CN103069173B - 真空泵 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种真空泵。该真空泵（1）包括：转子（30），其形成有旋转侧排气功能部（32）；电机（36），其用于驱动转子（30）使该转子（30）相对于固定侧排气功能部（22）进行旋转；以及筒状的泵壳（2），其由磁性材料形成，且在该泵壳（2）的内部配置有转子（30）和固定侧排气功能部（22）。

Description

真空泵

技术领域

本发明涉及一种具有高速旋转的转子的真空泵，该真空泵是一种适于在磁场中使用的真空泵。

背景技术

在涡轮分子泵中，通过使形成有涡轮叶片的转子相对于固定侧的涡轮叶片进行高速旋转来排出气体。上述固定侧涡轮叶片及转子配置在形成有进气口凸缘的泵壳内（例如，参照专利文献1）。

专利文献1：日本特开2008－038844号公报

在涡轮分子泵的泵壳的材料方面，考虑到排出腐蚀性气体时的耐腐蚀性以及转子断裂时的安全性等，一般使用有在耐腐蚀性及拉伸强度方面优异的奥氏体类不锈钢（例如，SUS304）。然而，在磁场中使用涡轮分子泵的情况下，由于奥氏体类不锈钢为非磁性材料，因此磁力线透过泵壳并在进行高速旋转的转子上产生涡流，从而有可能因焦耳热使转子温度变得过高，导致由铝合金形成的转子的蠕变断裂。

发明内容

根据本发明的第1技术方案，真空泵包括：转子，其形成有旋转侧排气功能部；电机，其用于驱动转子使转子相对于固定侧排气功能部进行旋转；以及筒状的泵壳，其由磁性材料形成，且在该泵壳的内部配置有转子和固定侧排气功能部。

根据本发明的第2技术方案，在第1技术方案的真空泵中，优选的是，旋转侧排气功能部具有多个旋转侧涡轮叶片层和圆筒状的牵引泵旋转部，该多个旋转侧涡轮叶片层配置于泵壳的内侧空间，该圆筒状的牵引泵旋转部设置于旋转侧涡轮叶片层的下游侧并配置为脱离内侧空间；固定侧排气功能部具有多个固定侧涡轮叶片层和圆筒状的牵引泵固定部，该圆筒状的牵引泵固定部以与上述牵引泵旋转部的外周隔着间隙围绕牵引泵旋转部的外周侧的方式配置，并且该圆筒状的牵引泵固定部由磁性材料形成。

根据本发明的第3技术方案，在第1或第2技术方案的真空泵中，优选的是，该真空泵包括：磁轴承装置，其具有在轴向上支承转子的推力磁轴承及在径向上支承转子的径向轴承；泵基座部，在该泵基座部上设置磁轴承装置，且该泵基座部由非磁性材料形成；轴向传感器，其用于检测转子的轴向位置；径向传感器，其用于检测转子的径向位置；第1磁屏蔽构件，其由磁性材料形成，该第1磁屏蔽构件设于泵壳的进气口而用于减少外部磁场经由进气口进入泵内；以及第2磁屏蔽构件，其由磁性材料形成，该第2磁屏蔽构件设于泵基座部而用于减少外部磁场对磁轴承装置的影响。

根据本发明的第4技术方案，在第3技术方案的真空泵中，优选的是，第2磁屏蔽构件构成至少容纳轴向传感器的真空容器。

根据本发明的第5技术方案，在第4技术方案的真空泵中，优选的是，该真空泵包括由磁性材料形成的第3磁屏蔽构件，该第3磁屏蔽构件以覆盖由非磁性材料形成的泵基座部的外周的方式从第2磁屏蔽构件向泵壳的方向延伸。

根据本发明的第6技术方案，在第5技术方案的真空泵中，优选的是，该真空泵将第2磁屏蔽构件和第3磁屏蔽构件一体地形成。

根据本发明的第7技术方案，在第3至第6中的任一个技术方案的真空泵中，优选的是，磁屏蔽构件具有圆板部和支承梁，该支承梁将圆板部支承在进气口的中央。

根据本发明的第8技术方案，在第7技术方案的真空泵中，优选的是，转子具有作为旋转侧排气功能部的多个涡轮叶片，将圆板部的外径D设定为径向传感器的外径Ds以上且为通过形成在转子的周向上的多个涡轮叶片的各叶片根部的圆的直径Dri以下。

根据本发明的第9技术方案，在第1至第8中的任一个技术方案的真空泵中，优选的是，该真空泵还包括螺栓固定在泵壳的进气口且用于防止异物向泵内进入的保护网，在泵壳上形成有螺栓固定用的贯通的螺纹孔。

根据本发明的第10技术方案，在第3至第6中的任一个技术方案的真空泵中，优选的是，第1磁屏蔽构件设于泵壳的进气口而兼用作防止异物向泵内进入的保护网。

根据本发明的第11技术方案，在第1至第10中的任一个技术方案的真空泵中，优选的是，作为磁性材料使用碳素钢或者合金钢。

根据本发明的第12技术方案，在第11技术方案的真空泵中，优选的是，泵壳由作为碳素钢的S45C形成。

根据本发明的第13技术方案，在第11或第12技术方案的真空泵中，优选的是，在磁性材料的表面上实施有包含Ni－P电镀处理的耐腐蚀处理。

根据本发明，能够防止因涡流而导致的转子过热等，提高对外部磁场的稳定性。

附图说明

图1是构成涡轮分子泵的泵主体1的剖视图。

图2是示意性地表示在外部磁场中配置了泵主体1时的磁力线的情况的图。

图3是表示代表性的磁性材料的拉伸强度的图。

图4是表示机械结构用合金钢的拉伸强度的图。

图5是表示机械结构用碳素钢的拉伸强度的图。

图6是表示保护网固定用螺纹孔200的图。

图7是表示围绕涡轮泵部及牵引泵部这两部分的泵壳2的图。

图8是表示第2实施方式的图。

图9是沿图8的箭头A观察到的图。

图10是说明推力盖40、41及磁屏蔽构件42的作用的图。

图11是表示第2实施方式的变形例的图。

图12是表示磁屏蔽构件42的变形例的图。

具体实施方式

以下，参照附图说明用于实施本发明的方式。

第1实施方式

图1是表示本发明的真空泵的一实施方式的图，该图1是构成涡轮分子泵的泵主体1的剖视图。涡轮分子泵由图1所示的泵主体1和未图示的控制单元构成。

图1所示的涡轮分子泵为磁悬浮式的涡轮分子泵，该涡轮分子泵的转子30被径向的磁轴承37及推力方向的磁轴承38以非接触的方式支承。转子30的悬浮位置由径向移位传感器27及轴向移位传感器28检测。利用磁轴承以旋转自如的方式磁悬浮的转子30被电机36驱动而进行高速旋转。附图标记26、29是紧急用的机械轴承，在磁轴承未工作时由上述机械轴承26、29来支承转子30。

本实施方式所述的涡轮分子泵作为排气功能部包括有涡轮泵部和牵引泵部。涡轮泵部由形成在转子30上的多层旋转叶片32和以与多层旋转叶片32在轴向上交替的方式配置的多层固定叶片22构成。牵引泵部由形成在转子30的圆筒部31和以与圆筒部31的外周隔着预定间隙围绕圆筒部31的外周侧的方式配置的螺纹定子24构成。另外，旋转叶片32和圆筒部31构成旋转侧排气功能部，固定叶片22和螺纹定子24构成固定侧排气功能部。

转子30和固定叶片22配置在由磁性材料形成的筒状的泵壳2的内部。各固定叶片22借助隔离环23载置在基座20上。当利用螺栓将泵壳2的固定凸缘21c固定于基座20时，层叠的隔离环23被夹持在基座20与泵壳2之间，从而使固定叶片22被定位。在基座20上设有排气口25，在该排气口25上连接有逆向泵。通过使转子30磁悬浮，且利用电机36驱动使该转子30进行高速旋转，从而使进气口21a侧的气体分子向排气口25侧排出。

在泵壳2的进气口侧形成有进气口凸缘21b，气体分子从形成在该进气口凸缘21b上的进气口21a流入泵内。在将泵主体1安装于真空装置的情况下，通常是将进气口凸缘21b螺栓固定在装置侧的凸缘上。在进气口凸缘21b上形成有多个用于穿过螺栓的螺栓孔。螺栓孔的数量、孔径根据凸缘的规格而决定。此外，在进气口凸缘21b上螺栓固定有用于防止异物进入泵内的保护网8。

涡轮分子泵的转子通常使用有铝合金，但是在磁场环境下使用涡轮分子泵的情况下，会存在在磁场的影响下产生涡流的问题。图2是示意性地表示在外部磁场中配置了泵主体1时的磁力线的状况的图，该图2是表示图1的B－B截面的图。在图2中，（a）是表示以往的涡轮分子泵的情况，（b）是表示本实施方式的涡轮分子泵的情况。附图标记100所示的实线表示由外部磁场产生的磁力线。此外，附图标记R表示转子30的旋转方向。

在使用了涡轮分子泵的半导体制造装置、液晶面板制造装置等中，排出腐蚀性气体的情况较多。此外，为了防备高速旋转的转子30断裂的情况，在泵壳2的材料方面需要使用拉伸强度优异的材料。因此，在以往的涡轮分子泵中，作为耐腐蚀性优异且拉伸强度较大的材料使用有奥氏体类不锈钢，例如SUS304等。然而，由于奥氏体类不锈钢为非磁性材料，因此在磁场中使用涡轮分子泵的情况下，如图2的（a）所示，会导致在泵壳2内的配置有转子30的空间中也形成磁场。因此，存在有转子30在磁场中进行高速旋转时产生涡流，因该涡流所产生的焦耳热而使转子30的温度上升这一问题。

另一方面，在本实施方式所示的涡轮分子泵中，由于泵壳2是由导磁率较大的磁性材料所形成，因此磁力线集中在泵壳2上，从而使泵壳内的空间被泵壳2磁屏蔽。因此，转子30几乎不会受到外部磁场的影响，防止涡流的产生。

如上所述，在泵壳2上需要使用拉伸强度较大的材料，作为此处的指标，使用以往所使用的奥氏体类不锈钢（SUS304）的拉伸强度（约520MPa）。图3是表示代表性的磁性材料的拉伸强度的图，其中坡莫合金及机械结构用钢具有与SUS304的520MPa相同程度以上的拉伸强度。

图4表示机械结构用合金钢（JISG4053）的拉伸强度，图5表示机械结构用碳素钢（JISG4051）的拉伸强度。在图4所示的机械结构用合金钢的情况下，均具有700MPa以上的拉伸强度，超过了SUS304的拉伸强度（520MPa）。即，能够代替SUS304使用。此外，在图5所示的机械结构用碳素钢的情况下，在碳含量较多的S45C、S55C中，具有超过SUS304的拉伸强度。在选择与SUS304相同程度的材料的情况下，图5所示的S45C较适合。

此外，由于泵壳2被要求具有耐腐蚀性，因此在使用图4、图5所示的材料的情况下，需要在泵壳的表面上形成耐腐蚀性保护膜。作为耐腐蚀性保护膜，有镀镍等的电镀处理、电泳涂装等，但是在从耐腐蚀性的点考虑，优选的是镀镍处理。

但是，在涡轮分子泵中，为了防止异物向泵内的进入，通常会在进气口安装如图1所示的这种保护网8。图6是表示形成在泵壳2的进气口凸缘部分的保护网固定用螺纹孔200的图。如图1所示，在泵壳2的进气口21a上设置有防止异物吸入的保护网8，该保护网8被螺栓固定在进气口凸缘21b上。在进气口凸缘21b上形成有螺栓201所要螺纹接合的螺纹孔200。在本实施方式中，为了提高对该螺纹孔200的电镀的均等的电沉积性，螺纹孔200设为贯通的螺纹孔。

作为保护网固定用的螺栓201，为了增大进气口21a的开口面积，使用尽量小尺寸的螺栓，例如使用M3左右的螺栓。因此，在螺纹孔200并未贯通的情况下，越进入螺纹孔200的深处电镀厚度变得越薄，导致电镀有可能达不到螺纹孔200的底的部分。在这种情况下，由于即使螺合有螺栓201，有时腐蚀性气体也会绕进螺纹孔200的深处的空间中，因此有可能在泵壳2上产生锈。但是，通过设为如图6所示的贯通孔，能够防止这种不良情况的产生。此外，通过代替以往的SUS304使用碳素钢，能够更便宜地制作泵壳2。

另外，在图1所示的例子中，泵壳2以围绕涡轮泵部的外周的这种形式设置，但是如图7所示，也可以设为围绕涡轮泵部（22、32）及牵引泵部（24、31）这两部分的这种泵壳。能够进一步提高泵壳2对转子30的磁屏蔽效果。

此外，也可以将泵壳2的形状设为与图1相同的形状，由与泵壳2的情况相同的磁性材料形成螺纹定子24。由此，转子30的圆筒部31的部分将被螺纹定子24磁屏蔽。在该情况下，也是螺纹定子24由磁性材料形成并且在该螺纹定子24上形成镀镍等的耐腐蚀性保护膜。

第2实施方式

图8是表示本发明的第2实施方式的图。图8所示的涡轮分子泵其作为泵的基本结构与图1所示的泵相同，但是不同的是包括了由磁性材料形成的推力盖40、推力盖41以及磁屏蔽构件42的这一点。此外，在图8中详细表示了磁轴承的结构，该结构是与图1所示的泵的磁轴承相同的结构。

在第1实施方式所述的涡轮分子泵中，设为防止在径向的外部磁场作用的情况下在转子30的侧周部分（例如，圆筒部31）产生涡流的这种结构。然而，在轴向的外部磁场作用的情况下，有可能在转子30的旋转叶片32上产生涡流。此外，与因涡流所导致的发热不同，外部磁场对磁轴承控制的影响会成为问题。在第2实施方式中，设为不仅考虑了径向的外部磁场，还考虑了轴向的外部磁场的结构，从而欲进一步提高对外部磁场的稳定性。

泵壳2和螺纹定子24使用与第1实施方式相同的导磁率较大的磁性材料。在图8所示的涡轮分子泵中，构成推力方向上的磁轴承38的图示上侧的电磁体38a设置在基座20内，下侧的电磁体38b设置在固定于基座20的底部的推力盖40、41内。在推力盖40、41内还配置有与磁轴承38相对应地设置的轴向移位传感器28。如此，由磁性材料形成的推力盖40、41构成为容纳轴向移位传感器28和下侧的电磁体38b的磁屏蔽用的盒子。

图9是图8的沿箭头A观察到的图。在泵壳2的进气口凸缘21b上设有如图9所示的这种形状的磁屏蔽构件42。磁屏蔽构件42包括：圆板部42a，其配置在进气口21a的中央；环部42b，其固定在进气口凸缘21b上；以及连结部42c。连结部42c作为将圆板部42a支承在进气口21a的中央的梁发挥功能，并且还具有作为磁路将磁通从圆板部42a导向环部42b的功能。被圆板部42a、环部42b以及连结部42c围绕的4个开口部421成为实质上的泵开口。在此，将圆板部42a的直径尺寸设为D。

图10是说明推力盖40、41及磁屏蔽构件42的作为磁屏蔽作用的图。图10是表示对泵主体1施加轴向的外部磁场时的图。附图标记300所示的箭头线是表示磁通。由于从图示上方进入到进气口凸缘21b的磁通易于集中在导磁率较大的物体上，因此易于集中在由磁性材料形成的磁屏蔽构件42和泵壳2上。因此，磁通300的大部分穿过泵壳2通至基座20。当然，由于在磁屏蔽构件42上形成有开口部420，因此磁通的一部分将经由该开口部420进入到泵壳2内。

如此，由于磁屏蔽构件42也发挥作为磁屏蔽的作用，因此增大圆板部42a的直径D而缩小开口部421较好，但是另一方面，为了抑制作为真空泵的排气性能的降低，尽量增大开口部421较好。因此，在本实施方式中，从减少外部磁场对磁轴承的影响这一目的出发，将圆板部42a的直径D设为满足“Ds≤D≤Dri”的条件的结构。如图8所示，Ds为径向移位传感器27的外径尺寸，Dri为通过最上层的旋转叶片32的叶片根部部分的圆的直径。

条件“D≤Dri”是从抑制排气性能的降低的观点考虑而设定的。通过磁屏蔽构件42的开口部420流入泵壳2内的气体分子之中、入射到比旋转叶片32的叶片根部部分靠内周侧的气体分子在转子30的上表面被反射而前进至进气口侧。即，穿过进气口21a的中央部分流入的气体分子被泵排出的概率较低。因此，即使在进气口21a的中央部分配置妨碍气体分子的流入的圆板部42a，也能够较低地抑制对排气性能降低的影响。而且，优选的是，将圆板部42a的外径D设为叶片根部部分的直径尺寸Dri以下，以不妨碍通过进气口21a入射到比旋转叶片32的叶片根部部分靠外周侧的气体分子的流动。此外，从磁通的路径这一观点来看，增大连结部42c的截面积以使该磁通的路径不产生磁饱和较好，但是相反地，为了抑制排气性能的降低，优选的是，连结部42c的宽度尺寸W较小。

另外，在图9所示的磁屏蔽构件42中，设置了用于将磁屏蔽构件42安装于进气口凸缘21b的环部42b，但是也可以省略环部42b，将连结部42c固定在进气口凸缘21b上。

另一方面，条件“Ds≤D”是为了减少外部磁场对磁轴承控制的影响而设定的。经由开口部420进入的磁通穿过由非磁性材料（例如铝）形成的转子30到达磁轴承部分。因此，为了抑制该影响，将圆板部42a的外径D设定为径向移位传感器27的外径Ds以上。通过这样的设定，来减少从进气口21a的中央部分进入到泵壳2内而到达磁轴承部分的磁通。

从泵壳2通至基座20的磁通300与以原状通过由铝材形成的基座20至下方相比，易于集中到由导磁率较大的磁性材料形成的螺纹定子24上。穿过了螺纹定子24的磁通300经由基座20穿过固定在基座下部的推力盖40、41通至泵外。因此，有关推力磁轴承38的零件被推力盖40、41磁屏蔽，从而难以受到外部磁场的影响。如此，推力盖40、41是作为屏蔽外部磁场所产生的影响的磁屏蔽构件发挥功能的构件，且不仅对轴向的外部磁场具有屏蔽效果，对径向的外部磁场也具有屏蔽效果。

另外，关于推力盖40，有可能成为电磁体38b的磁通的通道。一般来说，考虑到由于在电磁体38b的芯体上使用导磁率较大的纯铁等，因此推力盖40所产生的影响较小，但是选择磁性材料时还是需要注意。因此，优选的是，推力盖40的导磁率小于芯体的导磁率。

另外，在推力盖40、41及磁屏蔽构件42的情况下，由于并不需要如泵壳2的情况这样的特别的强度，因此能够从图4、图5所示的磁性材料中选择饱和磁通密度较大的材料。例如，若在碳素钢的情况下，碳含量越小饱和磁通密度也越大。因此，在图5所示的材料的情况下，磁屏蔽的效果是表的最上层所示的S10C最大，且越是下层，效果越小。此外，由于推力盖40、41及磁屏蔽构件42均配置在真空环境内，因此优选的是，实施Ni－P电镀、电泳涂装等的具有耐腐蚀性的表面处理。

图11是表示图8所示的涡轮分子泵的变形例的图。在该变形例中，在推力盖40上追加设置了由磁性材料形成的圆板40b和圆筒40c。推力盖40与圆板40b之间及圆板40b与圆筒40c之间可以由螺栓等连接，也可以一体地形成推力盖40、圆板40b以及圆筒40c。另外，在将圆板40b及圆筒40c与推力盖40独立设置的情况下，能够省略对圆板40b及圆筒40c的Ni－P电镀等的表面处理。

在图10所示的结构的情况下，使得将穿过了泵壳2的磁通经由螺纹定子24导向推力盖40。但是，在为了设计的方便不能够增大作为磁通的路径的螺纹定子24的截面积的情况下，根据外部磁场的强度有时会超过螺纹定子24的饱和磁通密度。在这种情况下，有可能会因漏磁而在邻近的转子30的圆筒部31产生涡流。

因此，在图11所示的变形例中，以从推力盖40向泵壳2的固定凸缘21c的方向延伸的方式设置有由磁性材料形成的圆板40b及圆筒40c。通过设为这种结构，从而使磁通从泵壳进入到圆筒部40c，并穿过圆板40b、推力盖40、41通至下方。在该情况下，螺纹定子24可以由磁性材料形成，也可以由非磁性材料形成。

另外，第2实施方式的磁屏蔽构件42是表示配置在进气口21a的磁屏蔽构件的一个例子，也可以是如图12所示的形状。在图12中，比图9所示的开口部421面积小的多个圆形开口422均匀地分布在进气口区域。也可以更缩小该圆形开口422的直径，使得该磁屏蔽构件42兼备以往的保护网的功能。

上述的各实施方式可以各自单独地或者组合使用。这是因为能够使各个实施方式中的效果单独或者增效发挥。例如，根据泵的使用环境，可以全部实施泵壳2、螺纹定子24、磁屏蔽构件42、推力盖40、41、圆板40a以及圆筒40b，也可以选择一部分来实施。

此外，本发明能够同样应用于仅有涡轮分子泵部的真空泵以及仅有牵引泵部的真空泵。

在上述中，说明了各种实施方式和变形例，但是本发明并不限定于这些内容。在本发明的技术主旨的范围内能够考虑到的其他技术方案也属于本发明的范围内。

作为引用文在此引用以下优先权基础申请的公开内容。

日本国特许申请2010年第177136号（2010年8月6日申请）

日本国特许申请2010年第232977号（2010年10月15日申请）

Claims (11)

1.一种真空泵，其中，该真空泵包括：

转子，其形成有多个旋转侧涡轮叶片层和设置于上述多个旋转侧涡轮叶片层的下游侧的圆筒状的牵引泵旋转部；

多个固定侧涡轮叶片层；

圆筒状的牵引泵固定部，其由磁性材料形成，且以与上述牵引泵旋转部的外周隔着间隙围绕上述牵引泵旋转部的外周侧的方式配置；

电机，其用于驱动上述转子使上述转子旋转；

筒状的泵壳，其由磁性材料形成，在其内侧空间配置有上述多个旋转侧涡轮叶片层和多个固定侧涡轮叶片层，并且在该泵壳的一端设有进气口；

磁轴承装置，其支承上述转子；

泵基座部，在该泵基座部上设置上述磁轴承装置，并且上述泵壳的另一端固定于该泵基座部，该泵基座部由非磁性材料形成；

第1磁屏蔽构件，其由磁性材料形成，该第1磁屏蔽构件设于上述进气口而用于减少磁通经由上述进气口进入泵内；以及

第2磁屏蔽构件，其由磁性材料形成，该第2磁屏蔽构件设于上述泵基座部的底部而用于减少外部磁场对上述磁轴承装置的影响，

相对于轴向外部磁场，形成穿过上述第1磁屏蔽构件、上述泵壳、上述牵引泵固定部以及上述第2磁屏蔽构件的磁路。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其中，

上述磁轴承装置包括具有在轴向上支承上述转子的推力磁轴承，上述推力磁轴承包括上侧电磁体和下侧电磁体，上述第2磁屏蔽构件构成容纳上述推力磁轴承的下侧电磁体的真空容器。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其中，

该真空泵包括由磁性材料形成的第3磁屏蔽构件，该第3磁屏蔽构件以覆盖由上述非磁性材料形成的泵基座部的外周的方式从上述第2磁屏蔽构件向上述泵壳的方向延伸。

4.根据权利要求3所述的真空泵，其中，

该真空泵将上述第2磁屏蔽构件和上述第3磁屏蔽构件一体地形成。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的真空泵，其中，

上述第1磁屏蔽构件具有圆板部和支承梁，该支承梁将上述圆板部支承在上述进气口的中央。

6.根据权利要求5所述的真空泵，其中，

该真空泵还包括径向传感器，将上述圆板部的外径D设定为上述径向传感器的外径Ds以上且为通过上述多个旋转侧涡轮叶片层的各叶片根部的圆的直径Dri以下。

7.根据权利要求1所述的真空泵，其中，

该真空泵还包括被螺栓固定在上述泵壳的上述进气口且用于防止异物向泵内进入的保护网；

在上述泵壳上形成有螺栓固定用的贯通的螺纹孔。

8.根据权利要求1至4中的任一项所述的真空泵，其中，

上述第1磁屏蔽构件设于上述泵壳的上述进气口而兼用作防止异物向泵内进入的保护网。

9.根据权利要求1所述的真空泵，其中，

作为上述磁性材料使用碳素钢或者合金钢。

10.根据权利要求9所述的真空泵，其中，

上述泵壳由作为碳素钢的S45C形成。

11.根据权利要求9或10所述的真空泵，其中，

在上述磁性材料的表面上实施有包含Ni－P电镀处理的耐腐蚀处理。