数为一个，所述打磨部件位于相邻的两个第一吸气口之间。通过第一吸气口将打磨部件打磨下来的细小颗粒吸走，提高了清洁装置的清洁效果。
本发明还提供了一种直线涂布机，包括：具有第一滑轨的直线涂布机机台；滑动装配于所述第一滑轨的涂布装置；与所述涂布装置转动连接并可锁定于设定位置的上述任一种清洁装置；以及驱动所述涂布装置在所述第一滑轨滑动的第一驱动装置。
在上述技术方案中，直线涂布机通过采用清洁装置清洁直线涂布机机台，提高了直线涂布机机台的清洁度，进而提高了基板的涂布效果。
本发明还提供了一种直线涂布机，包括：具有第一滑轨和第二滑轨的直线涂布机机台；滑动装配于所述第一滑轨的涂布装置；驱动所述涂布装置在所述第一滑轨上滑动的第一驱动装置；以及滑动装配于所述第二滑轨的上述任一种清洁装置。
在上述技术方案中，直线涂布机通过采用清洁装置清洁直线涂布机机台，提高了直线涂布机机台的清洁度，进而提高了基板的涂布效果。
优选的，所述清洁装置通过支撑架滑动装配于所述第二滑轨，且所述清洁装置滑动装配于所述支撑架。避免清洁装置影响到涂布装置的涂布。
优选的，所述直线涂布机还包括驱动所述清洁装置沿所述支撑架滑动的第二驱动装置；驱动所述支撑架沿第二滑轨滑动的第三驱动装置。通过驱动装置驱动清洁装置，提高了清洁装置的工作效率。
优选的，所述直线涂布机还包括控制单元，与所述第二驱动装置和第三驱动装置信号连接，根据设定的行程控制第二驱动装置和第三驱动装置驱动所述清洁装置。通过控制单元实现了清洁装置的自动化，提高了清洁装置的工作效率。
附图说明
图1为本发明实施例提供的清洁装置的结构示意图；
图2为本发明另一实施例提供的清洁装置的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的直线涂布机的结构示意图；
图4为本发明实施例提供的直线涂布机的清洁装置折叠的结构示意图；
图5为本发明实施例提供的直线涂布机的结构示意图。
附图标记：
10-清洁装置      11-真空吸气装置    111-第一吸气口
112-第二吸气口   113-容纳槽         114-凹陷槽
115-吸气孔       12-粘性滚轴        13-滚轴刷
14-打磨部件      15-弹簧            20-直线涂布机机台
30-涂布装置      40-支撑架          50-第三驱动装置
具体实施方式
为了提高直线涂布机的清洁度，进而提高光刻胶在基板上的涂布效果。本发明实施例提供了一种清洁装置及包括该清洁装置的直线涂布机，在本发明的技术方法中，通过采用真空吸气装置吸附直线涂布机机台上的细小杂质，并通过粘性滚轴吸附颗粒比较大的杂质，提高了直线涂布机机台上的清洁度，进而提高了基板的涂布效果。为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下以非限制性的实施例为例对本发明作进一步详细说明。
如图1所示，图1为本发明实施例提供的一种清洁装置的结构示意图。
本发明实施例提供了一种清洁装置，该清洁装置可以应用于直线涂布机，用于清洁直线涂布机机台。本发明实施例以应用于直线涂布机的清洁装置为例进行说明，本发明实施例提供的清洗装置也可以用于其他产品和设备的清洁，例如对清洁度有较高要求的操作台、实验台的清洁，对玻璃基板、面板、掩模板、各种板材的清洁；本发明对于清洁装置具体应用范围不做限定。该清洁装置10包括：
真空吸气装置11，真空吸气装置11具有多个朝向待清洁物体表面的第一吸气口111；
与真空吸气装置11转动连接并可滚动的至少一个粘性滚轴12，所述粘性滚轴12用于粘附待清洁物体表面的杂质。
其中待清洁物体可以为任一物体，下面以直线涂布机机台20为例进行说明。本实施例提供的清洁装置10在使用时，清洁装置10可沿直线涂布机机台20的长度方向滑动，在滑动的同时，真空吸气装置11上朝向直线涂布机机台20的多个第一吸气口111开始吸附直线涂布机机台20上的杂质，一些细小的杂质通过第一吸气口111被真空吸气装置11吸走，同时，与真空吸气装置11转动连接的粘性滚轴12将直线涂布机机台20上颗粒比较大的杂质粘走。通过采用真空吸气装置11和粘性滚轴12将直线涂布机机台20上无论颗粒细小还是较大的杂质都清理掉，提高了直线涂布机机台20的清洁度，进而提高了光刻胶在基板上的涂布效果。
在上述实施例中为了进一步提清洁装置10清洁直线涂布机机台20的效果。作为一种优选方案，清洁装置10还包括至少一个与真空吸气装置11连接的打磨部件14。粘连在直线涂布机机台20上的杂质在打磨部件14的作用下出现松动。
本发明实施例中的打磨部件14较佳的采用油石，具有良好的打磨效果。
真空吸气装置11、粘性滚轴12以及打磨部件14的结构可以有不同的排列组合，下面以具体的实施例对其结构进行说明。
实施例1
继续参考图1，粘性滚轴12的个数为一个，真空吸气装置11具有容纳粘性滚轴12的凹陷槽114，粘性滚轴12设置于凹陷槽114内，并与真空吸气装置11转动连接，此时，粘性滚轴12位于两个相邻的第一吸气口111之间，且粘性滚轴12的最低点低于吸气口的最低点，从而保证了清洁装置10在直线涂布机机台20上运动时，粘性滚轴12能够与直线涂布机机台20充分接触。
粘连在粘性滚轴12上的杂质在粘性滚轴12工作时会造成粘性滚轴12不能与直线涂布机机台20充分接触，为了提高粘性滚轴12的清洁效果，在凹陷槽114的槽壁上设置了一个滚轴刷13，当粘性滚轴12转动时，滚轴刷13能够将粘连在粘性滚轴12上的杂质刷落，刷落的杂质中，颗粒较小的杂质被设置在凹陷槽114槽壁上并与真空吸气装置11连通的吸气孔115吸走，颗粒较大的杂质在自身重力的作用下落入到设置在滚轴刷13下方的凹槽壁上的容纳槽113，并通过设置在容纳槽113内并与真空吸气装置11连通的第二吸气口112吸入到真空吸气装置11中。继续参考图1，滚轴刷13的设置位置较佳的应该设置在滚轴轴线所在的水平面，此时，无论滚轴是顺时针转动还是逆时针转，都能够保证滚轴刷13刷落的颗粒较大的杂质在自身重力的作用下能够落入到容纳槽113内。避免了刷落的杂质再次落到直线涂布机机台20上，造成清洁装置10的清洁效果降低。同时，为了进一步提高清洁装置10的清洁效果，粘性滚轴12设置于两个第一吸气口111之间，从而保证了，即使有刷落的杂质再次落到直线涂布机机台20上时，仍能够通过第一吸气口111将杂质吸入到真空吸气装置11中，提高了清洁装置10的清洁效果。
在采用打磨部件14时，打磨部件14的个数可以为以一个也可以为多个，较佳的，采用打磨部件14的个数为一个，该打磨部件14设置于两个相邻的第一吸气口111之间，且在清洁装置10清洁直线涂布机机台20时，打磨部件14将粘连在直线涂布机机台20上的顽固杂质打磨下来，并通过第一吸气口111或粘性滚轴12将打磨下来的杂质清理掉。较佳的，在打磨部件14与真空吸气装置11连接时，打磨部件14设置在清洁装置10的底部，且两者之间采用弹性连接，如弹性橡胶或弹簧15，在弹簧15和弹性橡胶的作用下打磨部件14能够与直线涂布机机台20的表面充分接触，提高打磨部件14的打磨效果。
实施例2
如图2所示，本发明另一实施例提供的清洁装置的结构示意图；粘性滚轴12的个数为两个，打磨部件14的个数为一个，粘性滚轴12设置于真空吸气装置11的凹陷槽114内，并与真空吸气装置11转动连接，此时，粘性滚轴12位于两个相邻的第一吸气口111之间，且粘性滚轴12的最低点低于吸气口的最低点，从而保证了清洁装置10在直线涂布机机台20上运动时，粘性滚轴12能够与直线涂布机机台20充分接触。
在凹陷槽114的槽壁上设置有用于刷落粘连在粘性滚轴12上的杂质，同时，凹陷槽114的槽壁上还设置有用于吸附刷落的细小杂质的吸气孔115，以及用于容纳刷落的颗粒比较大的容纳槽113，在容纳槽113内具有与真空吸气装置11连通的第二吸气口112，可以将刷落的颗粒比较大的杂质吸走，保证了粘性滚轴12能够在清洁时与机台充分的接触，提高了清洁的效果。
打磨部件14设置于两个粘性滚轴12之间，由于清洁装置10在直线涂布机机台20上清洁时，是采用往返运动，因此，打磨部件14打磨下来的杂质分别位于打磨部件14的两侧，当清洁装置10在运动时，分别位于打磨部件14两侧的打磨下来的杂质可以通过粘性滚轴12粘连起来，具体的，参考图2，当粘性滚轴12顺时针转动时，打磨部件14打磨下来的杂质位于打磨部件14的右侧，在清洁装置10运动到直线涂布机机台20的一端时，清洁装置10改变运动方向，粘性滚轴12开始逆时针转动，此时，位于打磨部件14右侧的被打磨下来的杂质被粘性滚轴12粘连起来，并最终通过吸气孔115和第二吸气口112吸入到真空吸气装置11中。在粘性滚轴12逆时针运动时，打磨部件14打磨下来的杂质位于打磨部件14的左侧，在清洁装置10再次改变运动方向时，位于打磨部件14左侧的打磨下来的杂质被位于打磨部件14左侧的粘性滚轴12粘连起来并最终进入到真空吸气装置11中进行处理。
上述打磨部件14在与真空吸气装置11连接时，采用弹性连接，如采用弹簧15或弹性橡胶，保证了打磨部件14在打磨时能够与直线涂布机机台20充分接触。
上述的实施例1和实施例2具体的列举了两种清洁装置10的结构，应当理解的时，本发明不仅限于上述实施例中列举的两种结构，在采用真空吸气装置11、粘性滚轴12和打磨部件14的任意组合均可以应用，在此不再一一赘述。
本发明实施例提供的清洁装置10在使用时，既可以采用人工手动推动清洁装置10在直线涂布机机台20上往返运动，也可以采用驱动装置驱动清洁装置10在直线涂布机机台20上往返运动，此时，直线涂布机机台20上设置有滑轨，清洁装置10滑动装配在滑轨上，并通过驱动装置驱动清洁装置10在滑轨上运动，较佳的通过控制单元控制驱动装置的运动，通过设定行程实现清洁装置10的自动清洁。操作者可以根据实际的情况选择不同的驱动方式来驱动清洁装置10。
如图3和图4所示，图3为本发明实施例提供的直线涂布机的结构示意图；图4为本发明实施例提供的直线涂布机的清洁装置折叠的结构示意图。
本发明实施例还提供了一种直线涂布机，该直线涂布机包括：具有第一滑轨的直线涂布机机台20；滑动装配于所述第一滑轨的涂布装置30；与所述涂布装置30转动连接并可锁定于设定位置的上述任一种清洁装置10；以及驱动所述涂布装置30在所述第一滑轨滑动的第一驱动装置。
具体的，清洁装置10通过连接架与涂布装置30转动连接，继续参考图4，在涂布装置30在基板上涂布时，转动清洁装置10，使清洁装置10位于空闲位置并将其进行锁定，涂布装置30通过第一驱动装置驱动，并正常涂布。继续参考图3，当需要使用清洁装置10对直线涂布机机台20进行清洁时，松开清洁装置10的锁定，并转动清洁装置10，使得清洁装置10与直线涂布机机台20表面相接触，并使清洁装置10与直线涂布机机台20表面有一个比较合适的接触压力，便于清洁装置10中的粘性滚轴12以及打磨部件14对直线涂布机机台20上的杂质进行清理。调整好位置后，将清洁装置10进行锁定，通过第一驱动装置驱动涂布装置30运动，涂布装置30带动清洁装置10进行往返运动，对直线涂布机机台20进行清理。
本发明实施例提供的直线涂布机，通过采用清洁装置10，提高了直线涂布机机台20表面的清洁度，进而提高了基板的涂布效果。
在上述实施例中的锁定清洁装置10结构可以采用现有技术中的任一种可实施的锁定结构，如转轴上设置有锁定销，通过锁定销插设在不同的孔内实现清洁装置10在不同位置的锁定，也可以采用螺纹锁定，在转轴插设的轴套上设置锁定螺栓，松开锁定螺栓时，转轴可以转动，当拧紧锁定螺栓时，转轴被锁定，应当可以理解的是，本发明实施例采用的锁定结构不仅限于上述举例的两种常见的锁定结构，也可以采用任一种可以实施的常见的锁定结构，在此不再一一举例列举。
上述实施例中的第一驱动装置可以为步进电机或伺服电机，具有良好的驱动能力，以及稳定的输出。
如图5所示，图5为本发明实施例提供的直线涂布机的结构示意图。本发明实施例还提供了另外一种直线涂布机，该直线涂布机包括：具有第一滑轨和第二滑轨的直线涂布机机台20；滑动装配于所述第一滑轨的涂布装置30；驱动所述涂布装置30在所述第一滑轨上滑动的第一驱动装置；以及滑动装配于所述第二滑轨的上述任一种清洁装置10。
其中的清洁装置10通过支撑架40滑动装配于第二滑轨，且清洁装置10滑动装配于支撑架40。在采用人工推动清洁装置10清洁机台时，通过推动清洁装置10进行清洁机台，在涂布装置30涂布时，清洁装置10位于支撑架40的顶端，并通过锁定装置锁定，以避免影响到涂布装置30在基板上涂布。
在清洁装置10采用驱动装置驱动时，直线涂布机还包括驱动真空吸气装置11沿支撑架40滑动的第二驱动装置；驱动支撑架40沿第二滑轨滑动的第三驱动装置50。具体的，在涂布装置30工作时，清洁装置10位于支撑架40的顶端，涂布装置30在第一滑轨上往返运动并对基板进行涂布，当直线涂布机机台20需要涂布时，通过第二驱动装置驱动清洁装置10从支撑架40的顶端滑动到支撑架40的底端并使清洁装置10与直线涂布机机台20充分的接触。停止第二驱动装置，同时通过第三驱动装置50驱动支撑架40在第二滑轨上滑动，支撑架40带动清洁装置10在直线涂布机机台20上做往返运动并对直线涂布机机台20进行清洁。实现了清洁直线涂布机机台20的机械化，提高了直线涂布机机台20清洁的效率，同时避免了人工接触直线涂布机机台20对直线涂布机机台20造成的二次污染。
作为一种优选方案，直线涂布机还包与第二驱动装置和第三驱动装置50信号连接的控制单元，控制单元中设定了第二驱动装置和第三驱动装置50的行程，在需要清洁装置10清洁直线涂布机机台20时，通过控制单元设定的行程控制第二驱动装置驱动清洁装置10下落到直线涂布机机台20表面，并通过设定的第三驱动装置50的行程控制第三驱动装置50驱动支撑架40在第二滑轨上滑动，支撑架40带动清洁装置10在直线涂布机机台20表面做往返运动，同时，清洁装置10对直线涂布机机台20进行清洁。
本发明实施例提供的直线涂布机，通过采用清洁装置10，提高了直线涂布机机台20表面的清洁度，进而提高了基板的涂布效果。
上述实施例中的第一驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置50可以为步进电机或伺服电机，具有良好的驱动，以及稳定的输出。
其中的控制单元可以采用PLC（programmable logic controller，可编程逻辑控制器，简称PLC）或单片机，较佳的，所述控制单元为单片机，具有良好的控制性能。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (13)

1.一种清洁装置，其特征在于，包括：
真空吸气装置，所述真空吸气装置具有多个朝向待清洁物体表面的第一吸气口；
与所述真空吸气装置转动连接并可滚动的至少一个粘性滚轴，所述粘性滚轴用于粘附待清洁物体表面的杂质。
2.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述真空吸气装置具有容纳所述粘性滚轴的凹陷槽，且所述凹陷槽位于相邻的两个第一吸气口之间，所述粘性滚轴设置于所述凹陷槽内并部分露出，以接触待清洁物体表面。
3.如权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述凹陷槽的槽壁上设置有滚轴刷，所述滚轴刷下方的凹陷槽的槽壁上设有容纳所述滚轴刷刷下的杂质的容纳槽，且所述容纳槽内设置有吸附杂质的第二吸气口。
4.如权利要求3所述的清洁装置，其特征在于，所述凹陷槽的槽壁上设置有多个吸附所述滚轴刷刷落的杂质的吸气孔。
5.如权利要求1～4任一项所述的清洁装置，其特征在于，还包括设置于所述真空吸气装置壳体并用于打磨待清洁物体表面上的杂质的至少一个打磨部件。
6.如权利要求5所述的清洁装置，其特征在于，所述打磨部件通过弹簧或弹性橡胶与所述真空吸气装置弹性连接。
7.如权利要求5所述的清洁装置，其特征在于，所述打磨部件的个数为一个，所述粘性滚轴的个数为两个，且所述打磨部件位于两个粘性滚轴之间。
8.如权利要求5所述的清洁装置，其特征在于，所述打磨部件的个数为一个，所述打磨部件位于相邻的两个第一吸气口之间。
9.一种直线涂布机，其特征在于，包括：
具有第一滑轨的直线涂布机机台；
滑动装配于所述第一滑轨的涂布装置；
与所述涂布装置转动连接并可锁定于设定位置的如权利要求1～8任一项所述的清洁装置；以及，
驱动所述涂布装置在所述第一滑轨滑动的第一驱动装置。
10.一种直线涂布机，其特征在于，包括：
具有第一滑轨和第二滑轨的直线涂布机机台；
滑动装配于所述第一滑轨的涂布装置；
驱动所述涂布装置在所述第一滑轨上滑动的第一驱动装置；以及，
滑动装配于所述第二滑轨的如权利要求1～8任一项所述的清洁装置。
11.如权利要求10所述的直线涂布机，其特征在于，所述清洁装置通过支撑架滑动装配于所述第二滑轨，且所述清洁装置滑动装配于所述支撑架。
12.如权利要求11所述的直线涂布机，其特征在于，还包括驱动所述清洁装置沿所述支撑架滑动的第二驱动装置；驱动所述支撑架沿第二滑轨滑动的第三驱动装置。
13.如权利要求12所述的直线涂布机，其特征在于，还包括控制单元，与所述第二驱动装置和第三驱动装置信号连接，根据设定的行程控制第二驱动装置和第三驱动装置驱动所述清洁装置。
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