CN102985600A - 模塑聚合材料以赋予所需质地的方法 - Google Patents
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Abstract
一种模塑聚合材料以在其中赋予所需质地的方法,使用其中配置了许多柱状孔的氧化铝模具,该方法包含步骤:a)提供具有许多柱状孔分散于其中的多孔性氧化铝模坯,该许多柱状孔对应于待被赋予膜表面的凸起;b)将聚合材料配置于膜与该多孔性氧化铝模坯之间;和c)施加机械压力以将该多孔性氧化铝模坯轧压至该聚合材料中,其中被赋予该聚合模塑材料的质地包含对应于该多孔性氧化铝模坯的柱状孔的凸起。在将该聚合模塑材料配置于该多孔性氧化铝模坯与该膜之间之前,将脱模剂涂布于该多孔性氧化铝模坯上。
Description
技术领域
本发明一般地涉及模塑聚合材料以赋予所需质地的方法,并且涉及改良用于制造模具的氧化铝模坯的脱模性质的组合物。
背景技术
聚合模塑材料被广泛地用于制造各种材料,包括例如各种显示装置。经常希望和/或必要对此类显示装置提供抗反射层或质地化表面,以抑制反射光而确保令人满意的可视性。已经建议各种制造此种抗反射层的方法,其包括例如使用真空沉积或喷溅以提供由具有不同折射率的介电体所组成的多层膜。
还建议使用已配置有对应待赋予聚合模塑材料表面的凸起(projection)的凹陷或孔的多孔性氧化铝模坯,以在该聚合模塑材料中制造抗反射层。
用于在该聚合模塑材料表面上形成对应凸起而在该多孔性氧化铝模坯中形成的凹陷或孔,相较于光的波长一般具有极低的周期,且例如可具有约为1/4波长的深度,以充分地衰减可见光范围的反射度。
Masuda等人的第2007/0289874号美国专利公开(其主题通过引用全部并入此处)描述了一种使用其中已赋予孔径连续改变的锥状的阳极氧化的多孔性氧化铝作为模具,通过以大致相同的形成电压来重复阳极氧化和孔径放大处理而制造非反射性聚合物膜的方法。该经阳极处理的多孔性氧化铝表面作为模具或者压模对聚合模塑材料的表面赋予凸起以在其中制造抗反射层。
在进行预定时间的阳极氧化以形成具有所需深度的孔之后,将模具浸泡于合适的酸性溶液中进行孔径放大处理。继而以大约等于先前进行的阳极氧化的形成电压进行阳极氧化,形成较第一阶段孔径小的孔。继而,在重复了阳极氧化及孔径放大处理时,由于以与先前阳极氧化大约相同的形成电压进行阳极氧化,待形成的孔以垂直于膜厚度的方向而形成,因而可形成具有规则锥状的孔。重复此步骤则可获得具有锥状孔的经氧化的多孔性氧化铝基板。
本发明的发明人已发现柱状孔(即相对于锥状孔而言具有笔直侧面的孔)在光学性能上提供了与锥状孔一样好的结果。过去认为锥状孔优于柱状孔的原因之一为其在标准图案转印方法中显著地较易脱模。
据此,本发明部分地涉及用于降低可见光范围反射而在聚合物模塑材料表面上形成的抗反射层(抗反射膜)及其制造方法。另外,本发明一般地涉及用于在聚合物模塑材料(如抗反射层)的表面中形成所需质地的、其中配置了柱状孔的模坯(优选氧化铝的模坯)及其制造方法。
本发明还一般地涉及利用一系列电化学步骤制造其中配置了柱状孔的多孔性氧化铝模具,其中将该多孔性氧化铝模具以脱模涂层处理,以利于从该多孔性氧化铝模具移除聚合物模塑材料。
发明内容
本发明的一个目的为,提供一种能够对聚合模塑材料赋予所需质地的多孔性氧化铝模坯的制造方法。
本发明的一个目的为,提供一种能够对聚合模塑材料赋予抗反射层的多孔性模坯(优选氧化铝,包含铝的模坯)的制造方法。
本发明的另一个目的为提供一种其中配置了柱状孔的多孔性模坯(优选氧化铝模坯)的制造方法。
本发明的另一个目的为提供一种多孔性模坯,优选氧化铝模坯,其上配置有脱模涂层以利于将聚合模塑材料从该多孔性模坯移除。
本发明的一个目的为提供一种由多孔性模坯制造抗反射层的方法,其能够在聚合模塑材料的表面上形成所需的抗反射层。
为此,在一个具体实施方式中,本发明一般地涉及一种使用其中配置了许多柱状孔的模具(优选氧化铝模具)模塑聚合材料以在该聚合材料中制造所需质地的方法,该方法包含步骤:
a)提供具有许多柱状孔分散于其中的多孔性模坯,该许多柱状孔对应于待被赋予聚合模塑材料表面的凸起;
b)将聚合模塑材料配置于透明膜与该多孔性模坯之间;和
c)施加机械压力以将该多孔性模坯轧压至该聚合模塑材料中,
其中被赋予该聚合模塑材料的质地包含对应于该多孔性模坯的柱状孔的凸起。
在另一个优选的具体实施方式中,在将该聚合模塑材料配置于该多孔性模坯与该透明膜之间之前,将脱模剂涂布于该多孔性模坯上。
附图说明
图1显示为使用本发明所制造的膜与涂有相同的感光性树脂但在光滑铬辊表面上铸型以产生平坦表面的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜之间透射%的对比。
图2显示为本发明所制造的具有100nm间隔及180nm深的纳米结构的SEM图。
图3显示为本发明所制造的另一样品与感光性树脂的平坦涂层的透射光谱的对比。
图4显示为本发明所制造的另一样品的SEM图,显示出230nm间隔及380nm深的纳米结构。
图5显示为在复制前将多孔性氧化铝以APA处理时所获得的结构化感光性树脂的SEM图。
图6显示为在复制前未处理多孔性氧化铝时所获得的结构化感光性树脂的SEM图。
图7显示为在复制前将多孔性氧化铝模坯以全氟癸基三氯硅烷处理之后所获得的树脂结构的SEM图。
图8显示为在复制前对多孔性氧化铝模坯施加全氟癸基三氯硅烷处理之后所获得的树脂结构的横切面SEM图。
图9显示为在复制前将多孔性氧化铝模坯以FluorolinkF10处理之后所获得的树脂结构的SEM图。
图10为描绘各种结构在400至750nm波长范围内平均的角度依赖%反射(angle dependent%reflection)的曲线图。
具体实施方式
本发明一般地涉及一种通过使用其中配置了许多柱状孔的模具(优选氧化铝模具)模塑聚合材料,以在聚合材料中制造所需质地的方法,该方法包含步骤:
a)提供具有许多柱状孔分散于其中的多孔性模坯,该许多柱状孔对应于待被赋予聚合模塑材料表面的凸起;
b)将聚合模塑材料配置于膜与该多孔性模坯之间;和
c)施加机械压力以将该多孔性模坯轧压至该聚合模塑材料中,
其中被赋予该聚合模塑材料的质地包含对应于该多孔性模坯的柱状孔的凸起。该多孔性模坯优选包含氧化铝且优选为圆柱形。该膜优选为透明或半透明。该聚合模塑材料优选为使用辐射能够固化的感光性树脂,优选地通过该膜将该感光性树脂曝光。
在另一个优选的具体实施方式中,在将该聚合模塑材料配置于该多孔性模坯与该膜之间之前,将脱模剂涂布于该多孔性模坯上。
在一个具体实施方式中,此处所述的方法在复制聚合模塑材料时使用了处理剂,其使得多次复制上保持一致的高质量脱模。因此此处所述的发明未因使用锥状孔而获益。此处所述的“柱状孔”为直径沿孔的深度基本上相同、且直径从多孔性模坯表面沿其中所制造的孔的深度没有明显锥度的孔。
将铝表面阳极处理,以获得具有适合的表面化学的多孔性氧化铝质地,用作模具或模具模坯(多孔性模坯),将感光性树脂或其它聚合模塑材料复制至膜中的,需要数个步骤。这些步骤包括:
1)第一阶段阳极处理;
2)氧化物蚀刻;
3)第二阶段阳极处理;和
4)扩孔(pore widening)。
此处详述的这些步骤制造出具有柱状孔的多孔性氧化铝表面,其然后可用于将如感光性树脂或其它聚合模塑材料的材料模塑,以制造抗反射涂层及其它类似材料。本发明的发明人已发现,柱状孔提供了比现有技术锥状孔更好的光学性能及结构性能。
然而为了令人满意地将聚合模塑材料从具有柱状孔的氧化铝模具上脱模,通常必须在扩孔步骤结束之后对该多孔性氧化铝表面实行如此处更加详细讨论的脱模处理步骤。
在第一阶段阳极处理步骤中,将铝表面浸泡于电解质中且在控制电压、电流及温度的条件下进行阳极处理。铝表面(阳极)与容纳室衬里(阴极)之间的距离并不重要,但是一般应足以使电解质良好地流动。阴极的厚度也不重要,且合适的材料为不锈钢。举例而非限制性地,其它可作为阴极的材料包括碳、铅与镍。
在电解期间一般应搅动溶液以维持均匀的组成。例如,如果电解质是经由入口/出口通过电解室而连续地泵取进出贮存器,则可提供充分的搅动。
通过适当地选择阳极处理条件,能够将多孔性氧化铝表面的结构、及由此所制造的感光膜的结构控制在一定的程度。例如,在一定的程度内通过阳极处理电压控制窄孔之间的距离、通过处理时间控制孔的深度、以及通过扩孔处理控制孔径。
在该第一阶段阳极处理步骤期间可使用草酸、硫酸、磷酸等的水溶液作为电解质。其中优选草酸与磷酸。
在使用草酸作为电解质的情形下,电解质的浓度优选为0.7M或更低,更优选为约0.3M或更低。如果该浓度高于0.7M,则电流值过高而可能造成表面变粗糙。另一方面,当该浓度太低时,阳极氧化的速度降低,所以电解质的浓度优选为0.01至0.5M。
电解质的温度优选为30℃或更低,且更优选为20℃或更低。如果电解质的温度高于30℃,则发生称为“烧焦”的现象,其可能损坏结构或熔化表面并干扰规则性。另一方面,当电解质的温度太低时,阳极氧化的速度降低,所以电解质的温度优选为0℃或更高。
草酸基电解质的形成电压一般为约30至60伏,优选为35至45伏,且更优选为39至41伏的范围内。如果形成电压高于或低于此范围,则规则性趋于降低,且可能获得孔径及孔周期大于可见光波长的孔。
在使用磷酸作为电解质的情形下,电解质的浓度优选为0.7M或更低,更优选为约0.3M或更低。另外,形成电压优选为80至100伏,更优选为85至95伏。
使用草酸电解质组合物的合适工艺参数的一个实例如下:
在电解期间测量并记录电流密度(或电流)。电流密度在电解的开始数秒“形成峰值(spike)”,然后一旦氧化物开始沉积则减缓至稳态值。在电解期间也测量并记录铝表面的温度。
在该第一阳极处理阶段结束之后,用去离子水洗涤铝部件。
然后将经阳极处理的铝表面进行氧化物蚀刻,例如在60℃下将该表面浸泡于0.2M铬酸与0.4M磷酸的水溶液中约1小时。
此前二步骤可一起实行多次。在一个优选的具体实施方式中,第一阶段阳极处理步骤及氧化物蚀刻步骤各实行3次。在将这些步骤实行多次时,第一阶段阳极处理步骤每次可实行约25至约35分钟,且氧化物蚀刻步骤每次可实行约10至约15分钟。
然后,以与第一阶段相同的方式,使用相同的设备、材料及处理条件实行第二阶段阳极处理步骤。然而,该第二阳极处理步骤的电解时间更短,优选为约1至约5分钟。在一个具体实施方式中,该第二阶段阳极处理步骤实行约90秒。
然后,通过在30±2℃下将经阳极处理的铝表面浸泡于5%磷酸的水溶液中10至15分钟以实行扩孔步骤。其不必搅动。在此步骤结束时,再度用去离子水洗涤铝部件。
最后,将经阳极处理的铝部件在特定脱模剂的指定条件下与脱模处理组合物接触一段时间,以给该多孔性铝部件的表面赋予脱模性质。
脱模处理组合物典型地包含从由烷基膦酸、芳基膦酸、氟烷基硅烷、全氟氯硅烷、氟化烷基和芳基膦酸、有机官能基硅烷、以及前述一种或多种组合所组成的群组中选出的材料。例示性的烷基膦酸包括可获自Strem Chemicals的那些,如正癸基膦酸、正十二烷基膦酸、正己基膦酸、正十六烷基膦酸、正辛基膦酸、正十八烷基膦酸、与正十四烷基膦酸。例示性的氟烷基硅烷包括可获自Daikin Industries以Optool DSX为商标的那些。
在一个优选的具体实施方式中,脱模处理剂包含1-癸基膦酸。例如,脱模处理溶液可包含0.1%的1-癸基膦酸的乙醇溶液。将经阳极处理的部件在脱模处理组合物中浸泡较长时间。例如,可将经阳极处理的部件浸泡于或以其它方式与脱模处理组合物接触至少10小时,更优选至少20小时。在一个具体实施方式中,在20℃下将经阳极处理的部件于1-癸基膦酸中浸泡20小时。应注意,温度控制对本工艺并不重要。
从1-癸基膦酸溶液移出后,用溶剂(如乙醇)洗涤该经处理的阳极处理部件。举例而非限制地,其它合适的溶剂包括丙醇、丁醇、甲醇、甲基乙基酮和丙酮。
在另一个优选的具体实施方式中,脱模处理组合物包含氟烷基硅烷,其是将经阳极处理的部件在氟烷基硅烷存在下烘烤一段时间而涂布。例如,可在130℃下将经阳极处理的部件于1H,1H,2H,2H-全氟癸基三氯硅烷存在下烘烤至少1小时,优选至少2小时。其它合适的有机官能基硅烷包括全氟己基三氯硅烷、全氟辛基三氯硅烷、全氟癸基三氯硅烷、全氟十二烷基三氯硅烷、全氟己基丙基三氯硅烷、正癸基三氯硅烷和正十八烷基三氯硅烷。
在另一个优选的具体实施方式中,脱模处理组合物包含功能性全氟聚醚材料,如Fluorolink F10(可获自Solvay Solexis,Inc.),其为基于直链全氟聚醚骨架的二膦酸酯衍生物。在此情况下,可将多孔性氧化铝表面浸渍于例如80%的FluorolinkF10的乙醇溶液中,然后在100℃下烘烤约60分钟。
使用依照本发明所制造的模具,能够制造在表面上具有显微图案的感光性树脂片或其它类似材料。为了制造在表面上具有显微图案的片,将光化辐射固化性组合物填充于本发明的模具与基板(优选透明或半透明塑料片)之间,将感光性树脂于光化辐射中曝光固化,然后脱模。可通过各种方式将该固化性组合物填充于模具与透明片之间。例如,光化辐射固化性组合物可从夹辊进料至模具与透明片之间,可涂覆于模具上然后用透明片层压,或者可使用压力和/或热将多孔性氧化铝表面轧压至感光性树脂中。
在替代方案中,可将所需的模具的质地或结构转录至光化辐射固化性组合物上,然后将脱模并通过光化辐射曝光而固化。
在任一方法中,在脱模后,该组合物均可额外地在光化辐射中曝光。
对于本发明所使用的透明片并无特殊限制,只要其实质上不抑制感光性树脂通过该透明片对光化辐射曝光。其实例包括甲基丙烯酸甲酯(共)聚合物、聚碳酸酯、苯乙烯(共)聚合物、甲基丙烯酸甲酯-苯乙烯共聚物、二醋酸纤维素、三醋酸纤维素、醋酸丁酸纤维素、聚酯、聚酰胺、聚酰亚胺、聚醚砜、聚砜、聚丙烯、聚甲基戊烯、聚氯乙烯、聚乙烯缩醛、聚醚酮、聚氨酯与玻璃。该片可为片或膜,且可在表面上涂覆或用电晕放电处理以改良紧密接触、抗静电性质、耐磨性或耐候性。在一个优选的具体实施方式中,该透明片为聚对苯二甲酸乙二醇酯。
可用于本发明的光化辐射源的具体实例包括可见光源、UV光源、电子束、等离子体与红外线光源,且通常为本领域技术人员所公知。
本发明的感辐射性或感光性树脂组合物为感光性树脂,包括例如丙烯酸酯树脂、聚甲基丙烯酸甲酯树脂、氯乙烯树脂、聚碳酸酯树脂、酚树脂、环氧树脂、与聚氨基甲酸酯树脂,其均组合合适的光引发剂如过氧化苯甲酰。其它树脂及其它光引发剂也可用于本发明,且通常为本领域技术人员所公知。合适的感光性树脂的一个实例为感光性丙烯酸树脂组合物。
其它添加剂也可以加入到感光性树脂组合物中,举例而非限制地,其包括例如抗静电剂、脱模剂及用于改良抗污性质的氟化合物。
照射光化能量射线例如通过高压汞灯来进行。虽然对光照射能量的量并无特殊限制,只要发生光化能量射线固化性组合物的固化即可,但是该能量的量优选为100至10,000mJ/cm2。
本发明所制造的具有所需质地的片材料预期可应用于光学制品,其包括例如抗反射膜、抗反射涂层、抗反射部件、光学导波管、地形全息图、透镜与偏振分光元件;细胞培养片;超防水膜;及超亲水性膜;且特别适合作为抗反射膜、抗反射涂层与抗反射部件,包括例如液晶显示装置、等离子体显示面板、电致发光显示面板、阴极射线管显示装置;透镜、展示窗、展示箱、指示屏、指示盖和眼镜的表面用的抗反射涂层、抗反射膜或抗反射片。
该抗反射片可具有抗眩功能以将外部光散射。抗眩功能可通过将不大于本发明的可见光波长的所需质地重叠在不小于可见光波长的随机结构的表面上而赋予。
在一个具体实施方式中,本发明的模具的所需质地具有不大于可见光波长的短周期,其小于约400nm。周期超过400nm则造成可见光散射,因此不适合如抗反射膜的光学用途。
现在将参照以下非限制性实施例来而说明本发明。
实施例1
使用本领域技术人员所熟知的技术将纯度为99.999%的2寸铝碟抛光,且在17℃下于0.30M的草酸溶液中以40伏进行阳极处理25分钟。
在共3次阳极处理阶段的各次之后,在60℃下于0.2M的铬酸加0.4M的磷酸溶液中浸泡10分钟以将氧化物层蚀刻去除。
然后将样品进一步在17℃下于0.3M的草酸溶液中以40伏进行阳极处理90秒。继而在30℃下于5%的磷酸中进行扩孔处理12分钟。
然后将多孔性氧化铝浸入1%的烷基膦酸(APA)的乙醇溶液中20小时。
将感光性树脂应用于聚对苯二甲酸乙二醇酯膜与所制造的多孔性氧化铝模具之间。施加机械压力将该多孔性氧化铝模具轧压至树脂中。用UV光将树脂固化,当将多孔性氧化铝模坯移除时,在该聚对苯二甲酸乙二醇酯基膜上制造出纳米结构树脂的薄固体涂层。
图1显示为制造的膜(样品1)与涂有相同感光性树脂但在光滑铬辊表面上铸型以产生平坦表面的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜的透射%的对比。
图2显示为样品1的SEM图,显示出具有100nm间隔及180nm深的纳米结构。
实施例2
使用本领域技术人员所熟知的技术将纯度为99.999%的2寸铝碟抛光,且在19℃下于0.40M的磷酸溶液中以92伏进行阳极处理6小时。
在60℃下于0.2M的铬酸加0.4M的磷酸溶液中浸泡60分钟将氧化物层蚀刻去除。
然后将样品进一步在19℃下于0.4M的磷酸溶液中以92伏进行阳极处理4分钟。继而在30℃下于5%的磷酸中进行扩孔处理10分钟。
然后将多孔性氧化铝浸入1%的烷基膦酸(APA)的乙醇溶液中20小时。
将感光性树脂应用于聚对苯二甲酸乙二醇酯膜与多孔性氧化铝样品之间。施加机械压力将该多孔性氧化铝轧压至树脂中。用UV光将树脂固化,当将多孔性氧化铝模坯移除时,在该聚对苯二甲酸乙二醇酯基膜上制造出纳米结构树脂的薄固体涂层。
图3显示为样品2与感光性树脂的平坦涂层的穿透光谱的对比。
图4显示为样品2的SEM图,显示具有230nm间隔及380nm深的纳米结构。
实施例3
使用本领域技术人员所熟知的技术将纯度为99.999%的2寸铝碟抛光,且在17℃下于0.30M的草酸溶液中以40伏进行阳极处理6小时。
在60℃下于0.2M的铬酸加0.4M的磷酸溶液中浸泡60分钟将氧化物层蚀刻去除。
然后将样品进一步在17℃下于0.3M的草酸溶液中以40伏进行阳极处理90秒。继而在30℃下于5%的磷酸中进行扩孔处理7分钟。
然后将多孔性氧化铝切成碎片。将一块碎片浸入1%的烷基膦酸(APA)的乙醇溶液中20小时。另一块碎片不处理。
将感光性树脂应用于聚乙烯膜与两个多孔性氧化铝样品之间。施加机械压力将该多孔性氧化铝轧压至树脂中。用UV光将树脂固化,当将多孔性氧化铝模坯移除时,在该聚对苯二甲酸乙二醇酯基膜上制造出纳米结构树脂的薄固体涂层。
图5和图6显示为有和没有将多孔性氧化铝模具以APA处理而在树脂中形成的结构的SEM图。
实施例4
以如实施例3的相同方式制备并进行阳极处理纯度为99.999%的氧化铝样品。
在以40伏进行阳极处理90秒之后,将样品在130℃下于1H,1H,2H,2H-全氟癸基三氯硅烷存在下烘烤2小时。
将感光性树脂应用于聚对苯二甲酸乙二醇酯膜与两个多孔性氧化铝样品之间。施加机械压力将该多孔性氧化铝轧压至树脂中。用UV光将树脂固化,当将多孔性氧化铝模坯移除时,在该聚对苯二甲酸乙二醇酯基膜上制造出纳米结构树脂的薄固体涂层。
图7和图8显示为在将多孔性氧化铝模具以全氟癸基三氯硅烷处理之后,在树脂中所形成的结构的SEM图。
实施例5
以如实施例3相同方式制备并进行阳极处理纯度为99.999%的氧化铝样品。在以40伏进行阳极处理90秒之后,将样品浸入80%的FluorolinkF10(一种基于直链全氟聚醚骨架的二膦酸酯衍生物)乙醇溶液中,然后在100℃下烘烤60分钟。
将感光性树脂应用于聚对苯二甲酸乙二醇酯膜与两个多孔性氧化铝样品之间。施加机械压力将该多孔性氧化铝轧压至树脂中。用UV光将树脂固化,当将多孔性氧化铝模坯移除时,而在该聚对苯二甲酸乙二醇酯基膜上制造出纳米结构树脂的薄固体涂层。
图9显示为将多孔性氧化铝模具以Fluorolink F10处理之后,在树脂中所形成的结构的SEM图。
图10为描绘各种结构在400至750nm波长范围内平均的角度依赖反射%的曲线图。关键数据为由圆锥形(即,锥状)孔所制造的PA1和由柱状孔所制造的PA2。由图10可知,至多60度视角的反射度差异极小,其为商用光学膜的实用测度。另外,应注意,PA3具有不同的孔间隔及深度,因此无法直接比较。
最后,虽然本发明已参照其优选的具体实施例而具体地进行了展示和说明,但应了解,在不背离本发明的范围及宗旨的条件下其中可进行形式和细节的改变。
Claims (21)
1.一种模塑聚合材料以在该聚合材料中制造所需质地的方法,使用其中配置了许多柱状孔的模具,该方法包含步骤:
a)提供具有许多柱状孔分散于其中的多孔性模坯,该许多柱状孔对应于待被赋予聚合材料表面的凸起;
b)将聚合材料配置于透明膜或半透明膜与该多孔性模坯之间;和
c)施加机械压力以将该多孔性模坯轧压至该聚合材料中,
其中被赋予该聚合材料的质地包含对应于该多孔性模坯的柱状孔的凸起。
2.如权利要求1所述的方法,其中该多孔性模坯包含氧化铝且是由包含以下步骤的方法制备的:
a)对该多孔性模坯实行第一阶段阳极处理;
b)对该多孔性模坯实行氧化物蚀刻;
c)实行第二阶段阳极处理;和
d)实行扩孔处理,
其中在该多孔性氧化铝模坯中制造出柱状孔。
3.如权利要求1所述的方法,其中在将该聚合模塑材料配置于该多孔性氧化铝模坯与该膜之间之前,将脱模剂涂布于该多孔性模坯上。
4.如权利要求3所述的方法,其中该脱模剂包含从由烷基膦酸、芳基膦酸、氟烷基硅烷、全氟氯硅烷、氟化烷基和芳基膦酸、有机官能基硅烷和前述一种或多种的组合所组成的群组中选出的材料。
5.如权利要求4所述的方法,其中该脱模剂为烷基膦酸。
6.如权利要求4所述的方法,其中该烷基膦酸为1-癸基膦酸。
7.如权利要求6所述的方法,其中1-癸基膦酸是通过将该多孔性氧化铝模坯浸泡于0.1%的1-癸基膦酸的乙醇溶液中一段时间而涂布于该多孔性氧化铝模坯上的。
8.如权利要求7所述的方法,其中该多孔性模坯包含氧化铝。
9.如权利要求4所述的方法,其中该脱模剂为氟烷基硅烷。
10.如权利要求9所述的方法,其中氟烷基硅烷为1H,1H,2H,2-全氟癸基三氯硅烷。
11.如权利要求10所述的方法,其中该脱模剂是通过在1H,1H,2H,2-全氟癸基三氯硅烷存在下将经阳极处理的氧化铝模坯在至少约130℃的温度下烘烤至少1小时而涂布的。
12.如权利要求11所述的方法,其中该多孔性模坯包含氧化铝。
13.如权利要求12所述的方法,其中该脱模剂为功能性全氟聚醚材料。
14.如权利要求13所述的方法,其中该脱模剂为基于直链全氟聚醚骨架的二膦酸酯衍生物的乙醇溶液。
15.如权利要求14所述的方法,其中该多孔性模坯是通过将该多孔性模坯浸入脱模剂中,然后再将该多孔性模坯进行烘烤而与该脱模剂接触的。
16.如权利要求1所述的方法,其中该聚合材料为感光性树脂。
17.如权利要求16所述的方法,其中该感光性树脂是从由丙烯酸酯树脂、聚甲基丙烯酸甲酯树脂、氯乙烯树脂、聚碳酸酯树脂、酚树脂、环氧树脂和聚氨酯树脂所组成的群组中选出的,其与光引发剂结合。
18.如权利要求16所述的方法,其中该感光性树脂通过UV光固化而在透明膜上制造出对应于该多孔性氧化铝模具的孔的质地化树脂的薄固体涂层。
19.如权利要求10所述的方法,其中该膜是从由甲基丙烯酸甲酯(共)聚合物、聚碳酸酯、苯乙烯(共)聚合物、甲基丙烯酸甲酯-苯乙烯共聚物、二醋酸纤维素、三醋酸纤维素、醋酸丁酸纤维素、聚酯、聚酰胺、聚酰亚胺、聚醚砜、聚砜、聚丙烯、聚甲基戊烯、聚氯乙烯、聚乙烯缩醛、聚醚酮、聚氨酯和玻璃所组成的群组中选出的。
20.如权利要求19所述的方法,其中该膜为聚对苯二甲酸乙二醇酯。
21.如权利要求1所述的方法,其中该被赋予聚合材料的质地提供抗反射层。
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