CN103137514A

CN103137514A - 基板检测装置

Info

Publication number: CN103137514A
Application number: CN2012104952230A
Authority: CN
Inventors: 金显正
Original assignee: Charm Engineering Co Ltd
Current assignee: Charm Engineering Co Ltd
Priority date: 2011-12-01
Filing date: 2012-11-28
Publication date: 2013-06-05
Anticipated expiration: 2032-11-28
Also published as: KR20130061403A; JP5555757B2; KR101298933B1; JP2013118183A; CN103137514B

Abstract

本发明公开了一种基板检测装置。本发明涉及的基板检测装置，在主体内部形成有用于检测基板的密闭空间的腔室。因此，不必形成用于使基板上形成的多个层与大气隔绝的封盖，也能够检测基板，并通过基板检测，发现基板缺陷部位时，仅修复缺陷部位即可使用。所以，降低基板的制造成本。另外，只需适当营造在体积相对小的空间的主体内形成的腔室气氛即可，因此具有进一步降低制造成本的效果。

Description

基板检测装置

技术领域

本发明涉及一种基板检测装置，在内部形成密闭腔室，且在腔室内点亮基板进行检测。

背景技术

平板显示器大致分为液晶显示器（LCD：Liquid Crystal Display）、等离子显示器（PDP：Plasma Display Panel）、发光二极管（LED：Light-Emitting Diode）显示器和有机发光二极管（OLED：Organic Light-Emitting Diode）显示器等。

有机发光二极管显示器具有低电压驱动、发光效率高、视野角度广、反应速度快等优点，并作为能够显示高品质视频的新一代平板显示器备受瞩目。

有机发光二极管显示器，在玻璃材质的基板上依次层叠铟锡氧化物（ITO：Indium Tin Oxide）阳极层、空穴注入层、发光层、电子层、电子输送层和金属阴极层形成。而且，空穴注入层到电子输送层是被湿气或氧气氧化的有机物质，故在基板上形成有用于保护所述多个层的玻璃或金属材质的封盖。

现有的基板检测装置，无任何将基板与大气隔绝状态下进行检测的方法，因此只能在基板上形成封盖的状态下检测基板有无异常。但，无法从基板上分离封盖，因此即使在基板检测时发现了基板缺陷，也不能仅修复发生缺陷的基板部位使用，而只能报废形成封盖的基板。因此，存在基板制造成本上升的缺点。

另外，现有的基板检测装置必须设置在真空空间或氧气(O₂)浓度在1ppm以下的氮气(N₂)气氛的空间内使用。这样，为了营造相对体积大的设置空间的气氛，所需费用较高。因此，存在基板制造成本进一步上升的缺点。

韩国公开专利公报10-2005-0008282号等中公开了与基板检测装置有关的在先技术。

发明内容

本发明为了解决所述现有技术中存在的问题而提出，本发明的目的在于提供一种可降低基板制造成本的基板检测装置。

为了达到所述目的，本发明涉及的基板检测装置，包括：主体，在内部形成有用于投入基板进行检测的腔室，且在上表面形成有透明窗；支撑板，可升降地设置在所述主体的内部，用于支撑所述基板；升降单元，设置在所述主体的下侧，用于升降所述支撑板；第一摄像单元，以能够沿相互正交的X轴方向和Y轴方向移动的方式设置在所述主体上，并通过所述透明窗，拍摄投入到所述腔室内的所述基板。

本发明的有益效果

本发明涉及的基板检测装置，在主体内部形成有用于检测基板的密闭空间的腔室。因此，不必在基板上形成将基板上形成的多个层与大气隔绝的封盖，也能对基板进行检测，因此通过基板检测，发现基板的缺陷部位时，仅修复缺陷部位即可使用。从而降低基板的制造成本。

另外，只需适当营造在体积相对小的空间的主体内形成的腔室气氛即可，从而具有进一步降低基板制造成本的效果。

附图说明

图1是示出本发明的一实施例涉及的基板检测装置的立体图。

图2是示出图1所示的盖子被开放状态的立体图

图3是示出图2的部分分解立体图。

图4是示出图3的“A”部放大图。

图5至图7是示出用于说明本发明的一实施例涉及的基板检测装置的动作而卸下盖子的状态的立体图。

附图标记

110：主体

130：支撑板

140：升降单元

150:第一摄像单元

160:支撑框架

170:第二摄像单元

具体实施方式

下面，参照附图详细说明能够实现本发明的特定实施例。为了使本领域的技术人员能够充分实施本发明，将对这些实施例作以详细说明。本发明的各种实施例虽有所不同，但相互之间并不排斥。例如，这里记载的与一实施例有关的特定形状，特定结构和特性，在不脱离本发明精神和范围的情况下，也可以由其它实施例实现。另外，应理解为，各自公开的实施例中的个别构成要素的位置或配置，在不脱离本发明精神和范围的情况下也可以进行变更。因此，后述详细说明并无限定之意，准确地说，本发明的保护范围仅以权利要求书所记载的内容为准，包含与其权利要求所主张的内容等同的所有范围。为方便起见，也有可能夸张显示附图所示实施例的长度、面积、厚度及形态。

以下，参照附图详细说明本发明的一实施例涉及的基板检测装置。

图1是示出本发明的一实施例涉及的基板检测装置的立体图，图2是示出图1所示的盖子被开放状态的立体图，图3是示出图2的部分分解立体图。

如图所示，本实施例涉及的基板检测装置包括主体110、升降单元140和第一摄像单元150。

主体110大致呈长方体形状，且包括上面开放的箱体111，和与箱体111上面结合并与箱体111之间形成密闭空间的盖子115。由箱体111和盖子115形成的密闭空间即是用于投入基板50而进行检测的腔室110a。

盖子115可转动地结合于箱体111上，用于开闭箱体111的被开放的上面。即，盖子115用来开闭腔室110a。在箱体111和盖子115之间，可填充有密封部件（未图示），当盖子115接触于箱体111的上端面而闭合腔室110a时，该密封部件用于防止腔室110a的气氛气体通过箱体111与盖子115之间的缝隙泄漏。

在盖子115的中央部侧形成有透明窗116，通过该透明窗116可以从外部观察投入到腔室110a内的基板50。

在箱体111的相互对置的一侧面和另一侧面上分别形成有用于投入和排出基板50的投入口112a和排出口112b，且在箱体111的一侧面和另一侧面上分别设置有用于开闭投入口112a和排出口112b的门113a、113b。即，门113a、113b用来开闭腔室110a。

在门113a与投入口112a之间和门113b与排出口112b之间也可以填充有密封部件（未图示），当投入口112a和排出口112b通过门113a、113b被闭合时，该密封部件防止腔室110a内的气氛气体泄漏。

盖子115和门113a、113b通过如电机或气缸等驱动装置（未图示）进行旋转的同时开闭腔室110a。门113a、113b也可以以滑动的方式开闭腔室110a。

向腔室110a内导入氮气(N₂)等气氛气体的导入管121和向腔室110a外部排出腔室110a气氛气体的排出管125的一侧，分别与主体110连通地设置。导入管121的另一侧与气罐（未图示）等连通，而排出管125的另一侧与泵（未图示）等连通。

在主体110内部设置有用于支撑基板50的支撑板130。支撑板130可升降地设置，以支撑投入到腔室110a内的基板50向盖子115侧上升。

由气缸等构成的升降单元140被设置在主体110的下侧，用于升降支撑板130。

详细说明，在支撑板130和升降单元140之间介入有多个升降杆145。升降杆145的下端部侧与升降单元140连接，而上端部侧通过主体110的下表面与支撑板130的下表面连接。这样，升降杆145接受来自升降单元140的动力进行升降的同时使支撑板130升降。

由摄像机或扫描仪等构成的第一摄像单元150位于主体110的上侧，且可沿相互正交的X轴方向和Y轴方向移送地支撑安装在主体110上。这样，第一摄像单元150通过透明窗116拍摄被投入到腔室110a内的基板50。

由第一摄像单元150拍摄到的图像和与其相关的信号被发送至控制部（未图示），所述控制部利用接收到的图像和与其相关的信号来检测基板50。即，通过所述控制部可以对基板50进行色温检查、色坐标检查、不良像素检查、光亮度（Luminance）检查、照度（Illuminance）检查、临界尺寸（CD：CriticalDimension)检查和总节距（TP：Total Pitch）检查等。

基板50被搭载支撑于一对机械臂60上，并通过投入口112a投入到腔室110a内，或者通过排出口112b从腔室110a排出。而且，机械臂60以支撑基板50的状态进行升降。对此后述。

在主体110内部设置有用于搭载支撑投入到腔室110a内的基板50外缘部侧的方框状的支撑框架160。更具体说明的话，可升降地设置的支撑板130位于支撑框架160的下侧时，基板50的外缘部侧搭载支撑于支撑框架160上。对此后述。

机械臂60位于支撑框架160的内侧进行升降，在机械臂60的外表面上分别形成有多个凸片61。而且，相互对置的支撑框架160的一侧内表面和另一侧内表面上形成朝向支撑框架160外侧的凹陷，且形成有使凸片61通过的贯穿槽161。凸片61和贯穿槽161彼此对置地形成。有关凸片61和贯穿槽161的作用也后述。

在主体110内部的下面，可以设置有第二摄像单元170，该第二摄像单元170在基板50的下侧对基板50进行拍摄或扫描。这时，与第二摄像单元170对应的支撑板130部位被开放132。

基板50为有机发光二极管（OLED：Organic Light-Emitting Diode）用元件时，通过对基板50供给电源，才能点亮基板50的各个像素，进而检测基板50有无缺陷。为此，在基板50的一侧和另一侧外缘部上形成有电极线（未图示），而在封盖150的下表面上设置有与所述电极线连接从而供给外部电源的探头（Probe）180。

基板50的尺寸有多种。本实施例涉及的基板检测装置，支撑板130可拆卸地结合于升降杆145上，以便能够支撑不同尺寸的基板50进行检测。

当基板50的外缘部侧通过机械臂60被搭载支撑于支撑框架上160时，只有基板50位于支撑框架160的设定位置上时，基板50的所述电极线和探头180才能准确连接，并利用第一摄像单元150或第二摄像单元170准确拍摄已设定的基板50部位。

为此，本实施例涉及的基板检测装置上设置有用于对齐支撑于支撑框架160上的基板50的对齐单元，参照图3和图4对其进行说明。图4是图3的“A”部放大图。

如图所示，所述对齐单元包括：设置在支撑框架160上的气缸191，和通过气缸191进行直线运动的同时与基板50的外表面接触从而移动基板50的接触片195。

若作详细说明，气缸191分别设置在支撑框架160的拐角部侧。另外，接触片195随着气缸191进行设定距离的直线运动，并分别与基板50的拐角部侧接触以移动基板50。这样，被支撑在支撑框架160上的基板50通过接触片195进行移动，并移动对齐在支撑框架160上所设定的位置。

为了使接触片195与基板50稳定接触的状态下移动基板50，在与基板50相对的接触片195表面上形成与基板50的拐角部侧相对应的大致呈"∧"或"∨"形状的支撑槽196。

当基板50通过接触片195位于设定位置时，支撑板130进行升降的同时带动基板50升降。这时，在支撑板130的外缘部侧形成有卡住基板50外表面从而防止基板50在支撑板130上游动的多个止动件134。

参照图1、图5至图7，对本实施例涉及的基板检测装置的作用加以说明。图5至图7是用于说明本发明的一实施例涉及的基板检测装置的动作而卸下盖子的状态的立体图。

如图5所示，假定盖子115和门113b处于关闭状态，而门113a处于开放状态，支撑板130位于支撑框架160下侧的状态为初始状态。

在初始状态下由机械臂60支撑基板50，如图6所示，通过投入口112a将基板50投入到腔室110a内。这时，机械臂60位于支撑框架160的上侧。

之后，机械臂60下降，由此基板50的外缘部侧被搭载支撑在支撑框架160上。基板50的外缘部侧被搭载支撑在支撑框架160上时，机械臂60通过支撑框架160的内侧进一步向下侧下降，而机械臂60的凸片61通过支撑框架160的贯穿槽161进一步向下侧下降。

机械臂60下降至支撑框架160与支撑板130之间的位置之后，通过投入口112a向外部排出。机械臂60被排出后，气氛气体流入腔室110a，以营造检测基板50所需的气氛，接触片195通过气缸进行直线运动的同时，使基板50位于支撑框架160的设定位置。

基板50位于支撑框架160的设定位置时，如图7所示，支撑板130上升的同时使基板50向盖子115侧上升。这样，基板50的所述电极线与探头180（参照图3）连接，从而向基板50供给电源。

在这种状态下，利用第一摄像单元150和第二摄像单元170（参照图3）拍摄基板50，而所述控制部接收来自第一和第二摄像单元150、170的信号，对基板50进行检测。

基板50检测结束之后，支撑板130下降到支撑框架160的下侧位置。这样，基板50的外缘部侧被支撑于支撑框架160上，而另一个机械臂（未图示）通过排出口112b流入到支撑板130和支撑框架160之间。之后，另一个所述机械臂上升以支撑基板50的状态下通过排出口112b排出。这样，基板50排出到腔室110a外部。

门113a、113b分别通过所述控制部的控制来自动开闭。

本实施例涉及的基板检测装置，在主体110内部形成有用于检测基板50的密闭空间的腔室110a。因此，在基板50上不必形成用于使基板50上形成的多个层与大气隔绝的封盖，也能够检测基板50，因此，检测基板50时发现缺陷部位，则通过修复缺陷部位即可使用。因此，可降低基板50的制造成本。

另外，只需营造体积相对小的主体110的腔室110a气氛即可，从而进一步降低基板50的制造成本。

综上所述，参照附图说明了优选实施例，但本发明并不限定于上述实施例，在不脱离本发明精神的范围内，通过本发明所属技术领域的普通技术人员可进行各种变形和变更。这些变形例和变更例均属于本发明和权利要求的保护范围之内。

Claims

1.一种基板检测装置，其特征在于，包括：

主体，在内部形成有用于投入基板进行检测的腔室，且在上表面形成有透明窗；

支撑板，可升降地设置在所述主体的内部，用于支撑所述基板；

升降单元，设置在所述主体的下侧，用于升降所述支撑板；

第一摄像单元，以能够沿相互正交的X轴方向和Y轴方向移动的方式设置在所述主体上，且通过所述透明窗拍摄被投入到所述腔室内的所述基板。

2.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，

所述主体包括：箱体，上面被开放；盖子，可转动地结合于所述箱体的上面上，用于开闭所述箱体的被开放的上面，并形成有透明窗。

3.根据权利要求2所述的基板检测装置，其特征在于，

在相互对置的所述箱体的一侧面和另一侧面上分别形成有用于投入和排出所述基板的投入口和排出口。

4.根据权利要求3所述的基板检测装置，其特征在于，

在所述箱体上分别设置有用于开闭所述投入口和所述排出口的门。

5.根据权利要求2所述的基板检测装置，其特征在于，

在所述盖子上设置有探头，该探头与在所述基板上形成的电极线连接，并向所述基板供给电源。

6.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，

在所述支撑板和所述升降单元之间设置有多个升降杆，该升降杆的下侧与所述升降单元连接，而上侧通过所述主体的下表面连接到所述支撑板上，并通过所述升降单元进行升降而使所述支撑板升降，

所述支撑板可拆卸地结合于所述升降杆上。

7.根据权利要求6所述的基板检测装置，其特征在于，

在所述主体的内部下表面上设置有用于拍摄所述基板的第二摄像单元，而与所述第二摄像单元对应的所述支撑板的部位被开放。

8.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，

在所述主体的内部设置有支撑框架，当所述支撑板位于所述支撑框架的下侧时，所述基板的外缘部侧被支撑在所述支撑框架上。

9.根据权利要求8所述的基板检测装置，其特征在于，

所述基板以被搭载支撑在一对机械臂上的状态投入到所述腔室或从所述腔室排出，

在所述机械臂外表面上分别形成有多个凸片，

相互对置的所述支撑框架的一侧内表面和另一侧内表面上形成有贯穿槽，该贯穿槽用于使所述凸片随着所述机械臂的升降而通过。

10.根据权利要求9所述的基板检测装置，其特征在于，

在所述支撑框架上设置有用于对齐被支撑在所述支撑框架上的所述基板的对齐单元。

11.根据权利要求10所述的基板检测装置，其特征在于，

所述对齐单元包括：气缸，设置在所述支撑框架上；和接触片，通过所述气缸进行直线运动而与所述基板的外表面接触，以使所述基板移动。

12.根据权利要求11所述的基板检测装置，其特征在于，

所述气缸分别设置在所述支撑框架的拐角部侧，在与所述基板对置的所述接触片的表面上，形成有与所述基板的拐角部侧对应的形状的支撑槽。

13.根据权利要求12所述的基板检测装置，其特征在于，

当所述基板位于所述支撑框架的设定位置上时，所述支撑板上升而带动所述基板向所述透明窗侧上升，

在所述支撑板的外缘部侧形成有止动件，该止动件与所述基板的外表面接触，以防止所述基板在所述支撑板上游动。

14.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，

在所述主体上，连通地设置有向所述腔室导入气氛气体的导入管和排出所述腔室的气氛气体的排出管。

15.根据权利要求1至14中任一项所述的基板检测装置，其特征在于，

所述基板为有机发光二极管显示器。