JP2008240571A - ターボ分子ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】ラジアル磁気軸受およびモータが収容された空間内に供給されるパージガスの流量を低減させるとともに、パージガスの消費量を低減させること。
【解決手段】ロータシャフト１０と軸受ハウジング５ａとの間に形成された空間内にパージガスが供給されるターボ分子ポンプ１であって、前記軸受ハウジング５ａの頂部上面５ｃに、前記ロータシャフト１０と前記軸受ハウジング５ａとの間に形成された隙間をシールする第１のシール部材２１が設けられており、前記軸受ハウジング５ａの頂部外周面５ｄに、動翼１１と前記軸受ハウジング５ａとの間に形成された隙間をシールする第２のシール部材２２が設けられている。
【選択図】図２

Description

本発明は、ターボ分子ポンプ、例えば、半導体製造プロセスで使用されるターボ分子ポンプに関するものである。

半導体製造プロセスで使用されるターボ分子ポンプとしては、例えば、特許文献１に開示されたものが知られている。
特開２００４−１５０３４０号公報

さて、このような半導体製造プロセスで使用されるターボ分子ポンプでは、動翼と静翼との間を通過したプロセスガスが、ラジアル磁気軸受およびモータが収容された空間内へ流入するのを防止（阻止）するため、当該空間（ラジアル磁気軸受およびモータが収容された空間）内に多量のパージガス（例えば、Ｎ_２ガス）を供給している。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、ラジアル磁気軸受およびモータが収容された空間内に供給されるパージガスの流量を低減させることができて、パージガスの消費量を低減させることができるターボ分子ポンプを提供することを目的とする。

本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用した。
本発明に係るターボ分子ポンプは、ロータ室内に静翼を備え、動翼が取り付けられたロータシャフトを、ラジアル磁気軸受とスラスト磁気軸受とを介して前記ロータ室内で回転支持し、前記ロータシャフトを高速回転させるモータと前記ラジアル磁気軸受とを軸受ハウジング内に備えるとともに、前記ロータシャフトと前記軸受ハウジングとの間に形成された空間内にパージガスが供給されるターボ分子ポンプであって、前記軸受ハウジングの頂部上面に、前記ロータシャフトと前記軸受ハウジングとの間に形成された隙間をシールする第１のシール部材が設けられており、前記軸受ハウジングの頂部外周面に、前記動翼と前記軸受ハウジングとの間に形成された隙間をシールする第２のシール部材が設けられている。

本発明に係るターボ分子ポンプによれば、遠心力によって外方（半径方向外側）に拡がらない（拡大しない）ロータシャフトの周面と、第１のシール部材の内周面との間のクリアランス（すきま）を小さくする（微小なものとする）ことができる。
これにより、ロータシャフトと軸受ハウジングとの間に形成された空間内に供給されたパージガス（例えば、Ｎ_２ガス）が、ロータシャフトの周面と、第１のシール部材の内周面との間に形成されたクリアランスを通って外（例えば、軸受ハウジングと動翼との間に形成された空間内）に漏れ出すのを低減させることができ、パージガスの消費量を低減させることができる。
また、軸受ハウジングの頂部上面と動翼との間に形成された空間内に存する雰囲気（プロセスガス）が、ロータシャフトの周面と、第１のシール部材の内周面との間に形成されたクリアランスを通って、ロータシャフトと軸受ハウジングとの間に形成された空間内へ流入するのを防止（阻止）することができ、プロセスガスによるモータの損傷を防止することができる。
さらに、第２のシール部材の長さ（すなわち、ロータシャフトの軸線方向に沿った縦方向（上下方向）の長さ）を十分にとることができるので、動翼と静翼との間を通過したプロセスガスが、軸受ハウジングの頂部上面と動翼との間に形成された空間内へ流入するのを防止（阻止）することができ、ロータシャフトと軸受ハウジングとの間に供給されるパージガスの流量をさらに低減させることができて、パージガスの消費量をさらに低減させることができる。

本発明に係るターボ分子ポンプは、ロータ室内に静翼を備え、動翼が取り付けられたロータシャフトを、ラジアル磁気軸受とスラスト磁気軸受とを介して前記ロータ室内で回転支持し、前記ロータシャフトを高速回転させるモータと前記ラジアル磁気軸受とを軸受ハウジング内に備えるとともに、前記ロータシャフトと前記軸受ハウジングとの間に形成された空間内にパージガスが供給されるターボ分子ポンプであって、前記軸受ハウジングの頂部上面に、前記ロータシャフトと前記軸受ハウジングとの間に形成された隙間をシールする第１のシール部材が設けられており、前記軸受ハウジングの基端部外周面に、前記動翼と前記軸受ハウジングとの間に形成された隙間をシールする第２のシール部材が設けられている。

本発明に係るターボ分子ポンプによれば、遠心力によって外方（半径方向外側）に拡がらない（拡大しない）ロータシャフトの周面と、第１のシール部材の内周面との間のクリアランス（すきま）を小さくする（微小なものとする）ことができる。
これにより、ロータシャフトと軸受ハウジングとの間に形成された空間内に供給されたパージガス（例えば、Ｎ_２ガス）が、ロータシャフトの周面と、第１のシール部材の内周面との間に形成されたクリアランスを通って外（例えば、軸受ハウジングと動翼との間に形成された空間内）に漏れ出すのを低減させることができ、パージガスの消費量を低減させることができる。
また、軸受ハウジングの頂部上面と動翼との間に形成された空間内に存する雰囲気（プロセスガス）が、ロータシャフトの周面と、第１のシール部材の内周面との間に形成されたクリアランスを通って、ロータシャフトと軸受ハウジングとの間に形成された空間内へ流入するのを防止（阻止）することができ、プロセスガスによるモータの損傷を防止することができる。
さらに、第２のシール部材の長さ（すなわち、ロータシャフトの軸線方向に沿った縦方向（上下方向）の長さ）を十分にとることができるので、動翼と静翼との間を通過したプロセスガスが、軸受ハウジングの頂部上面と動翼との間に形成された空間内へ流入するのを防止（阻止）することができ、ロータシャフトと軸受ハウジングとの間に供給されるパージガスの流量をさらに低減させることができて、パージガスの消費量をさらに低減させることができる。

本発明に係るターボ分子ポンプは、ロータ室内に静翼を備え、動翼が取り付けられたロータシャフトを、ラジアル磁気軸受とスラスト磁気軸受とを介して前記ロータ室内で回転支持し、前記ロータシャフトを高速回転させるモータと前記ラジアル磁気軸受とを軸受ハウジング内に備えるとともに、前記ロータシャフトと前記軸受ハウジングとの間に形成された空間内にパージガスが供給されるターボ分子ポンプであって、前記軸受ハウジングの頂部上面に、前記ロータシャフトと前記軸受ハウジングとの間に形成された隙間をシールする第１のシール部材が設けられており、前記軸受ハウジングの頂部外周面に、前記動翼と前記軸受ハウジングとの間に形成された隙間をシールする第２のシール部材が設けられているとともに、前記軸受ハウジングの基端部外周面に、前記動翼と前記軸受ハウジングとの間に形成された隙間をシールする第３のシール部材が設けられている。

本発明に係るターボ分子ポンプによれば、遠心力によって外方（半径方向外側）に拡がらない（拡大しない）ロータシャフトの周面と、第１のシール部材の内周面との間のクリアランス（すきま）を小さくする（微小なものとする）ことができる。
これにより、ロータシャフトと軸受ハウジングとの間に形成された空間内に供給されたパージガス（例えば、Ｎ_２ガス）が、ロータシャフトの周面と、第１のシール部材の内周面との間に形成されたクリアランスを通って外（例えば、軸受ハウジングと動翼との間に形成された空間内）に漏れ出すのを低減させることができ、パージガスの消費量を低減させることができる。
また、軸受ハウジングの頂部上面と動翼との間に形成された空間内に存する雰囲気（プロセスガス）が、ロータシャフトの周面と、第１のシール部材の内周面との間に形成されたクリアランスを通って、ロータシャフトと軸受ハウジングとの間に形成された空間内へ流入するのを防止（阻止）することができ、プロセスガスによるモータの損傷を防止することができる。
さらに、第２のシール部材および第３のシール部材の長さ（すなわち、ロータシャフトの軸線方向に沿った縦方向（上下方向）の長さ）を十分にとることができるので、動翼と静翼との間を通過したプロセスガスが、軸受ハウジングの頂部上面と動翼との間に形成された空間内へ流入するのを防止（阻止）することができ、ロータシャフトと軸受ハウジングとの間に供給されるパージガスの流量をさらに低減させることができて、パージガスの消費量をさらに低減させることができる。

上記ターボ分子ポンプにおいて、前記第１のシール部材が、前記軸受ハウジングの頂部に設けられた危急用ボールベアリングの抜け出しを防止するように構成されているとさらに好適である。

このようなターボ分子ポンプによれば、例えば、第１のシール部材の内周端部下面と、危急用ボールベアリングの外輪（アウターレース）の上面とが、互いに当接するように構成されているので、危急用ボールベアリングの上方（吸気口の方）への抜け出しを防止することができ、ターボ分子ポンプの信頼性を向上させることができる。

上記ターボ分子ポンプにおいて、前記第２のシール部材および／または前記第３のシール部材の外周面に、螺旋状の溝が設けられているとさらに好適である。

このようなターボ分子ポンプによれば、第２のシール部材および／または第３のシール部材の外周面に設けられた螺旋状の溝により、動翼と静翼との間を通過したプロセスガスの、軸受ハウジングと動翼との間に形成された空間内への流入が防止（阻止）されることとなるので、ロータシャフトと軸受ハウジングとの間に供給されるパージガスの流量をさらに低減させることができ、パージガスの消費量をさらに低減させることができる。

本発明によれば、ラジアル磁気軸受およびモータが収容された空間内に供給されるパージガスの流量を低減させることができて、パージガスの消費量を低減させることができるという効果を奏する。

以下、本発明に係るターボ分子ポンプの第１実施形態を、図１および図２を参照しながら説明する。図１は本実施形態に係るターボ分子ポンプの一部を破断して示す斜視図、図２は図１の要部拡大図である。
図１に示すように、本実施形態に係るターボ分子ポンプ１は、ケーシング２と、ロータ部３とを備えている。

ケーシング２は、各種機器を収めるものであり、上部分割ケーシング４と、下部分割ケーシング（ステータ）５とを備えている。上部分割ケーシング４には、吸気口６が形成されており、下部分割ケーシング５には、排気口７が形成されている。

つぎに、ロータ部５について説明する。
ケーシング２の内部に形成されたロータ室８には、ロータ９が配設されている。このロータ９は、回転軸（ロータシャフト）１０と、この回転軸１０の一端部の周囲に放射状に配置固定された動翼１１とを備えている。
一方、上部分割ケーシング４の側には、静翼１２が固定されている。ロータ９は、例えば90,000rpm（1,500回転／秒）で高速回転する部材であることから、一般的には軽量で、かつ、応力強度の高いアルミニウム合金（例えば、5000番台のアルミニウム合金（Al-Mg系合金））等がその素材として好適に用いられる。

回転軸１０の、動翼１１とは反対側の端部には、スラストディスク１３が固定されている。
一方、下部分割ケーシング５の側には、スラストディスク１３に対応して、収容空間部１４が円筒状空間として形成されている。そして、この収容空間部１４には、スラストディスク１３の表面（上面）および裏面（下面）を間に挟み込むように、スラスト磁気軸受１５が配置されている。このスラスト磁気軸受１５は、電力供給を受けた場合に、スラストディスク１３を保持することにより、回転軸１０をその軸線方向に保持する磁気軸受である。

また、回転軸１０は、下部分割ケーシング５の内部に固定された一対のラジアル磁気軸受１６，１７の内側（半径方向内側）に保持されるようになっている。これらラジアル磁気軸受１６，１７はそれぞれ、下部分割ケーシング５の内側（半径方向内側）に形成された軸受ハウジング５ａの内周面（半径方向内側の周面）５ｂに固定されて、電力供給を受けた場合に、回転軸１０をその回転方向中心位置に保持する磁気軸受である。

そして、電力が供給されていない場合には、回転軸１０の一端部は、下部分割ケーシング５の内部に配置された（危急用）ボールベアリング１８で支持され、回転軸１０の他端部は、同じく下部分割ケーシング５の内部に配置された（危急用）ボールベアリング１９で支持される。

回転軸１０は、ラジアル磁気軸受１６とラジアル磁気軸受１７との間に位置して、下部分割ケーシング５内に固定されたロータ駆動用モータ２０の内部に挿通されており、このロータ駆動用モータ２０によってその軸線回りに回転駆動されるようになっている。

さて、図２に示すように、本実施形態に係るターボ分子ポンプ１においては、軸受ハウジング５ａの頂部上面５ｃに第１のシール部材２１が設けられており、軸受ハウジング５ａの頂部外周面（半径方向外側の周面）５ｄに第２のシール部材２２が設けられている。

第１のシール部材２１は、例えば、ＳＵＳ３０４等のステンレス鋼を材料として作り出されたものであり、厚さｔ１のドーナツ状（環状）を形成している外周部２１ａと、この外周部２１ａの上端部内周面から内方（半径方向内側）に突出するとともに、厚さｔ２（＜ｔ１）のドーナツ状（環状）を形成している内周部２１ｂとを備えている。
また、外周部２１ａの内周端部下面と、ボールベアリング１８の外輪（アウターレース）の上面とは、互いに当接するように構成されており、これにより、ボールベアリング１８の上方（吸気口６の方）への抜け出しが防止されるようになっている。
さらに、内周部２１ｂの内周面２１ｃは、ボールベアリング１８の内輪（インナーレース）の内周面よりも外方（半径方向外側）に位置するように形成されている。
なお、この第１のシール部材２１は、締結部材（例えば、ボルト）を介して軸受ハウジング５ａの頂部上面５ｃに取り付けられている。

第２のシール部材２２は、軸受ハウジング５ａの頂部外周面５ｄから外方（半径方向外側）に突出する円筒状の部材であり、軸受ハウジング５ａと一体に形成されている。

本実施形態に係るターボ分子ポンプ１によれば、遠心力によって外方（半径方向外側）に拡がらない（拡大しない）回転軸１０の周面１０ａと、内周部２１ｂの内周面２１ｃとの間のクリアランス（すきま）を小さくする（微小なものとする）ことができる。
これにより、回転軸１０の周面１０ａと軸受ハウジング５ａの内周面５ｂとの間に供給されたパージガス（例えば、Ｎ_２ガス）が、回転軸１０の周面１０ａと、内周部２１ｂの内周面２１ｃとの間に形成されたクリアランスを通って外（軸受ハウジング５ａと動翼１１との間に形成された空間内）に漏れ出すのを低減させることができ、パージガスの消費量を低減させることができる。
また、軸受ハウジング５ａの頂部上面５ｃと動翼１１との間に形成された空間内に存する雰囲気（プロセスガス）が、回転軸１０の周面１０ａと、内周部２１ｂの内周面２１ｃとの間に形成されたクリアランスを通って、回転軸１０の周面１０ａと軸受ハウジング５ａの内周面５ｂとの間に形成された空間内へ流入するのを防止（阻止）することができ、プロセスガスによるロータ駆動用モータ２０の損傷を防止することができる。

さらに、本実施形態に係るターボ分子ポンプ１によれば、外周部２１ａの内周端部下面と、ボールベアリング１８の外輪（アウターレース）の上面とが、互いに当接するように構成されているので、ボールベアリング１８の上方（吸気口６の方）への抜け出しを防止することができ、ターボ分子ポンプ１の信頼性を向上させることができる。

さらにまた、本実施形態に係るターボ分子ポンプ１によれば、軸受ハウジング５ａの頂部外周面５ｄに設けられたシール部材２２の長さ（すなわち、回転軸１０の軸線方向に沿った縦方向（上下方向）の長さ）を十分にとることができるので、動翼１１と静翼１２との間を通過したプロセスガスが、軸受ハウジング５ａの頂部上面５ｃと動翼１１との間に形成された空間内へ流入するのを防止（阻止）することができ、回転軸１０の周面１０ａと軸受ハウジング５ａの内周面５ｂとの間に供給されるパージガスの流量をさらに低減させることができて、パージガスの消費量をさらに低減させることができる。

本発明に係るターボ分子ポンプの第２実施形態を図３に基づいて説明する。
図３は本発明の第２実施形態に係るターボ分子ポンプの要部拡大断面図であり、図２と同様の図である。
本実施形態に係るターボ分子ポンプ３１は、第２のシール部材２２の代わりに、第３のシール部材３２が設けられているという点で上述した第１実施形態のものと異なる。その他の構成要素については上述した第１実施形態のものと同じであるので、ここではそれら構成要素についての説明は省略する。
なお、上述した第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付している。

第３のシール部材３２は、軸受ハウジング５ａの基端部外周面５ｅから動翼１１の下端部内周面に向かって突出する部材であり、軸受ハウジング５ａと一体に形成されている。また、第３のシール部材３２の外周面には、螺旋状の溝（ネジ溝）３２ａが形成されている（切られている）。

本実施形態に係るターボ分子ポンプ３１によれば、遠心力によって外方（半径方向外側）に拡がらない（拡大しない）回転軸１０の周面１０ａと、内周部２１ｂの内周面２１ｃとの間のクリアランス（すきま）を小さくする（微小なものとする）ことができる。
これにより、回転軸１０の周面１０ａと軸受ハウジング５ａの内周面５ｂとの間に供給されたパージガス（例えば、Ｎ_２ガス）が、回転軸１０の周面１０ａと、内周部２１ｂの内周面２１ｃとの間に形成されたクリアランスを通って外（軸受ハウジング５ａと動翼１１との間に形成された空間内）に漏れ出すのを低減させることができ、パージガスの消費量を低減させることができる。
また、軸受ハウジング５ａの頂部上面５ｃと動翼１１との間に形成された空間内に存する雰囲気（プロセスガス）が、回転軸１０の周面１０ａと、内周部２１ｂの内周面２１ｃとの間に形成されたクリアランスを通って、回転軸１０の周面１０ａと軸受ハウジング５ａの内周面５ｂとの間に形成された空間内へ流入するのを防止（阻止）することができ、プロセスガスによるロータ駆動用モータ２０の損傷を防止することができる。

さらに、本実施形態に係るターボ分子ポンプ３１によれば、外周部２１ａの内周端部下面と、ボールベアリング１８の外輪（アウターレース）の上面とが、互いに当接するように構成されているので、ボールベアリング１８の上方（吸気口６の方）への抜け出しを防止することができ、ターボ分子ポンプ１の信頼性を向上させることができる。

さらにまた、本実施形態に係るターボ分子ポンプ３１によれば、第３のシール部材３２の外周面に設けられた螺旋状の溝３２ａにより、動翼１１と静翼１２との間を通過したプロセスガスの、軸受ハウジング５ａと動翼１１との間に形成された空間内への流入が防止（阻止）されることとなるので、回転軸１０の周面１０ａと軸受ハウジング５ａの内周面５ｂとの間に供給されるパージガスの流量をさらに低減させることができ、パージガスの消費量をさらに低減させることができる。

本発明に係るターボ分子ポンプの第３実施形態を図４に基づいて説明する。
図４は本発明の第３実施形態に係るターボ分子ポンプの要部拡大断面図であり、図２および図３と同様の図である。
本実施形態に係るターボ分子ポンプ４１は、上述した第１実施形態と第２実施形態とを組み合わせたもの、すなわち、第１のシール部材２１と、第２のシール部材２２と、第３のシール部材３２とを備えたものである。
なお、上述した実施形態と同一の部材には同一の符号を付している。

本実施形態に係るターボ分子ポンプ４１によれば、遠心力によって外方（半径方向外側）に拡がらない（拡大しない）回転軸１０の周面１０ａと、内周部２１ｂの内周面２１ｃとの間のクリアランス（すきま）を小さくする（微小なものとする）ことができる。
これにより、回転軸１０の周面１０ａと軸受ハウジング５ａの内周面５ｂとの間に供給されたパージガス（例えば、Ｎ_２ガス）が、回転軸１０の周面１０ａと、内周部２１ｂの内周面２１ｃとの間に形成されたクリアランスを通って外（軸受ハウジング５ａと動翼１１との間に形成された空間内）に漏れ出すのを低減させることができ、パージガスの消費量を低減させることができる。
また、軸受ハウジング５ａの頂部上面５ｃと動翼１１との間に形成された空間内に存する雰囲気（プロセスガス）が、回転軸１０の周面１０ａと、内周部２１ｂの内周面２１ｃとの間に形成されたクリアランスを通って、回転軸１０の周面１０ａと軸受ハウジング５ａの内周面５ｂとの間に形成された空間内へ流入するのを防止（阻止）することができ、プロセスガスによるロータ駆動用モータ２０の損傷を防止することができる。

さらに、本実施形態に係るターボ分子ポンプ４１によれば、外周部２１ａの内周端部下面と、ボールベアリング１８の外輪（アウターレース）の上面とが、互いに当接するように構成されているので、ボールベアリング１８の上方（吸気口６の方）への抜け出しを防止することができ、ターボ分子ポンプ１の信頼性を向上させることができる。

さらにまた、本実施形態に係るターボ分子ポンプ４１によれば、軸受ハウジング５ａの頂部外周面５ｄに設けられたシール部材２２の長さ（すなわち、回転軸１０の軸線方向に沿った縦方向（上下方向）の長さ）を十分にとることができるので、動翼１１と静翼１２との間を通過したプロセスガスが、軸受ハウジング５ａの頂部上面５ｃと動翼１１との間に形成された空間内へ流入するのを防止（阻止）することができ、回転軸１０の周面１０ａと軸受ハウジング５ａの内周面５ｂとの間に供給されるパージガスの流量をさらに低減させることができて、パージガスの消費量をさらに低減させることができる。

さらにまた、本実施形態に係るターボ分子ポンプ４１によれば、第３のシール部材３２の外周面に設けられた螺旋状の溝３２ａにより、動翼１１と静翼１２との間を通過したプロセスガスの、軸受ハウジング５ａと動翼１１との間に形成された空間内への流入が防止（阻止）されることとなるので、回転軸１０の周面１０ａと軸受ハウジング５ａの内周面５ｂとの間に供給されるパージガスの流量をさらに低減させることができ、パージガスの消費量をさらに低減させることができる。

本発明の第１実施形態に係るターボ分子ポンプの一部を破断して示す斜視図である。 図１の要部拡大図である。 本発明の第２実施形態に係るターボ分子ポンプの要部拡大断面図であり、図２と同様の図である。 本発明の第３実施形態に係るターボ分子ポンプの要部拡大断面図であり、図２および図３と同様の図である。

符号の説明

１ ターボ分子ポンプ
５ａ 軸受ハウジング
５ｃ 頂部上面
５ｄ 頂部外周面
５ｅ 基端部外周面
８ ロータ室
１０ 回転軸（ロータシャフト）
１１ 動翼
１２ 静翼
１５ スラスト磁気軸受
１６ ラジアル磁気軸受
１７ ラジアル磁気軸受
１８ 危急用ボールベアリング
２０ ロータ駆動用モータ（モータ）
２１ 第１のシール部材
２２ 第２のシール部材
３１ ターボ分子ポンプ
３２ 第３のシール部材
３２ａ 溝
４１ ターボ分子ポンプ

Claims (5)

1. ロータ室内に静翼を備え、動翼が取り付けられたロータシャフトを、ラジアル磁気軸受とスラスト磁気軸受とを介して前記ロータ室内で回転支持し、前記ロータシャフトを高速回転させるモータと前記ラジアル磁気軸受とを軸受ハウジング内に備えるとともに、前記ロータシャフトと前記軸受ハウジングとの間に形成された空間内にパージガスが供給されるターボ分子ポンプであって、
   前記軸受ハウジングの頂部上面に、前記ロータシャフトと前記軸受ハウジングとの間に形成された隙間をシールする第１のシール部材が設けられており、
   前記軸受ハウジングの頂部外周面に、前記動翼と前記軸受ハウジングとの間に形成された隙間をシールする第２のシール部材が設けられていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
2. ロータ室内に静翼を備え、動翼が取り付けられたロータシャフトを、ラジアル磁気軸受とスラスト磁気軸受とを介して前記ロータ室内で回転支持し、前記ロータシャフトを高速回転させるモータと前記ラジアル磁気軸受とを軸受ハウジング内に備えるとともに、前記ロータシャフトと前記軸受ハウジングとの間に形成された空間内にパージガスが供給されるターボ分子ポンプであって、
   前記軸受ハウジングの頂部上面に、前記ロータシャフトと前記軸受ハウジングとの間に形成された隙間をシールする第１のシール部材が設けられており、
   前記軸受ハウジングの基端部外周面に、前記動翼と前記軸受ハウジングとの間に形成された隙間をシールする第２のシール部材が設けられていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
3. ロータ室内に静翼を備え、動翼が取り付けられたロータシャフトを、ラジアル磁気軸受とスラスト磁気軸受とを介して前記ロータ室内で回転支持し、前記ロータシャフトを高速回転させるモータと前記ラジアル磁気軸受とを軸受ハウジング内に備えるとともに、前記ロータシャフトと前記軸受ハウジングとの間に形成された空間内にパージガスが供給されるターボ分子ポンプであって、
   前記軸受ハウジングの頂部上面に、前記ロータシャフトと前記軸受ハウジングとの間に形成された隙間をシールする第１のシール部材が設けられており、
   前記軸受ハウジングの頂部外周面に、前記動翼と前記軸受ハウジングとの間に形成された隙間をシールする第２のシール部材が設けられているとともに、
   前記軸受ハウジングの基端部外周面に、前記動翼と前記軸受ハウジングとの間に形成された隙間をシールする第３のシール部材が設けられていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
4. 前記第１のシール部材が、前記軸受ハウジングの頂部に設けられた危急用ボールベアリングの抜け出しを防止するように構成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプ。
5. 前記第２のシール部材および／または前記第３のシール部材の外周面に、螺旋状の溝が設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプ。

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