CN103022258A - 一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法 - Google Patents

一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103022258A
CN103022258A CN2012105846281A CN201210584628A CN103022258A CN 103022258 A CN103022258 A CN 103022258A CN 2012105846281 A CN2012105846281 A CN 2012105846281A CN 201210584628 A CN201210584628 A CN 201210584628A CN 103022258 A CN103022258 A CN 103022258A
Authority
CN
China
Prior art keywords
substrate
preparation
film
electrode
photovoltaic cell
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2012105846281A
Other languages
English (en)
Inventor
白恒玮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
QINGHAI TIANYUHUI NEW ENERGY DEVELOPMENT Co Ltd
Original Assignee
QINGHAI TIANYUHUI NEW ENERGY DEVELOPMENT Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by QINGHAI TIANYUHUI NEW ENERGY DEVELOPMENT Co Ltd filed Critical QINGHAI TIANYUHUI NEW ENERGY DEVELOPMENT Co Ltd
Priority to CN2012105846281A priority Critical patent/CN103022258A/zh
Publication of CN103022258A publication Critical patent/CN103022258A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明公开了一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法，利用射频磁控溅射技术制备铝电极薄膜，并给出了室温条件下的工艺参数，本发明在室温下直接制备具有较好绒面、低电阻率（平均电阻率为2.4x10-6欧姆.cm）和高漫反射率（平均漫反射率高达70%）的金属Al背电极、本发明提出的制备方法工艺简单实用，同时还避免了高温对塑料等柔性衬底的影响，具有较高的实用价值。

Description

一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法
技术领域
本发明涉及太阳能光伏发电领域，具体是一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法。
背景技术
传统的硅薄膜太阳能电池是以玻璃为衬底，为了增加对太阳光的二次吸收，增大太阳光的利用率，提高薄膜太阳能电池的短路电流，研究者们在薄膜的绒面制备方面进行了大量的研究。然而使用柔性衬底时，在衬底上直接制备绒面背电极，提高漫反射率，便成了提高薄膜太阳能电池光吸收效率的最佳途径。许多常规方法如选择反应溅射法制备Al电极时，Al电极容易被氧化，很难得到绒面的Al电极。且Al电极导电性好、材料丰富、价格低廉，本发明提出一种新的制备方法和工艺参数来制备低电阻率、高漫反射率的绒面Al电极。
发明内容
本发明的目的在于提供一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法。
本发明一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法通过下述技术方案予以实现：一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法，其特征在于利用射频磁控溅射技术制备，溅射功率为350-450W、工作气压为0.4-0.7Pa时制备的薄膜更适合做柔性硅基薄膜太阳能电池的金属背电极。
1、          本发明的优点为：本发明通过实验得出结论，在溅射功率低于400W时，工作气压为0.6Pa时，薄膜的沉积速率较低，平均约在3.3nm/min; 在溅射功率为400W时，工作气压为0.6Pa时，薄膜的沉积速率为41.5nm/min;但在溅射功率高于为400W时，薄膜的沉积速率较低由于溅射粒子 的动能增大而开始逐步降低。
2、          在电子显微镜下，同样得出结论在溅射功率为400W、工作气压为0.6Pa时，薄膜表面岛及岛的高度（粗糙程度）为最佳。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法技术方案作进一步描述。
一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法，其特征在于利用射频磁控溅射技术制备，溅射功率为350-450W、工作气压为0.4-0.7Pa时制备的薄膜更适合做柔性硅基薄膜太阳能电池的金属背电极。
如权利要求1所述的柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法，其特征在于铝靶直径为80mm，厚度为5mm，纯度为5N；衬底采用PI薄膜，衬底托盘以3.5r/min的速度顺时针方向旋转，靶基距固定为15cm；溅射气体为高纯氩气，流量为15sccm；在沉积薄膜前用氢等离子体对衬底清洗15min，然后用挡板遮住衬底，预溅射3min，在获得稳定的溅射状态时候，然后拿开挡板开始沉积薄膜，沉积时间为35min。
1、      本发明利用射频磁控溅射技术制备，溅射功率为400W、工作气压为0.6Pa时制备的薄膜更适合做柔性硅基薄膜太阳能电池的金属背电极。
2、      具体实施方法是：铝靶直径为80mm，厚度为5mm，纯度为5N。衬底采用PI薄膜，衬底托盘以3.5r/min的速度顺时针方向旋转，靶基距固定为15cm，。溅射气体为高纯氩气，流量为15sccm。在沉积薄膜前用氢等离子体对衬底清洗15min，然后用挡板遮住衬底，预溅射3min，在获得稳定的溅射状态时候，然后拿开挡板开始沉积薄膜，沉积时间为35min。
实验结果
3、          本发明通过实验得出结论，在溅射功率低于400W时，工作气压为0.6Pa时，薄膜的沉积速率较低，平均约在3.3nm/min; 在溅射功率为400W时，工作气压为0.6Pa时，薄膜的沉积速率为41.5nm/min;但在溅射功率高于为400W时，薄膜的沉积速率较低由于溅射粒子 的动能增大而开始逐步降低。
4、          在电子显微镜下，同样得出结论在溅射功率为400W、工作气压为0.6Pa时，薄膜表面岛及岛的高度（粗糙程度）为最佳。

Claims (2)

1.一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法，其特征在于利用射频磁控溅射技术制备，溅射功率为350-450W、工作气压为0.4-0.7Pa时制备的薄膜更适合做柔性硅基薄膜太阳能电池的金属背电极。
2.如权利要求1所述的柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法，其特征在于铝靶直径为80mm，厚度为5mm，纯度为5N；衬底采用PI薄膜，衬底托盘以3.5r/min的速度顺时针方向旋转，靶基距固定为15cm；溅射气体为高纯氩气，流量为15sccm；在沉积薄膜前用氢等离子体对衬底清洗15min，然后用挡板遮住衬底，预溅射3min，在获得稳定的溅射状态时候，然后拿开挡板开始沉积薄膜，沉积时间为35min。
CN2012105846281A 2012-12-30 2012-12-30 一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法 Pending CN103022258A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012105846281A CN103022258A (zh) 2012-12-30 2012-12-30 一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012105846281A CN103022258A (zh) 2012-12-30 2012-12-30 一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN103022258A true CN103022258A (zh) 2013-04-03

Family

ID=47970613

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2012105846281A Pending CN103022258A (zh) 2012-12-30 2012-12-30 一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103022258A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114540767A (zh) * 2022-01-24 2022-05-27 河南农业大学 柔性铝电极薄膜的制备方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006183070A (ja) * 2004-12-27 2006-07-13 Fuji Electric Holdings Co Ltd 薄膜形成装置
CN201045738Y (zh) * 2006-03-06 2008-04-09 胡宏勋 柔性非晶硅薄膜太阳电池
CN101540345A (zh) * 2009-04-24 2009-09-23 江苏工业学院 纳米硅薄膜三叠层太阳电池及其制备方法
WO2010144460A1 (en) * 2009-06-08 2010-12-16 University Of Toledo Flexible photovoltaic cells having a polyimide material layer and method of producing same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006183070A (ja) * 2004-12-27 2006-07-13 Fuji Electric Holdings Co Ltd 薄膜形成装置
CN201045738Y (zh) * 2006-03-06 2008-04-09 胡宏勋 柔性非晶硅薄膜太阳电池
CN101540345A (zh) * 2009-04-24 2009-09-23 江苏工业学院 纳米硅薄膜三叠层太阳电池及其制备方法
WO2010144460A1 (en) * 2009-06-08 2010-12-16 University Of Toledo Flexible photovoltaic cells having a polyimide material layer and method of producing same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114540767A (zh) * 2022-01-24 2022-05-27 河南农业大学 柔性铝电极薄膜的制备方法
CN114540767B (zh) * 2022-01-24 2024-01-23 河南农业大学 柔性铝电极薄膜的制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105132874B (zh) 一种直流/射频共溅射法制备高浓度梯度azo单晶导电薄膜的方法
CN101692357B (zh) 一种绒面掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法
CN101840953B (zh) 一种制备表面混合调制晶硅太阳能电池的方法
CN104900727A (zh) 一种用于晶体硅异质结太阳电池的透明导电氧化物薄膜及其制备方法
CN102154622A (zh) 用作太阳能电池光吸收层的铜铟镓硒薄膜的制备方法
Liu et al. Indium tin oxide with titanium doping for transparent conductive film application on CIGS solar cells
CN104781445A (zh) 透明导电膜层叠体及其制造方法、以及薄膜太阳能电池及其制造方法
CN101908583B (zh) 铜铟镓硒薄膜太阳电池窗口层的制备方法
CN103996821A (zh) 一种用于锂离子二次电池的负极薄膜及其制备方法与应用
CN102938429A (zh) 一种减反射异质结太阳能电池及其制备方法
CN102270695B (zh) 一种单晶硅太阳能电池表面v形槽绒面的制备方法
CN102199758B (zh) 一种生长绒面结构ZnO-TCO薄膜的方法及应用
CN103137765A (zh) 一种铝诱导晶化多晶硅薄膜太阳能电池及制备方法
CN101882632B (zh) 一种玻璃衬底绒面结构ZnO薄膜及应用
CN103985783B (zh) 利用磁控溅射法在柔性衬底上制备铜锌锡硫薄膜的方法
CN102142484A (zh) 多晶硅/铜铟镓硒叠层电池工艺
CN102828152A (zh) 一种低电阻率Mo薄膜的制备方法
CN102220562B (zh) 一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法
CN103022258A (zh) 一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法
CN102199759B (zh) 一种梯度氢气法生长绒面结构ZnO-TCO薄膜及应用
CN103066134B (zh) 一种薄膜太阳能电池背反电极及其制备方法
CN104409528B (zh) 一种宽光谱特性改善的hazo/azo复合透明导电前电极及应用
CN105308206A (zh) 透明导电膜层叠体及其制造方法、以及薄膜太阳能电池及其制造方法
CN103014623A (zh) 一种铜铟硒基太阳能薄膜电池光吸收层用陶瓷靶材制备方法
CN103203912B (zh) 一种新型azo镀膜玻璃及其制备工艺

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20130403