CN104716269A - 有机el组件及其制造方法 - Google Patents

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CN104716269A CN201410767732.3A CN201410767732A CN104716269A CN 104716269 A CN104716269 A CN 104716269A CN 201410767732 A CN201410767732 A CN 201410767732A CN 104716269 A CN104716269 A CN 104716269A
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Abstract

本发明提供寿命长的有机EL组件。该有机EL组件包括：在内部具有成为发光部的有机层(4)的有机EL面板(2)；设置在有机EL面板(2)的背面上、将有机EL面板(2)的背面密封的背面密封板(6)；设置在有机EL面板(2)的侧面、将有机EL面板(2)的侧面密封的侧面密封部件(7)；设置在有机EL面板(2)的正面上、将有机EL面板(2)的正面密封的正面密封板(8)；和覆盖背面密封板(6)和/或正面密封板(8)的外表面以及侧面密封部件(7)的外表面、透明的保护覆膜(9)。

Description

有机EL组件及其制造方法
技术领域
本发明涉及有机EL组件及其制造方法。
背景技术
作为便携电话、便携终端、数码相机、电视等的电子产品的显示装置，在发光体中使用OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)的有机EL组件受到关注。
另外，有机EL组件由于薄、轻、发光效率的良好等的优点，不仅作为显示装置，也作为照明装置的光源备受期待。
典型的有机EL组件的一个例子例如记载于专利文献1中。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第4891236号公报
发明内容
发明所要解决的课题
但是，在使用有机EL组件作为显示装置或作为照明装置的电子产品中，担心其寿命短。有机EL组件具有在内部包含成为发光部的有机层的有机EL面板，但是该有机物容易劣化而变为低寿命。作为使有机物劣化的原因，能够列举大气中的水分(H2O)、氧气(O2)、氢气(H2)等的气体、伴随它们的OH基等。
本发明是鉴于上述情况而完成的，课题在于提供寿命长的有机EL组件及其制造方法。
用于解决课题的技术方案
为了解决上述课题，本发明的第一方面提供一种有机EL组件，其特征在于，包括：在内部具有成为发光部的有机层的有机EL面板；设置在上述有机EL面板的背面上、将上述有机EL面板的背面密封的背面密封板；设置在上述有机EL面板的侧面、将上述有机EL面板的侧面密封的侧面密封部件；设置在上述有机EL面板的正面上、将上述有机EL面板的正面密封的正面密封板；和覆盖上述背面密封板和/或上述正面密封板的外表面以及上述侧面密封部件的外表面的、透明的保护覆膜。
上述第一方面中，优选上述背面密封板和上述正面密封板中的至少一个为透明树脂薄膜时，上述保护覆膜覆盖由上述透明树脂薄膜构成的上述背面密封板和/或上述正面密封板的外表面以及上述侧面密封部件的外表面。
另外，上述第一方面中，上述保护覆膜能够为金属氧化物膜。该金属氧化物膜能够为氧化铝膜。
本发明的第二方面中提供一种有机EL组件的制造方法，其特征在于，包括：用背面密封板、侧面密封部件和正面密封板将在内部具有成为发光部的有机层的有机EL面板的背面、侧面和正面的各个密封的工序；和用透明的保护覆膜覆盖上述背面密封板和/或上述正面密封板的外表面以及上述侧面密封部件的外表面的工序。
上述第二方面中，优选上述背面密封板和上述正面密封板中的至少一个为透明树脂薄膜时，覆盖上述保护覆膜的工序为覆盖由上述透明树脂薄膜构成的上述背面密封板和/或上述正面密封板的外表面以及上述侧面密封部件的外表面的工序。
另外，上述第二方面中，优选上述保护覆膜为金属氧化物膜时，上述金属氧化物膜通过交替反复进行金属前体气体的供给和排气、氧化气体的供给和排气，形成在上述背面密封板和/或上述正面密封板的外表面上、以及上述侧面密封部件的外表面上。
另外，上述第二方面中，上述保护覆膜能够经由以下工序形成：将由上述背面密封板、上述侧面密封部件和上述正面密封板密封的上述有机EL面板收纳在实施上述保护覆膜的成膜处理的处理室中，并载置到配置在上述处理室内的载置台上的工序；在载置于上述载置台上的上述被密封的有机EL面板上形成保护覆膜的工序；在形成上述保护覆膜后，将上述被密封的有机EL面板翻转，再载置在上述载置台上的工序；和在再载置在上述载置台上的上述被密封的有机EL面板上再次形成上述保护覆膜的工序。
另外，上述第二方面中，上述保护覆膜可以经由以下工序形成：将由上述背面密封板、上述侧面密封部件和上述正面密封板密封的上述有机EL面板收纳在实施上述保护覆膜的成膜处理的处理室中，由支承销支承于配置在上述处理室内的载置台上，以从上述载置台浮起的状态保持的工序；和在以在上述载置台上浮起的状态保持的上述被密封的有机EL面板上形成保护覆膜的工序。在该情况下，在形成上述保护覆膜后，使上述被密封的有机EL面板水平旋转，通过上述支承销以使支承位置与前一次的支承位置不同的方式支承在上述载置台上，以从上述载置台浮起的状态再保持的工序；和在以在上述载置台上浮起的状态再保持的有机EL面板上再次形成上述保护覆膜的工序。
另外，上述第二方面中，上述保护覆膜能够经由以下工序形成：将由上述背面密封板、上述侧面密封部件和上述正面密封板密封的上述有机EL面板收纳在实施上述保护覆膜的成膜处理的处理室中，在配置于上述处理室内的载置台上通过支承销支承比上述侧面密封部件更靠外侧的部分，以从上述载置台浮起的状态保持的工序；和在以在上述载置台上浮起的状态保持的上述被密封的有机EL面板上形成保护覆膜的工序。
另外，上述第二方面中，上述保护覆膜能够经由以下工序形成：将由上述背面密封板、上述侧面密封部件和上述正面密封板密封的上述有机EL面板收纳在实施上述保护覆膜的成膜处理的处理室中，并载置于配置在上述处理室内的载置台上的工序；和在载置在上述载置台上的上述被密封的有机EL面板上形成保护覆膜的工序。在该情况下，优选在上述载置台的载置面具有流通上述保护覆膜的成膜中所使用的成膜气体的凹部、或对上述被密封的有机EL面板的边缘进行支承的凸部，形成上述保护覆膜的工序以在上述被密封的有机EL面板和上述载置面之间产生空间、上述成膜气体与上述背面密封板的外表面、上述侧面密封部件的外表面和上述正面密封板的外表面分别接触的状态进行。而且，可以使得上述凹部外侧的上述载置面的部分或凸部对上述被密封的有机EL面板的边缘进行支承。优选上述被支承的有机EL面板的边缘位于上述侧面密封部件的外侧。
发明效果
根据本发明，能够提供寿命长的有机EL组件及其制造方法。
附图说明
图1A是概略表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的一个例子的立体图。
图1B是沿图1A中的1B－1B线的剖面图。
图2是表示参考例所涉及的有机EL组件的剖面图。
图3A是概略表示一个实施方式所涉及的能够制造有机EL组件的制造装置的一个例子的剖面图。
图3B是概略表示图3A所示的制造装置所具备的内室的剖面图。
图4A是表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的制造方法的第一例的剖面图。
图4B是表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的制造方法的第一例的剖面图。
图4C是表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的制造方法的第一例的剖面图。
图4D是表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的制造方法的第一例的剖面图。
图5是表示将有机EL组件翻转的状态的立体图。
图6A是表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的制造方法的第二例的剖面图。
图6B是表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的制造方法的第二例的剖面图。
图6C是表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的制造方法的第二例的剖面图。
图6D是表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的制造方法的第二例的剖面图。
图7是使有机EL组件水平旋转的状态的立体图。
图8A是表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的制造方法的第三例的剖面图。
图8B是表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的制造方法的第三例的剖面图。
图9A是表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的制造方法的第四例的剖面图。
图9B是表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的制造方法的第四例的剖面图。
图10是表示本发明的变形例所涉及的有机EL组件的剖面图。
图11是表示本发明的变形例所涉及的有机EL组件的剖面图。
图12是表示本发明的变形例所涉及的有机EL组件的制造方法的剖面图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的一个实施方式进行说明。
＜有机EL组件＞
图1A是概略表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的一个例子的立体图，图1B是沿图1A中的1B－1B线的剖面图。
如图1A和图1B所示，一个实施方式所涉及的有机EL组件1具备有机EL面板2。有机EL面板2的一构造例中，在基底层叠层有构成像素驱动部的薄膜晶体管(TFT)层3、形成在TFT层3上的成为发光部的有机层4，在有机层4上叠层有例如构成彩色滤光片的滤光片层5。光L例如经由滤光片层5向有机EL组件1的外部射出。这样一来，有机EL面板2在内部具有成为发光部的有机层4。
此外，有机EL面板2不限于图1A和图1B所示的类型，在有机层中能够使用通过堆积分别具备与RGB对应的发光部的像素而不具备滤光片层5的类型、使光经由TFT层3向外部射出的类型等各种类型。
在有机EL面板2的背面上，设置有将有机EL面板2的背面密封的背面密封板6。另外，在有机EL面板2的侧面部分，框状地设置有将有机EL面板2的侧面密封的侧面密封部件7。另外，在有机EL面板2的正面上，设置有将有机EL面板2的正面密封的正面密封板8。
背面密封板6和正面密封板8是透明且薄的部件，其材料例如为聚酰亚胺树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂等的透明树脂薄膜。由这样的透明树脂薄膜密封的有机EL组件1例如能够形成挠性的显示装置、或照明装置。另外，对于侧面密封部件7，作为其材料，也能够选择聚酰亚胺树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂等。
背面密封板6的外表面、侧面密封部件7的外表面和正面密封板8的外表面的各个由保护覆膜9覆盖。保护覆膜9的材料为能够透过光L的透明的材料，且，为了防止水分(H2O)、气体浸透到背面密封板6、侧面密封部件7和正面密封板8，能够选择对水分(H2O)、气体具有遮蔽功能的材料。
作为这样的材料的例子，能够列举金属氧化物膜。作为透明且对水分(H2O)、气体具有遮蔽功能的金属氧化物，能够适当例示氧化铝(Al2O3)膜。
图2是表示参考例所涉及的有机EL组件的剖面图。
如图2所示，参考例所涉及的有机EL组件50不具有保护覆膜9。有机EL面板2由背面密封板6、侧面密封部件7和正面密封板8覆盖，水分(H2O)、气体等被这些背面密封板6、侧面密封部件7和正面密封板8阻断。这样由聚酰亚胺树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂等的透明树脂薄膜构成的背面密封板6、侧面密封部件7和正面密封板8能够阻断水分(H2O)、气体等，但是这是暂时的。例如，水分(H2O)、气体缓慢地消耗时间浸透入背面密封板6、侧面密封部件7和正面密封板8的内部。浸透的水分(H2O)、气体最终到达有机EL面板2。水分(H2O)、气体到达有机EL面板2时，水分(H2O)、气体渗入有机EL面板2的内部，使有机层4劣化。有机层4劣化时，有机EL组件50已经够不能够期待正常的动作。
另外，水分(H2O)、气体并不仅仅浸透到背面密封板6、侧面密封部件7和正面密封板8的内部。在背面密封板6与侧面密封部件7、和正面密封板8与侧面密封部件7的接合部51存在接合较弱的部位时，水分(H2O)、气体从该接合弱的部位浸透。
相对于这样的参考例所涉及的有机EL组件50，一个实施方式所涉及的有机EL组件1中，背面密封板6的外表面、侧面密封部件7的外表面和正面密封板8的外表面的各个由透明且对水分(H2O)、气体具有遮蔽功能的保护覆膜9覆盖。因此，能够抑制水分(H2O)、气体向由透明树脂薄膜构成的背面密封板6、侧面密封部件7和正面密封板8的内部浸透。另外，保护覆膜9也覆盖背面密封板6与侧面密封部件7、和正面密封板8与侧面密封部件7的接合部51。因此，在接合部51例如存在接合弱的部位，也能够抑制水分(H2O)、气体从接合弱的部位浸透。
因此，根据一个实施方式所涉及的有机EL组件1，将背面密封板6的外表面、侧面密封部件7的外表面和正面密封板8的外表面的各个用透明且相对于水分(H2O)、气体具有遮蔽功能的保护覆膜9覆盖，进一步覆盖接合部51，由此，与没有保护覆膜9的组件相比，能够更可靠地抑制水分(H2O)、气体到达有机EL面板2。由此，能够获得寿命更长的有机EL组件。
＜制造装置＞
图3A是概略表示能够制造一个实施方式所涉及的有机EL组件1的制造装置的一个例子的剖面图，图3B是概略表示图3A所示的制造装置具备的内室的剖面图。
如图3A和图3B所示，制造装置30具有外室31。在外室31内具有：在该外室31的高度方向上重叠设置的、载置有机EL组件1的多个载置台101a、101b、…、101x、101y；和在这些载置台101a～101y每一个所设置的、将载置于载置台101a～101y的有机EL组件1罩住的多个罩102a、102b、…、102x、102y。通过组合多个载置台101a、101b、…、101x、101y和多个罩102a、102b、…、102x、102y，在外室31内构成多个内室(处理用小空间)。另外，在外室31形成有排气口32，外室31的内部经由排气口32排气。
在本例中，载置台101a～101y由无图示的固定单元固定于外室31，罩102a～102y在外室31内升降。外室31内设置有用于使罩102a～102y一并升降的、例如4个罩升降支柱103。罩102a～102y经由固定部104固定于这些罩升降支柱103。罩升降支柱103在外室31的高度方向上升降，由此罩102a～102y一并升降。
当使罩102a～102y从载置台101a～101y一并上升时，载置台101a～101y呈露在外室31的内部空间。由此，成为能够将有机EL组件1交接到载置台101a～101y的载置面105上的状态。交接时，打开设置于外室31的打开和关闭搬入出口33的门阀G。然后，载置有有机EL组件1的未图示的输送机构进入外室31内，经由支承销等将有机EL组件1交接到载置台101a～101y的载置面105上。
相反，使罩102a～102y一并向载置台101a～101y下降，使载置台101a～101y与罩102a～102y气密抵接时，形成分别包围在载置台101a～101y的载置面105上分别逐个载置的有机EL组件1、容量比外室31的内部空间小的处理用小空间106。
对处理用小空间106的内部经由未图示的气体供给机构的气体供给管111a～111c供给保护覆膜9的成膜处理中所使用的气体。例如，保护覆膜9为Al2O3膜时，作为金属前体气体，例如供给含三甲基铝的气体，作为氧化气体，例如供给臭氧气体，作为不活泼气体，例如供给氮气。
另外，制造装置30为批量式且交替反复进行金属前体气体的供给和排气、氧化气体的供给和排气的、设定ALD成膜的装置。因此，例如从气体供给管111a供给金属前体气体，从气体供给管111b供给清扫气体，从气体供给管111c供给氧化气体。这些气体从分别与气体供给管111a～111c连接的多个气体排出口117a～117c排出到处理用小空间106的内部。另外，处理用小空间106形成有排气口119，处理用小空间106的内部经由排气口119排气。
一个实施方式所涉及的有机EL组件1例如能够用图3A和图3B所示的制造装置进行制造。
＜制造方法＞
<第一例>
图4A～图4D是表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的制造方法的第一例的剖面图。
首先，将在内部具有成为发光部的有机层的有机EL面板2的背面、侧面和正面的各个用背面密封板6、侧面密封部件7和正面密封板8密封。
接着，将用背面密封板6、侧面密封部件7和正面密封板8将有机EL面板2密封而成的有机EL组件1搬入例如图3A和图3B所示的处理用小空间106内，如图4A所示，将被密封的有机EL面板2载置在载置台101上。接着，在处理用小空间106内进行保护覆膜9的成膜处理。本例中，例示作为保护覆膜9形成金属氧化物膜、例如Al2O3膜的例子。
首先，对处理用小空间106内排气并用不活泼气体进行清扫。接着，作为金属前体气体，例如，向处理用小空间106内供给含三甲基铝的气体。由此，在侧面密封部件7的外表面上和正面密封板8的外表面上形成薄的例如数原子层薄的铝薄膜。接着，停止供给含三甲基铝的气体，对处理用小空间106内排气并用不活泼气体进行清扫。
接着，作为氧化气体，例如，向处理用小空间106内供给臭氧气体。由此，铝薄膜被氧化。接着，停止供给臭氧气体，对处理用小空间106内排气并用不活泼气体进行清扫。
交替反复进行这样的金属前体气体的供给和排气、氧化气体的供给和排气，直至保护覆膜9的膜厚为设计的膜厚为止。这样操作，在侧面密封部件7的外表面上和正面密封板8的外表面上形成保护覆膜9(图4A)。在保护覆膜9的成膜处理中，通过交替供给金属前体气体和氧化气体，由此，成膜方法成为例如ALD法那样的成膜方法。
由ALD法得到的优点，与一次性供给反应气体形成保护覆膜9的CVD法相比，膜在成膜对象表面的凹凸如实地成长，因此，也能够覆盖微细的高低差和间隙。微细的间隙在有机EL组件1中例如能够发现于背面密封板6与侧面密封部件7、正面密封板8与侧面密封部件7的接合部51等。另外，微细的高低差能够发现于从有机EL面板2经由接合部51引出至侧面密封部件7的外侧的配线的周边部等。当采用ALD法时，即使存在形成微细的高低差和间隙的接合部51，也能够可靠地形成保护覆膜9。
但是，保护覆膜9的成膜处理可以在该阶段中结束，但是在第一例中，以使背面密封板6在载置台101的载置面105上接触的状态进行保护覆膜9的成膜处理。因此，如图4B所示，保护覆膜9不形成在背面密封板6的外表面上。在背面密封板6由聚酰亚胺树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂等的透明树脂薄膜构成的情况下，水分(H2O)、气体的浸透成为问题。在想要解决这样的问题的情况下，可以如下所述进行操作。
将形成有保护覆膜9的有机EL组件1取出到处理用小空间106之外，如图5所示，将形成有保护覆膜9的有机EL组件1翻转。例如，使有机EL组件1沿水平方向的轴X旋转180°。
接着，将翻转后的有机EL组件1再次搬入处理用小空间106内，如图4C所示，将形成有保护覆膜9的有机EL组件1载置在载置台101上。接着，在处理用小空间106内，如上所述，交替反复进行金属前体气体的供给和排气、氧化气体的供给和排气，直至保护覆膜9的膜厚为设计的膜厚为止。如上所述，再次进行保护覆膜9的成膜处理。
如上所述，通过对翻转后的有机EL组件1再次进行保护覆膜9的成膜处理，如图4D所示，有机EL组件1能够使背面密封板6的外表面、侧面密封部件7的外表面和正面密封板8的外表面的各个由保护覆膜9覆盖。
<第二例>
图6A～图6D是表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的制造方法的第二例的剖面图。
首先，与第一例同样，将在内部具有成为发光部的有机层的有机EL面板2的背面、侧面和正面的各个用背面密封板6、侧面密封部件7和正面密封板8密封。
接着，将用背面密封板6、侧面密封部件7和正面密封板8将有机EL面板2密封而成的有机EL组件1搬入例如图3A和图3B所示的处理用小空间106内，如图6A所示，在载置台101上用支承销107支承有机EL组件1，以从载置台101的载置面105浮起的状态保持。接着，以使有机EL组件1从载置台101的载置面105浮起的状态，在处理用小空间106内，进行与第一例同样的保护覆膜9的成膜处理。
在第二例中，以使有机EL组件1从载置台101的载置面105浮起的状态进行保护覆膜9的成膜处理，因此，如图6B所示，能够获得在背面密封板6的外表面上也能够形成保护覆膜9的优点。
此外，在第二例中，能够获得在背面密封板6的外表面上也能够形成保护覆膜9的优点，但是，有时在背面密封板6和支承销107的接触部产生接触痕108。即使存在接触痕108也没有问题的话，在该状态下可以结束保护覆膜9的成膜处理。
但是，在想要消除接触痕108的情况下，可以如下所述进行操作。
将形成有保护覆膜9的有机EL组件1取出到处理用小空间106之外，如图7所示，使形成有保护覆膜9的有机EL组件1水平旋转。例如，使有机EL组件1沿垂直方向上的轴Z旋转180°。
接着，将水平旋转后的有机EL组件1再次搬入处理用小空间106内，如图6C所示，将形成有保护覆膜9的有机EL组件1载置在载置台101上，用支承销107再次支承，以从载置台101的载置面105浮起的状态保持。此时，以支承销107的支承位置与前一次的支承位置不同的方式支承。因此，例如当使支承销107的列107a的中心PC从有机EL组件1的中心MC错开配置时，水平旋转180°时，支承销107的支承位置能够与前一次的支承位置不同。接着，在处理用小空间106内，与第一例同样，交替反复进行金属前体气体的供给和排气、氧化气体的供给和排气，直至保护覆膜9的膜厚为设计的膜厚为止，再次形成保护覆膜9。
如上所述，通过对水平旋转后的有机EL组件1再次进行保护覆膜9的成膜处理，如图6D所示，能够通过再次形成的保护覆膜9覆盖背面密封板6的外表面所产生的接触痕108，能够消除接触痕108。
<第三例>
图8A～图8B是表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的制造方法的第三例的剖面图。
首先，与第一例同样，将在内部具有成为发光部的有机层的有机EL面板2的背面、侧面和正面的各个用背面密封板6、侧面密封部件7和正面密封板8密封。
接着，将用背面密封板6、侧面密封部件7和正面密封板8将有机EL面板2密封而成的有机EL组件1搬入例如图3A和图3B所示的处理用小空间106内，如图8A所示，在载置台101上用支承销107支承有机EL组件1，以从载置台101的载置面105浮起的状态保持。此时，在第三例中，在载置台101上用支承销107支承比侧面密封部件7更靠外侧的部分。接着，以使有机EL组件1从载置台101的载置面105浮起、且用支承销107支承比侧面密封部件7更靠外侧的部分的状态，在处理用小空间106内，进行与第一例同样的保护覆膜9的成膜处理。
在第三例中，使有机EL组件1从载置台101的载置面105浮起、且用支承销107支承比侧面密封部件7更靠外侧的部，因此，如图8B所示，能够使在背面密封板6的外表面产生的接触痕108产生于比侧面密封部件7更靠外侧的部分。当位于比侧面密封部件7更靠外侧的部分时，水分(H2O)、气体对有机EL面板2的影响小。因此，能够获得以一次成膜处理能够在背面密封板6的外表面、侧面密封部件7的外表面和正面密封板8的外表面的各个上形成保护覆膜9的优点。
<第四例>
图9A～图9B是表示本发明的一个实施方式所涉及的有机EL组件的制造方法的第四例的剖面图。
首先，与第一例同样，将在内部具有成为发光部的有机层的有机EL面板2的背面、侧面和正面的各个用背面密封板6、侧面密封部件7和正面密封板8密封。
接着，将用背面密封板6、侧面密封部件7和正面密封板8将有机EL面板2密封而成的有机EL组件1搬入例如图3A和图3B所示的处理用小空间106内，如图9A所示，将有机EL组件1载置在载置台101上。在第四例中，在载置台101的载置面105形成有凹部109。因此，在有机EL组件1的背面密封板6和载置面105之间产生空间110。在空间110中流动保护覆膜9的成膜中所使用的成膜气体(金属前体气体、氧化气体、不活泼气体)。因此，能够以成膜气体分别与背面密封板6的外表面、侧面密封部件7的外表面和正面密封板8的外表面接触的状态，进行保护覆膜9的成膜处理。
在第四例中，在有机EL组件1的背面密封板6和载置面105之间产生成膜气体流动的空间，因此，如图9B所示，能够获得以一次成膜处理能够在背面密封板6的外表面、侧面密封部件7的外表面和正面密封板8的外表面的各个上形成保护覆膜9的优点。
另外，在第四例中，也在背面密封板6的外表面产生接触痕108。但是，与第三例一样，用凹部109外侧的载置面105的部分支承有机EL组件1的边缘，使得接触痕108产生于比侧面密封部件7更靠外侧的部分时，能够使接触痕108产生于水分(H2O)、气体对有机EL面板2的影响小的部位。
此外，在第四例中，在载置面105形成凹部109，在有机EL组件1的背面密封板6和载置面105之间产生成膜气体流动的空间，但是也能够在载置面105上设置支承有机EL组件1的边缘的凸部。
以上，根据一个实施方式对本发明进行了说明，但是本发明不限于上述一个实施方式。另外，对于本发明的实施方式而言，上述一个实施方式并不是唯一的。
例如，在上述一个实施方式中，背面密封板6、正面密封板8的双方使用聚酰亚胺树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂等的透明树脂薄膜，但是，例如，如图10所示，也可以背面密封板6和正面密封板8中的至少一个为透明树脂薄膜。图10表示由比透明树脂薄膜厚的玻璃基板构成背面密封板6的例子。
在图10所示的情况下，保护覆膜9可以形成在背面密封板6的外表面、侧面密封部件7的外表面和正面密封板8的外表面的各个上，但是如图11所示，也能够在背面密封板6之上不形成保护覆膜9，而在由透明树脂薄膜构成的正面密封板8的外表面和侧面密封部件7的外表面之上成膜。
另外，在将有机EL组件1用作例如便携电话、便携终端、数码相机的显示装置的情况下，有机EL组件1的尺寸为较小的尺寸。因此，在形成保护覆膜9时，也能够在一个载置台101之上载置多个有机EL组件1，对多个有机EL组件1一次形成保护覆膜9。图12表示如上所述在一个载置台101之上载置多个有机EL组件1的变形例。
图12所示的变形例为使上述制造方法的第四例变形而得到的例子。如图12所示，在一个载置台101之上形成多个凹部109，在多个凹部109的上方分别载置有机EL组件1。以这样的状态形成保护覆膜9，由此，能够通过一次成膜处理分别对多个有机EL组件1形成保护覆膜9。另外，本发明能够在不脱离其主旨的范围内进行各种变形。
符号说明
1：有机EL组件
2：有机EL面板
3：TFT层
4：有机层
5：滤光片层
6：背面密封板
7：侧面密封部件
8：正面密封板
9：保护覆膜

Claims (15)

1.一种有机EL组件，其特征在于，包括：
在内部具有成为发光部的有机层的有机EL面板；
设置在所述有机EL面板的背面上、将所述有机EL面板的背面密封的背面密封板；
设置在所述有机EL面板的侧面、将所述有机EL面板的侧面的密封侧面密封部件；
设置在所述有机EL面板的正面上、将所述有机EL面板的正面密封的正面密封板；和
覆盖所述背面密封板和/或所述正面密封板的外表面以及所述侧面密封部件的外表面的、透明的保护覆膜。
2.如权利要求1所述的有机EL组件，其特征在于：
所述背面密封板和所述正面密封板中的至少一个为透明树脂薄膜时，所述保护覆膜覆盖由所述透明树脂薄膜构成的所述背面密封板和/或所述正面密封板的外表面以及所述侧面密封部件的外表面。
3.如权利要求1或2所述的有机EL组件，其特征在于：
所述保护覆膜为金属氧化物膜。
4.如权利要求3所述的有机EL组件，其特征在于：
所述金属氧化物膜为氧化铝膜。
5.一种有机EL组件的制造方法，其特征在于，包括：
用背面密封板、侧面密封部件和正面密封板将在内部具有成为发光部的有机层的有机EL面板的背面、侧面和正面的各个密封的工序；和
用透明的保护覆膜覆盖所述背面密封板和/或所述正面密封板的外表面以及所述侧面密封部件的外表面的工序。
6.如权利要求5所述的有机EL组件的制造方法，其特征在于：
所述背面密封板和所述正面密封板中的至少一个为透明树脂薄膜时，覆盖所述保护覆膜的工序为覆盖由所述透明树脂薄膜构成的所述背面密封板和/或所述正面密封板的外表面以及所述侧面密封部件的外表面的工序。
7.如权利要求5或6所述的有机EL组件的制造方法，其特征在于：
所述保护覆膜为金属氧化物膜时，所述金属氧化物膜通过交替反复进行金属前体气体的供给和排气、氧化气体的供给和排气，形成在所述背面密封板和/或所述正面密封板的外表面上、以及所述侧面密封部件的外表面上。
8.如权利要求5～7中任一项所述的有机EL组件的制造方法，其特征在于：
所述保护覆膜经由以下工序形成：
将由所述背面密封板、所述侧面密封部件和所述正面密封板密封的所述有机EL面板收纳在实施所述保护覆膜的成膜处理的处理室中，并载置到配置在所述处理室内的载置台上的工序；
在载置于所述载置台上的所述被密封的有机EL面板上形成保护覆膜的工序；
在形成所述保护覆膜后，将所述被密封的有机EL面板翻转，再载置在所述载置台上的工序；和
在再载置在所述载置台上的所述被密封的有机EL面板上再次形成所述保护覆膜的工序。
9.如权利要求5～7中任一项所述的有机EL组件的制造方法，其特征在于：
所述保护覆膜经由以下工序形成：
将由所述背面密封板、所述侧面密封部件和所述正面密封板密封的所述有机EL面板收纳在实施所述保护覆膜的成膜处理的处理室中，由支承销支承于配置在所述处理室内的载置台上，以从所述载置台浮起的状态保持的工序；和
在以在所述载置台上浮起的状态保持的所述被密封的有机EL面板上形成保护覆膜的工序。
10.如权利要求9所述的有机EL组件的制造方法，其特征在于：
在形成所述保护覆膜后，使所述被密封的有机EL面板水平旋转，通过所述支承销以使支承位置与前一次的支承位置不同的方式支承在所述载置台上，以从所述载置台浮起的状态再保持的工序；和
在以在所述载置台上浮起的状态再保持的有机EL面板上再次形成所述保护覆膜的工序。
11.如权利要求5～7中任一项所述的有机EL组件的制造方法，其特征在于：
所述保护覆膜经由以下工序形成：
将由所述背面密封板、所述侧面密封部件和所述正面密封板密封的所述有机EL面板收纳在实施所述保护覆膜的成膜处理的处理室中，在配置于所述处理室内的载置台上通过支承销支承比所述侧面密封部件更靠外侧的部分，以从所述载置台浮起的状态保持的工序；和
在以在所述载置台上浮起的状态保持的所述被密封的有机EL面板上形成保护覆膜的工序。
12.如权利要求5～7中任一项所述的有机EL组件的制造方法，其特征在于：
所述保护覆膜经由以下工序形成：
将由所述背面密封板、所述侧面密封部件和所述正面密封板密封的所述有机EL面板收纳在实施所述保护覆膜的成膜处理的处理室中，并载置于配置在所述处理室内的载置台上的工序；和
在载置在所述载置台上的所述被密封的有机EL面板上形成保护覆膜的工序。
13.如权利要求12所述的有机EL组件的制造方法，其特征在于：
在所述载置台的载置面具有流动所述保护覆膜的成膜中所使用的成膜气体的凹部、或对所述被密封的有机EL面板的边缘进行支承的凸部，
形成所述保护覆膜的工序以在所述被密封的有机EL面板和所述载置面之间产生空间、所述成膜气体与所述背面密封板的外表面、所述侧面密封部件的外表面和所述正面密封板的外表面分别接触的状态进行。
14.如权利要求13所述的有机EL组件的制造方法，其特征在于：
所述凹部外侧的所述载置面的部分或凸部对所述被密封的有机EL面板的边缘进行支承。
15.如权利要求14所述的有机EL组件的制造方法，其特征在于：
所述被支承的有机EL面板的边缘位于所述侧面密封部件的外侧。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108735914A (zh) * 2018-05-30 2018-11-02 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 Oled显示器封装结构
CN109004014A (zh) * 2018-08-08 2018-12-14 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板、显示装置以及显示面板的封装方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI650889B (zh) * 2016-07-22 2019-02-11 南韓商Ｎｃｄ股份有限公司 在ｏｌｅｄ上形成無機薄層的方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000208250A (ja) * 1999-01-08 2000-07-28 Kawaguchiko Seimitsu Co Ltd エレクトロルミネッセンス
CN1433067A (zh) * 2002-01-16 2003-07-30 翰立光电股份有限公司 显示元件的封装构造
CN1499909A (zh) * 2002-10-29 2004-05-26 Lg.������Lcd��ʽ���� 双面板型有机电致发光显示装置及其制造方法
JP2008123780A (ja) * 2006-11-10 2008-05-29 Kuraray Luminas Co Ltd 分散型無機エレクトロルミネッセンス素子およびこれを備える照明装置
CN101859792A (zh) * 2009-02-26 2010-10-13 三星移动显示器株式会社 有机发光二极管显示器及其制造方法
CN102450098A (zh) * 2009-06-11 2012-05-09 夏普株式会社 有机el显示装置及其制造方法
CN102709480A (zh) * 2011-11-25 2012-10-03 京东方科技集团股份有限公司 有机电致发光器件及显示器

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6605826B2 (en) * 2000-08-18 2003-08-12 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light-emitting device and display device
JP2007516347A (ja) * 2003-05-16 2007-06-21 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー 原子層蒸着によって製造されたプラスチック基板用のバリアフィルム
JP2009181865A (ja) * 2008-01-31 2009-08-13 Toshiba Mobile Display Co Ltd 表示装置
JP2011195900A (ja) * 2010-03-19 2011-10-06 Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd 原子層堆積方法および原子層堆積装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000208250A (ja) * 1999-01-08 2000-07-28 Kawaguchiko Seimitsu Co Ltd エレクトロルミネッセンス
CN1433067A (zh) * 2002-01-16 2003-07-30 翰立光电股份有限公司 显示元件的封装构造
CN1499909A (zh) * 2002-10-29 2004-05-26 Lg.������Lcd��ʽ���� 双面板型有机电致发光显示装置及其制造方法
JP2008123780A (ja) * 2006-11-10 2008-05-29 Kuraray Luminas Co Ltd 分散型無機エレクトロルミネッセンス素子およびこれを備える照明装置
CN101859792A (zh) * 2009-02-26 2010-10-13 三星移动显示器株式会社 有机发光二极管显示器及其制造方法
CN102450098A (zh) * 2009-06-11 2012-05-09 夏普株式会社 有机el显示装置及其制造方法
CN102709480A (zh) * 2011-11-25 2012-10-03 京东方科技集团股份有限公司 有机电致发光器件及显示器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108735914A (zh) * 2018-05-30 2018-11-02 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 Oled显示器封装结构
CN109004014A (zh) * 2018-08-08 2018-12-14 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板、显示装置以及显示面板的封装方法

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