JP2003065281A

JP2003065281A - 真空ポンプ

Info

Publication number: JP2003065281A
Application number: JP2001255625A
Authority: JP
Inventors: Matsutaro Miyamoto; 松太郎宮本
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 2001-08-27
Filing date: 2001-08-27
Publication date: 2003-03-05
Anticipated expiration: 2021-08-27
Also published as: JP3819267B2

Abstract

(57)【要約】【課題】真空ポンプのロータのアンバランスを修正す
るにあたり、真空ポンプが腐食性ガスを排気する場合で
も、ロータの腐食性ガスによる腐食を確実に防止すると
共に、ロータのアンバランスを高い精度で修正し、ロー
タの高速回転の安定性を実現した、信頼性の高い真空ポ
ンプを提供する。【解決手段】吸気口１ａと排気口２０を有するケーシ
ング１と、該ケーシング１内で回転するロータＲを具備
し、該ロータＲの回転により吸気口１ａから排気口２０
へガスの排気を行う真空ポンプにおいて、ロータＲの排
気ガスＡと接する箇所を除いた箇所にロータＲのアンバ
ランスを修正するアンバランス修正部Ｂ、及び／又は排
ガスＡと接し耐食能力を有する箇所にアンバランス修正
部Ｂ’を設定した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は吸気口と排気口を有
するケーシングと、該ケーシング内で回転するロータを
具備し、該ロータの回転により吸気口から排気口へガス
の排気を行う真空ポンプに関し、より詳しくは該真空ポ
ンプのロータのアンバランス修正に好適な真空ポンプに
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の真空ポンプ（ターボ分子
ポンプ）の構成例を図１に示す。このターボ分子ポンプ
は、筒状のポンプケーシング１の内部に、ロータ（回転
部）Ｒとステータ（固定部）Ｓにより翼排気部Ｌ₁及び
溝排気部Ｌ₂からなる排気部が構成されている。ポンプ
ケーシング１の下部はポンプ基部２によって覆われ、こ
のポンプ基部２には溝排気部Ｌ₂の排気側に連通する排
気口２０を有する排気口構成部材２１が連結されてい
る。吸気口１ａを有するポンプケーシング１の上部には
排気すべき装置や配管に接続するためのフランジ１ｂが
設けられている。ステータＳは、ポンプ基部２の中央部
に立設された固定筒状部３と、翼排気部Ｌ₁及び溝排気
部Ｌ₂の固定側部分とから主に構成されている。

【０００３】ロータＲは、固定筒状部３の内部に挿入さ
れた主軸４と、それに取り付けられた回転筒状部５とか
ら構成されている。主軸４と固定筒状部３の間には駆動
用モータ６と、その上下に上部ラジアル磁気軸受７及び
下部ラジアル磁気軸受８が設けられている。そして、主
軸４の下部には、主軸４の下端にターゲットディスク９
と、ステータＳ側の上下の電磁石１０ａ、１０ｂを有す
るアキシャル磁気軸受１１が配置されている。このよう
な構成によって、ロータＲが５軸の能動制御を受けなが
ら高速回転するようになっている。

【０００４】回転筒状部５の上部外周には、回転翼１２
が一体に設けられて羽根車を構成し、ポンプケーシング
１の内面には、回転翼１２と交互に配置される固定翼１
３が設けられ、これらが、高速回転する回転翼１２と静
止している固定翼１３との相互作用により排気を行う翼
排気部Ｌ₁を構成している。固定翼１３は、その周縁部
を固定翼スペーサ１４により上下から押さえられてポン
プケーシング１内に固定されている。

【０００５】更に、翼排気部Ｌ₁の下方には溝排気部Ｌ₂
が設けられている。即ち、回転筒状部５には、外周面に
ねじ溝１８ａが形成されたねじ溝部１８が固定筒状部３
を囲むように設けられ、一方、ステータＳには、このね
じ溝部１８の外周を囲むねじ溝部スペーサ１９が配置さ
れている。溝排気部Ｌ₂は、高速回転するねじ溝部１８
のねじ溝１８ａのドラッグ作用によって排気を行う。

【０００６】このように翼排気部Ｌ₁の下流側に溝排気
部Ｌ₂を有することで、広い流量範囲に対応可能な広域
型ターボ分子ポンプが構成されている。この例では、溝
排気部Ｌ₂のねじ溝をロータＲ側に形成した例を示して
いるが，ねじ溝をステータＳ側に形成することも行われ
ている。

【０００７】上記のような構造の真空ポンプ（ターボ分
子ポンプ）において、ロータＲは高速回転（数万回転／
分）するため、ロータＲのアンバランス修正は、非常に
精度の高いレベルが必要となる。そのため、ロータＲの
製作時には、アンバランス量を極力生じさせないよう
に、加工に留意すると共に、ロータＲの組立集合体であ
るロータアッセンブリ“Ｒ”を組み立てる前に主軸４や
回転筒状部５及びターゲットディスク９等の単体の部品
でアンバランスを修正したり、精度よく加工を行ってい
る。

【０００８】また、単体部品でアンバランスを修正して
もロータアッセンブリ“Ｒ”の状態に組み立てて、磁気
軸受や軸受でロータＲを支承させて回転させると、微小
なアンバランスで振動や騒音が生じ、運転不能になる場
合がある。また、非常に回転速度の高いロータＲである
ため、僅かなアンバランスでロータＲの一次曲げや二次
曲げモードの振動を励振しやすくなる。更に、磁気軸受
の場合、軸受の支持剛性がボールベアリング等の接触型
の軸受と比較して低いため、所謂剛体モードの振動が発
生しやすい。この剛体モードの振動もロータＲの僅かな
アンバランスで励振されやすくなる。よって、ロータア
ッセンブリ“Ｒ”の状態でのアンバランスの修正が不可
欠であり、従来は下記のような方法でアンバランスを修
正している。

【０００９】ロータアッセンブリ“Ｒ”を軸受で支持し
た状態で実際に回転をさせ、接触型軸受やロータＲの位
置センサを用いない磁気軸受の場合には、ポンプの外部
振動を参考にして、一方、ロータＲの位置センサを用い
た磁気軸受の場合には、ロータＲ（実際は磁気軸受セン
サターゲット部）の径方向の振れ量をセンシングするこ
とにより、ロータＲのアンバランス量を最小にするよう
に修正を行っている。

【００１０】その際、アンバランスの修正方法として
は、ロータＲのアンバランスが存在する箇所を削除する
所謂削除方法か、又はロータＲのアンバランスが存在す
る箇所のロータＲの回転軸に対して１８０°対向部に質
量を付加する所謂付加マス方法が一般的に採用されてい
る。

【００１１】このような修正方法において、実際の手法
としては削除方法では、回転筒状部５の外表面をドリル
等の削除工具でアンバランス分の質量を削除し、付加マ
ス方法では、回転筒状部５にメネジ部等を設けロータＲ
のアンバランス部の１８０°対向部のメネジにオネジを
ねじ込み質量を付加し、カシメや接着によりネジ部の回
り止めを行う方法が採られている。

【００１２】上記のようなロータＲのアンバランス修正
方法で製作された真空ポンプ（ターボ分子ポンプ）では
次のような問題があった。

【００１３】ターボ分子ポンプ等のロータを高速回転さ
せることによりガスを排気する真空ポンプにおいて、ロ
ータの材料は強度が高く、密度の低い所謂比強度の高い
材料が使用され、現在の技術ではアルミニウム合金が広
く採用されている。一方、半導体製造工程で使用されて
いる真空ポンプの排気すべきガスは、アルミニウム合金
等のロータ材料を腐食させてしまう腐食性ガスが多く、
ロータ表面に耐食表面処理を施す等の対策が採られてい
る。

【００１４】また、前述したように、真空ポンプのロー
タのアンバランス修正の精度は高いレベルが必要であ
り、ロータを種々の軸受で支承し、回転させた状態での
アンバランス修正、所謂フィールドバランスが必要であ
り、ロータ表面の耐食能力を保持しつつ、ロータＲのア
ンバランスを修正しなければならない。この場合のロー
タＲのアンバランス修正方法は、前述のように削除方法
や付加マス方法があるが、いずれの方法も、ロータＲの
表面の耐食能力を保持しつつ、アンバランスを修正する
のが困難であった。

【００１５】具体的には、削除方法によりアンバランス
を修正するときはロータＲのアンバランス部をドリル等
の削除工具により、アンバランス発生源である余分なロ
ータの「肉」を削除するわけであるが、このときロータ
Ｒの表面の耐食処理膜も同時に削ることになり、耐食能
力が満たされなくなる。また、これを防止するために、
削除箇所に耐食塗料を塗布する方法も考えられるが、真
空ポンプのロータＲが高温になったり、高応力下におか
れる等の周囲条件の厳しさや耐食塗料自身の耐食性能等
も不充分な点が多く、アンバランス修正部の信頼性、耐
久性に問題がある。最悪の場合、同部より腐食が進みロ
ータＲの高応力という条件とあいまって、ロータＲの応
力腐食割れによる破壊を生じるという問題もある。

【００１６】一方、付加マス方法には、予めロータＲの
バランス修正部にメネジ等の付加マス取付手段が設けら
れているわけであるが、その箇所に付加マスであるオネ
ジ等をねじ込む際にロータＲの表面の耐食処理膜を傷付
けたりするおそれがあり、耐食能力の維持及び徹底が困
難である。更に、高速回転するロータＲに付加マスを付
加するのであるから、付加マスのロータＲに対する取り
付けの信頼性向上のためにカシメや接着剤の塗布等が考
えられるがカシメのある場合は、前述と同様ロータの耐
食処理膜に傷を付けるおそれがある。接着剤の使用も真
空ポンプのロータが高温になったり、高応力下に置か
れ、更に腐食性ガスに曝される等の周囲条件や運転条件
の厳しさにより信頼性、耐久性に欠けるという問題があ
る。

【００１７】以上の問題解決のため、予め主軸４とロー
タＲ等を組み合わせたロータアッセンブリ“Ｒ”の状態
でアンバランスを修正しておき、その後、ロータＲの表
面に耐食処理を施しその後、アンバランスを修正しない
方法も考えられるが、ロータＲの表面の耐食処理の工程
中に耐食処理膜の厚さや成分の不均一等の原因により耐
食処理後にアンバランスが生じることがあり、適策では
ない。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の点に鑑
みてなされたもので、真空ポンプのロータのアンバラン
スを修正するにあたり、真空ポンプが腐食性ガスを排気
する場合でも、ロータの腐食性ガスによる腐食を確実に
防止すると共に、ロータのアンバランスを高い精度で修
正し、ロータの高速回転の安定性を実現した、信頼性の
高い真空ポンプを提供することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載の発明は、吸気口と排気口を有するケー
シングと、該ケーシング内で回転するロータを具備し、
該ロータの回転により吸気口から排気口へガスの排気を
行う真空ポンプにおいて、該ロータにロータのアンバラ
ンスを修正するアンバランス修正部を設定したことを特
徴とする。

【００２０】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の真空ポンプにおいて、アンバランス修正部はガスの成
分による腐食を受けない部位に設けることを特徴とす
る。

【００２１】上記のようにロータにアンバランス修正部
をガスの成分による腐食を受けない部位に設けることに
より、ロータの材料が例えばアルミニウム合金等で構成
された真空ポンプでロータの材料を腐食させる腐食性ガ
スを排気する場合においても、ロータのアンバランス修
正部は、腐食性ガスと接することがなく、よって削除方
法等によりアンバランスを修正した後でも、追加の耐食
処理をする必要がない。更にロータは回転中高応力状態
となっているため、腐食の条件が重なると、応力腐食割
れによるロータの破壊の危険性があるが、ここではそれ
が防止される。勿論、腐食性ガスと接する箇所であって
も、その箇所自身に耐食能力を有する箇所をアンバラン
ス修正部に設定すれば、アンバランス修正による腐食の
問題は発生しない。

【００２２】なお、前記アンバランス修正部は前記ガス
の成分による腐食を受けない部位に設けられることが好
ましく、例えば、ロータの前記ガス（排ガス）と接触し
ない箇所、該ガスとの接触があってもその場所自体は耐
食性を有するような構造又は部材からなる箇所に設ける
ことが良い。

【００２３】請求項３に記載の発明は、吸気口と排気口
を有するケーシングと、該ケーシング内で回転するロー
タを具備し、該ロータの回転により吸気口から排気口へ
ガスの排気を行う真空ポンプにおいて、ロータの形状を
略円筒形状とすると共に、該ロータの円筒外周表面を排
気するガスが流れる排気流路とし、該ロータ内周表面の
少なくとも一部にロータのアンバランスを修正するアン
バランス修正部を設定したことを特徴とする。

【００２４】上記のようにロータの形状を略円筒形状と
すると共に、外周表面を排気流路とし、該ロータ内周表
面の少なくとも一部にロータのアンバランス修正部を設
定することにより、軸受に支承された主軸に取り付けら
れた円筒形状（吊り鐘状）のロータの外周表面にタービ
ン状の翼やねじ溝を付加した排気流路面を形成した、一
般的に広く使用されているロータアッセンブリの状態に
おいて、ロータの内周表面でロータのアンバランスを修
正するため、修正部が排気ガスと直接接することがな
い。よって真空ポンプで腐食性ガスを排気してもアンバ
ランス修正部が直接的に腐食性ガスと接することはない
から、アンバランス修正部の耐腐食処理を省略すること
ができるか又は耐食能力のレベルを低く設定することが
でき、生産性が向上すると共に、コストダウンにもつな
がる。

【００２５】請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３
のいずれか１項に記載の真空ポンプにおいて、ロータの
アンバランス修正部への修正は、ロータの排気ガスに対
する耐食処理をロータの表面に施した後に実施すること
を特徴とする。

【００２６】上記のようにロータの排気ガスに対する耐
食処理をロータの表面に施した後に、アンバランス修正
部への修正を実施するので、排気流路である例えばロー
タの外周面はロータの耐食処理膜がアンバランス修正等
の追加の加工を実施することなく存在するので、腐食性
ガスに対して耐食処理膜本来の耐食能力を発揮すること
ができ、ロータの耐食能力をアンバランス修正により低
下させることがなく、耐食に対する信頼性を保持するこ
とができる。

【００２７】また、耐食処理前にロータアッセンブリを
軸受で支承してフィールドバランスをとった後に、ロー
タの表面に耐食処理を行っても、この耐食処理によるア
ンバランスの発生を耐食処理後のアンバランス修正によ
り修正することができるため、ロータの安定回転を実現
し、且つ耐食能力を保持することができる。

【００２８】請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４
のいずれか１項に記載の真空ポンプにおいて、ロータの
アンバランス修正部は、腐食性の排気ガスに曝されない
ように不活性ガスで保護するか又はラビリンス構造で保
護する構成としたことを特徴とする。

【００２９】上記のようにロータのアンバランス修正部
は、腐食性の排気ガスに曝されないように不活性ガスで
保護するか又はラビリンス構造で保護する構成としたの
で、真空ポンプが腐食性ガスを排気する場合において
も、ロータのアンバランス修正部は、ポンプ内にパージ
される不活性ガスやラビリンス構造のシール作用により
腐食性の排気ガスに接触することなく、保護され、腐食
性ガスによりロータが腐食されることがなく、ロータの
信頼性が確保される。

【００３０】請求項６に記載の発明は、請求項１乃至５
のいずれか１項に記載の真空ポンプにおいて、ロータの
アンバランス修正は、ロータアンバランス修正部をロー
タのアンバランス量分削除することにより行うことを特
徴とする。

【００３１】上記のようにロータのアンバランス修正
は、ロータアンバランス修正部をロータのアンバランス
量分削除することにより行うことにより、ロータアッセ
ンブリを軸受で支承してフィールドバランスをとる場合
に、ドリルやヤスリ等の簡単な削除工具でアンバランス
を修正することができるため、生産性が向上する。ま
た、付加マス方法に伴うロータへの付加マスの取付の信
頼性を考慮する必要がないため、生産性が向上すると共
に、信頼性も向上する。更に、付加マス方法では、メネ
ジの加工等により付加マスの取付位置や付加マスの質量
の制約が生じるが、ここでは条件の許す範囲内でロータ
の任意の箇所を削除することができ、的確で精度の高い
アンバランス修正が可能となる。

【００３２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基づいて説明する。図２は本発明に係る真空ポンプ
（ターボ分子ポンプ）の構成を示す図である。同図にお
いて、図１と同一符号を付した部分は同一又は相当部分
を示す。矢印Ａは吸気口１ａから排気口２０への排気ガ
スの流れを模式的に示す。なお、便宜上矢印Ａは中心線
に対して右半分のみに示しているが、左半分にも同様な
流れがあり、ガスが排気される。

【００３３】回転筒状部５の外周表面は、吸気口１ａ側
に回転翼１２が、排気口２０側にねじ溝１８ａが設けら
れ、排気ガスＡが流れる排気ガス流路が形成されてい
る。よって排気ガスＡは回転筒状部５の外周表面に接し
て排気される。一方、回転筒状部５の内周表部の太実線
Ｂで示した部分は、ロータＲのアンバランスを修正する
アンバランス修正部であり、回転筒状部５と主軸４が組
み合わさったロータアッセンブリ“Ｒ”を軸受で支承
し、回転させた時のアンバランス量が最少になるように
アンバランス修正部Ｂを削除することによりロータＲの
アンバランスを修正（バランスどり）を実施する。この
ように回転筒状部５の内周部にアンバランス修正部Ｂを
設けることにより、該アンバランス修正部Ｂは排気ガス
Ａに接する（曝される）ことを防止できる。

【００３４】一方、図３はロータアッセンブリ“Ｒ”の
回転筒状部５に対しての耐食処理の箇所を模式的に示す
図である。耐食処理の施工の条件上（無電解Ｎｉメッキ
等により均一に耐食処理膜を被加工物全体に生成させる
条件上）、回転筒状部５の表面、即ち太点線Ｃで示す部
分に耐食処理膜を形成する。また、図３のロータアッセ
ンブリ“Ｒ”の状態において軸受で支承し、回転をさせ
てフィールドバランスをとった後に、回転筒状部５に対
して耐食処理膜Ｃを施す方法もある。この方が耐食処理
を施した後のアンバランス修正量が少なくなることが多
い。

【００３５】上記のように、耐食処理膜Ｃを実施した後
に、図２のアンバランス修正部Ｂでアンバランスの修正
をすれば、アンバランス修正部Ｂが排気ガスＡと接する
ことなく、該アンバランス修正部Ｂを削除方法でアンバ
ランス修正し、耐食処理膜Ｃがなくなった場合でも、ロ
ータの腐食の問題はなく、真空ポンプを運転することが
できる。

【００３６】また、排気ガスＡと接する箇所であって
も、その箇所自身に耐食能力を有する箇所であれば、ア
ンバランス修正部に設定することができる。例えば図２
の太点線で示す主軸４の軸頂部は材料自身が耐食能力の
あるステンレス鋼等で製作されており、腐食の問題がな
い状態で削除方法によりアンバランス修正を行うアンバ
ランス修正部Ｂ’とすることができる。

【００３７】更にはこれと同様にロータの任意の箇所に
耐食能力を有する部品を追加し、該部品を削除方法によ
りアンバランス修正部に設定することも可能である。例
えば、回転筒状部５を主軸４に固定するためにキャップ
状又はリング状の部品を設定し、これ自身に耐食性を有
し、同部を削除方法によりアンバランス修正部とするこ
とができる。更に、該リング状、又はキャップ状を取付
けるためのボルト、ピン等も削除方法によるアンバラン
ス修正部にできる。

【００３８】更に、図２に示すように、回転筒状部５の
内周表面と対向するステータＳ側の固定筒状部３の外周
にロータＲの回転筒状部５の回転により、ロータＲ（回
転筒状部５）の内側上部から下部の方向に圧力が上昇す
るようなねじ溝部３ａを設けることにより、ラビリンス
シールによりアンバランス修正部Ｂへの排気ガスＡの接
触を確実に防止し、ロータＲの腐食を防止することがで
きる。

【００３９】また、更に図２に示すように、ロータアッ
センブリ“Ｒ”を支承している軸受の近傍に不活性ガス
を導入するパージポート２２を設け、該パージポート２
２から主軸４外周表面と固定筒状部３内周表面の間の間
隙２３及び該固定筒状部３外周表面と回転筒状部５内周
表面の間の間隙２４に矢印Ｄに示すように不活性ガスＤ
をパージすることにより、回転筒状部５の内周表面の上
側から下側への不活性ガスＤの流れが生じ前述のねじ溝
部３ａによるラビリンスシールとの効果とあいまってア
ンバランス修正部が排気ガスＡと接することを更に確実
に防止することができる。

【００４０】上記のように構成することにより、腐食性
ガスに腐食されない安全な箇所でロータのアンバランス
を修正することができる。なお、本実施形態例では、軸
受を５軸制御型磁気軸受とし、ロータＲの形状を回転筒
状部５を有する吊り鐘型とし、磁気軸受で支持された主
軸４がロータＲと一体になったモデルで説明したが、本
発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の形態を用いてもよ
いことはいうまでもない。

【００４１】

【発明の効果】以上、説明したように各請求項に記載の
発明によれば、下記のような優れた効果が得られる。

【００４２】腐食性排気ガスに対するロータの耐食性能
を保持しつつ、ロータのアンバランス量を精度よく且つ
効率的に修正することができ、腐食性ガスを排気する真
空ポンプのロータの安定回転及び耐食能力を従来に比較
して大幅に向上させることができ、信頼性及び耐久性の
高い真空ポンプを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の真空ポンプ（ターボ分子ポンプ）の構成
例を示す図である。

【図２】本発明の真空ポンプ（ターボ分子ポンプ）の構
成例を示す図である。

【図３】本発明の真空ポンプのロータアッセンブリの回
転筒状部に対しての耐食処理の箇所を模式的に示す図で
ある。

【符号の説明】

１ポンプケーシング１ａ吸気口１ｂフランジ２ポンプ基部３固定筒状部３ａねじ溝部４主軸５回転筒状部６駆動用モータ７上部ラジアル磁気軸受８下部ラジアル磁気軸受９ターゲットディスク１０ａ電磁石１０ｂ電磁石１１アキシャル磁気軸受１２回転翼１３固定翼１４固定翼スペーサ１８ねじ溝部１８ａねじ溝１９ねじ溝部スペーサ２０排気口２１排気口構成部材２２パージポートＲロータＳステータＬ₁ 翼排気部Ｌ₂ 溝排気部Ａ排気ガスＢアンバランス修正部Ｂ’ アンバランス修正部Ｃ耐食処理膜Ｄ不活性ガス

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】吸気口と排気口を有するケーシングと、
該ケーシング内で回転するロータを具備し、該ロータの
回転により吸気口から排気口へガスの排気を行う真空ポ
ンプにおいて、前記ロータに該ロータのアンバランスを修正するアンバ
ランス修正部を設定したことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】請求項１に記載の真空ポンプにおいて、前記アンバランス修正部は前記ガスの成分による腐食を
受けない部位に設けることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項３】吸気口と排気口を有するケーシングと、
該ケーシング内で回転するロータを具備し、該ロータの
回転により吸気口から排気口へガスの排気を行う真空ポ
ンプにおいて、前記ロータの形状を略円筒形状とすると共に、該ロータ
の円筒外周表面を排気するガスが流れる排気流路とし、
該ロータ内周表面の少なくとも一部にロータのアンバラ
ンスを修正するアンバランス修正部を設定したことを特
徴とする真空ポンプ。
【請求項４】請求項１乃至３のいずれか１項に記載の
真空ポンプにおいて、前記ロータのアンバランス修正部への修正は、該ロータ
の排気ガスに対する耐食処理をロータの表面に施した後
に実施することを特徴とする真空ポンプ。
【請求項５】請求項１乃至４のいずれか１項に記載の
真空ポンプにおいて、前記ロータのアンバランス修正部は、腐食性の排気ガス
に曝されないように不活性ガスで保護するか又はラビリ
ンス構造で保護する構成としたことを特徴とする真空ポ
ンプ。
【請求項６】請求項１乃至５のいずれか１項に記載の
真空ポンプにおいて、前記ロータのアンバランス修正は、前記ロータアンバラ
ンス修正部をロータのアンバランス量分削除することに
より行うことを特徴とする真空ポンプ。