CN102955374B - 玻璃基板面的快速高精度调温装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种新颖的、液晶显示装置等的制造工序中对玻璃基板面快速且高精度地进行调温的调温装置。本发明是在对玻璃基板面依次进行成膜、曝光和蚀刻的流程工序中，对设于成膜工序和曝光工序之间的玻璃基板面进行调温的调温装置，形成有调温风循环容器，其具有能够覆盖任何大小的玻璃基板面的尺寸，在该容器的下部横跨架设有数个扁方筒体形且其下表面的中间设置有供带热后的调温风返回进入的回收口的扁方筒体，通过从各扁方筒体之间的狭小间隙向移动至该容器下方极近位置的玻璃基板面喷吹该容器内的调温风的喷吹调温以及上述调温风与玻璃基板面进行表面接触直至蔓延并流入该回收口的表面接触调温，对玻璃基板面快速且高精度地进行调温。

Description

玻璃基板面的快速高精度调温装置
技术领域
本发明涉及液晶显示装置等的制造工序中的、玻璃基板的快速高精度调温装置。
背景技术
在玻璃基板面上形成感光膜后，为使感光膜干燥要使基板达到高温，然后需要将基板冷却到适宜曝光的23℃。之前提出的日本特许第3701007号公报记载了用大量喷嘴向成膜之后的玻璃基板面垂直喷吹调温风而对玻璃基板面进行调温的技术。
专利文献1：日本特许第3701007号公报
发明内容
发明要解决的问题
然而，存在的问题是，用喷嘴垂直喷吹调温风时，如图4所示，调温风遇到玻璃基板面后弹回形成了点接触，因此调温耗费时间，并且，由于带有热量的弹回风成为了喷吹风的阻力，同时又混入于调温风，因此玻璃基板面的调温精密度不足，公报虽称是在23℃±0.1℃的精度下调温，但实际情况下达不到这样的精度。
用于解决问题的方案
本发明用以下技术方案解决了上述问题，即，形成有调温风循环容器，其具有能够覆盖任何大小的玻璃基板面的尺寸，在该容器内的下部隔着狭小的间隙并排设置多个扁方筒体，用以喷吹调温风，在该各扁方筒体的下表面中间处设有回收口，通过来自各扁方筒体之间的狭小间隙的调温风的喷吹调温和利用该喷吹调温风的回收口进行回收期间的表面接触调温，在没有因热交换而携带热量的风成为调温风的阻力以及没有携带热量的风混入调温风中的情况下，来对移动至该扁方筒体下方极近位置的玻璃基板面快速且高精度地进行调温。
发明的效果
本发明产生了以下效果：
在简单的装置中用23℃±0.05℃以内的精度极高的调温风对玻璃基板面进行喷吹，和过去相比能在极短的时间内对玻璃基板进行精密的调温；
由于以狭小的间隙并排设置扁方筒体，以及在扁方筒体的下表面的中间设置回收口，因此能够通过喷吹调温和表面接触调温对玻璃基板面进行快速调温；
由于解决了喷吹调温风的弹回问题，以及防止了带热风混入于调温风中，因此能够进行精度极高的调温；
由于快速调整加快了传送带的间歇移动，能够提高作业效率。
附图说明
图1是表示制造工序的一部分的俯视图。
图2是调温装置关键部位的局部放大纵剖视图。
图3是调温装置关键部位的局部放大横剖视图。
图4是表示现有例中从喷嘴中喷吹出的调温风在基板面弹回的状态的说明图。
附图标记说明
11 传送带
12 成膜干燥室
13 调温装置
14 曝光室
15 循环容器
16 循环风路
17 风扇
18 温度传感器
19 间隙
20 扁方筒体
21 回收口
C/C 冷却空调器
H/C 加热空调器
G  玻璃基板
具体实施方式
本发明是在液晶显示装置的制造线上，在对大大小小的玻璃基板面依次进行成膜、曝光和蚀刻的流程中，如下构造设于成膜工序和曝光工序之间的玻璃基板面的调温装置，从而快速且高精度地进行调温。
其构造是，形成有调温风循环容器，其具有能够覆盖任何大小的玻璃基板面的尺寸，在该容器的下部横跨架设有数个扁方筒体形且其下表面的中间设置有供调温风返回进入的回收口的扁方筒体，通过从各扁方筒体之间的狭小间隙向移动至该容器下方极近位置的玻璃基板面喷吹该容器内的调温风的喷吹调温以及上述调温风与玻璃基板面进行表面接触直至蔓延并流入该回收口的表面接触调温，而对玻璃基板面进行快速调温，并且从该回收口回收调温后的带热风，防止其混入到容器内的调温风中，由此能够以23℃±0.05℃以内的高精度进行调温。
实施例1
图1至图3表示实施例，在洁净室中间歇移动的传送带11上依次设置有成膜干燥室12、调温装置13、曝光室14，使感光液落到搭载在该传送带11上而移动至成膜干燥室12下方极近位置的玻璃基板G的表面上，以利用使玻璃基板G旋转产生的离心力使感光液在整个表面达到均匀的厚度之后进行加热而使感光液干燥的要领，进行所规定的成膜，进入到调温装置13下方的极近位置时，将温度上升了的玻璃基板G调温至最适合曝光的23℃。
用于调温的调温装置13在循环容器15内的侧面设置有调温风的循环风路16，在循环风路16的上部设置有对循环风路中的风进行调温后向容器15内供给的冷却空调器C/C，在容器15内的上部设置有加热空调器H/C及其下方的向下推压调温风的风扇17。附图标记18表示用于控制加热空调器H/C的温度传感器。
而且，在容器15内的构成底面的下部，隔着狭小间隙19并排设置数个长条的扁方筒体20。该狭小间隙19优选为20mm～30mm。各扁方筒体20的下表面的长度方向的中间设置有回收口21，返回进入回收口21的调温后的带热风从扁方筒体20内通过，然后从扁方筒体20的长度方向两端返回进入循环风路16而进行循环。该回收口的宽度优选为20mm～30mm。
然后，完成成膜的玻璃基板G通过传送带11的移动而进入调温装置13下方的极近位置时，通过从扁方筒体20间的狭小间隙19喷吹被风扇17下推的23℃的调温风而进行调温的玻璃基板G的喷吹调温以及随后由喷吹出的调温风与玻璃基板G持续表面接触直至返回进入回收口21的表面接触调温，使玻璃基板G被快速调温。调温装置13下方的极近位置优选是距容器15下表面(扁方筒体19下表面)5mm～20mm的位置。
并且，因无过去产生的、调温后的带热风的弹回，而是将调温后的带热风全部通过回收口21回收而避免其混入到容器15内的调温风中，所以能够以23℃±0.05℃以内的优异的高精度进行调温。
如上述那样被快速高精度调温后的玻璃基板G进入曝光室14进行曝光。
产业上的可利用性
本发明能将感光膜成膜后的玻璃基板面快速且高精度地调温到适宜曝光温度，因而可被广泛利用。

Claims (1)

1.一种玻璃基板面的快速高精度调温装置，是在对玻璃基板面依次进行成膜、曝光和蚀刻的流程工序中，设于成膜工序和曝光工序之间的玻璃基板面的调温装置，其特征在于，
该调温装置形成有调温风循环容器，其具有能够覆盖任何大小的玻璃基板面的尺寸，在该容器内的下部隔着狭小的间隙并排设置多个扁方筒体，用以喷吹调温风，在该各扁方筒体的下表面中间处设有回收口，通过来自各扁方筒体之间的狭小间隙的调温风的喷吹调温风和利用该喷吹调温风的回收口进行回收期间的表面接触调温，在没有因热交换而携带热量的风成为调温风的阻力以及没有携带热量的风混入调温风中的情况下，来对移动至该扁方筒体下方极近位置的玻璃基板面快速且高精度地进行调温。
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