JP2019039431A - 調整リング - Google Patents
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Abstract
Description
12 インレットフランジ
14 ポンプインレット
16 ハウジング
17 ステーター
18 ローター
20 回転軸
22 ローターシャフト
24 ローターディスク
26,26a,26b ステーターディスク
28 スペーサーリング
30 ローターハブ
32 ホルベックロータースリーブ
34 ホルベックロータースリーブ
36,38 ホルベックステータースリーブ
40 ローラー支承部
42 永久磁石支承部
43 支承間隙
44 ローター側の支承部部分
46 ステーター側の支承部部分
47 長手方向中心軸
48 マグネットリング
50 マグネットリング
51 ばね要素
52 支承間隙
53 調整リング
54 安全用支承部
55 ロックリング
56 スプラッシュナット
57a 保持部分
57b 中間部分
57c 固定部分
58 吸収性のディスク
59 孔部
60 モーター室
62 ジーグバーン段
64 シールガスインレット
66 駆動モーター
68 モーターステーター
70 コア
72 コイル
74 永久磁石装置
75a 軟磁性のバックキー
75b 永久磁石
76 モーター間隙
78 バランスリング
80 カプセル化部
82 制御兼電源供給ユニット
84 調整リング
86 調整部分
88 カラー部
90 半径方向のカラー部分
92 縁部領域
94 軸方向のカラー部分
96 リング間隙
98 基部
100 ローター羽根
102 中間領域
Claims (14)
- 真空ポンプ(10)、特にターボ分子ポンプの支承部(42)の半径方向内側に位置する第一の支承部部分(46)の、支承部(42)の長手方向中心軸(47)の方向における、真空ポンプ(10)の支承部(42)の半径方向外側に位置する第二の支承部(44)に対する、軸方向の整向の為の調整部分(86)を有する調整リング(84)において、
周回するカラー部(88)が、半径方向外側に向かって延びる半径方向のカラー部分(90)を有する調整リング(84)の調整部分(86)から出発していることを特徴とする調整リング(84)。 - 軸方向のカラー部分(94)が、半径方向のカラー部分(90)から巻かれるように出発していることを特徴とする請求項1に記載の調整リング(84)。
- 軸方向のカラー部分(94)が、半径方向のカラー部分(90)の、半径方向外側に位置する縁部領域(92)において、これから出発していることを特徴とする請求項2に記載の調整リング(84)。
- 半径方向のカラー部分(90)から、又は軸方向のカラー部分(94)から出発する少なくとも一つの別の半径方向のカラー部分が設けられていること、及び/又は、
特に半径方向のカラー部分(90)から、又は軸方向のカラー部分(94)から出発する少なくとも一つの別の軸方向のカラー部分(90)が設けられていること、
を特徴とする請求項1から3の少なくとも一項に記載の調整リング(84)。 - 前記一の、又は前記全ての半径方向のカラー部分(90)が、調整部分(86)より短い軸方向の寸法を有すること、及び/又は、
前記一の、又は前記全ての軸方向のカラー部分(94)と調整部分(86)が、少なくとも近似的に同じ軸方向寸法を有することを特徴とする請求項1から4の少なくとも一項に記載の調整リング(84)。 - 調整リング(84)が、少なくとも部分的に強磁性、特に軟磁性の材料を有し、及び/又は電気的に伝導性の材料を有することを特徴とする請求項1から5の少なくとも一項に記載の調整リング(84)。
- 請求項1から6の少なくとも一項に記載の半径方向内側に位置する第一の支承部部分(46)、半径方向外側に位置する第二の支承部部分(44)及び調整リング(84)であって、支承部(42)の長手方向中心軸(47)の方向において第二の支承部部分(42)に対する第一の支承部部分(46)の軸方向の整向の為の調整リング(84)を有する真空ポンプ(10)、特にターボ分子ポンプ(10)の為の支承部(42)において、
半径方向に延在するカラー部分(90)が、第二の支承部部分(44)を半径方向において覆っていることを特徴とする調整リング(84)。 - 請求項2から6の少なくとも一項に記載の調整リングを有する請求項7に記載の支承部(42)において、軸方向のカラー部分(94)が、部分的に第二の支承部部分(44)と軸方向において重なり合っていることを特徴とする支承部(42)。
- 第二の支承部部分(44)のロックの為のロックリング(55)が設けられており、これが、半径方向で見て、少なくとも部分的に調整部分(56)と軸方向のカラー部分(94)の間に配置されていることを特徴とする請求項8に記載の支承部(42)。
- 調整リング(84)と共にロックリング(55)が、多段に巻かれた複数断面を有する一つのリング間隙(96)を定義することを特徴とする請求項9に記載の支承部(42)。
- 支承部(42)が磁石支承部(42)であり、そして第一及び第二の支承部部分(46,44)が、其々少なくとも一つの磁石(48,50)を有することを特徴とする請求項7から10の少なくとも一項に記載の支承部(42)。
- ステーター(17)に対して回転可能に支承されたローター(18)と、ステーター(17)におけるローター(18)の支承の為の請求項7から11の少なくとも一項に記載の支承部(42)を有する真空ポンプ(10)、特にターボ分子ポンプ(10)。
- ステーター(17)がローター(18)の半径方向内側に配置されていることを特徴とする請求項12に記載の真空ポンプ(10)。
- 調整リング(84)が、ステーター(17)とねじ係合していることを特徴とする請求項12または13に記載の真空ポンプ(10)。
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