CN108406476A - 一种基板的抛光装置 - Google Patents

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Abstract

一种基板的抛光装置,其包括:基座,所述基座支承抛光部,所述基座上设置有放置所述基板的抛光垫;抛光部,其包括与所述基板接触的抛光板,所述抛光板设置于所述基座上且位于所述抛光垫的上方;驱动部,所述驱动部固定在所述基座上,所述驱动部驱动所述抛光部运动;通过所述抛光板的直线往复运动可对置于所述抛光垫内任意尺寸的所述基板进行抛光。本发明的基板的抛光装置,采用直线往复运动的形式对ITO表面进行抛光,能够避免采用高速旋转的抛光板引起的过渡磨损并导致PIN HOLE的现象。

Description

一种基板的抛光装置
技术领域
[0001] 本发明涉及基板表面处理技术领域,具体涉及一种基板的抛光装置。
背景技术
[0002] 0LK)显示技术具有自发光的特性,采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板,当有 电流通过时,这些有机材料就会发光,0LED显示屏幕可视角度大并且节省电能,近年来该显 示设备己经得到了越来越多的广泛运用。其中0LED的基本结构是由一薄而透明具半导体特 性之铟锡氧化物(IT0),与电力正极相连,再加上另一个金属阴极,包成如三明治的结构。
[0003] 其中IT0已广泛应用在商业化的显示器面板制造,其具有高透射率、低电阻率及高 功函数等优点。一般而言,利用射频溅镀法(RF sputtering)所制造的IT0,易受工艺控制因 素不良而导致表面不平整,进而产生表面的尖端物质或突起物。另外高温锻烧及再结晶的 过程亦会产生表面突起层。这些不平整层的细粒之间所形成的路径会提供空穴直接射向阴 极的机会,而这些错综复杂的路径会使漏电流增加,因此对IT0表面平整度的控制尤为重 要。
[0004] 0LED发光器件对其透明阳极的表面IT0表面的粗糙度有较高的要求,目前业内普 遍会对该IT0材料表面进行抛光再处理,以提高粗糙度改善器件良率。现有技术中普遍采用 的是类似于抛光玻璃基板的方式(旋转抛光)对阳极表面进行处理。
[0005] 例如韩国专利文献KR1020060029332A中公开了一种用于0LM)的IT0薄膜的抛光装 置,其中该0LED的IT0薄膜的抛光装置被用于以提高ITO表面的抛光精度,其包括自旋转控 制器、加压控制器、和操作面板。该OLED的IT0薄膜的抛光装置主要包括下压板、抛光垫、具 有抛光固定器的台板、气缸、旋转驱动单元,其中旋转驱动单元用于旋转所述下压板,下压 板按压所述台板上,抛光溶液供应单元用于提供抛光溶液到所述下压板,自旋控制器用于 控制所述旋转驱动单元,所述气缸的加压控制器用于调整所述气缸的运动,旋转控制器用 于控制所述旋转驱动单元。
[0006] 但上述专利文献中的抛光装置主要通过旋转抛光方式对IT0表面进行处理,上述 旋转抛光方式存在以下缺点:(1)旋转速度过快,无法有效控制衬底IT0表面的抛光剥离厚 度,且由于是采用小面积的抛光板旋转式来回抛光整体基板,因此完整抛光一个基板表面 的时间较长、抛光效率低,且基板表面的整体粗糙度难以控制;(2)该抛光装置搭配的抛光 板材质较硬,适用于玻璃基板,但用于IT0抛光时,对IT0等陶瓷性质的半导体材质损伤较 大,在IT0表面易造成大量的PIN HOLE不良现象,抛光过程可控性差,影响器件发光效率。
发明内容
[0007]因此,本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的抛光效率低、可控性差、己 造成产品表面抛光不良的缺陷,从而提供一种操作简单,降低基板表面抛光过渡磨损的基 板的抛光装置。
[0008]为此,此处依次列出权利要求书记载的全部技术方案;
[0009] 一种基板的抛光装置,其包括:基座,所述基座支承抛光部,所述基座上设置有放 置所述基板的抛光垫;抛光部,其包括与所述基板接触的抛光板,所述抛光板设置于所述基 座上且位于所述抛光垫的上方;驱动部,所述驱动部固定在所述基座上,所述驱动部驱动所 述抛光部运动;通过所述抛光板的直线往复运动可对置于所述抛光垫内任意尺寸的所述基 板进行抛光。
[0010] 进一步地,所述抛光垫为方形垫,所述抛光板平行于所述抛光垫的一条边设置,且 其长度与所述抛光垫的所述边相符,所述抛光板沿与所述边垂直的另一条边进行直线往复 运动。
[0011] 进一步地,所述抛光装置还包括传动部和引导装置,所述传动部连接所述驱动部 与所述抛光部,所述抛光部通过连接件分别与所述传动部和所述引导装置连接。
[0012] 进一步地,所述传动部包括水平带传动装置,所述水平带传动装置包括位于所述 抛光垫前后两端的水平带轮和沿所述抛光板运动方向设置的水平传动带,所述连接件的上 表面与所述水平传动带固定连接。
[0013] 进一步地,所述引导装置为滑轨,所述连接件的下表面设置有与所述滑轨配合的 所述滑槽,所述滑槽内设置有与所述滑轨抵接的滚轮。
[0014] 进一步地,所述水平带传动装置和所述滑轨设置在所述抛光垫的至少一侧。
[0015] 进一步地,所述传动部还包括竖向带传动装置,所述竖向带传动装置的一个带轮 与所述驱动部的输出端连接,所述竖向带传动装置的另一个带轮与所述水平带传动装置其 中一端的主动水平带轮同轴设置。
[0016] 进一步地,所述基座为框架体,所述驱动部设置于所述框架体内,所述抛光装置设 置于所述框架体的上表面,所述上表面还设有允许所述竖向传动装置的传动带通过的槽 体。
[0017] 进一步地,所述抛光部还包括与所述抛光板连接的压力调节装置和压力检测件, 所述压力调节装置控制所述抛光板与所述基板表面的接触压力。
[0018] 进一步地,所述抛光装置的抛光液为氧化铝抛光液。
[0019] 本发明技术方案,具有如下优点:
[0020] 1.本发明的基板的抛光装置,采用直线往复运动的形式对基板表面进行抛光,能 够避免采用高速旋转的抛光板引起的过渡磨损并导致PIN HOLE的现象。
[0021] 2.本发明的基板的抛光装置,采用高密度海绵抛光棉抛光,对基板阳极表面处理 时损伤较小,可有效控制PIN HOLE的产生。
[0022] 3.本发明基板的抛光装置,主要由新型材质抛光棉、抛光垫、定向水平导轨、驱动 马达、压力感应器、压力调节装置等组成,在压力感应器和压力调节装置的作用下可调节抛 光棉与底部的抛光垫的等距作用力,从而保证玻璃基板的所有区域的粗糙度水平一致。 [0023] 4.本发明基板的抛光装置,配合使用纳米级氧化铝抛光液,该纳米级氧化铝抛光 液的晶相稳定、硬度高、颗粒小、悬浮性高且分布均匀;并且磨削力强、抛光后平整度高,适 用于高精密加工行业;同时该抛光液的黏度小,介质膜层吸附比Ce2〇3轻微,易于去除。
附图说明
[0024] 为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体 实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,卜曲描述中的 附图是本发明的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前 提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1为本发明的基板的抛光装置的结构示意图;
[0026] 附图标记说明:
[0027] 1-抛光板;2-抛光垫;3-滑轨;4-载板;5-槽体,6-压力传感器;7-压力陀;8-弹簧支 撑杆;9-框架体;10-操控面板;11 -压力调节装置;12-驱动部;13-传动带;14_连接件;
具体实施方式
[0028] 下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施 例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术 人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。 [0029]在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、 “水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了 便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、 以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、 “第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0030] 在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相 连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可 以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是 两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本 发明中的具体含义。
[0031] 此外,下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构 成冲突就可以相互结合。
[0032] 具体实施例
[0033] 本实施例以IT0基板作为最佳实施例,下文中所述的基板均为IT0基板;如图1所示 为本发明的基板的抛光装置,其中包括基座,抛光部,吸附式抛光垫2,驱动部、传动部和引 导装置。
[0034] 本实施例中的基座设置为框架体9,所述抛光装置设置于所述框架体9的上表面, 所述框架体9用于支承抛光部;所述框架体9的上表面设有吸附式抛光垫2,所述抛光垫2用 于放置并吸附所述IT0基板;抛光部,其包括与所述IT0基板接触的抛光板1,所述抛光板丄设 置于所述基座上且位于所述抛光垫2的上方;驱动部12,所述驱动部12固定于所述基座上, 其用于驱动所述抛光部运动;通过所述抛光板1的直线往复运动可对置于所述抛光垫2内任 意尺寸的所述基板进行抛光。
[0035]所述抛光垫2为方形垫,所述抛光板1平行于所述抛光垫2的一条边设置,且其长度 与所述抛光垫2的所述边相符,所述抛光板1沿与抛光垫2的所述边垂直的另一条边进行直 线往复运动。本实施例中驱动部12采用驱动马达,所述框架体9内部设置有驱动所述抛光装 置工作的驱动马达,驱动马达通过安装板安装于所述框架体9的内部,驱动马达通过传动部 与所述抛光部连接。
[0036] 其中在本实施例中,所述抛光装置还包括传动部,所述传动部连接所述驱动部12 与所述抛光部,所述传动部包括水平带传动装置和竖向带传动装置。所述水平带传动装置 水平设置,其包括位于所述抛光垫2前后两端的水平带轮和沿所述抛光板1运动方向设置的 水平传动带13,其中水平带轮包括主动水平带轮和从动水平带轮,所述水平传动带13连接 所述主动水平带轮和从动水平带轮。所述驱动马达与竖向带传动装置连接,竖向带传动装 置竖直设置,其下端部设置有与驱动马达的输出端连接的第一带轮,其上端部设置有与水 平输出轴连接的第二带轮,第一带轮与第二带轮通过竖向传动带13连接,其中第一带轮与 驱动马达12—同设置于所述框架体9内,第二带轮穿过所述框架体9的上表面设置在所述框 架体9上表面的前端,同时在框架体9上设置有允许竖向传动带13通过的槽体5;竖向带传动 装置的第二带轮的输出轴为水平设置的水平输出轴,其中水平输出轴的两端分别设置有水 平带传动装置的两个主动水平带轮,所述主动水平带轮分别通过两个水平传动带13与设置 在所述框架体9上表面后端的两个从动水平带轮连接。
[0037] 抛光装置还设置有引导所述抛光部运动的引导装置,本实施例中的所述引导装置 设为滑轨,并且抛光部上设置有连接件14,该连接件14连接抛光部、水平带传动装置和滑 轨。具体地,在抛光部的端部固定连接有连接件14,所述连接件14的上表面通过例如螺钉等 固定件与水平传动带13固定连接,连接件14的下表面设置有滑槽,所述滑槽与抛光垫2两侧 的水平滑轨3相配合,所述滑槽内还设置有与所述滑轨3抵接的滚轮,对所述抛光板1进行抛 光导向。在本实施例中,在吸附式抛光垫2上的两侧均设置有驱动和引导所述抛光板1直线 往复运动的水平带传动装置和滑轨,因此在所述抛光部的两端均设置有连接件14。
[0038] 所述抛光部还包括与所述抛光板1连接的压力调节装置11和压力检测件,所述压 力调节装置11控制所述抛光板1与所述IT0基板表面的接触压力。其中本实施例中的压力检 测件采用压力传感器6。所述抛光部还包括设置在下端部的载板4,在载板4的下端固定连接 有用于抛光的抛光板1,所述抛光部的上端部设置有上部板,所述上部板与所述载板4之间 设置有压力调节装置11,所述压力调节装置11控制所述抛光板1与所述IT0基板的接触压 力。所述压力调节装置11包括设置于所述上部板上的压力陀7以及与所述压力陀7连接的螺 杆,其中所述抛光部的两端分别与所述连接件14固定连接,所述抛光部上设有允许螺杆以 及连接所述载板4和上部板的弹簧支撑杆8通过的通孔,本实施例中设置有四个弹簧支撑杆 8,所述弹簧支撑杆8用于平稳、均匀地控制所述抛光板1,使所述抛光板1在所述IT0基板上 的作用力均匀分布,所述压力陀7的下表面与所述上部板相抵接,所述压力陀7通过螺杆与 载板4连接。所述载板4上还设置有压力传感器6,通过压力传感器6检测并控制所述抛光板1 与所述H0基板表面的接触力和接触距离,从而达到合理的抛光效果。在本实施例中为实现 良好的抛光效果,所述抛光板1采用高密度海绵抛光棉,并采用纳米级氧化铝抛光液进行抛 光。
[0039] 本发明的ITO基板的抛光装置,其工作原理为:
[0040] 将需要抛光的ITO基板通过吸附力吸附于所述抛光垫2上,通过调整抛光板1上的 压力调节装置11的压力陀7调节所述抛光板1与所述ITO基板的距离,调整完毕后通过操控 面板10控制所述抛光装置开始运动,驱动马达通过竖向传动带13带动水平输出轴旋转,由 此带动水平带传动装置的两个所述主动带轮旋转,进一步带动所述抛光垫4两侧的水平传 动带13,由此水平带传动装置的水平传动带13开始运动,并带动抛光板1随之做直线运动, 通过控制驱动马达的正反转可实现抛光板1的水平往复运动,由此实现对ITO基板的抛光。 [0041] 本发明H0基板的抛光装置,主要由新型材质海绵抛光棉、抛光垫、定向水平导轨、 驱动马达、压力传感器、压力调节装置等组成,在压力传感器和压力调节装置的作用下可调 节抛光棉与底部的抛光垫的等距作用力,从而保证玻璃基板的所有区域的粗糙度水平一 致。
[0042] 显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例,而并非对实施方式的限定。对 于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或 变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或 变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1. 一种基板的抛光装置,其包括: 基座,所述基座支承抛光部,所述基座上设置有放置所述基板的抛光垫; 抛光部,其包括与所述基板接触的抛光板,所述抛光板设置于所述基座上且位于所述 抛光垫的上方; 驱动部,所述驱动部固定在所述基座上,所述驱动部驱动所述抛光部运动; 其特征在于: 通过所述抛光板的直线往复运动可对置于所述抛光垫内任意尺寸的所述基板进行抛 光。
2. 根据权利要求1所述的基板的抛光装置,其特征在于:所述抛光垫为方形垫,所述抛 光板平行于所述抛光垫的一条边设置,且其长度与所述抛光垫的所述边相符,所述抛光板 沿与所述边垂直的另一条边进行直线往复运动。
3. 根据权利要求2所述的基板的抛光装置,其特征在于:所述抛光装置还包括传动部和 引导装置,所述传动部连接所述驱动部与所述抛光部,所述抛光部通过连接件分别与所述 传动部和所述引导装置连接。
4. 根据权利要求3所述的基板的抛光装置,其特征在于:所述传动部包括水平带传动装 置,所述水平带传动装置包括位于所述抛光垫前后两端的水平带轮和沿所述抛光板运动方 向设置的水平传动带,所述连接件的上表面与所述水平传动带固定连接。
5. 根据权利要求4所述的基板的抛光装置,其特征在于:所述引导装置为滑轨,所述连 接件的下表面设置有与所述滑轨配合的所述滑槽,所述滑槽内设置有与所述滑轨抵接的滚 轮。
6. 根据权利要求5所述的基板的抛光装置,其特征在于:所述水平带传动装置和所述滑 轨设置在所述抛光垫的至少一侧。
7. 根据权利要求4所述的基板的抛光装置,其特征在于:所述传动部还包括竖向带传动 装置,所述竖向带传动装置的一个带轮与所述驱动部的输出端连接,所述竖向带传动装置 的另一个带轮与所述水平带传动装置其中一端的主动水平带轮同轴设置。
8. 根据权利要求7所述的基板的抛光装置,其特征在于:所述基座为框架体,所述驱动 部设置于所述框架体内,所述抛光装置设置于所述框架体的上表面,所述上表面还设有允 许所述竖向传动装置的传动带通过的槽体。
9. 根据权利要求4所述的基板的抛光装置,其特征在于:所述抛光部还包括与所述抛光 板连接的压力调节装置和压力检测件,所述压力调节装置控制所述抛光板与所述基板表面 的接触压力。
10. 根据权利要求1-9任意一项所述的基板的抛光装置,其特征在于:所述抛光装置的 抛光液为氧化铝抛光液。
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