JP2013041053A - 液晶ディスプレイ等の製造工程におけるガラス基盤面の急速且つ高精度調温装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 本発明は、液晶ディスプレイ等の製造工程におけるガラス基盤面の急速且つ高精度にて調温する調温装置を新規に提供するものである。
【解決手段】 本発明はラス基盤面に成膜と露光とエッチングを順に行う流れ工程において、成膜と露光の間に設けるガラス基盤面の調温装置であって、大小のガラス基盤面のすべてをカバーする大きさの調温風循環タンクと、該タンクの下部に平角筒体形でその下面の中間に帯熱した調温風を戻し入れする回収口を設けた複数本の平角筒体を横断渡設し、該タンク下の至近に走行し入ったガラス基盤面に該タンク内の調温風を各平角筒体間の狭い間隙から吹き付けによる吹き付け調温と該回収口にまわり流入するまでガラス基盤面に接面する接面調温とにてガラス基盤面を急速且つ高精度にて調温するようにした調温装置にある。
【選択図】 図２

Description

この発明は液晶ディスプレイ等の製造工程におけるガラス基盤面の急速且つ高精度調温装置に関するものである。
ガラス基盤面に感光膜を成膜をし、これを乾燥するとガラス基盤が高温になり、露光に適した２３℃に冷却する必要がある。先に提案されている特許第３７０１００７号公報は多数のノズルにて成膜したガラス基盤面に調温風を垂直に吹き付けしてガラス基盤面を調温するということを記載している。
特願第３７０１００７号公報
しかしながら、ノズルによる調温風の垂直吹き付けは図４からわかるように調温風がガラス基盤面に当ってはね返る点接触にとどまるため、調温に時間がかかり、しかも帯熱したはね返り風が吹き付け風の抵抗となるとともに、調温風にまざることで、ガラス基盤面の調温に精密さが欠け、公報は２３℃±０.１の精度で調温するとしているが、実際はそれより精度が低くなるという課題がある。
本発明は、大小のガラス基盤面のすべてをカバーする大きさの調温風循環タンクと、該タンクの下部に平角筒体形でその下面の中間に調温風を戻し入れする回収口を設けた複数本の平角筒体を横断渡設し、該タンク下の至近に走行し入ったガラス基盤面に該タンク内の調温風を各平角筒体間の狭い間隙から吹き付けによる吹き付け調温と該回収口にまわり流入するまでガラス基盤面に接面して調温する接面調温とによりガラス基盤面を急速に調温し、しかも熱交換により帯熱した風を回収口から回収してタンク内の調温風にまざらないようにすることで、回収風の乱流化を防ぎ、調温風の抵抗にならず、省エネルギー且つ高精度すなわち２３℃±０.０５以内という高精度にてガラス基盤面を調温するようにして、かかる課題を解決したのである。
本発明は簡単な装置においてガラス基盤面に２３℃±０.０５℃以内というきわめて精度の高い調温風を効率的に吹き付けて、従来に比較して極めて短時間にガラス基盤の精密温調を行うことができるという効果を生ずる。
平角筒体を狭い間隔を置いて並設することと、その下面中間に回収口を設けたことで、ガラス基盤面は吹き付け調温と接面調温とにより急速に調温することができるという効果を生ずる。
吹き付け調温風のはね返りが解消することと、帯熱した風が調温風に混入することが防止されることで、きわめて精度の高い調温が行われることになるという効果を生ずる。
急速調整によってコンベアの間歇走行を速めて作業能率を向上させることができるという効果を生ずる。
製造工程の一部を示す平面図 調温装置の要部の部分拡大縦断面図 同、横断平面図 従来例におけるノズルから吹き付けした調温風がガラス基盤面にてはね返る状態を示す説明図
１１はコンベア
１２は成膜乾燥室
１３は調温装置
１４は露光室
１５は循環タンク
１６は循環風路
１７はファン
１８は温度センサ
１９は間隙
２０は平角筒体
２１は回収口
Ｃ／Ｃは冷却空調器
Ｈ／Ｃは加熱空調器
Ｇはガラス基盤
本発明は液晶ディスプレイの製造ラインにおいて、大小のガラス基盤面に成膜と露光とエッチングを順に行う流れ工程において、成膜と露光間に設けるガラス基盤面の調温装置を以下の通りに構成して急速且つ高精度において調温するようにしたのである。
その構成は大小すべてのガラス基盤面をカバーする大きさにて調温風の循環タンクを形成し、該タンク内の下部に平角筒体を狭い間隔を置いて複数本横断渡設し、成膜して該タンク下の至近に入るガラス基盤面にタンク内の調温風を下降押しして各平角筒体間の狭い間隙からガラス基盤面に吹き付けすることによるガラス基盤面の吹き付け調温と、この調温風を回収口より回収されるまでガラス基盤面に接面することによる接面調温との合わせによりガラス基盤面を急速に調温し、しかも調温後の帯熱風を回収口から回収してタンク内の調温風に混入しないようにしたことで、設定温度である２３℃±０.０５℃以内という高い精度をもって調温することを可能にしたのである。
図１乃至図３は実施例を示すもので、クリーンルーム内にて間歇走行するコンベア１１上に成膜乾燥室１２、調温装置１３、露光室１４を順に設け、該コンベア１１上に乗って成膜乾燥室１２下の至近に走行し入ったガラス基盤Ｇの面上に感光液を落載し、ガラス基盤Ｇを回転させる遠心力にて感光液を全面均一の厚みとしてから加熱して感光液を乾燥させる要領にて所定の成膜を行い、調温装置１３下の至近に入ったところで温度の上昇したガラス基盤Ｇを露光に最適な２３℃に調温するのである。
調温のための調温風は循環タンク１５内の側面に調温風の循環風路１６を設け、その上部にタンク１５内に向けて調温して供給する冷却空調器Ｃ／Ｃを設け、タンク１５内の上部に加熱空調器Ｈ／Ｃとその下に調温風を下方に押圧するファン１７を設けている。１８は加熱空調器Ｈ／Ｃを制御するための温度センサである。
しかしてタンク１５内の底面をなす下部には狭い間隔１９を置いて長尺の平角筒体２０を複数本並設する。各平角筒体２０は下面の長手方向中間に回収口２１を設け、回収口２１に戻り入った調温後の帯熱風を平角筒体２０内を通って長手方向の両端より循環空路１６内に戻り入れて循環するようにしている。
さて、成膜したガラス基盤Ｇがコンベア１１の走行により調温装置１３下の至近に入るとファン１７により下押しされる２３℃の調温風が平角筒体２０間の狭い間隙１９から吹き付けて調温するガラス基盤面Ｇの吹き付け調温と、次いで吹付け調温風が回収口２１に戻り入るまでガラス基盤Ｇに接面し続ける接面調温とによりガラス基盤面Ｇは急速に調温されることとなる。
しかも従来生じていた調温後の帯熱風のはね返りがなく、すべて回収口２１より回収されることでタンク１５内の調温風に混じることがないから、２３℃±０.０５℃以内というすばらしい高精度にて調温されることとなる。
このようにして急速且つ精度高く調温されたガラス基盤Ｇは露光室１４に入り露光されることなる。
本発明は、感光膜を成膜したガラス基盤面を露光に適した温度に急速且つ高精度にて調温することで広く利用されるものである。

Claims (1)

  1. ガラス基盤面に成膜と露光とエッチングを順に行う流れ工程において、成膜と露光の間に設けるガラス基盤面の調温装置であって、大小のガラス基盤面のすべてをカバーする大きさの調温風循環タンクと、該タンクの下部に平角筒体形でその下面の中間に調温風を戻し入れする回収口を設けた複数本の平角筒体を横断渡設し、該タンク下の至近に走行し入ったガラス基盤面に該タンク内の調温風を各平角筒体間の狭い間隙からの吹き付け調温と該回収口にまわり流入するまでガラス基盤面に接面することによる接面調温とによりガラス基盤面を急速に調温し、且つ調温後の帯熱風を該回収口から回収し、タンク内の調整風に混入させないようにしたことで２３℃±０.０５以内という高精度にて調温するようにしたことを特徴とする液晶ディスプレイ等の製造工程におけるガラス基盤面の急速且つ高精度調温装置。
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