JP6767429B2

JP6767429B2 - 駆動装置

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Publication number: JP6767429B2
Application number: JP2018099811A
Authority: JP
Inventors: 健蓮尾
Original assignee: FANUC Corp
Current assignee: FANUC Corp
Priority date: 2018-05-24
Filing date: 2018-05-24
Publication date: 2020-10-14
Anticipated expiration: 2038-05-24
Also published as: US10801527B2; CN110529461A; DE102019112689A1; JP2019203568A; US20190360506A1; CN110529461B

Description

本発明は駆動装置に関する。

従来、複数のエアシリンダによって可動部である昇降ベースを所定方向に移動させる装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
また、可動部がサーボモータによって駆動される装置が知られている（例えば、特許文献２参照。）。

特開２００８−１１９７９１号公報特開２０１７−１９０７８号公報

サーボモータによって駆動される直動装置等の駆動装置は、可動部の動きを精密に制御することが可能である。しかし、重量物を大加速度で移動させる必要がある場合、大型の減速機構、大型のサーボモータ等が必要となるので、駆動装置の重量が重くなる。また、大型のサーボモータ用の増幅器等は高価であるから、大型のサーボモータを用いた駆動装置の製造コストが高くなる。

一方、エアシリンダは、そのエア制御ユニットを含めても、サーボモータと減速機との組合せに比べて軽量である。しかし、エアシリンダによる可動部の位置、速度、および加速度の制御は、サーボモータによる制御と比較して精密ではない。

本発明は、前述の事情に鑑みてなされている。本発明の目的の一つは、装置重量の増大を抑制しながら大きな力を発生させることが可能な駆動装置の提供である。

上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
本発明の一態様の駆動装置は、サーボモータの出力を用いて可動部を所定方向に動かすことができるモータ駆動部と、エアシリンダの出力を用いて前記可動部を前記所定方向に動かすことができるエアシリンダ駆動部と、前記モータ駆動部および前記エアシリンダ駆動部を制御する制御部とを備え、前記制御部が、前記可動部の前記所定方向への移動開始時間よりも前の時点から前記エアシリンダによって前記可動部に前記所定方向に向かう力を加え始めると共に、前記移動開始時間よりも前の時点から前記サーボモータによって前記可動部に前記所定方向と反対方向に向かう力を加え始め、前記移動開始時間になると前記サーボモータによる前記反対方向への力を低減させるように構成され、これにより前記可動部を前記移動開始時間から前記所定方向に動かす。

当該態様では、制御部がエアシリンダ駆動部およびモータ駆動部の両方によって可動部を所定方向に動かすので、エアシリンダ駆動部がある分だけモータ駆動部のサーボモータを小型化することができ、装置重量の増大が抑制される。また、エアシリンダはピストン面積、エア圧等に応じて大きな力を発生する。このため、エアシリンダ駆動部およびモータ駆動部を用いた駆動装置は大きな力を発生させることができる。
また、当該態様のように制御部がエアシリンダ駆動部およびモータ駆動部を制御することにより、可動部をその移動開始の時点から大きな加速度又は力で安定して移動させることが可能となる。

上記態様において、好ましくは、前記制御部が、前記可動部を前記所定方向に動かしている際に、前記モータ駆動部によって前記可動部に前記所定方向に向かう力を加え、これにより前記エアシリンダ駆動部によって前記可動部に加えられている前記所定方向に向かう力を補う。
当該態様では、駆動装置は大きな力を発生させることができ、しかも、その大きな力の制御をモータ駆動装置のサーボモータによって正確に行うことができる。

上記態様において、好ましくは、前記可動部を前記所定方向に動かしている際に、前記モータ駆動部によって前記可動部に前記所定方向と反対方向に向かう力を加え、これにより前記エアシリンダ駆動部によって前記可動部に加えられている前記所定方向に向かう力の一部を相殺する。

エアシリンダの力の発生方向および大きさの制御を短時間で正確に切り替えることは一般的に難しい。本実施形態では、エアシリンダ駆動部によって可動部に所定方向の力が継続して加えられている状況で、モータ駆動部によって可動部の減速、停止等を行うことが可能である。つまり、駆動装置は、エアシリンダ駆動部があることにより大きな力を発生させることができ、しかも可動部の動作も正確に制御できる。

上記態様において、好ましくは、前記可動部がベース側部材に揺動軸線周りに揺動可能に支持されており、前記モータ駆動部および前記エアシリンダ駆動部が、前記可動部を前記揺動軸線周りの所定方向に揺動させることができるものである。
この場合も、エアシリンダ駆動部およびモータ駆動部を用いた駆動装置は、可動部を揺動させるための大きな力を発生させることができる。

本発明の駆動装置は、装置重量の増大を抑制しながら大きな力を発生させることが可能である。

本発明の第１実施形態の駆動装置の正面図である。第１実施形態の駆動装置の制御装置のブロック図である。第１実施形態の駆動装置の動作の一例を示すタイムチャートある。第１実施形態の駆動装置の配置の例を示す図である。第１実施形態の駆動装置の動作の他の例を示すタイムチャートある。本実施形態の第２実施形態の駆動装置の正面図である。

本発明の第１実施形態に係る駆動装置１について、図面を用いながら以下説明する。
本実施形態の駆動装置１は、図１に示されるように、Ｘ軸方向に長手を有するベース部材１０と、ベース部材１０にその長手方向に移動可能に取付けられたスライダである可動部２０とを備えている。図１において、Ｘ軸方向は水平方向であり、Ｚ軸方向は鉛直方向であり、Ｙ軸方向はＸ軸方向およびＺ軸方向と直交している水平方向である。本実施形態では、駆動装置１は直動装置である。

ベース部材１０は金属、硬質プラスチック等から成り、ベース部材１０にはその長手方向に延びる溝１１が形成されている。
可動部２０は金属、硬質プラスチック等から成り、レール２１が設けられている。レール２１が溝１１に係合することにより、可動部２０がベース部材１０にその長手方向に移動可能に支持されている。
なお、レール２１と溝１１との間の摺動を円滑にするために、保持器によって保持された鋼球がレール２１と溝１１との間に配置されていてもよい。

可動部２０にはサーボモータ３０が固定されており、サーボモータ３０の出力によって回転する出力軸３１にはピニオンギヤ３２が取付けられている。サーボモータ３０はエンコーダ等の作動位置検出装置を内蔵しており、作動位置検出装置の検出結果が後述の制御装置５０に送信される。そして、制御装置５０は、作動位置検出装置の検出結果を用いて、サーボモータ３０を制御する。

一方、ベース部材１０にはその長手方向に延びるラックギヤ３３が固定されており、ラックギヤ３３はピニオンギヤ３２と噛合っている。当該構造により、サーボモータ３０の作動に応じて可動部２０が移動する。つまり、可動部２０をベース部材１０の長手方向に移動できるモータ駆動部ＭＤは、サーボモータ３０、ピニオンギヤ３２、およびラックギヤ３３を有する。なお、サーボモータ３０と出力軸３１との間に減速機が設けられていてもよい。

また、ベース部材１０にはエアシリンダ４０の本体部４１が固定され、エアシリンダ４０の出力シャフト４２の先端が可動部２０に固定されている。当該構造により、エアシリンダ４０の作動に応じて可動部２０がベース部材１０の長手方向に移動する。本体部４１の２つの吸排気口４１ａ，４１ｂはそれぞれエア供給管４３を介してシリンダ制御装置４４に接続され、シリンダ制御装置４４は図示しないエア供給源に接続されている。

また、シリンダ制御装置４４内には周知のソレノイドバルブが設けられ、ソレノイドバルブによって吸排気口４１ａおよび吸排気口４１ｂに選択的にエアが供給される。つまり、可動部２０をベース部材１０の長手方向に移動できるエアシリンダ駆動部ＡＤは、エアシリンダ４０およびシリンダ制御装置４４を有する。エアシリンダ駆動部ＡＤが周知のリンク機構等のその他の構成を有していてもよい。

制御装置５０は、図２に示されるように、プロセッサ等を有する制御部５１と、表示装置５２と、不揮発性ストレージ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を有する記憶部５３と、キーボード、タッチパネル、操作盤等である入力装置５４と、信号の送受信を行うための送受信部５５とを備えている。入力装置５４および送受信部５５は入力部として機能する。制御装置５０は、サーボモータ３０およびシリンダ制御装置４４に制御信号を送信し、これらの制御を行う。

記憶部５３にはシステムプログラム５３ａが格納されており、システムプログラム５３ａは制御装置５０の基本機能を担っている。また、記憶部５３には動作プログラム５３ｂが格納されている。動作プログラム５３ｂは、可動部２０の移動を用いた所定の作業が行われる際にサーボモータ３０およびシリンダ制御装置４４を制御するための制御指令群である。

本実施形態では、制御部５１が、動作プログラム５３ｂに基づいて、サーボモータ３０およびシリンダ制御装置４４への制御信号を送信し、これにより可動部２０をベース部材１０に対して移動させる。例えば、可動部２０が図１の右に向かって移動する動作および可動部２０が図１の左に向かって移動する動作が交互に行われる。

当該動作の中で、可動部２０を図１の右に向かって移動する際の制御部５１による制御の例を以下に示す。以下の説明では、図１の右に向かう方向を所定方向とするが、図１の左に向かう方向を所定方向とすることもできる。

（図３のタイムチャートに示される制御の例）
図３の例では、時間Ｔ１から可動部２０を所定方向に向かって移動し始める（可動部２０の加速を開始する）。また、時間Ｔ２と時間Ｔ３の間では、一定の加速度で可動部２０を所定方向に向かって移動させる。また、時間Ｔ３と時間Ｔ５の間では、加速度を徐々に小さくすることによって可動部２０が一定の速度で移動する状態となる。また、時間Ｔ５から可動部２０の減速を開始する。そして、時間Ｔ６と時間Ｔ７との間では、一定の加速度で可動部２０を減速させる。また、時間Ｔ８で可動部２０を停止させる。

時間Ｔ１において可動部２０を移動し始める時、制御部５１は、時間Ｔ１よりも前の時点からエアシリンダ駆動部ＡＤのシリンダ制御装置４４の制御を開始し、これによりエアシリンダ４０が可動部２０に所定方向に向かう力を加え始める。この例では、エアシリンダ４０による所定方向に向かう力は時間Ｔ１の前後で徐々に大きくなる。

一方、制御部５１は、時間Ｔ１よりも前の時点から、モータ駆動部ＭＤのサーボモータ３０の制御を開始し、これによりサーボモータ３０が可動部２０に所定方向と反対方向の力を加え始める。この例では、サーボモータ３０による反対方向に向かう力は時間Ｔ１に向かって徐々に大きくなる。この状態は、エアシリンダ４０から可動部２０に所定方向に向かう力が加わっているが、サーボモータ３０から可動部２０に反対方向に向かう力が加わっており、これにより可動部２０が静止している。

続いて、制御部５１は、時間Ｔ１になると、サーボモータ３０による反対方向の力を徐々に低減させ、反対方向の力がゼロになった後に、サーボモータ３０によって可動部２０に所定方向に向かう力を加え始める。この例では、サーボモータ３０による所定方向に向かう力は徐々に大きくなる。
これにより、時間Ｔ１において、エアシリンダ４０からの力によって可動部２０は所定方向に向かって移動し始める。

当該制御では、時間Ｔ１よりも前の時点から、エアシリンダ４０が所定方向に向かう力を可動部２０に加え始め、サーボモータ３０が反対方向に向かう力を可動部２０に加え始める。また、時間Ｔ１から、サーボモータ３０による反対方向に向かう力が低減され始める。なお、時間Ｔ１から、サーボモータ３０が可動部２０に所定方向の力を加え始めてもよい。当該制御により、可動部２０をその移動開始の時点から大きな加速度又は力で安定して移動させることが可能となる。

時間Ｔ２と時間Ｔ３の間において可動部２０を加速させる時は、エアシリンダ４０およびサーボモータ３０によって可動部２０に所定方向の力が加えられる。

時間Ｔ３と時間Ｔ５の間では、エアシリンダ４０から可動部２０に所定方向に向かう力が継続して加わっている状態で、制御部５１は、サーボモータ３０から可動部２０に加わる所定方向に向かう力を徐々に低減させ、所定方向の力がゼロになった後に、サーボモータ３０によって可動部２０に反対方向に向かう力を加え始める。この例では、サーボモータ３０による反対方向に向かう力は徐々に大きくなる。
エアシリンダ４０の力の方向を変更する制御には遅延が生じ易いので、上記制御は可動部２０に所望の動きを正確に行わせる上で有利である。

一方、時間Ｔ６と時間Ｔ７の間において可動部２０を減速させる時は、エアシリンダ４０およびサーボモータ３０によって可動部２０に反対方向の力が加えられる。

時間Ｔ８において可動部２０を停止させる時、制御部５１は、時間Ｔ８よりも前の時点において、エアシリンダ４０から可動部２０に反対方向に向かう力が継続して加わっている状態で、サーボモータ３０から可動部２０に所定方向に向かう力を加え始める。そして、制御部５１は、サーボモータ３０から可動部２０に加える所定方向の力を徐々に大きくする。これにより、時間Ｔ８において、エアシリンダ４０から可動部２０に反対方向に向かう力が加わっている状態で、可動部２０を停止させる。エアシリンダ４０が可動部２０に反対方向の力を加えている状態は、エアシリンダ４０の制御が安定しているので、当該制御は可動部２０の停止制御を正確に行う上で有利である。

制御部５１は、時間Ｔ８が経過した後、サーボモータ３０およびエアシリンダ４０から可動部２０に加わる力を徐々に低減させる。

（図５のタイムチャートに示される制御の例）
図４のように、ベース部材１０の溝１１の一端側が他端側よりも高くなっており、これにより溝１１が上下方向に傾斜している場合がある。このような状況で図５の例の制御が用いられる。

図５の例でも、時間Ｔ１から可動部２０を所定方向に向かって移動し始める（可動部２０の加速を開始する）。また、時間Ｔ２と時間Ｔ３の間では、一定の加速度で可動部２０を所定方向に向かって移動させる。また、時間Ｔ３と時間Ｔ５の間では、加速度を徐々に小さくすることによって可動部２０が一定の速度で移動する状態となる。また、時間Ｔ５から可動部２０の減速を開始する。そして、時間Ｔ６と時間Ｔ７との間では、一定の加速度で可動部２０を減速させる。また、時間Ｔ８で可動部２０を停止させる。

時間Ｔ１において可動部２０を移動し始める時、制御部５１は、時間Ｔ１よりも前の時点からエアシリンダ駆動部ＡＤのシリンダ制御装置４４の制御を開始し、これによりエアシリンダ４０が可動部２０に所定方向に向かう力を加え始める。この例では、エアシリンダ４０による所定方向に向かう力は時間Ｔ１の前後で変化しない、又は大きく変化しない。

一方、制御部５１は、時間Ｔ１よりも前の時点から、モータ駆動部ＭＤのサーボモータ３０の制御を開始し、これによりサーボモータ３０が可動部２０に所定方向と反対方向の力を加え始める。この例では、サーボモータ３０による反対方向に向かう力は時間Ｔ１の前に変化しない、又は大きく変化しない。

この状態は、エアシリンダ４０から可動部２０に所定方向に向かう力が加わっているが、サーボモータ３０から可動部２０に反対方向に向かう力が加わっており、これにより可動部２０が静止している。なお、溝１１の傾斜の大きさ、可動部２０の重量、可動部２０に加わる荷重等に応じて、時間Ｔ１の前にサーボモータ３０が可動部２０に所定方向の力を加えてもよい。

図４の例では、時間Ｔ１の前のある時点から時間Ｔ８を経過したある時点まで、エアシリンダ４０から可動部２０に所定方向に向かう力が継続して加えられ、エアシリンダ４０による所定方向に向かう力は変化しない、又は大きく変化しない。
この状態で、時間Ｔ２と時間Ｔ３の間において可動部２０を加速させる時は、サーボモータ３０によって可動部２０に所定方向の力が加えられる。

時間Ｔ３と時間Ｔ５の間では、エアシリンダ４０から可動部２０に所定方向に向かう力が継続して加わっている状態で、制御部５１は、サーボモータ３０から可動部２０に加わる所定方向に向かう力を徐々に低減させ、サーボモータ３０から可動部２０に加わる力が小さくなると、その状態を維持する。

一方、時間Ｔ６と時間Ｔ７の間において可動部２０を減速させる時は、エアシリンダ４０から可動部２０に所定方向に向かう力が継続して加わっている状態で、サーボモータ３０によって可動部２０に反対方向の力を加える。

時間Ｔ８において可動部２０を停止させる時、制御部５１は、エアシリンダ４０から可動部２０に所定方向に向かう力が継続して加わっている状態で、サーボモータ３０から可動部２０に加えている反対方向に向かう力を徐々に低減する。また、制御部５１は、可動部２０の重量および可動部２０に加わっている荷重によって可動部２０に加わる反対方向の力と、エアシリンダ４０から可動部２０に加わる所定方向の力との差分の力を、サーボモータ３０によって可動部２０に加える。これにより、時間Ｔ８において、エアシリンダ４０から可動部２０に所定方向に向かう力が加わっている状態で、可動部２０を停止させる。エアシリンダ４０が可動部２０に所定方向の力を加えている状態は、エアシリンダ４０の制御が安定しているので、当該制御は可動部２０の停止制御を正確に行う上で有利である。

このように、本実施形態では、制御部５１がエアシリンダ駆動部ＡＤおよびモータ駆動部ＭＤの両方によって可動部２０を所定方向に動かす。このため、エアシリンダ駆動部ＡＤがある分だけモータ駆動部ＭＤのサーボモータ３０を小型化することができ、装置重量の増大が抑制される。また、エアシリンダ４０はピストン面積、エア圧等に応じて大きな力を発生する。このため、エアシリンダ駆動部ＡＤおよびモータ駆動部ＭＤを用いた駆動装置１は大きな力を発生させることができる。

ここで、サーボモータ３０には電流増幅器（アンプ）が付属しているが、サーボモータ３０の出力等に応じて電流増幅器のサイズ、種類等が異なる。また、電流増幅器のサイズ、種類等に応じて必要な電源装置、制御ソフトウェア等が異なる。このため、比較的大型のサーボモータ３０を用いるためには、大型の電流増幅器、電源装置等が必要であり、装置の大型化とコスト増をもたらす。本実施形態では、比較的小型のサーボモータ３０を用いて大きな力を発生できるので、電流増幅器、電源装置等は比較的小型でよく、コストも抑制できる。

また、本実施形態では、制御部５１が、可動部２０を所定方向に動かしている際に、モータ駆動部ＭＤによって可動部２０に所定方向に向かう力を加え、これによりエアシリンダ駆動部ＡＤによって可動部２０に加えられている所定方向に向かう力を補う。
このため、駆動装置１は大きな力を発生させることができ、しかも、その大きな力の制御をモータ駆動装置ＭＤのサーボモータ３０によって正確に行うことができる。

また、本実施形態では、制御部５１が、可動部２０を所定方向に動かしている際に、モータ駆動部ＭＤによって可動部２０に所定方向と反対方向に向かう力を加え、これによりエアシリンダ駆動部ＡＤによって可動部２０に加えられている所定方向に向かう力の一部を相殺する。

エアシリンダ４０の力の発生方向および大きさの制御を短時間で正確に切り替えることは一般的に難しい。本実施形態では、エアシリンダ駆動部ＡＤによって可動部２０に所定方向の力が継続して加えられている状況で、モータ駆動部ＭＤによって可動部２０の減速、停止等を行うことが可能である。つまり、駆動装置１は、エアシリンダ駆動部ＡＤがあることにより大きな力を発生させることができ、しかも可動部２０の動作も正確に制御できる。

なお、ベース部材１０と可動部２０との接続状態は図１の例に限られるものではなく、可動部２０がベース部材１０に対して所定方向に移動可能であればよい。また、モータ駆動部ＭＤおよびエアシリンダ駆動部ＡＤの構造も図１の例に限られるものではない。モータ駆動部ＭＤはサーボモータ３０の出力によって可動部２０を所定方向に動かすことができればよく、エアシリンダ駆動部ＡＤもエアシリンダ４０の出力によって可動部２０を所定方向に動かすことができればよい。

本発明の第２実施形態に係る駆動装置１について、図面を用いながら以下説明する。
第２実施形態の駆動装置２は、図６に示されるように、ベース側部材６０に支持された可動部７０を揺動軸線７０ａ周りに揺動させるモータ駆動部ＭＤと、可動部７０に出力シャフト４２の先端が連結された第１実施形態と同様のエアシリンダ４０とを備えている。

ベース側部材６０は例えば垂直多関節ロボット等のロボットの最も基端側のアーム部材であり、可動部７０はロボットの基端側から２番目のアーム部材である。可動部７０の一端部はベース側部材６０に揺動軸線７０ａ周りに揺動可能に支持されている。なお、可動部７０はロボットのその他のアーム部材であってもよく、この場合、ベース側部材６０は可動部７０よりもベース側に配置されたアーム部材となる。

モータ駆動部ＭＤはサーボモータ３０を有し、サーボモータ３０はベース側部材６０に固定されている。サーボモータ３０の出力によって回転する出力軸が可動部７０に連結され、サーボモータ３０によって可動部７０が揺動軸線７０ａ周りに揺動する。

エアシリンダ４０の本体部４１の基端部はベース側部材６０に連結され、エアシリンダ４０の出力シャフト４２の先端部は可動部７０における揺動軸線７０ａから離れた位置に連結されている。図６の例では、出力シャフト４２の先端部は可動部７０の一端に連結されている。本体部４１はベース側部材６０に上下方向に揺動可能に連結され、出力シャフト４２も可動部７０に上下方向に揺動可能に連結されている。当該構造により、エアシリンダ４０の作動に応じて可動部７０を揺動させるための力が可動部７０の一端に加えられる。

第２実施形態の駆動装置２も、第１実施形態と同様の制御装置５０を備えており、制御装置５０の記憶部５３には、システムプログラム５３ａと、動作プログラム５３ｂとが格納されている。動作プログラム５３ｂは、可動部７０に所定の動作を行わせるためにサーボモータ３０およびシリンダ制御装置４４を制御するための制御指令群である。

第２実施形態でも、制御部５１がエアシリンダ駆動部ＡＤおよびモータ駆動部ＭＤの両方によって可動部７０を所定方向（所定の揺動方向又は所定の回転方向）に動かす。このため、エアシリンダ駆動部ＡＤがある分だけモータ駆動部ＭＤのサーボモータ３０を小型化することができ、装置重量の増大が抑制される。また、エアシリンダ４０はピストン面積、エア圧等に応じて大きな力を発生する。このため、エアシリンダ駆動部ＡＤおよびモータ駆動部ＭＤを用いた駆動装置２はモータ駆動部ＭＤ単独で発生するよりも大きな力を発生させることができる。

また、第２実施形態でも、可動部７０を所定方向に動かしている際に、モータ駆動部ＭＤによって可動部７０に所定方向に向かう力を加え、これによりエアシリンダ駆動部ＡＤによって可動部７０に加えられている所定方向に向かう力を補う制御が行われる。
このため、駆動装置２は大きな力を発生させることができ、しかも、その大きな力の制御をモータ駆動装置ＭＤのサーボモータ３０によって正確に行うことができる。

また、第２実施形態でも、可動部７０を所定方向に動かしている際に、モータ駆動部ＭＤによって可動部７０に所定方向と反対方向に向かう力を加え、これによりエアシリンダ駆動部ＡＤによって可動部７０に加えられている所定方向に向かう力の一部を相殺する制御が行われる。

エアシリンダ４０の力の発生方向および大きさの制御を短時間で正確に切り替えることは一般的に難しい。第２実施形態では、エアシリンダ駆動部ＡＤによって可動部７０に所定方向の力が継続して加えられている状況で、モータ駆動部ＭＤによって可動部７０の減速、停止等を行うことが可能である。つまり、駆動装置２は、エアシリンダ駆動部ＡＤがあることにより大きな力を発生させることができ、しかも可動部７０の動作も正確に制御できる。

なお、ベース側部材６０と可動部７０との接続状態は図６の例に限られるものではなく、可動部７０がベース側部材６０に対して所定方向に揺動可能又は回転可能であればよい。また、モータ駆動部ＭＤおよびエアシリンダ駆動部ＡＤの構造も図６の例に限られるものではない。モータ駆動部ＭＤはサーボモータ３０の出力によって可動部７０を所定方向に動かすことができればよく、エアシリンダ駆動部ＡＤもエアシリンダ４０の出力によって可動部７０を所定方向に動かすことができればよい。

１，２駆動装置
１０ベース部材
１１溝
２０可動部
２１レール
３０サーボモータ
３１出力軸
３２ピニオンギヤ
３３ラックギヤ
４０エアシリンダ
４１本体部
４１ａ，４１ｂ吸排気口
４２出力シャフト
４４シリンダ制御装置
５０制御装置
５１制御部
５３記憶部
５３ａシステムプログラム
５３ｂ動作プログラム
６０ベース側部材
７０可動部
ＭＤモータ駆動部
ＡＤエアシリンダ駆動部

Claims

サーボモータの出力を用いて可動部を所定方向に動かすことができるモータ駆動部と、
エアシリンダの出力を用いて前記可動部を前記所定方向に動かすことができるエアシリンダ駆動部と、
前記モータ駆動部および前記エアシリンダ駆動部を制御する制御部とを備え、
前記制御部が、前記可動部の前記所定方向への移動開始時間よりも前の時点から前記エアシリンダによって前記可動部に前記所定方向に向かう力を加え始めると共に、前記移動開始時間よりも前の時点から前記サーボモータによって前記可動部に前記所定方向と反対方向に向かう力を加え始め、前記移動開始時間になると前記サーボモータによる前記反対方向への力を低減させるように構成され、これにより前記可動部を前記移動開始時間から前記所定方向に動かす、駆動装置。
前記制御部が、前記可動部を前記所定方向に動かしている際に、前記モータ駆動部によって前記可動部に前記所定方向に向かう力を加え、これにより前記エアシリンダ駆動部によって前記可動部に加えられている前記所定方向に向かう力を補う、請求項１に記載の駆動装置。
前記制御部が、前記可動部を前記所定方向に動かしている際に、前記モータ駆動部によって前記可動部に前記所定方向と反対方向に向かう力を加え、これにより前記エアシリンダ駆動部によって前記可動部に加えられている前記所定方向に向かう力の一部を相殺する、請求項１に記載の駆動装置。
前記可動部がベース側部材に揺動軸線周りに揺動可能に支持されており、
前記モータ駆動部および前記エアシリンダ駆動部が、前記可動部を前記揺動軸線周りの所定方向に揺動させることができるものである、請求項１〜３の何れかに記載の駆動装置。