CN103247557A

CN103247557A - 搬运装置

Info

Publication number: CN103247557A
Application number: CN2013100362169A
Authority: CN
Inventors: 古市昌稔; 日野一纪
Original assignee: Yaskawa Electric Corp
Current assignee: Yaskawa Electric Corp
Priority date: 2012-02-13
Filing date: 2013-01-30
Publication date: 2013-08-14
Also published as: US20130209201A1; TW201347074A; KR20130093021A; JP2013165241A

Abstract

本发明涉及搬运装置，该搬运装置包括：搬运室，所述搬运室设置有与外界连通的多个连接口部；多关节机器人，所述多关节机器人被放置在所述搬运室内；以及线性移动机构，所述线性移动机构至少使得所述多关节机器人的臂部沿所述搬运室的短侧方向线性地移动。所述多关节机器人的所述臂部的底端经由臂支轴设置在基座上以能够水平旋转，并且所述臂部的前端设置有手，所述手能够水平旋转并且保持待经由所述连接口部被运入和运出的基板。

Description

搬运装置

技术领域

本文所讨论的实施方式涉及搬运装置。

背景技术

已知一种常规搬运装置，该搬运装置将多关节搬运机器人放置在称为EFEM（设备前端模块）的搬运室中，所述多关节搬运机器人搬运用于半导体晶片或液晶面板的基板。

常规搬运装置的搬运室具有由壁围绕的大致长方体形状。构成周壁的一部分的长侧壁设置有与外界连通的多个连接口部。基板的收纳容器和处理室借助这些连接口部彼此连通。

放置在搬运室中的多关节机器人通常设置成靠近搬运室的一个侧壁。在本文中，通用多关节机器人包括臂部，所述臂部包括：第一臂，该第一臂的底端经由第一支轴连接在基座上；以及第二臂，该第二臂的底端经由第二支轴连接到第一臂的前端，并且第二臂的前端设置有手。该多关节机器人驱动臂部和手，以使得手接近收纳容器以及处理室。

该常规技术已知如在日本特开专利公报No.2008-28134中被公开。

然而，当常规搬运装置使得手接近位于靠近第一臂的回转中心的位置处的收纳容器和处理室时，围绕第一支轴的角速度变大，这是因为其距离是短的。因此，当将手移动到靠近第一臂的回转中心的位置时，必须抑制回转速度，并且因此由搬运装置搬运的板的数量（吞吐量）不会增加。

鉴于上述问题而得到本发明，并且本发明的目的在于提供一种有助于提高待被搬运的板的数量（吞吐量）的搬运装置。

发明内容

根据实施方式的一方面的搬运装置包括：搬运室，所述搬运室设置有与外界连通的多个连接口部；多关节机器人，所述多关节机器人被放置在所述搬运室内；以及线性移动机构，所述线性移动机构使得所述多关节机器人的至少臂部沿所述搬运室的短侧方向线性地移动。所述搬运室具有由壁围绕的大致长方体的基板搬运空间，并且所述搬运室设置有形成于周壁的长侧壁中的所述多个连接口部。所述多关节机器人的所述臂部的底端经由臂支轴设置在基座上以能够水平旋转，并且所述臂部的前端设置有手，所述手能够水平旋转并且保持待经由所述连接口部被运入和运出的基板。

根据本发明的一方面，可以有助于提高待由该搬运装置搬运的板的数量（吞吐量）。

附图说明

通过参考结合附图考虑时的下面详细描述，将容易获得并更好地理解对本发明的更全面认识以及本发明的许多附带优点，在附图中：

图1是根据实施方式的搬运装置的示意性平面图；

图2是搬运装置的示意性侧视图；

图3是包括在搬运装置中的多关节机器人的示意性说明图；

图4是搬运装置的框图；

图5A和图5B是示出搬运装置的搬运操作的示例的示意性说明图；

图6是示出由搬运装置执行的基板搬运过程的示例的示意性说明图；

图7是示出由根据比较例的搬运装置执行的基板搬运过程的示例的示意性说明图；

图8是示出包括在搬运装置中的多关节机器人的姿势的示例的示意性说明图；以及

图9是示出包括在根据另一实施方式的搬运装置中的多关节机器人的示意性说明图。

具体实施方式

在下文中，将参考附图详细地描述根据本公开内容的实施方式的搬运装置。此外，下文所公开的实施方式并不旨在限制本发明。

首先，将参考图1至图4说明根据实施方式的搬运装置10。图1是根据本实施方式的搬运装置10的示意性平面图。图2是搬运装置10的示意性侧视图。图3是包括在搬运装置10中的多关节机器人2的示意性说明图。图4是搬运装置10的框图。

如图1和图2所示，搬运装置10包括：搬运室1，所述搬运室设置有与外界连通的多个连接口部11；以及多关节机器人2，所述多关节机器人被放置在搬运室1中，并且能搬运用于半导体晶片或液晶面板的基板4。

搬运室1通常是被称为EFEM（设备前端模块）的局部清洁室，并且具有由壁围绕的大致长方体的基板搬运空间170。这些壁包括第一长侧壁110、第二长侧壁120、第一短侧壁130、第二短侧壁140、顶壁150以及底壁160。在本文中，第一长侧壁110、第二长侧壁120、第一短侧壁130、第二短侧壁140可被称为周壁。此外，底壁160的下表面设置有腿部180，所述腿部将搬运室1支承在安装面100上。

搬运室1在顶壁150内设置有过滤器单元190，在该过滤器单元中收纳用于净化气体的过滤器。在搬运室1与外界隔离的状态下，该搬运室由过滤单元190净化并且通过利用落下的净化气流来清洁其内部。

多个连接口部11在第一长侧壁110和第二长侧壁120中沿直线设置，所述第一长侧壁110和第二长侧壁120构成搬运室1的周壁的一部分。

在本实施方式中，收纳容器3附接到以预定间隔形成在第一长侧壁110中的两个连接口部11，所述收纳容器被称为FOUP（前端开口式片盒），并且在该收纳容器中能以多段的方式收纳诸如晶片的基板4。

此外，处理室5附接到形成于第二长侧壁120中的三个连接口部11，该处理室5对基板4执行诸如CVD（化学蒸汽沉积）、曝光、蚀刻和抛光的预定处理。在本文中，本发明具有如下构造，即，中央处理室5比两侧的处理室5更深。

收纳容器3和处理室5借助诸如遮挡板（未示出）的开闭构件附接到连接口部11。驱动所述开闭构件的开闭机构7（见图4）设置在保持收纳容器3的收纳容器台30以及保持处理室5的处理室台50中。

多关节机器人2包括臂部200，所述臂部设置有用于保持基板4的手23。臂部200的底端经由第一臂支轴210设置在基座20上以便能水平地旋转，并且所述臂部的前端设置有手23，所述手能够水平地旋转（在下文中，“水平旋转”可被表述为“回转”）。此外，手23能够具有以下构造：该手通过采用本实施方式中的叉形形状而能够在其上放置基板4并且搬运该基板；手能够吸附基板4；或者手能够夹持基板4。

支承臂部200的柱状第一臂支轴210被设置成从设置在基座20的顶部上的臂支承单元24向上突出，并且设置成由放置在基座20中的升降机构250来自由地升降。通过采用该构造，多关节机器人2能够合适地升降臂部200以及转动臂部200，以经由连接口部11将基板4运入和运出并且将该被保持的基板4搬送到期望位置。

换句话说，多关节机器人2包括臂部200，该臂部的底端设置成经由第一臂支轴210能够在基座20上转动，并且该臂部的前端设置有能够转动的手23，该手保持待经由连接口部11被搬入和搬出的基板4。

臂部200包括第一臂21和第二臂22。换句话说，臂部200具有如下构造：第一臂21的底端经由第一臂支轴210连接到基座20，第二臂22的底端经由第二臂支轴220连接到第一臂21的前端。

手23的底端经由手支轴230以自由转动的方式连接到第二臂22的前端。而且，第一臂支轴210、第二臂支轴220和手支轴230均被连接到回转机构（未示出），所述回转机构包括马达和减速器等。

在本文中，假定根据本实施方式的多关节机器人2是具有一个臂部200的单臂机器人，所述臂部包括第一臂21、第二臂22和手23。然而，本实施方式不局限于此。多关节机器人2可以是具有两个臂部200的双臂机器人，或者可以是具有三个或更多个臂部200的机器人。

通过使用一个臂部200经由预定连接口部11运出基板4并且还通过使用另一臂部200经由该连接口部11运入新基板4，双臂机器人能够并行且同时地执行两个作业操作。

已经解释了根据本实施方式的多关节机器人2具有单个手23。但是多关节机器人2可具有其中在第二臂22的前端上设置多个手23的构造。

根据本实施方式的搬运装置10的特征构造在于，该搬运装置10包括线性移动机构6，该线性移动机构可至少将多关节机器人2的臂部200沿搬运室1的短侧方向线性地移动。

如图1和图3所示，根据本实施方式的线性移动机构6包括液压缸61，该液压缸用作线性致动器并且被放置在搬运室1的底壁160的大致中央。如图3所示，液压缸61的活塞杆610连接到连接适配器620，所述连接适配器被附接到多关节机器人2的基座20的下表面的中央。换句话说，多关节机器人2借助液压缸610的驱动而随基座20一起移动。此外，液压缸61被放置在壳体630内部。

当从上方看时，轨道60设置成在大致矩形的搬运室1的大致中央横跨搬运室1。与多关节机器人2的基座20的下表面连接的连接适配器620沿轨道60线性地移动。

通过采用该构造，多关节机器人2能线性地移动到靠近第一长侧壁110的第一作业位置（见图1）或靠近第二长侧壁120的第二作业位置（见图2）。

如图4所示，根据本实施方式的搬运装置10包括控制装置8，该控制装置执行多关节机器人2的操作控制（包括臂部200的旋转操作）以及线性移动机构6的操作控制。

如图4所示，控制装置8包括：通信I/F（接口）81；控制单元82；存储单元83；以及指示单元84。

多关节机器人、线性移动机构6（其包括使得多关节机器人2线性地移动的线性致动器）、以及开闭机构7（其驱动收纳容器3和处理室5的开闭构件）的每个驱动系统都被连接到控制装置8。此外，将在下文描述的上级装置9借助通信I/F81被连接到控制装置8。

在本文中，通信I/F81是执行控制装置8和上级装置9之间的通信数据的发送和接收的装置。例如，为了更新存储在存储单元83中的各种类型的程序，通信I/F81能从上级装置9接收合适数据。

存储单元83是诸如RAM（随机存取存储器）、ROM（只读存储器）和硬盘的装置。存储单元83存储多关节机器人2、线性移动机构6和开闭机构7的驱动程序。

在根据本实施方式的搬运装置10中，根据第一作业位置的程序和根据第二作业位置的程序作为多关节机器人2的驱动程序被存储。

控制单元82包括诸如中央处理单元（CPU）的计算单元。控制单元82根据存储在存储单元83中的驱动程序经由指示单元84向多关节机器人2和线性移动机构6、或开闭机构7输出驱动信号。通常，用于开闭机构7的驱动信号从上级装置9输出。

此外，控制单元82计算在基座20和多关节机器人2的臂部200上的预定基准点的位置，并且还基于该基准点来执行手23至收纳容器3和处理室5的移动距离的计算处理。

在根据本实施方式的多关节机器人2中，第一臂支轴210、第二臂支轴220和手支轴230的中心以及放置在手23上的基板4的中心被用作臂部200的基准点。基座20的下表面中心被用作基座20的基准点。

如上所述，控制单元82计算并且管理多关节机器人2的位置信息，以便控制多关节机器人2的运动。

然后，控制单元82基于该计算结果来控制线性移动机构6，以根据需要将多关节机器人2选择性地移动到第一作业位置（见图1）或第二作业位置（见图2），使得基板4能在最短时间内被搬运达至期望位置。

图5A和图5B是示出了搬运装置10的搬运操作的示例的示意性说明图。例如，在本实施方式的搬运装置10中设置三个处理室5。如上所述，中央的处理室5比两侧的处理室5更深。

在中央的处理室5中，在一些情况下，必须将基板4从图5A的位置搬运到如图5B所示的更深的位置。然而，即使在这种情况下，根据本实施方式的搬运装置10，通过驱动该线性移动机构6也能够将基板4搬运到该更深的位置。

换句话说，多关节机器人2从第一作业位置（图5A）移动到第二作业位置（图5B）而不改变臂部200的姿势，且因此基板4可借助简单控制沿期望的深度方向被搬运。

如果在第二作业位置处通过控制臂部200的驱动而使得第一臂21、第二臂22和手23具有线性姿势，那么基板4能被搬运达至更深的位置。

此外，控制单元82能够基于手23到收纳容器3或处理室5的接近位置以及多关节机器人2的当前位置确定第一作业位置和第二作业位置中的哪个位置是有利于在最短时间内搬运基板4的位置。

换句话说，多关节机器人2可基于确定结果被保持在当前位置（第一作业位置或第二作业位置），或者可移动到有利位置（第二作业位置或第一作业位置）。

然后，控制单元82根据与第一作业位置或第二作业位置对应的驱动程序来驱动臂部200，以执行用于搬运基板4的处理。

换句话说，根据本实施方式的搬运装置10的控制装置8能根据由线性移动机构6移动的臂部200的位置来控制第一臂21和第二臂22中的两者或一者的旋转操作。

为了计算基准点的位置，搬运装置10可包括检测基座20的基准点的位置和臂部200的基准点的位置的传感器。

由于根据本实施方式的搬运装置10具有上述构造，因此搬运装置10能在多关节机器人2移动到最佳位置的状态下执行用于搬运基板4的处理。

因此，即使当手23接近与作为第一臂21的回转中心的第一臂支轴210邻近的收纳容器3或处理室5时，通过沿短侧方向来回移动多关节机器人2，也可以不抑制臂部200的回转速度。结果，可以有助于改善搬运装置10的吞吐量，即待被搬运的基板4的数量。

在本文中，将参考图6和图7来说明由根据本实施方式的搬运装置10执行的基板搬运过程的有利点。例如由图6的过程（a）至（h）以及图7的过程（a）至（h）来执行搬运处理。此外，根据例如来自上级装置9的指示来执行搬运处理。

图6是示出由根据本实施方式的搬运装置10执行的基板搬运过程的示例的示意性说明图。搬运装置10包括位于搬运室1中的具有轨道60的线性移动机构6，以使得多关节机器人2沿搬运室1的短侧方向移动。图7是示出由根据比较例的搬运装置执行的基板搬运过程的示例的示意性说明图。该搬运装置具有如下构造：多关节机器人2A被固定在搬运室1A内部。

图6和图7示出了如下情况，其中，基板从位于图的左上侧处的处理室5、5A被搬运到位于图的右下侧处的收纳容器3、3A。此外，在根据图7的比较例的搬运装置中，与根据本实施方式的搬运装置10的部件相同的部件具有通过将表示搬运装置10的部件的附图标记添加“A”而得到的附图标记，或者省除用于同一部件的附图标记。在图6和图7中，为了方便起见，被搬运的基板未被示出，并且省除对具体部件的附图标记的标号。图6所示的搬运装置10具有与如图1和图2所示的搬运装置相同的构造。

如图6中的（a）所示，多关节机器人2位于第一作业位置。当终止对基板的预定处理时，根据本实施方式的搬运装置10的多关节机器人2驱动臂部200，以使得手23接近处理室5并且保持处理过的基板4。此时，手23采取该手正对处理室5的姿势，第一臂21和第二臂22大致线性地延伸，并且臂部200处于长的状态。

接下来，多关节机器人2使得第一臂21和第二臂22绕第一臂支轴210和第二臂支轴220适当地旋转以使得臂部200具有图6中的（b）所示的姿势，且因此手23被牵拉并且从处理室5移入到基板搬运空间170中。

接下来，如图6中的（c）所示，手23绕手支轴230旋转以重叠在第一臂21上。此时，臂部200仍处于相对长的状态。

接下来，如图6中的（d）所示，搬运装置驱动线性移动机构6而不改变该姿势并且将多关节机器人2沿着轨道60移动达至第二作业位置。

接下来，如图6中的（e）所示，该搬运装置使得第一臂21和第二臂22绕第一臂支轴210和第二臂支轴220适当地旋转并且使得第二臂支轴220定位在搬运室1的第一长侧壁110附近。此时，臂部200处于变短的状态。

接下来，该搬运装置使得第一臂21绕第一臂支轴210旋转并且将臂部200从第二短侧壁侧平行地移动到第一短侧壁侧而不改变其姿势，如图6中的（f）所示。

接下来，如图6中的（g）所示，该搬运装置使得第一臂21和第二臂22绕第一臂支轴210和第二臂支轴220适当地旋转，以使得臂部200延伸并且使得手23具有正对收纳容器3的姿势。

接下来，如图6中的（h）所示，该搬运装置使得第二臂22绕第二臂支轴220旋转，并且在使得手23绕手支轴230旋转的情况下还将手23插入到收纳容器3中并且将基板4收纳在该收纳容器上。此时，臂部200的姿势相对于图6中的（a）所示的姿势对称。

换句话说，驱动构成臂部200的第一臂22和第二臂22以及手23的回转机构（未示出）的运动与在当手23接近位于图中的左上侧的处理室5时以及当手23接近位于图中的右下侧的收纳容器3时的情况相同。因此，由回转机构驱动的臂部200的位置精度是大致恒定的。

另一方面，当根据比较例的搬运装置将基板从位于图中的左上侧的处理室5A搬运到位于图中的右下侧的收纳容器3A时，多关节机器人2A示出了下述表现。

换句话说，在图7的（a）和（b）中的多关节机器人2A执行与根据本实施方式的多关节机器人2相同的操作。然而，在手被牵拉并且从处理室5A移入到基板搬运空间170中之后，该搬运装置将第一臂和第二臂绕第一臂支轴和第二臂支轴大程度地旋转，以使得臂部200A收缩，如图7中的（c）所示。

接下来，该搬运装置使得第一臂绕第一臂支轴旋转并且将臂部200A从第二短侧壁侧平行地移动到第一短侧壁侧而不改变其姿势，如图7中的（d）所示。

接下来，如图7中的（e）所示，该搬运装置使得第一臂和第二臂绕第一臂支轴和第二臂支轴适当的旋转，以使得臂部200A延伸。

接下来，如图7中的（f）所示，该搬运装置使得第一臂绕第一臂支轴旋转以使得第二臂支轴定位在搬运室1A的第二长侧壁附近，并且使得手绕手支轴大程度地旋转以使得该手朝向收纳容器3A行进。

接下来，如图7中的（g）所示，该搬运装置使得第一臂和第二臂绕第一臂支轴和第二臂支轴适当地旋转，以使得臂部较大程度地延伸并且使得手具有正对收纳容器3A的姿势。

接下来，如图7中的（h）所示，在使第一臂绕第一臂支轴旋转以及还使手绕手支轴旋转的情况下，该搬运装置将手插入到收纳容器3A中并且将基板4收纳在收纳容器上。此时，臂部200A的姿势具有山形设计，其不同于如图7中的（a）以及图6中的（a）和（h）所示的延伸状态。

换句话说，在当手接近位于图的左上侧的处理室5A时和当手接近位于图的右下侧的收纳容器3A时的情况下，驱动构成臂部200A的第一臂、第二臂以及手的回转机构（未示出）的运动是不同的。因此，存在如下可能性，即：绕构成回转机构的齿轮和带轮卷绕的带的运动具有细微差异。由回转机构驱动的臂部200A的位置精度与根据本实施方式的搬运装置10相比可以是较低的。

如上所述，即使当根据本实施方式的搬运装置10使得手23接近彼此面对的收纳容器3和处理室5中的任一者时，该搬运装置10也能够通过使得多关节机器人2沿短侧方向移动而保持手的接近姿势大致恒定。因此，绕构成回转机构的齿轮和带轮卷绕的带的运动变得大致恒定，且因此由回转机构驱动的臂部200的位置精度变得恒定。

已经解释了上述多关节机器人2包括液压缸61，所述液压缸用作线性移动机构6的线性致动器。多关节机器人2可包括气缸或者可包括被连接到线性马达或伺服马达等的滚珠丝杠机构。

换句话说，如果由液压缸61或气缸执行驱动，那么多关节机器人2的作业位置（当至少从上方看时臂部200的位置）由第一作业位置和第二作业位置中的任一者限定。然而，如果使用连接到线性马达或伺服马达等的滚珠丝杠机构，那么控制装置8能够执行更多样的位置控制。

换句话说，控制装置8控制线性移动机构6，以能够至少使得多关节机器人2的臂部200移动到位于靠接近第一长侧壁110的第一作业位置和接近第二长侧壁120的第二作业位置之间的任意位置。

当执行这种控制时，控制装置8致动多关节机器人2的线性移动机构6和臂部200（即，第一臂21、第二臂22和手23）以使得它们彼此同步。

图8是示出根据本实施方式的多关节机器人2的姿势的示例的示意性说明图。考虑到在通过使用线性移动机构6来移动多关节机器人2的情况下，臂部200的姿势例如从图1所示的姿势改变到图8所示的姿势。

如图1所示的多关节机器人2位于第一作业位置。关于其姿势，第一臂21的前端和手23的前端定位在比基座20更前侧，即朝向第二作业位置。

因此，在驱动线性移动机构6而不改变姿势时，因为手23的前端碰撞第二长侧壁120，因此控制装置8使得构成臂部200的第一臂21、第二臂22和手23旋转，同时使得它们同步。然后，控制装置8借助线性移动机构6来同时控制多关节机器人2的运动速度。

换句话说，在将多关节机器人2从图1的状态移动到图8的状态的情况下，控制装置8适当地改变臂部200的姿势，以控制臂部200的运动，使得臂部200可以不与搬运室1的周壁干涉。

另一实施方式

图9是包括在根据另一实施方式的搬运装置10中的多关节机器人2的示意性说明图。在该另一实施方式中，与上述实施方式中具有相同功能和构造的部件具有相同的附图标记，并且省除其说明。

该另一实施方式具有如下构造，即，图9所示的多关节机器人2包括作为线性移动机构6的线性致动器，该线性致动器联接到臂部200而位于基座20和臂部200之间，并且仅臂部200移动。

在该另一实施方式中，臂部200不能够被升降，并且供以自由转动的方式连接臂支轴210的臂支承单元24设置成与固定在搬运室1的底壁160上的基座20分离。然后，将臂支承单元24设置在基座20上，同时将线性移动机构6放置在臂支承单元与基座之间。换句话说，线性移动机构6将线性致动器收纳在沿搬运室1的短侧方向延伸的长方体形壳体66中，该线性移动机构被放置在基座20上，并且将线性致动器和臂支承单元24彼此连接。

如上所述，在该另一实施方式中，臂部200意味着该臂部200包括支承该臂部200的臂支承单元24。借助线性致动器的驱动，在基座20被固定的状态下，仅臂部200随臂支承单元24一起移动。此外，即使臂部200可以被升降，则例如如果臂部200的提升量是小的并且升降机构250是紧凑的，那么在其中收纳该升降机构250的臂支承单元24也能够借助线性移动机构6被放置在基座20上。

与上述实施方式类似，使用线性马达或伺服马达的液压缸、气缸或滚珠丝杠机构被用作线性致动器。在该另一实施方式中，采用包括伺服马达的驱动马达62的滚珠丝杠机构被用作线性致动器。

滚珠丝杠机构包括：滚珠丝杠轴63，该滚珠丝杠轴沿壳体66的纵向方向延伸；以及驱动马达62，该驱动马达借助正时带65被连接到设置于滚珠丝杠轴63的一端上的带轮64。

连接适配器621的阴螺纹与滚珠丝杠轴63螺纹接合，并且连接适配器621和臂支承单元24彼此连接。由此，在通过使用驱动马达62来旋转滚珠丝杠轴63时，臂部200借助连接适配器621和臂支承单元24移动到滚珠丝杠轴63上。换句话说，虽然基座20例如被固定在第一作业位置，但是臂部200在借助控制装置8来致动线性移动机构6时与臂支承单元24一起移动到位于第一作业位置和第二作业位置之间的任意位置。

甚至在该另一实施方式中，通过用于使得臂部200在第一作业位置和第二作业位置之间移动的简单控制，基板4能被搬运达至比由常规位置进一步更深的位置。

即使当手23接近与作为第一臂21的回转中心的第一臂支轴210邻近的收纳容器3或处理室5时，也可以不抑制臂部200的回转速度，这是因为臂部200能够沿短侧方向来回移动。换句话说，可以有助于改善由搬运装置10搬运的基板的数量（吞吐量）。

此外，即使当手23接近彼此面向的收纳容器3和处理室5中的任一者时，通过沿短侧方向移动臂部200，臂部200的接近姿势也能够大致恒定。因此，绕构成臂部200的回转机构的齿轮和带轮卷绕的带的运动变得大致恒定，并且因此臂部200的位置精度变得恒定。

搬运装置10的多关节机器人2的构造以及线性移动机构6的构造和布置不局限于上述的实施方式。

此外，搬运装置10的搬运室1以及构成连接到搬运室的FOUP的收纳容器3和处理室5的形状和形式并不局限于上述的实施方式的构造。例如，如果所述搬运室、收纳容器和处理室具有基于SEMI（国际半导体设备材料产业协会）标准的结构，那么它们能够被适当地选择。

Claims

1.一种搬运装置，所述搬运装置包括：

搬运室，所述搬运室具有由壁围绕的大致长方体的基板搬运空间，并且所述搬运室设置有多个连接口部，这些连接口部与外界连通并且形成于周壁的长侧壁中；

多关节机器人，所述多关节机器人被放置在所述搬运室内并且包括臂部，所述臂部的底端经由臂支轴设置在基座上以能够水平旋转，并且所述臂部的前端设置有手，所述手能够水平旋转并且保持待经由所述连接口部被运入和运出的基板；以及

线性移动机构，所述线性移动机构至少使得所述多关节机器人的所述臂部沿所述搬运室的短侧方向线性地移动。

2.根据权利要求1所述的搬运装置，所述搬运装置还包括控制装置，所述控制装置执行所述多关节机器人的操作控制以及所述线性移动机构的操作控制，所述多关节机器人的所述操作控制包括所述臂部的旋转操作。

3.根据权利要求2所述的搬运装置，其中，所述控制装置控制所述线性移动机构，以至少使得所述多关节机器人的所述臂部选择性地移动到靠近第一长侧壁的第一作业位置或靠近第二长侧壁的第二作业位置。

4.根据权利要求2所述的搬运装置，其中，所述控制装置控制所述线性移动机构，以至少使得所述多关节机器人的所述臂部移动到位于靠近第一长侧壁的第一作业位置和靠近第二长侧壁的第二作业位置之间的任意位置。

5.根据权利要求2所述的搬运装置，其中，

所述臂部包括：

第一臂，所述第一臂的底端经由第一支轴连接在所述基座上；以及

第二臂，所述第二臂的底端经由第二支轴连接到所述第一臂的前端，并且所述第二臂的前端设置有手，并且

所述控制装置根据由所述线性移动机构移动的所述臂部的位置来控制所述第一臂和所述第二臂中的两者或一者的旋转操作。

6.根据权利要求3所述的搬运装置，其中，

所述臂部包括：

7.根据权利要求4所述的搬运装置，其中，

所述臂部包括：

8.根据权利要求1至7中任一项所述的搬运装置，其中，所述线性移动机构包括线性致动器，所述线性致动器连接到所述基座并且使得所述多关节机器人与所述基座一起移动。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的搬运装置，其中，所述线性移动机构包括线性致动器，所述线性致动器在所述基座和所述多关节机器人的所述臂部之间连接到所述臂部，并且所述线性移动机构仅移动所述臂部。