JP2015115185A - 有機elモジュールおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1Aは本発明の一実施形態に係る有機ELモジュールの一例を概略的に示す斜視図、図1Bは図1A中の1B−1B線に沿う断面図である。
図2に示すように、参考例に係る有機ELモジュール50は、保護被膜9を備えていない。有機ELパネル2は、裏面封止板6、側面封止部材7、および表面封止板8によって覆われており、水分(H2O)や気体などは、これら裏面封止板6、側面封止部材7、および表面封止板8によってブロックされる。このようにポリイミド樹脂や、ポリエチレンナフタレート樹脂などの透明樹脂フィルムから構成された裏面封止板6、側面封止部材7、および表面封止板8は、水分(H2O)や気体などをブロックすることができるが、これは一時的なものである。例えば、水分(H2O)や気体は、ゆっくりと時間をかけて裏面封止板6、側面封止部材7、および表面封止板8の内部に浸透していく。浸透した水分(H2O)や気体は、やがて有機ELパネル2に達する。水分(H2O)や気体が有機ELパネル2に達すると、水分(H2O)や気体が有機ELパネル2の内部に滲入し、有機層4を劣化させてしまう。有機層4が劣化すると、有機ELモジュール50には、もはや正常な動作を期待することができなくなってしまう。
図3Aは一実施形態に係る有機ELモジュール1を製造することが可能な製造装置の一例を概略的に示す断面図、図3Bは図3Aに示す製造装置が備えるインナーチャンバを概略的に示す断面図である。
<第1例>
図4A〜図4Dは、本発明の一実施形態に係る有機ELモジュールの製造方法の第1例を示す断面図である。
図6A〜図6Dは、本発明の一実施形態に係る有機ELモジュールの製造方法の第2例を示す断面図である。
図8A〜図8Bは、本発明の一実施形態に係る有機ELモジュールの製造方法の第3例を示す断面図である。
図9A〜図9Bは、本発明の一実施形態に係る有機ELモジュールの製造方法の第4例を示す断面図である。
2;有機ELパネル
3;TFT層
4;有機層
5;フィルタ層
6;裏面封止板
7;側面封止部材
8;表面封止板
9;保護被膜
Claims (15)
- 内部に発光部となる有機層を有した有機ELパネルと、
前記有機ELパネルの裏面上に設けられ、前記有機ELパネルの裏面を封止する裏面封止板と、
前記有機ELパネルの側面に設けられ、前記有機ELパネルの側面を封止する側面封止部材と、
前記有機ELパネルの表面上に設けられ、前記有機ELパネルの表面を封止する表面封止板と、
前記裏面封止板および/又は前記表面封止板の外表面と、前記側面封止部材の外表面とを覆う、透明な保護被膜と
を具備することを特徴とする有機ELモジュール。 - 前記裏面封止板および前記表面封止板の少なくとも一方が透明樹脂フィルムであるとき、
前記保護被膜は、前記透明樹脂フィルムである前記裏面封止板および/又は前記表面封止板の外表面と、前記側面封止部材の外表面とを覆うことを特徴とする請求項1に記載の有機ELモジュール。 - 前記保護被膜は、金属酸化物膜であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の有機ELモジュール。
- 前記金属酸化物膜は、アルミナ膜であることを特徴とする請求項3に記載の有機ELモジュール。
- 内部に発光部となる有機層を有した有機ELパネルの裏面、側面、および表面のそれぞれを、裏面封止板、側面封止部材、および表面封止板にて封止する工程と、
前記裏面封止板および/又は前記表面封止板の外表面と、前記側面封止部材の外表面とを、透明な保護被膜で覆う工程と、
を具備することを特徴とする有機ELモジュールの製造方法。 - 前記裏面封止板および前記表面封止板の少なくとも一方が透明樹脂フィルムであるとき、
前記保護被膜を覆う工程は、前記透明樹脂フィルムである前記裏面封止板および/又は前記表面封止板の外表面と、前記側面封止部材の外表面とを覆う工程であることを特徴とする請求項5に記載の有機ELモジュールの製造方法。 - 前記保護被膜が金属酸化物膜であるとき、
前記金属酸化物膜は、金属プリカーサガスの供給と排気、酸化ガスの供給と排気とを交互に繰り返して、前記裏面封止板および/又は前記表面封止板の外表面上、および前記側面封止部材の外表面上に成膜されることを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の有機ELモジュールの製造方法。 - 前記保護被膜は、
前記裏面封止板、前記側面封止部材、および前記表面封止板にて封止された前記有機ELパネルを、前記保護被膜の成膜処理を施す処理室に収容し、前記処理室内に配置されている載置台上に載置する工程と、
前記載置台上に載置されている前記封止された有機ELパネル上に、保護被膜を成膜する工程と、
前記保護被膜を成膜した後、前記封止された有機ELパネルを裏返して、前記載置台上に再載置する工程と、
前記載置台上に再載置されている前記封止された有機ELパネル上に、再度、前記保護被膜を成膜する工程と
を経て形成されることを特徴とする請求項5から請求項7のいずれか一項に記載の有機ELモジュールの製造方法。 - 前記保護被膜は、
前記裏面封止板、前記側面封止部材、および前記表面封止板にて封止された前記有機ELパネルを、前記保護被膜の成膜処理を施す処理室に収容し、前記処理室内に配置されている載置台上に支持ピンにて支持し、前記載置台から浮かせた状態で保持する工程と、
前記載置台上に浮かせた状態で保持されている前記封止された有機ELパネル上に、保護被膜を成膜する工程と
を経て形成されることを特徴とする請求項5から請求項7のいずれか一項に記載の有機ELモジュールの製造方法。 - 前記保護被膜を成膜した後、前記封止された有機ELパネルを水平回転させ、前記載置台上に前記支持ピンにて、支持位置を前回の支持位置から変えて支持し、前記載置台から浮かせた状態で再保持する工程と、
前記載置台上に浮かせた状態で再保持されている有機ELパネル上に、再度、前記保護被膜を成膜する工程と
を経て形成されることを特徴とする請求項9に記載の有機ELモジュールの製造方法。 - 前記保護被膜は、
前記裏面封止板、前記側面封止部材、および前記表面封止板にて封止された前記有機ELパネルを、前記保護被膜の成膜処理を施す処理室に収容し、前記処理室内に配置されている載置台上に支持ピンにて前記側面封止部材よりも外側の部分を支持し、前記載置台から浮かせた状態で保持する工程と、
前記載置台上に浮かせた状態で保持されている前記封止された有機ELパネル上に、保護被膜を成膜する工程と
を経て形成されることを特徴とする請求項5から請求項7のいずれか一項に記載の有機ELモジュールの製造方法。 - 前記保護被膜は、
前記裏面封止板、前記側面封止部材、および前記表面封止板にて封止された前記有機ELパネルを、前記保護被膜の成膜処理を施す処理室に収容し、前記処理室内に配置されている載置台上に載置する工程と、
前記載置台上に載置されている前記封止された有機ELパネル上に、保護被膜を成膜する工程と
を経て形成されることを特徴とする請求項5から請求項7のいずれか一項に記載の有機ELモジュールの製造方法。 - 前記載置台の載置面には、前記保護被膜の成膜に使用される成膜ガスが流れる凹部、又は前記封止された有機ELパネルの縁を支持する凸部があり、
前記保護被膜を成膜する工程は、前記封止された有機ELパネルと前記載置面との間に空間を生じさせ、前記成膜ガスが、前記裏面封止板の外表面、前記側面封止部材の外表面、および前記表面封止板の外表面のそれぞれに接する状態にて行うことを特徴とする請求項12に記載の有機ELモジュールの製造方法。 - 前記凹部外側の前記載置面の部分、又は凸部は、前記封止された有機ELパネルの縁を支持することを特徴とする請求項13に記載の有機ELモジュールの製造方法。
- 前記支持される有機ELパネルの縁は、前記側面封止部材の外側にあることを特徴とする請求項14に記載の有機ELモジュールの製造方法。
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