CN103374740A - 铝镁合金的低粉尘阳极氧化表面处理工艺 - Google Patents
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Abstract
铝镁合金的低粉尘阳极氧化表面处理工艺，包括以下步骤：去杂质、油脂——碱腐蚀——中和——阳极氧化——封孔处理。本发明工艺合理、操作方便、铝镁合金经表面处理后洁净、光亮。
Description
技术领域：
本发明涉及集成电路生产设备的制造，尤其涉及铝镁合金的低粉尘阳极氧化表面处理工艺。
背景技术：
集成电路在制造过程中，一个硅片表面具有多个微芯片，每个微芯片又有数以百万计的器件互连线路，它们对玷污都非常敏感。随着芯片的特征尺寸为适应更高性能和更高集成度的要求而缩小，控制表面玷污的需要变得越来越关键。为了尽可能的避免硅片制造中的玷污，人们在控制硅片本身洁净的同时，对集成电路制造设备的清洁要求越来越高。特别是在制造工艺过程中与硅片有直接接触的零件表面，该零件表面需要有耐腐蚀、绝缘等性，需进行阳极氧化处理以达到所需要的耐腐蚀、绝缘等性能，而原有技术制得的零件表面存在玷污，影响到硅片的清洁。
发明内容 ：
本发明的目的在于提供一种铝镁合金的低粉尘阳极氧化表面处理工艺，铝镁合金经表面处理后洁净、光亮。
本发明是这样实现的：铝镁合金的低粉尘阳极氧化表面处理工艺，其特征在于：包括以下步骤：去杂质、油脂——碱腐蚀——中和——阳极氧化——封孔处理。
本发明所述的去杂质、油脂为：使用240#砂纸打磨直至表面无机加工纹理和任何划线；再用3M 6447工业百洁布水磨，然后再使用3M 6448工业百洁布水磨,表面需水磨均匀。
本发明所述的碱腐蚀为：把去除表面杂质、油脂后的铝镁合金放入装有浓度为40-50g/L的氢氧化钠的槽内浸蚀10-30分钟，此过程中控制槽内温度在45℃-55℃。
本发明所述的中和为：把经过碱腐蚀的铝镁合金放入装有浓度为120-150g/L的硝酸槽内浸蚀2-5分钟。
本发明所述的阳极氧化为：把中和处理后的铝镁合金放入电镀槽中；槽液成分：硫酸150-180g/L、银离子5-15g/L和少量磷酸；槽液温度20+/-1℃；铝合金材料接电源的正极，槽液内接电源的负极；在正负极间加波形为硬直电弧的电压14V-18V；氧化时间根据膜厚的需求进行调整，一般控制在60分钟-90分钟。
本发明所述的封孔处理为：把阳极氧化处理后的铝镁合金放入纯水槽液内进行封孔处理：槽液成分：0.8-1.2g/L的镍离子、少量醋酸；槽液温度控制在90℃；槽液的PH值为5.6-6.5；封孔时间为氧化膜厚度μmx1.3小时。
本发明工艺合理、操作方便 、铝镁合金经表面处理后洁净、光亮。
具体实施方式：
铝镁合金的低粉尘阳极氧化表面处理工艺，其特征在于：包括以下步骤：去杂质、油脂——碱腐蚀——中和——阳极氧化——封孔处理。所述的去杂质、油脂为：使用240#砂纸打磨直至表面无机加工纹理和任何划线；再用3M 6447工业百洁布水磨，然后再使用3M 6448工业百洁布水磨,表面需水磨均匀。所述的碱腐蚀为：把去除表面杂质、油脂后的铝镁合金放入装有浓度为40-50g/L的氢氧化钠的槽内浸蚀10-30分钟，此过程中控制槽内温度在45℃-55℃。所述的中和为：把经过碱腐蚀的铝镁合金放入装有浓度为120-150g/L的硝酸槽内浸蚀2-5分钟。所述的阳极氧化为：把中和处理后的铝镁合金放入电镀槽中；槽液成分：硫酸150-180g/L、银离子5-15g/L和少量磷酸；槽液温度20+/-1℃；铝合金材料接电源的正极，槽液内接电源的负极；在正负极间加波形为硬直电弧的电压14V-18V；氧化时间根据膜厚的需求进行调整，一般控制在60分钟-90分钟。所述的封孔处理为：把阳极氧化处理后的铝镁合金放入纯水槽液内进行封孔处理：槽液成分：0.8-1.2g/L的镍离子、少量醋酸；槽液温度控制在90℃；槽液的PH值为5.6-6.5；封孔时间为氧化膜厚度μmx1.3小时。具体实施时，本发明原理是：以铝或铝合金制品为阳极置于电解质溶液中, 利用电解作用, 使其表面形成氧化铝薄膜，当电流通过时, 将发生以下的反应：在阴极上, 按下列反应放出 H2：2H + +2e → H2；在阳极上, 4OH – 4e→ 2H2O + O2, 析出的氧不仅是分子态的氧 , 还包括原子氧, 以及离子氧。作为阳极的铝被其上析出的氧所氧化, 形成无水的A12O3膜。同时，因为氧化槽液中少量磷酸的作用，可以去除氧化层表面的杂质成份，产生氧化层光亮的表面效果。
Claims (6)
1.铝镁合金的低粉尘阳极氧化表面处理工艺，其特征在于：包括以下步骤：去杂质、油脂——碱腐蚀——中和——阳极氧化——封孔处理。
2.根据权利要求1所述的铝镁合金的低粉尘阳极氧化表面处理工艺，其特征在于：所述的去杂质、油脂为：使用240#砂纸打磨直至表面无机加工纹理和任何划线；再用3M 6447工业百洁布水磨，然后再使用3M 6448工业百洁布水磨,表面需水磨均匀。
3.根据权利要求1所述的铝镁合金的低粉尘阳极氧化表面处理工艺，其特征在于：所述的碱腐蚀为：把去除表面杂质、油脂后的铝镁合金放入装有浓度为40-50g/L的氢氧化钠的槽内浸蚀10-30分钟，此过程中控制槽内温度在45℃-55℃。
4.根据权利要求1所述的铝镁合金的低粉尘阳极氧化表面处理工艺，其特征在于：所述的中和为：把经过碱腐蚀的铝镁合金放入装有浓度为120-150g/L的硝酸槽内浸蚀2-5分钟。
5.根据权利要求1所述的铝镁合金的低粉尘阳极氧化表面处理工艺，其特征在于：所述的阳极氧化为：把中和处理后的铝镁合金放入电镀槽中；槽液成分：硫酸150-180g/L、银离子5-15g/L和少量磷酸；槽液温度20+/-1℃；铝合金材料接电源的正极，槽液内接电源的负极；在正负极间加波形为硬直电弧的电压14V-18V；氧化时间根据膜厚的需求进行调整，一般控制在60分钟-90分钟。
6.根据权利要求1所述的铝镁合金的低粉尘阳极氧化表面处理工艺，其特征在于：所述的封孔处理为：把阳极氧化处理后的铝镁合金放入纯水槽液内进行封孔处理：槽液成分：0.8-1.2g/L的镍离子、少量醋酸；槽液温度控制在90℃；槽液的PH值为5.6-6.5；封孔时间为氧化膜厚度μmx1.3小时。
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