JPWO2012018111A1 - 真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第2の態様によると、第1の態様の真空ポンプにおいて、回転側排気機能部は、ポンプケーシングの内側空間に配置された複数の回転側タービン翼段と、回転側タービン翼段の下流側に設けられて内側空間から外れて配置された円筒状のドラッグポンプ回転部とを有し、固定側排気機能部は、複数の固定側タービン翼段と、ドラッグポンプ回転部の外周側を囲むように隙間を介して配置されるとともに磁性材料で形成された円筒状のドラッグポンプ固定部と、を有することが好ましい。
本発明の第3の態様によると、第1または第2の態様の真空ポンプにおいて、ロータの軸方向の支持を行うスラスト磁気軸受およびロータの径方向の支持を行うラジアル軸受を有する磁気軸受装置と、磁気軸受装置が設けられ、非磁性材料で形成されたポンプベース部と、ロータの軸方向位置を検出するアキシャルセンサと、ロータの径方向位置を検出するラジアルセンサと、磁性材料で形成され、ポンプケーシングの吸気口に設けられて吸気口を介した外部磁場のポンプ内への侵入を低減する第1の磁気遮蔽部材と、磁性材料で形成され、ポンプベース部に設けられて磁気軸受装置への外部磁場の影響を低減する第2の磁気遮蔽部材と、を備えることが好ましい。
本発明の第4の態様によると、第3の態様の真空ポンプにおいて、第2の磁気遮蔽部材は、少なくともアキシャルセンサが収容される真空容器を構成していることが好ましい。
本発明の第5の態様によると、第4の態様の真空ポンプにおいて、非磁性材料で形成されたポンプベース部の外周を覆うように第2の磁気遮蔽部材からポンプケーシングの方向に延在する、磁性材料で形成された第3の磁気遮蔽部材を備えることが好ましい。
本発明の第6の態様によると、第5の態様の真空ポンプにおいて、第2の磁気遮蔽部材と第3の磁気遮蔽部材とを一体に形成することが好ましい。
本発明の第7の態様によると、第3乃至第6のいずれかの態様の真空ポンプにおいて、磁気シールド部材は、円板部と、円板部を吸気口の中央に支持する支持梁とを有することが好ましい。
本発明の第8の態様によると、第7の態様の真空ポンプにおいて、ロータは回転側排気機能部として複数のタービン翼を有し、円板部の外径Dを、ラジアルセンサの外径Ds以上、かつ、ロータの周方向に形成された複数のタービン翼の各翼付け根を通る円の直径Dri以下に設定することが好ましい。
本発明の第9の態様によると、第1乃至第8のいずれかの態様の真空ポンプにおいて、ポンプケーシングの吸気口にボルト固定され、ポンプ内への異物侵入を防止する保護ネットをさらに備え、ポンプケーシングには、ボルト固定用の貫通したネジ孔が形成されていることが好ましい。
本発明の第10の態様によると、第3乃至第6のいずれかの態様の真空ポンプにおいて、第1の磁気遮蔽部材は、ポンプケーシングの吸気口に設けられてポンプ内への異物侵入を防止する保護ネットを兼用することが好ましい。
本発明の第11の態様によると、第1乃至第10のいずれかの態様の真空ポンプにおいて、磁性材料として炭素鋼または合金鋼を用いることが好ましい。
本発明の第12の態様によると、第11の態様の真空ポンプにおいて、ポンプケーシングを炭素鋼であるS45Cで形成することが好ましい。
本発明の第13の態様によると、第11または第12の態様の真空ポンプにおいて磁性材料の表面は、N−Pメッキ処理を含む耐食処理が施されていることが好ましい。
−第1の実施の形態−
図1は本発明に係る真空ポンプの一実施の形態を示す図であり、ターボ分子ポンプを構成するポンプ本体1の断面図である。ターボ分子ポンプは、図1に示すポンプ本体1と不図示のコントロールユニットとで構成される。
図8は、本発明の第2の実施の形態を示す図である。図8に示すターボ分子ポンプはポンプとしての基本構造は図1に示したポンプと同一であるが、磁性材料で形成されたスラストカバー40、スラストカバー41および磁気シールド部材42を備えた点が異なる。また、図8では磁気軸受の構成を詳細に示したが、その構造は図1に示すポンプの磁気軸受と同一のものである。
日本国特許出願2010年第177136号(2010年8月6日出願)
日本国特許出願2010年第232977号(2010年10月15日出願)
Claims (13)
- 回転側排気機能部が形成されたロータと、
固定側排気機能部に対して前記ロータを回転駆動するモータと、
磁性材料で形成され、前記ロータおよび前記固定側排気機能部が内部に配置される筒状のポンプケーシングと、を備えた真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記回転側排気機能部は、前記ポンプケーシングの内側空間に配置された複数の回転側タービン翼段と、前記回転側タービン翼段の下流側に設けられて前記内側空間から外れて配置された円筒状のドラッグポンプ回転部とを有し、
前記固定側排気機能部は、複数の固定側タービン翼段と、前記ドラッグポンプ回転部の外周側を囲むように隙間を介して配置されるとともに磁性材料で形成された円筒状のドラッグポンプ固定部と、を有する真空ポンプ。 - 請求項1または2に記載の真空ポンプにおいて、
前記ロータの軸方向の支持を行うスラスト磁気軸受および前記ロータの径方向の支持を行うラジアル軸受を有する磁気軸受装置と、
前記磁気軸受装置が設けられ、非磁性材料で形成されたポンプベース部と、
前記ロータの軸方向位置を検出するアキシャルセンサと、
前記ロータの径方向位置を検出するラジアルセンサと、
磁性材料で形成され、前記ポンプケーシングの吸気口に設けられて前記吸気口を介した外部磁場のポンプ内への侵入を低減する第1の磁気遮蔽部材と、
磁性材料で形成され、前記ポンプベース部に設けられて前記磁気軸受装置への外部磁場の影響を低減する第2の磁気遮蔽部材と、を備えた真空ポンプ。 - 請求項3に記載の真空ポンプにおいて、
前記第2の磁気遮蔽部材は、少なくとも前記アキシャルセンサが収容される真空容器を構成している真空ポンプ。 - 請求項4に記載の真空ポンプにおいて、
前記非磁性材料で形成されたポンプベース部の外周を覆うように前記第2の磁気遮蔽部材から前記ポンプケーシングの方向に延在する、磁性材料で形成された第3の磁気遮蔽部材を備える真空ポンプ。 - 請求項5に記載の真空ポンプにおいて、
前記第2の磁気遮蔽部材と前記第3の磁気遮蔽部材とを一体に形成した真空ポンプ。 - 請求項3乃至6のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記磁気シールド部材は、円板部と、前記円板部を前記吸気口の中央に支持する支持梁とを有する真空ポンプ。 - 請求項7に記載の真空ポンプにおいて、
前記ロータは前記回転側排気機能部として複数のタービン翼を有し、
前記円板部の外径Dを、前記ラジアルセンサの外径Ds以上、かつ、前記ロータの周方向に形成された複数の前記タービン翼の各翼付け根を通る円の直径Dri以下に設定した真空ポンプ。 - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記ポンプケーシングの吸気口にボルト固定され、ポンプ内への異物侵入を防止する保護ネットをさらに備え、
前記ポンプケーシングには、ボルト固定用の貫通したネジ孔が形成されている真空ポンプ。 - 請求項3乃至6のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記第1の磁気遮蔽部材は、前記ポンプケーシングの吸気口に設けられてポンプ内への異物侵入を防止する保護ネットを兼用する真空ポンプ。 - 請求項1乃至10のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記磁性材料として炭素鋼または合金鋼を用いた真空ポンプ。 - 請求項11に記載の真空ポンプにおいて、
前記ポンプケーシングを炭素鋼であるS45Cで形成した真空ポンプ。 - 請求項11または12に記載の真空ポンプにおいて、
前記磁性材料の表面は、N−Pメッキ処理を含む耐食処理が施されている真空ポンプ。
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