JPH0313495U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0313495U JPH0313495U JP7165589U JP7165589U JPH0313495U JP H0313495 U JPH0313495 U JP H0313495U JP 7165589 U JP7165589 U JP 7165589U JP 7165589 U JP7165589 U JP 7165589U JP H0313495 U JPH0313495 U JP H0313495U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- bearing housing
- outer periphery
- registration request
- utility
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 2
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案の１実施例を示す縦断面図、第
２図は他の実施例を示す縦断面図、第３図は従来
例の縦断面図である。 ４……ロータ、４ａ……空洞部、５……軸受ハ
ウジング、９……ねじシール、１０，１６……蓋
（又は覆い）。
２図は他の実施例を示す縦断面図、第３図は従来
例の縦断面図である。 ４……ロータ、４ａ……空洞部、５……軸受ハ
ウジング、９……ねじシール、１０，１６……蓋
（又は覆い）。
Claims (1)
- ロータの内面下端に対向する軸受ハウジングの
外周にねじシールを設けると共に、ロータ上部の
開口空洞部端面にシール用蓋を設けたことを特徴
とする分子ポンプのシール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7165589U JPH0313495U (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7165589U JPH0313495U (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0313495U true JPH0313495U (ja) | 1991-02-12 |
Family
ID=31608878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7165589U Pending JPH0313495U (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0313495U (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09310696A (ja) * | 1996-03-21 | 1997-12-02 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 分子ポンプ |
| JP2005069066A (ja) * | 2003-08-21 | 2005-03-17 | Ebara Corp | ターボ真空ポンプおよび該ターボ真空ポンプを備えた半導体製造装置 |
| KR100704893B1 (ko) * | 2005-05-12 | 2007-04-09 | 정형로 | 오발 방지용 안전 소화기 |
| JP2008240571A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
| JP2014190343A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | 真空ポンプ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS609439U (ja) * | 1983-06-30 | 1985-01-23 | 松下電工株式会社 | 調理作業板 |
| JPS61104192A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-22 | Tokuda Seisakusho Ltd | 分子ポンプ |
| JPH0156597B2 (ja) * | 1980-11-28 | 1989-11-30 | Nippon Denki Kk |
-
1989
- 1989-06-21 JP JP7165589U patent/JPH0313495U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0156597B2 (ja) * | 1980-11-28 | 1989-11-30 | Nippon Denki Kk | |
| JPS609439U (ja) * | 1983-06-30 | 1985-01-23 | 松下電工株式会社 | 調理作業板 |
| JPS61104192A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-22 | Tokuda Seisakusho Ltd | 分子ポンプ |
Cited By (5)
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|---|---|---|---|---|
| JPH09310696A (ja) * | 1996-03-21 | 1997-12-02 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 分子ポンプ |
| JP2005069066A (ja) * | 2003-08-21 | 2005-03-17 | Ebara Corp | ターボ真空ポンプおよび該ターボ真空ポンプを備えた半導体製造装置 |
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| JP2008240571A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
| JP2014190343A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | 真空ポンプ |